Рентгеновские методы дифракции, рефлектометрии и фазового контраста в исследовании приповерхностных слоев
Диссертация
Автор благодарен член-корреспонденту РАН А. М. Асхабову за поддержку работы, профессору В. А. Бушуеву за научные консультации и помощь на всех этапах выполнения работы, профессору В. И. Пунегову за научные консультации по вопросам теории рассеяния рентгеновского излучения в реальных кристаллах и обсуждение результатов. Автор также признателен А. А. Ломову за помощь в приобретении… Читать ещё >
Содержание
- ГЛАВА 1. МЕТОДЫ ВЫСОКОРАЗРЕШАЮЩЕЙ РЕНТГЕНОВСКОЙ ДИФРАКТОМЕТРИИ, РЕФЛЕКТОМЕТРИИ, ФАЗОВОГО КОНТРАСТА И ОБЪЕКТЫ ИССЛЕДОВАНИЯ
- 1. 1. Введение
- 1. 2. Высокоразрешающая рентгеновская дифрактометрия
- 1. 3. Метод интегральных характеристик
- 1. 4. Особенности формирования кривых трехкристальной рентгеновской дифрактометрии
- 1. 5. Влияние мозаичности образцов и дисперсии излучения на кривые трехкристальной рентгеновской дифрактометрии
- 1. 6. Диффузия в кристаллах
- 1. 7. Рентгеновская диагностика ионной имплантации и отжига
- 1. 8. Структурные изменения, происходящие в полупроводниковых монокристаллах при лазерным облучении
- 1. 9. Интегральные и дифференциальные кривые рентгеновской рефлектометрии
- 1. 10. Фазоконтрастные изображения
- 1. 11. Исследования структуры и состава нефтяных дисперсных систем
Список литературы
- Джеймс Р. Оптические принципы дифракции рентгеновских лучей. — М.: ИЛ, 1950. 567 с.
- Иверонова В.И., Ревкевич Г. П. Теория рассеяния рентгеновских лучей. -М.: МГУ, 1978.278 с.
- Пинскер З.Г. Рентгеновская кристаллооптика. М.: Наука, 1982. 392с.
- Афанасьев A.M., Александров П. А., Имамов Р. И. Рентгенодифракционная диагностика субмикронных слоев. М.: Наука, 1989. 152 с.
- Бушуев В.А., Кютт Р. Н., Хапачев Ю. П. Физические принципы рентгено-дифрактометрического определения параметров реальной структуры многослойных эпитаксиальных пленок. Нальчик.: К-Б университет, 1996. 180 с.
- Боуэн Д.К., Таннер Б. К. Высокоразрешающая рентгеновская дифрактометрия и топография. СПб.: Наука, 2002. 274 с.
- Takagi S. Dynamical theory of diffraction applicable to crystals with any kind of small distortion//Acta Cryst. 1962. V.15.№ 12. P. 1311−1312.
- Taupin D. Theorie dynamique de la diffraction des rayons X par les cristaux de-formes // Bull. Soc. Franc. Miner. Crist. 1964. V.87. № 3. P. 469−511.
- Под ред. A.M. Елистратова. Прямые методы исследования дефектов в кристаллах. М.: Мир, 1965. 351 с.
- Kyutt R.N., Petrashen P.V., Sorokin L.M. Strain profils in Ion-doped silicon obtained from X-ray rocking curves // Phys. Stat. Sol. (a). 1980. V. 60. № 2. P. 381−389.
- Бушуев B.A. Статистическая динамическая теория дифракции рентгеновских лучей в несовершенных кристаллах с учетом углового распределения интенсивностей // Кристаллография. 1989. Т. 34. В.2. С. 279−287.
- Pavlov К.М., Punegov V.I. The equatios of statistics dinamical theory of X-ray diffraction for deformed crystals // Acta Cryst. 1998. V. A54. № 1. P.214−218.
- Кютт P.H. Идентификация поверхностных и объемных дефектов по интенсивности диффузного рассеяния // ЖТФ. 1987. Т. 37. В. 11. С. 178−180.
- Ломов А.А., Казимиров А. Ю., Завьялова А. А. Влияние длины волны на формирование спектров в трехкристальной рентгеновской дифрактометрии почти совершенных кристаллов // Кристаллография. 1984. Т. 29. В. 1. С. 177 178.
- Шульпина И.Л. Рентгеновская дифракционная топография.: Этапы и тенденции развития // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2000. № 4. С. 3−18.
- Pavlov К., Jamieson I., Jakovidis G., Petrakov A., Punegov V. Sulphur-passivated GaAs investigation using high resolution x-ray diffractometry. // Surface Review and Letters. 2003. V.10. № 2&3. P.533−536.
- Кютт P.H., Ратников B.B. Наблюдение динамических эффектов в диффузном рассеянии при Лауэ-дифракции рентгеновских лучей //Металлофизика. 1985. Т. 7. № 1. С. 36−41.
- Александров П.А., Афанасьев A.M., Мелконян М. К. Теория рассеяния рентгеновских лучей кристаллом с дефектами поверхности //Кристаллография. 1981. Т. 26. В. 6. С. 1275−1281.
- Любимов А.Г. Модель мозаичного кристалла с динамически рассеивающими блоками//Кристаллография. 1991. Т. 36. В. 5. С. 1102−1108.
- Nemiroff М., Speriosu V.S. X-ray study of low-temperature annealed arsenic-implanted silicon//J. Appl. Phys. 1985. V. 58. № 10. P. 3735−3738.
- Бушуев B.A. Влияние дефектов структуры на угловое распределение рентгеновской дифракции в кристаллах с нарушенным поверхностным слоем //ФТТ. 1989. Т. 31. В. 11. С. 70−78.
- Iida A., Kohra К. Separate measurements of dynamical and kinematical X-ray difractions from silicon crystals with a triple crystal diffractometer // Phys. Stat. Sol. (a), 1979. V. 51. № 2. P. 533−542.
- Казимиров А.Ю., Ковальчук M.B., Кон В.Г. Усиление псевдопика в спектрах трехкристальной рентгеновской дифрактометрии за счет теплового диффузного рассеяния // Кристаллография. 1987. Т. 32. В. 6. С. 1360−1364.
- Ломов А.А., Шитов Н. В., Бушуев В. А., Баранов А. И. Структурный фазовый переход в приповерхностном слое монокристаллов дейтеросульфата цезия // Письма в ЖЭТФ. 1992. Т. 55. В. 5. С.297−300.
- Iida A. Applications of X-ray triple crystal diffractometry to studies on the diffusion-induced defects in silicon crystals // Phys. Stat. Sol. (a). 1979. V. 54. № 2. P. 701−706.
- Ратников B.B., Сорокин Л. М. Экспериментальное наблюдение динамических эффектов при диффузном рассеянии рентгеновских лучей // ФТТ. 1984. Т. 26. В. 11. С.3445−3447.
- Dederichs Р.Н. Diffuse scattering from defect clusters near Bragg reflections. //Phys. Rev. B. 1971. V. 4. № 4. P. 1041−1050.
- Dederichs P.H. Dynamical scattering theory for crystals with point defects
- Phys. Stat. Sol. (a). 1967. V. 23. № 1. P. 377−386.
