Летучие соединения гафния (IV) и циркония (IV): синтез, структура, свойства
Диссертация
Апробация работы. Материалы работы были представлены на XXII Международной Чугаевской конференции по координационной химии (Молдова, 2005), на XV Международной конференции по химической термодинамике в России (Москва, 2005), на 20th International Conference on Coordination and Bioinorganic Chemistry (Slovakia, 2005), на 15th International European Conference on Chemical Vapor Deposition (Germany… Читать ещё >
Содержание
- 1. ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР
- 1. 1. Основные классы летучих координационных соединений гафния (1У) и циркония (1У)
- 1. 1. 1. Соединеиия со спиртами
- 1. 1. 2. Соединения с монокарбоновыми кислотами
- 1. 1. 3. Соединения с азотсодержащими органическими лигандами
- 1. 1. 3. 1. Соединения с аминами
- 1. 1. 3. 2. Соединения с производными гидразина
- 1. 1. 3. 3. Соединения с гидроксиламинами
- 1. 1. 4. Соединения с циклопентадиеном
- 1. 1. 4. 1. Алкоксиды металлоценов (1У)
- 1. 1. 4. 2. Алкиламиды металлоценов (1У)
- 1. 1. 4. 3. Карбоксилаты металлоценов (1У)
- 1. 1. 4. 4. Алкилы металлоценов (1У)
- 1. 1. 4. 5. р-дикетонаты металлоценов (1У)
- 1. 1. Основные классы летучих координационных соединений гафния (1У) и циркония (1У)
- 1. 2. Летучие Р-дикетонаты гафния (1У) и циркония (1У)
- 1. 2. 1. Методы синтеза Р-дикетонатов гафния (1У) и циркония (1У)
- 1. 2. 2. ИК-, ЯМР-спектроскопическое и масс-спектрометрическое исследование Р-дикетонатов гафния (1У) и циркония (1У)
- 1. 2. 3. Кристаллографическое и рентгеноструктурное исследование Р-дикетонатов гафния (1У) и циркония (1У)
- 1. 2. 4. Термическая устойчивость Р-дикетонатов гафния (1У) и циркония (1У)
- 1. 2. 5. Термическое разложение паров Р-дикетонатов гафния (1У) и циркония (1У)
- 1. 2. 6. Измерение температурной зависимости давления насыщенного пара летучих комплексов гафния (1У) и циркония (1У) с Р-дикетонами
- 1. 3. Использование летучих соединений гафния (1У) в процессах осаждения оксидных покрытий
Список литературы
- Aarik J., Aidla A., Kiisler A.-A. et al. 1. fluence of substrate temperature on atomic layer growth and properties of Hf02 thin films // Thin Solid Films. — 1999. -Vol. 340.-P. 110−116.
- Powell C.F. Chemically Deposited Nonmetals // Vapor Deposition / Ed. C.F. Powell, J.H. Oxley, J.M. Blocher. New York, The Electrochemical Society, Inc, 1966.-P. 343−420.
- Palko A.A., Ryon A.D., Kuhn D.W. The vapour pressure of zirconium tetrachloride and hafnium tetrachloride // J. Phys. Chem. 1958. — Vol. 62, N 3. -P. 319−322.
- Motojima S., Hirano S., Fujii M., Iwanaga H. Chemical vapor growth of HfP whiskers and their properties // J. Mater. Sci. 1996. — Vol. 31, N 21. — P. 5709−5715.
- Conley J.F., Ono J.Y., Tweet D.J. et al. Atomic layer deposition of the thin hafnium oxide films using a carbon free precursors // J. Appl. Phys. 2003. — Vol. 93, N 1.-P. 712−718.
- Urs U.K., Dharmaprakash M.S., Shivashankar S.A., Guru T.N. Nitratotris (2,2,6,6-tetramethyl-3,5-heptadionato)hafnium (IV) // Acta Crystallographica, Sect. E. 2003. — Vol. E59. — P. ml-m2.
- Конунова Ц.Б. Координационные соединения циркония и гафния с органическими лигандами. Кишинев: Щтиинца, 1975. — 224 с.
- Шека И.А., Карлышева К. Ф. Химия гафния. Киев: Наукова думка, 1972. -456 с.
- Блюменталь У.Б. Химия циркония. М.: Изд-во иностр. лит-ры, 1963.342 с.
- Bradley D.C., Abd-el Halim F.M., Wardlaw W. The Chloride Ethoxides of Zirconium // J. Chem. Soc. 1950. — Vol. 1. — P. 3450−3454.
- Фрейндлина P.X., Брайнина Э. М., Несмеянов A.H. Обменные реакции тетраацетилацетоната циркония // Изв. АН СССР, ОХН. 1957. — № 1. — С. 43−47.
- Bradley D.C., Thomas I.M. Metallo-organic compounds containing metal-nitrogen bonds. Part 1. Some dialkylamino-derivatives of titanium and zirconium // J. Chem. Soc. 1960. -N 10. — P. 3857−3861.
- Bradley D.C., Carter D.G. Metal oxide alkoxide polymers. Part I. The hydrolysis of some primary alkoxides of zirconium // Canadian J. Chem. 1961. -Vol. 39, N 7. — P.1434−1442.
- Bradley D.C. Metal Alkoxides as Precursors for Electronic and Ceramic Materials // Chem. Rev. 1989. — Vol. 89. — P. 1317−1322.
- Iman A.S., Rao B.R. Unit cell dimensions of some metal alkoxides // Naturwissechaften. 1963. — Vol. 50, N 15. — P. 517.
- Bradley D.C., Factor M.M. Pyrolysis of metal alkoxides. I. Thermal stability of some zirconium alkoxides // J. Appl. Chem. 1959. — Vol. 9, Part 8. — P.435−439.
- Evans W.J., Ansari M.A., Ziller J.W. Isolation and structural characterization of the polymetallic zirconium alkoxide complexes, Zr30(0CH2CMe3)9Cl, Zr30(0CMe3)9(0H), Na4Zr602(0Et)24 // Polyhedron. 1998. — Vol. 17, N 5−6. — P. 869 877.
