Помощь в учёбе, очень быстро...
Работаем вместе до победы

Физико-химические процессы в неравновесной плазме воздуха и закономерности травления материалов на основе полиэтилентерефталата

Диссертация: Физико-химические процессы в неравновесной плазме воздуха и закономерности травления материалов на основе полиэтилентерефталата
ДиссертацияПомощь в написанииУзнать стоимостьмоей работы

Публикации и апробация работы. По результатам работы опубликованы 3 статьи и тезисы восьми докладов. Основные положения, результаты и выводы докладывались и обсуждались на II международном симпозиуме по теоретической и прикладной плазмохимии — «ISTAPC-95» (Иваново, 1995), на 9 международной конференции молодых ученых по химии и химической технологии (Москва, РХТУ, 1995 г. г.), на постоянно… Читать ещё >

Содержание

  • Глава 1. Обзор литературы
    • 1. 1. Физико-химические и технологические эффекты воздействия неравновесной плазмы на полимеры. Подходы к анализу процессов взаимодействия плазмы с полимерами
    • 1. 2. Кинетические закономерности травления полимерных материалов в неравновесной плазме
      • 1. 2. 1. Кинетика суммарного процесса травления
      • 1. 2. 2. Тепловые эффекты и температурные зависимости скорости процесса
      • 1. 2. 3. Газообразные продукты травления
      • 1. 2. 4. Изменение химического состава поверхностного слоя полимера
      • 1. 2. 5. Активные частицы плазмы, каналы процесса
    • 1. 3. Физико-химические свойства кислородной плазмы пониженного давления
      • 1. 3. 1. Функция распределения электронов по энергиям
      • 1. 3. 2. Состав нейтральных компонентов плазмы кислорода и основные процессы, его определяющие.'
    • 1. 4. Физико-химические свойства азотной плазмы пониженного давления
      • 1. 4. 1. Функция распределения электронов по энергиям
      • 1. 4. 2. Состав нейтральных компонентов плазмы азота и основные процессы., его определяющие
    • 1. 5. Физико-химические свойства плазмы пониженного давления в воздухе
  • Выводы. Постановка задачи
  • Глава 2. Основные методики измерений
    • 2. 1. Экспериментальная установка
    • 2. 2. Измерения напряженности продольного электрического поля и потока положительных ионов на стенку реактора
    • 2. 3. Методика измерений интенсивностей линий и полос
    • 2. 4. Определение температуры газа
    • 2. 5. Методики масс-спектральных измерений
      • 2. 5. 1. Определение парциальных давлений (мольных долей) стабильных компонентов газовой смеси
      • 2. 5. 2. Определение скоростей образования газообразных продуктов при плазменном воздействии
  • Глава 3. Основные методы расчетов
    • 3. 1. Уравнение Больцмана и метод его решения
    • 3. 2. Уравнения, описывающие кинетические закономерности образования и гибели колебательных уровней основного состояния молекул азота ЩХ’Е/ЛО и кислорода 02(Х
  • §-«, У)
  • Глава 4. Результаты измерений параметров плазмы положительного столба разряда в воздухе
    • 4. 1. Напряженность продольного электрического поля. Температура газа
    • 4. 2. Данные спектральных измерений
    • 4. 3. Заселенность нижних колебательных уровней основного состояния молекулы азота
    • 4. 4. Концентрация атомарного кислорода в основном состоянии
    • 4. 5. Концентрация оксида азота N
  • Глава 5. Процессы образования и гибели нейтральных частиц плазмы воздуха
  • Глава 6. Закономерности травления полимеров в плазме воздуха
    • 6. 1. Травление в послесвечении плазмы
    • 6. 2. Травление ткани и пленки в положительном столбе разряда

Физико-химические процессы в неравновесной плазме воздуха и закономерности травления материалов на основе полиэтилентерефталата (реферат, курсовая, диплом, контрольная)

Актуальность проблемы. Низкотемпературная плазма находит широкое применение как для решения ряда технологических задач, так и в практике научных исследований. Среди различных видов неравновесных плазменных систем особое место занимает «холодная» плазма низкого давления, которая характеризуется высокой энергией электронов и большой концентрацией химически активных частиц при низкой газовой температуре.

В настоящее время в области технологического использования «холодной» плазмы сложилась ситуация, когда инженерные решения и практическая реализация опережают фундаментальные исследования, посвященные пониманию физико-химических закономерностей плазмохимических процессов. Сегодня уже созданы образцы промышленного оборудования и реализованы отдельные технологии модифицирования полимерных пленочных и текстильных материалов в неравновесной плазме воздуха. Внешние параметры таких процессов выбираются^ в основном, эмпирически. Это связано, во-первых, со сложностью анализа реакций, протекающих в неравновесных условиях, а во-вторых, с тем, что плазма является самосогласованной системой, физические характеристики которой, определяющие ее химическую активность, сами зависят от инициированных плазмой химических превращений. В то же время, очевидно, что без понимания механизмов активации газа, роли различных активных частиц в реакциях с обрабатываемым материалом и без учета влияния химических превращений в плазме на ее свойства эффективная оптимизация плазменных технологий невозможна.

В связи с этим выяснение механизмов процессов, определяющих состав активных компонентов плазмы воздуха, а таюокё выявление закономерностей ее воздействия на полимерные материалы является актуальной задачей.

Работа выполнялась в рамках научно-технической программы «Университеты России», 1995;1997 г. г., а также пользовалась поддержкой гранта Министерства общего и профессионального образования по направлению «Химические технологии», 1997 г.

Целью работы являлось:

1) установление механизмов процессов, определяющих состав основных компонентов плазмы воздуха;

2) анализ влияния химических превращений в плазме на ее физические параметры, в частности — на вид функции распределения электронов по энергиям и коэффициенты скоростей процессов с участием электронов;

3) выявление кинетических закономерностей травления полимера и образования газообразных продуктов реакций при воздействии плазмы воздуха на пленки и ткани из полиэтилентерефталатаопределение основных активных частиц, реагирующих с полимером.

Научная новизна.

