Анализ интенсивности рентгеновского рассеяния на многослойных дифракционных элементах методом интегральных
Диссертация
До написания настоящей диссертационной работы автору были известны только асимптотические и приближенные подходы для анализа рентгеновского и нейтронного рассеяния на случайных шероховатостях, такие как: метод скалярного интеграла Кирхгоффа, БП, БПДВ, метод параболического уравнения, метод Рэлея и некоторые другие. В данной работе впервые удалось описать рассеяние реальных дифракционных структур… Читать ещё >
Содержание
- ГЛАВА 1. Особенности теоретического исследования многослойных дифракционных структур в коротковолновых диапазонах спектра
- 1. 1. Основы взаимодействия рентгеновского излучения с твердым веществом
- 1. 2. Использование многослойных рентгеновских покрытий и учет влияния дефектов границ и слоев на коэффициенты отражения
- 1. 3. Ограничения скалярной теории и строгие методы решения задач дифракции на периодических и непериодических структурах в рентгеновском диапазоне
- ГЛАВА 2. Решение коротковолновой задачи дифракции на сплошной решетке модифицированным методом граничных интегральных уравнений (МИМ)
- 2. 1. Вывод уравнений МИМ
- 2. 2. Реализация МИМ для решения коротковолновых задач дифракции с одной периодической границей
- 2. 3. Сходимость и точность МИМ при анализе дифракционной эффективности сплошных решеток в рентгеновском диапазоне
- 2. 4. Нескалярные свойства в поведении эффективности сплошных высокочастотных решеток рентгеновского диапазона
- ГЛАВА 3. МИМ для анализа эффективности многослойной рентгеновской решетки
- 3. 1. Строгий метод граничных интегральных уравнений для расчета эффективности многослойной рентгеновской решетки
- 3. 2. Вычисление поглогцения многослойной дифракционной решетки
- 3. Оптимизация процедуры решения системы дискретных интегральных уравнений
- 3. 4. Приближенный метод расчета эффективности многослойной рентгеновской решетки на основе модификации решения интегрального уравнения на одной корругированной границе и критерий его использования
- 3. 5. Сравнение эффективности многослойных рентгеновских решеток скользящего падения, получаемой строгим методом, приближенно и с помощью измерений
- 3. Оптимизация процедуры решения системы дискретных интегральных уравнений
- 4. 1. Метод граничных интегральных уравнений для анализа конической дифракции на сплошных решетках
- 4. 2. Энергетический баланс для случая конической дифракции
- 4. 3. Особенности численной реализации и исследование сходимости, точности и сложности метода
- 4. 4. Метод амплитудных матриц рассеяния для расчета эффективности многослойной решетки в конической дифракции
- 4. 5. Примеры использования решеток в конической дифракции в качестве фильтра спектральной чистоты для КУФ литографии и делителя пучка РЛСЭ
- 5. 1. Рентгеновское и нейтронное рассеяние на случайных шероховатостях границ дифракционных решеток и зеркал
- 5. 2. Рассеяние на однослойных и многослойных ансамблях квазипериодических квантовых точек
- 6. 1. Исследование эффективности мастера, реплики и многослойной решетки с блеском в широком диапазоне КУФ излучения
- 6. 2. Исследование эффективности пропускающей Аи зонной пластинки для применений в мониторах абсолютных эмиссионных КУФ-МР спектров Солнца
- 6. 3. Исследование эффективности многослойных дифракционных решеток, работающих в КУФ спектрометре летающей орбитальной станции Шпос1е
- 6. 4. Исследования эффективности внеплоскостных отражательных дифракционных решеток, предназначенных для работы в МР спектрометре международной рентгеновской обсерватории 1ХО
- 6. 5. Исследование интенсивности рентгеновского зеркального и диффузного рассеяния на МАКТ, выращенных методом МПЭ в системах 1п (Оа)Аз
Список литературы
- Neviere М., Flamand J. Electromagnetic theory as it applies to X-Ray and XUV gratings // Nucl. 1.strum. Methods. 1980. Vol. 172. P. 273−279.
- Thin films and gratings: theories used to optimize the high reflectivity of mirrors and gratings for x-ray optics / B. Vidal, P. Vincent, P. Dhez et al.] // Proc. SPIE. Vol. 563. 1985. P.142−149.
- Neviere M. Multilayer coated gratings for x-ray diffraction: differential theory // J. Opt. Soc. Am. A. Vol. 8. 1991. P. 1468−1473.
- Electromagnetic Theory of Gratings. / L.C. Botten, M. Cadilhac, G.H. Derrick et al.] /R. Petit, ed. Berlin: Springer-Verlag, 1980. 286 p.
- Зеркальная рентгеновская оптика / A.B. Виноградов, И. А. Брытов, А .Я. Грудский и др.] / под общ. ред. д-ра физ.-мат. наук А. В. Виноградова. Л.: Машиностроение, 1989. 464 с.
- Design and characterization of x-ray multilayer analyzers for the 50−1000 eV region / B.L. Henke, E.M. Gullikson, J. Kerner et al.] // J. X-Ray Sci. and Tech. Vol. 2. 1990. P. 17−80.
- A8. Горай Л. И. Численный анализ свойств отражательных дифракционных решеток для рентгеновского излучения: автореф. дис. канд. физ.-мат. наук. СПб.: Институт аналитического приборостроения РАН, 2004. 16 с.
- Stroke G.W. Diffraction gratings. Jn.: Handbuch der Physik. Berlin: Springer, 1967. Bd. 29. P. 426−754.
