Осаждение эпитаксиальных слоев p-CdxHg1-xTe из паров ртути, диметилкадмия и алкильных соединений теллура на подложках из арсенида галлия
Диссертация
В настоящее время более перспективными считаются эпитаксиальные слои тройного раствора на гетероподложках. Основными методами выращивания эпитаксиальных слоев CdxHg|.xTe в настоящее время являются жидкофазная (ЖФЭ), молекулярно-лучевая (МЛЭ) эпитаксия и химическое осаждение из паров металлоорганических соединений (MOCVD). В методе ЖФЭ высокие температуры роста создают большие трудности… Читать ещё >
Содержание
- Глава 1. Получение эпитаксиальных слоев CdxHgixTe MOCVD-методом для ИК-фотоприёмных устройств, литературный обзор)
- 1. 1. Физико-химические свойства теллуридов Cd, Hg и Zn
- 1. 2. Основные методы получения эпитаксиальных слоев CdxHgixTe
- 1. 3. Подложки для осаждения CdxHgi. xTe
- 1. 4. MOCVD-метод получения эпитаксиальных слоёв CdxHgixTe
- 1. 4. 1. Общая характеристика метода
- 1. 4. 2. Осаждение на подложках из GaAs
- 1. 5. Современные приборы на основе CdxHgi. xTe
- 1. 6. Постановка цели и задач исследований
- Глава 2. Выращивание буферных слоёв ZnTe и CdTe на подложках из арсенида галлия методом химического осаждения из паров алкильных соединений кадмия, цинка и теллура
- 2. 1. Аппаратура и методика эксперимента
- 2. 2. Исследование термораспада ДИПТ
- 2. 3. Осаждение буферных слоёв ZnTe на подложках из GaAs
- 2. 3. 1. Зависимость скорости роста, кристаллического совершенства и морфологии поверхности эпитаксиальных слоёв ZnTe от температуры подложки
- 2. 3. 2. Модель осаждения ZnTe из паров ДЭТ и ДЭЦ. 56 ^ 2.4. Осаждение эпитаксиальных слоёв CdTe на подложках из GaAs
- 2. 4. 1. Влияние толщины прослойки ZnTe/GaAs на свойства эпитаксиальных слоёв CdTe кристаллографических ориентаций (100) и (lll)B
- 2. 4. 2. Выращивание и свойства гетероструктур CdTe/GaAs (111)В и CdTe/ZnTe/GaAs (100)
- 3. 1. Влияние условий осаждения на скорость роста, морфологию поверхности, структурное совершенство и состав CdiyZnyTe
- 3. 2. Осаждение гетероструктур CdiyZnyTe/CdTe/ZnTe/GaAs
- 3. 3. Механизм роста эпитаксиальных слоев CdiyZnyTe
- 3. 4. Сравнительная характеристика буферных слоев CdTe/GaAs (l 11) В, CdTe/ZnTe/GaAs (100) и
- 4. 1. Методика проведения эксперимента
- 4. 2. Выбор буферного слоя и реагентов для послойного роста КРТ
- 4. 3. Осаждение эпитаксиальных слоёв HgTe в условиях роста КРТ
- 4. 4. Осаждение эпитаксиальных слоёв CdTe в условиях роста КРТ
- 4. 5. Осаждение гетероструктур CdTe/CdxHgixTe/CdTe/GaAs (111)В из паров Cd (CH3)2, Te (i-C3H7)2 и Hg
- 4. 6. Определение толщины и состава эпитаксиальных слоёв CdxHgixTe
- 4. 7. Измерение электрофизических параметров эпитаксиальных слоев CdxHgixTe
- 4. 8. Влияние низкотемпературного отжига на электрофизические свойства гетероструктур CdTe/CdxI IgixTe/CdTe/GaAs (111)В
- 4. 9. Матричное фотоприёмное устройство для спектрального диапазона 3-ь5 мкм на основе гетероструктуры p-Cdo, 27Hgo, 73Te, полученной MOCVD-методом
Список литературы
- Lawson W. D., Nielson S., Putley E. II., Young A. S. II J. Phys. Chem. Solids. 1959. V. 9, P. 325.