1. Проанализированы механизмы заселения и дезактивации излучающих состояний атомарного кислорода и молекулярного азота в плазме воздуха. ¦ Обоснован метод определения концентрации атомов кислорода в основном состоянии по отношению интенсивностеи излучения линии атомарного кислорода 01 (Зр3Р^Зз38) и полосы молекулярного азота N2 (СЗпи, У=0->- В^П^, У=2).

2. Проанализированы процессы с участием электронов, влияющие на формирование функции распределения электронов по энергиям. Показано, что таковыми являются столкновения электронов с молекулами 1Ч2, 02, включая ионизацию, диссоциацию и возбуждение электронно-колебательных состояний, а также сверхупругие столкновения электронов с колебательно-возбужденными молекулами азота в основном электронном состоянии. Другие компоненты плазмы: молекулы N0, атомы азота и кислорода, возбужденные состояния молекул ]М" 2, 02, — не влияют на формирование ФРЭЭ из-за малости их концентраций.

3. Разработана кинетическая модель процессов образования и гибели основных нейтральных компонентов плазмы воздуха, включая электроннои колебательно-возбужденные молекулы азота и кислорода, атомы N и О в основном и возбужденных состояниях, а так же озон и оксиды азота. Результаты расчета по модели находятся в хорошем согласии с экспериментально измеренными концентрациями молекул N0 и атомарного кислорода в основном состоянии, заселенностями нижних колебательных уровней молекулы К2(Х11^+) в исследованном диапазоне давления (30−300 Па) и тока разряда (20−110 мА).

4. Получены систематические данные о кинетике травления полимеров на основе полиэтилентерефталата в плазме воздуха: а) измерены скорости убыли массы полимеров и их температурные зависимостиб) впервые определены скорости образования газообразных продуктов и расходования кислорода при обработке полимеров в плазме и ее потоковом послесвечении. На основе этих данных установлено, что основным травящим агентом является кислород, наиболее вероятно^в виде атомов.

5. Найдено, что взаимодействие полимера с плазмой приводит к изменениям ее параметров и, как следствие, к изменениям скоростей взаимодействия (эффект загрузки), т. е. плазма и полимер представляют собой единую самосогласованную систему. Предложено качественное объяснение этого эффекта.

Практическая ценность. Результаты и выводы, полученные в работе, могут использоваться при выборе оптимальных условий модифицирования поверхности полимерных материалов в плазме воздуха, а таже для расчетов параметров плазмы и кинетики протекающих в ней реакций при моделировании режимов работы плазмохимических реакторов.

Публикации и апробация работы. По результатам работы опубликованы 3 статьи и тезисы восьми докладов. Основные положения, результаты и выводы докладывались и обсуждались на II международном симпозиуме по теоретической и прикладной плазмохимии — «ISTAPC-95» (Иваново, 1995), на 9 международной конференции молодых ученых по химии и химической технологии (Москва, РХТУ, 1995 г. г.), на постоянно действующем семинаре по получению, исследованию и применению неравновесной плазмы (Москва, ИНХС им. А. В. Топчева РАН, 1995), на II конгрессе химиков-текстильщиков колористов (Иваново, 1996) на 1 региональной межвузовской конференции «Актуальные проблемы химии, химической технологии и химического образования «Химия-96» (Иваново, 22−26 апреля 1996, ИГХТА) и на ежегодных научно-технических конференциях преподавателей и сотрудников ИГХТА 1994,1995.

Структура и объем диссертации

Диссертационная работа состоит из введения, 6 глав, выводов и библиографии. Общий объем диссертации составляет 138 страниц, включая 6 таблиц и 32 рисунка.

Список литературы

содержит 171 наименование.

Основные результаты и выводы.

1. Исследованы физико-химические характеристики плазмы положительного столба тлеющего разряда в воздухе в диапазоне давлений 30−300 Па и токов разряда 20−110 мА. Измерены: напряженность электрического поля, 'концентрации молекул N0, потоки положительных ионов на стенку, интенсивности излучения линий атомарного кислорода и полос 2+ системы молекул азота. На основе этих данных показано, что колебательные уровни (У=0−4) состояния ^(С^Пц) заселяются электронным ударом из колебательных уровней основного состояния молекул азота, а дезактивируются излучательно, что позволило определить: а) эффективную колебательную температуру (заселенности нижних колебательных уровней) молекул ^(Х'Ео-1″) — б) температуру газав) концентрацию атомов 0(Р) по отношению интенсивностей излучения линии 01 (Зр3Р->Зз38) и полосы ЩС3Пи, У=0 -^В3П", У=2).

2. Проанализированы процессы, влияющие на формирование функции распределения электронов по энергиям. Показано, что таковыми являются столкновения электронов с молекулами N2 и О2 в основном электронно-колебательном состоянии, приводящих к ионизации, диссоциации и возбуждению электронно-колебательных состояний, а также сверхупругие столкновения электронов с колебательно-возбужденными молекулами азота в основном электронном состоянии. Соударения электронов с другими компонентами плазмы, такими, как молекулы N0, атомы азота и кислорода, электронно-возбужденные состояния молекул N2 и 02, не влияют на формирование ФРЭЭ ввиду малости их концентраций.

3. Проанализированы механизмы формирования неравновесных распределений молекул М2(Х1Е8+) и 02(Х3Е8″) по колебательным уровням в плазме воздуха. Найдено, что заселение колебательных уровней молекул азота происходит преимущественно прямым электронным ударом и в реакции N0 + >Т (48) —>¦ 1М2(Х, У=5,6) + 0(3Р) с последующим перераспределением колебательных квантов в процессах У-У обмена. В отличие от плазмы азота, дезактивация колебательных уровней обусловлена^ основном, У-Т релаксацией на атомах 0(3Р), а не на молекулах N2. Образование молекул N0 за счет реакций КВМ N2 с атомами 0(3Р) слабо влияет на распределение молекул по колебательным уровням. Формирование колебательных распределений молекул кислорода определяется^в основном, накачкой их электронным ударом при дезактивации в процессах У-Т релаксации на атомах кислорода.

