Помощь в учёбе, очень быстро...
Работаем вместе до победы

Исследование и разработка процессов очистки сточных вод и отработанных технологических растворов от соединений мышьяка, галлия, индия и сурьмы с применением отработанных растворов травления меди

Диссертация: Исследование и разработка процессов очистки сточных вод и отработанных технологических растворов от соединений мышьяка, галлия, индия и сурьмы с применением отработанных растворов травления меди
ДиссертацияПомощь в написанииУзнать стоимостьмоей работы

Помимо отработанных медьсодержащих растворов хлорного железа на промышленных предприятиях зачастую образуются другие железосодержащие растворы (отработанные электролиты железнения, травильные растворы и др), проблема утилизации которых может быть также решена путем реализации предлагаемых технических решений в процессах очистки сточных вод от ионов тяжелых металлов. Целью работы было изучение… Читать ещё >

Содержание

  • 1. АНАЛИТИЧЕСКИЙ ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ ПО ПРОЦЕССАМ ОЧИСТКИ СТОЧНЫХ ВОД И ОТРАБОТАННЫХ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ РАСТВОРОВ ОТ СОЕДИНЕНИЙ МЫШЬЯКА, ГАЛЛИЯ, ИНДИЯ И СУРЬМЫ
    • 1. 1. Очистка воды коагулянтами
    • 1. 2. Методы регенерации растворов хлорида железа (III)
      • 1. 2. 1. Электрохимические методы
      • 1. 2. 2. Химические методы
        • 1. 2. 2. 1. Извлечение меди цементацией
        • 1. 2. 2. 2. Химическое окисление железа (II)
    • 1. 3. Условия соосаждения As, Ga, In, Sb и тяжелых металлов с оксигидратом железа (III)
    • 1. 4. Жидкостное химическое травление полупроводников
  • А1 J ' Bv и составы отработанных травителей
    • 1. 5. Методы выделения соединений мышьяка и галлия из концентрированных растворов
    • 1. 6. Электрохимические методы очистки сточных вод
      • 1. 6. 1. Электрофлотация
      • 1. 6. 2. Электрокоагуляция
      • 1. 6. 3. Гальванокоагуляция
    • 1. 7. Ферритная очистка сточных вод
  • 2. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ЧАСТ
    • 2. 1. Характеристика исходных материалов
    • 2. 2. Применяемые лабораторные установки
    • 2. 3. Аналитический контроль исследуемых процессов
  • 3. ОБЕЗВРЕЖИВАНИЕ МЕДЬСОДЕРЖАЩИХ РАСТВОРОВ ХЛОРИДОВ ЖЕЛЕЗА
    • 3. 1. Цементация
    • 3. 2. Окисление
      • 3. 2. 1. Хлорирование
      • 3. 2. 2. Окисление пероксидом водорода
    • 3. 3. Технологическая схема
  • 4. ОЧИСТКА ПРОИЗВОДСТВЕННЫХ СТОЧНЫХ ВОД ОТ СОЕДИНЕНИЙ МЫШЬЯКА, ГАЛЛИЯ, ИНДИЯ И СУРЬМЫ
    • 4. 1. Седиментация
    • 4. 2. Электрофлотация
    • 4. 3. Технологическая схема
    • 4. 4. Утилизация осадка
  • 5. ОБЕЗВРЕЖИВАНИЕ ОТРАБОТАНННЫХ ТРАВИТЕЛЕЙ АРСЕНИДА ГАЛЛИЯ
    • 5. 1. Образование галлийсодержащих осадков при нейтрализации травителей
    • 5. 2. Травители на основе Шз: НгОг :НгО
    • 5. 3. Травители на основе Щ БОд: НгОг :НгО
    • 5. 4. Технологические схемы

Исследование и разработка процессов очистки сточных вод и отработанных технологических растворов от соединений мышьяка, галлия, индия и сурьмы с применением отработанных растворов травления меди (реферат, курсовая, диплом, контрольная)

Основными веществами-загрязнителями сточных вод производства полупроводников А111являются соединения мышьяка, галлия, а также сурьмы и индия. Предельно-допустимые концентрации мышьяка, сурьмы и индия в воде составляют 0,05 мг/л, галлия — 0,1 мг/л. Типовые технологические схемы очистки сточных вод полупроводникового производства обычно предусматривают выделение из них соединений мышьяка и не учитывают сброс соединений галлия, индия и сурьмы, по токсичности соизмеримых с последним. Образующиеся в полупроводниковом производстве отработанные технологические растворы, содержащие также соединения мышьяка и галлия в концентрациях до нескольких десятков г/л, обезвреживаются по технологии очистки воды. Чаще всего используется известково-фосфатный вариант реагентного метода, приводящий к образованию чрезмерно объемного осадка, сильной засолености обработанных сточных вод, значительному расходу реагентов, обусловливая актуальность разработки более эффективных техпроцессов очистки, устраняющих вышеперечисленные недостатки. В связи с отсутствием в настоящее время на предприятиях достаточного количества финансовых средств, к разрабатываемым техпроцессам предъявляется жесткое требование минимизации капитальных и эксплуатационных затрат при их реализации, например, за счет возможности использования имеющегося оборудования реагентной очистки и утилизации отходов производства.

