Помощь в учёбе, очень быстро...
Работаем вместе до победы

Разработка масс-спектрометра МТИ-350ГС для технологического контроля сублиматного производства гексафторида урана

ДиссертацияПомощь в написанииУзнать стоимостьмоей работы

Таким образом, актуальность работы по разработке нового масс-спектрометра для технологического контроля процесса производства ГФУ обусловлена необходимостью замены устаревшего масс-спектрометрического оборудования для осуществления своевременной и точной коррекции процесса фторирования, обеспечения наиболее оптимального режима процесса получения ГФУ за счет учета содержания всех компонент… Читать ещё >

Содержание

  • ПРИНЯТЫЕ ОБОЗНАЧЕНИЯ И СОКРАЩЕНИЯ
  • 1. РАЗРАБОТКА КОНЦЕПЦИИ МАСС-СПЕКТРОМЕТРА
    • 1. 1. Этапы разработки масс-спектрометрического оборудования
    • 1. 2. Технические требования к разработке масс-спектрометра для контроля химического состава технологических газов в АСУТП сублиматного производства ГФУ
    • 1. 3. Обзор масс-спектрометрической аппаратуры для контроля состава газовых смесей
      • 1. 3. 1. Масс-спектрометр «Сибирь»
      • 1. 3. 2. Масс-спектрометр 1Ми
      • 1. 3. 3. Другие масс-спектрометры, предназначенные для измерения состава газовых смесей
    • 1. 4. Определение схемы построения прибора
      • 1. 4. 1. Выбор типа источника ионов
      • 1. 4. 2. Детекторы
      • 1. 4. 3. Выбор типа масс-анализатора
    • 1. 5. Выводы к главе
  • 2. РАЗРАБОТКА АНАЛИТИЧЕСКОЙ ЧАСТИ МАСС-СПЕКТРОМЕТРА МТИ-350ГС
    • 2. 1. Выбор программы для математического моделирования физических процессов
    • 2. 2. Ионно-оптическая система масс-спектрометра МТИ-350ГС
      • 2. 2. 1. Анализ ионно-оптической системы масс-спектрометра «Сибирь»
      • 2. 2. 2. Ионно-оптическая система масс-спектрометра МТИ-350ГС
      • 2. 2. 3. Масс-анализатор
      • 2. 2. 4. Полеобразующий магнит масс-анализатора масс-спектрометра МТИ-350ГС
      • 2. 2. 5. Источник ионов масс-спектрометра МТИ-350Г
      • 2. 2. 6. Конструкция источника ионов масс-спектрометра МТИ-350ГС
      • 2. 2. 7. Приемники ионов и система регистрации
    • 2. 3. Вакуумно-аналитическая часть
    • 2. 4. Выводы к главе
  • 3. РАЗРАБОТКА СТОЙКИ ПРИГОТОВЛЕНИЯ КАЛИБРОВОЧНЫХ СМЕСЕЙ И ЭЛЕКТРОННЫХ СИСТЕМ МАСС-СПЕКТРОМЕТРА
    • 3. 1. Назначение стойки приготовления калибровочных смесей и требования к ее разработке
    • 3. 2. Состав и функционирование СПКС
    • 3. 3. Приготовление газовых калибровочных смесей
    • 3. 4. Электронная система управления масс-спектрометром МТИ-350ГС
      • 3. 4. 1. Канал питания источника ионов
      • 3. 4. 2. Система регистрации ионного тока
      • 3. 4. 3. Комплекс вычислительных средств
    • 3. 5. Специализированный программный комплекс
    • 3. 6. Выводы к главе
  • 4. ПРОВЕРКА ХАРАКТЕРИСТИК МАСС-СПЕКТРОМЕТРА
    • 4. 1. Проведение испытаний прибора
    • 4. 2. Проверка аналитических характеристик масс-спектрометра
  • МТИ 350ГС
    • 4. 2. 1. Проверка геометрических характеристик масс-анализатора
    • 4. 2. 2. Определение разрешающей способности масс-спектрометра
    • 4. 2. 3. Проверка режимов работы ионного источника
    • 4. 2. 4. Проверка характеристик приемника ионов
    • 4. 3. Проверка технических параметров масс-спектрометра МТИ-350ГС
    • 4. 3. 1. Определение уровня вторичной электронной эмиссии в приёмнике ионов
    • 4. 3. 2. Определение относительного стандартного отклонения единичного определения содержания компонент анализируемой смеси
    • 4. 3. 3. Определение флуктуаций, дрейфа и нелинейности усилителей постоянного тока
    • 4. 3. 4. Определение нестабильности ускоряющего напряжения
    • 4. 3. 5. Измерение расхода газовой смеси
    • 4. 4. Выводы к главе

