Разработка методов улучшения параметров монокристаллических элементов акустоэлектроники на основе исследования анизотропии кристаллов
Диссертация
К основным задачам микроэлектроники и, в том числе, акусто-электроники, можно отнести повышение качества устройств, их надежности и функциональных возможностей, снижение их стоимости. Предельные значения параметров устройства определяются, прежде всего, свойствами звукопровода — основного элемента акустоэлек-тронных устройств, а среди свойств звукопровода важнейшая роль принадлежит акустической… Читать ещё >
Содержание
- ШВА I. АКУСТИЧЕСКАЯ АНИЗОТРОПИЯ КРИСТАЛЛОВ
- 1. 1. Особенности распространения акустических волн в бесконечной пьезоэлектрической среде
- 1. 2. Распространение акустических волн в пьезоэлектрическом полупространстве
- 1. 3. Методы исследования акустической анизотропии
- 1. 4. Акустические оси как особые направления в кристаллах
- 1. 5. Особенности акустической анизотропии исследуемых кристаллов
- выводы
- ГЛАВА 2. РАСПРОСТРАНЕНИЕ АКУСТИЧЕСКИХ ПУЧКОВ В АНИЗОТРОПНЫХ СРЕДАХ
- 2. 1. Методы расчета дифракционных полей
- 2. 2. Параболическое приближение для дифракции ОАВ
- 2. 3. Квадратичные коэффициенты анизотропии как основные характеристики дифракции пучка ОАВ
- 2. 4. Исследование анизотропии дифракционной расходимости пучков в кристаллах кварца, ниобата лития и парателлурита
- 2. 5. Особенности распространения акустических пучков вдоль направлений, близких к акустическим осям
- 2. 6. Особенности дифракции ПАВ
- Выводы
- ГЛАВА 3. ИССЛЕДОВАНИЕ ПРИПОВЕРХНОСТНЫХ ВОЛН
- 3. 1. Анализ приповерхностных волн на основе расчета эффективной диэлектрической проницаемости поверхности
- 3. 2. Влияние граничных условий на распространение приповерхностных волн. Особые волны
- 3. 3. Особые волны в кристаллах $ 102, Ц Та
- Ос1г (МоО^ Те
- 3. 4. Исследование линий особых волн вблизи акустических осей касательного типа
- 3. 5. Эффективность пьезоэлектрического возбуждения приповерхностных ОАВ встречно-штыревым преобразователем
- Выводы
- ШВА 4. ПРОЕКТИРОВАНИЕ ФУНКЦИОНАЛЬНЫХ УСТРОЙСТВ НА ПАВ С УЧЕТОМ АКУСТИЧЕСКОЙ АНИЗОТРОПИИ МАТЕРИАЛА ЗВУК0-ПРОВОДА
- 4. 1. Анализ влияния акустической анизотропии материала звукопровода на выходные параметры устройств на ПАВ
- 4. 2. Методика выбора монокристаллов и поиска срезов с оптимальными характеристиками
- 4. 3. Методика компенсации дифракционных искажений в устройствах на ПАВ
- 4. 4. Методы уменьшения ложных сигналов приповерхностных ОАВ
- Выводы
Список литературы
- Ляв А. Математическая теория упругости.-М.-Л. :0НТИ, 1935, 674с.
- Ландау Л.Д., Лившиц Е. М. Теория упругости.-М.:Наука, 1965, 202с.
- Musgrave M. J, P. On the propagation of elastic waves in aeolo-tropic media.1.General principles.-Proc.Roy.Soc,(London), 1954, V.226A, No 11, p.339−355.
- Musgrave M.J.P. On the propagation of elastic waves in aeolo-tropic media, 2. Media of hexagonal symmetry.-Proc.Roy.Soc. (London)J1954, V.226A, No 11, p, 356−366.
- Miller G.P.Musgrave M.J.P. On the propagation of elastic waves in aeolotropic media.3-Media of cubic symmetry.-Proc. Roy.Soc.(London), 1956, V.236A, No 8, p.352−383.
- Федоров Ф.И. Теория упругих волн в кристаллах.-М. :Наука, 1965, 386с.
- Александров К.С. Акустическая кристаллография.-В сб.: Проблемы современной кристаллографии.-М.: Наука, 1975, с.327−345.
- Федоров Ф.И. Оптика анизотропных сред.- Шнек: Изд. АН БССР, 1958, 380с.
