ΠΡΠΈΠΌΠ΅Ρ ΠΎΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΎΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠΎΡΠΎΠ²
Π€ΠΎΡΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡ. ΠΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ, Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΉ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° Π±ΡΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π° Π΄ΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΡ, ΠΎΠΊΠΈΡΠ»ΡΡΡ («ΠΏΠΎΠΊΡΡΠ²Π°ΡΡ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ΠΎΠΌ», «ΠΏΠΎΠΊΡΡΠ²Π°ΡΡ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΠΌ») (ΡΠΈΡ. 1.13): ΠΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΡΠΌ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠ»ΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΡ Π΅ΠΌ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²Π°Ρ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Π° — ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ° p-ΡΠΈΠΏΠ° (ΡΠΈΡ. 1.3). ΠΠ°Π»Π΅Π΅ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ ΠΏΠΎΠΌΠ΅ΡΠ°ΡΡ Π² ΡΡΠ°Π²ΠΈΡΠ΅Π»Ρ, Π²ΡΡΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡΡΠΈΠΉ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π½Π° ΠΎΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½Π½ΡΡ ΠΎΡ ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ° ΡΡΠ°ΡΡΠΊΠ°Ρ (ΡΠΈΡ. 1.17): Π’Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ, ΡΡΠΎΠ±Ρ… Π§ΠΈΡΠ°ΡΡ Π΅ΡΡ >
ΠΡΠΈΠΌΠ΅Ρ ΠΎΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΎΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠΎΡΠΎΠ² (ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠ°Ρ, ΠΊΡΡΡΠΎΠ²Π°Ρ, Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΡΠ½Π°Ρ)
Π Π°ΡΡΠΌΠΎΡΡΠΈΠΌ ΠΏΡΠΎΡΠ΅Π΄ΡΡΡ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΡ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ Π½Π° ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ΅ Π±ΠΈΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠ° (ΡΠΈΡ. 1.2).
ΠΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ:
Π ΠΈΡ. 1.2.Π’ΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ Π±ΠΈΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠ°.
Ρ — ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» (ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊ), ΠΈΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠΉ Π΄ΡΡΠΎΡΠ½ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡ;
ΠΏ — ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊ, ΠΈΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡ;
Π»+ — ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊ, ΠΈΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠΉ ΠΎΠ±Π΅Π΄Π½Π΅Π½Π½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡ;
Π — Π±Π°Π·Π° ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠ°;
Π — ΡΠΌΠΈΡΡΠ΅Ρ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠ°;
Π —ΠΊΠΎΠ»Π»Π΅ΠΊΡΠΎΡ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠ°;
ΠΠ — ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡ Π±Π°Π·Ρ;
ΠΠ — ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡ ΠΊΠΎΠ»Π»Π΅ΠΊΡΠΎΡΠ°;
ΠΠ — ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡ ΡΠΌΠΈΡΡΠ΅ΡΠ°.
ΠΠ»Ρ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° Π½Π° ΠΊΠΎΠΌΠΏΡΡΡΠ΅ΡΠ΅ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π΅ΠΌ ΡΠ·ΡΠΊ Π΅Π³ΠΎ ΠΎΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΡ. ΠΡΠΎΠ΄Π΅ΠΌΠΎΠ½ΡΡΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ ΡΡΠ°ΠΏΡ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠ° Π½Π΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΡΡ Π΅ΠΌ (ΡΠΈΡ. 1.3−1.17), Π½ΠΎ ΠΈ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΡΡΠΈΡ ΠΎΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠΎΡΠΎΠ².
ΠΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΡΠΌ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠ»ΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΡ Π΅ΠΌ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²Π°Ρ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Π° — ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ° p-ΡΠΈΠΏΠ° (ΡΠΈΡ. 1.3).
Π ΠΈΡ. 1.3. ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²Π°Ρ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Π°.
ΠΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠΎΡ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ:
SUBS.
SUBS SILICON Ρ 1. ΠΠ΅+15.
//ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²Π°Ρ (SILICON) Ρ-ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ° Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠ΅ΠΉ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ.
1015.