Кроме жидких отходов, содержащих соединения мышьяка, галлия, а также индия и сурьмы, на предприятиях по производству полупроводников зачастую накапливаются отработанные медьсодержащие растворы хлорного железа (токсичные отходы 1 класса опасности), образующиеся в процессе изготовления печатных плат, выводных рамок, сетчатых трафаретов и т. п., подлежащих регенерации или обезвреживанию. Общим недостатком всех методов регенерации растворов хлорного железа является сопутствие им токсичного хлора (ПДКврз = 1 мг/м3), который или используется в качестве окислителя, или образуется в процессе электрохимического окисления. Наличие хлора при реализации процессов регенерации растворов хлорида железа (III) и ряд других недостатков этих методов делает актуальной разработку простого, доступного, безопасного и эффективного способа их утилизации, причем в границах того же полупроводникового производства.

Помимо отработанных медьсодержащих растворов хлорного железа на промышленных предприятиях зачастую образуются другие железосодержащие растворы (отработанные электролиты железнения, травильные растворы и др), проблема утилизации которых может быть также решена путем реализации предлагаемых технических решений в процессах очистки сточных вод от ионов тяжелых металлов.

Целью работы было изучение условий и разработка на базе полученных данных технологических схем обезвреживания от соединений мышьяка, галлия, индия и сурьмы сточных вод и отработанных пероксидаммиачных и сернокислотных травителей арсенида галлия с использованием (утилизацией) отработанных технологических железосодержащих растворов.

В результате выполнения работы найдено комплексное решение экологических проблем обезвреживания сточных вод, отработанных травителей арсенида галлия и отработанных железосодержащих технологических растворов. Основные научные результаты работы следующие:

— определены продукты реакций травления арсенида галлия в кислотных и щелочных травителях, облегчающие разработку техпроцессов их обезвреживания;

— изучены условия одновременного осаждения соединений мышьяка, галлия, индия и сурьмы на коллекторе — осадке оксигидрата железа in);

— разработан техпроцесс одновременной очистки сточных вод от соединений мышьяка и галлия, а также индия и сурьмы, основанный на их со-осаждении с осадком оксигидрата железа (III), обеспечивающий глубину очистки на уровне остаточной концентрации по каждому элементу, не превышающей 0,05 мг/л, включающий утилизацию железосодержащих растворов;

— разработан техпроцесс очистки щелочных травителей арсенида галлия с глубиной очистки по каждому элементу не менее 0,05 мг/л, включающий утилизацию железосодержащих растворов;

— разработан техпроцесс очистки кислотных травителей арсенида галлия с глубиной очистки по каждому элементу, не менее 0,05 мг/л, включающий утилизацию железосодержащих растворов.

Практическая значимость работы заключается в том, что ее внедрение обеспечивает:

— возможность использования имеющегося на предприятиях оборудования реагентной очистки (метод известкования) сточных вод с с одновременным снижением нагрузки на эксплуатируемые насосы, вакуум-фильтры, сушильное оборудование;

— небольшой расход реагентов;

— повышение качества очищенной воды за счет ее одновременной очистки не только от мышьяка, но и от галлия, индия, сурьмы, а также тяжелых металлов и органических веществ коллоидной степени дисперсностиобеспечения нормируемого диапазона pHснижения солесодержания;

— возможность резкого уменьшения объемов и массы образующихся шламов;

— возможность утилизации отработанных железосодержащих технологических растворов и электролитов в процессах очистки промышленных сточных вод- 4.

— 8.

— значительное снижение платежей предприятия за хранение осадков и загрязнение сточных вод.

На действующем производстве ОАО НИИМЭТ (г.Калуга) внедрены, основанные на разработанном методе техпроцессы обезвреживания щелочных и кислотных травителей арсенида галлия и очистки сточных вод от соединений мышьяка и галлия.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

.

Разработанные технологические схемы очистки мышьяксодержащих жидких сред внедрены на действующем производстве ОАО «Научно-исследовательский институт материалов электронной техники» (г.Калуга), обеспечивая глубину очистки по мышьяку и галлию на уровне остаточных концентраций в несколько сотых долей мг/л при производительности оборудования не менее 12 м³ СВ/сутки. Для реализации процессов очистки, используется стандартное оборудование периодического действия линии нейтрализации, подвергнутое незначительным переделкам и дополненное сифоном, блоком фильтрации и блоком сушки. Расходы реагентов и объемы образующихся осадков при реализации разработанных техпроцессов очистки в сопоставлении с ранее используемыми представлены в табл.15.