- Зимкина Т.М., Фомичев В. А. Ультрамягкая рентгеновская спектроскопия. JL: ЛГУ, 1971. 132 с.
- Дифракция волн на решетках / В. П. Шестопалов, Л. Н. Литвиненко, С. А. Масалов и др.] X.: ХГУ, 1973. 288 с.
- Пейсахсон И.В. Оптика спектральных приборов. Л.: Машиностроение, 1975. 312 с.
- Зайдель А.Н., Шрейдер Е. Я. Вакуумная спектроскопия и ее применение. М.: Наука, 1976. 432 с.
- Hutley М.С. Diffraction gratings. London: Academic Press, 1982. 330 p.
- Герасимов Ф.М., Яковлев Э. А. Дифракционные решетки: в сборн. Современные тенденции в технике спектроскопии / под общ. ред. чл-корр. акад. наук С. Г. Раутиана. Но-к: Наука, 1982. С. 24−44.
- Loewen E.G., Popov Е. Diffraction Gratings and Applications. New York: Marcel Dekker, 1997. 601 p.
- Лукирский А.П., Савинов Е. П. Применение дифракционных решеток и эшеллетов в области ультрамягкого рентгеновского излучения // Опт. и спектр. Т. 14, вып. 2. 1963. С. 285−294.
- Spiller Е. Softx-ray optics. Bellingham: SPIE Press, 1994. 280 p.
- Мишетт А. Оптика мягкого рентгеновского излучения / пер. с англ. М.: Мир, 1989, 352 с.
- Рентгеновская оптика и микроскопия / пер. с англ. / под ред. Г. Шмаля и Д. Рудольфа. М.: Мир, 1987. 451 с.
- Light Scattering and Nanoscale Surface Roughness. / A.A. Maradudin, ed. New York: Springer, 2007. 496 p.
- Pietsch U., Holy V., Baumbach T. High-Resolution X-Ray Scattering: From Thin Films to Lateral Nanostructures. Heidelberg: Springer-Verlag, 2004. 486 p.
- De Boer D.K.G. X-ray scattering and x-ray fluorescence from materials with rough interfaces // Phys. Rev. B. Vol. 53. 1996. P. 6048−6064.
- Feranchuk I.D., Feranchuk S.I., Ulyanenkov A.P. Self-consistent approach to x-ray reflection from rough surfaces //Phys. Rev. B. Vol. 75. 2007. P. 85 414−1-9.
- Leskova T.A., Maradudin A.A. X-ray scattering from a randomly rough surface // Waves Random Media. Vol. 7, iss. 3. 1997. P. 395−434.
- Multilayer optics for XUV spectral region: technology fabrication and applications /. S.S. Andreev, A.D. Akhsakhalyan, M.A. Bibishkin et al.] // Centr. Europ. Journ. of Phys. Vol. 1. 2003. P. 191−209.
- Дубровский В.Г. Теория формирования эпитаксиальных наноструктур. М.: Физматлит, 2009. 352 с.
- Beckmann P. Scattering of light by rough surfaces // Progress in Optics / E. Wolf, ed. Amsterdam: Elsevier. Vol. VI. 1969. P. 53−69.
- Loewen E.G., Neviere M., Maystre D. On an asymptotic theory of diffraction gratings used in the scalar domain. J. Opt. Soc. Am. Vol. 68. 1978. P. 496−502.
- D. Maystre. Rigorous vector theories of diffraction gratings // Progress in Optics / E. Wolf, ed. Amsterdam: Elsevier, 1984. Vol. XXI. P. 1−67.
- Борн M., Вольф Э. Основы оптики / пер. с англ. М.: Наука, 1973. 720 с.
- Бреховских J1.M. Дифракция волн на неровной поверхности // ЖЭТФ. Т. 23, вып. 3. 1952. С. 275−304.
- A35. Горай Л. И. Дифракционная эффективность светосильных вогнутых решеток с постоянным по всей апертуре профилем штрихов // Голограммные оптические элементы и их применение в промышленности: т-сы докл. Всесоюз. семин. (Москва-Ленинград, 1987). С. 55.
- Loewen E.G., Neviere М. Simple selection rules for VUV and XUV diffraction gratings // Appl. Opt. Vol. 17. 1978. P. 1087−1092.
- Kolton D., Kress R. Inverse Acoustic and Electromagnetic Scattering Theory. Berlin: Springer, 1992. 305 p.
- Neviere M. Popov E. Light Propagation in Periodic Media: Differential Theory and Design. New York: Marcel Dekker, 2002. 410 p.
- Smith G.D. Numerical Solution of Partial Differential Equations: Finite Difference Methods. Oxford: Oxford U. Press, 1985. 543 p.
- Neviere M., Vincent P., Petit R. Sur la theorie du reseau cinducteur et ses applications a l’optique // Nouv. Rev. Opt. Vol. 5. 1974. P. 65−77.
- Jark W., Neviere M. Diffraction efficiencies for the higher orders of reflection grating in the soft x-ray region: comparison between theory and experiment // Appl. Opt. Vol. 26. 1987. P. 943−948.
- A42. Горай Л. И., Савицкий Г. М. Голограммные рельефные решетки в рентгеновской оптике // Вопросы прикладной голографии: т-сы Всесоюз. семин.-совещ. (Тбилиси, 1989). С. 20.
- А43. Горай Л. И., Савицкий Г. М. Дифракционные свойства решеток с блеском для рентгеновского диапазона // Тезисы X Всесоюз. симп. по дифракции и распространению волн (Винница, 1990). С. 12.