ΠΠ»Ρ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΊΠΎΠ»Π»Π΅ΠΊΡΠΎΡΠ° ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡ Π΄ΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈ Ρ^ΡΠΈΠΏΠ° (ΡΠΈΡ. 1.4) ΠΏΠΎΠ΄ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡ (ΠΌΠ°ΡΠΊΠ° 1).
Π ΠΈΡ. 1.4. ΠΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΡ ΠΏ*-ΡΠΈΠΏΠ°.
ΠΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠΎΡ Π΄ΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΠΈ:
DOPE.
DOPE N 1.5Π΅+15 00Π΅+00 5.0Π΅-01 //Π΄ΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΡ n-ΡΠΈΠΏΠ° Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠ΅ΠΉ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ 1,5*1Π15,.
//Π±Π΅Π· Π·Π°Ρ ΠΎΠ΄Π° ΠΏΠΎΠ΄ ΠΎΠΊΠΈΡΠ΅Π»,.
//Π³Π»ΡΠ±ΠΈΠ½ΠΎΠΉ 5,0*10−1 ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠ½Π°.
ΠΠ° ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π²ΡΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π½Π°Π½ΠΎΡΡΡ ΡΠ»ΠΎΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π»-ΡΠΈΠΏΠ° (ΡΠΈΡ. 1.5):
SUBS SILICON n 1.0Π΅+13 //ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ n-ΡΠΈΠΏΠ° //Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠ΅ΠΉ 1013.
Π ΠΈΡ. 1.5. ΠΡΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΡ.
ΠΠΎΡΠ»Π΅ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡ Π΄ΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈ p-ΡΠΈΠΏΠ° Π΄ΠΎ ΡΠΌΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ Ρ Ρ-ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ (ΡΠΈΡ. 1.6). ΠΠ±ΡΠ°Π·ΡΡΡΡΡ Π»-ΠΊΠ°ΡΠΌΠ°Π½Ρ Π΄Π»Ρ ΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ² ΠΈ ΠΊΠΎΠ»Π»Π΅ΠΊΡΠΎΡΠΎΠ² ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ².
Π ΠΈΡ. 1.6. Π Π°Π·Π΄Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½Π°Ρ Ρ-Π΄ΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΡ.
Π Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΌ ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅ Π΄ΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡ Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π½Π΅Π³Π°ΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠΉ ΠΌΠ°ΡΠΊΠΈ 2, ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΡΡΡΠ΅ΠΉ ΡΡΠΈ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ:
DOPE Π 1. ΠΠ΅+22 1.8Π΅+00 2.0Π΅-01 //Π΄ΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΡ p-ΡΠΈΠΏΠ° Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠ΅ΠΉ 1,0*1022, Ρ Π·Π°Ρ ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ //ΠΏΠΎΠ΄ ΠΎΠΊΠΈΡΠ΅Π».
//Π² 1,8 ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠ½Π°, Π³Π»ΡΠ±ΠΈΠ½ΠΎΠΉ 2,0*10-1 ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠ½Π°.
Π ΠΊΠ°ΡΠΌΠ°Π½Ρ Π»-ΡΠΈΠΏΠ° (ΠΊΠΎΠ»Π»Π΅ΠΊΡΠΎΡΡ ΠΈ ΠΊΠ°ΡΠΌΠ°Π½Ρ Π΄Π»Ρ ΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ²) ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡ Π΄ΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈ p-ΡΠΈΠΏΠ° (ΡΠΈΡ. 1.7) Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠ΅ΠΉ Π±Π°Π· ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ² ΠΈ Ρ-ΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ².
Π ΠΈΡ. 1.7. ΠΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Ρ Ρ-Π΄ΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΡ.
ΠΠ° ΡΡΠΎΠΌ ΡΡΠ°ΠΏΠ΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠΊΡ 3 Ρ ΡΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠΌΠΈ Π±Π°Π· ΠΈ Ρ-ΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ²:
DOPE Π 1. ΠΠ΅+15 10Π΅+00 1.0Π΅-01.
Π‘ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠ°ΡΠΊΠΈ 4 Ρ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΡΡΠΈΠΌΠΈ ΡΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠΌΠΈ ΠΎΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π»ΡΡΡ ΡΠΌΠΈΡΡΠ΅ΡΠ½ΡΡ Π΄ΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ΅ΠΉ Π»4-ΡΠΈΠΏΠ° (ΡΠΈΡ. 1.8): Π² Π±Π°Π·ΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΡΠΌΠΈΡΡΠ΅ΡΠΎΠ², Π² ΠΊΠΎΠ»Π»Π΅ΠΊΡΠΎΡΠ½ΡΠ΅.