Итоги выполненной работы могут быть сформулированы следующими выводами :

1. Изучен процесс цементации на стальной стружке отработанных медьсодержащих растворов хлорного железа в отсутствии интенсивного перемешивания. Установлено, что процесс протекает с повышением температуры раствора до 30−40 °С и в первые моменты времени сопровождается резким повышением концентрации Си+, которая затем медленно спадаетпараллельно протекает процесс неуклонного снижения до нуля концентрации Ре3+, соответствующего повышения концентрации Ре2+ и значения рН (до 2,5) — изменение температуры раствора происходит синхронно с изменением концентрации Си+. Для достижения остаточной концентрации меди в растворе на уровне 10 мг/л при интенсивном непрерывном перемешивании необходимо несколько часов, при слабом периодическом — несколько суток .

2. Разработан не требующий сложного оборудования техпроцесс обезвреживания отработанных медьсодержащих растворов хлоридов железа и.

Показать весь текст

Список литературы

  1. А.П. Основы аналитической химии. т.1. М.: Химия, — 1976. -405 с.
  2. В.Н. Курс качественного химического полумикроанализа.- М.: Химия, 1973. — 525 с.
  3. В.Н. Количественный анализ. М.: Госхимиздат, — 1963. 562 с.
  4. Л.Л. Курс прикладной радиохимии. Л.: Изд-во ЛГУ, — 1966. 264 с.
  5. Радиоактивные индикаторы в химии. Основы метода. М.: Высшая школа, 1975. — 252 с.
  6. Ю.А., Кузьмин Н. М. Концентрирование микроэлементов.- М.: Химия, 1982. — 286 с.
  7. H.A., Малафеева Г. И., Тузова A.M. и др. Соосаждение микропримесей с осадками гидроксидов металлов. // Вторая всесоюзная конференция по методам концентрирования в аналитической химии. Тезисы докладов. М.: Наука, — 1977. — 282 с.
  8. А.Н., Андреев П. П. Интенсификация процесса электрокоагуляции мышьяка в сточных водах // Цв. металлургия, 1984, — N 8, -с.49 — 52.
  9. В.А., Коган Б. И. Способы очистки сточных вод и технологических растворов от мышьяка. М.: Цветметинформация, — 1977. — 52 с.
  10. В.И., Усатова Л. П. Соосаждение малых количеств мышьяка с гидроокисями металлов // Ж. аналит. химии, 1964, — т.19, -в.10, — с. 1183 — 1187.
  11. А.К., Баран A.A. Коагулянты и флокулянты в процессах очистки воды. Л.: Химия, — 1987. — 205 с.
  12. Е.Д. Очистка воды коагулянтами. М.: Наука, — 1977.
  13. A.A., Копылов A.C., Пильщиков А. П. Водоподготов-ка: процессы и аппараты. М.: Энергоатомиздат, — 1990. — 402 с.
  14. Л.С., Покровский В. Н. Физические и химические методы обработки воды на ТЭС. М.: Энергоатомиздат, — 1991. — 328 с.
  15. К.В., Запольский А. К., Касиль Ю. К. Технология коагулянтов. Л.: Химия, — 1978, -186 с.
  16. Л.А., Левченко Т. М., Петрова М. В. Химия и микробиология воды. Практикум. Киев: Вища школа, — 1987. — 180 с.
  17. Л.А., Когановский A.M., Гороновский И. Т., Шевченко М. А. Физико-химические основы очистки воды коагуляцией.- Киев: Изд-во АН УССР, 1950. — 108 с.
  18. Е.Ф. Основы теории и расчета осветлителей. М.: Госстройиздат, — 1962. 160 с.
  19. Технология многослойных печатных плат. / Федулова A.A., Устинов Ю. А., Котов Е. П., Шутов В.П./ М.: Радио и связь, — 1990, — 254 с.
  20. A.A., Котов Е. П., Явич Э. Р. Химические процессы в технологии изготовления печатных плат.- М.: Радио и связь, 1981, -186 с.
  21. В.Н. Физико-химические процессы в технологии РЭА.- М.: Высшая школа, 1987. — 376 с.
  22. И.К. Регенерация отработанных травильных растворов в производстве печатных плат. М.: ЦНИИ «Электроника», — 1981, — 38 с.
  23. Т.А., Кучеренко В. И., Флеров В. Н. Катодное выделение меди из отработанных травильных растворов // Ж. прикл. химии, 1973, т.46, — в.2, — с.324−328.
  24. М.Я. Успехи в области электросинтеза неорганических соединений. М.: Химия, — 1974. — 276 с.
  25. В.И., Хоботова Э. Б., Горобец С. Д. Регенерация желе-зо-медно-хлоридных растворов // Ж. прикл. химии, 1989, — т.62, -в.9, — с.2074−2077.