- А44. Горай Л. И., Савицкий Г. М. Дифракционные свойства голограммных решеток ламельното профиля для рентгеновского диапазона // Тезисы VI Всесоюз. конф. по голографии (Витебск, 1990). С. 33.
- A48. Goray L.I. Rigorous integral method in application to computing diffraction on relief gratings working in wavelength range from microwaves to X-ray // Proc. SPIE Vol. 2532. 1995. P. 427−433.
- Multilayer-coated laminar grating with 16% normal-incidence efficiency in the 150 A wavelength region / J.F. Seely, M.P. Kowalski, R.G. Cruddace et al.] // Appl. Opt. Vol. 36. 1997. P. 8206−8213.
- Grazing-incidence efficiencies in the 28 42-A wavelength region of replicas of the Skylab 3600-line/mm concave grating with multilayer and gold coatings / W.R. Hunter, J.F. Seely, M.P. Kowalski etal.] //Appl. Opt. Vol. 36. 1997. P. 6411−6415.
- A51. Investigation of the arsenic sulphide films for relief-phase holograms / I.Y. Yusupov, M.D. Mikhailov, R.R. Herke et al.] // Proc. SPIE. Vol. 1238. 1989. P. 240 247.
- A52. Comparison of the calculated and the measured efficiencies of a normal-incidence grating in the 125−225-A wavelength range / M.P. Kowalski, J.F. Seely, L.I. Goray et al.] //Appl. Opt. Vol. 36. 1997. P. 8939−8943.
- Li L. Formulation and comparison two recursive matrix algorithms for modeling layered diffraction gratings II J. Opt. Soc. Am. A. Vol. 13. 1996. P. 1024−1035.
- Neviere M., Montiel F. Soft x-ray multilayer coated echelle gratings: electromagnetic and phenomenological study. J. Opt. Soc. Am. A. Vol. 13. 1996. P. 811−818.
- A57. Goray L.I., Sadov S.Yu. Numerical modelling of nonconformal gratings by the modified integral method // Diffractive Optics and Micro-Optics: OSA Tech. digest (Washington, DC, 2002). P. 41−43.
- A58. Goray L.I., Sadov S.Yu. Numerical modelling of coated gratings in sensitive cases
- OSA Trends in Optics and Photonic Series. Vol. 75. 2002. P. 365−379.
- A59. Goray L.I. Numerical analysis of the efficiency of multilayer-coated gratings usingintegral method // Nucl. Instrum. Meth. A, Vol. 536. 2005. P. 211−221.
- A60. Thin-film interference effects of a normal-incidence grating in the 100−350-Awavelength region / J.F. Seely, L.I. Goray, W.R. Hunter et al. // Appl. Opt. Vol. 38.1999. P. 1251−1258.
- A61. Seely J.F., Goray L.I. Normal incidence multilayer gratings for the extreme ultraviolet region: experimental measurements and computational modeling // Proc. SPIE Vol. 3766. 1999. P. 364−370.
- Seely J.F. Multilayer Grating for the Extreme Ultraviolet Spectrometer // Proc. SPIE Vol. 4138. 2000. P. 174−181.
- Investigation of the properties of an ion-etched plane laminar holographic grating / W.R. Hunter, M.P. Kowalski, J.C. Rife et al.] // Appl. Opt. Vol. 40. 2001. P. 6157−6165.
- Grating groove metrology and efficiency predictions from the soft x-ray to the far infrared / D. Content, P. Arsenovic, I. Kuznetsov et al.] // Proc. SPIE. Vol. 4485. 2001. P. 405−416.
- Content D. Diffraction grating groove analysis used to predict efficiency and scatter performance // Proc. SPIE. Vol. 3778. 1999. P. 19−30.
- High efficiency MoRu/Be multilayer coated gratings operating near normal incidence in the 11.1−12.0-nm wavelength range / J.F. Seely, C. Montcalm, S. Baker et al.] // Appl. Opt. Vol. 40. 2001. P. 5565−5574.
- Performance of normal-incidence molybdenum-yttrium multilayer-coated diffraction grating at a wavelength of 9 nm / B. Sae-Lao, S. Bajt, C. Montcalm et al.] // Appl. Opt. Vol. 41. 2002. P. 2394−2400.
- A68. Goray L.I., Seely J.F. Efficiencies of master, replica, and multilayer gratings for the soft x-ray-EUV range: modeling based on the modified integral method and comparisons to measurements // Appl. Opt. Vol. 41. 2002. P. 1434−1445.
- Skylab 3600 groove/mm replica grating with a scandium-silicon multilayer coating and high normal-incidence efficiency at 38-nm wavelength / J.F. Seely, Yu.A. Uspenskii, Yu.P. Pershin et al.] // Appl. Opt. Vol. 41. 2002. P. 1846−1851.
- Neviere M., Flamand J., Lerner J.M. Optimization of gratings for soft X-ray monochromators //Nucl. Instrum. Meth. Vol. 195. 1982. P. 183−189.
- Padmore H.A., Martynov V., Holis K. The use of diffraction efficiency theory in the design of soft X-ray monochromators // Nucl. Instrum. Meth. A Vol. 347. 1994. P. 206 215.
- A72. Горай Л. И. Скалярные и электромагнитные свойства дифракционных решеток для рентгеновского излучения // Известия РАН. Серия физическая. Т. 69, № 2. 2005. С. 211−215.
- Sammar A., Andre J.-M. Integral calculation method of efficiencies of laminar stratified gratings // Opt. Comm. Vol. 149. 1998. P. 348−354.