- Александров К.С. Распространение упругих волн по особенным напр авлениям в кристаллах. Кристаллография, 1956, t. I, J@6,c. 718−728.
- Александров К. С. «Рыжова Т.В. Упругие свойства крист аилов.-Кристаллография, 1961, т.6, № 2, с.289−314.
- Хаткевич А.Г. Акустические оси в кристаллах.-Кристаллография, 1962, т.7, № 5, с.742−747.
- Хаткевич А.Г. К явлению внутренней конической рефракции упругих волн.- Кристаллография, 1962, т.7, № 6, с.916−921.
- Хаткевич А.Г. Об особых направлениях для упругих волн в кристаллах.- Кристаллография, 1964, т.9, JS5, с.690−694.
- Сотская Х.Н. Особые направления и волновые поверхности упругих волн в кристаллах.-Дис.на соиск.уч.ст.к.ф.-м.н.-Минск, 1976, 196 с. (Минский радиотехнический институт).
- Любимов Б.Н. Учет пьезоэффекта в теории упругих волн для кристаллов различной симметрии.-Докл. АН СССР, 1969, т.186,с.1055−1058.
- Лгобимэв B.II. Упругие волны в кристаллах при наличии пьезоэффекта.- ФГТ, 1970, т.12, Ш, с.947−949.
- Куаше J.J. Wave propagation in piezoelectric crystals.-J. Acoust.Soc.Am., 1949, v.21, Wo 1, p.159−164.
- Александров К. С. 0 поверхностях упругих, волн в кристаллах.-Кристаллография, 1958, т. З, $ 5, с.620−623.
- Murphy J., Gad M.M. A versatile program for computing and displaying the bulk acoustic wave properties of anisotropic crystals.-In Proc. Ultrasonics Symposium.-Cherry Hill, 1978, p.172−181.
- Клименко Б.И., Переломова H.B., Блистало в A. A, Бондаренко В, С. Анизотропия распространения упругих волн в ниобате лития. Фазовые скоро сти. -Кристаллография, 1978, т. 23, № 1, с. 210−216.
- Клименко Б. И. «Переломова Н.В., Бондаре нко B.C. Объемные акустические волны и коэффициенты электромеханической связи кристаллов берлинита.-Кристаллография, 1983, т.28, № 2,с.392−393.
- Клименко Б. И. Исследование анизотропии акустических свойств пьезоэлектрических кристаллов,. Дис. на соиск.уч.ст.к.ф.-м.н,-Москва, 1980, 393с.(Московский институт стали и сплавов).
- Barnett D.M., Lothe J. Consideration of the existence of /surface wave (Rayleigh wave) solutions in anisotropic melastic crystals.-J.Phys., 1974, v.14, No p.671−686.
- Lothe J. Barnett D.M.Integral formalism for surface waves in piezoelectric crystals Existence considerations.-J.Appl. Phys., 1976, v.47 Ыо5. p.1799−1807.
- Алыииц В.И., Лоте Е. О критерии существования квазиобъемных поверхностных волн.-Кристаллография, 1977, т.22, № 5, с.906−916.
- Любимов В.Н."Санников Д.Г. О существовании поверхностных упругих волн для выделенных поверхностей и направлений в кристаллах.-Кристаллография, 1979, т.24, № 6, c. II3I-II34.
- Любимов В.Н., Алыииц В. И., Лоте Е. Об объемных и поверхностных квазиобъемных волнах в полубесконечной пьезоэлектрической среде.-Кристаллография, 1980, т.25, Щ, с.33−42.
- Брагинский Л. С., Гили некий И. А. Обобщенные поверхностные сдвиговые волны в кристаллах.-®СТ, 1979, т.21,№ 12, с.3524−3528.
- Гилинский И.А. «Щеглов II.М. Обобщенные рэлеевские уцругие волны в кристаллах.-Кристаллография, 1981, т.26, № 2, с.255−262.
- Фарнелл Дж. Свойства уцрутих поверхностных волн.- В кн.: Физическая акустика /Под ред. Мэзона У. и Терстона Р.-М.: Мир, т.6, с.139−202.
- Microwave Acoustic Handbook/ Ed. Slobodnik A. J., Conway E.D.-N.Y.: Office of Aerospace Research United States Air Force, 1970, v.1.
- Балакирев M. К., Гили некий И. А. Волны в пьезо электриках. -Новосибирск: Наука, 1982, 239с.
