Комплексная технология формирования поверхностных элементов на плоских и фасонных поверхностях электрофизикохимическими методами
Диссертация
Комбинацией схем формообразования можно добиться приемлемой скорости удаления шлама. Например, при использовании схемы обката электродом-инструментом по поверхности решается задача промывки межэлектродного зазора за время обработки в отличие от схем единовременного формообразования. При этом возникает погрешность формообразования за счет накопления погрешностей перемещений. В данном случае… Читать ещё >
Содержание
- I. АНАЛИЗ СОСТОЯНИЯ ВОПРОСА. АНАЛИЗ ОБЪЕКТА ИССЛЕДОВАНИЯ. ПОСТАНОВКА ЗАДАЧИ ИССЛЕДОВАНИЯ
- 1. 1. Методы получения поверхностных элементов
- 1. 1. 1. Механические методы формирования поверхностных элементов на плоских поверхностях деталей
- 1. 1. 2. Методы формирования поверхностных элементов с использованием лазерного излучения
- 1. 1. 3. Химические и электрохимические методы формирования поверхностных элементов
- 1. 1. 4. Методы формирования с использованием масок на основе бумажных и полимерных защитных материалов
- 1. 1. 5. Методы формирования поверхностных элементов с масками на основе фоторезистивных материалов
- 1. 2. Сравнение методов формирования поверхностных элементов
- 1. 3. Методы формирования поверхностных элементов с масками на основе лакокрасочных и порошковых покрытий
- 1. 4. Методы формирования поверхностных элементов с масками на основе порошковых красок с их последующей полимеризацией по заданной программе или готовой маске
- 1. 5. Методы формирования поверхностных элементов с масками на основе порошковых красок с их последующим испарением по заданной программе
- 1. 6. Обзор методов и оборудования для формирования диэлектрических поверхностных слоев
- 1. 6. 1. Методы формирования однородной полимерной композиции с применением порошковых красок
- 1. 6. 2. Методы формирования защитной маски воздействием лазерного излучения на полимерную пленку
- 1. 1. Методы получения поверхностных элементов
- 2. 1. Математическая модель распределение тепловых полей в тонкопленочном диэлектрическом слое
- 2. 2. Анализ результатов математического моделирования
- 2. 3. Электрохимическое формообразование поверхностных элементов с использованием защитных масок произвольной геометрии
- 2. 4. Выводы по главе
- 3. 1. Разработка методик проведения экспериментальных работ
- 3. 2. Экспериментальные исследования процесса формирования равнотолщинного диэлектрического слоя методом электростатического напыления полимерных композиций
- 3. 2. 1. Методика экспериментальных исследований процесса формирования равнотолщинного диэлектрического слоя
- 3. 2. 2. Экспериментальное оборудование
- 3. 2. 3. Результаты экспериментальных исследований 69 З. ЗЭкспериментальные исследования процесса формирования защитных масок в диэлектрических слоях на неплоских поверхностях
- 3. 3. 1. Методика экспериментальных исследований процесса формирования защитных масок
- 3. 3. 2. Результаты экспериментальных исследований 73 3.4Методика экспериментальных исследований процесса формирования защитных масок с использованием трафаретных предмасок
- 3. 5. Экспериментальные исследования процесса анодного растворения материала с использованием защитных масок
- 3. 5. 1. Методика экспериментальных исследований процесса анодного растворения
- 3. 5. 2. Экспериментальное оборудование
- 3. 5. 3. Результаты экспериментальных исследований
- 3. 5. 4. Анализ параметров сформированных поверхностных элементов на различных поверхностях
- 3. 6. 1. Методика исследования процесса глубокого анодного
- 3. 6. 2. Экспериментальное оборудование
- 3. 6. 3. Результаты экспериментальных исследований 95 3.7Выводы по главе 97 IV. РАЗРАБОТКА И ВНЕДРЕНИЕ ТЕХНОЛОГИЙ И
- 4. 1. Технологическая установка ЛУФМ
- 4. 1. 1. Механизм слежения за эквидистантностью к поверхности
- 4. 1. 2. Блок накачки лазерного диода
- 4. 1. 3. Система сопряжения стоек ЧПУ с современными вычислительными комплексами
- 4. 1. 4. Специфика написания программного обеспечения для управления стойками ЧПУ современными вычислительными комплексами
- 4. 2. Экспериментальная установка для процесса глубокого анодного растворения
- 4. 3. Разработка технологического регламента формирования поверхностных элементов с использованием трафаретных предмасок
- 4. 4. Разработка технологического регламента формирования поверхностных элементов с использованием процесса припекания защитного слоя
- 4. 5. Выводы по главе
Список литературы
- ГОСТ 24 773–81. Поверхности с регулярным микрорельефом. Классификация, параметры и характеристики.
