ΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² ΡƒΡ‡Ρ‘Π±Π΅, ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ быстро...
Π Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π΅ΠΌ вмСстС Π΄ΠΎ ΠΏΠΎΠ±Π΅Π΄Ρ‹

Π€ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΎ-химичСскоС состояниС повСрхностного слоя

Π Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚ΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² Π½Π°ΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΠΈΠ£Π·Π½Π°Ρ‚ΡŒ ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΠΌΠΎΠ΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹

НСкоторыми Π°Π²Ρ‚ΠΎΡ€Π°ΠΌΠΈ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½Ρ‹Π΅ измСнСния Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ массопСрСносом. ИсслСдования А. М. Π‘ΡƒΠ»ΠΈΠΌΡ‹ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»ΠΈ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈ этого явлСния ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅: адсорбция элСмСнтов Ρ€Π΅ΠΆΡƒΡ‰Π΅Π³ΠΎ инструмСнта Π² ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π² ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΠ΅ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ; высокиС Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½Ρ‹Π΅ Π³Ρ€Π°Π΄ΠΈΠ΅Π½Ρ‚Ρ‹ Π² Π·ΠΎΠ½Π΅ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ; Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ Π² ΠΊΠΎΡΡ„Ρ„ΠΈΡ†ΠΈΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ… Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ·ΠΈΠΈ элСмСнтов конструкционных ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ²; адгСзия микрочастиц ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° Π½Π° Ρ€Π΅ΠΆΡƒΡ‰ΠΈΠΉ… Π§ΠΈΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Π΅Ρ‰Ρ‘ >

Π€ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΎ-химичСскоС состояниС повСрхностного слоя (Ρ€Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚, курсовая, Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½Π°Ρ)

Как ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½ΠΎ Π² ΠΏΠ°Ρ€Π°Π³Ρ€Π°Ρ„Π΅ 5.1, повСрхностный слой Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΠΈ прСдставляСт собой ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡƒΡŽ структуру, Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡Π°ΡŽΡ‰ΡƒΡŽΡΡ ΠΎΡ‚ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°. Π’Π΅ΡΡŒ этот комплСкс Π½ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… свойств, ΠΏΡ€ΠΈΠΎΠ±Ρ€Π΅Ρ‚Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ Π² Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ тСхнологичСского воздСйствия, Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ Ρ„ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΎ-химичСским состояниСм.

На ΡΠ΅Π³ΠΎΠ΄Π½ΡΡˆΠ½ΠΈΠΉ дСнь число ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ², Ρ…Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ·ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… Ρ„ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΎ-химичСскоС состояниС, насчитываСт нСсколько дСсятков ΠΈ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ Π΄Π»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΈ Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΎΡΡ‚оящих исслСдований с ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ элСктронной микроскопии, рСнтгСноструктурного Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π°, ΠΎΠΆΠ΅-спСктроскопии, акустичСской эмиссии ΠΈ Ρ€ΡΠ΄Π° Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ².

Π’ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΌ ΠΏΠ°Ρ€Π°Π³Ρ€Π°Ρ„Π΅ ΠΌΡ‹ ΠΊΠΎΡΠ½Π΅ΠΌΡΡ лишь Π½Π΅ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… ΠΈΠ· Π½ΠΈΡ…, Π½ΠΎ ΠΈ ΡΡ‚ΠΎ ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ число ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² ΡƒΠ±Π΅Π΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Ρ‡Π΅Ρ€ΠΊΠ½Π΅Ρ‚ Π³Π»ΡƒΠ±ΠΈΠ½Ρƒ ΠΈ Π½Π΅ΠΈΡΡ‡Π΅Ρ€ΠΏΠ°Π΅ΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ рассматриваСмой ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΡ‹.

Π’Π½Π°Ρ‡Π°Π»Π΅ рассмотрим Ρ‚Π°ΠΊ Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΡ‹Π΅ Ρ„ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΎ-мСханичСскиС свойства повСрхностного слоя, ΠΊ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΌ относят Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ΅ ΡƒΠΏΡ€ΠΎΡ‡Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ ΠΎΡΡ‚Π°Ρ‚ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅ напряТСния.

Π‘ΠΈΠ»ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½Ρ‹Π΅ воздСйствия Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΈ ΡΠΊΡΠΏΠ»ΡƒΠ°Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ приводят ΠΊ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡŽ Ρ„ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΎ-мСханичСских свойств ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° повСрхностного слоя. ΠŸΡ€ΠΈΡ‡ΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½ΠΎΠ³ΠΎ измСнСния, ΠΏΡ€Π΅ΠΆΠ΄Π΅ всСго, ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ структурныС измСнСния Π² ΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚алличСской Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Ρ‚ΠΊΠ΅ конструкционного ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°, Ρ‡Ρ‚ΠΎ связано с Π²ΠΎΠ·Ρ€Π°ΡΡ‚Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ количСства дислокаций, вакансий ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ² Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Ρ‚ΠΊΠΈ. Π—Π΅Ρ€Π½Π° ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°, находящиСся нСпосрСдствСнно Ρƒ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности, ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π»ΡŒΡ‡Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΈ Π²Ρ‹Ρ‚ΡΠ³ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π² Π½Π°ΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ Π²Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π° Π³Π»Π°Π²Π½ΠΎΠ³ΠΎ двиТСния ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡŽ тСкстуры, Ρ…Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€Π½ΠΎΠΉ для ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ тСхнологичСского ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° ΠΈΠ»ΠΈ Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌΠ° эксплуатации.

ΠšΡ€ΠΎΠΌΠ΅ силового Ρ„Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π°, Π² ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΠ΅ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ сущСствСнноС Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π° Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Ρ„ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΎ-мСханичСских свойств повСрхностного слоя ΠΎΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚ Π΄Π΅ΠΉΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰Π°Ρ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° ΠΈ ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°.