- Alshits V.I., Lothe J. Comments on the relation between surface wave theory and the theory of reflection.-Wave Motion, 1981, v.3, p.297−310.
- Алыпиц В. И. Доте Е. Упругие волны в триклинных кристаллах. III. Проблема существования и некоторые общие свойства особых поверхностных волн.-Кристаллография, 1979, т.24,)Ю, с.1122−1130.
- Browning Т.L., Lewis M.F.Milsom R.F. Surface acoustic waves on rotated Y-cut LiTaO^.-In: Proc. Ultrasonics Simposium,-Cherry Hill, 1978, p.586−589.
- Nakamura K., Kazumi W.^Shimizu H. SH-type and. rayleigh-type surface waves on rotated Y-cut LiTaO^.- In: Proc. Ultrasonics Symposium.-Phoenix, 1977, p.819−822.
- Wilcox J.Z., Yen K.-H. Shear horisontal surface waves on rotated Y-cut Quartz.-IEEE Trans, Sonics and Ultrason., 1981, v. SU-28, No 6» p.449−454.
- Harmon D.L., Josse F., Vetelino J. F- Surface skimming waves in Y-rotated quartz experimental characterization and filter device implementation.-In: Proc. Ultrasonics Symposium.-New Orlean, 1979, p.791−796.
- Jhunjhunwala A., Vetelino J.F., Harmon D. sSoluch W. Theoretical examination of surface skimming bulk waves.-In: Proc. Ultrasonics Symposium.-Cherry Hill, 1978, p.670−674
- Кондратьев C.H.Приповерхностно-объемные акустические волныи их использование в аку сто электронике. -Зарубежная радиоэлектроника, 1981, № 12, с.53−67.
- Ballato A., Lukaszek T.L. Shallow bulk acoustic wave progress and prospects.-IEEE Trans. Microwave Theory and Techn., 1979, v. MTT-27, No 12, p.1004−1012.
- Yen K.H., Lau K.F. .Iiagiwada R.S. Shallow bulk acoustic wave filters.-In :Proc-Ultrasonics Symposium,-Cherry Hill, 1978, p, 680−700.
- Browning T"L, Gunton D.J."Lewis M.P., Newton C. O, Bandpass filters imploying surface skimming bulk waves.-In: Proc. Ultrasonics Symposium.-Phoenix, 1977, p.753−756.
- Yen K.H., Lau К, F., Eagiwada R. S, Recent advances in shallow bulk acoustic wave devices,-In: Proc. Ultrasonics Symposium.-New Orlean, 1979, p.776−785.
- Lim T.C., Parnell G.W.Character of pseudo surface waves on anisotropic crystals.-J.Acoust.Soc.Am., 1969, v.45, No 4, p.845−851.
- Takayanagi A., Yamanouchi K., Shibayama K. Piezoelectric leaky surface waves in LiNbO^.-Appl.Phys.Lett1970, v.17, No 5, p.225−227.
- Engan H, Ingebrigtsen K.A., Tonning A. Elastic surface waves in oL -quartz: obzervation of leaky surface waves.-Appl.Phys. Lett., 1967, v.10, No 11, p.311−313.
- Алыпиц В.И., Любишв B.H. Оттекающие упругие волны в гексагональных кристаллах.-Кристаллография, 1983, т.28, № 2, с.224−233.
- Берлинкур Д., Керран Д., Жаффе Г. Пьезоэлектрические и пьезо-магнитные материалы и их применение в преобразователях.
- В кн.: Физическая акустика /Под ред. Мэзона У. М.: Мир, 1966, т.1,ч.А, с.204−326.
- Дутабаев Ш. М., Сиротин Ю. И. Анизотропия физических свойств кристаллов, изображаемых поверхностями вращения.-Кристаллография, 1972, т.17, J&, c. II8I-II86.
- Е>утабаев Ш. М., Сиротин Ю. И. Стереографические проекции указательных поверхностей физических свойств кристаллов.-Кристаллография, 1973, т.18, И, с.195−197.
- Бутабаев Ш. М., Переломова Н.В."Смыслов И. И. Поперечные компоненты тензора упругой податливости сапсгира.-Кристаллография, 1972, т.17, Ш, с.678−679.
- Сиротин Ю.И., Шаскольская М. П. Основы кристаллофизики.-М.:Наука, 1975, 680с.