- ГОСТ 2789–73. Шероховатость поверхности. Параметры и характеристики.
- Шнейдер Ю.Г. Эксплуатационные свойства деталей с регулярным микрорельефом. Л.: Машиностроение, Ленингр. отд-е, 1982. — 248с.
- Способы получения графических изображений на промышленных изделиях. Методические рекомендации / ВНИИТЭ- Т. А. Печкова и др. -М., 1980.-64 с.
- М. Datta, D. Landolt. Fundamental aspects and applications of electrochemical fabrication // Electrochimica Acta 45 (2000) 2535−2558.
- D. Landolt, P.-F. Chauvy, O.Zinger. Electrochemical micromachining, polishing and surface structuring of metals: fundamental aspects and new developments // Electrochimica Acta 48 (2003) 3185−3201.
- Басов Н.И., Казанков Ю. В., Любартович B.A. Расчет и конструирование оборудования для производства и переработки полимерных материалов: Учеб. для вузов. М.: Химия, 1986. — 488с.
- Бортников В.Г. основы технологии переработки пластических масс: Учебное пособие для вузов. Л.: Химия, 1983. — 304с.
- Филатов В.И., Корсаков В. Д. Технологическая подготовка процессов формования изделий из пластмасс. Л.: Политехника, 1991. — 352с.
- Красников В.Ф. Технология миниатюрных изделий. М.: «Машиностроение», 1976.-327с.
- Гецас С.И. Декоративная обработка изделий из пластмасс. Л.- Химия, 1978.-120с.
- Пантелеев А.П., Швецов Ю. М., Горячев И. А. Справочник по проектированию оснастки для переработки пластмасс. М.: Машиностроение, 1986. — 400с.
- Филатов В.И. Технологическая подготовка производства пластмассовых изделий. Л.: Машиностроение, 1976. — 272с.
- Татаринов В.Н. Электрохимическое формообразование регулярныхрельефов на деталях инструментальной оснастки: Автореф. Дис. к-та техн. наук: 05.03.01/ В.Н. Татаринов- ТулГУ Тула., 2004. 19с.
- Мишенин Д.И. Электрохимическая размерная обработка методом обката при сверхмалых межэлектродных зазорах в пленке электролита: Автореф. Дис. к-та техн. наук: 05.03.01/ Д.И. Мишенин- ТулГУ Тула., 2003. 20с.
- Дунин-Барковский И.В., Карташова А. Н. Измерение и анализ шероховатости, волнистости и некруглости поверхности. — М.: Машиностроение, 1978. 232с.
- Применение лазеров / под ред. М. Росса. М.: Мир, 1974. — 445с.
- Суминов В.М. Обработка деталей лучом лазера. М.: Машинотсроение, 1969.-220с.
- Справочник по лазерам / Под ред. A.M. Прохорова. М.: Советское радио, 1978. т.1, т.2.
- Григорьянц А.Г. Достижения и перспективы развития лазерной технологии // Сварочное производство. 1996. № 8. С. 2−4.
- Коваленко B.C. Лазерная технология: Учебник, — К.: Выща шк. Головное изд-во, 1989.- 280 с.
- Углов А.А. Состояние и перспективы лазерной технологии // Физика ихимия обработки материалов. 1992. № 4. С. 32−42.
- Давыдов А.Д. Лазерно-электрохимическая обработка металлов / Электрохимия, 1994, т. 30, № 8, с. 965−976.
- Лазерная и электронно-лучевая обработка материалов: Справочник / Н. Н. Рыкалин, А. А. Углов, И. В. Зуев, А. Н. Кокора. М.: Машиностроение, 1985. — 496 с.
- Лазерная поверхностная обработка металлов и сплавов. / Леонтьев П. А., Чеканова Н. Т., Хан М. Г. М.: Металлургия, 1986 г. — 142 с.