- Comparison of modal and differential methods for multilayer gratings / V. Martynov, B. Vidal, P. Vincent et al.] // Nucl. Instrum. Meth. A. Vol. 339. 1994. P. 617 625.
- Neviere M. Bragg-Fresnel multilayer gratings: electromagnetic theory // J. Opt. Soc. Am. A. Vol. 11. 1994. P.1835−1845.
- X-ray multilayer gratings with very high diffraction efficiency / V.V. Martynov, H.A. Padmore, Yu. Agafonov et al.] // Proc. SPIE. Vol. 3150. 1997. P. 2−8.
- Fabrication and characterization of a new high density Sc/Si multilayer sliced grating / D.L. Voronov, R. Cambie, E.M. Gullikson et al.] // Proc. SPIE. Vol. 7077. 2008. P.707 708−1-12.
- Fechtchenko R.M., Vinogradov A.V., Voronov D.L. Optical properties of sliced multilayer gratings // Opt. Commun. Vol. 210. 2002. P. 179−186.
- Kleemann B.H., Erxmeyer J. Independent electromagnetic optimization of the two coating thicknesses of a dielectric layer on the facets of an echelle grating in Littrow mount // J. Modern Opt. Vol. 51. 2004. P. 2093−2110.
- Kleemann B.H. Electromagnetic Analysis of Surface Relief Gratings from IR to XUV with a Parameterized Boundary Integral Method: Theory, Comparison, and Applications: the dissertation (in German, abs. in English). Ilmenau: 2001. 256 p.
- A81. Goray L.I. The modified integral method and real electromagnetic properties of echelles // Proc. SPIE. Vol. 4291. 2001. P. 13−24.
- Efficiency of x-ray reflection gratings / AJ.F. den Boggende, P.A.J, de Korte, P.H. Videler et al. // Proc. SPIE. Vol. 982. 1988. P. 283−298.
- A83. Goray L.I. Rigorous efficiency calculations for blazed gratings working in in- and off-plane mountings in the 5−50-A wavelengths range // Proc. SPIE. Vol. 5168. 2003. P. 260−270.
- Vincent P., Neviere M., Maystre D. X-ray gratings: the GMS mount // Appl. Opt. Vol. 18. 1979. P. 1780−1783.
- Kowalski M.P., Barbee T.W., and Hunter W.R. Replication of a holographic ion-etched spherical blazed grating for use at extreme-ultraviolet wavelengths: efficiency // Appl. Opt. Vol. 45. 2006. P. 322−334.
- Near-normal-incidence extreme-ultraviolet efficiency of a flat crystalline anisotropically etched blazed grating / M.P. Kowalski, R.K. Hcilmann, M.L. Schattenburg et al.] // Appl. Opt. Vol. 45. 2006. P. 1676−1679.
- A89. High efficiency multilayer blazed gratings for EUV and soft X-rays: Recent developments / D.L. Voronov, M. Ahn, E.H. Anderson et al.] // Proc. SPIE. Vol. 7802. 2010. P. 780 207−1-13.
- Grating efficiencies comparison study: calculations versus metrology for various types of high groove density gratings at VUV-UV wavelengths / I.G. Kuznetsov, E. Wilkinson, D.A. Content et al.] // Proc. SPIE. Vol. 5178. 2004. P. 267−277.
- Kowalski M.P., Barbee T.W., Hunter W.R. Replication of a holographic ion-etched spherical blazed grating for use at extreme-ultraviolet wavelengths: topography // Appl. Opt. Vol. 45. 2006. P. 305−321.
- A92. Extreme ultraviolet optical constants for the design and fabrication of multilayer gratings / J.F. Seely, L.I. Goray, D.L. Windt et al.] // Proc. SPIE. Vol. 5538. 2004. P. 43−53.
- Efficient method for the determination of extreme ultraviolet optical constants in reactive materials: application to scandium and titanium / Yu.A. Uspenskii, J.F. Seely, N.L. Popov et al.] // J. Opt. Soc. Am. A. Vol. 21. 2004. P. 298−305.
- Henke B.L., Gullikson E.M., Davis J.C. X-ray interactions: photoabsorption, scattering, transmission, and reflection at E = 50−30,000 eV, Z=l—92 // At. Data Nucl.
- A96. Goray L.I., Seely J.F. Wavelength separation of plus and minus orders of soft-x-ray-EUV multilayer-coated gratings at near-normal incidence // Proc. SPIE. Vol. 5900. 2005. P. 59000C-1−11.
- A97. Multilayer resonant subwavelength gratings: effects of waveguide modes and real groove profiles / L.I. Goray, I.G. Kuznetsov, S.Yu. Sadov et al.] // J. Opt. Soc. Am. A. Vol. 23. 2006. P. 155−165.
- A98. Goray L.I., Seely J.F., Sadov S.Yu. Spectral separation of the efficiencies of the inside and outside orders of soft-x-ray-extreme-ultraviolet gratings at near normal incidence // J. Appl. Phys. Vol. 100. 2006. P. 94 901−1-13.
- A99. Goray L.I., Schmidt G. Solving conical diffraction grating problems with integral equations // J. Opt. Soc. Am. A. Vol. 27. 2010. P. 585−597.
- A 100. Goray L.I. A boundary integral equation method in short-wavelength-to-period diffraction on multilayer ID gratings and rough mirrors // Days on Diffraction: Proc. of the 40th Internat. Conf. (St. Petersburg, 2008). P. 60−65.