Разработка масс-спектрометра МТИ-350ГС для технологического контроля сублиматного производства гексафторида урана (реферат, курсовая, диплом, контрольная)

Основной деятельностью топливной компании «ТВЭЛ», в которую входят такие предприятия как ОАО «СХК», ОАО «АЭХК», ОАО «УЭХК» и другие предприятия ядерно-топливного цикла, является производство топлива для атомных станций и исследовательских реакторов. Сегодня этими предприятиями обеспечиваются потребности всех российских АЭС, поставляется топливо в 16 других стран мира. Одним из технологических процессов производства ядерного топлива является получение устойчивого газообразного соединения урана — гексафторида урана ЦБ б (ГФУ) путем фторирования оксидов урана или тетрафторида урана. Все разделительные производства в России работают именно с гексафторидом урана.

Промышленное производство ГФУ осуществляется в аппаратах фторирования (пламенных реакторах) (АФ) сублиматного производства. Производство ГФУ является сложным технологическим процессом, использующим дорогостоящие исходные компоненты, и сложным объектом автоматизации, что обусловлено высокой скоростью протекающих реакций и агрессивностью технологических сред [1].

Впервые в мировой практике масс-спектрометрический контроль производства ГФУ был реализован в 1962 году, после разработки в масс-спектрометрической лаборатории предприятия п/я А-7354 (УЭХК) масс-спектрометра АМС-1. В середине 70-х годов прошлого века, также в ЦЗЛ УЭХК, был разработан и изготовлен масс-спектрометр «Сибирь», который стал основным прибором, для контроля и управления процессом сублиматного производства на отечественных предприятиях. Ужесточение конкуренции на мировом рынке производства топлива для атомных станций из-за отказа от диффузионных технологий обогащения урана и массового строительства газоцентрифужных заводов по всему миру, привело к значительному повышению требований к контролю технологического процесса и качеству товарной продукции на всех этапах производства ядерного топлива, оптимизации процесса и повышения экономической эффективности.

Таким образом, актуальность работы по разработке нового масс-спектрометра для технологического контроля процесса производства ГФУ обусловлена необходимостью замены устаревшего масс-спектрометрического оборудования для осуществления своевременной и точной коррекции процесса фторирования, обеспечения наиболее оптимального режима процесса получения ГФУ за счет учета содержания всех компонент реакций, протекающих в АП и достижения максимального использования дорогостоящего фтора. Разработка проводилась в соответствии с программой переоснащения промышленных и научно-исследовательских предприятий атомной отрасли России современными специализированными масс-спектрометрами для прецизионного изотопного, элементного и молекулярного анализа1.

Целью диссертационной работы является разработка нового масс-спектрометра для контроля химического состава технологических газов в АСУТП сублиматного производства ГФУ, обладающего высокой степенью автоматизации и улучшенными аналитическими и эксплуатационными характеристиками.

Для решения этой задачи было необходимо:

1. Определить схему построения масс-спектрометра, исходя из технических и экономических характеристик.

2. Разработать и рассчитать ионно-оптическую схему масс-спектрометра, включающую в себя:

— источник ионов с минимальной дискриминацией;

— масс-анализатор с высокой пропускной способностью;

— многоколлекторный приемник ионов, обеспечивающий одновременную регистрацию всех измеряемых компонент.