- Най Дж. Физические свойства кристаллов и их описание при помощи тензоров и матриц.-М.: Мир, 1967, 385с.
- Алыпиц В.И., Лоте Е. Упругие волны в трикжниых кристаллах.
- Общая теория и проблема вырождения.-Кристаллография, 1979, т.24, 14, с.672−682.
- Алыпиц В.И., Лоте Е. Уцрутие волны в триклинных кристаллах.1. Топология поляризационных полей и некоторые общие теоремы. -Кристаллография, 1979, т.24, М, с.683−693.
- Александров К.С., Рыжова Т. Е. Внутренняя коническая рефракция упругих волн в дигидрофосфате аммония.-Кристаллография, 1964, т.9, № 3, с.373−376.
- Анисимкин В.И., Морозов А. И. Ультразвуковая внутренняя коническая рефракция в германии.-Ш, 1975, т. 17, МО, с.3006−3009.
- Лямов В.Е. Поляризационные эффекты и анизотропия взаимодей -ствия акустических волн в кристаллах. -М.: Из д. Московского университета, 1983, 223с.
- Киреев П.С. Введение в теорию групп и ее применение в физике твердого тела.-М.: Высшая школа, 1979, 207с.
- Алыпиц В.И., Шувалов А. Л. О сингулярных свойствах распределения поляризаций упругих волн вблизи акустических осей.-Кристаллография, 1984, т.29, М, с. б29−637.
- Акустические кристаллы.Справочник. /Под ред. Шаскольской М.П.-М.: Наука, 1982, 632с.
- Белый В.Н., Севрук Б. Б. Особенности наведенной электрическим полем акустической анизотропии в центросимметричных кристаллах с большой диэлектрической проницаемостью.-Кристаллография, 1983, т.28, IS, с.925−931.
- Материалы акустоэлектронных и акустооптических устройств. В кн.: Радиоэлектроника в 1979 году /Обзор по материалам иностранной техники/.М.:НИИЭИР, 1980, с.12−22.
- Ohmachi J,, Uchida N. .Niizeki N. Acoustic wave propagation in TeOg.-J.Acoust.Soc.Am., 1972, v.51, No 1, p.164−168.
- Ohmachi J,.Uchida N. Temperature dependence of elastic, dielectric and piezoelectric constants in TeO^ single crystals.-J.Appl.Phys., 1970, v.41, No 6, p.2307−2311
- Наумеhko И.Ф., Бондаренко B.C., Переломова H.B. Особенности pac-цространения объемных и поверхностных акустических волн в кристалле парателлурита.-ФТТ, 1983, т.25, № 9, с.2628−2630.
- Алексеев А.Н., Злэказов М. В. Управляемые устройства обработки сигналов на ПАВ.-Зарубежная электронная техника, 1980, МО, с.3−63.
- Злоказов М.В., Проклов А. Л., Науменко Н. Ф. Упругие модули и скорости зв-/ковых волн в сегнетоэластике-сегнетоэлектрике молибдате гадожния.-Материалы XII Всесоюзной конференции по акустоэлектронике и квантовой акустике.-Саратов, 1983, ч.2, с.354−356.
- Шевелъко М.М., Яковлев I.A. Прецизионные измерения упругих характеристик синтетического пъезокварца.-Акуст.ж., 1977, т.23, &2, с.332−333.
- Warner A.W., 0noe М., Coquin G.A. Determination of elastic, and piezoelectric constants for crystals in class (3m).-J.Acoust. Soc.Am., 1967, v.42, No 6, p.1223−1231.
- Мандельштам Л.И. Лекции по оптике, теории относительности и квантовой механике.-М.:Наука, 1972, 438с.
- Труэлл Р., Эльбаум Ч., 4iik Б. Ультразвуковые методы в физикетвердого тела.—М. Мир, 1972, 307с.
- Slobodnik A.J., Szabo T.L. Design of optimum acoustic surface delay lines at microwave frequencies,-IEEE Trans. Microwave Theory and Techn., 1974, v. MTT-22, No 4, P-458−462.
- Wagers R.S.Diffraction effects in long narrow ID transducers.-In: Proc. Ultrasonics Symposium.-Los Angeles, 1975, p.408−430.
- Гуляев IO.B., Проклов В. В., Шкердин Т. Н. Дифракщш света на звуке в твердых телах.- УФН, 1978, т.124,№ 1,с.61−107.