- Кривоглаз M.A. Дифракция рентгеновских лучей и нейтронов в неидеальных кристаллах. Киев: Наук, думка, 1983. 407 с.
- Dederichs Р.Н. Effect of defect clustering on anomalous X-ray transmission //Phys. Rev. B. 1970. V. l.№ 4. P. 1306−1317.
- Dederichs P.H. The theory of diffuse X-ray scattering and application to the study of point defects and heir clusters // J. Phys. F. 1973. V. 3. № 2. P. 471−496.
- Ковьев Э.К., Бублик B.T., Постолов В.Г. Диффузное рассеяние рентгеновских лучей микродефектами в кремнии, полученном по методу Чохральского
- ФТТ. 1985. Т. 27. В. 4. С. 1246−1248.
- Ковьев Э.К., Ратников В. В., Сорокин Л. М. Исследование дефектов распада в кристаллах германия, легированных мышьяком, методом трехкристаль-ного спектрометра//ФТТ. 1981. Т. 23. В. 6. С. 1626−1629.
- Ковьев Э.К., Ратников В. В., Сорокин Л. М. Распределение диффузного рассеяния в близи брэгговских отражений и его особенности при дифракции рентгеновских лучей монокристаллами Ge с примесью As // ФТТ. 1984. Т. 26.1. В.7. С. 2155−2158.
- Ковьев Э.К., Ратников В. В., Мосина Г. Н. Диффузное рассеяние рентгеновских лучей на дефектах в монокристаллах германий-литий // ФТТ. 1986. Т. 28. В. 12. С. 3734−3736.
- Александров П.А., Афанасьев A.M. Диффузные пики от объемных дефектов в методе трехкристального рентгеновского спектрометра //Кристаллография. 1984. Т. 29. В. 5. С. 1019−1021.
- Кютт Р.Н. Брэгговская дифракция рентгеновских лучей в кристаллах с дислокациями //Кристаллография. 1988. Т. 33. № 4. С. 827−830.
- Олехнович Н.М. Интегральные характеристики дифракции рентгеновских лучей в монокристаллах с хаотическим распределением дислокаций //Металлофизика. 1986. Т. 8. № 1. С. 48−53.
- Ломов А.А., Бушуев В. А., Караванский В. А. Исследование шероховатостей поверхности и границ раздела пористого кремния высокоразрешающими рентгеновскими методами // Кристаллография. 2000. Т. 45. № 5. С. 915 920.
- Afanasev A.M., Kovalchuk M.V., Kovev E.K., Kohn V.G. // Phys. st. sol. (a). 1977. V. 42. № 1. P. 415−422.
- Kohn V.G., Kovalchuk M.V., Imamov R.M., Lobanovich E.F. The method of integral characteristics in diffraction studies of the surface layers of single crystals //Phys. st. sol. (a). 1981. V. 64. № 2. P. 435−442.
- Бушуев В.А., Петраков А. П. Исследование влияния лазерного отжига на структуру приповерхностных слоев ионно-имплантированного кремния методом рентгеновской дифрактометрии // ФТТ. 1993. Т. 35. № 2. С. 355−364.
- Бушуев В.А., Петраков А. П. Особенности формирования спектров трехкристальной рентгеновской дифрактометрии. Методические указания. -Сыктывкар: ИПО СыктГУ. 1997. 18 с.
- Бушуев В.А., Петраков А. П. Влияние мозаичности на спектры трехкристальной рентгеновской дифрактометрии. Монография. Ультрадисперсное состояние минерального вещества. Сыктывкар: Геопринт. 2000. С. 147−159.
- Петраков А.П. Диффузионное и ионное легирование полупроводников. Методические указания. Сыктывкар: СыктГУ. 1998. 19 с.
- Шьюмон П. Диффузия в твердых телах. М.: Металлургия. 1966. 227 с.
- Шоу Д. Атомная диффузия в полупроводниках. М.: Мир. 1975. 684 с.
- Вавилов B.C., Киселев В. Ф., Мукашев Б. Н. Дефекты в кремнии и на его поверхности. М.: Наука. 1990. 216 с.
- Комаров Ф.Ф., Новиков А. П., Соловьёв B.C., Ширяев С. Ю. Дефекты структуры в ионноимплантированном кремнии. Минск.: БГУ, 1990. 319 с.
- Борисенко В.Е. Твёрдофазные процессы в полупроводниках при импульсном нагреве. Минск.: Наука и техника, 1992. 248 с.
- Петраков А.П., Голубев Е. А. Рентгенодифрактометрические исследования изменений структуры приповерхностных слоев кремния в процессе лазерной диффузии бора // ФТТ. 1998. Т. 40. № 1. С. 156−160.
- Петраков А.П., Шилов С. В., Зайнуллин Г. Г. Рентгенодифрактометриче-ские исследования зависимости изменения структуры кремния от времени термической диффузии бора // Кристаллография. 2000. Т. 45. № 6. С. 10 971 101.
- Петраков А.П., Голубев Е. А. Рентгеновская рефлектометрия фуллерено-содержащих углеродных пленок // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2000. № 9. С. 15−16.
- Parratt L.G. Surface studies of solids by total reflection of X-rays // Phys. Rev. 1954. V. 95. P. 359−369.
- Fukuhara A., Takano Y. Asymmetra X-ray Bragg reflexion and shallow strain distribution in silicon single crystals // J. Appl. Crystallogr. 1978. V. 10. № 10. P. 287−290.
- Fukuhara A., Takano Y. Deyermination of strain distribution from x-ray Bragg reflexion by silicon single crystals // Acta Crystallogr. 1977. V. A33. № 1. P. 137 142.
- Holy V., Kubena J. X-ray rocking curves on inhomogeneous surface layers on Si single crystals // Czech. J. Phys. B. 1979. V. 29. № 10. P. 1161−1172.
- Александров O.B., Кютт P.H., Алкснис Г. Г. Деформация решетки в слоях кремния, высоколегированных фосфором // ФТТ. 1980. Т. 22. В. 10. С. 28 922 896.
- Смирнов И.Н. Изменение периода кристаллической решетки кремния, вызываемые диффузией бора, мышьяка и сурьмы // ДАН СССР. 1975. Т. 221. № 2. С. 332−334.
- Павлов П.В., Баранов А. С. Дефекты, возникающие в кремнии при селективном легировании. В кн.: Труды второго всесоюзного совещания по диффузии в полупроводники. Горький. 1969. С. 99−107.
- Карманов В.Т., Хохлов А. Ф., Павлов П. В., Зорин Е. И. Влияние радиационных дефектов на диффузию примеси в кремний // ФТТ. 1977. Т. 11. В. 10. С.1871−1873.
- Young R.T., Narayan J. Laser annealing of diffusion-induced imperfections in silicon //Appl. Phys. Lett. 1978. V. 33. № 1. P. 14−17.
- Batterman B.W. X-ray integrated intensity of germanium effect of dislocations and chemical imparities // J.Appl. Phys. 1959. V. 30. № 4. P. 508−513.
- Patel J.R., Wagner R.S., Moss S. X-ray investigation of the perfection of silicon // Acta Metallyrg. 1968. V. 10. № 9. P. 759−764.
- Петраков А.П., Тихонов H.A. Изменение субструктуры кристаллов граната при лазерном облучении. Межвузовский сб. «Химия и физика твёрдого тела». Деп. НИИТЭХИУШ1161. хп-Д83. 1983. с. 52−57.
