Помощь в учёбе, очень быстро...
Работаем вместе до победы

Разработка и исследование лазерного интерференционного жидкостного манометра высшей точности с целью повышения уровня обеспечения единства измерений низкого абсолютного давления

ДиссертацияПомощь в написанииУзнать стоимостьмоей работы

Исследования, проводимые в области приоритетных направлений развития науки, технологий и техники РФ, таких как перспективные вооружения, военная и специальная техника, производственные технологии, радиоэлектроника, научные исследования в области физики плазмы и элементарных частиц, термоядерного синтеза и масс-спектрометрические исследования, — все эти и многие другие области науки и техники… Читать ещё >

Содержание

  • Глава 1. Обзор существующих методов и средств измерений низкого абсолютного давления высшей точности и выбор направления работы
    • 1. 1. Методы и средства измерений абсолютного давления высшей точности. Классификация и принципы действия
    • 1. 2. Мембранно-емкостный метод измерений давления
    • 1. 3. Абсолютные методы измерения давления
    • 1. 4. Жидкостные манометры
      • 1. 4. 1. U-образные (двухтрубные) манометры
      • 1. 4. 2. Компрессионные манометры
    • 1. 5. Термодинамический метод воспроизведения абсолютного давления
      • 1. 5. 1. Термодинамический метод воспроизведения абсолютного давления на основе фиксированных точек фазовых переходов чистых веществ
      • 1. 5. 2. Термодинамический метод воспроизведения абсолютного давления на основе непрерывных участков Р-Т кривой фазового перехода 1-го рода чистых веществ
    • 1. 6. Воспроизведение шкалы давлений в области высокого и сверхвысокого вакуума
    • 1. 7. Выбор направления работы

Разработка и исследование лазерного интерференционного жидкостного манометра высшей точности с целью повышения уровня обеспечения единства измерений низкого абсолютного давления (реферат, курсовая, диплом, контрольная)

Актуальность работы.

Исследования, проводимые в области приоритетных направлений развития науки, технологий и техники РФ, таких как перспективные вооружения, военная и специальная техника, производственные технологии, радиоэлектроника, научные исследования в области физики плазмы и элементарных частиц, термоядерного синтеза и масс-спектрометрические исследования, — все эти и многие другие области науки и техники в настоящее время во многом базируются на вакуумных измерениях [1]. Контроль качества продукции электровакуумной, металлургической, полупроводниковой, медицинской, пищевой, химической и фармацевтической промышленности в значительной степени зависит от точности измерений низкого абсолютного давления. В электровакуумных приборах вакуум является «конструктивным элементом» и обязательным условием их функционирования.

Средства измерений (СИ) низкого абсолютного давления газа используются в диапазоне давлений от Ю" 10до 105Па и по своему метрологическому назначению делятся на два вида: эталонные СИ, по которым поверяют и калибруют манометры и вакуумметры, и рабочие приборы, непосредственно используемые на производстве. Пределы допускаемых погрешностей существующих СИ могут колебаться от долей процента до ±100%.

Необходимость обеспечения единства измерений низкого абсолютного давления в СССР привела к созданию в 1973 г. во ВНИИМ им. Д. И. Менделеева (ВНИИМ) государственного эталона (ГЭ) единицы давления для области низкого абсолютного давления [2]. Создание ГЭ явилось результатом научных исследований известных ученых — метрологов М. А. Гуляева, А. В. Ерюхина, В. А. Рыжова. В основной состав ГЭ входили следующие СИ высшей точности, обеспечивавшие воспроизведение единицы давления: набор из четырех компрессионных ртутных манометров, мембранно-емкостный манометр и установка с калиброванными объемами.

В 1980 и 1989 гг. комплекс средств измерений, входящих в состав эталона, был изменен. В настоящий момент в состав ГЭ, получившего регистрационный номер ГЭТ 49−80, входят:

— мембранно-емкостный вакуумметр ИД-01 с диапазоном измерений 1-Ю" 3-МО3 Памембранно-емкостный вакуумметр ИД-02 с устройством ком.

3 3 прессии и диапазоном измерений 1−10″ -1−10 Па;

— специальная аппаратура для создания и поддержания низких абсолютных давлений.

Эталон возглавляет государственную поверочную схему (ГПС) в диапазоне 1-Ю" 8−1-103Па согласно ГОСТ 8.107−81 [3].

Сегодня национальные эталоны единицы давления для области низкогоабсолютного давления передовых стран мира, применяемые в ведущих метрологических институтах — NIST (США), NPL-UK (Великобритания), IMGC-CNR (Италия), NRLM (Япония), CSIRO (Австралия), — используют в качестве основы жидкостные манометры с интерференционными измерителями разности уровней. Причина этого — высокая точность таких манометров и возможность определения давления на основании прямых измерений основных величин Международной системы единиц — длины и массы, и использовании значения ускорения свободного падения.