- Waterman Р.С. Orientation dependence of elastic waves in single crystals.-Phys.Rev., 1959, v.113, No 5, p.1240−1253
- Papadalcis E.P. Ultrasonic diffraction loss and phase change in anisotropic materials.-J.Acoust.Soc.Am., 1966, v.40, No 4, p.836−876.
- Cohen M.G. Optical study of ultrasonic diffraction and focusing in anisotropic media.-J.Appl.Phys, 1967, v.33, No 10, p.3821−3828.
- Харузи, Фарне лл. Дифракция и фокусировка в анизотропных крис-таилах.-ТИИЗР, 1972, т.60, Ш, с.28−40.
- Szabo T. L, Slobodnik A.J. The effect of diffraction on the design of acoustic surface wave devices,-IEEE Trans. Sonics and Ultrason., 1973, v. SU-20, No 3, p.240−251.
- Rahn J.P. Diffraction effects from very narrow surface wave transducers.-IEEE Trans. Sonics and Ultrason., 1978, v. SU-25, No 1, p.55−57.
- Milsom R.G., A diffraction theory for SAW filters on non-parabolic high-coupling orientations.-In: Proc. Ultrasonics Symposium.-Phoenix, 1977» p.827−833
- Kerber G.L., Alsup J.M. Surface Acoustic Wave Diffraction.-In Proc, Ultrasonics Symposium,-Phoenix, 1977, p-834−839.
- Radasky W.A., Matthaei G. L, An approximate GTD technique forcomputing SAW diffraction for general anisotropic media.-In: Proc. Ultrasonics Symposium. -Chicago, 1981, p.362−366.
- Szabo T.L., Slobodnik A.J.Diffraction compensation in periodic apodized acoustic surface wave filters.-IEEE Trans. Sonics and Ultrason., 1974, v. SU~21,ITo 2, p.114−119
- Penunuri D. A numerical technique for SAW diffraction simulation.-IEEE Trans. Microwave Theory and Techn., 1978, v. MTT-26, No 4r p.288−294.
- Savage E.B., Matthaei G.L.Compensation for diffraction in SAW filters.-In: Proc. Ultrasonics Symposium.-New Orlean, 1979, p.527−532.
- Иауменко Н.Ф., Орлов В. С., Бонд аре нко B.C. Методы расчета и компенсации дифракционных искажений в устройствах обработки сигналов на ПАВ.-Зарубежная радиоэлектроника, 1983, Ж0, с.22−53.
- Хаткевич А.Г. Дифракция и распространение пучков ультразвукового излучения в монокристаллах.-Акуст.ж., 1978f т.24, ЖЕ, с.108−115.
- Демидов В.П. Дифракция звука в среде с эллиптической волновой поверхностыо.-Акуст.ж., 1981, т. 27, Н, с. 98−103.
- Кессених Г. Г. «Шувалов I.A. Поток энергии и групповая скорость звуковых волн в пьезоэлектрических кристаллах.-Кристаллография, 1976, т.21, № 5, с.1022−1023.
- Наутлэнко Н.Ф., Клименко Б. И., Переломова Н. В. Исследование дифракционной расходимости акустических волн в кристаллах кварца и ниобата лития.-Материалы XII Всесоюзной конференции по акусто электронике и квантовой акустике. -Душанбе, 1981, ч.2, с.222−223.
- Зюрюкин Ю.А., Нейман В. И. Анизотропия переноса энергии упругими волнами в кристаллах.-Материалы XI Всесоюзной конференции по акустоэлектронике и квантовой акустике.-Душанбе, 1981, ч.2, с.200−201.
- Наутленко Н.Ф., Переломова Н. В. .Бондаренко В.(^Распространение ограниченных акустических пучков в кристалле ниобата лития.-Кристаллография, 1983, т.28, № 3, с.607−608.
- Хаткевич А.Г. Внутренняя коническая рефракция пучков света.-Оптика и спектроскопия, 1979, т.46, № 3, с.505−510.
- Хаткевич А.Г. Коническая рефракция ультразвуковых пучков.-Материалы XII Всесоюзной конференции по акустоэлектронике и квантовой акустике.-Саратов, 1983, ч.2, с.254−255.
- Artmann R.A. Ultrasonic internal conical refraction in potassium chloride.-J.Acoust.Soc.Am., 1966, v.39"Ho 3*p.493−498,
- McSkimin II.J., Bond V/.L.Conical refraction of transverse ultrasonic waves in quartz.-J.Acoust.Soc.Am., 1966, v.39, Ho 3* p.499−505.