Π ΠΈΡ. 1.8. ΠΠΌΠΈΡΡΠ΅ΡΠ½Π°Ρ Π΄ΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΡ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠΎΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΠΏΠΎΠ΄ ΠΊΠΎΠ»Π»Π΅ΠΊΡΠΎΡΠ½ΡΠΌ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠΎΠΌ, Π² ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΡ p-ΡΠΈΠΏΠ° Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠΎΠΌΠ½ΡΡ ΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ², ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΠΈΡ ΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠ°Π·Π²ΠΎΠ΄ΠΊΠΈ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ.
ΠΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠΎΡ:
DOPE N 1. ΠΠ΅+22 7.0Π΅-01 1.0Π΅-01.
ΠΠ»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡΡΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΡ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»ΡΠ΅ΠΌ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ, ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π΅ΠΌ ΡΠ»ΠΎΠΉ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ (ΡΠΈΡ. 1.9).
Π ΠΈΡ. 1.9. ΠΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅.
ΠΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠΎΡ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ:
0X1D.
OXID 0X6 3.0Π΅-01.
ΠΠ°Π»Π΅Π΅ Π½Π° ΡΡΠ°ΠΏΠ΅ ΠΎΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠ°ΡΠΊΠΈ 5 Π²ΡΠΊΡΡΠ²Π°ΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΠ΅ ΠΎΠΊΠ½Π° ΠΊ ΡΠΌΠΈΡΡΠ΅ΡΡ, Π±Π°Π·Π΅, ΠΊΠΎΠ»Π»Π΅ΠΊΡΠΎΡΡ ΠΈ Π² Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡΡ ΠΌΠ΅ΡΡΠ°Ρ Π΄Π»Ρ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π°ΡΠΈ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»ΡΡΡΠΈΡ ΡΠΈΠ³Π½Π°Π»ΠΎΠ² Π² ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ (ΡΠΈΡ. 1.10).
Π ΠΈΡ. 1.10.Π’ΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅.
ΠΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠΎΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ:
ETCH ΡΠ³Π»ΡΠ±ΠΈΠ½Π° ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ>
ETCH 0X0 3.0Π΅-01.
ΠΠ°ΠΏΡΠ»ΡΡΡ ΡΠ»ΠΎΠΉ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΡ (ΡΠΈΡ. 1.11), ΠΈΠ· ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ³ΠΎ Π½Π° ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠ΅ΠΉ ΠΎΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π±ΡΠ΄ΡΡ ΡΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Ρ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ (ΠΏΡΡΠ΅ΠΌ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ).
Π ΠΈΡ. 1.11. ΠΠ°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π°.
ΠΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠΎΡ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°:
DEPO.
DEPO ΠΠΠ’Π¬ 5.0Π΅-01.
Π‘ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π½Π΅Π³Π°ΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠΉ ΠΌΠ°ΡΠΊΠΈ 6 Π²ΡΡΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡΡ Π»ΠΈΡΠ½ΠΈΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π» ΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡΡ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡΠ΅ ΠΌΠ΅ΠΆΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ (ΡΠΈΡ. 1.12):
ETCH ΠΠΠ’Π¬ 5.0Π΅-01.
Π ΠΈΡ. 1.12. Π‘ΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅ΠΆΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ.
Π’Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ, ΡΡΠΎΠ±Ρ Π΄ΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠ»Π°ΡΡ Π² ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΡΡ Π·ΠΎΠ½Π°Ρ , ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠΉ Π΄ΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΠ΅ΠΉ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡ ΡΠΎΡΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡ.
Π€ΠΎΡΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡ. ΠΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ, Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΉ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° Π±ΡΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π° Π΄ΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΡ, ΠΎΠΊΠΈΡΠ»ΡΡΡ («ΠΏΠΎΠΊΡΡΠ²Π°ΡΡ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ΠΎΠΌ», «ΠΏΠΎΠΊΡΡΠ²Π°ΡΡ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΠΌ») (ΡΠΈΡ. 1.13):
OXID 0X6 1.0Π΅-01.
Π ΠΈΡ. 1.13. ΠΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ.
ΠΠ° ΡΠ»ΠΎΠΉ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° Π½Π°Π½ΠΎΡΡΡ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ»ΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ° (ΡΠΈΡ. 1.14):
DEPO RST 1.0Π΅-01.
Π ΠΈΡ. 1.14. ΠΠ°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ°.
ΠΠ° ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡ Π½Π°ΠΊΠ»Π°Π΄ΡΠ²Π°ΡΡ ΡΠΎΡΠΎΡΠ°Π±Π»ΠΎΠ½: ΠΌΠ°ΡΠΊΠ° ΠΏΠΎΠ²ΡΠΎΡΡΠ΅Ρ ΡΠΈΡΡΠ½ΠΎΠΊ Π·ΠΎΠ½ Π΄ΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΠΈ (ΡΠΈΡ. 1.15).
Π ΠΈΡ. 1.15. ΠΠ°Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΡΠΎΡΠ°Π±Π»ΠΎΠ½Π° ΠΈ Π·Π°ΡΠ²Π΅ΡΠΊΠ°.
ΠΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠΎΡ ΠΌΠ°ΡΠΊΠΈ:
MASK.
MASK RST DRST 4 POSI.
ΠΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ ΠΎΠ±Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ»ΡΡΡΠ°ΡΠΈΠΎΠ»Π΅ΡΠΎΠ²ΡΠΌ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠΌ. Π’Π°ΠΌ, Π³Π΄Π΅ ΡΠ²Π΅Ρ ΠΏΠΎΠΏΠ°Π΄Π°Π΅Ρ Π½Π° ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡ, ΡΡΠ°ΡΡΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ·ΡΡΡΡΡ. ΠΠΎΡΠ»Π΅ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΡΠΎΡΠ°Π±Π»ΠΎΠ½ ΡΠ±ΠΈΡΠ°ΡΡ, ΠΈ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Π° ΠΏΠΎΠΌΠ΅ΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π² ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΡΡΠ°Π²ΠΈΡΠ΅Π»Ρ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΡΡΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π΅Ρ Π½Π΅Π·Π°ΡΠ²Π΅ΡΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ ΡΡΠ°ΡΡΠΊΠΈ ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ° (ΡΠΈΡ. 1.16):
ETCH DRST 1.5Π΅-01.
Π ΠΈΡ. 1.16. ΠΡΡΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π½Π΅Π·Π°ΡΠ²Π΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ°.
ΠΠ°Π»Π΅Π΅ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ ΠΏΠΎΠΌΠ΅ΡΠ°ΡΡ Π² ΡΡΠ°Π²ΠΈΡΠ΅Π»Ρ, Π²ΡΡΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡΡΠΈΠΉ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π½Π° ΠΎΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½Π½ΡΡ ΠΎΡ ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ° ΡΡΠ°ΡΡΠΊΠ°Ρ (ΡΠΈΡ. 1.17):
ETCH 0X1 1.0Π΅-01.
ΠΠΎΡΠ»Π΅ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°Π²ΠΈΡΠ΅Π»Ρ ΡΠΌΡΠ²Π°ΡΡ, ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ ΠΏΠΎΠΌΠ΅ΡΠ°ΡΡ Π² Π΄ΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΏΠ΅ΡΡ, Π³Π΄Π΅ Π΄ΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ΅ΠΉ ΠΈΠ΄Π΅Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π² ΠΌΠ΅ΡΡΠ°Ρ , Π³Π΄Π΅ Π½Π΅Ρ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ.
Π ΠΈΡ. 1.17. Π‘Π½ΡΡΠΈΠ΅ ΠΎΡΡΠ°ΡΠΊΠΎΠ² ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ°.
ΠΡΠΈΠΌΠ΅Ρ ΠΏΡΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΡ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ Π±ΠΈΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ½ΡΡ ΡΡ Π΅ΠΌ Π² ΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ-ΠΏΠ»Π°Π½Π°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ (ΠΠΠ’).
SUBS SILICON Ρ 1. ΠΠ΅+15.