- A101. Goray L.I. Specular and diffuse scattering from random asperities of any profile using the rigorous method for x-rays and neutrons // Proc. SPIE. Vol. 7390. 2009. P. 73900V-1—11.
- Stable implementation of the rigorous coupled-wave analysis for surface-relief gratings enhanced transmittance matrix approach / M.G. Moharam, D.A. Pommet, E.B. Grann et al.] //J. Opt. Soc. Am. A. Vol. 12. 1995. P. 1077−1086.
- А103. Efficiency of a grazing incidence off-plane grating in the soft x-ray region / J.F. Seely, L.I. Goray, B. Kjornrattanawanich et al.] // Appl. Opt. Vol. 45. 2006. P. 16 801 687.
- A104. Measurement of zone plate efficiencies in the extreme ultraviolet and applications to radiation monitors for absolute spectral emission / J.F. Seely, G.E. Holland, J.C. Bremer et al.] // SPIE Proc. Vol. 6317. 2006. P. 63170N-1−9.
- Development of a critical-angle transmission grating spectrometer for the International X-Ray Observatory / R.K. Heilmann, M. Ahn, M.W. Bautz et al.] // Proc. SPIE. Vol. 7437. 2009. P. 74370G-1−12.
- A106. Горай Л. И. Внеплоскостная скользящего падения решетка с блеском и радиальными штрихами как эффективный спектральный фильтр для КУФ литографии // Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтр. исслед. № 6. 2007. С. 73— 78.
- А107. Goray L.I. Off-plane grazing-incidence fan-groove blazed grating to serve as a high-efficiency spectral purity filter for EUV lithography // SPIE Proc. Vol. 6317. 2006. P. 631 700−1-9.
- A108. Горай Л. И. Внеплоскостная скользящего падения ламельная решетка в качестве делителя пучка 1-А лазера на свободных электронах. Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтр. исслед. № 10. 2008. С. 3812.
- А109. Goray L.I., Schmidt G. An integral equation conical solver: some formulas and numerical experiments. // Days on Diffraction: Proc. of the 41th Internat. Conf. (St. Petersburg, 2009). P. 92−97.
- A110. Goray L.I. A rigorous solution for electromagnetic scattering from multilayer structures having asperities of any kind in X-ray-EUV ranges // Proc. SPIE. Vol. 6617. 2007. P. 661 719−1-12.
- A111. Горай Л. И., Чхало Н. И., Цырлин Г. Э. Определение углов наклона и высот граней квантовых точек из анализа диффузного и зеркального рентгеновского рассеяния // ЖТФ. Т. 79, вып. 4. 2009. С. 117−124.
- А112. Горай Л. И., Чхало Н. И., Вайнер Ю. А. Обнаружение квазипериодических граней {1 In}, п = 7. 11 в образцах с Ge/Si квантовыми точками с помощью рентгеновской рефлектометрии скользящего падения // Письма в ЖТФ. Т. 36, вып. 3.2010. С. 31−38.
- Хенл X., Мауэ А., Вестпфаль К. Теория дифракции / пер. с англ. М.: Мир, 1964. 428 с.
- Голубенко И.В. Численный анализ свойств голограммных отражательных решеток: автореф. дис. канд. физ.-мат. наук. JL: Государственный оптический институт им. С. И. Вавилова, 1987. 18 с.
- Галишникова Г. Н., Ильинский А. С. Численные методы в задачах дифракции. М.: МГУ, 1987. 208 с.
- Костин А.В. Рассеяние электромагнитных волн на одномерной неровной поверхности: автореф. дис. канд. физ.-мат. наук. СПб.: Санкт-Петербургский гос. инст. точн. механ. и оптики, 1998. 14 с.
- А 117. Goray L.I. Application of the rigorous method to x-ray and neutron beam scattering on rough surfaces // J. Appl. Phys. Vol. 108. 2010. P. 33 516−1-10.
- Pomp A. The integral method for coated gratings: computational cost // J. Mod. Opt. Vol. 38. 1991. P. 109−120.
- Kleemann B.H., Mitreiter A., Wyrowski F. Integral equation method with parametrization of grating profile: theory and experiments // J. Mod. Opt. Vol. 43. 1996. P. 1323−1347.
- Rathsfeld A., Schmidt G., Kleemann B.H. On a Fast Integral Equation Method for Diffraction Gratings // Commun. Comput. Phys. Vol. 1. 2006. P. 984−1009.
- Davidson M., Kleemann B.H., Bischoff J. A comparison between rigorous light scattering methods // Proc. SPIE. Vol. 3051. 1997. P. 606−619.
- Integral method for echelles covered with lossless or absorbing thin dielectric layers / E. Popov, B. Bozhkov, D. Maystre et al.] // Appl. Opt. Vol. 38, 1999. P. 47−55.
- Computer simulation of the scattering of electromagnetic waves: some problems associated with remote radar sensing of the sear surface / M.A. Gilman, S.Yu. Sadov, A.S. Shamaev et al.] // J. Com. Tech. Electr. Vol. 45. 2000. P. s229-s246.
- Abramowitz M., Stegun I. Handbook of Mathematical Functions with Formulas, Graphs, and Mathematical Tables. Washington, DC: U.S. National Bureau of Standards, 1964.1046 p.
- Handbook of optical constant of solids, II, III. / E. Palik, ed. New York: Acad. Press, 1985, 1991, 1998.
- Kress R., Sloan I.H. On the numerical solution of a logarithmic integral equation of the first kind for the Helmholtz equation // Num. Math. Vol. 66. 1993. P. 199−214.