- Фистуль В.И., Павлов A.M. Лазерная имплантация примесей в кремний // ФТП. 1983. Т. 17. В. 5. С. 854−858.
- Фистуль В.И., Павлов A.M., Агеев А. П., Аронов А. Ш. Электрические и фотоэлектрические свойства лазерно-имплантированных структур // ФТП. 1986. Т. 20. В. 12. С. 2140−2144.
- Кияк С.Г. Модификация полупроводников лазерными импульсами мил-лисекундного и секундного диапазонов // Изв. АН СССР. Сер. физ. 1989 Т. 53. №З.С.417−423.
- Фистуль В.И., Павлов A.M., Леваднюк Э. Н., Михайлов В. И. Состояние ла-зерно-имплантированного кремния на границе Si-Al // ФТП. 1991. Т. 25. В. 12. С. 124−127.
- Petrakov A.P. X-ray diffractometri study of laser diffusion of A1 in Si. Abstracts. Int. meeting. Interference phenomena in X-ray scattering. Moscow. 1995. P. 26.
- Petrakov A.P. X-ray diagnosis of laser diffusion of alluminium intu silicon. -Abstracts. 3-th Int. meeting. X-ray topography and high resolution diffraction. Palermo. 1996. P. 125.
- Петраков А.П., Бушуев B.A., Рентгенодифрактометрическая диагностика лазерной диффузии алюминия в кремний. В кн.: Тезисы национальной конференции по применению рентгеновского и синхротронного излучений, нейтронов и электронов. Дубна. 1997. С. 379.
- Petrakov A.P. X-ray Diagnosis of Laser Diffusion of Copper into Silicon. Int. meeting. XTOP 98, Durham, Great Britan. 1998 r. P. 54.
- Бушуев В.А., Петраков А. П. Рентгенодифрактометрическая диагностика лазерной диффузии алюминия в кремний // ЖТФ. 2000. Т. 70. В. 5. С. 28−37
- Петраков А.П. Рентгеновская высокоразрешающая дифрактометрия лазерной диффузии примеси в кремний. В кн.: Тезисы III национальной конференции по применению рентгеновского и синхротронного излучений, нейтронов и электронов. Москва. 2001. С. 259.
- Петраков А.П. Рентгенодифрактометрическая диагностика лазерной диффузии индия в кремний // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2002. №. 8 С. 49−52.
- Антонов C. JL, Мананенков А. А., Михайлова Г. Н. и др. Селективное лазерное легирование кремния. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 1991. № 5. С. 151−153.
- Narayan J., Young R.T., Wood R.F. P-n junction formation in boron deposited silicon by laser-induced diffusion // Appl.Phys.Lett. 1979. V. 33. № 4. P. 338−340.
- Стоматов A.K., Фистуль В. И. Миграция примесей в арсениде галлия при лазерной имплантации. В кн.: Свойства легированных полупроводниковых материалов. Ин-т металлургии. 1990. С. 120−124.
- V.Holy, J.Kubena. X-ray rocking curves on inhomogeneous surface layers on Si single crystals. II Implanted layers // Czech. J. Phys. 1982. V. В 32. № 7. P. 750−766.
- Петраков А.П. Физика ядра и элементарных частиц. Методические указания. -Сыктывкар: СыктГУ. 1997. 15 с.
- Бушуев В.А., Петраков А. П. Рентгеновская дифрактометрия изменений структуры приповерхностных слоёв ионноимплантированного кремния после импульсного лазерного отжига // Письма в ЖТФ. 1992. Т. 18. В. 8. С. 77−81.
- Петраков А.П., Тихонов Н.А.Рентгеновская дифрактометрия имплантированных бором монокристаллов кремния (низкие дозы). В кн.: Вторая годичная сессия Учёного Совета Сыкт.ГУ. Секция физика и электроника. 1995. С. 3−5.
- Петраков А.П., Тихонов Н. А. Рентгеновская дифрактометрия имплантированных бором монокристаллов кремния (средние дозы). В кн.: Вторая годичная сессия Учёного Совета Сыкт.ГУ. Секция физика и электроника. 1995. С.5−7.
- Petrakov А.Р., Tikhonov N.A., Shilov S.V., Shirocov A.V. Double-and triple-cristal X-ray diffractometry of boron-doped thermally annealed silicon monocrystals. Abstracts. Int. meeting. Interference phenomena in X-ray scattering. Moscow. 1995. P. 32.
- Бушуев B.A., Петраков А. П. Влияние изохронного отжига на структуру кристаллов кремния, облучённых ионами бора // Кристаллография. 1995. Т. 40. № 6. С. 1050- 1055.
- Petrakov A.P.X-ray studies of boron implanted silicon crystals after laser recristallisation. Abstracts. 30-th International Geological Congres. China. 1996. P. 458.
- Петраков А.П., Тихонов Н. А., Шилов С. В. Анализ структурных нарушений имплантированных бором монокристаллов кремния по результатам двух- и трехкристальной рентгеновской дифрактометрии // ЖТФ. 1998. Т. 68. № 6. С. 91−96.
- Батурин В.Е., Ковальчук М. В., Ковьев Э.К, Палапис В. Е. Дифракция рентгеновских лучей на кристаллах кремния, облученных ионами бора //Кристаллография. 1977. Т. 22. В. 1. С. 144−148.
- Speriosu V.S., Glass Н.В., Kobagashi Т. X-ray determination of strain and damage distributions in ion-implanted layers // Appl. Phys. Lett. 1979. V. 34. № 9. P. 539−542.
- Кютт P.H. Брэгговская дифракция рентгеновских лучей в кристаллах кремния легированных ионами бора // Письма в ЖТФ. 1975. Т. 1. В. 18. С. 839−843.
- Вавилов B.C. Некоторые физические аспекты ионной имплантации // УФН. 1985. С.329−357.
- Смирнов И.Н. Деформация кристаллической решетки кремния, вызванная, бомбардировкой ионами бора и кислорода // ДАН СССР. 1975. Т. 225. № 3. С.621−623.
- Zaumseil P., Winter U., Galler R. X-ray triple-crystal diffractometer investigation of arsenic implanted silicon after pulsed laser irradiation // Cryst. Res. Technol. 1984. V. 19. № 5. P. 633−641.
- Мордкович В.Н., Суходрева И. М., Черюканова Л. Д. Профили деформации в имплантированных слоях арсенида галлия // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 1983. № 4. С. 9094.
- Servidori М., Cembali F. Accuracy in X ray rocking-curve anulysis as a neas-sury requerement for revealing vacancies and interstitial in regcower silicon layers amorphized by ion implantation//J. Appl. Cryst. 1988. V. 21. № 2. P. 176−181.
- Zaumseil P. On the increased sensitivity of X-ray rocking curve measurments by triple-crystal diffractometry // Phys. Stat. Sol. (a). 1985. V. 91. № 1. P. K31-K33.
- Zaumseil P., Winter U. Characterization of boron implanted silicon by X-ray triple crystal diffractometry // Phys. Stat. Sol. (a). 1990. V. 120. № 1. P. 67−75.