Π’ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΎΡ‚ ΡƒΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΠΉ протСкания мСханичСского воздСйствия Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ностный слой Π² ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΠ΅ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·ΠΎΠΉΡ‚ΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π΅Π³ΠΎ Ρ„Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈ Ρ…имичСского состава.

ΠžΠ΄Π½ΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠ΅ сочСтаниС пСрСчислСнных Ρ„Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ² ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ„ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΎ-мСханичСскиС свойства ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π° повСрхностного слоя Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ ΡΠ΅Ρ€ΡŒΠ΅Π·Π½Ρ‹ΠΌ затруднСниям ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ³Π½ΠΎΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΈΡ… Π΄ΠΎΠ»Π³ΠΎΠ²Π΅Ρ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΈ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ Ρ‚Ρ€Π°Π΄ΠΈΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ справочными Π΄Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΏΠΎ Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΡŽ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π° тСкучСсти ΠΈ Ρ‚вСрдости Π½Π΅ ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡΡ‚авляСтся Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½Ρ‹ΠΌ.

ΠŸΡ€ΠΈ Ρ€Π΅Π°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΠ½ΡΡ‚Π²Π° тСхнологичСских ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΡ‚Π΅ΠΊΠ°ΡŽΡ‚ Π΄Π²Π° процСсса: Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ΅ ΡƒΠΏΡ€ΠΎΡ‡Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ Ρ€Π°Π·ΡƒΠΏΡ€ΠΎΡ‡Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅, происходящиС вслСдствиС дСйствия высоких Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€ Π² Π·ΠΎΠ½Π΅ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ. ΠžΠΊΠΎΠ½Ρ‡Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Ρ„ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΎ-мСханичСских свойств повСрхностного слоя опрСдСляСтся ΡΠΎΠΎΡ‚Π½ΠΎΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ интСнсивности этих процСссов.

ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹ΠΌΠΈ характСристиками, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ для практичСских ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅Ρ€Π½Ρ‹Ρ… расчСтов, Π² Π½Π°ΡΡ‚оящСС врСмя ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ΅ ΡƒΠΏΡ€ΠΎΡ‡Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ ΠΎΡΡ‚Π°Ρ‚ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅ напряТСния. Π”Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ΅ ΡƒΠΏΡ€ΠΎΡ‡Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅, ΠΈΠ»ΠΈ Π½Π°ΠΊΠ»Π΅ΠΏ, измСняСт свойства ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π° повСрхностного слоя ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ: ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ°Π΅Ρ‚ΡΡ Π΅Π³ΠΎ Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈ Ρ…Ρ€ΡƒΠΏΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ (Π·Π° ΡΡ‡Π΅Ρ‚ ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ ΡƒΠ΄Π°Ρ€Π½ΠΎΠΉ вязкости), Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½Π΅Π΅ Ρ‚Ρ€Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ°Π΅Ρ‚ся ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ.

Для ΠΎΡ†Π΅Π½ΠΊΠΈ упрочнСния, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΠΎ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹ — ΡΡ‚Π΅ΠΏΠ΅Π½ΡŒ Un, Π³Π»ΡƒΠ±ΠΈΠ½Π° Ан ΠΈ Π³Ρ€Π°Π΄ΠΈΠ΅Π½Ρ‚ /7Ρ„ Π½Π°ΠΊΠ»Π΅ΠΏΠ°: Π³Π΄Π΅ #ΠΌ — максимальная повСрхностная ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΎΡΡ‚ΡŒ; Н — исходная ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°.

Π€ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΎ-химичСскоС состояниС повСрхностного слоя.

ΠžΡΡ‚Π°Ρ‚ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅ напряТСния Π² Ρ‚ΠΎΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΠ½ΠΎΠΉ стСпСни ΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‚ ΠΈ ΡƒΡ€Π°Π²Π½ΠΎΠ²Π΅ΡˆΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ся Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€ΠΈ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° повСрхностного слоя послС прСкращСния дСйствия силовых, Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½Ρ‹Ρ… ΠΈ ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚Π½Ρ‹Ρ… Ρ„Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ² тСхнологичСских ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ².

ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈ возникновСния остаточных напряТСний считаСтся Π½Π΅ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡ€ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ΅ распрСдСлСниС Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΏΠΎ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΌΡƒ Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΠΈ.

Π’ Π½Π°ΡΡ‚оящСС врСмя Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ТизнСспособной ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»Π° сСбя ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π°Ρ классификация тСхнологичСских остаточных напряТСний:

  • β€’ напряТСния I Ρ€ΠΎΠ΄Π° (макронапряТСиия) Ρ€Π°ΡΠΏΡ€ΠΎΡΡ‚Ρ€Π°Π½ΡΡŽΡ‚ΡΡ Π² ΠΌΠ°ΠΊΡ€ΠΎΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΌΠ°Ρ…, соизмСримых с Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈ Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ;
  • β€’ напряТСния II Ρ€ΠΎΠ΄Π° (микронапряТСния) Π½Π°Π±Π»ΡŽΠ΄Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π² ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΌΠ°Ρ… (ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Π·Π΅Ρ€Π½Π°Ρ…, Π±Π»ΠΎΠΊΠ°Ρ… ΠΈ ΠΈΡ… Π³Ρ€ΡƒΠΏΠΏΠ°Ρ…);
  • β€’ напряТСния III Ρ€ΠΎΠ΄Π° Π»ΠΎΠΊΠ°Π»ΠΈΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ Π² Π½Π°Π½ΠΎΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΌΠ°Ρ… Π²ΠΏΠ»ΠΎΡ‚ΡŒ Π΄ΠΎ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ², соизмСримых с ΠΌΠ΅ΠΆΠ°Ρ‚ΠΎΠΌΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ расстояниями.