  26. Ю.И., Кучеренко В. И., Флеров В. И. О влиянии добавки СиСЪ на анодное окисление ионов железа (II) в концентрированных хло-ридных растворах // Электрохимия, 1984, — т.20, — в, 3, — с.372−374.
  27. В.П., Бондаренко А. В., Коломиец В. В. Регенерация травильных растворов на основе хлорного железа // Прогрессивная технология изготовления печатных план. Тезисы докладов. Пенза: 1989. 168 с.
  28. М.Л., Бескин А. Л. Снятие осадков цветных.металлов с катодной поверхности // Цв. металлы, 1988, — N 3, — с.23−26.
  29. A.c. N 1 258 876, МКИ С 25 G 1/36. Способ регенерации отработанных травильных растворов хлорного железа. Опубл. 23.09.86, Бюл. N 35.
  30. A.c. N 1 158 624, МКИ С 25 G 7/02, С 23 F 1/36. Способ регенерации железо-медно-хлоридных растворов. Опубл. 30.05.85, Бюл. N 20.
  31. A.c. N 1 158 613, МКИ С 23 G 1/36. Способ регенерации отработанных травильных растворов хлорного железа. Опубл. 30.05.85, Бюл. N 20.
  32. A.c. N 548 051, МКИ С 25 F 7/02. Способ регенерации желе-зо-медно-хлоридных травильных растворов. Опубл. 05.10.77, Бюл. N 37.
  33. A.c. N 1 475 950, МКИ С 22 В 15/00. Способ извлечения меди из растворов. Опубл. 30.04.89, Бюл. N 16.
  34. С.С. Регенерация травильных растворв и рекуперация меди в производстве печатных плат // Гальванотехника и обраб. поверхности. 1993, — т.2, — в.4, — с.69−72.
  35. И.М. Процессы цементации в цветной металлургии. М.: Металлургия, — 1981, — 102 с.
  36. А.И. Электрохимия цветных металлов. М.: Металлургия, — 1982. 256 с.
  37. Ф.С., Карбасов Б. Г., Ротинян А. Л. О кинетике процесса контактного вытеснения металлов // Ж. прикл. химии. 1982, — т.55, -в.5, — с. 1176 — 1178.
  38. В.М., Ларин В. И. Контактное выделение меди на железе из концентрированных растворов хлоридов меди (II) и железа (III) // Вестник Харьковск. ун та, — 1983, — N 242, — с. 28 — 33.
  39. Ф.С., Карбасов Б. Г., Ротинян А. Л. Исследование кинетики контактного вытеснения металлов // Цв. металлы, 1985, — N 6, -с.33−35.
  40. Ф.С., Карбасов Б.Г, Виноградова-Волжская Е. Г. Контактный обмен на вращающемся цилиндре в системе Си2+ Fe //Ж. прикл. химии, — 1987, — т.67, — в.1, — с.193−195.
  41. В.И., Варенцов В. К. Применение цементации для обезвреживания травильных растворов // Пути и средства повышения экологической безопасности гальванических производств. Тезисы докладов. -М.: 1991. 102 с.
  42. Прикладная электрохимия / Под ред. Л. А. Ротиняна. Л.: Химия, — 1974. 468 с.
  43. В.В. Прикладная электрохимия. Харьков: Изд-во ХГУ, — 1961. 540 с.
  44. Энциклопедия современной техники. Конструкционные материалы.т.З. М.: СЭ, — 1965, — с. 195.
  45. A.c. N 591 523, МКИ С 25 В 3/02. Устройство для цементации металлов из растворов. Оп. 05.02.75. Бюл. N5.
  46. A.c. N 380 728, МКИ С 22 В 15/12. Аппарат для непрерывной цементации металлов из растворов. Оп.15.05.73. Бюл. N 21.
  47. A.c. N 846 593, МКИ С 22 В 15/12. Аппарат для извлечения металлов лов из растворов цементацией. Оп. 15.07.81. Бюл. N 26.
  48. A.c. N 607 849, МКИ С 22 В 3/02. Вибрационный цементатор. Оп. 25.05.78. Бюл. N 19.
  49. Ю.Ю. Справочник по аналитической химии.- М.: Химия, 1971. — 454 с.
  50. М.И. Технология минеральных солей. Л.: Госхимиздат, -1961. — 1008 с.
  51. А.Н., Лепинь Л. К., Мацеевский Б. П. Влияние солей меди (II) на кинетику окисления кислородом солей железа (II) в водных растворах // Изв. АН Латв. ССР, Сер. химич., 1973, — в. 4, с.434−439.
  52. У., Сеттерфилд Ч., Вентвортс Р. Перекись водорода. М.: ИЛ, — 1958. — 452 с.
  53. А.И. Использование соосаждения с гидроокисью железа для разделения малых количеств элементов // Изв. СО АН СССР, сер. химич. наук, 1965, — N 11, — в. З, — с.64−68.
  54. Д.Н., Генкин В. Е. Очистка сточных вод в процессах обработки металлов. М.: Металлургия, — 1980. — 196 с.
  55. Г. А., Гончарова Т. О. Адсорбция ионов тяжелых металлов гидроксидами алюминия и железа (III) // Гидрохимические материалы, т.46. -Л.: Гидрометеоиздат, 1968. — с.150.