Потребности приоритетных направлений развития науки, технологий и техники России в создании и развитии критических технологий дали толчок к обновлению парка СИ низкого абсолютного давления. Получили применение прецизионные специализированные измерители и преобразователи давления нового поколения с повышенной точностью, расширенными диапазонами измерений и улучшенными функциональными возможностями. Это требует общего повышения уровня обеспечения единства измерений низкого абсолютного давления в стране, как в части создания новых более точных средств поверки и калибровки, так и в части повышения точности ГЭ. Проведенные в этой связи в Санкт-Петербургском государственном университете (СПбГУ) и во ВНИИМ в последние годы исследования показали, что одним из наиболее эффективных путей решения этой проблемы является создание U-образного лазерного интерференционного жидкостного манометра (ИЖМ), способного в настоящее время обеспечить высшую точность измерений. Это свойство ИЖМ позволяет использовать его как в основном составе ГЭ для повышения точности воспроизведения единицы давления, так и в составе рабочих (вторичных) эталонов (РЭ), создание которых предусмотрено ГПЭ. Вполне возможно и актуально применение интерференционных жидкостных манометров в качестве компараторов давления, а также в пото-кометрических вакуумных установках.

В связи с изложенным выше важность и актуальность диссертационной работы представляется очевидной.

Краткая историческая справка.

Создание прибора для измерения атмосферного давления — ртутного барометра и первые опыты, связанные с измерением пониженных давлений воздуха, относятся к эпохе Возрождения и связаны с именами Э. Торричелли, В. Вивиане, Б. Паскаля, О. фон Герике. Основным инструментом при проведении исследований были U-образные манометры с ртутным заполнением, нижний предел измерений которых составлял около 100 Па. В 1874 г. Мак-Леод предложил новый прибор — компрессионный ртутный вакуумметр, который обеспечил расширение диапазона измерений в сторону низкого абсолютного давления до 0,1 Па.

В России в 20-х гг. прошлого века в Главной Палате мер и весов по идее Д. И. Менделеева был создан многоканальный ртутный манометр, который был первым эталоном, воспроизводящим единицу давления. В 19 601 980;х гг. исследования в области измерений давления с помощью жидкостных манометров, в основном компрессионных, проводились во ВНИИМ под руководством М. А. Гуляева, А. В. Ерюхина, В. В. Кузьмина, В. А. Рыжова. В то время для отсчета разности уровней рабочей жидкости, обуславливающей погрешность измерения давления U-образными жидкостными манометрами, применялись, кроме отсчета по миллиметровой линейке, оптические и фотооптические методы. Наибольшей точности можно было достигнуть с помощью интерференционного метода, но применение в последнем случае в качестве источника света спектральной лампы сильно ограничивало диапазон измерения манометра, например до 40 Па (0,3 мм рт.ст.) в приборе французской фирмы «Сожэв» [7]. При этом отсчет смещения интерференционных полос производился визуально. Только появление лазеров в 1960;х гг. открыло новые возможности в повышении точности жидкостных манометров с расширением их верхнего предела измерения вплоть до атмосферного.

Первый лазерный интерференционный U-образный ртутный манометр был создан в 1970;х гг. в CSIRO (Harrison E.R., Hatt D.J., Prowse D.B., Австралия). Последующие десятилетия на основе жидкостных (в большинстве, ртутных) манометров с лазерным или ультразвуковым интерференционным способом измерения разности уровней строились национальные эталоны ведущих стран мира: США (Heydemann P.L.M., Tilford C.R., Hyland R.W., NIST), Англии (Poulter K.F., Nash P.J., NPL-UK), Италии (Alasia F., Capelli A., Sardi M., IMGC-CNR), Японии (Ueki M., Ooiwa A., NRLM) и др. В конце 1980;х г. г. во ВНИИМе под руководством В. А. Рыжова были начаты исследования, направленные на создание нового ГЭ, основой которого должен был стать ртутный манометр с лазерным интерференционным отсчетом [8]. По ряду причин работа была прервана и реального результата не имела.

Цель работы.

Целью диссертационной работы является разработка и исследование лазерного интерференционного жидкостного манометра высшей точности для повышения уровня обеспечения единства измерений низкого абсолютного давления.

Для достижения поставленной цели необходимо было решить следующие задачи:

— провести аналитический обзор существующих наиболее точных методов и СИ низкого абсолютного давления (включая национальные эталоны промышленно развитых стран) и осуществить выбор направления работы;

— разработать конструкцию, изготовить и испытать макет ИЖМ;

— теоретически и экспериментально исследовать влияние молекулярных свойств рабочей жидкости на точность измерений давления ИЖМ;

— провести исследование метрологических и технических характеристик макета ИЖМ с последующим анализом и оценкой результатов исследований.