Для Π·Π°Π΄Π°Ρ‡ ΠΌΠ°ΡˆΠΈΠ½ΠΎΡΡ‚Ρ€ΠΎΠ΅Π½ΠΈΡ практичСскоС использованиС ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΠ»ΠΈ напряТСния I Ρ€ΠΎΠ΄Π°, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ Π² ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ стСпСни ΠΏΡ€ΠΈ ΠΈΡ… ΡΠΊΡΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ косвСнно ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ°ΡŽΡ‚ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎ-, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΈ Π½Π°Π½ΠΎΠ½Π°ΠΏΡ€ΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ.

На Ρ€ΠΈΡ. 5.6 ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½Ρ‹ Ρ‚ΠΈΠΏΠΎΠ²Ρ‹Π΅ ΡΠΏΡŽΡ€Ρ‹ тСхнологичСских остаточных напряТСний I Ρ€ΠΎΠ΄Π°.

ΠŸΠΎΠ΄Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‰Π΅Π΅ Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΠ½ΡΡ‚Π²ΠΎ Ρ„ΠΈΠ½ΠΈΡˆΠ½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ ΡΠΆΠΈΠΌΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ тСхнологичСскиС остаточныС макронапряТСиия нСпосрСдствСнно Ρƒ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΠ±ΡŠΡΡΠ½ΠΈΡ‚ΡŒ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌΠΈ основными ΠΏΡ€ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈ:

β€’ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ фактичСского напряТСния тСкучСсти с Π²ΠΎΠ·Ρ€Π°ΡΡ‚Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ скорости Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ;

Π’ΠΈΠΏΠΎΠ²Ρ‹Π΅ ΡΠΏΡŽΡ€Ρ‹ тСхнологичСских остаточных напряТСний.

Рис. 5.6. Π’ΠΈΠΏΠΎΠ²Ρ‹Π΅ ΡΠΏΡŽΡ€Ρ‹ тСхнологичСских остаточных напряТСний:

Π° — послС ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ с ΠΏΡ€Π΅ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠΌ воздСйствиСм силового Ρ„Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π°; Π± — с ΠΏΡ€Π΅ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠΌ воздСйствиСм Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ„Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π°.

β€’ большСй ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ„Ρ€ΠΎΠ½Ρ‚Π° ΠΏΠΎ ΡΡ€Π°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡŽ с Ρ„Ρ€ΠΎΠ½Ρ‚ΠΎΠΌ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½Ρ‹ΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€Π΅Π΄ΠΏΠΎΠ»Π°Π³Π°Π΅Ρ‚ ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΆΠ°ΡŽΡ‰Π΅Π΅ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ дислокационной ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚ΠΈΠ½Ρ‹ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄ рСлаксационным процСссом.

Π‘Ρ‚Π΅ΠΏΠ΅Π½ΡŒ влияния скорости Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ Π½Π° Π½Π°ΠΏΡ€ΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ тСкучСсти Π² Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΎΡ‚ Π΄Π΅ΠΉΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΉ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΡ†Π΅Π½ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎ Ρ‚Π°Π±Π». 5.2, ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ коэффициСнта i Π² Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒΠ»Π΅.

Π€ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΎ-химичСскоС состояниС повСрхностного слоя.

Π³Π΄Π΅ ctv — фактичСскоС напряТСниС тСкучСсти; с1( — напряТСниС тСкучСсти ΠΏΡ€ΠΈ стандартных испытаниях Π½Π° Ρ€Π°ΡΡ‚яТСниС ΠΈΠ»ΠΈ сТатиС.

Π’Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π° 5.2

Π—Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ коэффициСнта V|/

8/Π΅0

'лсфАпл < 03.

= 0,3−0,4.

= Β°'6-Β°'7

**Ρ„Π›ΠΏΠ» > О-7

1,05−1,1.

1,1−1,15.

1,15−1,3.

1,3−1,5.

1,1−1,22.

1,22−1,32.

1,32—1,7.

1,7−2,25.

1,16−1,34.

1,34−1,52.

1,52−2,2.

2,2−3,4.

Ударная Π½Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠ°.

1,1−1,25.

1,25−1,75.

1,75−2,5.

2,5−3,5.

Π’ Ρ‚Π°Π±Π». 5.2 Ρ‘/Π΅0 — ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ скорости Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ Π΄Π΅ΠΉΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ процСсса ΠΊ ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΠΈ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ стандартных испытаниях, Ρ‘Π”Π˜|, ΠΈ twl соотвСтствСнно Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ Π² ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΠ΅ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° плавлСния ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°.

Как ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»Π° ΠΏΡ€Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠΊΠ° многочислСнных ΡΠΊΡΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… исслСдований Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… Π½Π°ΡƒΡ‡Π½Ρ‹Ρ… школ ΠΏΠΎ Ρ…ΠΎΠ»ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΈ Π³ΠΎΡ€ΡΡ‡Π΅ΠΉ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ΅ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ², Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π°Π΄Π΅ΠΊΠ²Π°Ρ‚Π½ΡƒΡŽ ΠΎΡ†Π΅Π½ΠΊΡƒ Ρ„ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΎ-мСханичСских свойств повСрхностных слоСв Π΄Π΅Π»Π°ΡŽΡ‚ коэффициСнты Π² Π΄Π²ΡƒΡ… послСдних строках Ρ‚Π°Π±Π». 5.2.

Π Π΅Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ значСния Ρ„ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΎ-мСханичСских ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ² повСрхностного слоя зависят ΠΎΡ‚ Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΎΠ³ΠΎ числа Ρ„Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ²: ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ, Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌΠΎΠ², наличия БОВБ, ΠΈΡ… Ρ…имичСского состава, ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±Π°Ρ‚Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΈ ΠΈΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°, Π΅Π³ΠΎ Π³Π΅ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΈΠΈ, ТСсткости тСхнологичСской систСмы, стСпСни проявлСния тСхнологичСской наслСдствСнности, ΠΌΠ°ΡΡˆΡ‚Π°Π±Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ„Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π° ΠΈ Ρ€ΡΠ΄Π° Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… ΠΏΡ€ΠΈΡ‡ΠΈΠ½.