4. Предложена кинетическая модель, которая при заданных значениях газовой температуры и величины ЕЛЧ позволяет рассчитать стационарные концентрации нейтральных компонентов плазмы воздуха в согласии с опытами, а так же скорости их образования и гибели.

5. Получены систематические данные о кинетике травления полимеров на основе полиэтилентерефталата: а) измерены скорости убыли массы полимеров и их температурные зависимостиб) определен состав и скорости образования газообразных продуктов и расходования кислорода при обработке полимеров в плазме воздуха и ее потоковом послесвечении. На основе этих данных установлено, что основным травящим агентом является кислород, наиболее вероятно в виде атомов.

6. Показано, что появление продуктов травления полимера в газовой фазе приводит к изменениям физико-химических характеристик плазмы. Существует обратная отрицательная связь между скоростью травления и скоростями генерации активных компонентов плазмы. Предложено качественное объяснение этому эффекту.

Показать весь текст

Список литературы

  1. Технологическое применение низкотемпературной плазмы /Р.Оулет. М. Барбье, П. Черемиссинофф. Пер. с англ. М.: Энергоиздат, 1983. — 144 с.
  2. Прогресс текстильной химии / Под ред. проф. Б. Н. Мельникова. -М.: Легпромбытиздат, 1989.-240 с.
  3. .Н., Блиничева И. Б., Максимов А. И. Перспективы применения плазменной технологии в текстильной промышленности. Обзорная информация. М.: ЦНИИЛегпром, 1985.-47 с.
  4. .Д., Максимов А. И., Мельников Б. Н. Место плазмохимической обработки в технологических процессах отделки текстильных материалов // В кн.: Новая техника и технология отделочного производства,-Иваново, 1984, — С.20−23.
  5. Wertheimer M.R., Thomas H.R., Perri M.J., Klembtrg-Sapieha J.E., Martinu L. Plasmas and polymers: From laboratory to large scale commercialization // Pure and Appl. Chem.- 1995.-V.68, № 5.- P.1047−1054.
  6. A.B., Потапов B.K. Плазмохимическая модификация поверхности полимерных материалов // Прикладная физика.-1995.-Вып.З-4.-С.14−21
  7. А.И., Горберг Б. Л., Титов В. А. Возможности и проблемы плазменной обработки тканей и полимерных материалов // Текстильная химия. 1992. — № 1, — С. 101−117.
  8. SYMPOSIUM'97″.12−14 May, 1997, Frankfurt am Main, Germany. Blok 5.1: Plasma Finishing. Possibilities and Processes Today.-P.10−17.
  9. А.И. Задачи исследований плазменной обработки тканей и пленок // Всесоюзный семинар «Теория и практика плазмохимической обработки тканей и полимерных пленок», Иваново, 20−22 ноября 1991 г.: Тезисы докл.-Иваново, 1991.-С.4−6.
  10. Cross J.H., LeMay M.W., McCluce D.J. Texturing of poly (ethylene terephthalate) film surfaces by sputter etching // J.Vac. Sei. Technol. 1985.-V. A3, № 3.- P.495−498.
  11. Friedrich I., Cahde I. Untersuchungen zur Plasmaatzung von Polymeren. Teil II: Einflu? der Plasmaparametr auf die Albougeschwindigkeit und die Freileguno ubermolekularer Polymerstrukturen // Acta Polymerica.- 1980, — Bd.31, № 1, — S.52−58.
  12. Hansen R.H., Pascole J.V., De Benedictis Т., Rentzepis P.M. Effect of Atomic Oxygen on Polymers// J. Polymer Sei: Part A.- 1965.-V.3.-P.2205−2214.
  13. Lawton F.L. Oxidation of polymers by radiofrequency plasma // J. Polym. Sei. Part AI -1972.-V.10, № 5, — P.1857−1859.
  14. Poll H.-U., Meichsner J. Plasmamodifizierung von Polymeroberlachen. I. Plasma -Polymer Wechselwirkung // Acta Polymerica.-1980.-B.31, No 12, — S.757−766.
  15. JI.В. Разработка эффективных методов плазменной активации текстильных материалов: диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук, — Иваново, Ивановский химико-технологический институт, 1990, — 191 с.
  16. Yasuda H. Plasma for modification of polymers // J. Macromol. Sei. Chem.- 1976.- V. A10, № 3, — P.383−420.
  17. Friedrich I., Kuhn G., Cahde I. Untersuchungen zur Plasmaatzung von Polymeren. Teil I: Strukturanderungen von Polymeren nach Plasmaatzung // Acta Polymerica, 1979, Bd.30, № 8, s.470−477.
  18. Л.Е., Лебедев E.B. Влияние природы рабочего газа и концентрации электронов плазмы безэлектродного высокочастотного разряда в методике травления полимеров.-Высокомолекулярные соединения, 1973, T. A15, № 7, с.1674−1678.
  19. Влияние степени кристалличности полимеров на скорость их деструкции в плазме высокочатотного разряда./ Ю. С. Липатов, Л. Е. Безрук, Е. В. Лебедев, Ю. П. Гомза // Высокомолекулярные соединения, 1974, т. Б16, № 5, с.328−329.
  20. Semionescu C.I., Macoveanu M.M., Olaru N. Wirkung electricher HochfrequenzEntladungen auf Cellulose-, Polyester- und Polypropylenfasen// Acta Polymerica, 1979, Bd.30,№ 5,s.241 -245.
  21. E.B., Рыбкин B.B., Терехина E.A., Титов В. А. Кинетические закономерности травления полиэтилентерефталата в плазме кислорода // Химия высоких энергий. -1994, — Т.28, № 5, — С. 422−425.