Новизна результатов исследований.

1. Создан действующий макет лазерного интерференционного жидкостного манометра высшей точности, который является первой в истории отечественной метрологии разработкой, направленной на построение современного эталона единицы давления для области низкого абсолютного давления, имеющей положительные результаты.

2. Предложен и реализован новый метод уменьшения поверхностных колебаний рабочей жидкости в масляном ИЖМ с помощью поплавковдемпферов специальной конструкции, позволивший существенно снизить уровень составляющей погрешности измерений давления от влияния случайных вибраций и расширить диапазон измерений давления.

3. Впервые предложен и осуществлен метод определения составляющей погрешности измерений давления ИЖМ, обусловленной капиллярными явлениями, основанный на прямых измерениях кривизны поверхности рабочей жидкости с помощью оптического интерферометра.

4. С помощью разработанных алгоритмов и программ численного решения математической задачи о форме поверхности жидкости получена зависимость радиуса кривизны мениска от радиуса манометрической трубки ИЖМ, а также получено значение коэффициента поверхностного натяжения масла ВМ-1 по методу висящей капли.

Основные положения, выносимые на защиту.

1. Создан и исследован макет U-образного лазерного ИЖМ, позволивший доказать возможность разработки СИ давления высшей точности в диапазоне 5 + 1000 Па.

2. Создана и исследована специальная конструкция поплавков-демпферов для масляного манометра, снижающих уровень интерференционных шумов, связанных с вибрациями (от 2−3 до 0,01−0,03 интерференционной полосы), и уменьшающих влияние капиллярных явлений на погрешность ИЖМ.

3. Предложен и реализован новый вариант оптической схемы лазерного интерферометра, наиболее просто решающий задачу формирования квадратурных интерференционных сигналов и задачу уменьшения влияния излучения, возвращенного интерферометром, на работу лазера.

4. Предложен и осуществлен метод определения составляющей погрешности измерений давления ИЖМ, обусловленной капиллярными явлениями, основанный на прямых измерениях кривизны поверхности рабочей жидкости с помощью оптического интерферометра.

5. С помощью разработанной программы рассчитана зависимость кривизны мениска от радиуса трубок лазерного интерференционного манометра.

6. Разработан алгоритм и программа расчета для метода экспрессанализа коэффициента поверхностного натяжения жидкости по геометрическим размерам висящей капли.

Практическая значимость результатов работы.

Результаты, полученные в работе, могут быть использованы при создании ГЭ и РЭ единицы давления нового поколения и компараторов давления с целью повышения уровня обеспечения единства измерений низкого абсолютного давления, а также при создании потокометрических вакуумных установок.

Разработка макета ИЖМ была включена на конкурсной основе в Программу важнейших прикладных научно-исследовательских, опытно-конструкторских, технологических работ ГНЦ РФ «Всероссийский научно-исследовательский институт метрологии имени Д.И. Менделеева» на 2001 -2003 гг., раздел 3.4, № ГР 01.2.001.07654 и № ГР 01.2002.3 204 раздела «Исследования и разработки, выполняемые государственными научными центрами Российской Федерации» ФЦНТП «Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития науки и техники» на 2002;2006 гг.

Апробация работы.

Результаты работы были представлены на следующих конференциях и семинарах:

Четвертый международный семинар — совещание «Разработка, производство, применение и метрологическое обеспечение средств измерения давления и вакуума» 25−27 апреля 2000 г., СанктПетербургг Вторая всероссийская научно-техническая конференция (Computer-Based Conference) «Методы и средства измерений». Октябрь 2000 г. Н. Новгород;

Третья всероссийская научно-техническая конференция (Computer-Based Conference) «Методы и средства измерений». Август 2001 г., Н. Новгород;

Пятая всероссийская научно-техническая конференция (Computer-Based Conference) «Методы и средства измерений». Май 2002 г., Нижний Новгород;

Научно-технический семинар в PIE (Институт промышленной электроники). 20 февраля 2003 г., г. Варшава, Польша;

Научно-технический семинар «Вакуумная техника и технология — 2003». Июнь 2003 г., Санкт-Петербург;

Научно-технический семинар «Вакуумная техника и технология — 2004». Июнь 2004 г., Санкт-Петербург;

Международный вакуумный конгресс (16-th International Vacuum Congress). 28 июня-2 июля 2004 г. Венеция, Италия.

Публикации.

Результаты работы изложены в 9-ти публикациях.