Π‘Ρ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ‚ΡƒΡ€Π°, Ρ„Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹ΠΉ ΠΈ Ρ…имичСский состав, экзоэлСктронная эмиссия относятся ΠΊ Ρ„ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΎ-химичСским ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π°ΠΌ состояния повСрхностного слоя.

Из ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ‚ΡƒΡ€Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ² для практичСских ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅Ρ€Π½Ρ‹Ρ… Π·Π°Π΄Π°Ρ‡ наибольшСС распространСниС ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΠ»ΠΈ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ Π·Π΅Ρ€Π½Π° ΠΏ ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ дислокаций. Π’Π°ΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π°, ΠΊΠ°ΠΊ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ Π·Π΅Ρ€Π½Π° d подтвСрТдаСтся извСстным Π²Ρ‹Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π₯ΠΎΠ»Π»Π° — ΠŸΠ΅Ρ‚Ρ‡Π°:

Π€ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΎ-химичСскоС состояниС повСрхностного слоя.

Π³Π΄Π΅ cts — фактичСскоС напряТСниС тСкучСсти ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°; с — константа для ΠΊΠΎΠ½ΠΊΡ€Π΅Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΌΠ°Ρ€ΠΊΠΈ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°.

ΠŸΡ€ΠΈΠ½ΡΠ² Π² Ρ€Π°ΡΡ‡Π΅Ρ‚ коэффициСнт vp ΠΈΠ· Ρ‚Π°Π±Π». 5.2, ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΠΌ.

Π€ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΎ-химичСскоС состояниС повСрхностного слоя.

Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ, фактичСскоС Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ напряТСния тСкучСсти Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΎ с ΡƒΡ‡Π΅Ρ‚ΠΎΠΌ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π° Π·Π΅Ρ€Π½Π°, Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ ΠΈ ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΠΈ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ Π² ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΠ΅ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ тСхнологичСской повСрхности.

Π§Ρ‚ΠΎ касаСтся плотности дислокаций, Ρ‚ΠΎ ΡΡ‚ΠΎΡ‚ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ особСнно Π²Π°ΠΆΠ΅Π½ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ³Π½ΠΎΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ долговСчности повСрхностСй, Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π² ΡƒΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ… усталостного износа ΠΈ Ρ†ΠΈΠΊΠ»ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΡ… Π½Π°Π³Ρ€ΡƒΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ Π² ΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΎΠ΄ эксплуатации. Π­Ρ‚ΠΎ связано с Ρ‚Π΅ΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π² ΡΡ‚ΠΈΡ… условиях ΠΏΠΎΠ΄ дСйствиСм Π½Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΎΠΊ ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΏΠΎΠ»Π΅ΠΉ происходит постоянноС ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ плотности дислокаций Π² Π·Π΅Ρ€Π½Π°Ρ… повСрхностного слоя ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ°Π΅Ρ‚ся Π²Π΅Ρ€ΠΎΡΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ возникновСния усталостных Ρ‚Ρ€Π΅Ρ‰ΠΈΠ½.

Π’ ΡΠ²ΠΎΡŽ ΠΎΡ‡Π΅Ρ€Π΅Π΄ΡŒ, Π²Π΅Ρ€ΠΎΡΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ зароТдСния усталостных Ρ‚Ρ€Π΅Ρ‰ΠΈΠ½ связана с ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½Ρ‹Ρ… дислокаций, Π΄ΠΎΡΡ‚ΠΈΠ³Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… ΠΊΠ°ΠΊΠΎΠ³ΠΎ-Π»ΠΈΠ±ΠΎ Π±Π°Ρ€ΡŒΠ΅Ρ€Π° (Ρ‡Π°Ρ‰Π΅ — Π³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ†Ρ‹ Π·Π΅Ρ€Π½Π°). ΠšΠΎΠ»ΠΈΡ‡Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½Ρ‹Ρ… дислокаций Ρ€' связано с ΠΎΠ±Ρ‰ΠΈΠΌ числом дислокаций Ρ€ ΠΈ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠΌ Π·Π΅Ρ€Π½Π° d ΡΠΎΠΎΡ‚Π½ΠΎΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ, ΠΏΡ€Π΅Π΄Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½Ρ‹ΠΌ Π’. Π’. Π›Π΅Π²ΠΈΡ‚ΠΈΠ½Ρ‹ΠΌ:

Π€ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΎ-химичСскоС состояниС повСрхностного слоя.

Π­Ρ‚Π° Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ΄Ρ‚Π²Π΅Ρ€ΠΆΠ΄Π°Π΅Ρ‚ Ρ„Π°ΠΊΡ‚ ΠΎΠ±Ρ€Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΠΏΠΎΡ€Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ зависимости плотности дислокаций ΠΎΡ‚ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π° Π·Π΅Ρ€Π½Π° ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π° повСрхностного слоя.

ΠšΡ€ΠΈΡ‚ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ дислокаций Ρ€1Ρ„, ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ Π²Π΅Π΄Π΅Ρ‚ ΠΊ Ρ€Π°Π·Ρ€ΡƒΡˆΠ΅Π½ΠΈΡŽ повСрхности, с Π΄ΠΎΡΡ‚Π°Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ для практичСских Π·Π°Π΄Π°Ρ‡ Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Ρ€Π°ΡΡΡ‡ΠΈΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΠΎ ΡƒΡ€Π°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡŽ.

Π€ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΎ-химичСскоС состояниС повСрхностного слоя.

Π³Π΄Π΅ kp — коэффициСнт, Ρ€Π°Π²Π½Ρ‹ΠΉ 0,5—0,7; Π°Π² — ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π» прочности; G — ΠΌΠΎΠ΄ΡƒΠ»ΡŒ сдвига; b — Π²Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΡ€ Π‘ΡŽΡ€Π³Π΅Ρ€ΡΠ°.

