Вторичная электронная эмиссия — явление выхода за пределы облучаемого тела электронов этого тела, возбужденных в результате облучения первичными электронами.
Квазиупругое взаимодействие — это взаимодействие, отличающееся от упругого взаимодействия на малую величину, равную энергии фононов.
Коллективное возбуждение— это такой вид неупругого взаимодействия, когда облучающие электроны взаимодействует с совокупностью валентных электронов твердого тела Люминесценция, рекомбинационное излучение — это электромагнитное излучение, возникающее в результате возвращения возбужденных электронов тела в равновесное состояние.
Моноэнергетический пучок электронов — пучок, состоящий из электронов одной энергии.
Неупругое взаимодействие — такое взаимодействие, при котором изменяется внутренняя энергия участвующих в нем частиц.
Одночастичное взаимодействие — это такой вид неупругого электрон-электронного взаимодействия, когда энергия облучающих электронов идет на ионизацию отдельных атомов твердого тела.
Оже-процесс — это процесс безызлучательной передачи энергии электроном другому электрону при переходе первого электрона на какой-либо нижележащий энергетический уровень.
Первичные электроны — электроны, образующие исходный пучок, облучающий мишень (заготовку).
Плазмон — квант энергии колебаний электронной плотности внутри твердого тела, возникающих в результате неупругого рассеяния облучающих электронов.
Радиационная проводимость, наведенная проводимость, электронно-возбужденная проводимость — явление возрастания электрической проводимости под воздействием электронного облучения в результате появления дополнительных неравновесных носителей заряда.
Термализованные электроны — электроны, не соответствующие условиям равновесия при заданной температуре, но обладающие тепловыми скоростями.
Упругое взаимодействие — такое взаимодействие, при котором взаимодействующие частицы обмениваются кинетической энергией, а их внутренняя энергия при этом сохраняется.
Фонон — квант упругой волны, распространяющейся по кристаллической решетке в результате упругого взаимодействия электрона с атомом этой решетки.