  56. А.И., Щекотурова Е. К. Разделение и концентрированиецинка, галлия, германия, мышьяка и селена соосаждением с гидроокисью железа // Радиохимия. 1972, — т.14, — в.1, — с. 152 — 154.
  57. В.А., Шалыт Е. А. Комплекс технологий электрохимической водоочистки с регенерацией ценных компонентов в гальваническом производстве // Гальванотехника и обраб. поверхности. 1992, — т.1, -в.2, — с. 87 — 92.
  58. В.А., Кокарев Г. А., Ильин В. И., Шалыт Е. А. и др. Экологические проблемы гальванического производства // Электроосаждение металлов и сплавов.- М.: МХТИ им. Д. И. Менделеева, 1991.с.188−197.
  59. В.Н. Использование фосфата кальция как носителя в целях концентрирования и разделения некоторых элементов .// Изв. СО АН СССР, сер. химич. наук. 1965, — N 11, — в.З. — с.69−78.
  60. A.B., Мазурова A.A., Сердюк Т. К., Шемонаева Г. В. Захват солей мышьяковой и мышьяковистой кислот фосфатом кальция // Там же.- 1972, N 12, — в.5. — с.121−127.
  61. A.B., Мазурова A.A. К захвату мышьяковой и мышьяковистой кислот на природных минералах // Там же. 1972, — N 14, — в. 6. — с.58−60.
  62. В.И. О закономерностях соосаждения некоторых анионов с гидроокисями металлов // Изв. СО АН СССР, сер. хим. наук. 1965, N 11, — в. З, — с. 46 — 49.
  63. B.C., Двинин С. Г., Марков В. Ф. Сорбция ионов трех- и пятивалентного мышьяка из водных растворов оксигидратами и неорганическими ионитами на их основе // Ж. прикл. химии. 1980, — т.53, -в.2, — с. 280 — 285.
  64. Н.С., Козьмина Л. Д., Лелюк Л. Г., Рубцова В. И., Рыбина Г. К. Исследование возможности применения реагентных способов длягочистки сточных вод от мышьяка и сопутствующих элементов // Электрон, техника, сер.6 Материалы. 1976, — в.9, — с. 106 — 113.
  65. Извлечение благородных металлов и очистка сточных вод металлургических и гальванических производств. Обзорная информация. М.: ЦНИИЦветмет, — 1989. — 64 с.
  66. В.Я., Савина Н. В. Физико-химические методы очистки сточных вод от мышьяка и извлечение редких и рассеянных металлов из растворов. Обзоры по ЭТ, серия 7, в.14(259). М.: ЦНИИ «Электроника», — 1974. — 36 с.
  67. A.A. Аналитическая химия сурьмы. М.: Наука, 1978. — 368 с.
  68. G.Jander, H. Hofman // Z. anorgan. und allgem.Chem., 1958,-B.296, — 1/6, -S.134.
  69. JI.M., Пономарев В.Д.// Тр. Алтайского горнометаллург НИИ. Изд-во АН КазССР. Алма-Ата: — т. З, — 1956. — с.136.
  70. Suzuki Shigern, Jshida Joshihazu. «Гэсуйдо кекайси», J.Jap.Sewage Works Assoc., 1975, — V.12, — N134, — p.34−37. Перевод ВЦП N Ц-79 033.- М.: 1976. — 14 с.
  71. В.А., Вишнякова H.H. Закономерности вымывания мышьяка (V) водой из мышьяксодержащих осадков оксигидроокиси железа (Ш) // Ж. прикл. химии. 1984, — т.57, — в.4. — с.960.
  72. В.А., Вишнякова H.H. Закономерности вымывания мышьяка водой из мышьяксодержащих шламов // Цв. металлы. 1983, — N 9, с.27−29.
  73. В.П. Гидроокиси металлов. Киев: Наукова думка, 1972. — 208 с.
  74. В.Г. Произведение растворимости ряда арсенатов // Ж. неорган, химии. 1956, — т.1, — в.9. — с.1975−1982.
  75. А.И., Юдин В. В. Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем М.: Высшая школа, — 1986.- 368 с.
  76. Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников / Под ред. Б. Д. Луфт. М.: Радио и связь, — 1982. 208 с.
  77. A.B., Шипова O.A., Дмитриенко Е. М. Обезвреживание концентрированных мышьяксодержащих технологических растворов производства полупроводников на основе арсенида галлия //Ж. прикл. химии.- 1998, т.71, — в.4, — с.634−638.
  78. A.B. Очистка производственных жидких сред от мышьяка, галлия, индия и сурьмы // Экология человека и технологий. МГТУ им. Н. Э. Баумана, Калужский филиал.: Калуга, 1999. -476 с.
  79. Л.Б., Луфт Б. Д., Перевощиков В. А. Исследование процесса химической полировки монокристаллов полупроводниковых соединений д1I Igv. м.: Институт радиотехники и электроники АН СССР, — 1979. -36 с.
  80. .И., Гуревич С. А., Мизеров М. Н., Портной Е. Л. Контролируемое травление эпитаксиальных слоев GaAs и твердых растворов AlxGai-xAs и его применение в интегральной оптике // ЖТФ, 1975, т.45, в.12, — с.2602−2606.