ИзмСнСниС Ρ„Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ состава ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π° повСрхностного слоя происходит ΠΏΠΎΠ΄ дСйствиСм высоких Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€ Π² ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΠ΅ тСхнологичСского воздСйствия.

Π’Π°ΠΊ, ΠΏΠΎ Π΄Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌ А. А. ΠœΠ°Ρ‚Π°Π»ΠΈΠ½Π°, интСнсивный повСрхностный Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π² Π·Π°ΠΊΠ°Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ стали ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ привСсти ΠΊ Ρ€Π°ΡΠΏΠ°Π΄Ρƒ остаточного аустСнита, ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Ρƒ Ρ‚Π΅Ρ‚Ρ€Π°Π³ΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ мартСнсита Π² ΠΌΠ°Ρ€Ρ‚Снсит кубичСский ΠΈΠ»ΠΈ Π΄Π°ΠΆΠ΅ ΠΊ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡŽ Ρ„Π΅Ρ€Ρ€ΠΈΡ‚Π½ΠΎ-ΠΊΠ°Ρ€Π±ΠΈΠ΄Π½ΠΎΠΉ смСси (троостит + сорбит).

ΠšΡ€ΠΎΠΌΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, ΡΠΈΠ»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π² ΠΏΡ€ΠΈ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π²Ρ‹Π·Π²Π°Ρ‚ΡŒ отпуск ΠΈ ΠΌΠ΅ΡΡ‚Π½ΡƒΡŽ Π²Ρ‚ΠΎΡ€ΠΈΡ‡Π½ΡƒΡŽ Π·Π°ΠΊΠ°Π»ΠΊΡƒ ΠΈΠ·-Π·Π° быстрого ΠΎΡ‚Π²ΠΎΠ΄Π° Ρ‚Π΅ΠΏΠ»Π° Π² Π³Π»ΡƒΠ±ΠΈΠ½Ρƒ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄ дСйствиСм БОВБ.

Π Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Π΅ Ρ„Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ прСвращСния ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π° повСрхностного слоя происходят Π² ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… Π³Π»ΡƒΠ±ΠΈΠ½Π°Ρ…, Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… соотвСтствуСт ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌ трансформациям Ρ„Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ состава.

Π’Π°ΠΊ, ΠΏΡ€ΠΈ отпускС Π΄ΠΎ 400—500Β°Π‘ образуСтся структура троостита, ΠΏΡ€ΠΈ отпускС Π΄ΠΎ 500—600Β°Π‘ — структура сорбита, Π° ΠΏΡ€ΠΈ отпускС Π΄ΠΎ 600—700Β°Π‘ — структура ΠΏΠ΅Ρ€Π»ΠΈΡ‚Π°. Π€Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ прСвращСния Π½Π΅ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ½ΠΎ приводят ΠΊ ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ‚ΡƒΡ€Π½Ρ‹ΠΌ измСнСниям, Ρ‡Ρ‚ΠΎ часто ΠΎΠΏΡ€Π°Π²Π΄Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚ объСдинСниС этих Ρ„Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ² ΠΏΠΎΠ΄ Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠΈΠ½ΠΎΠΌ «ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ‚ΡƒΡ€Π½ΠΎ-Ρ„Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ прСвращСния».

ПослС Π»Π΅Π·Π²ΠΈΠΉΠ½ΠΎΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ Π°Π±Ρ€Π°Π·ΠΈΠ²Π½ΠΎΠΉ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ повСрхностный слой Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΠΈΡ‚ΡŒ свой химичСский состав.

НСкоторыми Π°Π²Ρ‚ΠΎΡ€Π°ΠΌΠΈ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½Ρ‹Π΅ измСнСния Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ массопСрСносом. ИсслСдования А. М. Π‘ΡƒΠ»ΠΈΠΌΡ‹ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»ΠΈ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈ этого явлСния ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅: адсорбция элСмСнтов Ρ€Π΅ΠΆΡƒΡ‰Π΅Π³ΠΎ инструмСнта Π² ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π² ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΠ΅ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ; высокиС Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½Ρ‹Π΅ Π³Ρ€Π°Π΄ΠΈΠ΅Π½Ρ‚Ρ‹ Π² Π·ΠΎΠ½Π΅ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ; Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ Π² ΠΊΠΎΡΡ„Ρ„ΠΈΡ†ΠΈΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ… Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ·ΠΈΠΈ элСмСнтов конструкционных ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ²; адгСзия микрочастиц ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° Π½Π° Ρ€Π΅ΠΆΡƒΡ‰ΠΈΠΉ инструмСнт ΠΈ «Ρ€Π°Π·ΠΌΠ°Π·Ρ‹Π²Π°Π½ΠΈΠ΅» Π΅Π³ΠΎ ΠΏΠΎ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±Π°Ρ‚Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΠΎΠΉ повСрхности; «ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚аллургичСскиС» эффСкты, ΠΏΡ€ΠΎΡ‚Π΅ΠΊΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ Π² ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΠ΅ массопСрСноса; адсорбция элСмСнтов, входящих Π² ΡΠΎΡΡ‚Π°Π² БОВБ.

Из Π²ΡΠ΅Ρ… пСрСчислСнных ΠΏΡ€ΠΈΡ‡ΠΈΠ½ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ сущСствСнноС влияниС Π½Π° ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ химичСского состава повСрхностных слоСв ΠΎΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Π΅ процСссы.