- Казимиров А.Ю., Ковальчук M.B., Кон В.Г. О возможностях методов двух- и трехкристальной рентгеновской дифрактометрии в исследовании структуры разупорядоченных поверхностных слоев монокристаллов // Металлофизика. 1987. Т. 9. № 4. С. 54−58.
- Казимиров А.Ю., Ковальчук М. В., Чуховский Ф. Н. Высокоразрешающая трехкристальная рентгеновская дифрактометрия // Кристаллография. 1987. Т. 32.B.3.C. 776−778.
- Zaumseil P., Winter U., Cembali, et. al. Determination of dislocation loop size and density in ion implanted and annealed silicon by simulation of triple crystal X-ray rocking curve // Phys. Stat. Sol. (a). 1987. V. 100. № 1. P. 95−104.
- Cembali F., Servidori M., Zani A. Double crystal X ray diffraction analysis of low-temperature ion implanted silicon // Solid-State Electrons. 1985. V.28. № 9. P. 933−943.
- Hu S.M. Defects in silicon substrates // J. Vac. Sci. Technol. 1977. V. 14. № l.P. 17−31.
- Patel J.R. X-ray diffuse scattering from silicon centaming oxygen clasters // J. Appl. Cryst. 1977. V. 14. № 1. P. 17−31.
- Bertolotti M., Vitali G, Rimini E., Foti G. Structure transitions in amorphous silicon under laser irradiation // J.Appl.Phys. 1979. V. 50. № 1. P. 259−265.
- Двуреченский A.B., Качурин Г. А., Нидаев E.B., Смирнов Jl.С. Импульсный отжиг полупроводниковых материалов. М.: Наука. 1982. 208 с.
- Качурин Г. А., Нидаев Е. В. Лазерный отжиг точечных дефектов в кремнии и арсениде галлия // ФТП. 1980. Т. 14. В. 3. С. 424−427.
- Александров Л.Н., Нидаев Е. В., Васильев А. Л. Дефекты в приповерхностном слое кремния, образующиеся при импульсном лазерном облучении // Письма в ЖТФ. 1988. Т. 14. В. 9. С. 838−842.
- Пименович В.А., Ивлев Г. Д., Жидков В. В. Малевич В.Л. Пирометрическое измерение температуры кремния при наносекундном лазерном отжиге // Письма в ЖТФ. 1983. Т. 9. В. 10. С. 594−842.
- Battugl G., Detta Месс G., Deigo A.V. et. al Two stage laser annealing of lattice disorder on phosphorus implanted silicon // Phys.Stat.Sol. (a) 1978. V. 49. № 1.P. 347−352.
- Качурин Г. А., Нидаев E.B. О диффузии примеси при лазерном отжиге имплантированных слоев// ФТП. 1976. Т. 10. В. 1. С. 139−140.
- Berc P., Campasono S.U., Foti G., Rimini E. Arsenit diffusion in silicon melted by high-power nanosecond laser pulsing // Appl.Phys.Lett. 1978. V. 33. № 2. P. 137−140.
- Young R.T., White C.W., Clark G.J. et.al. Laser annealing of boron implanted silicon//Appl.Phys.Lett. 1978. V. 32. № 3. P. 139−141.
- Качурин Г. А., Нидаев E.B. Об эффективности отжига имплантированных слоев миллисекундными лазерными импульсами // ФТП. 1977. Т. 11. В. 10. С. 2012−2014.
- Антоненко А.Х., Герасименко Н. Н., Двуреченский А. В. и др. Распределение внедренной в кремний примеси после лазерного отжига // ФТП. 1976. Т. 10. В. 1.С. 141−143.
- Larson B.C., Barhorst J.F. X-ray study of lattice strain in boron implanted laser annealed silicon//J.Appl.Phys. 1980. V. 51. № 6. P. 3181−3185.
- Larson B.C., White C.W., Appleton B.R. Unidirectional contruction in boron -implanted laser annealed silicon // Appl.Phys.Lett. 1978. V. 32. № 12. P. 801−805.
- Servidori M., Dal Monte C., Zani R. Double crystal x-ray analysis of phosphorus precipitation in supersaturated Si-P solid solutions // Phys.Stat.Sol. (a). 1983. V. 80. № l.P. 277−285.
- Servidori M., Zani R., Garulli G. Residual lattice disorder in self-implanted silicon after pulsed laser irradiation // Phys.Stat.Sol. (a). 1982. V. 70. № 2. P. 681 701.
- Болтакс Б.И. Диффузия в полупроводниках. М.: Физматгиз. 1961. 462 с.
- Рэди Дж. Действие мощного лазерного излучения. М.: Мир. 1974. 468 с.
- Емельянов В.И., Кашкаров П. К. Дефектообразование в приповерхностных слоях полупроводников при импульсном лазерном воздействии // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 1990. № 2. С. 77−85.
- Кияк С.Г., Пляцко Г. В., Мойса., Паливода И. П. Сплавление полупроводников с помощью лазерного излучения и формирование гетеропереходов //ФТП. 1980. Т. 14. В. 7. С. 1430−1432.
- Винецкий В.Д., Манойло М. А., Матвийчук А. С., и др. Ионизационно-стимулированная перестройка дефектов в кремнии // Письма в ЖТФ. 1988. Т. 14. В. 22. С. 2017−2021.
- Никифоров Ю.П., Янущкевич В. А. Накопление дефектов в полупроводниковых материалах при лазерном воздействии // ФТП. 1980. Т. 14. В. 3. С. 534−538.
- Демчук А.В., Пристрем A.M., Данилович Н. И., Лабунов В. А. Локальное плавление кремния лазерным излучением миллисекундной длительности // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 1987. № 12. С. 89−96.
- Кияк С.Г., Бончик А. Ю., Гафийчук В. В., Южанин А. Г. Формирование регулярного рельефа на поверхности полупроводников под действием миллисекундных лазерных импульсов // Укр.физ.журн. 1987. Т. 32. № 7. С. 10 791 083.
- Collis A.G., Weber Н.С., Bailey P. A device for laser beam diffusion and homogenisation //J.Phys. E. 1979. V. 12. № 8. P. 688−689.
- Гафийчук В.В. Неустойчивость температуры при однородном нагреве полупроводников импульсным длинноволновым излучением // ФТТ. 1984. Т. 26.В.7. С. 2230−2231.
- Плотников А.И., Рембеза С. И., Логинов В. А. Поверхностное плавление кремния при импульсном нагреве // Поверхность. Рентгеновские, синхро-тронные и нейтронные исследования. 1990. № 9. С. 47−52.
- Плотников А.И., Рембеза С. И., Логинов В. А. Влияние дефектов поверхности на особенности локального плавления кремния // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 1989. № 9. С. 149−151.
- Фаттахов Я.В., Хайбуллин И. В., Баязатов P.M. и др. Анизотропное локальное плавление монокристаллического кремния импульсами некогерентного света // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 1989. № 11. С. 61−69.
- Кияк С.Г., Бончик А. Ю., Гафийчук В. В., и др. Анизотропное плавление полупроводников под действием импульсного лазерного излучения // ДАН УССР. Сер.А. 1987. № 5. С. 61−65.
- Батище С.А., Данилович Н. И., Демчук А. В. и др. Динамика перекристаллизации кремниевых слоев импульсным лазерным излучением миллисе-кундной длительности // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 1988. № 1. С. 115−123.