DEPO RST 5.0Π΅-01.
MASK RST DRST 1 POSI.
ETCH NTRD 5.0e-01.
ETCH RST 6.0e-01.
OXID NTRD 6.0e-01.
ETCH NTRD 6.0e-01.
DOPE N 1.5e+15 00e+00 5.0e-01.
ETCH 0X0 1.0e-01.
SUBS SILICON n 1.0e+13.
OXID 0X3 1.0e-02.
DEPO NTR 1.0e-01.
MASK RST DRST 2 NEGA.
ETCH NTRD 2.0e-01.
ETCH 0X0 2.0e-01.
DOPE P 1.0e+22 1.8e+00 2.0e-01.
ETCH RST 1.0e-01.
DEPO RST 1.0e-01.
MASK RST DRST 3 POSI.
ETCH DRST 1.5e-01.
DOPE P 1.0e+15 10e+00 1.0e-01.
ETCH OX 3.0e-01.
OXID 0X6 1.0e-01.
DEPO RST 1.0e-01.
MASK RST DRST 4 POSI.
ETCH DRST 1.5e-01.
ETCH 0X1 1.0e-01.
DOPE N 1.0e+22 7.0e-01 1.0e-01.
OXID 0X6 3.0e-01.
DEPO RST 3.0e-01.
MASK RST DRST 5 POSI.
ETCH RST 3.0e-01.
ETCH 0X0 3.0e-01.
DEPO METL 5.0e-01.
DEPO RST 5.0Π΅-01 MASK RST DRST 6 NEGA ETCH DRST 6.0e-01 ETCH METL 5.0e-01.
Π ΡΠ΅ΠΊΡΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° Π΅ΡΡΡ ΡΡΡΠ»ΠΊΠΈ Π½Π° ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠΈΠ²Π½ΡΠ΅ ΠΈ Π½Π΅Π³Π°ΡΠΈΠ²Π½ΡΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠΊΠΈ (ΡΠΈΡ. 1.18).
Π ΠΈΡ. 1.18. ΠΠ°ΡΠΊΠΈ: Π°) ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠΈΠ²Π½Π°Ρ (POSI), Π±) Π½Π΅Π³Π°ΡΠΈΠ²Π½Π°Ρ (NEGA).
Π ΠΌΠ°ΡΠΊΠ°Ρ (ΡΠ°Π±Π»ΠΎΠ½Π°Ρ ) ΡΠ΅ΡΠ½ΡΠΌ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠΌ ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ°ΡΡ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ Π΄ΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΠΈ (ΠΈΠΌΠΏΠ»Π°Π½ΡΠ°ΡΠΈΠΈ) ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΠ½ΡΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΎΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠΈΠΉ ΠΏΠΎ Π²Π½Π΅Π΄ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° Π² Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΡΡ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡ.
ΠΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠΎΡΡ. ΠΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠΎΡΡ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡΡ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ p-Π±Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Π΄ΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΠΈ Π² ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡΡΡΡΠΈΡ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡΡ Π»-ΡΠΈΠΏΠ° (ΡΠΈΡ. 1.19).
Π ΠΈΡ. 1.19. Π Π΅Π·ΠΈΡΡΠΎΡΡ: Π°) ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠ°Π»ΡΠ½Π°Ρ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ°, Π±) ΡΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠΎΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠ°, Π²) ΡΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΎΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠ° ΠΠ»Ρ ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΈ Π»-ΠΊΠ°ΡΠΌΠ°Π½Π° Π½Π° Ρ-ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΡ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Π°ΡΡ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΎΡΡΠΈΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΠΏΠΎΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ°Π» ΡΡ Π΅ΠΌΡ (ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎ ΡΡΠΎ Π½ΡΠ»Π΅Π²ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ°Π» ΡΠΈΠ½Ρ «Π·Π΅ΠΌΠ»Ρ»), Π° Π΄Π»Ρ ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΈ p-ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠ° (Π² Π»-ΠΊΠ°ΡΠΌΠ°Π½) — ΡΠ°ΠΌΡΠΉ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΠΏΠΎΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ°Π» (ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎ — Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΡ).