Лазерный синтез газочувствительных нанокристаллических пленок на основе SnO2
Диссертация
Благородных металлов в полупроводниковые оксиды широко используется при создании газочувствительных материалов, при этом функциональные свойства материала существенно зависят от характера распределения легирующих добавок между объемом и поверхностью оксида. Химические методы синтеза приводят к тому, что легирующая добавка равномерно распределяется в объеме оксидной матрицы до необходимых мольных… Читать ещё >
Содержание
- ГЛАВА 1. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ ПО МЕТОДАМ ЛАЗЕРНОГО СИНТЕЗА ОКСИДНЫХ ПЛЕНОК
- 1. 1. Формирование оксидных пленок на поверхности полупроводников и металлов под действием лазерного излучения, лазерный отжиг, геттерирование, имплантация
- 1. 2. Взаимодействие лазерного излучения с веществом, лазерная абляция материалов
- 1. 3. Результаты экспериментальных и теоретических исследований лазерной абляции материалов
- 1. 4. Технологии синтеза полупроводниковых пленочных материалов с применением лазерной плазмы
- 1. 5. Модификация поверхностных свойств материалов при плазменном и ионном воздействии
- 1. 6. Выводы из обзора литературы
- ГЛАВА 2. ЭКСПЕРИМЕНТЫ ПО ИССЛЕДОВАНИЮ ЛАЗЕРНОЙ АБЛЯЦИИ МЕТАЛЛОВ
- 2. 1. Схема экспериментального комплекса, обоснование применяемых методов измерений и технические характеристики приборов
- 2. 2. Эксперименты по определению плотности потока энергии на мишенях
- 2. 3. Электростатическое зондирование лазерной плазмы Pd и Pt
- 2. 4. Определение зависимости абляционных потерь мишеней и толщин пленок на подложках от плотности потока энергии лазерного излучения
- 2. 5. Управление структурой и зарядовым составом плазмы
- 2. 6. Анализ и интерпретация результатов исследований лазерной абляции металлов
- ГЛАВА 3. ЛАЗЕРНЫЙ СИНТЕЗ МЕТАЛЛОКСИДНЫХ НАНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК НА ОСНОВЕ Sn02, ИССЛЕДОВАНИЯ СТРУКТУРЫ, СОСТАВА, МОРФОЛОГИИ, МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОФИЛЕЙ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ЛЕГИРУЮЩИХ МЕТАЛЛОВ
- 3. 1. Лазерный синтез металл оксидных нанокристаллических пленок на основе Sn
- 3. 2. Исследования фазового состава и микроструктуры пленок Sn, Sn
- 3. 3. Исследования морфологии пленок Sn02(Pd), Sn02(Pt)
- 3. 4. Исследования профилей распределения легирующих металлов по толщине пленок Sn02(M)
- 3. 5. Моделирование процессов имплантации и распределения Pd и Pt в пленках Sn02, Sn02(Cu)
- ГЛАВА 4. ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА И
- ГАЗОЧУВСТВИТЕЛЬНОСТЬ МЕТАЛЛОКСИДНЫХ НАНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК
- 4. 1. Электрофизические свойства и газочувствительность пленок Sn02, Sn02(Pd) и Sn02(Pd, Cu)
- 4. 2. Электрофизические свойства и газочувствительность тонких пленок Sn02, Sn02(Pt)
- 4. 3. Анализ и интерпретация результатов исследований электрофизических свойств и газочувствительности пленок Sn02, Sn02(Pd), Sn02(Pd, Cu), Sn02(Pt)
Список литературы
- Н.Б. Делоне. Взаимодействие лазерного излучения с веществом. М.: Наука, 1989.
- Дж.Рэди. Действие мощного лазерного излучения. Пер. с англ.- М.: Мир, 1974.
- В.А. Бойко, О. Н. Крохин, Г. В. Склизков. Исследование параметров и динамики лазерной плазмы при острой фокусировке излучения на твердую мишень. В сб. Лазеры и их применение. Труды ФИАН, Т.76, с. 186−228. М.: Наука, 1974.