- Starikova Z.A., Turevskaya E.P., Kozlova N.I. et al. Structural study of zirconium and hafnium oxoalkoxides // Polyhedron. 1999. — Vol. 18, N 7. — P. 941 947.
- Yang T.S., An K.-S., Lee E.-J. et al. Chemical Vapor Deposition of Hf02 thin films using the novel single precursor hafnium 3-methyl-3-pentoxide, Hf (mp)4 // Chem. Mater. 2005. — Vol. 17, N 26. — P. 6713−6718.
- Abrutis A., Hubert-Pfalzgraf L.G., Pasko S.V. et al. Hafnium oxoneopentoxide as a new MOCVD precursor for hafnium oxide films // J. Cryst. Growth. 2004. -Vol. 267, Issues 3−4. — P. 529−537.
- Sayan S., Aravamudhan S., Busch B.W. et al. Chemical vapor deposition of НЮ2 films on Si (100) // Journal of Vacuum Science & Technology, A: Vacuum, Surfaces, and Films. 2002. — Vol 20, N 2. — P. 507−512.
- Williams P.A., Roberts J.L., Jones A.C. et al. Novel mononuclear zirconium and hafnium alkoxides- improved precursors for the MOCVD of Zr02 and Hf02 // J. Mater. Chem. 2002. — Vol. 12, N 2. — P. 165−167.
- Williams P.A., Roberts J.L., Jones A.C. et al. Novel Mononuclear Alkoxide Precursors for the MOCVD of Zr02 and Hf02 Thin Films // Chem. Vap. Deposition. -2002.-Vol. 8, N4.-P. 163−170.
- Archakov, I.Yu., Vorob’ev, A.N., Bord, О. V. et al. Mass spectrometric study of Hf (OBut)2mmp2 thermal decomposition // Reviews on Advanced Materials Science.2004. Vol. 7, N 2. — P. 126−135.
- Spijksma G.I., Bouwmeester H.J.M., Blank D.H.A. et al. Chemistry of 2,2,6,6 -tetramethyl-3,5-heptanedione (Hthd) modification of zirconium and hafnium propoxide precursors // Inorg. Chem. 2006. — Vol. 45, N. 13. — P. 4938−4950.
- Алцыбеев A.E., Малкерова И. П., Беляков M.B. и др. Пивалаты циркония и гафния // Тез. докл. на V школу-семинар «Актуальные проблемы современной неорганической химии и материаловедения». Звенигород, ноябрь2005.-С. 3.
- Bradley D.C., Thomas I.M. Dialkylamido-derivatives of titanium, zirconium and tantalium // Proc. Chem. Soc. 1959. — N 7−8. — P. 225−226.
- Reetz M.T., Urz R., Schuster T. An economical large-scale synthesis of titanium tetrakis (diethylamide) and chlorotitanium tris (diethylamide) // Synthesis. -1983.-N 7.-P. 540.
- Beard W.R., Neil R.L. Process for the preparation of dihydrocarbylamino titanium, zirconium, and hafnium compounds // PCT Int. Appl. WO 2 004 011 692 A2, 5 Feb 2004, 27 P.
- Steinbom D., Wagner I., Taube R. An efficient synthesis of titanium and zirconium tetrakis (diethylamide) // Synthesis. 1989. -N 4. — P. 304.
- Draper S.M., Kelley N. Hafnium 1992 // Coordination Chemistry Reviews. -1995.-Vol. 146.- P. 141−153.
- Bai Y., Roesky H.W., Holtemeyer M., Witt M. Synthesis and structures of (monoorganyl)amides of zirconium and hafnium // Chemische Berichte. 1992. -Vol. 125, N4.-P. 825−831.
- Williams P.A., Jones A.C., Tobin N.L. et al. Growth of hafnium dioxide thin films by liquid-injection MOCVD using alkylamide and hydroxylamide precursors // Chem. Vap. Deposition. 2003. — Vol. 9, N 6. — P. 309−314.
- Kukli K., Ritala M., Sajavaara T. et al. Atomic layer deposition of hafnium dioxide films from hafnium tetrakis (ethylmethylamide) and water // Chem. Vap. Deposition. 2002. — Vol. 8, N 5. — P. 199−204.
- Ohshita Y., Ogura A., Hoshino A. et al. Using tetrakis-diethylamido-hafnium for Hf02 thin-film growth in low-pressure chemical vapor deposition // Thin Solid Films. -2002.-Vol. 406.-P. 215−218.
- Machida H., Hoshino A., Suzuki T. et al. MOCVD precursors for Ta- and Hf-compound films // J. Cryst. Growth. 2002. — Vol. 237−239 — P. 586−590.
- Analytical Enhancements // Epichem group News. 2006. — N 1. — P. 10−11.
- Lehn J.-S. M., Hoffman D.M. Synthesis and structures of Group 4 trimethylhydrazido complexes // Inorg. Chim. Acta. 2003. — Vol. 345. — P. 327−332.
- Lehn J.-S. M., Saba J., Hoffman D.M. Synthesis of zirconium, hafnium, and tantalum complexes with sterically demanding hydrazide ligands // Inorg. Chem. 2007. -Vol.46, N. 3.-P. 993−1000.
- Mitzel N.W., Parsons S., Blake A.J., Rankin D.W.H. Homoleptic hydroxylamides of titanium, zirconium and hafnium // J. Chem. Soc., Dalton Trans.-1996.-Vol. 1996, N. 12.-P. 2089−2093.
- Singh A., Sharma C.K., Rai A.K. et al. Reactions of oximes and diethylhydroxylamine with titanium alkoxides // J. Chem. Soc., A. 1971. — N 15−16. -P. 2440−2444.
- Cotton S.A. Titanium, zirconium and hafnium // Annu. Rep. Prog. Chem., Sect. A. 2005. — Vol. 101. — P. 139−148.