- Лазерная техника и технология. В 7 кн. Кн 7. Лазерная резка металлов: Учеб. Пособие для вузов / Григорьянц А. Г., Соколов А.А.- Под ред. Григорьянца А. Г. М.: Высш. Шк., 1988. — 127 с.
- Лазерная техника и технология. В 7 кн. Кн 3. Методы поверхностной лазерной обработки: Учеб. Пособие для вузов / Григорьянц А. Г., Сафонов А.Н.- Под ред. Григорьянца А. Г-М.: Высш. Шк., 1988.-191 с.
- Лазерная техника и технология. В 7 кн. Кн 6. Основы лазерного термоупрочнения сплавов: Учеб. Пособие для вузов / Григорьянц А. Г., Сафонов А.Н.- Под ред. Григорьянца А.Г.-М.: Высш. Шк., 1988.-159 с.
- Горленко О.А., Михеенко Т. А. Свойства поверхностей упрочненных лазерных обработкой /Физика и химия обработки материалов, 1983, № 6, с. 18−23
- Сафонов А.Н. Производство и использование лазерной техники для обработки материалов. // Сварочное производство. 1997. № 2. С.22−26.
- Рэди Дж. Промышленное применение лазеров. М.: Мир, 1981. — 638 с.
- Смоленцев В.П., Смоленцев Г. П., Садыков З. Б. Электрохимическое маркирование деталей / В. П. Смоленцев, Г. П. Смоленцев, З. Б. Садыков. М.: Машиностроение, 1983. — 72 е., ил.
- Румянцев Е.М., Давыдов А. Д. Технология электрохимической обработки металлов: Учеб. пособие для техн. вузов. М.: Высш. шк, 1984- 159 с.: ил.
- Шалкаускас М., Вашкялис А. Химическая металлизация пластмасс. -Л.: Химия, 1977.- 168с.
- Садаков Г. А., Дюбанкова Э. Н. Технология гальванопластики в часовой промышленности // Гальванотехника и обработка поверхности. 1994. -т.З, № 3. — с.38−40.
- Гнидина И.В. Импульсное электролитическое формование микрорельефов // Дисс.. канд. техн. наук. Тула, 1999. — 170с.
- Коваленко B.C. Технология и оборудование электрофизических и электрохимических методов обработки материалов. Киев: Вища шк. 1983.- 176.
- Электроимпульсная обработка металлов / A.JI. Лившиц, А. Т. Кравец, И. С. Рогачев, А. Б. Сосенко. М.: Машиностроение, 1967. — 295с.
- Попилов Д.Я. Электрофизическая и электрохимическая обработка материалов: Справочник 2-е изд., перераб. и доп. — М.: Машиностроение, 1982.-400с.
- Седыкин Ф.В. Размерная электрохимическая обработка деталей машин. -М., 1976.
- Подураев В.Н., Камалов B.C. Физико-химические методы обработки. -М.: Машиностроение, 1973. 346с.
- Петров Ю.Н. и др. Основы повышения точности электрохимического формообразования. Кишинев, Штиница, 1977. — 153с.
- Мороз И.И., Алексеев Г. А., Водяницкий О. А. и др. Электрохимическая обработка металлов. М., 1969. — 208с.
- Де Барр А. Е., Оливер Д. А. Электрохимическая обработка (пер. с англ.). -М., 1973.-184с.
- Головачев В.А. и др. Электрохимическая размерная обработка деталей сложной формы. М.: Машиностроение, 1969. — 198с.
- Справочник по электрохимическим и электрофизическим методам обработки // Г. Л. Амитан, И. А. Байсупов, Ю. М. Барон и др.- под общей ред. В. А. Волосатова.-Л.: Машиностроение. Ленингр. отд-е, 1988.-719с.
- Размерная электрохимическая обработка металлов: Учеб пособие для студентов вузов / Б. А. Артамонов, A.JI. Винницкий, Ю. С. Волков, А.В. Глазков- Под ред. А. В. Глазкова. М.: Высш. школа, 1978. — 336с.
- Станкеев А. А. Станкеева И.Н. Новые методы маркирования деталей. Тула, Приокское кн. изд., 1964. 36 с.
- Смоленцев В.П. и др. Электрохимическое маркирование деталей / В. П. Смоленцев, Г. П. Смоленцев, З. Б. Садыков. М.: Машиностроение, 1983.-72 с.