- Mull in J.B., Irvine S.J. С. II J. Phys. D: Appl. Phys. 1981. V. 14. P. 149. p 3. Irvine S.J.C., Tunnicliffe J., Mullin J.B. II Mater.Lett. 1984. V. 2. N 4B. P. 305.
- Mitra P., Case F.C., Glass H.L., Speziale V.M., Flint J.P., Tobin S.P., Norton P. W. И J. Electron.Mater. 2001. V. 30. № 6. P. 779.
- Piotrovski A., Madejczic P., Gawron W., Klos K., Romanis M, Grudzien M., Piotrovski J., RogalskiA. II Opto-electronics review 2004. V. 12. № 4. P. 453.
- Reine M.B., Hairston A., O’Dette P., Tobin S.P., Smith F.T.J., Musicant B.L., Mitra P., Case F.C. II Proc. SPIE. 1998. V. 3379. P. 200.
- Болтарь КО., Яковлева Н. И., Расструева О. Н., Пономаренко В. П., Стафеев В. И., Бурлаков И. Д., Моисеев А. Н., Котков А. П., Дорофеев В.В. II Прикладная физика. 2003. № 3. стр. 95.1. О (%
- Бовина Л.А., Стафеев В. И. Физика соединений, А В / Под ред. i
- Aven М., Prene М.С. Физика и химия соединений, А В / Пер. с англ. под ред. Медведева С. А., М.: Мир. 1970. стр. 624.
- Ratajezak Е., Terpilowski J. II Roczniki Chem. 1969. V.43. P. 1609.
- Kubaschewski O., Evans E.L., Alcok C. Metallurgical Chemistry. Oxford. 1967. P. 314.
- Берченко H.H., Kpeec B.E., Средин В. Г. Полупроводниковые твердые растворы и их применение. М.: Воен. издат. 1982. стр. 208.
- Brice J.С., Capper Т., Jones C.L. II J. Cryst. Growth. 1986. V. 75. № 2. P. 395. л 14. Farrar R.H., Gilham C.J. II Mater. Sci. 1974. V. 12. P. 836.4
- Irvine S.J. C., Mullin J.В., Giess J. et al. //J.Cryst.Growth. 1988. V. 93. P. 732.
- Ghandhi S.K., Bhat I.B., Ehsani H. et al II Appl. Phys. Lett. 1989. V. 55. № 2. P. 137.
- Chu T.L., ChuS., Pauleau Y. et al II Appl. Phys. 1983. V. 54. № 1. P. 398.
- Yang Jianrong II J. Cryst. Growth. 1993. V. 126. P. 695.
- Norton P. II Opto-electronics review. 2002. V. 10. № 3. P. 159.
- Chadi D.J., Walter J.P., Cohen M.L. et al //Phys. Rev. 1972. V. 5. P. 3058.
- Горшков A.B. II Высокочистые вещества. 1989. № 6. С. 207.
- Capper P. II J. Cryst. Growth. 1982. V. 57. P. 280.
- Capper P. II Progr. Cryst. Growth and Charact. 1989. V.19. P.295.
- Capper P. II J. Vac. Sci.Technol. B. 1991. V.9. № 3. P. 1667.
- Mullin J.В., Holland R., Blacmore G.M. et al II J. Cryst. Growth. 1990. V.106. P. 127.
- Capper P., Keefe E.S., Maxey C. et al II J. Cryst. Growth. 1996. V.161. P. 104.
- Grainger F, Roberts J.A. II Semicond. Sci. Technol. 1988. V. 3. P.802.
- Capper P., Easton B.C., Wiffin P.A.C. et al II J. Cryst. Growth. 1986. V. 79. P. 508.
- Edwall D.D., Gertner E.R., Tennan W.E. II J. Appl. Phys. 1984. V. 55, P. 1453.
- Tung Т., Kalisher M.H., Stevens A.P., Herning P.E. II Mat. Res. Symp. Proc. 1987. V. 90, P. 321.
- Pelliciari B. //J. Cryst. Growth. 1988. V. 86, P. 146.
- Tung Т., DeArmond L. V., Herald R.F., Herning P.E., Kalisher M.H., Olson D.A., Risser R.F., Stevens A.P., Tighe S.J. II Proc. SPIE 1992. V. 1735, P. 109.
- Castro СЛ. II Proc. SPIE. 1993. V. 2021, P. 2.