- Cotton S.A. Titanium, zirconium and hafnium // Annu. Rep. Prog. Chem., Sect. A. 2003. — Vol. 99. — P. 139−148.
- Cotton S.A. Titanium, zirconium and hafnium // Annu. Rep. Prog. Chem., Sect. A. 2002. — Vol. 98. — P. 129−137.
- Cotton S.A. Titanium, zirconium and hafnium // Annu. Rep. Prog. Chem., Sect. A. 2001. — Vol. 97. — P. 133−142.
- Cotton S.A. Titanium, zirconium and hafnium // Annu. Rep. Prog. Chem., Sect. A. 1999. — Vol. 95. — P. 105−115.
- Cotton S.A. Titanium, zirconium and hafnium // Annu. Rep. Prog. Chem., Sect. A, 1997. — Vol. 93. — P. 143−153.
- Hollink E., Stephan D.W. Zirconium and hafnium // Comprehensive Coordination Chemistry II, Volume 4 / Ed. J.A. McCleverty, T.J. Meyer. Elsevier Ltd., Oxford, UK, 2004. — P. 105−173.
- Dias A.R., Veiros L.F. Are cyclopentadienyl complexes more stable than their pyrrolyl analogues? // J. Organomet. Chem. 2005. — Vol. 690, N 7. P. 1840−1844.
- Bruder A.H., Fay R.C., Lewis D.F., Sayler A.A. Synthesis, characterization, and X-ray structure of r|5-cyclopentadienyltris (N, N-dimethyldithiocarbamato)-zirconium (IV) // JACS. 1976. — Vol. 98, N 22. — P. 6932−6938.
- Sikora D.J., Rausch M.D., Rogers R.D. et al. New synthesis and molecular structures of the decamethylmetallocene dicarbonyls (г|5-С5Ме5)2М (СС))2 (M = titanium, zirconium, hafnium)//JACS. 1981.-Vol. 103, N5.-P. 1265−1267.
- Sikora D.J., Rausch M.D., Rogers R.D., Atwood J.L. Structure and reactivity of the first hafnium carbonyl, bis (r|5-cyclopentadienyl)dicarbonylhafnium // JACS -1979.-Vol. 101, N 17.-P. 5079−5081.
- Calderazzo F., Englert U., Pampaloni G., Tripepi G. The tetracyclopentadienyls of titanium, zirconium and hafnium: new synthetic procedures and reactivity // J. Organomet. Chem. 1998. — Vol. 555. — P. 49−56.
- Миначёва M.X., Брайнина Э. М., Фрейдлина P.X. Циклопентадиенильные соединения гафния // РАИ СССР, 1967. Т. 173, № 3. — С. 581−584.
- Брайнина Э.М., Миначёва М. Х., Фрейдлина Р. Х. Некоторые свойства тетрациклопентадиенилциркония // Изв. АН СССР. 1965. -№ 10. — С. 1877−1878.
- Брайнина Э.М., Дворяпцева Г. Г. Тетрациклопентаниенилцирконий // Изв. АН СССР. 1967. — № 2. — С. 442−443.
- Брайнина Э.М., Миначёва М. Х., Локшин Б. В. и др. Замещённые и незамещённые в цикле циклопентадиенильные соединения циркония и гафния // Изв. АН СССР. 1969. — № 11. — С. 2492−2498.
- Брайнина Э.М., Гамбарян Н. П., Локшин Б. В. и др. К вопросу о быстром обмене неэквивалентных циклопентадиенильных колец в тетрациклопентадиенильных производных металлов IV, А группы // Изв. АН СССР, сер. хим.- 1972.-№ 1.-С. 187−188.
- Брайнина Э.М., Миначёва М. Х., Локшин Б. В. Синтез и свойства циклопентадиенильных соединений гафния // Изв. АН СССР, сер. хим. 1968. -№ 4.-С. 817−823.
- Локшин Б.В., Брайнина Э. М. Колебательные спектры и строение тетрациклопентадиенильных производных циркония и гафния // Журн. структур, хим.-1971.-Т. 12, № 6.-С. 1001−1006.
- Rogers R.D., Bynum R.V., Atwood J.L. Crystal and molecular sructure of tetra (cyclopentadienyl)zirconium // JACS 1978. — Vol. 100, N 16.-P. 5238−5239.
- Rogers R.D., Bynum R.V., Atwood J.L. First authentic example of a difference in the structural organometallic chemistry of zirconium and hafnium: crystal and molecular structure of (r^-CsHj^Hflft1- C5H5)2 // JACS 1981. — Vol. 103, N 3.-P. 692−693.
- Calderon J.L., Cotton F.A., De Boer B.G., Takats J. Stereochemically Nonrigid Organometallic Molecules. XXVIII. Tetra (cyclopentadienyl) titanium // JACS. 1971.-Vol. 93, N 15.-P. 3592−3597.
- Wilkinson G., Birmingham J.M. Bis-cyclopentadienyl complexes of Ti, Zr, V, Nb and Та//JACS. 1954.-Vol. 76, N 17.-P. 4281−4285.
- Wilkinson G., Pauson P.L., Birmingham J.M., Cotton F.A. Bis-cyclopentadienyl derivatives of some transition elements // JACS. 1953. — Vol. 75, N 4. -P. 1011−1015.
- Фрейдлина P.X., Брайнина Э. М., Несмеянов A.H. Синтез смешанных клешнеобразных циклопентадиенильных соединений циркония // ДАН СССР. -1961.-Т. 138, № 6.-С. 1369−1372.
- Несмеянов A.H., Материкова Р. Б., Брайнина Э. М., Кочеткова Н. С. Синтез циклопентадиенильных производных кремния, циркония и гафния // Изв. АН СССР, сер. хим. 1969. — № 6. — С. 1323−1326.
- R oddick D .M., F ryzuk M .D., S eidler P .F. e t a 1. H alide, H ydride, a lkyl, a nd dinitrogen complexes of bis (pentamethylcyclopentadienyl)hafnium // Organometallics. -1985.-N 4.-P. 97−104.