  22. М.Г., Марусин В. В. Нанесение покрытий, травление и модифицирование полимеров с использованием низкоэнтальпийной неравновесной плазмы: Обзор / Новосибирск: Ин-т теплофизики Сиб. Отделения РАН, 1993.- 107 с.
  23. Е.В., Рыбкин В. В., Терехина Е. А., Титов В. А. Вероятность и константа скорости химического взаимодействия атомарного кислорода с пленкой полиэтилентерефталата// Химия высоких энергий. -1994, — Т.28, № 4, — С.359−360.
  24. В.В., Титов В. А., Кувалдина Е. В., Терехина Е. А., Серова Н. Ю. Кинетические закономерности травления ткани на основе полиэтилентерефталата в активном кислороде. II. Послесвечение плазмы кислорода// Химия высоких энергий.-1995.-Т.29,№ 3.-С.219−222.
  25. В.П., Максимов А. И. Травление полимеров в низкотемпературной плазме //t
  26. Применение низкотемпературной плазмы в химии. Под ред. Л. С. Полака. М.: Наука, 1981. — С.135 — 169.
  27. В.В., Титов В. А., Кувалдина Е. В., Терехина Е. А. Кинетические закономерности травления ткани на основе полиэтилентерефталата в активном кислороде. I. Воздействие плазмы кислорода // Химия высоких энергий.- 1995, — Т.29, № 2, — С.133−136.
  28. А.И., Титов В. А. Некоторые вопросы теории плазмохимических реакторов для обработки тканей и полимерных пленок//Текстильная химия.-1993.-№ 2(4).- С.36−45.
  29. В.М.Менагаришвили, С. Д. Менагаришвили, А. И. Максимов, В. И. Светцов Кинетика деструкции полимеров в низкотемпературной кислородной плазме // Низкотемпературная плазма: Межвуз. сборник, — Казань: КАИ, 1983, — С.75−80.
  30. В.М. Кинетика и механизм взаимодействия активного кислорода с пленками полимеров: Диссертация на соискание ученой степени канд. хим. наук,-Иваново, Ивановский хим.-технол. институт, 1990.- 186 с.
  31. В.В., Менагаришвили С. Д., Максимов А. И., Менагаришвили В. М. Тепловые эффекты при действии активированного кислорода на поверхность полиэтилентерефталата/ЛГеплофизика высоких температур,-1994.-Т.32, № 6, — С, 955−957.
  32. С.Д., Бровикова И. Н., Рыбкин В.В. Вероятности гетерогенной гибели и тепловые эффекты при взаимодействии атомов кислорода с пленками ПВХ
  33. Международный симпозиум по теоретической и прикладной плазмохимии. Рига, 2427 сентября 1991 г. Тезисы докладов, — Рига, — 1991.-с.285−287.
  34. А.Н. Калориметрия гетерогенных плазмохимических процессов // Труды ИМ РАН, — Ярославль: ИМ РАН, 1992, — с.142−149.
  35. Lamontagne В., Wrobel А.М., Jalbert G., Wertheimer M.R. Large-area microwave plasma etching of polyimide // J. Phys. D.: Appl. Phys.- 1987, — V.20, № 7, — P.844−850.
  36. Lin Т.Н., Belser M., Tzeng Y. Pulsed micro wave plasma etching of polymers in oxygen and nitrogen for microelectronic applications // IEEE Transactions on Plasma Science.- 1988.-V.16, № 6, — P.631−637.
  37. В.В., Кувалдина Е. В., Любимов В. К. Сравнительный анализ травления полиимидной пленки в плазме О? и смеси O2-CF4 // Химия высоких энергий.- 1993.-Т.27, № 1.- С.83−87.
  38. Е.В., Любимов В. К., Рыбкин В. В. Константа скорости и вероятность взаимодействия атомарного кислорода с полиимидной пленкой // Химия высоких энергий. -1992.- Т.26, № 5, — С. 475−478.
  39. Е.В., Любимов В. К., Максимов А. И., Рыбкин В. В. Исследование температурных зависимостей скоростей травления полиимидной пленки в плазме кислорода//Химия высоких энергий.-1990.- Т.24,№ 5.- С.471−474.
  40. А.Н., Мудров Е. В. Тепловая неустойчивость плазмохимического травления //Труды ИМАН СССР. Материалы докладов ежегодной общеинститутской конференции «Современные проблемы микроэлектроники». Ярославль.: ИМАН СССР, 1991.-С.75−81.
  41. С.Д., Рыбкин В. В. Кинетические закономерности травления пластифицированного поливинилхлорида в плазме кислорода и ее потоковом послесвечении // Химия высоких энергий, — 1994, — Т.28, № 2, — С. 187−188.
  42. С.Н., Гриневич В. И., Ильин И. Ю., Чеснокова Т. А. Воздействие кислородной плазмой на поверхность полиамидимидной пленки // Химия высоких энергий, — 1991, — Т.25, № 2, — С.171−175.
  43. С.FI., Гриневич В. И., Чеснокова Т. А. Основные закономерности разложения полимеров в низкотемпературной кислородной плазме// Химия высоких энергий, — 1996, — Т. ЗО, № 4, — С.304−308.
  44. Day М., Wiles D.M. Photochemical decomposition mechanism of poly (ethyleneterephthalate) // J. Polym Sei.: Polym. Letters.- 1971.-V.9, № 9, — P.665−669.f
  45. Stephenson C.V., Lacey J.C., Wilcox W.S. Ultraviolet irradiation of plastics.III. Decomposition products and mechanisms // J. Polym Sei.- 1961.-V.55, — P.477−488.
  46. Wakida T, Takeda K., Tanaka I., Takagishi T. Free rdicals in cellulose fibers treated with low temperature plasma // Tex. Res. J.- 1989, — V.59, № 1, — P.49−53.