- As ties M.G. II Properties of Narrow Gap Cadmium-based Compounds, EMIS Datareviews Series 1994. № 10, P. 13.
- Djuric Z II J. Mat. Sci. 1995, V. 5, P. 187.
- Irvine S.J.C. И Properties of Narrow Gap Cadmium-based Compounds, EMIS Datareviews Series 1994, № 10, P. 24.
- Arias J.M. II Properties of Narrow Gap Cadmium-based Compounds. EMIS Datareviews Series 1994. № 10, P. 30.
- Aoki Т., Takeguchi M, Boieriu P., Singh R., Grein C., Chang Y., Sivananthan S., Smith D. J. И J. Ciyst. Growth. 2004. V. 271. P. 29.
- Wu O.K. II Proc. SPIE. 1994. V. 2021. P. 79.
- Arias J.M., Zandian M., Pasko J.G., Bajaj J., Kozlowski L.J., Tennant W.E.,' DeWames R.E. II Proc. SPIE 1994. V. 2274. P. 2.
- Vasilyev V. V., Klimenko A. G., Marchishin I. V., Ovsyuk V. TV., Talipov N. Ch., Golenkov T. A. G., Derkach Yu. P., Zahar 'yash V. I., Reva P., Sizov F. F., Zabudsky V. V. II Infrared Physics & Technology. 2004. V. 45. Issue 1. P. 13.
- DeLyon T.J., Ravajal R.D., Vigil J.A., Jensen J.E., Wu O.K., Cockrum C.A., Johnson S.M., Venzor G.M., Baily S.L., Kosai M.D., Ahlgren W.L., Smith M.S. // J. Electron. Mater. 1999. V. 27. P. 550.
- Irvine J.C. И Proc. SPIE. 1992. V. 1735. P. 92.
- Dabhinamurthy S., Bhat I. II J. Cryst. Growth. 1997. V. 170. P. 193.
- Dabhinamurthy S., Bhat I. //J. Electron. Mater. 1998. V. 27. № 6. P. 521.4 ,
- Войцеховский A.B., Несмелое C.H., Коханенко А. П., Машуков Ю.П.,
- Захарьяш Т.Н., Васильев В. В., Варавин B.C., Сидоров Ю. Г., Дворецкий С. А., Михайлов Н.Н. II Известия высших учебных заведений. Физика. 2005. № 2. стр. 35.
- Бовина Л.А., Болтарь К. О., Бурлаков И. Д., Головин С. В., Иванов В. Ю., Сагинов Л. Д., Стафеев В. И., Акимов В. М., Климанов Е. И., Лакеенков В. М., Сидоров Ю.Г. II Прикладная физика 1999. № 3. стр. 24.
- Болтарь КО., Бовина Л. А., Сагинов Л Д., Стафеев В. И., Гибин И. С., Малеев В. М. II Прикладная физика. 1999. № 2. стр. 50.
- Epuioe С.Н., Бенюшис Т.Н. II Вестник ННГУ им. Н. И. Лобачевского. Материалы, процессы и технология электронной техники. Н. Новгород: ННГУ. 1994. стр. 81.
- SchmitJ.L. II J. Vac. Sci. Technol. 1986. A 4. № 4. P. 2141.
- Tower J.P., Tobin S.P., Kestigian M., Norton P.W., Bollong A.B., Schaake H.F., Ard C.K. II J. Electron. Mater. 1995. V. 24. № 5. p. 497.
- Triboulet R., Chatard J.P., Costa P., Manissadjian A. // J. Cryst. Growth. 1998. V. 184−185. P. 1262.
- Parich A., Pearson S.D., Tran Т.К., Bichnell R.N., Benz R.G., Wagner B.K., Schafer P., Summers C.J. II J. Cryst. Growth 1996. V. 159. № 1 -4. P. 1152.
- Gouws G.J., Muller R.J., Bowden R.S. 11 J. Cryst. Growth 1993. V. 130. № 3.1. P. 209.
- Asahi Т., Oda O., Taniguchi Y., Koyama A. II J. Crystal Growth 1995. V. 149. P. 23.
- Casagrande L.G., Larson D.J. et al. II J. Cryst. Growth. 1994. V. 137. № ½. P. 195.
- Рогальский А. Инфракрасные детекторы / Пер. с англ. под ред. А. В. Войцеховского. Новосибирск: Наука. 2003. стр. 388.