Структура и объем работы.

Диссертация состоит из введения, 5-ти глав, заключения, списка используемой литературы из 93-х наименований (из них 50 отечественных, 38 иностранных, 5 нормативно-технических) и 5-ти приложений. Общий объем работы составляет 140 страниц, в том числе 28 рисунков, 8 таблиц, 3 компьютерные программы.

Основные результаты работы состоят в следующем:

1. Проведен аналитический обзор наиболее точных методов и средств измерений низкого абсолютного давления, определивший выбор направления работы.

2. Разработан и создан макет лазерного интерференционного U-образ-ного масляного манометра для воспроизведения абсолютного давления в диапазоне 1 ч-1000 Па, в состав которого входят:

— измерительная ячейка, состоящая из U-образного масляного манометра и лазерного интерферометра;

— аппаратура для создания и поддержания низкого абсолютного давления;

— электронное устройство сопряжения ИЖМ с ПЭВМ. При этом конструкция измерительной ячейки ИЖМ позволяет:

— на два порядка снизить уровень интерференционных шумов, обусловленных поверхностными волнами рабочей жидкости, с помощью плавающих поплавков-демпферов, а также уменьшить влияние капиллярных явлений на погрешность ИЖМ;

— сформировать квадратурный интерференционный сигнал и устранить влияние возвращенного излучения на работу лазера путем совмещения в одном оптическом элементе (призме полного отражения) двух функций: отражателя света и пластинки А/8, и установки на входе интерферометра поляроида, ориентированного под углом 45° к плоскости падения луча на делительную пластинку.

3. Предложен и осуществлен новый метод определения составляющей погрешности жидкостных манометров, обусловленной капиллярными явлениями, который состоит в исследовании флуктуаций кривизны поверхности жидкости в трубках манометра. Метод основан на прямых измерениях кривизны с помощью оптического интерферометра и последующей статистической обработке результатов измерений.

4. Предложена и реализована новая модификация метода измерения коэффициента поверхностного натяжения жидкости (метода висящей капли), основанная на обработке фотографического изображения капли с использованием вычислительных методов и ПЭВМ. Разработанный алгоритм и программа расчета коэффициента поверхностного натяжения представляют собой практически удобную альтернативу традиционному методу, основанному на использовании табличных данных о ее форме.

Получено значение коэффициента поверхностного натяжения для использованного в качестве рабочей жидкости манометра вакуумного масла марки ВМ-1.

5. С помощью разработанных алгоритма и программы рассчитана зависимость кривизны мениска от радиуса трубок лазерного интерференционного жидкостного манометра.

6. На основе теоретического анализа и экспериментальных исследований определены метрологические характеристики макета ИЖМ:

— диапазон измерений 1−7-1000 Па;

— СКО случайной погрешности 1,0−10″ Па;

— граница НСП 0,01%.

7. Результаты испытаний ИЖМ, проведенных в процессе международных сличений национальных эталонов России и Республики Словакия, подтвердили высокие точностные характеристики ИЖМ.

8. Сравнение метрологических характеристик существующего макета ИЖМ и прогнозируемых характеристик созданного в будущем на его основе эталонного СИ с метрологическими характеристиками ГЭТ 49−80 и национальных эталонов Великобритании, Японии и США показывает возможность значительного повышения точностных характеристик ГЭ в диапазоне 5-Я ООО Па путем введения в его состав эталонного ИЖМ и позволяет сделать вывод о перспективности создания ГЭ нового поколения, не уступающего по своим метрологическим характеристикам лучшим зарубежным аналогам.

9. Проанализирована возможность и указаны пути уменьшения как случайной, так и систематической составляющей погрешности ИЖМ в 3−5 раз, что позволит расширить диапазон измерений в область более низкого давления (менее 1 Па), сохраняя при этом высокую точность измерений.

10. Проведенные теоретические и экспериментальные исследования влияния капиллярных явлений на точность измерений низкого абсолютного давления с помощью жидкостных манометров, а также результаты исследований созданного макета ИЖМ могут быть использованы как для повышения точности воспроизведения единицы давления ГЭ, так и при создании РЭ, предусмотренных ГПС. Кроме того, интерференционные жидкостные манометры могут применяться в качестве компараторов давления, а также в потокометрических вакуумных установках.

Заключение

.

Исследования, проведенные в диссертационной работе, показали, что наиболее эффективным путем решения проблемы повышения уровня обеспечения единства измерений абсолютного давления в диапазоне 5 — 1000 Па является создание лазерного интерференционного масляного манометра, способного в настоящее время обеспечить высшую точность измерений.

Показать весь текст

Список литературы

  1. JI.H. Вакуумная техника. М.: Высшая школа, 1990. 320 с.
  2. А.В. Государственный специальный эталон единицы давления для области абсолютных давлений в диапазоне от 10″ до 10 Па // Измерительная техника. 1975. № 4. С.43−45.
  3. ГОСТ 8.107−81 ГСИ. Государственный специальный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне 1 • 10"8 -1 • 103 Па.
  4. В.А. Диссертация ВНИИМ. JI. 1964 г.
  5. М.А., Ерюхин А. В. Измерение вакуума. М.: Из-во Стандартов, 1967.147 с.
  6. В.А. Образцовый мембранно-емкостный манометр // ПТЭ. № 5. С. 198−202.
  7. B.Aubry, R.Delbart. Manometre differential interferometrique systeme Peube // Le Vide. 1965. V. 20, № 117. P.194−199.
  8. Отчет по НИР ВНИИМ. Jl. 1991 г.
  9. М.Н., Фридман А. Э., Кудряшова Ж. Ф. Качество измерений: Метрологическая справочная книга. JL: Лениздат, 1987. 295 с.
  10. В.А. О верхнем пределе измерения мембранно-емкостного компрессионного манометра//Измерительная техника. 1963. № 11. С. 14−16.
  11. В.А., Рыжов В. А. Повышение верхнего предела измерения мембранно-емкостного манометра // Исследования в области механических измерений. Труды метрологических институтов СССР. 1978. Вып. 223 (283). С. 36−38.
  12. В.Н., Садковская И. В., Чуновкина А. Г. (Россия), Крч-Турба Я., Ширицова А. (Словакия). Сличения национальных эталонов единицы давления России и Словакии в диапазоне 1−1000 Па // Измерительная техника. 1995. № 4. С. 65 66.
  13. В.Н., Садковская И. В. (Россия), Крч-Турба Я., Ширицова А. (Словакия). Результаты сличений национальных эталонов единицы давления России и Словакии в диапазоне 10"2−103 Па // Измерительная техника. 2001. № 6. С.68−71.
  14. В.Н., Садковская И. В. Мембранно емкостные вакуумметры -эталоны сравнения России и Словакии // Вакуумная техника и технология. 2002. T.12,№ 3.C.137- 139.
  15. М.К. Теория и расчет приборов с неуплотненным поршнем. М.: Из-во Стандартов, 1980. 312 с.
  16. В.В. Градуировка и поверка вакуумметров. М.: Из-во Стандартов, 1987. 136 с.
  17. Дж. Лекк. Измерение давления в вакуумных системах. М.: Мир, 1966. 207 с.
  18. Stuart P.R. Standards for measurement of pressure // Measurement and Control. 1987. V. 20, № 8. P. 7−11.
  19. Poirier F. APX50, the first fully automatic absolute pressure balance in the range 10 kPa to 1 MPa // Metrologia. 1999. V.36, № 6. P.531−533.
  20. Schmidt J.W., Yuegin Cen, Driver R.G., Bowers W.J., Houck J.C., Tison S.A., Ehrlich C.D. A primary pressure standard at 100 kPa // Metrologia. 1999. V.36, № 6. P.525−529.
  21. Bandyopadhyay A.K., Gupta A.C. Realization of a national practical pressure scale for pressures up to 500 MPa // Metrologia. 1999. V.36, № 6. P.681−688.
  22. B.H. Современное состояние эталонной базы ВНИИМ им. Д. И. Менделеева в области измерений избыточного давления и разности давлений // Главный метролог. 2003. № 5. С. 9−14.
  23. Stuart P.R. Progress Report on an International Intercomparison in the Pressure Range 10 kPa to 140 kPa // Metrologia. 1994. V.30, № 6. P.705−709.
  24. Harrison E.R., Hatt D.J., Prowse D.B., Wilbur-Ham J. A New Interferometric Manometer // Metrologia. 1976. V.12. P. l 15−122
  25. Ueki M., Ooiwa A. A Heterodyne Laser Interferometric Oil Manometer // Metrologia. 1993/94. V.30. P. 579−583.
  26. Alasia F., Capelli A., Cignolo G., Goria R., Sardi M. The MM1 laser interferometer low-range mercury manometer of the IMGC // Metrologia. 1999. V.36. P.505−509.
  27. Miiller A.P., Bergoglio M., BignellN., Fen K.M.K., Hong S.S., JoustenK., Mohan P., Redgrave F J., Sardi M. Final Report on Key Comparison CCM. P-K4 in Absolute Pressure from 1 Pa to 1000 Pa // Metrologia, 2002, 39, Tech. Suppl., 7 001.