  47. Wakida T, Takeda K., Kawamura H., Tanaka I., Takagishi T. ESR spectra of fibers treated with low temperature plasma// Chem. Express.- 1987.- V.2, № 11.- P.711−714.
  48. Poll H.-U., Kleemann R., Meichsner J. Plasmamodifizierung von Polymtroberflachen.II. Entstehund freier Radikale durch Einwirkung einer Glimmentladung // Acta Polym.- 1981.-Bd.32,H3.-S.139−143.
  49. Ю.И., Фенин B.A., Чеголя A.C. Образование активных центров примодифицировании волокон газовым разрядом // Хим. волокна, — 1989.-№ 1, — С. 35.
  50. Friederich J., Loeschcke J., Frommelt H., Reiner Н., Zimmermann H., Lutgen P. Aging and degradation of poly (ethylene terephthalate) in an oxygen plasma // Polym. Degrad. and Stab.-1991.- V.31, № 1, — P.97−117.
  51. Анализ поверхности методами оже- и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии: Пер. с англ. Под ред. Д. Бриггса и М. П. Сиха, — М.: Мир, 1987.- 600 с.
  52. Yasuda Н., Marsh H.S., Brandt S., Reitley C.N. ESCA study of polymer surfaces treated by plasma//! Polym. Sei.: Polym. Chem.- 1977,-V.15.-P. 991−1019.
  53. Hirotsu T. Incorporating nitrogen onto the surface of polymer fabrics by N2 and air plasma // Text. Res. J. 1985, — V.55, № 5, — P.323−324.
  54. В.И., Максимов А. И., Рыбкин B.B. Исследование действия низкотемпературной плазмы на поверхность полиэтилена // Химия высоких энергий.-1982.-Т.16, № 6.- С.547−549.
  55. В.И., Максимов А. И. Воздействие низкотемпературной кислородной плазмы на докозан // Химия высоких энергий, — 1982.-Т.16, № 1, — С.76−79.
  56. Self-consistent analysis of low temperature oxygen plasma and processes of its interaktion with some polymer materials / V.V.Rybkin, A.B.Bessarab, E.V.Kuvaldina, A.I.Maximov, V.A.Titov // Pure and Appl. Chem.-1996.-Y.68, № 5.-P.1041−1045.
  57. A.H., Максимов А. И., Василец B.H., Менагаришвили В. М. О фотоокислительной деструкции ПЭ и ПВХ при одновременном действии ВУФ-излучения и активного кислорода// Химия высоких энергий.-1989.-Т.23, № 3.-С.286−287.
  58. А.И., Рыбкин В. В., Кувалдина Е. В. Влияние химически реагирующих поверхностей на окислительную деструкцию полиимида в неравновесной плазме // Химия высоких энергий.-1995.-Т.29, № 1.-С.60−62.
  59. У. Микролитография: В 2-х ч. Ч.2: Пер. с англ.- М.: Мир, 1990, — 632 с.
  60. Ю.А., Лебедев Ю. А., Полак Л. С. Методы контактной диагностики в неравновесной плазмохимии//М.: Наука. 1981.-143 С.
  61. Mazek К., Ruzicka Т., Laska L. Electron collisions rates in oxygen glow discharge// Czech.J.Phys.-1978.-B28-№ 4.-P.1321−1334.
  62. Lawton S.A., Phelps A.V. Excitation of the b’Z+g state of 02 by low electrons// J.Chem.Phys.-1978.-V.69, № 3.-P. 1055−1068.
  63. Р.Ш., Кочетов И. В., Певгов В. Г. Анализ процессов взаимодействия электронов с молекулой кислорода// Препринт № 169.-М.:ФИАН СССР.-1977.-27 С.
  64. Kajita S., Ushiroda S., Kondo V. Influence of the dissociation process of oxygen on the electron swarm parameters in oxygen// J.Appl.Phys.-1990.-V.67, № 9, — P.4015−4023.
  65. А.И., Менагаришвили B.M., Рыбкин В. В. Анализ функций распределения электронов по энергиям, сечений и коэффициентов скоростей процессов с участием электронов в плазме кислорода// Физика плазмы, — 1981, — Т.7, В.2, — С.289−295.
  66. И.Н., Рыбкин В. В., Бессараб А. Б., Шукуров А. Л. Кинетические характеристики диссоциации молекул кислорода в положительном столбе разряда постоянного тока// Химия высоких энергий.-1997.-Т.31,№ 2.-С. 146−148.
  67. Gousset G., Ferreira C.M., Pinheiro M., Sa P.A., Touzeau M., Vialle M., Loureiro J. Electron and heavy-particle kinetics in low pressure oxygen positive column// J.Appl.Phys.- 1991.-V.21,№ 3.-P.290−300.
  68. А.Б., Рыбкин В. В., Максимов А. А. Кинетическая модель процессов образования и гибели атомов 0(JP) и молекул (^(а'Д g) в положительном столбе тлеющего разряда в кислороде// Химия высоких энергий, — 1994, — Т.28,№ 1.-С.73−76.
  69. В.В., Бессараб А. Б., Максимов А. И. Численное моделирование положительного столба тлеющего разряда в кислороде// Теплофизика высоких температур, — 1995, — Т. ЗЗ, № 2, — С.185−190.
  70. В.В., Бессараб А. Б., Максимов А. И. Анализ источников нагрева газа в положительном столбе тлеющего разряда в кислороде// Теплофизика высоких температур.- 1996, — Т.34, № 2.-С.181−186.
  71. Gousset G., Panafieu P., Touzeau M., Vialle M. Experimental study of DC oxygen glow discharge by V.U.V. absorption spectroscopy// Plasma Chem. Plasma Proc.-1987.-V.7, № 4,-P.409−427.
  72. И.Н., Рыбкин В. В. Температурная зависимость вероятности .'.-. гетерогенной рекомбинации атомов 0(3Р) на поверхности кварцевого стекла// Химия высоких энергий, — 1993.-Т.27, № 4.-С.89−92.
  73. А.И., Рыбкин В. В. Реакции образования и гибели метастабильного состояния 02(b’lTJ в положительном столбе тлеющего разряда в кислороде// Журн.прикл.спектроскопии.-1982.-Т.37, В. 1.-С.33−38.