- Dhar N.K., Zanatta J.P., Ferret P., Million A. // J. Cryst. Growth 1999. V. 201−202. P. 975."f 59. Million A., Dhar N. K, Dinan J.H. II J. Cryst. Growth. 1996. V. 159. P. 76.
- Rujirawat S., Almeida L.A., Chen Y.P. et al. II Appl. Phys. Lett. 1997. V. 71. № 13. P. 1810.
- J.B. Varesi, A.A. Buell, R.E. Bornfreund, W.A. Radford, J.M. Peterson, K.D. Maranovski, S.M. Johnson, D.F. King II J. Electron. Mater. 2002. V. 31. № 7. P. 815.
- Farrow R.F.C., Jones G.R. et al. II Appl. Phys. Lett. 1981. V. 39. № 12. P. 954.
- Dian J.H., Quadri S.B. И J. Vac. Sci. Technol. 1986. A 4. № 4. P. 2158.
- Matsumura N., Ohshima Т., SaraieJ., Yodogawa Y. II J. Cryst. Growth. 1985. V 71. P. 361. 65. Zanatta J.P., Ferret P. et al. II J.Electron.Mater. 1998. V. 27. № 6. P. 542.
- Hoke W.E., Traczewski R., Kreismanis V.G. et al. I I Appl. Phys. Lett. 1985. V. 47. № 7. P. 276.
- Myers Т.Н., YawchengL. et al. И Appl. Phys. Lett. 1983. V. 42. № 3. P. 247.
- Gertner E.R., Tennant W.E., Blakwell J.D., Rode J.P. /I J. Cryst. Growth. 1985. V. 72. P. 462.
- Bubulac L.O., Edwall D.D., McConnell D., DeWames R.E., Blazejewski E.R., Gertner E.R. И Semicon. Sci. Technol. 1990. V. 5. P. 45.
- Edwall D.D., Chen J.S., Bajaj J., Gertner E.R. II Semicond. Sci. Technol. 1990. V.5.P. 221.
- Kimata H., RyojiA., Croki Т. И J. Cryst. Growth. 1987. V. 81. P. 508.
- Rauhala E., Keinonen J. et al. И Appl. Phys. Lett. 1987. V. 51. № 13. P. 973.
- Zinck J.J., Brewer et al И Appl. Phys. Lett. 1988. V. 52. № 17. P. 1434.
- Марфунин A.C. Рубин и сапфир. М.:Наука. 1974. стр. 236.
- Физико-химические свойства полупроводниковых веществ. Справочник. М.: Наука. 1979. стр. 339.
- Johnson S.M., Kalisher М.Н., Ahlgren W.L., James J.B., Cockrun C.A. II Appl. Phys. Lett. 1990. V. 56. P. 946.
- Zanio K., Bean R., Mattson R.,. Vu P, Taylor S., Mclntryre D., Ito C., Chu M. И Appl. Phys. Lett. 1990. V. 56. P. 1207.
- Johnson S.M., Vigill J.A., James J.B., Cockrum C.A., Konkel W.H., Kalisher M.H., Risser R.F., Tung Т., Hamilton W.J., Ahlgren W.L., Myrosznyk J.M. II J. Electron. Mater. 1993. V. 22. P. 835.
- De Lyon T.J., Johnson S.M., Cockrum C.A., Wu O.K., Hamilton W.J., Kamath G.S. Hi. Electrochem. Soc. 1994. V. 141. P. 2888.
- L.J. Kozlowski, R.B. Bailey, D.E. Cooper, K. Vural, E.R. Gertner, W.E. Tennat //Proc. SPIE 1991. V. 1540. P. 250.
- Okamoto Т., Saito Т., MurakamiS. et al. И Appl. Phys. Lett. 1996, V.69. № 5. P. 677.
- Irvine S.J.C., Mullin J.B. II J. Cryst. Growth. 1981. V. 55. P. 107.
- Peng Rui-wu, XuFei, Ding Yong-ging //J. Cryst. Growth. 1991. V. 115. № 1−4. P. 698.
- Irvine S.J.C., Tunnicliffe J., Mullin J.B. II J. Cryst. Growth. 1983. V. 65. P. 479.