1 Распоряжение Министерства РФ по атомной энергии N 150-р от 03.09.1999 г.

3. Разработать стойку приготовления калибровочных смесей (СПКС), обеспечивающую как приготовление и хранение калибровочных смесей из чистых газов, так коммутацию и напуск технологической смеси газов в источник ионов масс-спектрометра.

4. Разработать электронную систему управления масс-спектрометром, позволяющую осуществлять работу прибора в автоматическом режиме.

5. Провести испытания разработанного масс-спектрометра в условиях реального технологического производства.

Научная новизна работы.

1. Для технологического сублиматного масс-спектрометра впервые разработан источник ионов с ионизацией электронным ударом и однородным вытягивающим полем, обеспечивающий минимальную дискриминацию по массе и продолжительное время работы в условиях агрессивной измеряемой среды.

2. Впервые для технологического сублиматного масс-спектрометра предложена и реализована СПКС, позволяющая осуществлять в автоматическом режиме приготовление калибровочных смесей с высокой точностью из чистых газов, а также осуществлять коммутацию измеряемых смесей в источник ионов масс-спектрометра.

3. Впервые разработан простой комплекс средств автоматизации масс-спектрометра на современной элементной базе, сочетающий высокую точность, надежность и малые габариты.

Практическая ценность работы состоит в создании нового специализированного отечественного масс-спектрометра МТИ-350ГС для анализа состава смесей газовых технологических проб урана в АСУТП сублиматного производства ГФУ. Изготовлены три опытных образца масс-спектрометра, которые успешно прошли заводские приемочные испытания [2], на которых было подтверждено соответствие характеристик прибора требованиям технического задания [3]. Масс-спектрометры МТИ-350ГС успешно введены в промышленную эксплуатацию и установлены в системе технологического контроля сублиматного производства на ОАО «СХК» [4]. Аналитические характеристики масс-спектрометра, закрепленные в технических условиях, соответствуют, а для ряда параметров даже превосходят требования технического задания.

Для МТИ-350ГС разработан информационно-вычислительный комплекс, обеспечивающий полностью автоматическую работу прибора в технологической схеме сублиматного производства.

Масс-спектрометр МТИ-350ГС с небольшими переделками может быть использован в качестве прототипа изотопного масс-спектрометра «легких масс» для задач в области атомной физики, изотопной химии, геологии, медицины и криминалистики.

На защиту выносятся основные положения.

1 Оптимизированный для данной задачи источник ионов, в котором дискриминация по массе внутри источника минимизирована за счет комплекса мер, включающих обеспечение минимальной длины источника, использование постоянных фокусирующих магнитов, расположенных внутри камеры источника, и широкую выходную коллимирующую щель.

2 Специализированная стойка СПКС, позволяющая осуществлять в автоматическом режиме приготовление калибровочных смесей с высокой точностью путем прямого отбора компонентов из соответствующих емкостей с чистыми веществами, в емкость для хранения калибровочных смесей, а также осуществлять коммутацию измеряемых смесей в источник ионов масс-спектрометра.

3 Автоматизация системы управления электронными блоками канала питания источника за счет использования цифровых энкодеров и отказа от аналогового управления.

4 Новая система регистрации ионных токов масс-спектрометра на основе аналого-цифровых преобразователей (АЦП) с соотношением сигнал шум не хуже, чем при использовании классической схемы на основе преобразователей напряжение/частота (ПНЧ).

Апробация.

Результаты работы докладывались на V Съезде ВМСО 5−9 сентября 2011 г., г. Москва. [72].

Три опытных образца масс-спектрометра МТИ-350ГС введены в опытно-промышленную эксплуатацию, метрологически аттестованы и используются в системе технологического контроля сублиматного производства на ОАО «СХК» [67- 68- 70].

Результаты заводских приемочных испытаний [2].

Публикации.

Результаты работы опубликованы в виде трех статей в журналах «Научное приборостроение» [6- 7], «Масс-спектрометрия» [71], доклада [72].