  74. Л.Э., Янковский В. Я. Экспериментальное исследование процессов с участием метастаб ильных атомов и молекул в тлеющем разряде в кислороде// Химическая физика.- 1984,-Т.З, № 11.- С.1561−1571.
  75. К.С., Ковалев К. С., Лопаев Д. В., Рахимов А. Т., Рахимова Т. В. О роли колебательно-возбужденного озона в образовании синглетного кислорода в кислородной плазме// Физика плазмы, — 1992,-Т. 18, В.2,-С. 1606−1616.
  76. Cacciatore M., Capitelli M., Dilonardo M. Non equilibrium vibrational population and dissociation rates of oxygen electrical discharge// Beitr.Plasmaphys.- 1978.- Bd.18, H.5.-S.279−299.
  77. Lopaev D.V. Vibrationally excited ozone in oxygen dc discharge, its influence on the disharge kinetics// 2-й Международный симпозиум по теоретич. и прикл. плазмохимии. Материалы симпозиума. Иваново.-1995.- С.83−84.
  78. И.И., Темчин С. М. Кинетика реакций синглетного кислорода в газовой фазе/ Химия плазмы. Под ред. Б. М. Смирнова. М.: Энергоатомиздат, — 1990.- В.16.-С.39−66.
  79. Н.Л., Сон Э.Е. Энергетическое распределение и кинетические коэффициенты электронов в газах в электрическом поле/ Химия плазмы. Под ред. Б. М. Смирнова. М.: Атомиздат, — 1980.- В.7.-С.35−75.
  80. Н.Л., Кончаков A.M., Сон Э.Е. Функция распределения электронов и кинетические коэффициенты азотной плазмы. I. Невозбужденные молекулы// Физика плазмы.- 1978, — Т.4, № 1, — С.169−175.
  81. Н.Л., Кончаков A.M., Сон Э.Е. Функция распределения электронов и кинетические коэффициенты азотной плазмы. II. Колебательно-возбужденные молекулы// Физика плазмы.- 1978, — Т.4, № 5, — С.1182−1186.
  82. Кочетов • И.В., Певгов В. Г., Полак Л. С., Словецкий Д. И. Скорости процессов, инициируемых электронным ударом. Азот и углекислый газ./ Плазмохимические процессы. Под ред. Л. С. Полака. М.: Ин-т нефтехимического синтеза АН СССР.-1979.-С.4−28.
  83. Д.И. Словецкий. Влияние электронного удара и электронно-возбужденных состояний на реакции распада молекул/ Моделирование и методы расчета физико-химических процессов в низкотемпературной плазме. Под ред. JI.C. Полака. М.:Наука.-1974, — С.3−47.
  84. Ю.А., Полак J1.C. Энергетическое распределение электронов в низкотемпературной плазме/ Химия плазмы. Под ред. Б. М. Смирнова. М.: Атомиздат.-1975.- В.2, — С.161−198.
  85. Ferreira С.M., Loureiro J. Electron excitation rates and transport parameters in high-frequency N2 discharges// J.Appl.Phys.-1989.- V.22.- P.76−82.
  86. Loureiro J. Nitrogen dissociation rate and N (4S) densities in N2 glow discharge// Chem.Phys.-1991.- V.157, № 1−2, — P.157−168.
  87. JI.C., Словецкий Д. И., Урбас А. Д., Федосеева T.B. Релаксационные измерения и механизмы возбуждения электронно-колебательных уровней молекул в тлеющем разряде в азоте/ Химия плазмы. Под ред. Б. М. Смирнова. М.: Атомиздат, — 1978.- В.5.-С.242−279.
  88. Д.И. Механизмы химических реакций в неравновесной плазме/ М.: Наука,-1980, — 310 С.
  89. В. Н. Савинов С.Ю., Соболев Н. Н. Механизмы формирования распределений электронно-возбужденных молекул по колебательно-вращательным уровням в газовом разряде//Труды ФИАН СССР, — М.: Наука.- 1985, — Т.158.-С.6−85.
  90. Неравновесная колебательная кинетика./ Под ред. М.Капителли. М.: Мир.-1989.-392 с.
  91. Д.И., Тодесайте Р. Д. Исследование механизма разложения молекул азота в тлеющем разряде. I. Экспериментальное исследование разложения азота в тлеющем разряде// Химия высоких энергий.- 1973.-Т.7,№ 4.- С.291−296.
  92. Г. М., Грицинин С. И., Коссый И. А. СВЧ-разряды высокого давления// Труды ФИАН СССР, — 1985.-Т.160, — С.174−203.
  93. В.Д., Фридман А. А. Физика химически активной плазмы/ М.: Наука.-1984,-415 С.
  94. Н.Д., Гуревич А. В., Милих Г. М. Искусственная ионизированная область в атмосфере/ ИЗМИР АН СССР.-1985, — 184 С.
  95. Физика и химия газовых разрядов в пучках СВЧ-волн/ Труды ИОФАН РАН. Под ред.акад.А. М. Прохорова.-1994.-Т.47, — 144 С.
  96. Александров H. JL, Высикайло Ф. И., Исламов Р. Ш. Функция распределения электронов в смеси N2−02=4:l// Теплофизика высоких температур.- 1981, — Т.19,№ 1,-С.22−27.
  97. Masek К. Electron gas in discharge plasma in air// Czech.J.Phys.-1984.-B34,№ 7.-P.655−664.
  98. В.О., Кудряшова И.В.Исследования колебательной релаксации смеси азота и кислорода с учетом ангармонизма молекул// Химическая физика.- 1990, — Т.9, № 2.-С.278−279.
  99. .Ф., Мамедов Ш. С., Осипов А. И., Шелепин А. А. О распределении колебательной энергии в газовых смесях // Теоретическая и экспериментальная химия.-1973.- Т.9, В.4, — С.460−479.
  100. А.Х., Найдис Г. В. Баланс колебательной энергии в разряде в воздухе// Теплофизика высоких температур, — 1985.- Т.23,№ 4, — С.640−646.