- Брайнина Э.М., Фёдоров Jl.A., Миначёва M.X. Феноксипроизводные гафния и циркония, содержащие циклопентадиенильные и хелатные лиганды, и их стереохимическая структура // ДАН СССР. 1971. — Т. 196, № 5. -С. 1085−1088.
- Брайнина Э.М., Фрейдлина Р. Х., Несмеянов А. Н. Циклопентадиенильные соединения циркония, содержащие Zo-O-Zr-группу // ДАН СССР. 1964. — Т. 154, № 5. — С. 1113−1115.
- Gray D.R., Brubaker С.Н. The preparation and characterization of a series of chloroalkoxobis (cyclopentadienyl) zirconium (IV) and dialkoxobis (cyclopentadienyl) zirconium (IV) compounds // Inorg. Chem. 1971. — Vol. 10, N 10. — P. 2143−2146.
- Миначёва M.X., Брайнина Э. М. Химические превращения тетрациклопентадиенилциркония // Изв. АН СССР. 1972. -№ 1. — С. 139−143.
- Chandra G., Lappert M.F. Amido derivatives of Metal and Metalloids. Part VI. Reactions of Titanium (IV), Zirconium (IV), and Hafnium (IV). Amides with Protic compounds // J. Chem. Soc., A. 1968. — P. 1940−1945.
- Wailes P.C., Weigold H. Hybrido complexes of Zirconium II. Reactions of dicyclopentadienylzirconium dinydride with carboxylic acids // J. Organomet. Chem. -1970. Vol. 24, N 2. — P. 413−417.
- Wailes P.C., Weigold H., Bell A.P. Sulphur dioxide insertion reactions with dicyclopentadienyltitanium and zirconium alkyl and aryl compounds // J. Organomet. Chem.-1971.-N. 2.-P. 181−188.
- Grafov A., Mazurenko E., Battiston G.A., Zanella P. Design of Zr (IV) and Hf (IV) coordination compounds precursors for MOCVD synthesis of protective coatings // J. Phys. IV. — 1995. — Vol. 1, N C5. -P. C5−497-C5−502.
- Брайнина Э.М., Брюхова E.B., Локшин Б. В., Алимов Н. С. Циклопентадиенильные соединения циркония и гафния, содержащие галоидацетатные лиганды // Изв. АН СССР, сер. хим. 1973. — № 4. — С. 891−894.
- Wailes Р.С., Weigold Н., Bell А.Р. Insertion reactions of dicyclopentadienyldimethylzirconium and related cyclopentadienyl compounds with sulphur dioxide and nitric oxide // J. Organomet. Chem. 1972. — Vol. 34, N 1. — P. 155 164.
- Samuel E., Rausch M. D. 7i-Cyclopentadienyl and 7i-indenyl compounds of titanium, zirconium, and hafnium containing c-bonded organic substituents. // JACS. -1973. Vol. 95, N 19. — P. 6263−6267.
- Fronczek F.R., Baker E.C., Sharp P.R. et al. The structures of d imethylhafnocene and i ts h ydrolysis p roduct, ц -oxo-bis (methylhafnocene) //1 norg. Chem. 1976. — Vol. 15, N 9. — P. 2284−2289.
- Hunter W.E., Hencir D.C., Bynum R.V. et al. The search for dimethylzirconocene. Crystal structures of dimethylzirconocene, dimethylhafnocene, chloromethylzirconocene, and (^i-oxo)bis (methylzirconocene) // Organometallics. -1983.-Vol. 2, N6. P. 750−755.
- Howe J.J., Pinnavaia T.J. Studies of the Kinetics and Mechanism of Stereochemical Rearrangement Processes for Tris (P-diketonato)-7i-cyclopentadienylzirconium complexes // JACS 1970. — Vol. 92, N 25. — P. 7342−7348.
- Брайнина Э.М., Миначёва М. Х., Федоров JI.A. Циклопентадиенильные соединения циркония с различными хелатными лигандами в металле // Изв. АН СССР.- 1972.-№ 10.-С. 2356−2358.
- Миначёва М.Х., Брайнина Э. М., Терехова Л. И. Циклопентадиенильные соединения гафния с различными хелатными лигандами в металле // Изв. АН СССР. 1973.-№ 10.-С. 2359−2361.
- Брайнина Э.М., Мортикова Е. И., Петрашкевич Л. А., Фрейдлина Р. Х. Новый класс циклопентадиенильных соединений циркония, содержащих клешнеобразные группы // РАН СССР. 1966. — Т. 169, № 2. — С. 335−338.
- Каррер П. Курс органической химии. Л.: Госхимиздат, 1962. — 321 с.
- Пешкова В.М., Пэн Ан. Исследование комплексообразоания гафния с ацетилацетоном методом экстракции // Ж.неорг.химии. 1963. — Т. 6, Вып. -С. 2082−1085.
- Нефедов В.И., Вовна В. И. Электронная структура химических соединений. М.: Наука, 1987. 347 с.
- Морозова Н.Б. Синтез и физико-химические свойства бета-дикетонатов Ru(III), Zr (IV), Fe (III), Y (III): Дисс. канд. хим. наук: 02.00.01. Защищена 23.02.96- Утв. 15.05.96-Новосибирск, 1996.- 148 С.
- Larsen Е.М., Terry G., Leddy J. The preparation and properties of Zirconium and Hafnium Chelates of Certain P-diketones // JACS 1953. — Vol. 75, N20. — P. 51 075 111.
- Allard B. Studies of tetravalent acetylacetonato complexes I. Coordination and properties in the solid state // J. Inorg. Nucl. Chem. — 1976. — Vol. 38. — P. 21 092 115.
- Baskin Y., Prasad N.S.K. Studies on TTA complexes with metal Ions -II. Investigations of some tetravalent complexes in the solid state // J. Inorg. Nucl. Chem. 1963.-Vol. 25.-P. 1011−1019.
- Миначёва M.X., Брайнина Э. М. Соединения циркония и гафния с различными хелатными лигандами в молекуле // Изв. АН СССР, Серия хим. -1973. -№ 3.- С. 689−691.