Π’ Π½Π°ΡΡ‚оящСС врСмя ΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‚ Π² ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΌ Π΄Π²Π΅ физичСскиС ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈ Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ·ΠΈΠΈ Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄Ρ‹Ρ… Ρ‚Π΅Π»: гСтСродиффузия ΠΈ Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ‚ивная диффузия. ΠŸΠ΅Ρ€Π²Ρ‹ΠΉ Π²ΠΈΠ΄ характСризуСтся ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΎΠ³ΠΎ раствора с Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Ρ‚ΠΊΠΎΠΉ растворитСля. Максимальная концСнтрация Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ½Π΄ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ вСщСства Π² ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π΅, ΠΈΠ³Ρ€Π°ΡŽΡ‰Π΅ΠΌ Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ растворитСля, Π½Π΅ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ‹ΡˆΠ°Ρ‚ΡŒ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Ρ†ΠΈΡŽ согласно Π΄ΠΈΠ°Π³Ρ€Π°ΠΌΠΌΠ΅ состояния. По Π²Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈ химичСская рСакция ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·ΠΎΠΉΡ‚ΠΈ с ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ интСрмСталличСского соСдинСния Π½Π° Π³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ†Π΅ Ρ€Π°Π·Π΄Π΅Π»Π° ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… Ρ‚Π΅Π». Π˜Π·Π²Π΅ΡΡ‚Π½ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ диффузия ΠΌΠΎΠ»Π΅ΠΊΡƒΠ»Ρ‹ химичСского соСдинСния Π² Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Ρ‚ΠΊΡƒ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π° Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½Π°. Π’ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π΅ Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ½Π΄ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ Π°Ρ‚ΠΎΠΌΡ‹, ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΠ²ΡˆΠΈΠ΅ΡΡ Π² Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ диссоциации этих соСдинСний. ΠŸΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌΡƒ ΠΏΡ€ΠΈ Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΌ растворСнии ΠΈΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° Π² ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±Π°Ρ‚Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΠΎΠΌ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Ρ€Π°ΡΡΠΌΠ°Ρ‚Ρ€ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ·ΠΈΡŽ входящих Π² ΡΠΏΠ»Π°Π² химичСских элСмСнтов.

Π€ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΎ-химичСскоС состояниС повСрхностного слоя.

ΠšΠΎΠ»ΠΈΡ‡Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎ вСщСства dM ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚Π° Π’, Π²Ρ‹Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΠ΅ Π² ΠΌΠΎΠ»ΡΡ… массы вСщСства, ΠΏΡ€ΠΎΠ½ΠΈΠΊΡˆΠ΅Π΅ Π² ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ Π›, опрСдСляСтся ΡƒΡ€Π°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ:

Π³Π΄Π΅ D — коэффициСнт Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ·ΠΈΠΈ; dc/dx — Π³Ρ€Π°Π΄ΠΈΠ΅Π½Ρ‚ ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ Π² ΠΊΠ°ΠΊΠΎΠΉ-Π»ΠΈΠ±ΠΎ Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠ΅; dS — элСмСнтарная ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΡŒ, Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΡƒΡŽ происходит диффузия; dt — врСмя Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ·ΠΈΠΈ.

Π’Π°ΠΆΠ½Π΅ΠΉΡˆΠΈΠΌ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠΌ, Ρ…Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ·ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌ Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ·ΠΈΡŽ, являСтся коэффициСнт Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ·ΠΈΠΈ Π” ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ опрСдСляСтся ΠΈΠ· ΡΠΎΠΎΡ‚Π½ΠΎΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ:

Π€ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΎ-химичСскоС состояниС повСрхностного слоя.

Π³Π΄Π΅ А) ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡΠΊΡΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΌΠ½ΠΎΠΆΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ соотвСтствуСт коэффициСнту Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ·ΠΈΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅, Ρ€Π°Π²Π½ΠΎΠΉ бСсконСчности; Q — энСргия Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π°Ρ†ΠΈΠΈ, отнСсСнная ΠΊ ΠΌΠΎΠ»ΡŽ Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΎΠ³ΠΎ раствора; R — газовая постоянная, равная 8,314 Π”ΠΆΠ”ΠΌΠΎΠ»ΡŒ — К); 0 — Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ·ΠΈΠΈ, К.

Из Ρ‚Π΅ΠΎΡ€ΠΈΠΈ Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ·ΠΈΠΈ извСстно, Ρ‡Ρ‚ΠΎ энСргия Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ°Π΅Ρ‚ΡΡ с ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ разности порядковых Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ½Π΄ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ вСщСства ΠΈ Ρ€Π°ΡΡ‚воритСля Π² ΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΎΠ΄ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠΉ систСмС элСмСнтов. Π­Ρ‚ΠΎ ΠΎΠ±ΡŠΡΡΠ½ΡΠ΅Ρ‚ΡΡ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ интСнсивным искаТСниСм силовых ΠΏΠΎΠ»Π΅ΠΉ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ€Π΅Π·ΠΊΠΎΠΌ ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ΄Ρ‹ растворСнного элСмСнта ΠΎΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ΄Ρ‹ растворитСля, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΈ ΠΎΠ±Π»Π΅Π³Ρ‡Π°Π΅Ρ‚ процСсс Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ·ΠΈΠΈ.

Π’Ρ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΌ Ρ„Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ, ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡΡŽΡ‰ΠΈΠΌ коэффициСнт Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ·ΠΈΠΈ, являСтся Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°, которая ΠΏΡ€ΠΈ Π·Π°Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… конструкционных ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°Ρ… Ρ†Π΅Π»ΠΈΠΊΠΎΠΌ опрСдСляСтся условиями тСхнологичСского воздСйствия Π½Π° ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±Π°Ρ‚Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΡƒΡŽ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ. Как Π²ΠΈΠ΄Π½ΠΎ ΠΈΠ· Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒΠ»Ρ‹, с ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ коэффициСнт Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ·ΠΈΠΈ увСличиваСтся ΠΏΠΎ ΡΠΊΡΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ зависимости.