  101. Gordiets В., Ricard A. Production of N, О and NO in N2−02 flowing discharges//Plasma Sources Sci. and Technol.- 1993.-V.2, № 3, — P. 158−163.
  102. Gordiets В., Ferreira C.M. Surface and volume kinetics in N2/02 low pressure glow discharge// 12th International Symposium on Plasma Chemistry. Proceedings. August 21−25. University of Minnesota. USA.-1995.-V.1-P.445−450.
  103. Guerra V., Loureiro J. Self-consistent kinetic model for a N2−02 //12th International Symposium on Plasma Chemistry. Proceedings. August 21−25. University of Minnesota. USA.-1995.-V.1-P.451−456.
  104. Gordiets В., Ferreira C.M., Nahorny J., Pagnon D., Touzeau M., Vialle M. Surface kinetics of N and О atoms in N2−02 discharges// J.Appl.Phys.-1996.-V.29.- P.1021−1031.
  105. В.Н., Мицук В. Е. Скорость диссоциации молекул кислорода в импульсном СВЧ разряде в воздухе// Письма в ЖТФ.-1988.-Т.14, B.3.-C.233−235.
  106. Александров H. JL, Кончаков A.M. Диссоциация молекул кислорода в СВЧ разряде в воздухе// Письма в ЖТФ.-1990.-Т.16, В.6.- С.4−7.
  107. Huber К.Р., Herzberg G. Molecular spectra and molecular structure. IV. Constants of Diatomic Molecules. N.Y.: Litton Educational Publishing, Inc. 1979.
  108. ПЗ.Радциг A.A., Смирнов Б. М. Справочник по атомной и молекулярной физике. М.: Атомиздат, 1980. 240 с.
  109. Е.Е. Никитин, И. А. Осипов, С. Я. Уманский. Химия плазмы. Вып.15. Под ред. Смирнова Б. М. М.: Атомиздат, 1989. С.З.
  110. Kiefer J.H. Effect of V-V transfer on the rate of diatomic dissociation// J. Chem. Phys. 1972. V.57. № 5. P.1938−1956.
  111. Ю.М., Никитин E.E., Розенштейн В. Б., Уманский С. Я. Взаимодействие колебательно-возбужденных молекул с химически активными атомами// Химия плазмы:
  112. Под ред. Б. М. Смирнова., Вып.5. М.: Атомиздат, 1978. С. З—65.
  113. Л.С., Гольдберг М. Я., Левицкий А. А. Вычислительные методы в химической кинетике. М.: Наука, 1984. 280 с.
  114. Таблицы физических величин. Справочник / Под ред. И. К. Кикоина. М.: Атомиздат, 1976. С. 290.
  115. Webster Н., Bair E.J. Ozone ultraviolet photolysis. IV.02'+0(:'P) vibrational energy transfer// J. Chem. Phys.- 1972, — V.56, № 12, — P.6104−6108.
  116. Schulz G.J. Resonances in electron impact on diatomic molecules// Rev. Mod. Phys. 1973.-V.45, № 3. -P.423−484.
  117. В.В., Повч М. М., Запесочный И. П. Возбуждение двух атомных молекул при столкновениях с моноэнергетическими электронами III.Азот и окись азота (колебательные уровни и электронные состояния)// Химия высоких энергий. 1977,-Т.11, № 2.- С. 116.
  118. Ю.М., Розенштейн В. Б., Уманский С. Я. Гетерогенная релаксация колебательной энергии молекул// Химия плазмы. Под ред. Б. М. Смирнова. Вып.4. М.: Атомиздат, 1977. Вып.4. С.61−97.
  119. Pfau S., Rutsher A., Wojaczek К. Das Ahnlichkeitsgesetz fur gunsineutrale anisotherme Entladungassaulen// Beitr. Plasma Phys. 1969. Bd.9. H.4. S.333−358.
  120. И.К., Зеневич B.A. Влияние колебательного возбуждения азота на константу скорости реакции N, (V)+0—>NO+N Теоретико-информационное приближение// Химическая физика. -1984. Т.З. № 8. С.1075−1080.
  121. .М. Ионы и возбужденные атомы в плазме. М.: Атомиздат, — 1974, — 456 С.
  122. Itikawa Y., Ichimura A., Onda К., Sakimoto К., Takayanagi К. Cross sections for collisions of electrons and photons with oxygen molecules.// J.Phys.Chem.Ref.Data.-1989.- V.18, № 1,-P.23−42.
  123. Inn E.C.Y., Tanaka Y. Absorption coefficient of ozone in the ultraviolet // J. Opt. Soc. America.- 1953, — V.43, № 4, — P.329−330.
  124. Новгородов M.3., Очкин В.H., Соболев H.H. Измерения колебательных температур в ОКГ на С02// Журн. техн. физики. 1970. Т.40. В.6. С.1268−1275.
  125. Nichols R.W. Transition probabilities of aeronomically important spectra// Annales de Geophysique. 1964. V.20. № 2. P.144−181.
  126. JI.А., Кузьменко H.E., Кузяков Ю. Я., Пластинин Ю. А. Вероятности оптических переходов двухатомных молекул. М.: Наука, 1980. 320 с.
  127. Н.Е., Кузнецова Л. А., Кузяков Ю. Я. Факторы Франка-Кондона двухатомных молекул. М.: МГУ, 1984. 344 с.
  128. ПЗ.Хьюбер К. П., Герцберг Г. Константы двухатомных молекул. М.: Мир, 1984. 4.2. 386 с.
  129. Словецкий Д.И.// Моделирование и методы расчета физико-химических процессов в низкотемпературной плазме/ Под ред. Л. С. Полака. М.: Наука, 1974. С. 14. -
  130. Д.К. Оптическая актинометрия плазмы// Плазмохимия-87. 4.2. М.: ИНХС АН СССР, 1987. С.50−57.
  131. Н.И., Кувалдина Е. В., Любимов В. К., Рыбкин В. В. Анализ применимости метода малых добавок аргона для оптической диагностики плазмы кислорода, содержащей примеси СО,, СО и Н2// Журн. прикл. спектроскопии. 1991. Т.54. № 5. С.851−854.
  132. Н.Л., Высикайло Ф. И., Исламов Р. Ш. и др. Расчетная модель разряда в смеси N2:02 = 4:1 // Теплофизика высоких температур. 1981. Т. 19, № 3. С. 485−489.