- Kress R. On the numerical solution of a hypersingular integral equation in scattering theory // J. of Comput. and Appl. Math. Vol. 61. 1995. P. 345−360.
- Ласло М. Вычислительная геометрия и компьютерная графика на С++. М.: Бином, 1997. 304 с.
- Johnson R.L. Grazing incidence diffraction gratings. // Nucl. Instrum. Meth. Vol. 152. 1978. P. 117−122.
- A132. Горай Л. И., Воронов Д. Л., Padmore H.A. 2x эффективность высокочастотных многослойных решеток с блеском MP диапазона по сравнению с предсказаниями скалярной теории // Рентгеновская оптика: матер. 2-го раб. совещ. 2010. С. 84−86.
- Maystre D. New general integral theory for dielectric coated gratings. J. Opt. Soc. Am. Vol. 68. 1978. P. 490195.
- A134. Goray L.I. Application of the boundary integral equation method to very small wavelength-to-period diffraction problems // Waves Random Media. Vol. 20. 2010. P. 569−586.
- Кнут Д. Искусство программирования, том 2. Получисленные методы. 3-е изд. М.: Вильяме, 2007. 832 с.
- Botten L.C. A new formalism for transmission gratings // Opt. Acta. Vol. 25. 1978. P. 481−499.
- Maystre D. Electromagnetic study of photonic band gaps // Pur. Appl. Opt. Vol. 3. 1994. P. 975−993.
- Freilikher V., Kanzieper E., Maradudin A.A. Coherent scattering enhancement in systems bounded by rough surfaces // Phys. Rep. Vol. 288. 1997. P. 127−204.
- Li L. Calculation of diffraction efficiencies of a grating made on a thick transparent plate //Opt. Com. Vol. 160. 1999. P. 15−21.
- A140. Горай Л. И., Дмитриева Л. А. Брюстеровские аномалии в нулевом порядке глубоких диэлектрических решеток // Тезисы VI Всес. конф. молод, учен, по опт. и голог. (Ленинград, 1988). С. 7.
- Li L., Chandezon J. Improvement of the coordinate transformation method for surface-relief gratings with sharp edges // J. Opt. Soc. Am. A. Vol. 13. 1996. P. 22 472 255.
- Sammar A., Andre J.-M. Diffraction of multilayer gratings and zone plates in the x-ray region using the Born approximation // J. Opt. Soc. Am. A. Vol. 10. 1993. P. 600 613.
- Карпов С.Ю. Рассеяние ТЕ-поляризованного света глубокими диэлектрическими решетками // Радиотехника и Электроника. Т. 29, вып. 9. 1984. С. 1683−1690.
- Jark W. Enhancement of diffraction grating efficiencies in soft X-ray region by multi-layer coating // Opt. Commun. Vol. 60. 1986. P. 201−205.
- А147. Горай Л. И. Способ изготовления вогнутой сферической поверхности // АС СССР № 1 453 251, 15.09.88. МКИ4 G 02 В 5/18.
- А148. Горай Л. И. Способ изготовления вогнутой дифракционной решетки // АС СССР № 1 510 562, 22.05.89. МКИ4 G 02 В 5/18.
- Cash W.C. X-ray Optics 2: A Technique for High Resolution Spectroscopy // Appl. Opt. Vol. 30. 1991. P. 1749−1759.
- Hafner Ch. Post-modern Electromagnetics: Using Intelligent Maxwell Solvers Chichester: Wiley, 1999, 308 c.
- Existence, uniqueness and regularity for solutions of the conical diffraction problem / J. Elschner, R. Hinder, F. Penzel et al.] // Math. Models Meth. Appl. Sci. Vol. 10. 2000. P. 317−341.
- Zolla F., Petit R. Method of fictitious sources as applied to the electromagnetic diffraction of a plane wave by a grating in conical diffraction mounts // J. Opt. Soc. Am. A. Vol. 13. 1996. P. 796−802.
- Schmidt G. Boundary integral methods for periodic scattering problems // Around the Research of Vladimir Maz’ya II. Partial Differential Equations (Springer, 2010). P. 337−364.
- Баландин М.Ю., Шурина Э. П. Методы решения СЛАУ больших размерностей. Новосибирск: НГТУ, 2000. 65 с.
- Общие ресурсы по программированию. Электронный ресурс]. URL: www.netlib.org/ (дата обращения 22.11.2010).
- Differential theory: application to highly conducting gratings / E. Popov, B. Chernov, M. Neviere et al.] // J. Opt. Soc. Am. A. Vol. 21. 2004. P. 199−206.
- Li L. A modal analysis of lamellar diffraction gratings in conical mountings // J. Mod. Opt. Vol. 40. 1993. P. 553−573.
- Li L. Multilayer coated diffraction gratings: differential method of Chandezon et al. revisited//J. Opt. Soc. Am. A. Vol. 11. 1994. P. 2816−2828.
- Mansuripur M., Li L., Yeh W.-H. Diffraction gratings: part 2 // Opt. Photonics News. Vol. 10, August 1. 1999, P. 44−48.
- Schelkunoff S.A. The impedance concepts and its application to problems of reflection, refraction, shielding and power absorption // Bell Syst. Tech. J. Vol. 17. 1938. P. 17−48.
- Brekhovskikh L.M. Waves Layered Media. New York: Academic, 1960. 561 p.
- AI64. Goray L.I. Sensitive analysis of 2D photonic bandgaps using boundary integral equations //Nanostructures: Physics and Technology: Proc. of the 18th Internat. Symp. (St. Petersburg, 2010). C. 304−305.