- Вейко В.П., Дорофеев И. А., Имас Я. А. Образование периодических структур на поверхности кремния под действием импульсного неодимового лазера миллисекундной длительности // Письма в ЖТФ. 1984. Т. 10. № 1. С. 15−20.
- Вейко В.П., Имас Я. А., Либенсон М. Н. и др. Формирование регулярных структур на поверхности кремния под действием миллисекундного импульса неодимового лазера // Изв. АН СССР. Сер. Физ. 1985. Т.49. № 6. С. 12 361 239.
- Емельянов В.И., Сумбатов А. А. Кристаллизационно-деформациннно-тепловая неустойчивость и образование упорядоченных структур при лазерной кристаллизации // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 1988. № 7. С. 122−131.
- Авруцкий И.А., Базикуца П. В., Масленников В. Л. и др. Периодический микрорельеф на поверхности Ge и теплофизические механизмы его образования // Изв. АН СССР. Сер. Физ. 1985. Т. 49. № 6. С. 1224−1228.
- Демчук А.В., Лабунов В. А. Перекристаллизация кремниевых слоев с неоднородным рельефом поверхности лазерным излучением наносекундной длительности // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 1990. № 6. С. 87−92.
- Бугаев А.А., Лукошкин В. А., Гриин В. А., Яковлев Д. Г. Термокапиляр-ные явления и образование рельефа поверхности под воздействием пикосе-кундных лазерных импульсов // ЖТФ. 1988. Т. 58. В. 5. С. 908−914.
- Ивлев Г. Д., Баязитов P.M., Гайдук П. И. и др. Модифицирование имплантированных слоев кремния моноимпульсным воздействием лазерногоизлучения // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 1990. № 1. С. 65−71.
- Савицкий Г. В., Кияк С. Г., Гафийчук В. В., Нарольский А. Ф. Кинетика процессов нагрева полупроводников миллисекундными импульсами лазерного излучения // Укр.физ.журн. 1985. Т. 30. С. 260−263.
- Гафийчук В.В., Кияк С. Г., Савицкий Г. В. Динамика нагрева, плавления и перекристаллизации полупроводников миллисекундными импульсами лазерного излучения // Изв. АН СССР. Сер. Физ. 1985. Т. 49. № 4. С. 769−772.
- Гафийчук В.В., Кияк С. Г., Пляцко Г. В. Неустойчивость фронта кристаллизации при лазерной эпитаксии полупроводников // Укр.физ. журн. 1984. Т. 29. С. 1066−1070.
- Кияк С.Г., Пляцко Г. В., Мойса М. И., Паливода И. П. Сплавление полупроводников с помощью лазерного излучения и формирование гетеропереходов // ФТП. 1980. Т. 14. В. 7. С. 1090−1095.
- Качурин Г. А., Ловягин Р. Н., Нидаев Е. В., Романов С. И. Эпитаксиальная кристаллизация слоев GaP на Si наносекундными лазерными импульсами // ФТП. 1980. Т. 14. В. 3. С. 460−463.
- Джаманбалин К.К., Дмитриев А. Г. Эволюция барьерного контакта GaAsNi в омический при воздействии лазерного излучения // ФТП. 1990. Т. 24. В. И. С. 2024−2028.
- Брянцева Т.А., Винцену С. В., Любченко В. Е., Юневич Е. О. Формирование омических контактов в тонкопленочной структуре (Au-Ge)/GaAs под многократным воздействием лазерных импульсов // Письма в ЖТФ. 1984. Т. 10. № 1.С. 15−20.
- Вавилов B.C., Кекелидзе., Смирнов Л. С. Действие излучений на полупроводники.-М.: Наука. 1988. 191 с.
- Джумамухамбетов Н.Г., Дмитриев А. Г., Уханов Ю. И. Краевое поглощение GaAs, модифицированного лазерным излучением // ФТП. 1991. Т. 25. В. 1.С. 168−169.
- Пляцко Г. В., Савицкий В. Г., Луцив Р. В. и др. Инверсия типа проводимости в сплавах n-Cd х Hg i.x Те при воздействии импульсного лазерного излучения // ДАН УССР. Сер.А. 1978. В. 7. С. 645−647.
- Товстюк К.Д., Пляцко Г. В., Орлецкий В. В. и др. Особенности взаимодействия мощного лазерного излучения с твердым раствором Pbo.83Sno.17Te // Укр.физ.журн. 1976. Т. 21. № 4. С. 531−534.
- Ахроменко Ю.Г., Билинский Ю. М., Барисова С. С., Кияк С. Г. Воздействие импульсного лазерного излучения на свойства нитевидных кристаллов ZnTe //Неорганические материалы. 1983. Т. 19. № 4. С. 570−572.
- Кияк С.Г., Савицкий Г. В. Формирование р-п переходов на p-Ge милли-секундными импульсами лазерного излучения // ФТП. 1984. Т. 18. В. 11. С. 1958−1962.
- Кияк С.Г. Изменение физических свойств и структуры полупроводников под действием импульсного лазерного излучения // Изв. АН СССР. 1982. Т. 46. № 6. С. 1090−1096.
- Моисеенко И.Ф., Лисаченко А. А. Закономерности лазерной десорбции кислорода с оксидных полупроводников и диэлектриков // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 1989. № 7. С. 150−152.
- Каликов В.Н., Марков В. П., Петраков А. П., Тихонов Н. А. Лазерный отжиг галенита и магнетита. В кн.: Труды Коми филиала АН СССР 1985. В. 51. С. 32−39.
- Андреева М.А., Борисова С. Ф., Степанов С. А. Исследования поверхности методом полного отражения излучения рентгеновского диапазона // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 1985. № 4. С. 5−26.
- Синицын С.В. К определению толщины пленочных покрытий методом рентгеновской рефлектометрии // ПТЭ. 1994. № 1. С.203−207.
- Начинов В.А., Елисеенко Л. Г., Достовалов В. Н. Роль промежуточных прослоек в рентгеновской интерференции от тонких слоев // Оптика и спектроскопия. 1982. Т. 53. В. 3. С. 546−548.
- Sinha S.K., Sirota Е.В., Garoff S., Stanley H.B. X-ray and neutron scattering from rough surfaces // Phys.Rev.B. 1988. V. 38. № 4. P. 2297−2311.
- Holy V., Baumbach T. Nonspecular x-ray reflection from rough multilayers //Phys.Rev.B. 1994. V. 49. № 15. P. 10 668−10 676.
- Darhuber A.A., Schittenhelm P., Holy V., Stangl J., Bauer G., Abstreitre G. High-resolution x-ray diffraction from multilayered self-assembled Ge dots // Phys.Rev. B. 1997. V. 55. № 23. P. 15 652−15 663.
- Андреев A.B. Рентгеновская оптика поверхности // УФН. 1985. Т. 145. В. 1.С. 113−136.
- Ковьев Э.К., Матвеев Ю. А. Наблюдение поверхностных волн в условиях полного внешнего отражения рентгеновских лучей // ФТТ. 1981. Т. 23. В. 2. С. 587−589.
- Петрашень П.В., Ковьев Э. К., Чуховский Ф. Н., Дегтярев Ю. Л. Малоугловое рассеяние при отражении рентгеновских лучей от поверхности твердого тела // ФТТ. 1983. Т. 25. В. 4. С. 1211−1214.