- Weglein R.D., Pedinoff M.E., Winston H. Diffraction spreading of surface waves on LiHbO^.-Electron.Lett., 1970, v.6,Ho 20, p.654−656.
- Alshits V. I., Iiessenikh G.G., Lothe J. Energy flux, group and phase velocities of acoustic surface waves in piezoelectrics.-Ferroelectries, 1981, v.42, p.103−108.
- Stroh A.IT.Steady state problems in anisotropic media.-J. Math.Phys., 1957, v.35, Ho 4, p.323−334.
- Ingebrigtsen K.A.Surface waves in piezoelectrics.-J-Appl.. Phys., 1969, v.40, No 7, p.2681−2686.
- Hayes M., Musgrave H.J.P.On the energy flux and group velocities.-Wave Motion, 1979, v.1, p.75−82.
- Ingebrigtsen K.A."Tonning A. Elastic surface waves in crystals. -Phys.Rev., 1969, v.184, Ho 3, p.942−951.
- Mitchell R.F., Spurious bulk wave signals in acoustic surfacewave devices*-In: Proc, Ultrasonics Symposium.-Milwaukee, 1974, p.313−320.
- Milsom R.F.tReilly N.C.H."Redwood M. Analysis of generation and detection of surface and bulk acoustic waves by interdigital transducers.-IEEE Trans, Sonics and Ultrason., 1977» v. SU-24,No 3, p.147−166.
- Милсом P., Редвуд M., Рейли H. Встречно-штыревые преобразователи. -В кн.:Фильтры на поверхностных акустических вол-нах.Расчет, технология и применение /Под ред.Мэттыоза.-М.: Радио и связь, 1981, 472с.
- Горышник Л.А."Кондратьев G.H. Возбуждение поверхностных электроакустических волн электродными преобразователями. -Радиотехника и электроника, 1974, т.19, Ш, с.1719−1728.
- Губанов В.А. Возбуждение акустических поверхностных волн парой штырей.-Радиотехника и электроника, 1976, т.21,НО, с.2095−2102.
- Гилинский И. А., Попов В. В. Возбуждение аку сто электрических волн в пьезоэлектриках внешними и сто чник аш. -ЖТФ, 1976, т. 46, № 11, с.2233−2242.
- Фаддеев Д.К., Фадцеева В. Н. Вычислительные методы линейной алгебры.-М.-Л.: Физматгиз, 1963, 734с.
- Campbell J.J."Jones W.R.A method for estimating crystal cuts and propagation directions for excitation of piezoelectric surface waves.-IEEE Trans. Sonics and Ultrason., 1968, v. SU-15, No 4, p.209−217.
- Reilly N.C.H., Milsom R.P."Redwood M. Generation of Raileigh and bulk waves by interdigital transducers on Y-cut Z-propa-gating lithium niobate.- Electron.Lett., 1973* v.9, N0 18, p.419−42O.
- Josse F, Lee D.L. Analysis of the excitation, interaction and detection of bulk and surfacc waves on piezoelectric substrates.-IEEE Trans. Sonics and Ultrason., 1982, v. SU-29, No 5, p.261−273.
- Shibayama K., Yamanouchi K., Sato H., Meguro T. Optimum cut for rotated Y-cut LiNbO^ crystal used as the substrate of ASW filters.-Proc.IEEE, 1976, v.64, No 5, p.595−597.
- Milsom R.P., Murray R.J., Flinn J, Redwood M. New orientations of lithium niobate for low bulk-wave degradation of SAW filter stopband.-In: Proc. Ultrasonics Symposium.-Chicago, 1981, p.299−304.
- Орлов B.C. и др. Анализ влияния многократных отражений и сигналов тройного прохождения на выходные параметры фильтров на ПАВ.-Вопросы радиоэлектроники, серия ОТ, 1981, М4, с.52−64.
- Daniel M.R.Acoustic radiation from a high coupling cut of lithium niobate.-J.Appl.Phys.s1973,v.44,No 7, p.2942−2945
- Slobodnik A.J., Szabo T, L. New high-coupling low-diffraction cut for acoustic surface waves on LiNbO^.-Electron.Lett-, 1971, v.7, No 10, p.257−258.