- Садыков З.Б. Регулирование процесса электрохимической обработки неподвижными электродами. В кн.: Размерная ЭХО деталей машин., Тула, 1975, ч. 2, с. 23−25.
- Волков Ю.С., Лившиц А. Л. Введение в теорию размерного формообразования электрофизико-химическими методами. Киев, 1978.
- Клоков В.В. Электрохимическое формообразование. Казань, 1984.
- Высокоскоростное электрохимическое формообразование / А. Д. Давыдов, Е. Козак. М.: Наука, 1990. — 272 с.
- М. Datta, D. Landolt. Fundamental aspects and applications of electrochemical fabrication // Electrochimica Acta 45 (2000) 2535−2558.
- D. Landolt, P.-F. Chauvy, O.Zinger. Electrochemical micromachining, polishing and surface structuring of metals: fundamental aspects and new developments // Electrochimica Acta 48 (2003) 3185−3201.
- Вейко В.П. Лазерная обработка пленочных элементов. Л.: Машиностроение, Ленингр. Отд-ние, 1986. — 248 е., ил.
- Вейко В. П. Контурно-проекционный метод лазерной обработки материалов. — Квантовая электрон., 1978, т. 5, № 12, с. 2602— 2610.
- Вейко В. П. Лазерная обработка пленочных элементов. — Тр. ЛИТМО. Л.: 1980, с. 36—45.
- Вейко В. П. Лазерная обработка тонкопленочных элементов: Материалы школы «Применение лазеров в промышленности». Л.: ЛДНТП, 1974, с. 3—11.
- Вейко В. П. Опыт внедрения лазерной обработки тонких пленок в микроэлектронике. Л.: ЛДНТП, 1977. 32 с.
- Вейко В. П., Кайданов А. И., Яковлев Е. Б. Двухфазная модель разрушения поглощающих пленок мощными световыми импульсами. — Квантовая электрон., 1980, т. 7, № 1, с. 34—41.
- Вейко В. П., Кокора А. Н., Либенсон М. Н. Экспериментальная проверка распределения температур в зоне воздействия излучения ОКГ па металл. — Докл. АН СССР, 1968, т. 179, № 1,с. 68—71.
- Вейко В. П., Котлецов Б. Н., Либенсон М. Н. Лазерная литография. Л.: Знание, 1971. 48 с.
- Вейко В. П., Котов Г. А., Либенсон М. Н. Окисление тонких пленок хрома при нагревании импульсным лазерным излучением. — Электрон, техн., сер. 3, 1973, вып. 4, с. 48—56.
- Вейко В. П., Котов Г. А., Либенсон М. Н. Термическое действие лазерного излучения на некоторые полимерные материалы. — Физика и химия обраб. материалов, 1973, № 2, с. 16—18.
- Вейко В. П., Котов Г. А., Шандыбина Г. Д. Термохимический метод лазерной обработки тонких металлических пленок. — Тр. ЛИТМО. Л.: 1980, с. 106—112.
- Вейко В. П., Крутенкова Е. А., Котов Г. А. К расчету термических искажений рисунка при лазерной обработке пленок. — Физика и химия обраб. материалов, 1980, № 5, с. 37—43.
- Вейко В. П., Либенсон М. Н. Лазерная обработка. Л.: Лениздат, 1973. 190 с.
- Судник В.А., Ерофеев В. А., Радаи Д. Компьютерная имитация формирования шва при лазерно-лучевой сварке с зазором //Сварочное производство. 1999. № 8. С. 9−14.
- Вейко В. П., Либенсон М. Н. Об использовании гигантского импульса ОКГ для обработки материалов. — Вопросы радиоэлектроники, сер. 4, 1966, вып. 4, с. 20—21.
- Вейко В. П., Либенсон М. Н. Применение лазеров в микроэлектронике. — Вопросы радиоэлектроники, сер. 3, 1964, № 5, с. 99—104.
- Вейко В. П., Либенсон М. Н. Проекционный способ обработки материалов излучением ОКГ. — Физика и химия обраб. материалов, 1968, № 4, с. 44—50.
- Вейко В. П., Либенсон М. Н., Суслов Г. П. Исследование стабильности параметров излучения ОКГ на стекле с неодимом. — Физика и химия обраб. материалов, 1967, № 2, с. 26—30.
- Вейко В. П., Соболев П. Н., Яковлев Е. Б. Прецизионная обработка тонких пленок непрерывным излучением. — В кн.: Опыт применения лазеров в приборостроении и машиностроении. Л.: ЛДНТП, 1983, с. 56—59.
- Вейко В. П., Суслов Г. П. Исследование равномерности излучения ОКГ на стекле с неодимом. — Жури, прикладной спектроскопии, 1971, т. 17, № 2 с. 223—227.
- Вейко В. П., Суслов Г. П. О стабильности энергии излучения импульсных твердотельных ОКГ. — Журн. прикладной спектроскопии, 1970, т. 12, № 1, с. 41—44.
- Вейко В. П., Табачник Е. М., Тучкова Е. А. Экспериментальное исследование кинетики лазерного нагревания тонких металлических пленок. — Электрон, обраб. материалов, 1986, № 1, с. 22—25.
- Вейко В. П., Тучкова Е. А. Неравномерность фронта разрушения металлических поверхностей под действием лазерного излучения. — Поверхность, 1983, № 5, с. 15—22.
- Вейко В. П., Тучкова Е. А., Юркевич Б. М. Расчет толщины прогретого слоя в подложке при лазерном нагревании тонких пленок. — Физика и химия обраб. материалов, 1982, № 3, с. 21−24.
- Вейко В. П., Тучкова Е. А., Яковлев Е. Б. О разрешающей способности лазерной литографии на тонких металлических пленках. — Квантовая электрон., 1984, т. 11, № 4, с. 661—665.
- Вейко В. П., Юркевич Б. М. Подгонка частоты кварцевых резонаторов при помощи лазерного излучения. Л. гЛДНТП, 1974. 32 с.
- Вейко В. П., Юркевич Б. М., Юхно И. Н. Подстройка монолитных кварцевых фильтров при помощи лазерного излучения. —Электрон, техн., сер. 5,1977, № 2 (21), с. 69—76.
- Павеле Л.А. Анализ газогидродинамических процессов при компьютерном проектировании технологии газолазерной резки. // Дисс. к.т.н. Тула, 1999. — 160 с.
- Глинка Н.Л. Общая химия: Учебное пособие для вузов. 23-е изд., испр./Под ред. В. А. Рабиновича. — Л.: Химия, 1983. — 704 е., ил.
- Вейко В. П., Яковлев Е. Б. Взрывное разрушение тонких пленок лазерным излучением. Тезисы докл. VI Всесоюзной конференции по нерезонансному взаимодействию оптического излучения с веществом. Паланга—Вильнюс, 1984, с. 211.
- Вейко В. П., Яковлев Е. Б. О некоторых особенностях разрушения тонких пленок под действием лазерного излучения. — Физика и химия обраб. материалов, 1979, № 2, с. 33—36.
- Гуревич Г. Л., Муравьев В. А. Воздействие излучения ОКГ на тонкие пленки. — Физика и химия обраб. материалов, 1973, № 1, с. 3—8.
- Гуревич Г. Л., Муравьев В. А. К теории разрушения тонких пленок излучением ОКГ. Физика и химия обр. материалов, 1973, № 3, с. 5−11.
- Котлецов Б. Н. Микроизображение. JI.: Маш-е, 1985.
- Лазерный генератор изображений/И. М. Карпмап, Б. Н. Котлецов, М. Н. Либеисон и др. — В кн.: Проблемы и перспективы использования оптико-механических средств в технологии производства микросхем. Л.: ЛДНТП, 1973, с. 12—19.
- Либенсон М. Н. Нагрев и разрушение тонких пленок излучением ОКГ. — Физика и химия обраб. материалов, 1968, № 2, с. 3—11.
- Дэниел К. Применение статистики в промышленном эксперименте. -М.: Мир, 1979.-299 с.
- Лавренчик В.Н. Постановка физического эксперимента и статистическая обработка его результатов: Учеб. Пособие для вузов. — М.: Энергоатомиздат, 2986. 272 с.
- Зарубин B.C. Инженерные методы решения задач теплопроводности. -М.: Энергоатомиздат, 1983. 328 е., ил.
- Бреславский П.В., Мажукин В. И., Такоева Л. Ю. Математическое моделирование лазерного плавления и испарения однородных материалов. Препринт ИПМ им. М. В. Келдыша АН СССР, № 22, 1991.45 с.