- Смирнов Л.А., Сотникова Т. Д., Анохин С. Б., Тайбин Б. З. О полном внешнем отражении рентгеновских лучей от шероховатой поверхности // Оптика и спектроскопия. 1979. Т. 46. В. 3. С. 593−598.
- Смирнов Л.А., Анохин С. Б. Интерпретация кривых полного внешнего отражения рентгеновских лучей от поверхности напыленных в вакууме металлических пленок // Оптика и спектроскопия. 1980. Т. 48. В. 3. С. 574−577.
- Ровинский Б.М., Синайский В. М., Сиденко В. И. Об эффекте аномального отражения рентгеновских лучей // ФТТ. 1972. Т. 14. В. 2. С. 409−412.
- Саркисов С.Р., Саркисов Э. Р. Наблюдение не зеркальной компоненты в сверхмалоугловом рентгеновском рассеянии от гладкой поверхности и тонкой пленки // Письма в ЖТФ. 1990. Т. 16. В. 16. С. 87−90.
- Филатова Е.О., Благовещенская Т. А. Эффект Ионеды в области ультрамягкого рентгеновского излучения // ФТТ. 1991. Т. 33. № 8. С. 2321−2325.
- Львов Ю.М., Дехер Г. Сборка мультислойных упорядоченных пленок посредством чередующейся адсорбции противоположно заряженных макромолекул // Кристаллография. 1994. Т. 39. № 4. С. 696−716.
- Самойленко И.И., Коновалов О. В., Фейгин Л. А., Щедрин Б. М., Янусова Л. Г. Обработка данных рефлектометрического эксперимента в пакете программ REFLAN // Кристаллография. 1999. Т. 44. № 2. С. 347−355.
- Коновалов О.В., Самойленко И. И., Фейгин Л. А., Щедрин Б. М., Янусова Л. Г. Статистическое обоснование параметризации модели в рефлектометрии // Кристаллография. 1999. Т. 44. № 2. С. 356−360.
- Кающина P.JI., Степина Н. Д., Беляев В. В., Хургин Ю. И. Рентгеновское рефлектометрнческое исследование самоорганизации упорядоченных пленок лизоцима//Кристаллография. 1996. Т. 41. № 1.С. 156−161.
- Беляев В.В., Толстихина А. Л., Степина Н. Д., Кающина Р. Л. Строение упорядоченных полиэлектролитных пленок по данным атомно-силовой микроскопии и рентгеновской рефлектометрии // Кристаллография. 1998. Т. 43. № 1.С. 134−138.
- Протопопов В.В., Валиев К. А., Имамов P.M. Сравнительные измерения шероховатости подложек рентгеновских зеркал методами рентгеновской рефлектометрии и сканирующей зондовой микроскопии // Кристаллография. 1997. Т. 42. № 4. С. 747−754.
- Cowley R.A., Ryan T.W. X-ray scattering studies of thin films and surfaces: thermal oxides on silicon // J.Phys. D: Appl.Phys. 1987. V.20. № 1. P.61−68.
- Weber W., Lengeler B. Diffuse scattering of hard x rays from rough surface. // Phys.Rev. B. 1992. № 12. P. 7953−7956.
- Nigam A.N. Origin of anomalous surface reflection of X rays // Phys.Rev. 1965. № 4A. P. 1189−1191.
- Warren B.E., Clarke J.S. Interpretation of the anomalous surface reflection of X rays // J.Appl.Phys. 1965. V. 36. № 5. P. 324−325.
- Matsushita Т., Ishikawa Т., Kohra K. High-resolution measurements of angle-resolved X-ray scattering from optically flat mirrors // J.Appl.Cryst. 1984. V. 17. № 4. P. 257−264.
- Braslau A., Deutsch M., Pershan P. S., Weiss A.H. Surface roughness of water measured by X-ray reflectivity // Phys.Rev.Let. 1985. V. 54 № 2. P. 114−117.
- Pershan P. S., Braslau A., Weiss A.H. Smectic layering at the free surface of liquid crystals in the nematic phase: X-ray reflectivity // Phys.Rev. 1987. V. 35. № 11 A. P. 4800−4813.
- Braslau A., Pershan P. S., Swislow G., Оско B.M., Als-Nielsen J. Capillary waves on the surface of simple liquid measured by x-ray reflectivity // Phys.Rev. 1988. V. 38. № 5A. P. 2457−2470.
- Kawamoto E.H., Lee S., Pershan P. S., Deutsch M., Maskil N., Оско B.M. X-ray reflectivity study of the surface of liquid gallium // Phys.Rev. 1993. V. 47. № 11B.P. 6847−6850.
- Виноградов A.B., Зорев H.H., Кожевников И. В., Сагитов С. И., Турьян-ский А.Г. О рассеянии рентгеновского излучения слабошероховатыми поверхностями //ЖЭТФ. 1988. Т.94. В.8. С. 203−216.
- Helgesen G., Doon Gibbs, Baddorf А.Р., Zehner D.M., Mochrie S.G.J. X-ray reflectivity study of the Cu (110) surface // Phys.Rev. 1993. V. 48. № 20B. P. 15 320−15 325.
- Wilkins S.W., Gureyev Т.Е., Gao D., Pogany A., Stevenson A.W. Phase-contrast imaging using polychromatic hard X-rays // Nature. 1996. V. 384. P. 335 338.
- Бушуев B.A., Ингал B.H., Беляевская E.A. Волновая теория рентгеновской фазоконтрастной интроскопии // Кристаллография. 1998. Т. 43. № 4. С. 586−595.
- Сюняев З.И., Сюняев Р. З., Сафиева Р. З. Нефтяные дисперсные системы. -М.: Химия. 1990. 226 с.
- Королев Ю.М., Америк Ю. Б. Рентгенографическое исследование нефтей и нефтяных компонентов // Нефтехимия. 1993. Т. 33. № 4. С. 352−358.
- Петраков А.П. Рентгенодифракционные исследования приповерхностных слоев совершенных и имплантированных бором монокристаллов кремния, подвергнутых миллисекундному лазерному облучению: Диссертация канд. физ.-мат. наук. Москва. 1993. 134 с.
- Петраков А.П. Автоматизация рентгеновских двух- и трёхкристальных дифрактометров на базе вычислительных комплексов. В кн.: Тезисы II республиканской конференции молодых учёных по разработке и внедрению средств автоматизации. Сыктывкар. 1988. С. 30−31.
- Асхабов A.M., Зайнуллин Г. Г., Петраков А. П., Иевлев А. А. Исследование процессов кристаллизации в гелях. Труды Коми филиала АН СССР 1984. В. 46. С. 14−37.
- Каблис Г. Н., Пунегов В. И., Шилов С. В., Петраков А. П. Исследование структурных характеристик кристаллов флюорита методами рентгеновской дифрактометрии и топографии // Зав.лаб. Диаг.матер. 2000. Т. 66. № 11. С. 26−28.
- Иевлев А.А., Беляев А. А., Петраков А. П. Антраксолит из Визейских известняков сланцевой зоны Пай-Хоя. В кн.: Тезисы Всесоюзного минералогического семинара «Конденсированное некристаллическое состояние вещества земной коры».Сыктывкар. 1989. С. 29.
