ЭКУ в технологической оснастке производства изделий электронной техники

На практике рассмотренный выше принцип образования электроадгезионной связи разнородных твердых тел, на основе их пондеромоторного взаимодействия в электрическом поле, используется при создании электростатических муфты сцепления при передаче силового механического момента, в крепежных устройств оснастки при механической и электронной обработке деталей, в захватывающих узлах манипуляторов автоматизированных сборочных и транспортных линий в производстве элементов электронной техники машино — и приборостроения.

В зависимости от технических требований и условий эксплуатации ЭКУ его межэлектродная конденсаторная структура может выполняться в разных вариантах выбора материалов.

В традиционных ЭКУ при захвате детали используется подложка из полупроводящего материала с удельным объемным электрическим сопротивлением 10⁶…10^ч Омм, которая обеспечивает высокое быстродействие при небольшом усилии закрепления F_a. Для существенного увеличения величины F_a в ЭКУ, например, при длительной механической обработке закрепленной детали, для устранения протекания сквозного тока при её нагревании в структуру контактной зоны конденсатора вводится барьерный слой в виде диэлектрического покрытия. Однако в таком ЭКУ может существенно снижаться быстродействие операций закрепления и открепления детали. Для длительного сохранения усилия закреплённой детали F_a (месяцы и годы) в ЭКУ целесообразно использование пондеромоторных сил остаточного электретного заряда в диэлектрическом слое покрытия. При этом величина F_a закрепления будет определяться видом выбираемого электретного материала покрытия, а также технологическим режимом его предварительной поляризации.