- Liane I-R., Chou K-S., Lin M-S. II J. Ciyst. Growth. 1988. V. 87. № 3. P. 529.
- Hyliands M.J., Thompson J., Bevan M.J. et al. II J. Vac. Sci. Technol. 1986. / A 4. № 4. P. 2217.
- Tunnicliffe J., Irvine S.J.C. et al. II J. Cryst. Growth. 1984. V. 68. № 1. P.245.
- Bhat IB. //J. Cryst. Growth. 1992. V. 117. P. 1.
- Mullin J.B., Irvine S.J.C., Ashen D.J. И J. Cryst. Growth. 1981. V. 55. P. 92.
- Mullin J.B., Irvine S.J.C., GiessJ. //J.Ciyst.Growth.1985. V. 72. P. 1. 91.SchmitJ.L. И J. Vac. Sci. Technol. 1985. A3. № 1. P. 89.
- Smith L.M., Thompson J. И Chemtronics. 1989. V 4. P. 62.
- Smith L.M., Thompson J. IIGEC J. Res. 1989. V 7. № 2. P.72.
- TribouletR. Hi. Cryst. Growth. 1991. V. 107. P. 598.
- Ebe H., Yamamoto К. I I J. Ciyst. Growth 1997. V. 174. P. 746.
- Smith L.M., Byrhe C.F., Patel D. et al. II J. Ciyst. Growth. 1991. V. 107. № 14. P. 605.
- Druilhe R., Desjonqueres F. et al. II Semicond. Sci. Technol. 1991. V. 6. P. 22.
- Hall R.S., Ashley Т., Elliott C.T., Gordon N.T., Johnson A.D., Pryce G.J. II J. Cryst.Growth. 1996. V. 159. P. 1100.
- Mitra P., Case F.C., Reine M.B., Starr R., Weiler M.H. II J. Cryst. Growth 1997. V. 1−4. P. 542.
- Le Meur M.A., Cuniot M., Rommeluere J.F., Tromson-Carli A., Triboulet R., Marfaing Y. //J. Cryst. Growth 1998. V. 184−185. P. 1279.
- Mitra P., Schimert T.R., Case F.C. et al. II J.Electron.Mater. 1995. V.24. № ^ 5. P. 661.
- Chen M.C., Bevan M.J. II J. Appl. Phys. 1995 V. 78. № 7. P. 4787.
- Feldmcm R.D., Kisker D.W., Austin R.F. et al. II J. Vac. Sci. Technol. 1986. A 4. № 4. P. 2234.
- Tompa G.S., Nelson C.R., Saracino MA. et al. II Appl. Phys. Lett. 1989. V. 55. № l.P. 62.
- Yasuda K, Ekawa M., Matsui N. II Jap. J. Appl. Phys. 1990. V. 29. № 3. P. 479.
- Feldman R.D., Kisker D. W. et al. II Appl. Phys. Lett. 1986. V. 48. № 3. P. 248.
- Anderson P.L. //J.Vac.Sci.Technol. 1986. V. A4. № 4. P. 2162.
- Lu P.-Y., Williams L.M., Chu S.N.G. II J. Vac. Sci. Technol. 1986. V. A4. № 4. P. 2137.
- Kisker D.W., Steigerwald M.L., Kometani T.Y. И Appl. Phys. Lett. 1987. V. 50. № 23. P. 1681.
- Ekawa M., Yasuda K, Sone S. et al. И J. Appl. Phys. 1990. V. 67. № 11. P. 6865.111 .Angelo J.E., Gerberich W. W" Bratina C. et al. II J. Cryst. Growth. 1993. V. 130. P. 459.
- Cheng T.T., Aindon M., Jones I.P. II J. Cryst. Growth. 1994. V. 135. P. 409.
- Stricman H., Oron M., Raizman A., Cinader G. II J. Electron. Mater. 1988. V. 17. № 2. P. 105.
- Brown P.D., Hails J.E., Russel G.J., Woods J. И Appl. Phys. Lett. 1987. V. 50. № 17. P. 1144.
- Cinader G., Raizman A., SherA. И J. Vac. Sci.Technol. 1991. V. B9. № 3. P. 2234.
- Desjonqueres F., Tromson-Carli A. et al. II J. Cryst. Growth. 1990. V. 107. № 1−4. P. 626.