  28. Ooiwa A., Ueki M., Kaneda R. New Mercury Interferometric Baromanometer as the Primary Pressure Standard of Japan // Metrologia. 1993/94. 30, № 6. P.727−731.
  29. Tilford C.R. Three and a Half Centuries Later The Modern Art of Liquid -column Manometry//Metrologia. 1993/94.30. P. 545−552.
  30. Jitschin W. High accuracy calibration in the vacuum range 0,3 Pa to 4000 Pa using the primary standard of static gas expansion // Metrologia. 2002. V.39. P.249−261.
  31. Rendle C.G., Rosenberg H. New absolute pressure standard in the range 1 Pa to 7 kPa//Metrologia. 1999. V.36. P.613−615.
  32. .И. Эталонный манобарометр // Труды метрологических институтов СССР. М.: Из-во Стандартов. 1977. вып. 213 (273). С. 5−17.
  33. Poulter K.F., Nash P.J. An interferometric oil micromanometer // J.Phys.E: Sci. Instrum. 1979. V.12. P. 931−936.
  34. Thomas A.M., Johnson D.P., Little J.W. Design of an Interferometric Oil Manometer for Vacuum Measurement // The Ninth National Vacuum Symposium, American Vacuum Society. 1962.
  35. Heydemann P.L.M., Tilford C.R., Hyland R.W. Ultrasonic manometers for low and medium vacuum under development at the National Bureau of Standards // J. Vac. Sci. Technol., 1977. V. 14(1). P 597−605.
  36. Alasia F., Birello G., Capelli A., Cignolo G., Sardi M. The HG5 laser interferometer mercury manometer of the IMGC // Metrologia. 1999. V.36,№ 6. P.499−503.
  37. Tesar J., Krajicek Z., Schultz W. Pressure comparison measurements between the CMI and the PTB in the range 0,07 MPa to 0,4 MPa // Metrologia. 1999. V.36, № 6. P.647−650.
  38. Stuart P.R. Measurement Uncertainties of U-tube Manometers and Pressure Balances // Metrologia. 1994. V.30, № 6. P.727−731.
  39. A.A., Астров Д. Н., Белянский Л. Б., Дедиков Ю. А., Полунин С. П. Интерференционный ртутный манометр // Приборы и техника эксперимента. 1986. № 6. С. 196−201.
  40. Legras J.C., Jager J., Molinar G.F., Palomino S., Quintas J., White M.R. EUROMET Intercomparison in the Pressure Range 100 MPa to 700 (1000) MPa // Metrologia. 1994. V.30, № 6. P.721−725.
  41. Бэр. Г. Д. Техническая термодинамика. М.: Мир, 1977. 518 с.
  42. W.A. Van Hook. Triple Point Pressures as Secondary Standards (Especially Water) // Metrologia. 1971. V.7, № 1. P.499−503.
  43. Guilduer L.A., Johnson D.P., Jones F.E. Vapor pressure of water at its triple point // J. of Research of the National Bureau of Standards. 1976.V.80A, № 3. P. 505.
  44. Bedford R.E., Bonnier G., Maas H., Pavese F. Recommended Values of Temperature for a Selected Set of Secondary Reference Points // Metrologia. 1984. V.20, № 4. P. 145−155.
  45. C.JI., Нечай А. А., Зенкин Е. Ф., Походун А. И. Исследование метрологических характеристик реперной точки плавления галлия // Метрология. 1987. № 1. С. 39−41.
  46. Bignell N., Bean V.E. A Fixed Point on the Pressure Scale: Carbon Dioxide Vapor Pressure at 273,16K//Metrologia. 1988. V.25, № 3. P. 141−145.
  47. Pavese F. The use of triple point of gases in sealed cells as pressure transfer standards: oxigen (14 625 Pa), methane (11 696 Pa) and argon (68 890 Pa) // Metrologia. 1981. V.17, № 2. P. 35−42.
  48. Bonhoure J., Pello R. Cellule a' Point Triple de Г Argon: Instrument de Transfert de Pression//Metrologia. 1983. V.19, № 1. P. 21−23.
  49. Bonnier G. Point Triple de I' Argon (83,798 K) Reference de Transfert // Bull. BNM. 1975. № 22. P. 14−16.
  50. C.H., Степанов А. Ю., Супрунюк B.B. Метод построения вторичных эталонов абсолютного давления на основе фиксированных точек давления фазовых переходов чистых веществ // Измерительная техника.1987. № 6. С. 23−25.
  51. С.Н., Супрунюк В. В., Степанов А. Ю. Способ получения эталонных давлений // А.с. № 1 425 500 СССР. MKU4G01L27/00. Бюлл. изобр.1988. № 35.
  52. Е.С., Гришин С. Ф., Гришина Е. Я. Упругость паров азота и водорода при низких давлениях // Журнал технической физики. 1960. Т.30, вып.5. С. 539−545.
  53. В.А., Сычев В. В., Шейндлин А. Е. Техническая термодинамика. М.: 1983. С. 123−132.
  54. М.К. Об уравнении Р-Т кривой плавления // Измерительная техника. 1976. № 4. С. 49−52.
  55. М.К. Результаты проверки уравнения Р-Т кривой жидкость-пар // Труды метрологических институтов СССР. М.: ВНИИМС. 1977. вып.213 (273). С.73−88.
  56. М.К. Результаты проверки уравнения Р-Т кривой сублимации // Измерительная техника. 1980. № 7. С. 43−46.
  57. М.К. Результаты проверки универсального уравнения Р-Т кривых фазовых переходов первого рода // Измерительная техника. 1989. № 3. С. 21−23.
  58. М.К. Об особенностях универсального уравнения Р-Т кривой фазовых переходов первого рода // Измерительная техника. 1989. № 11. С.51−53.
  59. М.К., Новикова С. И., Оглоблина Г. А. Термодинамический метод воспроизведения малых абсолютных давлений // Труды метрологических институтов СССР. М.: ВНИИМС. 1977. вып.213 (273). С.66−72.
  60. О.Б., Новикова С. И. Оценка погрешности воспроизведения абсолютных малых давлений по процессу сублимации аргона // Сборник научных трудов «Исследования в области измерений давления». М.: ВНИИМС. 1985. С. 28−37.
  61. М.К., Новикова С. И. Разработка термодинамического метода воспроизведения малых абсолютных давлений. Науч-техн. реферативный сборник «Метрологическая служба СССР». Новые методы и средства точных измерений. 1982. вып.7. С. 29−34.
  62. В.Н., Рыжов В. А., Фетисов В. А., Ефет Е. Е. Способ воспроизведения единицы давления и устройство для его осуществления // А. с. № 1 569 619. СССР. 1990. Бюлл. изобр. № 21.
  63. Jousten К., Menzer Н., Wandrey D., Niepraschk R. New, fully automated, 1П «7primary standard for generating vacuum pressures between 10″ Pa and 3−10″ Pa with respect to residual pressure // Metrologia. 1999. V.36, № 6. P.493−497.
  64. Hong S.S., Chung K.H., Hirata M. Bilateral comparison of high-vacuum standards at the KRISS and the ETL // Metrologia. 1999. V.36, № 6. P.643−645.
  65. Szwemin P., Szymanski K., Jousten K. Monte Carlo study of a new PTB primary standard for very low pressures // Metrologia. 1999. V.36, № 6. P.561−564.
  66. В.В. Развитие экспансионных методов градуировки вакуумметров // Вакуумная техника и технология. 2003. Т. 13, № 2. С. 59 75.
  67. В.Н., Леонтьев В. Н., Садковская И. В., Эйхвальд А. И. Эталонная аппаратура для воспроизведения единицы давления в области низких абсолютных давлений // Вакуумная техника и технология. 2002. Т.12, № 1. С. 23 -25.
  68. В.П., Ханов В. А. Лазерные интерферометры и их применение. Новосибирск: Институт автоматики и электрометрии СО АН СССР, 1984. 102 с.
  69. В.А., Привалов В. Е. Применение лазеров в приборах точной механики. Санкт-Петербург: Политехника, 1993. 216 с.
  70. В.П., Коронкевич В. П. Лазерные интерферометры перемещений // Автометрия. 1998. № 6. С. 65−84.
  71. М., Вольф Э. Основы оптики. М.: Наука, 1970. 855 с.
  72. Н.Р., Ирикова Л. А. Длины волн монохроматических источников света и показатели преломления в стандартном и нормальном воздухе // Гос. служба стандартных и справочных данных. М.: Из-во Стандартов, 1968.18 с.
  73. Д.В. Общий курс физики. Механика. М.: Наука, 1979. 450 е., Термодинамика и молекулярная физика. М.: Наука, 1979. 552 с.
  74. А.В., Рыжов В. А. Депрессия ртути в капиллярах компрессионных манометров // Труды ВНИИМ, 1962. вып. 66 (126). С. 46−51.
  75. CRC Handbook of Chemistry and Physics 1997−1998. Boca Raton, FL: CRC Press.1997−1998.
  76. П.Н. Труды ВНИИМ. 1958. вып. 32 (92). 91 с.
  77. И.В., Эйхвальд А. И. Жидкостный манометр с интерференционным отсчетом для измерения давления газа // Научно-технический семинар „Обеспечение единства измерений“: Тез. докл. СПб, 2000. С.36−37.