- J.Cheung, J.Horwitz. Pulsed Laser Deposition History and Laser-Target Interaction. Mater. Res. Bull., 2, p. 30−36 (1992)
- F.Beech, I.W.Boyd. Laser Ablation of Electronic Materials. In Photochemical Processing of Electronic Materials. Ed. by I.W.Boyd and R.B. Jackman Academic Press, New York, (1991)
- B.E. Knox. Mass spectrometric studies of laser-induced vaporization. I. Selenium Mater. Res. Bull., 3, p.329−336 (1968)
- B.E. Knox, V.S. Ban, J. Schottmiller. Mass spectrometric studies of laser-induced vaporization. II. The bismuth-selenium system. Mater. Res. Bull., 3, p.337−348, (1968)
- B.N. Chichcov, C. Momma, S. Nolte, F. von Alvensleben, A. Tunnermann. Femtosecond, picosecond and nanosecond laser ablation of solids. Appl. Phys. A, V.63, N.2, p. 109−115 (1996)
- В. С. Жигалов. Лазерные технологии. Под ред. проф., д.т.н. А. А. Лепешева. Красноярск, 1998.
- Rethfeld В., Anisimov S. On the stability of metal evaporation produced by an ultrashort laser pulse. JET? Lett, V.62,1.11, p.859−862 (1995)
- V.S. Ban, D.A. Kramer. Thin films of semiconductors and dielectrics produced by laser evaporation. J.Matter.Sci., V.5, N. l 1, p.978−982, (1970)
- S.G. Mayr, M. Moske, K. Samwer, M.E. Taylor, H. A. Atwater. The role of particle energy and pulsed particle flux in physical vapor deposition and pulsed-laser deposition. Appl. Phys Lett, (1999), V. 75,1. 26, pp. 4091−4093
- S. Metev, M. Ozegowski, G. Sepold, S. Burmester. Plasma parameters in pulsed laser-plasma deposition of thin films. Appl. Surf. Sci. V.96−98, p. l 22 125 (1996)
- T. Venkatesan, S.M. Green. Pulsed Laser Deposition: Thin Films in a Flash. The Industrial Physicist (AIP), p.22−24 (1996)
- H. Schwartz, H.A. Tourtelotte. Vacuum Deposition by High-Energy Laser with Emphasis on Barium Titanate Films J. Vac. Sci. Technol., V.6, 1.3, p. 373−378, (1969)
- J.Cheung, G. Niizawa, J. Moyle, N.P.Ong, B.M. Paine, T. Vreeland Jr. HgTe and CdTe epitaxial layers and HgTe-CdTe superlattices grown by laser molecular beam epitaxy. J. Vac. Sci. Technol. A4, p.2086−2090 (1986)
- J.Cheung, J. Madden. Growth of HgCdTe epilayers with any predesigned compositional profile by laser molecular beam epitaxy. J. Vac. Sci. Technol. B5, p.705−708 (1987)
- J.Cheung, E.-H. Cirlin, N. Otsuka. Structure of nonrectangular HgCdTe superlattices grown by laser molecular beam epitaxy. Appl. Phys Lett. 53, p.310−312 (1988)
- D.Lubben, S.A. Barnett, K. Suzuki, S. Gorbatikin, J.E. Green. Laser-induced plasmas for primary ion deposition of epitaxial Ge and Si films. J. Vac.Sci. Technol. ЪЪ, p.968−974 (1985)
- H. Sankur, J. T. Cheung. Formation of dielectric and semiconductor thin films by laser-assisted evaporation. Applied Physics A: Materials Science & Processing. V.47, N.3 (1988) p. 271 284
- H. 0. Sankur, W. J. Gunning, Deposition of optical thin films by pulsed laser assisted evaporation, Appl. Opt. 28, p.2806 (1989)
- G. Helland. Homogenious semiconducting gas sensors. Sensors & Actuators, 2, p.343−361(1982)
- W. Gopel. Solid-state chemical sensors: atomistic models and research trends. Sensors & Actuators, 16, p. 167−193 (1989)