Личный вклад соискателя.

В рамках темы диссертации соискателем лично были выполнены следующие работы:

1. На этапе проектирования и разработки масс-спектрометра: разработка общей структуры прибора, формирование частных технических заданий для организаций, принимавших участие в разработке и координацию связей между разработчиками, согласование технических решений. Принимал участие в разработке электронных схем блоков масс-спектрометра. Разработал вакуумную схему СПКС и ее конструкцию, принимал участие в изготовлении и сборке стойки.

2. На этапе сборки опытных образцов: выполнение сборки всех частей в единый прибор и проведение испытаний, разработка источника ионов масс-спектрометра, доработка приемников ионов, доработка камеры анализатора, доработка вакуумной схемы аналитической стойки. Доработка систем СПКС и разработка методики приготовления калибровочных смесей. Доработка электронных систем масс-спектрометра, и их испытание. Проведение ресурсных испытаний масс-спектрометра. Проведение заводских приемосдаточных испытаний. Разработка эксплуатационной документации.

3. На заключительном этапе работ автор лично осуществлял установку масс-спектрометров в системе технологического контроля на сублиматном производстве ОАО «СХК», проведение приемочных испытаний в условиях реального технологического производства.

Остальные результаты получены соискателем в соавторстве при его непосредственном участии.

Объем и структура диссертации.

Диссертационная работа состоит из введения, четырех глав, выводов и библиографического списка. Во введении сформулированы цели и задачи работы, обоснована актуальность работы, кратко изложены квалификационная часть диссертации, ее структура и содержание.

Основные результаты, полученные в работе, и выводы:

1.При создании масс-спектрометра МТИ-350ГС разработана ионно-оптическая схема на основе одного масс-анализатора, позволяющая при всей своей простоте и малых габаритах успешно обеспечить высокую разрешающую способность масс-спектрометра для легких компонент газовой смеси и регистрацию всех продуктов ионизации ГФУ.

2. По результатам моделирования электромагнитных полей и движения заряженных частиц разработан оптимизированный источник с ионизацией электронным ударом, обладающий минимальной дискриминацией по массам и максимально согласующийся с масс-анализатором. Минимальная дискриминация была обеспечена за счет минимальной длины источника и минимизации магнитных полей в области источника, что было достигнуто использованием постоянных фокусирующих магнитов, расположенных внутри камеры источника.

3. Разработан специализированный многоколлекторный приемник ионов. Для снижения уровня шумов и микрофонного эффекта в конструкции применен комплекс мер, включающий применение демпферов и фиксирующих пластин.

4. Разработана специализированная стойка СПКС, которая позволяет приготавливать калибровочную смесь непосредственно на масс-спектрометре путем прямого отбора компонентов из емкостей с чистыми веществами в емкость для хранения калибровочной смеси. Погрешность молярной доли каждого из компонентов газовой смеси, полученной с помощью дозирующих клапанов стойки, составляет 1%. Точность приготовления обеспечивается чувствительными датчиками давления и использованием электромагнитных клапанов, управляемых от КВС, включенных последовательно с регуляторами потока.

5. Для поддержания теплового режима вакуумных и напускных коммуникаций, в которых может находиться ГФУ, впервые применен активный термостат, использование которого позволило компактно разместить все нагреваемые элементы и изолировать их от окружающей среды, повысив безопасность персонала, уменьшить энергопотребление, и разместить в стойке все необходимые электронные блоки.

6. Канал питания источника ионов автоматизирован и позволяет осуществлять управление режимами работы как в ручном режиме, так и от КВС. Для этого в схеме управления впервые использованы цифровые энкодеры в паре с ЦАП, заменившие собой потенциометры.

7. Разработана новая система регистрации ионных токов. Использование АЦП в системе регистрации позволило значительно упростить схему и уменьшить габариты, при этом соотношение сигнал/шум такое же, как в системах на основе ПНЧ, но меньше нелинейность преобразования.