- Науменко Н.Ф., Бондаренко В. С., Переломова Н. В. Особые поверхностные акустические волны в кристалле парателлурита.-Материалы XII Всесоюзной конференции по акустоэлектронике и квантовой акустике.-Саратов, 1983, ч.1, с. 121.
- Mitchell R.F., Read Е. Suppression of bulk wave radiation from surface acoustic wave devices.-IEEE Trans. Sonics and Ultrason., 1975, v. SU-22, No 4, p.264−273.
- Танкрилл Р., Холланд Ivl. Фильтры на поверхностных волнах.-ТИИЭР, 1971, т.59, КЗ, с.62−80.
- Викторов И.А. Звуковые поверхностные волны в твердых телах. -М.: Наука, 1981, 287с.
- Гуляев Ю.В. Поверхностные электрозвуковые волны в твердых телах.-Письма в ЖЭТФ, 1969, т.9, Ж, с.63−65.
- Джерард Г. Принципы проектирования фильтров на поверхностных акустических волнах.-В кн.: Поверхностные акустические волны/Под ред. Олинера А.- М. :Мир, 1981, с.82−123.
- Jones W.S., Hartmann С.S., Studivant T.D. Second order effects in surface wave devices.-IEEE Trans. Sonics'and Ultrason., 1972, v. SU-19, No 3, p.26−35
- Hagon P.J., Lakin R.M. The influence of near field acoustic diffraction on SAW device performance.-In: Proc. Ultrasonics Symposium.-Milwaukee, 1974, p.341−344
- Slobodnik A.J., Szabo T.L. Minimal diffraction cuts for surface wave propagation.-J.Appl.Phys-, 1973, v.44,No7,p.2937−2941
- Пат. 4 245 201 (США), НКИ 333−194, .1981•. Elastic surface wave device /Takahashi S. Hitoshi H, Sadao M
- What mo re R.W.New polar materials: their application to SAW and other devices.-J.Cryst.Growth, 1980, v.48,p.530−547.
- Пат. 4 232 240 (США), НКИ 310/313, 198o .High piezoelectriccoupling X-cuts of lead potassium niobate, Pb0K№b1−0.1 ford 5 15surface acoustic wave applications /0'Connel R.M.
- Nanamatsu S., Doi K., Takahashi' M. Piezoelectric, elastic and dielectric properties of LiGaOg"-Japan.J.Appl.Phys., 1972, v. 11, Ho 6, p.816−822.
- Shorrocks N.H., Whatmore R.W., Ainger F.W. Young I.M.Lithium tetraborate a new temperature compensated material for surface acoustic wave devices -In: Proc. Ultrasonics Symposium. -Chicago, 1981, p.337−340.
- Kimura M. Elastic and piezoelectric properties of Ba2Si2Ti0g.-J.Appl.Phys., 1977, v.48, No 7, p.2850−2856.
- Tomoaki Yamada. Elastic and piezoelectric properties of lead potassium niobate.-J.Appl.Phys., 1975, v.46,No 7, p.2894−2898.
- Речицкий В. И, Кондратьев С. Н. Методы аподизации преобразователей поверхностных акустических волн.-Зарубежная радиоэлектроника, 1977, М, с.22−45.
- Maines J*D., Moule G.L., 0gg N.R.Correction of diffraction errors in acoustic-wave pulse-compression filters.-Electron. Lett., 1972, v.8, ITo 17, p.431−433.
- Savage E.B.Matthaei G.L.A study of some methods for compensation for diffraction in SAW IDT filters.-IEEE Trans. Sonics and Ultrason., 1981, v. SU-28, No 6, p.439−448.
- Науменко Н.Ф., Орлов B.C."Бондаренко B.C. Компенсация дифракционных искажений при проектировании фильтров поверхностных акустических волн с высокой избирательностью.-Вопросы радиоэлектроники, серия ОТ, 1982, Н2, с.172−178.
- Лек Ю. Специальные математические Функции и их аппроксимации. -М.: Мир, 1980, 608с.
- Уэйджерс. Паразитные акустические отклики в устройствах на поверхностных акустических волнах.- ТИИЭР, 1976, т.64, № 5, с.155−159.
- Форсайт Дж., Малькольм М., Моулер К. Машинные методы математических вычиелений.-М.: Мир, 1980, 280с.
- Расчет и конструирование АПВ-фильтров /Под ред. Яковкина И.Б.Новосибирск- Наука, 1982, 171с.