- Controlling the Fano interference in a plasmonic lattice / A. Christ, Y. Ekinci, H. H. Solak et al.] //Phys. Rev. B. Vol. 76. 2007. P. 201 405−1-4.
- A166. Goray L. L Analysis of 2D photonic crystal slabs of any rod shape and conductivity using a very fast conical integral equation method // Days on Diffraction: Abstracts of the 42-th Internat. Conf. (St. Petersburg, 2010). P. 37.
- Enhanced transmission due to nonplasmon resonances in one- and two-dimensional gratings / E. Popov, S. Enoch, G. Tayeb et al.] // Appl. Opt. Vol. 43. 2004. P. 999−1008.
- DIPOG Homepage. Электронный ресурс] / J. Elschner, R. Hinder, A. Rathsfeld [et al.] URL: http://www.wias-berlin.de/software/DIPOG (дата обращения 22.11.2010).
- Maystre D. Electromagnetic study of photonic band gaps // Pur Appl. Opt. Vol. 3. 1994. P. 975−993.
- Optical properties of planar metallic photonic crystal structures: Experiment and theory / A. Christ, T. Zentgraf, J. Kuhl et al.] // Phys. Rev. B. Vol. 70, 2004. P. 1 251 131−15.
- Фазовращатели на основе свободновисящих многослойных структур Cr/Sc / С. С. Андреев, М. С. Бибишкин, Н. Kimura и др.] // Известия РАН. Сер. физ. Т. 69. 2005. С. 207−210.
- Designing of multilayer mirrors for metrology of EUV sources / I.V. Kozhevnikov, Yakshin A. E, S. Alonso Van der Westen et al.] // Physics of X-Ray Multilayer Structures: Abs. of the 8th Internat. Conference (Sapporo, 2006). P. 23.
- EUV spectral purity filter: optical and mechanical design, grating fabrication, and testing / H. Kierey, K. Heidemann, В. Kleemann et al.] // Proc. SPIE. Vol. 5193. 2004. P. 70−78.
- Performance of a cryogenic silicon monochromator under extreme heat load / A. Chumakov, R. Riiffer, O. Leupold et al.] // J. Synchrotron Rad. Vol. 11. 2004. P. 132 141.
- Cash W.C. X-ray spectrographs using radial groove gratings // Appl. Opt. Vol. 22. 1983. P. 3971−3976.
- Hettrick M.C. Aberrations of varied line-space grazing incidence gratings in converging light beams // Appl. Opt. Vol. 23. 1984. P. 3221−3235.
- LINAC Coherent Light Source Home Page. Электронный ресурс] / URL: http://www-ssrl.slac.stanford.edu/lcls/ (дата обращения 29.11.2010).
- European XFEL Home Page. Электронный ресурс] / URL: http://www.xfel.net/en/index.html (дата обращения 29.11.2010).
- Spring-8 Compact SASE Source Home Page. Электронный ресурс] / URL: http://www-xfel.spring8.or.ip/ (дата обращения 29.11.2010).
- Бушуев В.А. Дифракционное отражение от кристалла фемтосекундных импульсов рентгеновского лазера на свободных электронах // Известия РАН. Сер. физ. Т. 69. 2005. С. 1710−1715.
- Warnick K.F., Chew W.C. Numerical simulation methods for rough surface scattering // Waves Random Media. Vol. 11. 2001. P. R1-R30.
- Light Scattering and Nanoscale Surface Roughness / A.A. Maradudin, ed. New York: Springer, 2007. 500 p.
- Fast numerical method for electromagnetic scattering by rough layered interfaces: Propagation-inside-layer expansion method / N. Dechamps, N. Beaucoudrey, C. Bourlier et al.] // J. Opt. Soc. Am. A. Vol. 23. 2006. P. 359−369.
- Saillard M., Sentenac A. Rigorous solutions for electromagnetic scattering from rough surfaces // Waves Random Media. Vol. 11. 2001. P. R103-R137.
- Babich M.V., Buldyrev V.S. Asymptotic Methods in Short-Wavelength Diffraction Theory. Oxford: Alpha Science, 2007. 480 p.
- De Boer D.K.G. X-ray reflection and transmission by rough surfaces // Phys. Rev. B. Vol. 51. 1995. P. 5297−5305.
- Elfouhaily T.M., Guerin C.-A. A critical survey of approximate scattering wave theories from random rough surfaces // Waves Random Media. Vol. 14. 2004. P. Rl-R40.
- Andreev A.V. Theory of X-ray scattering by rough surfaces without distorted wave approximation //Phys. Lett. A. Vol. 219. 1996. P. 349−354.
- Structure and optical anisotropy of vertically correlated submonolayer InAs/GaAs quantum dots / Z. Xu, D. Birkedal, J. M. Hvam et al.] // App. Phys. Lett. Vol. 82. 2003. P.3859−3861.
- Caticha A. Asymptotic form of the reciprocity theorem with applications in x-ray scattering Phys. Rev. B. Vol. 62. 2000. P. 3639−3647.
- Dietrich S., Haase A. Scattering of X-rays and neutrons at interfaces // Phys. Rep. Vol. 260. 1995. P. 1−138.
- X-ray and neutron scattering from rough surfaces / S.K. Sinha, E.B. Sirota, S. Garoff et al.] // Phys. Rev. B. Vol. 38. 1988. P. 2297−2311.
- Pynn R. Neutron scattering by rough surfaces at grazing incidence // Phys. Rev. B. Vol. 45. 1992. P. 602−612.
- De Boer D.K.G. Influence of the roughness profile on the specular reflectivity of x-rays and neutrons. Phys. Rev. B. Vol. 49. 1994. P. 5817−5820.
- High-resolution X-ray study of specular and diffuse scattering from Ni/C multilayer upon annealing / V.A. Chernov, E.D. Chkhalo, N.V. Kovalenko et al.] Nucl. Instrum. and Meth. A. Vol. 448. 2000. P. 276−281.
- Saillard M., Maystre D., Rossi J.P. // Opt. Acta. Vol. 33. 1986. P. 1193−1206.
- Scattering of Electromagnetics Waves: Numerical Simulations / L. Tsang, J.A. Kong, K.-H. Ding et al.] New York: Wiley, 2001. 705 p.
- Рентгенодифракционные исследования многослойных гетероструктур InAs-GaAs с квантовыми точками InAs / Н. Н. Фалеев, К. М. Павлов, В. И. Пунегов и др.] //ФТП. Т. 33. 1999. С. 1359−1368.
- Егоров В.А., Цырлин Г. Э. Численное моделирование особенностей формирования многослойных структур с квантовыми точками при молекулярно-пучковой эпитаксии // Письма в ЖТФ. Т. 26. 2000. С. 86−94.
- Самоорганизация квантовых точек в многослойных структурах InAs/GaAs и InGaAs/GaAs при субмонослойной эпитаксии / Г. Э. Цырлин, В.II. Петров, С. А. Масалов и др.] // ФТП. 1999. Т. 33. 6. С. 733−737.
- Bajt S. Molybdenum-ruthenium/beryllium multilayer coatings // J. Vac. Sci. Technol. A. Vol. 18. 2000. P. 557−559.
- Hinode Science Center Home Page Интернет ресурс] / URL: http://solar-b.nao.ac.jp/index e. shtml (дата обращения 29.11.2010).
- International Living With a Star Home Page Интернет ресурс] / URL: http://ilwsonline.org/ilws missions. htm (дата обращения 29.11.2010).
- Grazing incidence XUV spectrogeliograph RES-C for the CORONAS mission / S.V. Kuzin, I.A. Zhitnik, A.A. Pertsov et al.] // J. X-Ray Sci. and Technol. Vol. 7. 1997. P. 233−247.
- Normal-incidence efficiencies of multilayer-coated laminar gratings for the Extreme-Ultraviolet Imaging Spectrometer on the Solar-B mission / J.F. Seely, C.M. Brown, D.L. Windt et al.] // Appl. Opt. Vol. 43. 2004. P. 1463−1471.
- International X-ray Observatory Home Page Интернет ресурс] / URL: http://ixo.gsfc.nasa.gov/ (дата обращения 29.11.2010).
- Официальный сайт Института Космических Исследований РАН Интернет ресурс] / URL: http://www.iki.rssi.ru/ (дата обращения 29.11.2010).
- X-ray Grating Spectrometer Home Page Интернет ресурс] / URL: http://ixo.gsfc.nasa.gov/technology/xgs.html (дата обращения 29.11.2010).
- McEntaffer R.L., Cash W., Shipley A. Off-plane reflection gratings for Constellation-X // Proc. SPIE. Vol. 7011. 2008. P. 701 107−1-8.
- Shipley A., McEntaffer R.L. Thin substrate grating array for sounding rocket and satellite payloads // Proc. SPIE. Vol. 7011. 2008. P. 70 112−1-10.
- X-ray performance of gratings in the extreme off-plane mount / R. McEntaffer, S. Osterman, W. Cash et al.] // Proc. SPIE. Vol. 5168. 2004. P. 492−498.
- An x-ray test facility for diffraction gratings / R. McEntaffer, F. Hearty, B. Gleeson et al] // in Proc. SPIE. Vol. 5168. 2004. P. 499−507
- Grating arrays for high-throughput soft x-ray spectrometers / A. Rasmussen, A. Aquila, J. Bookbinder et al.] Proc. SPIE. Vol. 5168. 2004. P. 248−259.
- Tuning of the interdot resonance in stacked InAs quantum dot arrays by an external electric field / V.G. Talalaev, J.W. Tomm, A.S. Sokolov et al.] // J. Appl. Phys. Vol. 100. 2006. P. 83 704−1-7.
- Наноструктурированный твердый раствор InSiAs, полученный на поверхности Si (OOl) методом молекулярно-пучковой эпитаксии / Г. Э. Цырлин, Ю. Б. Самсоненко, В. Н. Петров и др. ] //Письма в ЖТФ. 2000. Т. 26. С. 59−66.
- Whispering-gallery modes in micro-disk cavities with InAs quantum dots: near-field photoluminescence spectroscopy imaging / A. Mintairov, Y. Chu, Y. He et al.] //
- Nanostructures: Physics and Technology: Proc. of the 15th Internat. Symp. (Novosibirsk, 2007). P. 73−74.
- Самоорганизация квантовых точек в многослойных структурах InAs/GaAs и InGaAs/GaAs при субмонослойной эпитаксии / Г. Э. Цырлин, В. Н. Петров, С. А. Масалов и др.] // ФТП. 1999. Т. 33. С. 733−737.
- Stover J.C. Optical scattering: measurement and analysis. Bellingham: SPIE Press, 1995. 321 p.
- Бушуев В.А. Влияние пространственной корреляции квантовых точек на диффузное рассеяние рентгеновского излучения // Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтр. исслед. № 9. 2007. С. 29−34.