Π§Ρ‚ΠΎ касаСтся количСствСнной ΠΎΡ†Π΅Π½ΠΊΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠΌΠ΅ΠΆΡƒΡ‚ΠΊΠΎΠ² Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ ?Π΄, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡ‹Ρ… для Ρ€Π΅Π°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠ΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ… процСссов, Ρ‚ΠΎ Π΄Π»Ρ ΠΏΡ€ΠΈΠΊΠ»Π°Π΄Π½Ρ‹Ρ… расчСтов Н. М. Π›ΡŽΠ±Π°Ρ€ΡΠΊΠΈΠΌ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π° ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π°Ρ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ:

Π€ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΎ-химичСскоС состояниС повСрхностного слоя.

Π³Π΄Π΅ Π¬Π» — ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΡΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΡƒΡ‚ΠΈ Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ·ΠΈΠΈ.

Анализ этого ΡΠΎΠΎΡ‚Π½ΠΎΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ позволяСт ΡƒΠ±Π΅Π΄ΠΈΡ‚ΡŒΡΡ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ для диффундирования вСщСства Π½Π° Π³Π»ΡƒΠ±ΠΈΠ½Ρƒ ΠΎΡ‚ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΈΡ… сотСн Π΄ΠΎ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΈΡ… тысяч ангстрСм Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ вСсьма ΠΌΠ°Π»Ρ‹Π΅ Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΠΌΠ΅ΠΆΡƒΡ‚ΠΊΠΈ — ΠΎΡ‚ 10 4 с ΠΈ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅. Π­Ρ‚ΠΎ ΡΠ²ΠΈΠ΄Π΅Ρ‚Π΅Π»ΡŒΡΡ‚Π²ΡƒΠ΅Ρ‚ ΠΎ Ρ‚ΠΎΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π΄Π°ΠΆΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈ высокоскоростных тСхнологичСских процСссах врСмя Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ·ΠΈΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ соизмСримо со Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π΅ΠΌ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π° инструмСнта с ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ€Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΎΠΉ повСрхности Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ.

ΠŸΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ физичСскиС аспСкты ΡƒΠ±Π΅Π΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π΄ΠΎΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ Π½Π΅ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ измСнСния химичСского состава повСрхностного слоя Π² Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ тСхнологичСского воздСйствия.

Π’ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄Π½Π΅ΠΉ Ρ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΠΈ XX Π². рядом исслСдоватСлСй для комплСксной ΠΎΡ†Π΅Π½ΠΊΠΈ Ρ„ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΎ-химичСского состояния повСрхностного слоя ΡƒΡΠΏΠ΅ΡˆΠ½ΠΎ примСнялся ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ экзоэлСктронной эмиссии.

Π’Π΅Ρ€ΠΌΠΈΠ½ΠΎΠΌ «ΡΠΊΠ·ΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚ронная эмиссия» (Π­Π­Π­) ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡΡŽΡ‚ явлСниС нСстационарной элСктронной эмиссии с ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΎΠ³ΠΎ Ρ‚Π΅Π»Π°, находящСйся Π² Π²ΠΎΠ·Π±ΡƒΠΆΠ΄Π΅Π½Π½ΠΎΠΌ состоянии, ΠΏΡ€ΠΈ внСшнСм Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ свСтовом ΡΡ‚ΠΈΠΌΡƒΠ»ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΌ воздСйствии с ΡΠ½Π΅Ρ€Π³ΠΈΠ΅ΠΉ Π½ΠΈΠΆΠ΅ ΠΏΠΎΡ€ΠΎΠ³Π° возникновСния стационарных эмиссионных эффСктов. К Π½Π°ΡΡ‚ΠΎΡΡ‰Π΅ΠΌΡƒ Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ считаСтся Π΄ΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌ Ρ„Π°ΠΊΡ‚ взаимосвязи эмиссионных ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ² с Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ². ВСхнологичСскиС ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ воздСйствия Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ, ΡΠΎΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠΆΠ΄Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ΡΡ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌΠΈ явлСниями, Π²Ρ‹Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ слоТныС Ρ„ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΎ-химичСскиС процСссы, приводящиС ΠΊ Π½Π°Ρ€ΡƒΡˆΠ΅Π½ΠΈΡŽ равновСсия Π² ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ систСмС ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ². НСсмотря Π½Π° Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ физичСской ΠΏΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ΄Ρ‹ трансформаций, происходящих Π² ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ностном слоС Π² Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ Π²Π½Π΅ΡˆΠ½ΠΈΡ… воздСйствий, эмиссионная рСакция сводится ΠΊ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡŽ энСргСтичСского ΠΏΠΎΡ€ΠΎΠ³Π°. УстановлСно Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ Π­Π­Π­ малочувствитСлСн ΠΊ Ρ‚ΠΈΠΏΡƒ повСрхностного Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π°, Π° ΡΠ»ΡƒΠΆΠΈΡ‚ лишь Π΅Π³ΠΎ ΠΈΠ½Π΄ΠΈΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ. ΠŸΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌΡƒ использованиС Π΅Π³ΠΎ для контроля состояния повСрхностного слоя Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½ΠΎ ΡΠΎΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠΆΠ΄Π°Ρ‚ΡŒΡΡ исслСдованиями взаимосвязи ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ² Π­Π­Π­ с Π·Π°ΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎΡΡ‚ями процСсса дСфСктообразования Π² ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ностном слоС. Π¨ΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎΠ΅ практичСскоС использованиС ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°, ΠΏΠΎ ΠΌΠ½Π΅Π½ΠΈΡŽ Π’. Π‘. ΠšΠΎΡ€Ρ‚ΠΎΠ²Π°, обусловливаСтся рядом особСнностСй:

  • β€’ отсутствиСм ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠΉ, связанных с ΠΏΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ΄ΠΎΠΉ, структурой ΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡ‚Π²Π°ΠΌΠΈ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ²;
  • β€’ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ получСния ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΊΠ°ΠΊ Π² ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ΅ со Π²ΡΠ΅ΠΉ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠΉ повСрхности, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΈ Π»ΠΎΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎ, с ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Π΅Π΅ ΡƒΡ‡Π°ΡΡ‚ΠΊΠΎΠ²;
  • β€’ высокой Ρ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΊ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ностным Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π°ΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ позволяСт Π΅Π³ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π² ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΠ΅ динамичСских испытаний;
  • β€’ измСрСния ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒΡΡ Π² Ρ€Π°Π·Π½ΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π½ΠΎΠΉ атмосфСрС, ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎΠΌ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½ΠΎΠΌ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Ρ€Π²Π°Π»Π΅, послС Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… Π²Π½Π΅ΡˆΠ½ΠΈΡ… энСргСтичСских воздСйствий Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ.