- Chattoraj Sh. С., Lynch С.Т., Mazdiyasni K.S. Hexafluoriacetylacetonates of zirconium and Hafnium // Inorg. Chem. 1968. — Vol. 7, N 12. — P. 2501−2505.
- Sievers R.E., Ponder B.W., Morris M.L., Moshier R.W. Gas Phase Chromatography of Metal Chelates of Acetylacetone, Trifluoroacerylacetone and Hexafluoroacetylacetone // Inorg. Chem. 1963. — Vol. 2, N4. — P. 693−698.
- Волков C.B., Миропольская JT.E., Мельникова JI.A., Мазуренко Е. А. Легколетучие Р-дикетонатные комплексы Zr(IV) и Hf (IV) // Украинский химический журнал. 1983. — Т. 49, № 7. — С.682−687.
- Pasko S.V., Hubert-Pfalzgraf L.G., Abrutis A et. al. New sterically hindered Hf, Zr and Y P-diketonates as MOCVD precursors for oxide films // J. Mater. Chem. -2004.-Vol. 14.-P. 1245−1251.
- Patent JP 2 005 104 958. Synthesis of fluorine containing metal complex / T. Sugimoto (Central Glass Co., Ltd., Japan). 21 Apr 2005. — 7 p.
- Patent JP 2 006 117 619. Synthesis of fluorine-bearing beta-diketone complexes of zirconium, hafnium, or titanium suitable for CVD sources. / T. Sugimoto (Central Glass Co., Ltd., Japan). -11 May 2006. 9 p.
- Рубцов E.M., Мишин В. Я. Летучие дипивалоилметанаты циркония и гафния// Координационная химия. 1982. — Т. 8., Вып. 5. — С. 651−652.
- ИЗ. Брайнина Э. М., Мортикова Е. И. Хелатные соединения гафния // Изв. АН СССР, сер. хим. 1967. -№ 11. С. 2543−2545.
- Fay R.C., Pinnavaia Th.J. Infrared andraman spectra of some six-, seven-and eight-coordinate acetylacetonato complexes of zirconium (IV) and hafnium (IV) // Inorg. Chem. 1968. — Vol. 7, N 3. — P. 508−514.
- Wilkir C.A., Hawoeth D.T. A 13C NMR study of some metal acetylacetonate complexes // Inorg. Nucl. Chem. 1978. — Vol. 40, N 2. P. 195−197.
- Clegg W. Redetermination of the Structure of Tetrakis (acetylacetonato)zirconium (IV) // Acta Cryst. 1987. — С 43. — P. 789−791.
- Silverton J.V., Hoard J.L. Zirconium (IV) acetylacetonate // Inorg. Chem. -1963.-Vol. 2.-P. 243.
- Calderazzo F., Englert U., Maichle-Mossmer C. et al. Eight-coordinate chelate complexes of zirconium (IV) and niobium (IV): X-ray diffractometric and EPR investigation // Inorg. Chim. Acta. 1998. — Vol. 270, N 1−2. — P. 177−188.
- Логвиненко В.А. Термический анализ координационных соединений и клатратов // Новосибирск: Наука, Сиб. Отделение, 1982. 128 с.
- Мишин В.Я., Рубцов Е. М., Исупов В. К., Прокопчук 10.3. Термическое поведение дипивалоилметанатов актиноидов // Радиохимия. 1980. — № 5. -С. 733−738.
- Мишин В.Я., Соловьев С. М., Чиненов П. П. и др. Летучие Р-дикетонаты актиноидов и некоторые возможности их практического использования // Радиохимия. 1985. -№ 3. — С. 354−361.
- Bykov A.F., Turgambaeva А.Е., Igumenov I.K., Semyannikov P.P. Mass Spectrometric Study of Thermolysis Mechanism of Metal Acetylacetonates Vapour // J. de Physique IV. Colloque C5. 1995. — Vol. 5. — P. C5−191-C5−197.
- Мазуренко E.A., Миропольская Л. Е., Кинетика термического распада тетракис-пентандионата-2,4 гафния // Украинский журнал. 1983. — Т. 49, № 5. -С.551−552.
- Суворов А.В. Термодинамическая химия парообразного состояния. -Л.: Химия, 1970.-206 С.
- Филатов Е.С. Синтез и физико-химическое исследование Р-дикетонатов лития: Дисс. канд. хим. Наук: 02.00.04. Защищена 17.09.06- Утв. 10.12.06. -Новосибирск, 2006. — 118 с.
- Игуменов И.К., Чумаченко Ю. В., Земсков С. В. Тензиметрическое исследование летучих Р-дикетонатов металлов // Проблемы химии и применения бета-дикетонатов металлов. М.: Наука, 1982. — С. 100−120.
- Бердоносов С.С., Микитюк А. Д., Лебедев С. Ю., Сычев Ю. Н. Термическая устойчивость и давление насыщенного пара ацетилацтонатов циркония и гафния // Вестник Моск. ун-та, Химия. 1977. — С. 238−252.
- Morozova N.B., Sysoev S.V., Igumenov I.K., Golubenko A.N. Study of t emperature d epence о f s aturated v apour p ressure о f z irconium (IV) P -diketonates / / J. Therm. Anal. 1996. — Vol. 46. — P. 1367−1373.
- Морозова Н.Б., Игуменов И. К., Митышн B.H. и др. Комплексы Zr(IV) с р-дикетонами // Ж. неорг. химии. 1989. — Т. 34, № 5. — С. 1193−1198.
- РСТ Int. Appl. WO 2 000 029 330. Thin hafnium oxide film and method for depositing same / B. Andre, J. Dijon, B. Rafin. 25 May 2000. — 31 p.
- Nishide Т., Honda S., Matsuura M., Ide M. Surface, structural and optical properties of sol-gel derived Hf02 films // Thin Solid Films. 2000. — Vol. 371, N. 1−2. -P. 61−65.