8. В масс-спектрометре разработан и реализован новый аппаратно-программный комплекс на базе современного шинного интерфейса CAN для автоматического управления масс-спектрометром и обработки информации, который включает в себя комплекс вычислительных средств на базе промышленного компьютера и программное обеспечение с поддержкой встроенного языка программирования, позволяющего пользователю самому реализовывать алгоритмы измерения и управления масс-спектрометром на протяжении всего срока эксплуатации.

В таблице 5.1 приведены характеристики разработанного масс-спектрометра.

5 Заключение и выводы.

Разработанный масс-спектрометр является очередным в серии отечественных специализированных масс-спектрометров МТИ-350, предназначенных для оснащения предприятий ядерного топливного цикла. При разработке прибора были использованы опыт и наработки, полученные при создании предыдущих приборов серии, созданы новые системы с улучшенными техническими характеристиками, позволяющие управлять режимами работы полностью в автоматическом режиме.

Всего в результате выполнения работ было изготовлено три опытных образца масс-спектрометра МТИ-350ГС. Изображение масс-спектрометра МТИ-350ГС приведено в приложении Б. Первый изготовленный масс-спектрометр был передан на Сублиматный завод ОАО «СХК» в конце 2008 года для проведения испытаний в условиях действующего технологического производства ГФУ, проведения ресурсных испытаний и выявления ошибок и недостатков конструкции [67]. После того, как масс-спектрометр подтвердил свою работоспособность и соответствие требованиям технического задания, он был метрологически аттестован и введен в эксплуатацию. Два других масс-спектрометра были переданы на Сублиматный завод ОАО «СХК» в 2010 году [68], где после приемочных испытаний были введены в опытно-промышленную эксплуатацию [69].

Показать весь текст

Список литературы

  1. С.А., Дядик В. Ф., Юрков A.C. Математическая модель производства гексафторида урана.// Известия Томского политехнического университета. 2009. — Т. 315. № 2. — С. 84−90.
  2. Результаты заводских приемочных испытаний опытного образца масс-спектрометра МТИ-350ГС./ ОАО «УЭХК», ЦЗЛ, архив документов, инв. № 16/11 333. Новоуральск, 2008.
  3. Об эксплуатации МТИ-350ГС: письмо/ОАО «СХК», исх. № 6025/2391 от 28.03.2012. Северск, 2012 1 с
  4. Л6000−0-00 ТУ. Масс-спектрометр МТИ-350ГС. Технические условия./ ОАО «УЭХК», ЦЗЛ, архив документов инв. № 16/12 152. Новоуральск, 2009 37 с.
  5. А.Н. Введение в управление проектированием механических систем: Учебное пособие / Белгород, 1999. — 372 с.
  6. В. И. Общая методология конструирования машин. / М.: Машиностроение, 1978. 120 с.
  7. ГОСТ 2.103−68. Единая система конструкторской документации. Стадии разработки. введ. 1971−01−01. М.: Стандартинформ, 2007. — 5 с.
  8. В.М. Ядерный топливный цикл. Технологии, безопасность, экономика. / М: Энергоатомиздат, 2005. 76 с.
  9. И.Н. Уран. Учебное пособие. / МГУ им. М. В. Ломоносова, Химический факультет, Кафедра радиохимии Москва, 2009.
  10. Автоматический масс-спектрометр для контроля и управления процессом производства гексафторида урана. Отчет по теме К-10д «Сибирь». ОАО «УЭХК», ЦЗЛ, архив документов инв. № 16/3698. Новоуральск, 1975. -255 с.
  11. IMU 200. On-line квадрупольный масс-спектрометр для анализа UF6. Электронный ресурс. Дата обновления 2004. URL: http://www.in-process.com/uploads/DB IMU200-C е ade. pdf
  12. Времяпролетный масс-спектрометр Люмас. Электронный ресурс. Дата обновления 2009. URL: http://lumass.ru/product/lumass50/.
  13. Edmond de Hoffmann, Vincent Stroobant. Mass-spectrometry. Principlesand Application./ 3rd ed. — 2007. — 502 с.
  14. A.A., Шамаева Г. Г. Электронно-лучевые и фотоэлектронные приборы./ М: Высшая школа. 1982. — 463 с.
  15. И.М., Фрайман Б. С. Вторичная электронная эмиссия./ М: Наука.-1969.-408 с.
  16. Л6000−00−0 РЭ. Масс-спектрометр МТИ-350ГС. Руководство поэксплуатации. / ОАО «УЭХК», ЦЗЛ, архив документов инв. № 16/12 153. -Новоуральск. 2009. — 68 с.
  17. А.Н., Краснов Н. В., Галль Л. Н. Тандемные масс-спектрометры в биохимии. // Научное приборостроение. 2004. — № 14. — С. 423.
  18. Галль J1.H., Баженов А. Н., Кузьмин А. Г., Галль Н. Р. Сравнительные возможности масс-анализаторов разных типов в решении аналитических задач масс-спектрометрическими методами. // Масс-спектрометрия. 2008. — № 5(4) -С. 295−300.
  19. В. А. Разработка специализированного масс-спектрометра для изотопного анализа урана в газовой фазе: Дис.. канд. технических наук М. 2006. — 176 с. — РГБ ОД, 61:06−5/3650.
  20. Г. С., Израилевич И. С., Ерохин В. Н., Агеев Н. И., Калашников В. А. Исследование эффекта «памяти» масс-спектрометра и выбор путей его снижения и учета: отчет о НИР. // ОАО «УЭХК», ЦЗЛ, архив документов инв. № Л-1558. Новоуральск. — 1991. — 49 с.
  21. Договор на выполнение опытно-конструкторской работы «Разработка масс-спектрометра для контроля сублиматного производства гексафторида урана МТИ-350ГС».// ОАО «УЭХК», № 06/3331 от 12.08.2004. -Новоуральск. 10 с.
  22. A.C., Кирьянов Г. И., Сапрыгин A.B., Калашников В.А.,
  23. A.C., Галль Л. Н., Сапрыгин A.B. Калашников В. А. Малеев А.Б. Масс-спектрометрический комплекс для контроля изотопного состава урана в разделительном производстве. // Атомная энергия. 2004. — Т. 96.-вып. 1.-С. 49−60.
  24. A.A., Чупахин М. С. Введение в масс-спектрометрию. / М.: Атомиздат. 1977. — 304 с.
  25. А.Б. Исследование и оптимизация характеристик источников ионов масс-спектрометров с магнитным анализатором для анализа гексафторида урана: Дис.. канд. технических наук.-СПб. 2006. — 141 с. -РГБ ОД, 61:06−5/3124.
  26. H.A., Дергачев В. А. Электромагнитное разделение изотопов и изотопный анализ.- М.: Энергоатомиздат 1989. — 168 с.