  81. Wu X.S., Goldren L.A., Merz Y.L. Selective etching characteristics of HF for AlxGai-xAs/GaAs // Electron. Lett. 1985, — v.21, -N 13, — p.558−559.
  82. Notten P.H. The etching of InP in HCl-solutions a chemical mechanism // J.Electrochem.Soc. 1984, — v.131, — N 11, p.2641−2644.
  83. Л.Н., Ступина H.M. Травление арсенида галлия в смесях азотной кислоты с другими неорганическими кислотами // Арсенидгаллия. Вып.III. Томск: Изд-во Томского университета, — 1970. с.210−216.
  84. А.В., Новикова О. В., Дорогова Ю. Г. Полирующее травление InP (100) // Ж. прикл. химии. 1992, — т.65, — в.8,с.1769−1774.
  85. Barycka J., Zubel J. Chemical etching of (100) GaAs in sulfuric acid hidrogen peroxide — water system // J. Mater. Sci. — 1987, — v.22, N 4, — p.1299−1304.
  86. Mori J., Watanabe N. A new etching system Нз PO4 -H2 O2 -H2 0 for GaAs and its kinetics // J. Electrochem. Soc. 1978, — v.125, — N 9, — p.1510−1517.
  87. Л.П., Андреев B.M. Универсальный травитель для обработки арсенида галлия // Неорган. материалы. 1977, — т.13, — в. 7, — с.1178−1181.
  88. А.В., Потолоков Н. А. Селективное и декорирующее травление химическое травление эпитаксиальных слоев А1хGai хAs/GaAs в растворах солей железа (III) // Ж. прикл. химии. — 1995, — т.68, -в.5, — с.840−842.
  89. В.М., Румянцев Д. В., Салиева O.K. Влияние переходных слоев на спектральное распределение фотоответа AlGaAs гетерофотоэле-ментов // ЖТФ, 1985, — т.55, — в.6, — с.1124−1129.
  90. R.P., Т.von Dongen. Selective etching of III-V compounds with redox systems // J.Electrochem.Soc. 1976, — v.123, — N 5,-p.7687−691.
  91. H.K., Лавин Н. К. Характеристики поверхностей {111} интерметаллических соединений III V групп // Новое в получении монокристаллов полупроводников. — М.: ИЛ, — 1962. — 368 с.
  92. А.А., Филин Г. В. Травление меди при изготовлении печатных плат // Обмен опытом в радиопром. 1981, — N 1, — с.32−34.
  93. С.В. О сульфидных комплексах мышьяка (III) в растворах // Ж. неорган, химии. 1977, — т. XXII, — в.10, — с.2725−2728.
  94. М.Ж., Сагадиева А. К., Малышев В. П., Чупраков В. И. Растворимость арсената кальция // Ж. прикл. химии. 1978, — т.51, -в.7, — с.1508−1510.
  95. М.Ж., Сагадиева А. К., Чупраков В. И. Исследование растворимости арсената железа // Там же. 1981, — т.54, — в. 5, с.1009−1011.
  96. Krause Е., Ettel V.A. Solubilities of ferric arsenate compounds // Hydrometallurg. 1989, — v.22, — N3, — p.311−337.
  97. А.А., Мокина Е. П., Моисеева О. В. Очистка промывной кислоты от мышьяка с помощью сульфидов // Тезисы НИПИ «Казмеханобр». 1973, сб.11, — с.27−30.
  98. Л.И., Тюленев Г. В., Чучалин Л. К. О взаимодействии трисульфида мышьяка с водой // Изв. СО АН СССР. Сер. химич. наук. -1973, N14, — в.6, — с.70−73.
  99. Robins R.G. The stability of arsenic in gold mine processing wastes // Precious Metals: Mining, Extr. and Process. Proc. Int. Sump. AIME, Annu. Meet., Los Angeles, Calif., Febr. 27−29, 1984. Warrendale, Pa, 1984, — p.241−249.
  100. A.H., Савостин А. П. Аналитическая химия галлия.- М., Наука, 1968. — 366 с.
  101. И.В., Чудинова H.H. О фосфатах, содержащих галлий и одновалентный катион // Ж. неорган. химии. 1965, — т. Х, — в.4. -с.780−785.
  102. А.И., Монгайт И. Л., Родзиллер И. Д. Методы очистки производственных сточных вод. Справочное пособие. М.: Стройиздат, 1977. — 208 с.
  103. Л.Н., Гулькин Л. Н., Нуждин А. И. Состояние проблемы обезвреживания кислых мышьяксодержащих сточных вод // Химич. промышленность. 1988, — N 10, — с.37−41.
  104. .Н. Электрофлотационная очистка сточных вод. Кишинев: Картя Молдовеняска, — 1982. — 170 с.
  105. A.M. Ионная флотация. М.: Недра, — 1982. — 144 с.
  106. H.H., Демидов В. Д., Черкасов А. Е. // Цв. металлы, -1990, N 3, — с.104−107.
  107. H.H., Ворончихина Л. А. Некоторые закономерности флотации гидроксидов тяжелых металлов // Там же, 1991, — N 7, с.61−62.