Как извСстно, Ρ€Π΅Π°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΎΠ³ΠΎ Ρ‚Π΅Π»Π° всСгда ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚Π° слоями адсорбатов, ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΎΠΉ оксида, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ Π²ΠΈΠ΄ΠΎΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡŽ энСргСтичСского спСктра ΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… элСктронных состояний. ВслСдствиС нСоднородности структуры ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ являСтся источником гСнСрирования дислокаций, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π½Π΅ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ½ΠΎ сказываСтся Π½Π° Π΅Π΅ ΠΌΠ΅Ρ…аничСских свойствах. МногиС исслСдоватСли ΡΠ²ΡΠ·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ это явлСниС с Π½Π°Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ΠΌ Π³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ† Π·Π΅Ρ€Π΅Π½ ΠΈ Π΄Π²ΠΎΠΉΠ½ΠΈΠΊΠΎΠ², оксидных ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ, Ρ‚Ρ€Π΅Ρ‰ΠΈΠ½ ΠΈ Ρ‚. Π΄.

Π’ ΠΏΡ€ΠΈΠΊΠ»Π°Π΄Π½Ρ‹Ρ… тСхничСских Π·Π°Π΄Π°Ρ‡Π°Ρ… Π² ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΌ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π°ΡŽΡ‚ Π΄Π²Π° Π²ΠΈΠ΄Π° Π­Π­Π­:

  • 1) фотостимулированная элСктронная эмиссия (Π€Π‘Π­Π­) — эмиссия, рСгистрируСмая Π² ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΠ΅ освСщСния ΠΏΡ€ΠΈ постоянной Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅;
  • 2) тСрмостимулированная элСктронная эмиссия (Π’Π‘Π­Π­) — эмиссия, рСгистрируСмая ΠΏΡ€ΠΈ Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚Π°.

Для ΠΈΡΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΡ высокоэнСргСтичСского воздСйствия Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π² ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΠ΅ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠΉ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΎΠ»Π΅Ρ‚ΠΎΠ²Ρ‹ΠΉ Π·ΠΎΠ½Π΄ Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠ³ΠΎ излучСния. Ѐотостимуляция ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ Π΄Π΅Π»ΠΎΠΊΠ°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ элСктронов с Π»ΠΎΠ²ΡƒΡˆΠ΅ΠΊ, созданных Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π°ΠΌΠΈ повСрхностного слоя ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°. Π‘Π²Π΅Ρ‚ с ΡΠ½Π΅Ρ€Π³ΠΈΠ΅ΠΉ ΠΊΠ²Π°Π½Ρ‚Π° hv > 2Π“0ПВ, Π³Π΄Π΅ Π•ΠΎΡ‚ — энСргия оптичСской ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π° Π·Π°Ρ…Π²Π°Ρ‚Π°, Π²Ρ‹Π·Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚ Π»ΠΈΠ±ΠΎ ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΡŽ Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π° с ΠΎΠΏΡƒΡΡ‚ΠΎΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π»ΠΎΠ²ΡƒΡˆΠΊΠΈ, Π»ΠΈΠ±ΠΎ Π²ΠΎΠ·Π±ΡƒΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ элСктрона. НСсмотря Π½Π° Ρ‚ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π² ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π°Ρ… имССтся достаточноС количСство свободных элСктронов, для возникновСния Π­Π­Π­ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡ‹ возбуТдСния ΠΈ ΡΡ‚имуляция. Для Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΠ½ΡΡ‚Π²Π° ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠ² ΠΈ ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠ² Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π° Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄Π° элСктрона составляСт 4—5 Π­Π’, вслСдствиС Ρ‡Π΅Π³ΠΎ Π­Π­Π­ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠ² Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°Ρ‚ΡŒ Π² ΡΠ»ΡƒΡ‡Π°Π΅, Ссли Π²ΠΎΠ·Π±ΡƒΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ ΡΡ‚имуляция ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°ΡŽΡ‚ повСрхностный ΠΏΠΎΡ‚Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ Π±Π°Ρ€ΡŒΠ΅Ρ€. Π’ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… оксидных слоях Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠ² ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ΡΡ структурныС Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Ρ‹, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΠΎ, ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°ΠΌΠΈ Π»ΠΎΠΊΠ°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ элСктронов. Π­Ρ‚ΠΈ Π»ΠΎΠ²ΡƒΡˆΠΊΠΈ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π·Π°Ρ…Π²Π°Ρ‚ΠΈΡ‚ΡŒ элСктроны, попавшиС ΠΈΠ· ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ Π² Π·ΠΎΠ½Ρƒ проводимости оксида. Однако Π² ΡƒΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ… фотостимуляции ΠΎΠ½ΠΈ сразу ΠΆΠ΅ ΠΎΠΏΡƒΡΡ‚ΠΎΡˆΠ°ΡŽΡ‚ΡΡ Π² ΡΠΎΠΎΡ‚вСтствии с ΠΌΠ΅Ρ…Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΠΎΠΌ Π€Π‘Π­Π­.

ΠŸΠΎΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒ вСсь тСкст
Π—Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ Ρ‚Π΅ΠΊΡƒΡ‰Π΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΎΠΉ