Диагностика фазовых превращений в приповерхностных слоях арсенида галия с помощью поверхностных акустических волн
Диссертация
Поверхностные акустические волны (ПАВ) являются эффективным средством контроля состояния поверхности твердых тел и можно ожидать, что даже слабые механические напряжения или пластические деформации в приповерхностном слое будут влиять на параметры распространения ПАВ, а именно на величину затухания и фазовой скорости. Известно, в частности, что адсорбция и десорбция различных веществ… Читать ещё >
Содержание
- Глава 1. Фазовые превращения в приповерхностных слоях твердых тел под влиянием внешних воздействий и возможности использования поверхностных акустических волн для их диагностики (обзор литературы)
- 1. 1. Поверхность твердого тела как среда распространения ПАВ
- 1. 2. Особенности свойств поверхности кристаллов
- 1. 3. GaAs в качестве объекта исследования
- 1. 4. Процессы формирования конденсированных слоев на поверхности кристаллов
- 1. 4. 1. Механизмы образования и роста плёнок
- 1. 4. 2. Кинетика образования тонких плёнок
- 1. 5. Воздействие внешних факторов на состояние поверхности и стимулирование ее перестройки
- 1. 6. Возможности ПАВ-диагностики
- 1. 6. 1. Поглощение звука
- 1. 6. 2. Дисперсия скорости звука
- 1. 6. 3. Взаимодействие объемных акустических волн
- 1. 6. 4. Взаимодействия акустических волн с полями иной природы
- 1. 6. 5. Особенности взаимодействия поверхностных акустических волн друг с другом и с объемными волнами
- 1. 6. 6. Решеточная нелинейность монокристаллов
- 1. 6. 7. Концентрационная нелинейность полупроводников
- 1. 6. 8. Нелинейные свойства кристаллических порошков
- 1. 7. Процессы осаждения золота, испаряемого в вакууме, как тестовые реакции фазовых превращений в приповерхностных слоях GaAs для ПАВ-диагностики
- Глава 2. Методика и техника эксперимента
- 2. 1. Характеристики исследуемых образцов
- 2. 2. Измерение параметров распространения ПАВ
- 2. 2. 1. Измерение комплексных коэффициентов прохождения и отражения в четырехполюснике
- 2. 2. 2. Акустоэлектрические преобразователи
- 2. 2. 3. Возбуждение и регистрация ПАВ
- 2. 2. 4. Методика измерения параметров распространения ПАВ
- 2. 2. 5. Оценка потерь энергии и изменения скорости при распространении ПАВ
- 2. 3. Методика исследования поверхности GaAs в вакууме
- 2. 3. 1. Исследования процесса осаждения пленки золота с помощью ПАВ
- 2. 3. 2. Измерения сопротивления в приповерхностных слоях GaAs
- 2. 4. Исследования с помощью ПАВ в системе образец-ЫТЧЬОз на воздухе
- Глава 3. ПАВ-диагностика трансформации поверхности GaAs под воздействием потока испаряемого золота
- 3. 1. Структура и состав пленок на основе Аи на GaAs
- 3. 1. 1. Структура и состав пленок Аи на GaAs в зависимости от толщины
- 3. 1. 2. Исследования структуры образцов Au-(11 l) i-GaAs с помощью оптической микроскопии
- 3. 1. 3. Трансформация приповерхностных слоев в структурах Au-GaAs
- 3. 2. ПАВ-диагностика (in situ) трансформации поверхности GaAs под воздействием потока испаряемого золота
- 3. 3. Реакции взаимодействия в приграничных слоях Au-GaAs и динамика ПАВ
- 3. 4. Особенности характеристик распространения ПАВ в процессе осаждения золота на поверхность арсенида галлия
- 3. 4. 1. Рассеянная мощность ПАВ
- 3. 4. 2. Величина рассеянной энергии
- 3. 4. 3. Скорость ПАВ в зависимости от времени осаждения Аи
- 3. 4. 4. dv/dt в зависимости от времени осаждения Аи
- 3. 4. 5. Пульсация величины dv/dt
- 3. 4. 6. Рассеянная энергия и интегральная функция Av/v 91 3.5 Анализ физико-химических процессов на границе Au-GaAs с помощью параметров прохождения ПАВ (ПАВ-диагностики)
- 3. 1. Структура и состав пленок на основе Аи на GaAs
- 4. 1. Физико-химические реакции в приповерхностных слоях GaAs в вакууме
- 4. 1. 1. Природный слой оксида на поверхности GaAs
- 4. 1. 2. Декорирование поверхности GaAs с помощью Аи
- 4. 1. 3. Структура поверхности GaAs под воздействием слабых излучений
- 4. 1. 4. Обсуждение результатов
- 4. 2. Измерения сопротивления в приповерхностных слоях GaAs
- 4. 2. 1. Результаты измерения сопротивления в зависимости от времени облучения светом
- 4. 2. 2. Начальное сопротивление в зависимости от условий экранирования
- 4. 2. 3. Свободные заряды на поверхности и энергия фопонов
- 4. 2. 4. R в зависимости от времени выдержки под действием света
- 4. 2. 5. Зависимость R от времени экспозиции
- 4. 3. GaAs-LiNb03 без ПАВ и с ПАВ
- 5. 1. Изменения амплитуды и фазы ПАВ в зависимости от времени выдержки под действием света
- 5. 2. Фурье спектры колебаний dv/dt и рассеянной мощности P (t)
- 5. 3. Обсуждение результатов
Список литературы
- Арсенид галлия в микроэлектронике / под ред. Н. Айнспрука, У.Уиссмена. / Пер. с англ. М.: Мир, 1988. 555 с.
- Арсенид галлия. Получение, свойства и применение: Коллективная монография / под ред. Ф. П. Кесаманлы, Д. Н. Наследова. М.: Наука, 1973. 471 с.
- Тягай В.А., Снитко О. В. Электроотражение света в полупроводниках. Киев: Наукова думка, 1980. 302 с.
- Богородицкий Н.П., Волокобинский Ю. М., Воробьев А. А., Тареев Б. М. Теория диэлектриков. M.-JL: Энергия, 1965. 344 с.
- Белинчер В.И., Рыбкин С. М. Реактивная фотоэлектродвижущая сила в полупроводниках//ЖЭТФ. 1981. Т. 81. № 1 (7). С. 353−360.
- Као К., Хуанг В. Перенос электронов в твердых телах. / пер с англ. М.: Мир, 1984 ч.2. 350 с.
- Конуэлл Э. Кинетические свойства полупроводников в сильных электрических полях. / пер. с англ. М.: Мир, 1970, 384 с.
- Гулямов Г., Бойдедаев С. Р., Дадамирзаев М. Г., Гулямов А. Г. Аномально большие напряжения в полупроводниковых пленках, обусловленные реактивной фотоэдс // Международный научный журнал «Альтернативная энергетика и экология». АЭЭ, 2007. № 5 (49). С. 94−98.
- Г. С. Кринчик. Динамические эффекты электро- и пьезоотражения света кристаллами // Успехи физических наук. 1968. Вып. 1. С. 143−154.
- Фридкин В.М. Динамика решетки и фазовые переходы // Современная кристаллография: в 4 т. / под ред. Вайнштейна Б. К., Чернова А. А., Шувалова JI.A. М.: Наука. 1979−1981. Т. 2. Структура кристаллов. Гл. 4. С. 262−295.
- Болтакс Б.Н. Диффузия и точечные дефекты в полупроводниках. JL: Наука, 1972.384 с.
- Исакович М.А. Общая акустика. М.: Наука, 1973. 495 с.
- Труэлл Р., Эльбаум Ч., Чик Б. Ультразвуковые методы в физике твердого тела. / пер. с англ. М.: Мир, 1975. 308 с.
- Такер Дж., Рэмптон В. Гиперзвук в физике твердого тела. / пер. с англ., под ред. Михайлова и В. А. Шутилова. М.: Мир, 434 с.
- Нелинейные акустоэлектронные устройства и их применение. / под ред. Бондаренко B.C. М.: Радио и связь, 1985. 160 с.
- Адхамов А. А., Гальперин Ю. М., Пардаев А. П. Физические основы акустоэлектроники (Акустические свойства пьезоэлектрических полупроводников) / Отв. ред. И. Исмаилов- АН Тадж. ССР, Физ.-техн. ин-т им. С. У. Умарова 121 1. Душанбе: Дониш, 1986. 124 с.
- Вьюн В.А., Ржанов А. В., Яковкин И. Б. Акустоэлектронные методы полупроводников. / под ред. Богданова С. В. Новосибирск: АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников, 1987. 126 с.
- Кайно Г. Акустические волны. Устройства, визуализация и аналоговая обработка сигналов. / пер. с англ. М.: Мир, 1990. 656 с.
- Biryukov S.V., Gulyaev Yu.V., Krylov V.V., Plessky V.P. Surface Acoustic Waves in inhomogeneous Media. / Editors: Brechovskich L.M., Felsen L.B. Springer-Verlag, Berlin, Heidelberg, New York, 1995. 390 p.
- Викторов И. А. Звуковые поверхностные волны в твёрдых телах. М.: Наука, 1981.287 с.
- Григорьевский В. И., Плесский В. П. Затухание волны Рэлея при распространении вдоль периодически неровной поверхности кубических и гексогональных кричталлов // Акустический журнал. 1980. Т. 26. С. 685 689.
- Серейка А.П., Гаршка Э. П., Милькявичене З. М., Юцис А. И. Электронное поглощение поверхностной акустической волны в структуре пьезоэлектрик металлическая пленка// Физика твердого тела. 1974. В. 8. С. 74−78.
- Halvor Skele. Electrical and Mechanical Loading of a Piezoelectric Surface Waves. Surface Waves on a Piezoelectric Surface // The Journal of the acoustic Society of America. 1970. V. 3. № 5 (part 2).
- Gafka D., Tani J. Sencitivity of surface acoustic wave velocity in lithium niobate to electrical field or biasing stress // J. Appl. Phys. 1993. V. 73, P. 7145−7151.
- Д. Морган. Устройства обработки сигналов на поверхностных акустических волнах. М.: Радио и связь. 1990. 415 с.
- Морозов А.И., Проклов В. В., Станковский Б. А., Гингис А. Д. Пьезополупроводниковые преобразователи и их применение. М.: Энергия, 1973. 152 с.
- Verona Е., Caliendo С., D. Amico A. SAW Gas Sensors / Ed.G. Sberveglieri. London: Kluwer. 1992. 281 p.
- Тонкие пленки. Взаимная диффузия и реакции / под редакцией Дж. Мейера / пер. с англ. М.: Мир, 1982. 576 с.
- Rafii-Tabar Н. Modelling of nano-scale phenomena in condensed matter physics via computer-based numerical simulations // Physics reports. 2000 V. 325 P. 239−310.
- Osetsky Yu. N. Atomistic study of diffusional mass transport in metals // Defect and Diffusion Forum. 2001. V. 188−190. P. 71−92.
- Серов И.Н., Марголин В. И., Жабрев В. А., Тупик В. А., Фантиков B.C. Эффекты дальнодействия в микро- и наноразмерных структурах // Инженерная физика. 2005. № 1. С. 50−67.
- Serov I.N., Margolin V.I., Potsar N.A., Soltovskaya I.A., Tupik V.A., Fantikov V.S. Deposition of nanoscale films with fractal topography // Russian Microelectronics. 2004. V. 33. № 5. C. 263−270.
- Serov I.N., Zhabrev V.A., Margolin V.I. Problems of Nanotechnology in Modern Materials Science // Glass Physics and Chemistry. 2003. V. 29. № 2. C. 169−171.
- Венгеров Е.Ф., Конакова Р. В., Коротченков Г. С., Миленин В. В., Руссу Э. В., Прокопенко И. В. Межфазные взаимодействия и механизмы деградации в структурах металл InP и металл-GaAs. Киев: ОАО КТНК, Институт физики полупроводников НАН Украины, 1999. 233 С.
- Волькенштейн Ф.Ф. Электронные процессы на поверхности полупроводников при хемосорбции. М.: Наука, 1987. 380 с.
- Комник Ю. Ф. Физика металлических плёнок. Размерные и структурные эффекты. М.: Атомиздат, 1979. 262 с.
- Борзяк П.Г., Кулюпин Ю. А. Электронные процессы в островковых металлических пленках. Киев: Наукова думка, 1980. 239 с.
- Иевлев В.М., Трусов Л:И. ХолмянскшгВ.А. Структурные превращения в тонких пленках. М.: Металлургия, 1982. 248 с.
- Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками. / под редакцией Дж. М. Поута, Г. Фоти, Д.К. Джекобсона/ пер. с англ. под редакцией А. А. Углова. М.: Машиностроение, 1987. 423 с.
- Laser Annealing of Semiconductors. / edited by J.M.Poate, James W. Mayer. New York, London, 1982. Part. 2.2, P. 281−564.
- Briantseva T.A., Lioubtchenko D.V., Lopatin V.V. Ga migration process in Au film on (100) GaAs under temperature treatment in vacuum // Applied Surface Science. 1996. № 100/101. P. 169.
- Briantseva T.A., Lioubtchenko D.V., Lyubchenko V.E., Rostovtseva S.A. Thermomechanical strains in Small-size Au-GaAs thin-film structures // Applied Surface Science. 2000. V. 161. P. 219−226.
- Briantseva T.A., Lebedeva Z.N., Markov I.A., Bullough T.J. and Lioubtchenko D.V. Processes-induced modification to the surface of crystalline GaAs measured by photometry // Applied Surface Sciences. 1999. V. 143. P. 223−228.
- Briantseva T.A., Lebedeva Z.M., Lioubtchenko D.V., Markov I.A., Nolan M., Perova T.S., Moore R.A. Precise chemical analysis development for siliconwafers after rapid thermal processing // Applied Surface Sciences. 2000. V. 156. P. 21−25.
- Брянцева T.A., Лебедева 3.M., Лопатин B.B., Любченко В. Е. Определение микропримесного состава Au контактов к полупроводникам АЗВ5 // Заводская лаборатория. 1991. Т. 57. № 1. С. 21−25.
- Briantseva Т.А., Bullough T.J., Lioubtchenko D.V., Markov I.A., Tolmachev E.M. SAW diagnostics of GaAs surface structure // Physica B: Condensed Matter. 1999. V. 263−264. P. 84−86.
- Lioubtchenko D.V., Briantseva T.A., Markov I.A., Bullough T.J. Surface composition investigation of thin film based on A1 grown by CBE on the (001) GaAs surface in situ monitored by laser // Defect and Diffusion Forum. 2007. V. 261−262. P. 25−30.
- Lioubtchenko D.V., Markov I.A., Briantseva T.A. GaAs surface modification under light irradiation in vacuum // Applied Surface Sciences. 2002. V. 195. P. 42−47.
- Lioubtchenko D. V^ Markov I.A. and Briantseva T.A. GaAs surface modifications under Au evaporating flux // Applied Surface Science. 2003. V. 211. N 1−4. P. 335−340.
- Briantseva T.A., Bullough T.J., Lioubtchenko D.V., Markov I.A., Tolmachev E.M. SAW diagnostics of GaAs surface structure / Abstract of the 9th International Conference on Phonon Scattering in Condensed Matter, Lancaster (UK), 1998.
- Брянцева T.A., Любченко B.E., Любченко Д. В., Марков И. А. Измерение параметров прохождения ПАВ при трансформации поверхности GaAs под воздействием испаряемого золота // Инженерная физика. 2008. № 2. С. 3135.
- Брянцева Т.А., Любченко Д. В., Марков И. А., Толмачев Е. М. Исследование трансформации поверхности GaAs под воздействием потока испаряемого золота с помощью поверхностных акустических волн // Неорганические материалы. 2009. Т. 45. № 8. С. 901−907.
- Markov I.A., Briantseva Т. A. and Lioubtchenko D.V. Modifications of GaAs surface under Au evaporating Flow // Proceedings of International Conference of Mass and Charge Transport in Inorganic Materials, Italy, 2000. P. 701−708.
- Lioubtchenko D.V., Markov I.A., Briantseva T.A., Lyubchenko V.E. Surface Acoustic Wave Investigation of the Near-Surface Layers Under Light Irradiation //Proceedings of WOCSDICE 2001, Cagliari, Italy, May 2001. P. 123−124.
- Bryantseva T.A., Lioubtchenko D.V., Yunevitch E.O. Structure Evolution and Phase Transitions in Au Film Growth on (100) GaAs Surface / Japan Session Topic: Surface Evolution during Film Growth (TF10). 1988. Abstract Number: F10−014.
- Брянцева T.A., Кухта Н. П., Любченко B.E., Ормонт А. Б. Исследование распределения химических элементов в контактах Au-GaAs // Микроэлектроника. 1976. № 1. С. 40−42.
- Briantseva Т.А., Lioubtchenko D.V., Alkeev N.V. Acoustoelectrical effects inthe processes of thin Au film evaporation on GaAs surface // Proceeding of theth • 14 Inter. Conference on Utilization of the Ultrasonic Methods in Condensed
- Matter, Zilina, Slovakia. 1996. P. 43−47.
- Френкель Я.И. Введение в теорию металлов. / под ред. Вонсовского. Л.: Наука. 1972. 424 с.
- Чернов А.А. Нормальный и послойный рост кристаллов. / Современная кристаллография. Т. 3. Образование кристаллов, М.: Наука, 1980. С. 91.
- Родерик Э.Х. Контакты металл- полупроводник. / пер. с англ. под ред. Г. В. Степанова. М.: Радио и связь, 1982. 207 с.
- Стриха В.И. Теоретические основы работы контакта металл-полупроводник. Киев: Наукова Думка, 1974. 263 с.
- Стриха В.И., Бузанёва Е. В., Радзиевский И. А. Полупроводниковые приборы с барьером Шоттки (физика, технология, применение). / под ред. Стрихи В. И. М.: Советское радио, 1974. 248 с.
- Брянцева Т.А., Любченко В. Е., Юневич Е. О. Диоды Шоттки с пониженным барьером на основе тонкопленочных контактов Au+Ge/GaAs // Радиотехника и электроника. 1995. Т. 40. № 8. С. 514−519
- Любченко В.Е., Юневич Е. О. Активная микрополосковая антенна с диодом Ганна//Радиотехника и электроника. 2003. Т. 48. № 1 0. С. 1270−1272.
- Любченко В.Е., Котов В. Д., Юневич Е. О. Активная микрополосковая антенна с диодом Ганна // Известия ВУЗов. Радиофизика. Т. XLVI, № 8−9. С. 799−803.
- Любченко В.Е. Полупроводниковые приборы в устройствах терагерцового диапазона // Радиотехника. 2002. № 8. С. 50−54.
- Брянцева Т.А., Винниченко В. Ю., Дворянкина Г. Г., Юневич Е. О. Процессы формирования тонких пленок золота на поверхности (100)GaAs // ДАН СССР. 1988. Т. 300. № 3. С. 601−603.
- Брянцева Т.А., Дворянкина Г. Г., Лебедева З. М., Петров А. Г., Соколова Е. Б., Юневич Е. О. Взаимодействие золота с приповерхностным слоем арсенида галлия // Неорганические материалы. 1986. Т. 22. № 9. С. 14 211 424.
- Lioubtchenko D.V., Briantseva Т.А., Lebedeva Z.N., Markov I.A. and Lyubchenko V.E. GaAs Near-Surface Layer Formation Under Millimeter Wave Irradiation // Defect and Diffusion Forum. 2001. V. 194−199. P. 745−750.
- Брянцева T.A., Волков А. И., Дворянкина Г. Г., Кармазин С. В., Любченко В. Е. Исследование механизма образования и электрических свойствпланарных омических контактов к n-GaAs на основе золота и сплавов // Микроэлектроника. 1978. № 1. С. 57−64.
- Брянцева Т.А., Лопатин В. В., Любченко В. Е. Особенности коалесценции тонких пленок Au-Ge при формировании контактов ограниченных размеров // Физика твердого тела. 1988. Т. 30. № 3. С. 645−648.
- Брянцева Т.А., Винценц С. В., Любченко В. Е., Юневич Е. О. Формирование омических контактов в тонкопленочной структуре Au+Ge/GaAs под многократным воздействием лазерных импульсов // Письма в ЖТФ. 1991. Т. 17. № 1.С. 55−57.
- Дифракционные и микроскопические методы в материаловедении. / под. ред. Амелинкса G. М.: Металлургия, 1984. 502 с.
- Вудрав Д., Дэлчар Т. Современные методы исследования поверхности. М.: Мир, 1989. 456 с.
- Гинье A.M. Рентгенография кристаллов. М.: Физматгиз, 1961. 604 с.
- Кривоглаз М.А. Дифракция рентгеновских лучей и нейтронов в неидеальных кристаллах. Киев: Наукова думка, 1983. 407 с.
- Хейденрайх Р. Основы просвечивающей электронной микроскопии. М.: Мир, 1966. 472 с.
- Киселев А.В. Межмолекулярные взаимодействия в адсорбции и хроматографии. М.: Высшая Школа, 1986. 360 с.
- Суворов Э.В., Шульпина И. Л., Рентгеновская оптика кристаллов с дефектами // Поверхность. 2001. Т. 7. С. 3−23.
- Мильвидский М.Г., Осипьян Ю. А., Смирнова И. А., Суворов Э. В., Шулаков Е. В. Наблюдение микродефектов в кремнии методами рентгеновской топографии // Поверхность. 2001. Т. 6. С. 105−111.
- Спенс Дж. Экспериментальная электронная микроскопия высокого разрешения. М.: Наука, 1986. 320 с.
- Goldstein J.I., Newbury D.E., Echlin P., Joy D.C., Fiori C., Lifshin E. Scanning Electron Microscopy and X-ray Microanalysis. New York: Plenum Press, 1981. 820 p.
- Watt I.M. The Principles and Practice of Electron Microscopy. Cambridge: Cambridge University Press, 1985. 500 p.
- Суворов Э.В., Смирнова И. А., Шулаков E.B. Дифракционное изображение дислокаций, расположенных в плоскости рассеяния перпендикулярно вектору отражения // Поверхность. 2004. Т. 9. С. 64−68.
- Брянцева Т.А., Любченко В. Е., Юневич Е. О. Влияние термической ионизации паров золота на параметры диодов с барьером Шоттки из арсенида галлия, получаемых методом вакуумного напыления // Радиотехника и электроника, 1987. В. 10. № 11. С. 2231−2233.
- Фролов Ю.Г. Количественные характеристики когезии и адгезии. / Курс коллоидной химии. Поверхностные явления и дисперсные системы. М.: Химия, 1982. 399 с.
- Кристи Р., Питти А. Строение вещества: введение в современную физику. / пер. с англ. под ред. Ю. М. Широкова. М.: Наука, 1969. 595 с.
- Фролов Ю.Г. Термодинамические соотношения между поверхностным натяжением и электрическим потенциалом. / Курс коллоидной химии. Поверхностные явления и дисперсные системы. М.: Химия, 1982. 399 с.
- Михайлов И.Г., Соловьев В.А, Сырников Ю. П. Основы молекулярной акустики. М.: Наука, 1964. 514 с.
- Терстон Р. Распространение волн в жидких и твердых телах. / Физическая акустика. / пер. с англ. под ред. Розенберга Л. Д. М.: Мир, 1965. Т. 1А. С. 15−140.
- Зарембо Л.К., Красильников В. А. Нелинейные явления при распространении упругих волн в твердых телах // Успехи физических наук. 1970. Т. 102. В. 4. С. 549−586.
- Ермилин К.К., Лямов В. Е., Пятаков П. А. Неколлинеарное взаимодействие объемных упругих волн в кристаллах // Физика твердого тела. 1973. Т. 15. В. 1. С. 3226−3230.
- Юшин Н.К., Агишев Б. А., Дерюгин И. А., Леманов В. В. Невырожденное электроакустическое взаимодействие в ниобате лития // Письма в ЖТФ. 1976. Т. 2.№ 13. С. 615−618.
- Смоленский Г. А. Электроакустическое фононное эхо // Вестник АН СССР. 1979. № 2. С. 59−68.
- Svaasand L.O. Interection between elastic surface wave in piezoelectric materials // Applied Phisics Letters. 1969. V. 15. № 9. P. 300−302.
- Luukala М., Kino G.S. Convolution and time inversion using parametric intergction by acoustic surface waves // Applied Phisics Letters. 1971. V. 18, № 9. P. 393−394.
- Бондаренко B.C., Соболев Б. В., Бочков Б. Г., Зуев B.E. Возбуждение электроакустического эха на ПАВ // Физика твердого тела. 1976. Т. 18. В. 5. С. 1447−1450.
- Соболев Б.В., Бочков Б. Г., Бондаренко B.C. Неколлинеарное взаимодействие акустических волн с электрическим полем // Журнал технической физики, 1978. Т. 48. В. 9. С. 1931−1933.
- Wang W.C. Signal generation via nonlinear interection of oppositely directed sonic waves in piezoelectric semiconductors // Applied Phisics Letters. 1971. V. 18. № 8. P. 337- 338.
- Соболев Б.В., Бочков Б. Г., Бондаренко B.C., Зуев B.E. Устройства корреляционной обработки сигналов на акустических волнах // Зарубежная электронная техника. 1977. № 6. С. 3−54.
- Бондаренко B.C., Бочков Б. Г., Зуев В. Е., Соболев Б. В., Белабаев К. Г. Фононное эхо в пьезоэлектриках-полупроводниках // Письма в ЖТФ. 1976. Т. 2. В. 14. С. 668−670.
- Андреев А.С., Гуляев Ю. В., Кмита A.M., Марков И. А., Шишкин В. Г., Щукин Ю. М. Фильтры на ПАВ на основе встречно-штыревых преобразователей с субмикронными зазорами // Радиотехника. 1987. № 11. С. 36.
- Андреев А.С., Гуляев Ю. В., Кмита A.M., Марков И. А. СВЧ устройства на ПАВ на базе технологии оптической фотолитографии // Письма в ЖТФ. 1987. Т. 13. С. 967−971.
- Андреев А.С., Гуляев Ю^В., Кмита А. М-, Марков И. А. Компенсация переотражений в СВЧ преобразователях ПАВ при их изготовлении по самосовмещенной технологии фотолитографии // Письма в ЖТФ. 1988. Т. 14. С. 589−592.
- Андреев А.С., Гуляев Ю. В., Кмита A.M., Марков И. А. Встречно-штыревые преобразователи ПАВ с субмикронными межэлектродными зазорами // Радиотехника и электроника. 1988. № 9. С. 1812−1820.
- Гладков С.О. Физика композитов. Темодинамические и диссипативные свойства. М.: Наука, 1999. 329 с.
- Детлаф А. А. Яворский Б.М. Волны в упругой среде / Курс физики. М.: Высшая школа, 1989. 319 с.
- Бокштейн Б.С. Диффузионная ползучесть / Диффузия в металлах, М.: Металлургия, 1978. 230 с.
- Бонч-Бруевич B. JL, Калашников С. Г. Физика полупроводников. М.: Наука, 1977. 762 с.
- Новохатский И.А., Кисунько В. З., Мороз Ю. Г. О проявлении структурной микронеоднородности жидких металлов в поверхностных явлениях // Журнал физической химии. 1986. Т. 60. № 9. С. 2256−2261.
- Takatosi, Nakanisi. An Internal Friction study jn the Alloying Behavior of Au-GaAs Contact // Japan J. Apple Phys. 1973. № 12. P. 11.
- Иродов И.Е. Волновые процессы основные законы. Москва Санкт-Петербург, 1999. 253 с.
- Матаре Г. Электроника дефектов в полупроводниках / пер. с англ Г. М. Гуро под ред. С. А. Медведева. М.: Мир, 1974. 463 с.
- Блейкмор Дж. Физика твердого тела. / пер. с англ. под редакцией Андрианова Д. Г., Фистуля В. И. М.: Наука, 1988. 606 с.
- Ландау Л.Д., Ахиезер Ф. И., Лифшиц Е. М. Вязкость. / Курс общей химии. Механика и молекулярная физика. М.: Наука, 1969. 367 с.
- Ландау Л.Д., Лифшиц И. М. Электродинамика сплошных сред / под ред. Питаевского Л. П. М.: Физматлит, 2003. Т. 8. 656 с.
- Ландау Л. Д.,. Лифшиц Е. М. Теория упругости. М.: Наука, 1987. 286 с.
- Плющев Б.Е., Степина С. Б., Федоров П. И. Галлий: Химия галлия // Химия и технология редких и рассеянных элементов. / под ред. Большакова К. А. М.: Высшая школа, 1976. Ч. 1. 472 с.
- Яценко С.П. Галлий. Взаимодействие с металлами. М.: Наука, 1974. 220 с.
- Физические величины. / Справочник. М.: Энергоатомиздат, 1991. 1231 с.
- Киттель Ч. Введение в физику твердого тела. М.: Наука, 1978. 791 с.
- Китайгородский А.И. Смешанные кристаллы. М.: Наука, 1983. 277 с.
- Каур И., Густ В. Диффузия по границам зерен и фаз. / пер. с англ. под ред. Швиндлермана JI.C. М.: Машиностроение, 1991. 446 с.
- Сивухин Д.В. Общий курс физики. М.: Физматлит, 2003. Т. 2 Термодинамика и молекулярная физика. 575 с.
- Сивухин Д. В Общий курс физики. М.: Физматлит, 2002. Т. 1. Механика. 792 с.