- Иевлев А.А., Беляев А. А., Петраков А. П. Минералогия твёрдого органического вещества Пайхойской провинции. В кн.: Тезисы II регионального совещания «Минералогия Урала». Миасс. 1990. Т. 1. С. 154−157.
- Иевлев А.А., Беляев А. А., Янулова JI.A., Петраков А. П. Флюорит из фосфоритовых конкреций Пай-Хоя. В кн.: Тезисы II регионального совещания «Минералогия Урала». Миасс. 1990. Т. 1. С. 158−160.
- Иевлев А.А., Беляев А. А., Филиппов В. Н., Петраков А. П. Два структурных типа антраксолитов Пайхойской провинции. В кн.: Сб. научны трудов КНЦ УрО АН СССР. 1990. С. 62.
- Иевлев A.A., Беляев A.A., Янулова JI.A., Петраков А. П. Флюорит-компонент фосфоритовых конкреций Пай-Хоя // Минералогический журнал. 1991. Т. 13. № 2. С. 70−73.
- Ievlev A.A., Belyaev A.A., Petrakov А.Р., Ber M.N. Structural characteristics of different forms of natural organic matter of Pai-Khoi province, Yuger-sky pe-minsula. Abstract. 29-th Int. Geol. Congress. Kyoto. Japan. 1992. V. 3. of 3. P. 824
- Belyaev A.A., Ievlev A.A., Yanulova L.A., Petrakov A.P. Fluorite formation as result of ordering of fluorapatite at paleotemperature lithogenic alterations, Pai-Khoy province. Abstract. 29-th Int. Geol. Congress. Kyoto. Japan. 1992. V. 3. of 3. P. 824
- Ковальчук M.B., Ковьев Э. К., Пинскер З. Г. Рентгеновский трехкри-стальный спектрометр и прецизионное определение параметра решетки //Кристаллография. 1975. Т. 20. № 1. С. 142−452.
- Servidori M., Zani A., Garulli G. Servidori M., Zani R., Garulli G. Residual lattice disorder in self-implanted silicon after pulsed laser irradiation // Phys. Stat. Sol. (a). 1982. V. 70. № 2. P. 691−701.
- Бушуев B.A., Петраков А. П. Рентгенодифракционные исследования зависимости профилей деформации и аморфизации приповерхностных слоев монокристаллов кремния от дозы имплантации ионов бора // Кристаллография. 1995. Т. 40. № 6. С. 1043−1049.
- Петраков А. П., Бушуев В. А. Рентгенодифракционные исследования точечных дефектов, образующихся в монокристаллах кремния при импульсном лазерном воздействии // Письма в ЖТФ. 1993. Т. 19. № 19. С. 92−96.
- W.R.Runyan. Silikon Semiconductor Technology. New York: McGraw-Hill. 1965. P. 344.
- Еремеев B.C. Диффузия и напряжения. M.: Энергоатомиздат, 1984. 184 с.
- Мейер Дж., Эриксон Л., Дэвис Дж. Ионное легирование полупроводников. М.: Мир, 1973. 296 с.
- Ломов А. А, Бушуев В. А., Караванский В. А. Исследование шероховатостей поверхности и границ раздела пористого кремния высокоразрешающими рентгеновскими методами // Кристаллография. 2000. Т. 45. № 5. С. 915 920.
- Speriosu V.S. Kinematical X-ray diffraction in nonaniform crystalline films strain and damage distributions in an implanted garnets // J. Appl. Phys. 1981. V. 52. № 10. P. 6094−6103
- Афанасьев A.M., Фанченко C.C. // ДАН СССР. 1986. Т. 287. № 6. С. 1395- .
- Гончарский А.В., Степанов А. А. Вычислительная диагностика полупроводниковых кристаллов // ДАН СССР. 1987. Т. 292. № 1. С. 60−63.
- Петрашень П.В., Чуховский Ф. Н. Восстановление фазы рентгеновской волны, дифрагированной на слоистой монокристаллической структуре //ДАН СССР. 1989. Т. 309. № 1.С. 105−109.
- Буренков А.Ф., Комаров Ф. Ф., Кумахов М. А., Темкин М. М. Таблицы параметров пространственного распределения ионно-имплантированных примесей. Минск.: БГУ, 1980. 352 с.
- Runyan W.R. Silicon semiconductor technology. New York: McGraw-Hill, 1965. P. 1306.
- Афанасьев A.M., Ковальчук M.B., Лобанович Э. Ф. и др. Трехкристаль-ная рентгеновская дифрактометрия в исследовании тонких нарушенных слоев//Кристаллография. 1981. Т. 26. В. 1. С. 28−35.
- Петраков А.П., Бушуев В. А. Рентгенодифракционные исследования точечных дефектов, образующихся в монокристаллах кремния при импульсном лазерном воздействии // Письма в ЖТФ. 1993. Т. 19. В. 19. С. 92−96.
- Yoing R.T., White C.W., Clark G.J. et. al. Laser annealing of boron-implanted silicon// Appl.Phys.Lett. 1978. V. 32. № 3. P. 139−141.
- Cemballi F., Servidori M., Gabilli E., Fotti R. Effect of diffuse scattering on the profile determination by derible crystal X-ray diffraction // Phys.Stat.Sol. (a). 1987. V. 87. № l.P. 229−233.
- Качурин Г. А., Нидаев E.B. Лазерный отжиг точечных дефектов в кремнии и арсениде галлия // ФТП. 1980. Т. 14. В. 3. С. 424−427.
- Пристрем A.M., Демчук А. В., Данилович Н. И. О локальном зарождении расплавленной фазы при импульсном лазерном отжиге кремния // ЖТФ. 1986. Т. 56. № 6. С. 1220−1224.
- Пилипович В.А., Ивлев Г. Д., Жидков В. В., Малевич В. Л. Пирометрическое измерение температуры кремния при наносекундном лазерном отжиге //Письма в ЖТФ. 1983. Т. 9. В. 10. С. 594−598.
- McGoldin J.O. Atom movements occuring at solid metal semiconductor interfaces // J. Vac. Sci. Technol. 1974. V. 11. № 6. P. 990−995.
- Кривоглаз М.А., Рябошапка К. П. Теория рассеяния рентгеновских лучей кристаллом, содержащим хаотически распределенные дислокации // ФММ. 1963. Т. 15. С. 18−31.
- Хайбуллин И.Б., Смирнов JI.C. Импульсный отжиг полупроводников. Состояние проблемы и нерешенные вопросы // ФТП. 1985. Т. 19. В. 4. С. 569 591.
- Марков В.П., Петраков А. П., Тихонов Н. А., Четвериков Д.Е Влияние импульсного миллисекундного лазерного излучения на структуру приповерхностного слоя. Деп. ВИНИТИ. 1990. № 3037-В90. 21 с.
- Петраков А.П., Марков В. П., Тихонов Н. А., Четвериков Д.Е Рентгеновская дифрактометрия нарушенных лазерным излучением монокристаллов кремния // ЖТФ. 1992. Т. 62. В. 12. С.50−59.
- Marcov V.P., Petrakov А.Р., Punegov V.I., Tichonov N.A. Diffuse-scattering on double-cristal rocing-curves of laser induced silicon cristals. Abstracts. IV-National conf. Laser-90. Bulgaria. 1990. P. 96−97.