- Tompa G.S., Salagaj T. et al. II J. Cryst. Growth. 1991. V. 107. P. 198.
- Pain G.N., Sandford C. et al. И J. Cryst. Growth. 1991. V. 107. № 1−4. P. 610.
- Druilhe R., Desjonqueres F., Katty A. et al. II J. Cryst. Growth. 1990. V. 101. P. 73.
- Faurie J.P. //J. Cryst.Growth. 1987. V. 81. P. 483.
- WuO., Kamath G.S. II Semicond. Sci. Technol. 1991. V. 6. P. 6.
- Lansari Y. // J. Cryst. Growth. 1991. V. 111. P. 720.
- Sang-Hee Sun, Jong-Hyeong Song, Sung-Wook Moon II J. Cryst. Growth. 1996. V. 159. P. 1132.
- NishinoH., Nishijima Y. II J. Cryst. Growth. 1997. V. 173. P. 330.
- Hails J.H., Cole-Hamilton D.J., Giess J. II J.Electron.Mater. 1998. V. 27. № 6. P. 624.
- Faurie J.P., Hsu C., Sivananthan S. et al. II Surface Science. 1986. V. 168. P. 473.
- OtsukaN., Kolodziejski L.A., Gunshor R.L. et al. II Appl. Phys. Lett. 1985. V. 46. № 9. P. 860.
- Srinivasa R., Panish M.V., Temkin H. II Appl. Phys. Lett. 1987. V. 50. № 20. P. 1441.
- Wagner B.K., Oakes J.D. et al. И J. Cryst. Growth. 1988. V. 86. P. 292.
- Tang H.P., FeungJ.Y. et al. II J. Cryst. Growth. 1991. V. 112. № 2−3. P. 407.
- Leo G., Longo M., Lovergine N.,. Mancini A. M, Vasanelli L., Drigo A.V., Romanato F., Peluso Т., Tapfer L. II J. Vac. Sci. Technol. 1996. В14. № 3. P. 1739.
- W. Palosz, F.R. Szofran, S.L. Lehoczky // J. Crystal Growth 1995 V. 148. № 56. P. 1152.
- Nishino H" Saito Т., Nishijima Y. II J. Cryst. Growth 1996. V. 165. № 3. P. 227.
- Yasuda K, Araki N., Samion H.B., Miyata M. II J. Cryst. Growth. 2000. V. 214−215. P. 19.
- Reinoso J.J., Ко E.I., Sides P.J. II J. Cryst. Growth 1997. V. 174. № 1−4. P. 713.
- GiessJ., GoughJ.S. et al. //J.Cryst. Growth. 1995. V. 72. P. 120.
- Natarayan V., Taskar N.R., Bhatl.B. II J. Electron. Mater. 1988. V. 17. № 6. P. 479.
- Patriarche G., Triboulet R. et al. И J. Ciyst. Growth. 1993. V. 129. № 3−4. P. 375.
- Elliott C.T. И Semicond.Sci.Technol. 1990. V. 5. P. 30.
- Elliott C.T., Day D., Wilson B. JII Infrared Phys. Technol 1982. V. 22. P. 31.
- Reine M.B., Maschhoff K.R., Tobin S.P., Norton P.W., Mroczkowski J.A., Krueger E.E. II Semicond. Sci. Technol. 1993. V. 8. P. 788.
- Nemirovsky Y., Bahir G. II J. Vac. Sci. Technol. 1989. A 7. P. 450.
- Sarussi G., Cinader G., ZemeiA., Eger D., Shapira Y. II J. Appl. Phys. 1992. V. 71. P. 5070.
- Norton P. II Proc. SPIE. 1998. V. 3379. P. 102.
- Rajavel R.D., Jamba D.M., Wu O.K. et al. II J. Electron. Mater. 1997. V. 26. P. 476.
- Жмакин A.M., Макаров Ю. Н. Гидромеханика и тепломассообмен при получении материалов. М. Наука. 1990. стр. 43.
- Воробьев А.Н., Гугель Ю. В., Хоружников С.Э. II Высокочистые вещества. 1993. № 6. стр. 10.
- Котков А.П. Получение эпитаксиальных слоев CdxHgixTe на арсениде галлия методом химического осаждения из паров диметилкадмия, диэтилтеллура и ртути // Диссертация на соискание ученой степени кандидата химических наук, Н. Новгород, 1996 г.