  27. Патент на полезную модель № 113 070 Российская Федерация. Масс-спектрометр и отклоняющая магнитная система / Кузьмин Д.Н.- заявитель и правообладатель ФГУП ЭЗАН с СКБ РАН. № 2 011 135 462- заявл. 25.08.2011.
  28. Л.Н., Огородников А. К., Пятакин А. Н. Аналогово-цифровой моделирующий комплекс и пакет программ для исследования источников ионов. Научные приборы. Т.24. — 1981. — С. 12−15.
  29. JI.A. Теоретические основы электротехники: Электромагнитное поле. / М.: Высшая школа. 1978. — 231 с.
  30. A.C., Галль Л. Н., Хасин Ю. И. Методика согласования источника ионов статического масс-спектрометра с анализатором. // Научное приборостроение. Т.П. № 4. -2001 — С. 28−34.
  31. Dahl D.A. Simion 3D Version 7.0. User’s Manual. Idaho National Engineering and Environmental Laboratory. 2000. — 353 c.
  32. A.A., Артеев В. З., Кащеев В. В. Изотопная масс-спектрометрия / Под общей редакцией A.A. Сысоева М.: Энергоатомиздат.- 1993. 288 с.
  33. Л.Н., Саченко В. Д., Хасин Ю. И. Расчетно-экспериментальная методика оптимизации ионно-оптической системы комплекса источник ионов- масс-спектрометр.// Сборник тезисов докладов IX семинара по методам расчета ЭОС. Ленинград. 1988. — С. 116.
  34. Л. Н., Кузьмин А. Г., Кудрявцев В. Н., Семенов А. А., Галль Н. Р. Современные подходы к разработке изотопных масс-спектрометровдля анализа элементов легких масс (обзор) // Научное приборостроение, том 19 № 4. 2009. — С. 5−12.
  35. Л.Н., Хасин Ю. И. О проблеме дискриминаций по массе в источнике ионов с ионизацией электронным ударом. // Научное приборостроение. Т. 16, № 2. 2006. — С. 66−72.
  36. Л.Н. Физические основы масс-спектрометрии и ее применение в аналитике и биофизике / СПб.: Издательство Политехнического университета. 2010. — 164 с.
  37. A.C., Галль Л. Н., Хасин Ю. И. Методика согласования источника ионов статического масс-спектрометра с анализатором. // Научное приборостроение. Том 11. № 4. 2001. — С. 28−34.
  38. Система магнитная СМ-75 В. Паспорт. ООО «Средуралметпром» -Екатеринбург. 2008. — 4 с.
  39. Усовершенствование узлов и систем масс-спектрометра МТИ-350ГС: отчет об ОКР. / ОАО «УЭХК" — рук. Калашников В.А.- исполн.: Швецов С. И., Малеев А. Б., Утев Н. И., Кисель A.M., Кострюков A.M. ЦЗЛ, архив документов инв. № 16/10 529 — Новоуральск. — 2007 -31.
  40. Л6000−0-00 РЭ. Масс-спектрометр МТИ-350ГС. Руководство по эксплуатации. / ОАО «УЭХК», ЦЗЛ, архив документов инв. № 16/12 153, -Новоуральск. 2009. — 67 с.
  41. Д.В., Кострюков A.M. ЦЗЛ, архив документов инв. № 16/10 671 -Новоуральск. — 2007. — 32.
  42. Результаты испытаний уплотняющего элемента электромагнитного клапана из форпласта (Ф-4РМ): справка. / ОАО «УЭХК" — рук. Калашников В.А.- исполн.: Швецов С. И., Утев Н. И. ЦЗЛ, архив документов инв. № 13 202-Новоуральск. — 2010.-5.
  43. Рот А. Вакуумные уплотнения. Пер. с англ./М.: Энергия-1971 464.
  44. Государственная система обеспечения единства измерений.
  45. Л5500−00−0. Масс-спектрометр МТИ-350Г. Комплект документации./ ОАО «УЭХК», ЦЗЛ, № ГР01 040 2 395, архив документов инв. № 16/Л5500. -Новоуральск. 2006.
  46. Finnigan МАТ 281. User manual. / ОАО «УЭХК», ЦЗЛ, архивдокументов инв. № 16/6852-Новоуральск. 2002.-71 с.
  47. X. Взгляд изнутри на основы CAN // Мир компьютерной автоматизации. 1996. — № 3. — С. 34−39.
  48. Акт выполнения пуско-наладочных работ масс-спектрометра МТИ-350ГС на сублиматном заводе СХК 12−25 ноября 2008 года. / ОАО «УЭХК», ЦЗЛ, архив документов инв. № 16/11 581.- Новоуральск. 2008. — 5 с.
  49. Акт выполнения пуско-наладочных работ масс-спектрометров МТИ-350ГС зав. № 1 и № 3 на сублиматном заводе СХК 15−30.03.2010. / ОАО «УЭХК», ЦЗЛ, архив документов инв. № 16/12 779. Новоуральск. — 2010.-8.
  50. Thermo scientific MAT 253. Электронный ресурс. Дата обновления 2005. URL: https://static.thermoscientific.com/images/D12862~.pdf
Заполнить форму текущей работой