- Alvisi M., Di Giulio M., Marrone S.G. et al. Hf02 films with high laser damage threshold // Thin Solid Films. 2000. Vol. 358, N 1−2. P. 250−258.
- Nguyen N.V., Sayan S., Levin I. et al. Optical band gaps and composition dependence of hafnium-aluminate thin films grown by atomic layer chemical vapor deposition // J. Vac. Sci. Technol., A. 2005. — Vol. 23, N 6. — P. 1706−1713.
- Kukli K., Ritala M., Sajavaara T. et al. Atomic Layer Deposition of Hafnium Dioxide Films from Hafnium Tetrakis (ethylmethylamide) and Water // Chem. Vapor Deposit. 2002. — Vol. 8. — P. 199−204.
- Piatt C.L., Dieny В., Berkowitz A.E. Spin-dependent tunneling in Hf02 tunnel junctions // Appl. Phys. Lett. 1996. — Vol. 69, N 15. — P. 2291−2293.
- Wilk G.D., Wallace R.M., Anthony J.M. Hafnium and zirconium silicates for advanced gate dielectrics // J. Appl. Phys. 2000. — Vol. 87, N 1. — P. 484−492.
- Lee B.H., Kang L., Nieh R. et al. Thermal stability and electrical characteristics о f ultrathin hafnium оxide gate dielectric reoxidized with rapid thermal annealing. // Appl. Phys. Lett. 2000. — Vol. 76, N 14. — P. 1926−1928.
- Aoki Y., Kunitake Т., Nakao A. Sol-Gel Fabrication of Dielectric Hf02 Nano-Films- Formation of Uniform, Void-Free Layers and Their Superior Electrical Properties // Chem. Mater. 2005. Vol. 17, N 2. P. 450−458.
- Gilmer D.C., Hegde R., Cotton R. et al. Compatibility of polycrystalline silicon gate deposition with Hf02 and Al203/Hf02 gate dielectrics // Appl. Phys. Lett. -2002. Vol. 81, No. 7. — P. 1288−1290.
- Gusev E. P., Cartier E., Buchanan D.A. et al. Ultrathin high-K metal oxides on silicon: processing, characterization and integration issues // Microelectronic Engineering. 2001. — Vol. 59, N 1−4. — P. 341−349.
- Lee B.H., Kang L., Qi W.-J. et al. Ultrathin hafnium oxide with low leakage and excellent reliability for alternative gate dielectric application // Int. Electron Devices Meet.- 1999.-P. 133−136.
- PCT Int. Appl. WO 2 000 070 674. Capacitor for a semiconductor device and method for producing a dielectric layer for the capacitor / T.P. Haneder, H. Reisinger, R. Stengl et al. (German). 23 Nov 2000. — 17 p.
- Puthenkovilakam R., Sawkar M., Chang J.P. Electrical characteristics of postdeposition annealed Hf02 on silicon // Appl. Phys. Lett. 2005. — Vol. 86, N 202 902. — P. 202 902−1 — 202 902−3.
- Wilk G.D., Wallace R.M., Anthony J.M. High-k dielectrics: current status and materials properties considerations // J. Appl Phys. 2001. — Vol. 89, N 10. -P. 5243−5275.
- Xiong K., Peacock P.W., Robertson J. Fermi level pinning and Hf-Si bonds at Hf02: Polycrystalline silicon gate electrode interfaces // Appl. Phys. Lett. 2005. -Vol. 86, N. 12 904. — P. 12 904−1 — 12 904−3.
- Yamamoto Y., Kita K., Kyuno K., Toriumi A. Structural and electrical properties of HfLaOx films for an amorphous high-k gate insulator // Appl. Phys. Lett. -2006. Vol. 89, N. 32 903. — P. 32 903−1 — 32 903−3.
- Park S., Cha Y.-K., Cha D. et al. Multibit memories using a structure of Si02/partially oxidized pmorphous Si/Hf02 // Appl. Phys. Lett. 2006. — Vol. 89, N033122.-P. 33 122−1 -33 122−3.
- Granqvist C.G. /Handbook of Inorganic Electrochromic Materials, Elsevier, Amsterdam. 1995.
- The Chemistry of metal CVD /ed. by T.T. Kodas and M.J. Hampden-Smith. Weinheim- New York. Basel. Cambridge. Tokyo: VCH. 1994. P. 530.
- Грибов Б.Г., Домрачев Г. А., Жук Б.В. и др. Осаждение пленок и покрытий разложением металлоорганических соединений / Под ред. Г. А. Разуваева. М.: Наука, 1981. — 322 С.
- Иванов В.Е., Нечипоренко Е. П., Криворучко В. М., Сагалович В. В. / Кристаллизация тугоплавких металлов из газовой фазы. М.: Атомиздат, 1974. -264 С.
- Осаждение из газовой фазы / под ред. К. Пауэлла, Дж. Оксли, Дж. Блочера мл. М.: Атомиздат, 1970. — 472 С.
- Металлоорганические соединения в электронике / Разуваев Г. А., Грибов В. Г., Домрачев Г. А., Саламатин Б. А. М.: Наука, 1972. — 479 С.
- Применение металлоорганических соединений для получения неорганических покрытий и материалов / Отв. ред. Г. А. Разуваев. М.: Наука, 1986.-256 С.
- Triyoso D.H., Ramon М., Hegde R.I. et al. Physical and electrical characteristics of Hf02 gate dielectrics deposited by ALD and MOCVD // J. of the Electrochem. Soc. 2005. — Vol. 152, N 3. — P. G203-G209.
- Stesmans A., Afanas’ev V.V. Interlayer-related paramagnetic defects in stacks of ultrathin layers of SiOx, A1203, Zr02, and Hf02 on (100)Si // J. Appl. Phys. -2004. Vol. 97, N 35 510. — P. 35 510−1 — 35 510−8.
- Frank M.M., Wilk G.D., Starodub D. et al. Hf02 and A1203 gate dielectrics on GaAs grown by atomic layer deposition // Appl. Phys. Lett. 2005. — Vol. 86, N 152 904. P. 152 904−1 — 152 904−3.