  133. Drunet Н., Rocca-Serra J. Model for a glow discharge in flowing nitrogen // J. Appl. Phys. 1985. Vol. 57, № 5. P. 74−1581.
  134. A.X., Найдис Г. В. Процессы образования и гибели заряженных частиц в азот-кислородной плазме//Химия плазмы. М: Энергоатомиздат, 1987.Вып.14.С.227−255.
  135. .М. Комплексные ионы. М.: Наука, 1983.150 с.
  136. К., Томсон Р. Численное моделирование газовых лазеров. М.: Мир, 1981.515 с.
  137. Л.С., Сергеев П. А., Словецкий Д. И. Образование комплексных и атомарных ионов в тлеющем разряде //Плазмохимические реакции и процессы. М.: Наука, 1977. С, 81−107.
  138. Н.Л. Трехчастичное прилипание электрона к молекуле // УФН. 1988. Т. 154, № 2. С. 177−206.
  139. .М. Отрицательные ионы. М.: Атомиздат, 1978. 176 с.
  140. Н.Л. Отлипание электронов от ионов О" и О2″ возбужденных молекулах в газо ¦ разрядной воздушной плазме //ЖТФ. 1978, Т. 48, № 7. С. 1428−1431.
  141. Мак-Ивен М., Филлипс JI. Химия атмосферы. М.: Мир, 1978. 375 с.
  142. О.Е., Лосев С. А., Наливайко В. П. и др. Рекомендуемые данные о константах химических реакций между молекулами, состоящими из атомов N и О // Химия плазмы. М.: Энергоатомиздат, 1987. Вып. 14. С. 3−31.
  143. В.Д., Фридман А. А. Физика химически активной плазмы. М.: Наука. 1984. 415 с.
  144. Jannuzzi М.Р., Jeffries J.B., Kaufman F. Product channels of the N2(A3Iu+)+02 interaction// Chem. Phys. Lett. 1982. Vol. 87, № 6. P. 570−574.
  145. Piper L.G. The excitation of O ('S) in the reaction between N2(A3SU+) and 0(3P) // J. Chem. Phys. 1982. Vol. 77, № 5. P. 2373−2377.
  146. Taylor G.W., Setser D.W. A comparison of the reactivities of the lowest excited states of nitrogen (A3ZU+) and of carbon monoxide (а3П) // J. Amer. Chem. Soc. 1971. Vol. 93, № 19. P. 4930−4932.
  147. Ю.Б., Тележко B.M., Стоянов Д. Г. О возбуждении излучающихлсостояний С^П, и cJn" молекулы азота при парных столкновениях метаетабилей ЩА3!^) // Оптика и спектороскопия. 1990. Т. 69, № 2. С. 322−327.
  148. Clark W.G. Setser D.W. Energy transfer reactions of N2(A3ZU+) // J. Phys. Chem. 1080. Vol. 84, № 18. P.2225−2233.
  149. Dreyer J.W., Perner D. The deactivation of N2(B3ng), u=0−2 and N^a'1!^"), u=0 by nitrogen // Chem. Phys. Lett. 1972. Vol. 16, № 1. P. 169−173.
  150. Piper L.G. Quenching rate coefficients for N2(a''Eu") // J. Chem. Phys. 1987. Vol. 87, № 3. P. 1625−1629.
  151. Arnold J., Comes F.J. Photolysis of ozone in the ultraviolet region: Reactions of O ('D), 02('Ag) and 02* // Chem. Phys. 1980. Vol. 47, № 1. P. 125−130.
  152. O’Keefe A., Mauclaire G., Parent D., Bowers M.T. Product energy disposal in the reaction N+(3P) with 02(X3Z) // J. Chem. Phys. 1986. Vol. 84, № 1. P. 215−219.
  153. А.Н., Ибрагимов Л. Б., Кулагин Ю. А., Шелепин Л. А. Механизмы электронной релаксации в атомно-молекулярных средах // Химия плазмы. М.: Энергоатомиздат, 1987. Вып. 14. С. 102−127.
  154. Yaron М., Von Engel A., Vidaud Р.Н. The collisional quenching of 02*(lAg) by NO and C02 // Chem. Phys. Lett. 1976. Vol. 37, № 1. P. 159−161.
  155. А.И., Кулагин Ю. А., Шелепин Л. А., Ярыгина В. Н. Анализ скоростей процессов с участием молекул синглетного кислорода // Квантовая электрон. 1989. Т. 16, № 5. С. 892−904.
  156. O’Brien R.J., Myers G.H. Direct flow measurement of 02(b1Zg+) quenching rates // J. Chem. Phys. 1970. Vol. 53, № 10. P. 3832−3835.
  157. Kenner R.D., Ogryzlo E.A. Deactivation of 02(A3Zu+) by 02, О and Ar // Intern. J. Chem. Kinet. 1980. Vol. 12, P. 502−508.
  158. .М. Возбужденные атомы. M.: Энергоатомиздат, 1982. 232 с.
  159. D.L., Сох R.A., Crutzen P.J. et al. Evaluated kinetic and photochemical data for atmospheric chemistry: Supplement 1//J. Phys. Chem. Ref. Data. 1982.Vol. 11,№ 2. P.327−496.
  160. А.Б. Самосбгласованный анализ физико-химических процессов в плазме кислорода: диссертация, на соискание степ. канд.хим.наук.- Иваново, Ивановская государственная химико-технологическая академия, 1996.- 177 с.
  161. Derwent R.G., Thrush В.А. Measurement on 02 ('Ag) and 02 ('?/) in discharge flow system.- Trans. Faraday Soc., 1971, № 7, p.2036−2043.
  162. Izod T.P.J., Wayne R.P. The reaction and deactivation of 02 ('Х^).- Proc. Roy. Soc., 1968, A308, p.81−94.
  163. Arnold S.J., Cubo M., Ogruzlo E.A. Chemical reactions in electrical discharge. In: Adv. Chem. Series (77)/ Am. Chem. Soc.- Washington: D.C., 1968, p.133−147.
  164. Физические величины: Справочник/ Под ред. И. С. Григорьева, Е. З. Мейлихова. VI.: Энергоатомиздат, 1991. — 1232 с.
  165. Piper L.G., Caledonia G.E., Kennelaly J.P. Rate constants for deactivation of N2 (A3ZU+, V'=0,1) by О // J. Chem. Phys., 1981. Vol.75, № 6. P.2847−2853.
Заполнить форму текущей работой

Пора сдавать?