  78. И.В. Интерференционный жидкостный манометр // 2-ая Всероссийская научно-техническая конференция (Computer-Based Conference): Тез. докл. Н. Новгород, 2000. С. 26.
  79. И.В. Виброзащитное устройство интерференционного жидкостного манометра // Материалы 3-ей Всероссийской научно-технической конференции (Computer-Based Conference). Н. Новгород. 2001. С. 20.
  80. И.В. Измерение низкого абсолютного давления газа, интерференционным жидкостным манометром // Материалы 5-ой Всероссийской научно-технической конференции (Computer-Based Conference). Н.Новгород. 2002. С. 44.
  81. И.В., Эйхвальд А. И. Интерференционный U-образный масляный манометр для измерения низких абсолютных давлений // Вакуумная техника и технология. 2003. Т. 13, № 2 С.101−106.
  82. Sadkovskaya I.V., Eichwald A.I.» Special floats for intereferometric oil manometer Abstracts of 16th International Vacuum Congress (June 28 -July 2,2004, Venice, Italy), Posters. P. 1012.
  83. И.В., Эйхвальд А. И. О влиянии капиллярных эффектов на точность измерения давления жидкостными манометрами // Измерительная техника. 2005. № 3. С. 24−26.
  84. В.И. Курс высшей математики. М.: Наука, 1965. Т.2. 656 с.
  85. Г., Корн Т. Справочник по математике. М.: Наука, 1977. 832 с.
  86. Таблицы физических величин. Справочник. Под ред. И. К. Кикоина. М.: Атомиздат, 1976. 1008 с.
  87. А.И., Прохоров В. А. Межфазная тензиометрия. СПб.: Химия, 1994.397 с.
  88. Bashforth F., Adams J.C. An attempt to test the theories of capillary action. Cambridge: University Press, 1883.140 p.
  89. J. M., Hauser E.A., Tucker W.B. // J. Phys. Chem. 1938. V. 42, № 8. P. 1001−1019.
  90. Winkel D. Theoretical Refinement of the Pendant Drop Method for Measuring Surface Tensions // J. Phys. Chem. 1965. V. 69, № 1. P. 348−350.
  91. ГОСТ 8.381−80. ГСП. Эталоны. Способы выражения погрешностей.
  92. МИ 2552−99. Рекомендация. ГСИ. Применение «Руководства по выражению неопределенности измерений». Санкт-Петербург. 2000. 26 с.
  93. Программа управления процессом измерения давления ИЖМinclude #include ftinclude #include int dat=OxFFFF- //буфер данныхvoid menu (void), pause (int) —
  94. Чтение данных inport (0×278) */
  95. Опрос триггеров dat & 0×3000 */
  96. Сброс счетчика outportb (0×27А, 0×20) — outportb (0×27А, 0×21)-outportb (0×27А, 0×20) — */
  97. Показания эталонов, мм.рт.ст. Расхождение показаний
  98. S 0,89 893 0.90 018 0.125 0.149 0,99 968 1.90 0.122 0.12
  99. Показания эталонов, мм.рт.ст. Расхождение показаний
  100. ЯнКрч-Турба'7 АннаШирицова $уt'
  101. От ВНИИМ им. Д.И. Менделеева1. В. Н. Горобейs^Asj А. И. Эйхвальд И. В. Садковская1. Дрртоколсличений U-образного жидкостного манометра с интерференционным отсчетным устройством (ИЖМ) с эталоном Словакии19.30 сентября 2003 г.
  102. Показания эталонов, мм.рт.ст. Расхождение показаний
  103. От ВНИИМ им. Д. И. Менделеева Or SMU
  104. S^/Oj/^ в. Н. Горобей Крч-Турба• / -Г
  105. А. И. Эйхвальд /, АннаШирицова11. О^.—¦ И. В. Садковская1. Протоколсличений U-образного жидкостного манометра с интерференционным отсчетным устройством (ИЖМ) с эталоном Словакии19.30 сентября 200 Зг.
  106. Показания эталонов, мм.рт.ст. Расхождение показаний
  107. От ВНИИМдш. Д. И. Менделеева В. Н. Горобей. А. И. Эйхвальд И. В. Садковская1. Or SMU1. Ян Крч-ТурбаI1. Анна Ширицова
  108. Программа расчета коэффициента поверхностного натяжения жидкости методом висящей капли
  109. Программа строит решение задачи о форме капли жидкости (масла) в осесимметричном случае
  110. Программа расчета формы мениска
  111. Программа строит решение задачи о форме мениска на поверхности жидкости (масла) в осесимметричном случае (в цилиндре).
  112. Исходные параметры: кривизна в центре RO, ro*g/sigma=0.87*980/32=28 CGSE.
Заполнить форму текущей работой