- Spiga S., Wiemer C., Tallarida G. et al. Effects of the oxygen precursor on the electrical and structural properties of Hf02 films grown by atomic layer deposition on Ge // Appl. Phys. Lett. 2005. — Vol. 87, N 112 904. P. 112 904−1 — 112 904−3.
- Kim I., Koo J., Lee J., Jeon H. A Comparison of Al203/Hf02 and Al203/Zr02 Bilayers Deposited by the Atomic Layer Deposition Method for Potential Gate Dielectric Applications // Jap. J. Appl. Phys. 2006. — Vol. 45, N 2A. — P.919−925.
- Gilmer D.C., Hegde R., Cotton R. et al. Tobin Compatibility of silicon gates with hafnium-based gate dielectrics // Microelectronic Engineering. 2003. — Vol. 69. -P. 138−144.
- Lee S.J., Jeon T.S., Kwong D.L., Clark R. Hafnium oxide gate stack prepared by in situ rapid thermal chemical vapor deposition process for advanced gate dielectrics // J. Appl. Phys. 2002. — Vol. 92, N 5. — P. 2807−2809.
- Sayan S., Aravamudhan S., Busch B.W. et al. Chemical vapor deposition of Hf02 films on Si (100) // J. Vac. Sei. Technol. A. 2002. — Vol. 20, N2. — P. 507−512.
- Bai W., Lu N., Ritenour A.P. et al. The electrical properties of the Hf02 dielectric on Germanium and Substrate doping effect // IEEE Transactions on electron devices. 2006. — Vol. 53, N 10. — P. 2551−2558.
- K.-J. Choi, W.-C. Shin, S.-G. Yoon. Ultrathin Hf02 gate dielectric grown by plasma-enhanced chemical vapor deposition using HfOC (CH3)3.4 as a precursor in the absence of 02 // J. Mater. Res. 2003. — Vol. 18, N 1. — P. 60−65.
- Wu N., Zhang Q., Zhu C. et al. Effect of surface NH3 anneal on the physical and electrical properties of Hf02 films on Ge substrate // Appl. Phys. Lett. 2004. -Vol. 84, N 19.-P. 3741−3743.
- Rauwel E., Dubourdieu C., Hollander B. et al. Stabilization of the cubic phase o f t he H f02 b y Y a ddition i n films g rown b y metal o rganic v apor d eposition / / Appl. Phys. Letter. 2006. — Vol. 89. — P. 12 902−1-12 902−3.
- Kukli K., Ritala M., Leskela M. et al. Atomic Layer Deposition of Hafnium Dioxide Films from l-Methoxy-2-methyl-2-propanolate Complex of Hafnium // Chem. Mater. 2003. — Vol. 15, N 8. — P. 1722−1727.
- Fujii S., Miyata N., Migita S. et al. Nanometer-scale crystallization of thin Hf02 films studied by HF-chemical etching // Appl. Phys. Lett. 2005. — Vol. 86. -P. 212 907−1-212 907−3.
- Takahashi K., Nakayama M., Yokoyama S. et al. Preparation of hafnium oxide films from oxygen-free HfN (C2H5)2.4 precursor and their properties // Appl. Surf. Sei. 2003. — Vol. 216. — P. 296−301.
- Ohshita Y., Ogura A., Hoshino A. et al. Hf02 growth by low-pressure chemical vapor deposition using the Hf (N (C2H5)2)4/02 gas system // J. Cryst. Growth. -2001.-Vol. 233.-P. 292−297.
- Luo Q., Dragomir-Cernatescu I., Snyder R.L. et al. Comparison of Nitrided Hf02 films deposited in 02 and N20 by direct Injection CVD // J. Electrochem. Soc. -2006.-Vol. 153, N1. -P. F1-F7.
- Seo K.-ill, Sreenivasan R., Mclntyre P.C., Saraswat K.C. Improvement in High-k (Hf02/Si02) Reliability by Incorporation of Fluorine // IEEE Electron Device Letters. 2006. — Vol. 27, N 10. — P. 821−823.
- Xu Y., Musgrave C.B. A chemical mechanism for nitrogen incorporation into Hf02 ALD films using ammonia and alkylamide precursors // Surface Science. 2005. -Vol. 591, N 1−3. — P. L280-L285.
- Liu X., Ramanathan S., Longdergan A. et al. ALD of Hafnium Oxide Thin films from tetrakis (ethylmethylamino)hafnium and Ozone // J. Electrochem. Soc. 2005. -Vol. 152, N2. P. G213-G219.
- Kukli K., Ritala M., Sajavaara Т., Keinonen J., Leskela M. Atomic Layer Deposition of hafnium dioxide films from hafnium tetrakis (ethylmethylamide) and water // Chem. Vap. Dep. 2002. — Vol. 8. — P. 199−204.
- Севастьянов В.Г., Тимофеев A.H., Филатов И. Ю. Ацетилацетонат гафния перспективный реактив для получения оксидных и карбидных материалов // Тез. докл. -Нижний Новгород, 1991. — С. 124.
- Balog М., Schibe М., Patai S., Michman М. Thin films of metal oxides on silicon by Chemical vapor deposition with organometallic compounds. I // J. Cryst. Growth. 1972. — Vol. 17. — P.298−301.
- Balog M., Schibe M., Michman M., Patai S. Chemical vapor deposition and characterization of Hf02 films from organo-hafnium compounds // Thin Solid Films. -1977. Vol. 41, N3. — P.247−259.
- Жерикова K.B., Морозова Н. Б., Куратьева H.B., Байдина И. А., Игуменов И. К. Синтез и рентгеноструктурное исследование комплексов гафиия(1У) с ацетилацетоном и трифторацетилацетоном // Журн. структ. химии. -2005. Т. 46, № 6. — С. 1081−1088.
- Chemistry / Ed. M. Melnik, J. Sima, M. Tatarko, Smolenice, Slovakia, 2005. Slovak Technical University Press, Bratislava, Slovakia, 2005. — Vol. 7. — P. 246−253.