  108. Л.Д., Бабинец С. К., Костиков В. В. Флотационная очистка сточных вод гальванических производств // Химия и технология воды. 1990, — т.12, — в.7, — с.168−170.
  109. Л.Д., Пурич А. Н., Солдаткина Л. М. Очистка сточных вод участка травления печатных плат от ионов тяжелых металлов флотацией // Там же, 1992, — т.14, — в.12, — с.924−929.
  110. Eller P.M. Environ carsinogens selec Meth. // Anal. 1986, — v.8, — p.231−238.
  111. A.M., Крайзман M.А. Газогенераторы электрофлотационных аппаратов (анализ конструкций, классификация и перспективы развития) // Совершенствование флотации руд и растворенных веществ. М. :1. Наука, 1976. — с.92−108.
  112. В.К., Климов А. Ю. Электрофлотационное устройство для извлечения взвешенных веществ из жидкостей // Электрон. обработка матер. 1982, — N 4(106), — с.89−90.
  113. A.A. Современное состояние и перспективы применения электрической флотации веществ. Ч. 1 и 2. -Кишинев: Штиинца, 1975. 206 с.
  114. A.c. N 402 392. МКИ С 22 В. Способ электрофлотации полезных ископаемых. Бюл. изобр. и откр., 1973, N 42.
  115. A.c. N 655 404. МКИ В 22 В. Устройство для извлечения взвешенных веществ из жидкости. Бюл. изобр. и откр., 1979, N 13.
  116. A.c. N 655 404. МКИ В 22 В. Электрофлотационное устройство для извлечения взвешенных частиц из жидкости, Бюл. изобр. и откр., 1979, N 13.
  117. Л.А., Смирнов О. П., Баландин Е. М. Влияние фазо-во-дисперсного состава водной суспензии на параметры процесса ее электролитической обработки // Химия и технология воды, 1980, — т. 2, — в.4, — с.359−363.
  118. В.И., Светашова Е. С. Исследование анодных процессов, протекающих при электрохимической очистке технологических стоков мукомольных заводов // Электрон, обработка матер. 1982, — N 4, с.36−40.
  119. Л.А., Гребенюк Б. Д., Савлук О. С. Электрохимия в процессах очистки воды . Киев: Техника, — 1987, — 180 с.
  120. Н.М., Ефимов В. Г. Электрокоагуляторы для очистки промышленных стоков. Харьков: Изд-во ХГУ, — 1983. — 142 с.
  121. А.П., Якушев Л. В. Использование электрофореза, электрокоагуляции и электрофлотации для очистки радиоактивных вод // Радиохимия, 1970, — т.12, — в.6.
  122. A.A., Строкач П. П., Слипченко В. А., Сайгак Е. И. Очистка воды электрокоагуляцией.- Киев: Буд1вельник, 1978. — 111 с.
  123. В.Д., Максимов Ю. И. Об использовании электрокоагуляции в водооборотном цикле гальванопокрытий // Электрон. обработка матер. 1981, — N 1, — с.63−67.
  124. И.И., Григорович М. М., Даубарас Р. Ю. Очистка стоков гальваноцехов электрохимическим методом. 3. Электрокоагуляционная очистка растворов различного состава // Тр. АН Лит. ССР, В, 1981, -N2/123, — с.39−45.
  125. А.И., Клушин В. Н., Торочешников Н. С. Техника защиты окружающей среды. М.: Химия, — 1989. — 512 с. 288 с.
  126. В.Д., Ксенофонтов B.C. Очистка производственных сточных вод и утилизация осадков. М.: Химия, — 1988. 408 с.
  127. Ю.А., Кондрикова Н. М., Коварский Н. Я. Влияние анионного состава раствора на сорбционные свойства электрогенерированного оксигидрата железа // Ж. прикл. химии. 1978, — т.51, — в. 5, с, 1001−1004.
  128. В.А., Вязовская Л. М., Бондаренко H.A. Влияние анионного и катионного состава мицелярных примесей воды на процесс растворения железного анода // Электрон, обработка матер. 1982, N4(106), — с.47−49.
  129. Электрокоагуляционный метод очистки сточных вод от ионов тяжелых металлов. /Г.А.Семецкий/. М.: ЦНИИИТЭИ цветной металлургии, -1978. — 24 с.
  130. Д.Н., Генкин В. Е. Очистка сточных вод в процессах обработки металлов. М.: Металлургия, — 1980. — 196 с.
  131. Временные рекомендации по электрохимической очистке промышленных сточных вод от шестивалентного хрома с использованием стальных электродов. М.: Изд-ва ВОДГЕО, — 1977. — 36 с.
  132. А.Н., Андреев П. П. Интенсификация процесса электрокоагуляции мышьяка в сточных водах // Цв. металлургия. 1984, — N 8, — с. 49 — 52.