- Моисеев А.Н. Получение гетероэпитаксиальных слоев CdxHgi.xTe методом химического осаждения из паров диметилкадмия, диэтилтеллура и ртути // Диссертация на соискание ученой степени доктора химических наук, Н. Новгород, 1999 г.
- Kuhn W.S., Lusson A., Qu’Hen В., Grattepain С., Dumont Н., Gorochov О., Bauer S., Wolf К, Worz M., Reisinger Т., Rosenauer A., Wagner H., Stanzl H.,
- Gebhardt W. II Progress in Crystal Growth and Characterization of Materials. 1995. V. 31. № 1−2. P. 119.
- Czerniak M.R., Easton B.C. // J. Ciyst. Growth. 1984. V. 68. P. 128.
- Фаерман В.И., Зорин А. Д., Гурылев B.B. // ЖОХ. 1990. Т. 60. вып. 7. стр. 1468.
- McAllister Т. /П. Cryst. Growth 1989. V. 96. № 3. P. 552.
- Dumont H., Marbeuf A., Bouree J.-E., Gorochov О. II Materials Science & Engineering B: Solid-State Materials for Advanced Technology 1993. V. В 17. № 1−3. P. 41.
- Моисеев A.H., Батманов С.М.,.Ливерко B.H. II Высокочистые вещества 1994. № 4. стр. 136.
- Mull ins J.Т., Clifton Р.А., Brown P.D., Brinkman A. W, Woods J. // J. Cryst. Growth 1990. V. 101. № 1−4. P. 100.
- Yao Т., Takeda Т. II Appl. Phys. Lett. 1986. V. 48. № 2. P. 160.
- Ruault M.-O., Kaitasov O., Triboulet R., Crestou J., Gasgnier M. II J. Cryst. Growth. 1994. V. 143. № 1−2. P. 40.
- Marbeuf A., Druilhe R., Triboulet R., Patriarche G. II J. Cryst. Growth 1992. V. 117. № 1−4. P. 10.
- Irvine S.J. C., Gough J.S., J. Giess, Gibbs M.J., Royle A., Taylor C.A., Brown J.T., Keir A.M., Mullin J.B. //J. Vac. Sci. Technol. 1989. A 7. P. 285.
- Sang-Hee Suh, Jin-Sang Kim, Hyung Joon Kim, Jong-Hyeong Song II J. Cryst. Growth. 2002. V. 236. P. 119.
- Yasuda K, Hatano H., Ferid Т., Minamide M., Maejima Т., Kawamoto К. II J. Cryst. Growth 1996. V. 166. P. 612.
- Моисеев A.H., Котков А. П., Дорофеев B.B, Гришнова НД II Неорганические материалы. 2004. Т. 40. №. 1. стр. 15.
- Hansen G.L., Schmit J.L., Casselman T.N. II J. Appl. Phys. 1982. V. 53. P. 7099.
- Finkman A., Nemirovsky Y. I I J. Appl. Phys. 1982. V. 53. № 2. P. 12.
- Бахтин П.А., Дворецкий С. А., Варавин B.C., Коробкин А. П., Михайлов Н. Н., Сидоров Ю.Г. II Физика и техника полупроводников. 2004. Т. 38. № 10. стр. 1203.
- КучисЕ. В. Методы исследования эффекта Холла. М.: 1974.
- Белогорохов А. И., Белов А. Г, Виноградов Е.А., Рашевская Е. П. Препринт № 156 ФИАН СССР. М.: 1988.
- Павлов П. В., Хохлов А. Ф. Физика твердого тела. М.: 1985.
- Kamata A., Matsushita К., Shigenaka К. I/ J. Cryst. Growth. 1998. V. 184 185. P. 1228.
- Бовина Л.А., Болтарь КО., Бурлаков ИД., Климанов Е. А., Патрашин А. И., Сагинов Л. Д., Стафеев В. И., Тимофеев А.А. II Оптический журнал. 1996. № 6. стр. 74.
- Болтарь КО., Бовина Л. А., Сагинов Л. Д., Стафеев В. И., Гибин И. С., Малеев В.М. II Прикладная физика. 1999. № 2. стр. 50.