- N. Barsan, U. Weimar. Conduction Model of Metal Oxide Gas Sensors. J. of Electroceramies, 7, p. 143−167 (2001)
- B.B. Розанов, O.B. Крылов. Спилловер водорода в гетерогенном катализе. Успехи химии, -66 (2), с.117−130 (1997)
- L. Nanai, R. Vajtai, I. Kovacs, I. Hevesi. Structural Investigations and Microhardness of Metal Oxide Layer Grown by C02 Laser Light. J. Less Comm. Metals 142 (1−2), p.105−107 (1988)
- L. Nanai, Vajtai R., Kovacs I., Hevesi I. On the Kinetics of Laser Light Induced Oxidation Constant of Vanadium. J. Less Comm. Metals, 152 (2), L23-L26(1989)
- L. Nanai, R. Vajtai, I. Hevesi, D.A. Jelski, T.F.George. Metal Oxide Layer Growth under Laser Irradiation. Thin Solid Films. Ill (1), p.13−17 (1993)
- L. Nanai, R. Vajtai, T.F.George. Laser-induced Oxidation of Metals- State of the Art. Thin Solid Films. 298, p. 160−164 (1997)
- A.M. Ховив. Лазерный метод формирования оксидных пленок на поверхности проводящих твердых тел. Изд-во ВГУ., Воронеж, 1997.
- A.M. Ховив, JI.B. Барсукова, В. З. Анохин. Термическое и лазернотермическое окисление титана в интервале температур 773−993К. Изв. РАН, Неорг. Матер., Т.28, N5, с.1019−1021 (1992)
- К. Steiner, G. Sulz, Е. Neske, Е. Wagner. Laser annealing of Sn02 thin-film gas sensors in single chip packages, Sens. & Actuat,.B 26−27, p.64−67 (1995)
- Ю.А. Быковский, B.H. Неволин, В. Ю. Фоминский. Ионная и лазерная имплантация металлических материалов. М.: Энергоатомиздат, 1991.
- JI.A. Новицкий. Оптические свойства веществ. //В спр: Физические величины, под ред. И. С. Григорьева, Е. З. Мейлихова. М.: Энергоатомиздат, 1991, с.766−793.
- Т.М. Лифшиц, А. Л. Мусатов. Электронная и ионная эмиссия. // Там же, с.567−592.
- С.Д. Лазарев, Е. З. Мейлихов. Электрофизические свойства полупроводников. // Там же, с.454−538.
- B.C. Егоров, И. Н. Хлюстиков. Электрические свойства металлов и сплавов. // Там же, с.437−453.
- А.А. Радциг, В. М. Шустряков. Ионизация атомов и молекул. // Там же, с.411−429.
- А.В. Елецкий. Элементарные процессы в газах и плазме. // Там же, с.391−410.
- А.В. Инюшкин. Теплопроводность. // Там же, с.337−363.
- Э.Б. Гельман. Плавление и кипение. // Там же, с.288−329.
- М.Н. Хлопкин. Теплоемкость. // Там же, с. 197−220.
- А.Дж. Сивере. Спектральная селективность сложных материалов. // В сб. Преобразование солнечной энергии. Вопросы физики твердого тела. Под ред. Б.Серафина. Пер. с англ.- М.: Энергоиздат, 1982, с.56−106.
- А.Фаренбух, Дж. Аранович. Гетеропереходы и поверхностные явления в фотоэлектрических преобразователях. // Там же, с.227−291.
- С.И. Анисимов, Б. С. Лукьянчук, А. Лучес. Динамика трехмерного расширения пара при импульсном лазерном испарении. ЖЭТФ, т. 108, вып. 1(7), с. 240−257(1995)
- С. И. Анисимов, М. И. Трибельский, Я. Г. Эпельбаум Неустойчивость плоского фронта испарения при взаимодействии лазерного излучения с веществом. ЖЭТФ, т.51, с. 1597−1605 (1980)
- С.И. Анисимов, Б. С. Лукьянчук. Избранные задачи теории лазерной абляции. УФН, т.172 (3), с.301−333 (2002).
- С.И. Анисимов, Я. А. Имас, Г. С. Романов, Ю. В. Ходыко. Действие излучения большой мощности на металлы. М.: Наука, 1970.
- S.I. Anisimov, N.A. Inogamov, A.M. Oparin, В. Rethfeld, Т. Yabe, M. Ogawa, V.E. Fortov. Pulsed laser evaporation: equation of state effects. Appl.Phys.A (Mater.Sci.&Proc.), V.69, N.6, p.617−620 (1999)
- C.L. Liu, J.N. Leboeuf, R.F. Wood, D.B. Geobegan, J.M. Donato, K.R. Chen, A.A. Puretzky. Computational modeling of physical processes during laser ablation. Mater.Sci.& Engin. B, VAl, 1.1, p.70−77 (1997)
- Т.Е. Itina, W. Marine, M. Autric. Mathematical modelling of pulsed laser ablated flows. Appl. Surf. Sci. V.154−155, p.60−65 (2000)
- H. Horisawa, I. Kimura. Fundamental study on laser plasma accelerator for propulsion applications. Vacuum. V.65, p.389−396 (2002)
- M.J. Grout, G.J. Pert, A. Djaoui. The effect of Coulomb explosion ion heating in optical-field ionised nitrogen X-ray laser schemes. Opt. Commun.,.111, 1.1−6, p.333−345 (2000)
- L. Feng, Yu-kun Ho. The gain of kinetic energy of particles during atom-ion collisions in an intense laser field. Phys.Lett.A, V.251,1.2, p. 121−125 (1999)
- K. Mochiji, N. Itabashi, S. Yamamoto, H. Shimizu, S. Ohtani, Y. Kato, H. Tanuma, K. Okuno, N. Kobayashi. Desorption induced by electronic potential energy of multiply charged ions. Surf. Sci., 357−358, p.673−677 (1996)
- A.T. Georges. Theory of the multiphoton photoelectric effect: A stepwise exitation process. Phys. Rev. B, V.51, N 19, p. 13 735−13 738 (1995)
- L. Torrisi, L. Ando, S. Gammino, J. Krasa, L. Laska. Ion and neutral emission from pulsed laser irradiation of metals. Nucl.Instr.& Meth B, V.184, 1.3, p.327−336 (2001)
- E.D. Palik (Ed.). Handbook of Optical Constant. Vol.11, Academic Press, New York, 1991.
- D. von der Linde, K. Sokolowski-Tinten. The physical mechanisms of short-pulse laser ablation. Appl. Surf. Sci, V.154−155, p.1−10 (2000)
- D. Martin, Т. Jacob, F. Stietz, B. Fricke, F. Trager. Site-selective, resonant photochemical desorption of metal atoms with laser light: manipulation of metal surfaces on the atomic scale. Surf. Sci, V.526 (1−2), L151-L157 (2003)
- F. Stietz, M. Stuke, J. Viereck, T. Wenzel, F. Trager. Fundamental reactions in laser ablation of metals: defect-initiated bond breaking. Appl. Surf SHV. 127−129, p.64−70 (1998)
- W. Hoheisel, M. Vollmer, F. Trager. Desorption of metal atoms with laser light: Mechanistic studies. Phys. Rev. B, У AS, 1.23, p.17 463−17 476 (1993)
- I. Lee, J.E. Parks, T.A. Callcott, E.T.Arakawa. Surface-plasmon-induced desorption by the attenuated-total-reflection method. Phys. Rev. B, V.39, 1.11, p.8012−8014 (1989)
- A.M. Bonch-Bruevich, T.A. Vartanyan, Yu.N. Maksimov, S.G. Przhibel’ski, V.V. Khromov. Photodesorption and work function study of long-living excited electronic states on metal surfaces. Surf. Sci V.307−309, Parti, p.350−354(1994)
- T. Gotz, M. Bergt, W. Hoheisel, F. Trager, M. Stuke. Non-thermal laser-induced desorption of metal atoms with bimodal kinetic energy distribution. Appl. Phys. A, V.63, N.4, p.315−320 (1996)
- R. Stoian, D. Ashkenasi, A. Rosenfeld, M. Wittmann, R. Kelly, E.E.B. Campbell. The dynamics of ion expulsion in ultrashort pulse laser sputtering of A1203. Nucl. InstrA Meth. B, V.166−167, p.682−690 (2000)
- R. Stoian, H. Varel, A. Rosenfeld, D. Ashkenasi, R. Kelly, E.E.B. Campbell. Ion time-of-flight analisis of ultrashort pulsed laser-induced processing of AI2O3. Appl. Surf Sci. 165, p.44−55 (2000)
- A.J. Pedraza. Interaction of UV laser light with wide band gap materials: Mechanism and effects. Nucl.Instr.&Meth.B, V.141, p.709−718 (1998)
- S. Amoruso, X. Wang, C. Altucci, C. de Lisio, M. Armenante, R. Bruzzese, R. Velotta. Thermal and nonthermal ion emission during high-fluence femtosecond laser ablation of metallic targets. Appl. Phys. Lett. У.77, 1.23, p.3728−3730, (2000)
- Amoruso S., Wang X., Altucci C., de Lisio C., Armenante M., Bruzzese R., Spinelli N., Velotta R. Double-peak distribution of electron and ion emission profile during femtosecond laser ablation of metals. Appl. Surf. Sci, V.186,1.1−4, p.358−363 (2002)
- I. Zergioti, M Stuke. Short pulse UV laser ablation of solid and liquid gallium. Appl. PhysA, V.67, N.4, p.391−395 (1998)
- P.P. Pronko, S.K. Dutta, D. Du, R.K. Singh. Thermophysical effects in laser processing of materials with picosecond and femtosecond pulses. J. Appl. Phys, V.78,1.10, p.6233−6240 (1995)
- S. Nolte, C. Momma, H. Jacobs, A. Tunnermann, B.N. Chichcov, B. Wellegehausen, H. Welling. Ablation of metals by ultrashort laser pulses. J. Opt. Soc. Am. B, V.14,1.10, p.2716−2722 (1997)
- K. Furusawa, K. Takahashi, H. Kumagai, M. Midorikawa, M. Obara. Ablation characteristics of Au, Ag, and Cu metals using a femtosecond Ti: sapphire laser. Appl. Phys A, V.69, N.7, p.359−365 (1999)
- S. Amoruso. Modeling of laser produced plasma and time-of-flight experiments in UV laser ablation of aluminium targets. Appl. Surf. Sci. V.138−139, p.292−298 (1999)
- S. Amoruso, M. Armenante, V. Berardi, R. Bruzzese, R. Velotta, X. Wang. High fluence visible and ultraviolet laser ablation of metallic targets. Appl. Surf. Sci. V.127−129, p.1017−1022 (1998)
- S. Amoruso, V. Berardi, R. Bruzzese, N. Spinelli, X. Wang. Kinetic energy distribution of ions in the laser ablation of copper targets Appl. Surf Sci. V.127−129, p.953−958 (1998)
- L. Torrisi, S. Gammino, L. Ando, V. Nassisi, D. Doriac, A. Pedone. Comparison of nanosecond laser ablation at 1064 and 308 nm wavelength. Appl. Surf. Sci V.210,1.3−4, p.262−273 (2003)
- Young-Ku Choi, Hoong-Sum Im, Kwang-Woo Jung. Temporal evolution of laser-ablated Co+ ions probed by time-of-flight mass spectrometry. Appl. Surf. Sci. V.150, p.152 -160 (1999)
- Kevin H. Song, Xianfan Xu. Explosive phase transformation in excimer laser ablation. Appl. Surf. Sci. V.127−129, p. l 11−116 (1998)
- X. Xu, G. Chen, K.H. Song. Experimental and numerical investigation of heat transfer and phase change phenomena during excimer laser interaction with nickel. Int. J. Heat Mass Transfer, V.42, L8, p.1371−1382 (1999)
- A. Miotello, R. Kelly. Critical assessment of thermal models for laser sputtering at high fluences. Appl. Phys. Lett. V.67,1.24, p.3535−3537 (1995)
- R. Kelly, A. Miotello. Comments on explosive mechanisms of laser sputtering. Appl. Surf Sci. V.96−98, p.205−215 (1996)
- P. E. Dyer. Electrical characterization of plasma generation in KrF laser Cu ablation. Appl. Phys. Lett, V.55,1.16, p.1630−1632 (1989)
- M.H. Либенсон. Фотофизические процессы и быстрые неустойчивости при ультракоротких импульсных лазерных воздействиях на металлы. В сб. под ред. И. П. Гурова и С. А. Козлова: Проблемы когерентной и нелинейной оптики: СПб: СПбГИТМО, с.26−43 (2002)
- Асеева А.А., Либенсон М. Н. Неравновесный нагрев металла в условиях сильной лазерно-индуцированной электронной эмиссии. В сб. трудов 2-ой Международной конференции «0птика-2001». СПб: ИТМО, с. 159 (2001)
- E. G. Gamaly, N. R. Madsen, M. Duering, A. V. Rode, V. Z. Kolev, B. Luther-Davies. Ablation of metals with picosecond laser pulses: Evidence of long-lived nonequilibrium conditions at the surface. Phys. Rev. B, 71, p. 174 405−174 416 (2005)
- Л.Б. Беграмбеков. Модификация поверхности твердых тел при ионном и плазменном воздействии. М: МИФИ, 2001.
- В.Н. Неволин, В. Ю. Фоминский, А. Г. Гнедовец, В. Е. Кошманов. Экспериментальные исследования и моделирование имплантации ионов из импульсной лазерной плазмы в импульсных электрических полях. ЖТФ, Т.75, вып.6, с.32−37 (2005)
- J.F.Ziegler, J.P.Biersack. Ions in Solids (SRIM-TRIM) 28−024, IBM-Research, Yorktown, NY, USA.
- Y.A. Bykovsky, A.S. Tsubin, K.I. Kozlovsky, A.E. Shikanov. Intense ion beams from laser plasma: production and application. Appl. Radiat. Isot., V.46, N.6/7, p.723−724.
- Ahmed A.I. Khalil. Production of current and ion beams on a copper surface by laser radiation of various wavelengths under the presence of an applied electric field. Surface and Coatings Technology. V.200, 1.1−4, p. 774−779(2005)
- В.Н. Неволин, В. Ю. Фоминский, И. В. Костычев, В. Е. Кошманов. Имплантация ионов и осаждение покрытий из лазерной плазмы в интенсивных импульсных полях. Тез. Докл. Научн. конф. МИФИ-2002, с. 1449
- В.Е. Кошманов, A.JI. Смирнов, В. Ю. Фоминский. Исследование энергетического спектра ионов, имплантируемых из лазерной плазмы в импульсных электрических полях. Тез. Докл, Научн. конф. МИФИ-2003, с.1457
- L. Torrisi, S. Gammino, A.M. Mezzasalma, J. Badziak, P Parys, J. Wolowski, E. Woiyna, J. Krasa, L. Laska, M. Pfeifer, K. Rohlena, F.P. Boody. Implantation of ions produced by the use of high power iodine laser. Appl. Surf. Sci., V.217,p.319−331 (2003)
- B. Qi, R.M. Gilgenbach, M.C. Jones, M.D. Johnston, J.J. Lau, L.M. Wang, J. Lian, G.L. Doll, A. Lazarides. Diagnostic characterization of ablation plasma ion implantation. J. Appl. Phys. V. 93,1.11, p.8876−8883 (2003)
- W. Ensinger. Plasma immersion ion implantation for metallurgical and semiconductor research and development. Nucl.Instr.& Meth B, V.120, p.270−281 (1996)
- E.C. Jones, N.W. Cheung. Plasma doping optimization for ultra-shallow junction. Nucl.Instr.&Meth В, V. 121, p.216−220 (1997)
- M. M. M. Bilek. Effect of sheath evolution on metal ion implantation in a vacuum arc plasma source. J. Appl. Phys. V. 89,1.2, pp. 923−927 (2001)
- H. Kurosawa, S. Hasegawa, A. Suzuki. Plasma potential in the presence of an external electric field. J. Appl. Phys., У.90,1.8, p.3713−3719 (2001)
- L. P. Wang, B. Y. Tang, K. Y. Gan. Ion kinetic energy control in dual plasma deposition of thin films. J. Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, V.19,1.6, pp. 2851−2855 (2001)
- X. Tian, R.K.Y. Fu, J. Chen, P.K. Chu, I.G. Brown. Charging of dielectric substrate materials during plasma immersion ion implantation. Nucl.Instr.& Meth В, V. 187, p.485−491 (2002)
- Ю.М.Анненков, В. Ф. Пичугин, Т. С. Франгульян, В. Ф. Столяренко. Формирование проводящего состояния и его свойства в кристаллах оксида магния при облучении ускоренными ионами металлов. Физика и химия обработки материалов, Т.5, с. 5−13 (1999)
- V. F. Pichugin, Т. S. Frangulian, Yu. Yu. Kryuchkov, A. N. Feodorov, A. 1. Riabchikov. Formation of conductive layers on dielectric substrates by ion bombardment. Nucl. Instrum. Meth. B, V.80/81, p.1203−1206 (1993)
- H.P. Hubner, S. Drost. Tin oxide gas sensors: an analytical comparison of gas-sensitive and non-gas-sensitive thin films. Sensors & Actuators B, V.4, p. 463−466(1991)
- A. Chaturvedi, V.N. Mishra, R. Dwivedi, S.K. Srivastava. Response of oxygen plasma-treated thick film tin oxide sensor array for LPG, CC14, CO and C3H7OH. Microelectronics Journal, V.30, p.259−264 (1999)
- V.P. Godbole, R.D. Vispute, S.M. Chaudhari, S.M. Kanetkar, S.B. Ogale. Dependence of the properties of laser deposited tin oxide films on process variables. J. Mater. Res., V.5, N.2, p.372−377 (1990)
- Cavicchi R.E., Tarlov M.J., Semancik S. Preparation of well-ordered, oxygen-rich Sn02(110) surfaces via oxygen plasma treatment, J. Vac. Sci. and Tech. A, 8(3), p.2347−2352 (1990)
- Cavicchi R.E., Semancik S. Reactivity of Pd and Sn adsorbates on plasma and thermally oxidized Sn02(l 10), Surf Science, 257, p.70−78 (1991)
- Fryberger T.B., Erickson J.W., Semancik S. Chemical and electronic properties of Pd/Sn02(110) model gas sensors. Surface and Interface Analysis, 14, p.83−89 (1989)
- Fryberger T.B., Semancik S. Conductance response of Pd/Sn02(110) model gas sensors to H2 and 02. Sensors and Actuators В, 2, p.305−309 (1990).
- Mizsei J. Activation technology of Sn02 layers by metal particles from ultrathin metal films. Sensors and Actuators B, 15−16, p.328−333 (1993)
- Papadopoulos C.A., Avaritsiotis J.N. A model for gas sensing properties of tin oxide thin films with surface catalysts. Sensors and Actuators B, 28, p.201−210(1995)
- C.B. Рябцев, E.A. Тутов, E.H. Бормонтов, А. В. Шапошник, А. В. Иванов. Взаимодействие металлических наночастиц с полупроводником вповерхностно-легированных газовых сенсорах. Физика и техника полупроводников, Т.35, с.869−873 (2001)
- Быковский Ю.А., Неволин Ю. Н. Лазерная масс-спектрометрия. М.: Энергоатомиздат, 1985.
- Методы исследования плазмы. Под ред. В. Лохте-Хольдгревена, М.: Мир, 1971.
- Ш. Бабенко А. Н., Кругляков Э. П., Куртмуллаев Р. Х., Малиновский В. К., Федоров В. И. О границе применимости зондовых измерений в нестационарной плазме.- В сб. «Диагностика плазмы», вып. З, М.: Атомиздат, 1973.
- Рик Г. Р. Масс-спектроскопия. М.:ГИТ-ТЛ, 1953.