  133. В. Электрохимическая технология для очистки сточных вод от мышьяка и других тяжелых металлов // Электрон. обработка матер. 1994, — N 2, — с.41−45.
  134. Электрокоагуляционный способ очистки нейтральных сточных вод от мышьяка и взвешенных веществ // Установки и процессы по переработке и утилизации отходов. Вып.4. — М.: ВОДГЕО, — 1989. — с.20−21.
  135. Перечень разработок в области очистки промышленных сточных вод и обогащения руд. Алма-Ата: Казмеханобр. — 1991. — 118 с.
  136. Л.П., Кокорина Е. Б., Давыдова Л. Е. Гальванокоагуляционный метод очистки сточных вод с утилизацией образующегося отхода // Пути и средства повышения экологической безопасности гальванических производств. Тезисы докладов. М.: — 1991. -108 с.
  137. В.А., Жданович Л. П., Дзюбинский Ф. А. Очистка промывных и оборотных вод гальваники // Очистка промышленных сточных вод и приборы экологического контроля воды и воздуха. Тезисы докладов.1. М.: 1992. — 108 с.
  138. А.И., Спасская Л. Ф. Очистка сточных вод завода «Рязцветмет» методом гальванокоагуляции // Цв. металлы. 1992, — N 2, — с.33−34.
  139. A.K., Образцов B.B. Комплексная переработка сточных вод гальванического производства. Киев: Тэхника, — 1976. — 224 с.
  140. О.С. Очистка сточных вод в металлургии.- М.: Металлургия, 1976. — 224 с.
  141. В.М., Гомеля Н. Д., Терещенко О. Н. Исследование процессов . утилизации железосодержащих растворов ферритным методом // Экотехнологии и ресурсосбережение. 1995, — N 4, — с.61−64.
  142. Najari Naohizo, Tanaka Nobuo, Sakai Jukio. Electrolutic ferrite fermation system for heavy metal removal // J. Water. Pol-lut.Contr. Fed., 1980, — v.52, — N 7, — p.1898−1906.
  143. A.c. N 975 586. МКИ3 С 02 F 1/58.Способ очистки водных растворов от сульфата натрия.
  144. Заявка 58−34 086. Япония. МКИ С 02 А 1/62. Обработка сточных вод, содержащих ионы тяжелых металлов.
  145. Заявка 58−34 085. Япония. МКИ С 02 А 1/62. Удаление ионов тяжелых металлов из сточных вод.
  146. Заявка 58−43 284. Япония. МКИ С 02 А 1/62. Удаление ионов тяжелых металлов из сточных вод.
  147. A.c. N 729 138. МКИ2 С 02 С 5/02. Способ обработки сернокислотных железосодержащих отработанных растворов.
  148. Пат. N 3 682 592. США. МКИ С 01 В 7/08. Treatment of waste HCl pickle liquor.
  149. A.c. N 1 065 352. МКИ3 С 02 F 1/62. Способ очистки сточных вод от ионов тяжелых металлов.
  150. Заявка N 1 562 589. Великобритания. МКИ3 С 25 D 21/16, 3/30. Electrotinning process and apparaturs.
  151. В.А., Хавин З. Я. Краткий химический справочник -Л.: Химия, 1991. — 427 с.
  152. Г. Методы аналитической химии. т.2, М.: Химия, 1969. — 1020 с.
  153. В.Н., Симонова Л. Н. Аналитическая химия меди. М.: Наука, 1990. 360 с.
  154. Немодрук А, А. Аналитическая химия мышьяка. М.: Наука, 1976. — 342 с.
  155. П.П. Реактивы и растворы в металлургическом ана лизе. М.- Металлургия, — 1977. — 380 с.
  156. Киш П.П., Головей М. И. Спектрофотометрическое изучение реак ции галлия с ксиленоловым оранжевым // Ж. аналит. химии. 1965, Т.20, — в.7, — с.794−799.
  157. С.Т., Киш П.П. Фотометрическое определение индия ксиленоловым оранжевым // Укр. химич. журн. 1963, — т.29, — в. 2, с.209−213.
  158. Л.Н., Рыбина Г. К., Захарова Н. С. Определение гал лия и индия с ксиленоловым оранжевым // Зав. лаб. 1979, — в. 7, с. 17.
  159. Х.Ли, К.Невилл. Справочное руководство по эпоксидным смолам М.: Энергия, — 1973. — 416 с.
  160. М.И. Промышленное применение эпоксидных лакок расочных материалов. Л.: Химия, — 1983. — 120 с.
  161. П.И., Мохосеев М. В., Алексеев Ф. П. Химия галлия, ин дия и таллия. Новосибирск: Наука, 1977. — 120 с.
  162. И.М. Химическое осаждение из растворов. -Л.: Хи ми я, 1980. — 260 с.
  163. И.К. Курс аналитической химии. М.: Высшая школа, — 147 1994. 496 с.
  164. В.Г. Мышьяк. М.: Металлургия, — 1969. — 120 с.
  165. И.Т., Назаренко Ю. П., Некряч Е. Ф. Краткий спра вочник по химии. Киев: Наукова думка, 1974. — 800 с.
Заполнить форму текущей работой

Пора сдавать?