- Gelfond N.V., Morozova N.B., Igumenov I.K., Zherikova K.V.,
- Жерикова К.В., Морозова Н. Б., Байдина И. А., Алексеев В. И., Игуменов И. К. Синтез и рентгеноструктурное исследование восьмикоординированного комплекса гафния(ГУ) с гексафторацетилацетоном // Журн. структ. химии. 2006. — Т. 47, № 1. — С. 87−90.
- Жерикова К.В., Морозова Н. Б., Пересыпкина Е. В., Байдина И. А., Игуменов И. К. Синтез и рентгеноструктурное комплекса гафния(1У) с пивалоилтрифторацетилацетоном // Журн. структ. химии. 2006. — Т. 47, № 3. -С. 581−584.
- Жерикова К.В., Морозова Н. Б., Байдина И. А. и др. Строение и термические свойства летучих ß--дикетонатов циркония(1У) // Тез. докл. на IV Национальную кристаллохимическую конференцию, Черноголовка, 26−30 июня 2006.-С. 283−284.
- Жерикова К.В., Морозова Н. Б., Куратьева Н. В. и др. Рентгеноструктурное исследование фторированных ß--дикетонатных комплексов циркония(1У) // Журн. структ. химии. 2007. — Т. 48, № 3. — С. 539−547.
- Sheldrick G.M. SHELX-97. Release 97−1. University of Gottingen. 1997.
- Новиков Г. И., Суворов А. В. Мембранный нуль-манометр для измерения давления паров в широком интервале температур // Заводская лаборатория. -1959. -№ 6.-С. 750−751.
- Титов В.А., Коковин Г. А. О выборе целевой функции при обработке данных по давлению насыщенного пара // Сб. науч. тр. «Математика в химической термодинамике» / Под ред Г. А. Коковина. Новосибирск: Наука, 1980. -С. 98−105.
- Игуменов И.К., Чумаченко Ю. В., Земсков С. В. Изучение летучести некоторых (5-дикетонатов меди (Н) // Коорд. химия. 1978. — Т. 4, Вып. 2. -С. 163−169.
- Титов В.А., Чусова Т. П., Коковин Г. А. Анализ основных источников погрешностей мембранного измерения давления пара // Электронная техника. Сер. «Материалы». 1984. — Вып. 10 (195). — С. 49−51.
- Zelenina L.N., Titov V.A., Chusova Т.Р. et al. On the thermodynamic properties of Germanium-iodide compounds // J. Chem. Thermodyn. 2003. — Vol. 35. -P. 1601−1612.
- Титов B.A., Коковин Г. А. Математические проблемы химии / Под ред. В. Д. Кудрина. Новосибирск: Изд. СО АН СССР, 1975. — С. 25−34.
- Semyannikov P.P., Igumenov I.K., Trubin S.V. et al. Thermodynamic of chromium acetylacetonate sublimation // Thermochimica Acta. 2005. — Vol. 432. -P. 91−98.
- Гранкин В.М., Семянников П. П. Источник ионов и высокотемпературный источник молекулярного пучка к масс-спектрометру МИ-1201 // Приборы и техника эксперимента. 1991. -№ 4. — С. 129−132.
- Сидоров А.Н., Коробов М. В., Журавлева J1.B. Масс-спектральные термодинамические исследования. М.: МГУ, 1985. 92 С.
- Semyannikov P.P., Igumenov I.K., Trubin S.V., Asanov I.P. In situ mass spectrometry during thermal CVD of the /ra-acetylacetinates of 3-d transition metal // Journal de Physique IV. 2001. — Vol. 11. — P. Pr3−995-Pr3−1003.
- A.c. Устройство для нанесения покрытий из газовой фазы / А. Ф. Быков, Н. В. Гельфонд, С. В. Земсков, И. К. Игуменов, Г. Ким, И. Г. Ларионов, А. А. Никифоров, С. М. Царев (СССР). № 1 347 504- Заявлено 28.10.85- Опубл. 22.06.87.
- Igumenov I.K., Gelfond N.V., Galkin P. S. et al. Desalination. -2001. -N 136. -273 P.
- Morozova N.B., Zherikova K.V., Gelfond N.V. etal. Volatile Hafnium (IV) Precursors for Deposition of Hf02 Films by MOCVD // Abstracts of the 1st Joint China-Russia Workshop on Advanced Semiconductor Materials and Devices, 2006. P. 13.
- Яковкина Л.В., Кичай B.H., Смирнова Т. П., Шубин Ю. Н., Каичев В. В., Жерикова К. В., Морозова Н. Б., Игуменов И. К. Синтез и свойства тонких пленок НЮ2 // Неорганические материалы. 2005. — № 12. — С. 1−6.
- Ржанов A.B., Свиташов K.K., Семененко А. И. и др. Принципы эллипсометрии / Под. ред. А. В. Ржанов. Новосибирск, Наука, 1970.
- Ayupov В.М. Determination of optical properties variation of silicon and glass surfaces after mechanical and plasma treatment by monochromatic ellipsometry // Optik. 1998.-Vol. 109, N4.-P. 145−149.
- Pinnavaia T.J., Fay R.C. Preparation and properties of some sixe- and seven-coordinate halo (acetylacetinato)complexes of zirconium (IV) and hafnium (IV) // Inorg. Chem. 1968. — Vol. 7, N.3. — P.502−508.
- Jardin M., Gao Y, Guery J., Jacoboni C. Chlorotris (2,2,6,6-tetramethyl-3,5-heptanedionato-0,0')zirconium (IV) // Acta Cryst., Sect. C. 1995. — Vol. C51. -P. 2230−2232.
- Sievers R.E., Eisentraut K.J., Springer C.S. Volatile rare earth chelates of P-diketones // Lanthanide/actinide chemistry / Ed. Fields P.R., Moeller Т., Washington, American Chemical Society, 1967. P. 141−154.1. БЛАГОДАРНОСТИ