- М. Avrekh, O.R. Monteiro, I.G. Brown. Electrical resistivity of vacuum-arc-deposited platinum thin films. Appl. Surf. Sci., V.158, p.217−222 (2000)
- H.B. Морозова, A.M. Гаськов, Т. А. Кузнецова, Ф. Н. Путилин, М. Н. Румянцева, В. И. Штанов. Получение поликристаллических пленок Sn02 и Sn02(Cu) методом лазерной абляции. Неорг. Матер. Т.32, с.326−332(1996)
- Mizsei J., Sipila P., Lantto V. Structural Studies of Sputtered Noble Metal Catalists on Oxide Surfaces. Sensors and Actuators B, V.47, p. 13 9−144 (1998)
- M.J.J. Jak, C. Konstapel, A. van Kreuningen, J. Verhoeven, J.W.M. Frenken. Scanning tunneling microscopy study of the growth of small palladium particles on Ti02(l 10). Surf Science, 457, p.295−310 (2000)
- Secondary Ion Mass Spectrometry: Basic Concepts, Instrumental Aspects, Applications and Trends, by A. Benninghoven, F.G. Rudenauer, and H.W. Werner, Wiley, New York, 1987.
- Ермаков C.M. Методы Монте-Карло и смежные вопросы. М.: Наука, 1971.
- C.G. Fonstad, R.H. Rediker. Electrical Properties of High-Quality Stannic Oxide Cristals. J. Appl. Phys., V.42,1.7, p. 2911−2918 (1971)
- Чеботин B.H. Физическая химия твердого тела. М.: Химия, 1982.
- G. Sberveglieri, G. Faglia, S. Groppelli, P. Nelli, A. Camanzi. A new technique for growing large surface area Sn02 thin film (RGTO technique). Semicond. Sci. Technol, 5, p. 1231−1233 (1990)
- W.S. Hu, Z.G. Liu, J.Z. Zheng, X.B. Hu, X.L. Guo, W. Gopel. Preparation of nanocrystalline Sn02 thin films used in chemisorption sensors by pulsed laser reactive ablation. J. of Materials Science: Materials in Electronics, 8, p. 155 158 (1997)
- Б. И. Шкловский, A. JT. Эфрос. Теория протекания и проводимость сильно неоднородных сред. УФН, Т.117, вып. З, с.401−435 (1975)
- Шкловский Б.И., Эфрос А. Л. Электронные свойства легированных полупроводников. М.: Наука, 1979.
- И.В. Рожанский, Д. А. Закгейм. Моделирование электрических свойств поликристаллических керамических полупроводников с субмикрометровыми размерами зерен. Физика и техника полупроводников, т.39, вып. 5,2005, с. 608−615.
- М. Batzill, U. Diebold. The surface and materials science of tin oxide. Progress in Surface Science, 79, p.47−154 (2005)
- А. Я. Беленький. Электронные поверхностные состояния в кристаллах. УФН, Т.134, вып. 1, с.125−147(1981)
- Чикун В.В. Влияние поверхностных состояний на параметры диодов Шоттки. Поверхность. Физика, химия, механика, 3, с.53−56 (1992)
- J.W. Gardner, P.N. Barlett. A brief history of electronic noses. Sensors and Actuators B, 18−19, p.211−220 (1994)
- P.E. Keller, LJ. Kangas, L.H. Liden, S. Hashem, R.T. Kouzes. Electronic noses and their applications. IEEE Tac 95 Conf. Proc., Portland, USA, 1995.
- S.G. Mallat. A Theory for multiresolution signal decomposition: the wavelet representation. IEEE Transactions on Pattern Analysis and Machine Intelligence, 11(7), p.674−693 (1989)
- E. Comini. Metal oxide nano-crystals for gas sensing. Analytica Chimica Acta, V. 568, LI-2, p.28−40 (2006)
- Антоненко В.И., Васильев А. А., Олихов И. М. Раннее обнаружение пожара. Полупроводниковые газовые сенсоры. Электроника, т.4, с.48−52 (2001)
- J.R. Stetter, W.R. Penrose, Sheng Yao. Sensors, Chemical Sensors, Electrochemical Sensors, and ECS. Journal of The Electrochemical Society, 150(2), SI 1-S16 (2003)