- Punegov V.I., Petrakov А.Р., Tichonov N.A. X-ray diffraction on laser disturbed near-surface crystal layers // Phys. Stat.Sol. (a). 1990. V. 122. № 2. P. 449−458.
- Петраков А.П., Тихонов Н. А. Структура и свойства материалов, подвергнутых лазерной обработке (обзор). Деп. ВИНИТИ. 1992. № 1072-В92. 22 с.
- Петраков А.П., Тихонов Н. А. Двух- и трёхкристальная дифрактометрия монокристаллов кремния, подвергнутых миллисекундному лазерному воздействию. Деп. ВИНИТИ. 1992. № 1071-В92. 31 с.
- Guentert O.G. Study of anomalous surface reflection of X rays // J.Appl.Phys. 1965. V. 36. № 4. P. 1361−1366.
- Yoneda Y. Anomalous surface reflection of X rays // Phys.Rev. 1963. V. 131. № 5. P. 359−369.
- Bindell J.B., Wainfan N. The non-specular scattering of X-rays from thin films // J.Appl.Phys. 1970. V. 3. № 6. P. 503−516.
- Бушуев B.A., Петраков А. П. Рентгеновская рефлектометрия пленок бора, полученных лазерным напылением на кремниевые подложки. В кн.: Доклады II национальной конференции РСНЭ. Дубна. 1997. Т. 2, С. 188−193.
- Christensen F.E. High resolution X-ray scattering studies of substrates and multilayers // Revue Phys.Appl. 1988. V. 23. P. 1701−1710.
- Синайский B.M., Сиденко В. И. Рентгеновская рефлектометрия // ПТЭ. 1974. № 6. С. 5−13.
- Гапонов С.В. Сверхтонкие пленки твердых тел и многослойные структуры: метод получения, исследования, применения // УФН. 1985. Т. 146. В. 2. С. 343−346.
- Bushuev V.A., Petrakov А.Р. Reflectometry of Boron Lauers, Received by Laser Sputtering on Silicon Substrates. Abstracts international meeting of the XTOP 98, Durham, Great Britan. 1998 r. P. 42.
- Ахсахалян А.Д., Битюрин Ю. А., Гапонов C.B., Гудков А. А., Лучин В. И. Процессы в эрозионной плазме при лазерном вакуумном напылении пленок.
- Характеристики эрозионной лазерной плазмы на стадии инерциального разлета // ЖТФ. 1982. Т. 52. В. 8. С. 1584−1589.
- Ахсахалян А.Д., Битюрин Ю. А., Гапонов С. В., Гудков А. А., Лучин В. И. Процессы в эрозионной плазме при лазерном вакуумном напылении пленок.1. Взаимодействие продуктов лазерной эрозии с поверхностью твердого тела // ЖТФ. 1982. Т. 52. В. 8. С. 1590−1596.
- Гапонов С.В., Гудков А. А., Лускин Б. М., Лучин В. И., Салащенко Н. Н. Образование полупроводниковых пленок из рассеянной нагретым экраном эрозионной лазерной плазмы // ЖТФ. 1981. Т. 51. В. 5. С. 1000−1004.
- Гапонов С.В., Гудков А. А., Фраерман А. А. Процессы в эрозионной плазме при лазерном вакуумном напылении пленок. III. Конденсация в газовых потоках при лазерном испарении материалов // ЖТФ. 1982. Т. 52. В. 9. С. 1843−1848.
- Днепровский В.Г., Осадин Б. А. Влияние условий фокусировки на морфологию поверхности пленок, получаемых с помощью ОКГ // ЖТФ. 1974. T.XLIV. В. 2. С. 442−446.
- Анисимов С.И., Лкьянчук Б. С., Лучес А. Динамика трехмерного расширения пара при импульсном лазерном испарении // ЖЭТФ. 1995. Т. 108. В. 1(7). С. 240−257.
- Бункин Ф.В., Кириченко Н. А., Лукьянчук Б. С. Термохимическое действие лазерного излучения //УФН. 1982. Т. 138. В. 1. Р. 45−94.
- Kroto H.W., Heath J.R., O’Brien S.C., Curl R.F., Smalley R.E. C60: Buck-minsterfiillerene// Nature. 1985. V. 318. № 6042. P. 162−163.
- Бахтизин P.3., Хашицуме Т., Вонг Щ.- Д., Сакурай Т. Сканирующая туннельная микроскопия фуллеренов на поверхности металлов и полупроводников // УФН. 1997. Т. 167. № 3. С. 289−307.
- Haddon R.C., Hebard A.F., Rosseinsky M.J., et. all. Conducting films Сбо and C70 by alkali-metafdoping //Nature. 1991. V. 350. № 6316. P. 320 322.
- Гапонов C.B., Лускин Б. М., Салащенко H.H. Сверхрешетки с неориентированными барьерными слоями // Письма в ЖЭТФ. 1981. Т. 33. В. 10. С. 533 537.
- Гапонов С.В., Гусев С. А., Платонов Ю. Я., Салащенко Н. Н. Искусственные многослойные отражающие и селективные элементы для мягкого рентгеновского излучения. 1. Выбор пар материалов и расчет многослойных зеркал // ЖТФ. 1984. Т. 54. В. 4. С. 747−754.
- Гапонов С.В., Лускин Б. М., Нестеров Б. А., Салащенко Н. Н. Морфологические особенности и струк тура пленок, конденсированных из лазерной плазмы//ФТТ. 1977. Т. 19. В. 10. С. 2964−2967.
- Лушников А.А., Пахомов А. В., Черняева Г. А. Фрактальная размерность агрегатов, образующихся при лазерном испарении металлов // ДАН СССР. 1987. Т. 292. № 1.С. 86−88.
- Buseck Peter R., Tsipursky Semeon J., Hettich R. Fullerenes from the geological environment // Science. 1992. V. 257. P. 215−217.
- Коньков О.И., Теруков Е. И., Пфаундер H. Фуллерены в шунгите // ФТТ. 1994. Т. 36. № 10. С. 3169−3171.
- Петраков А.П. Рентгеновская рефлектометрия углеродной пленки нанесенной на кремниевую подложку в процессе лазерного облучения шунгита. -В кн.: Материалы второго Уральского кристаллографического совещания Кристаллография-98. Сыктывкар. 1998. С. 25.
- Петраков А. П., Кряжев А. А. Восстановление микрогеометрии поверхности по данным рентгеновской рефлектометрии (обобщающая статья). // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2003. Т.69. № 8. С. 26−31.
- Петраков А.П. Метод рентгеновской рефлектометрии и его применение для исследования лазерного испарения окисной пленки с поверхности кремния // ЖТФ. 2003. Т. 73. В. 4. С. 129−134.
- Соменков В.А., Ткалич А. К., Шилыитейн С. Ш. Рефракционный контраст в рентгеновской интроскопии //ЖТФ. 1991. Т. 61. № 11. С. 197−201.
- Ingal V.N., Beliaevskaya Е.А. X-ray plane-wave topography observation of the phase contrast from a non-crystalline object // J. Phys. D. 1995. V. 28. № 10. P. 2314−2317.
- Davis T.J., Gureyev Т.Е., Gao D., Stevenson A.W., Wilkins S.W. X-ray image contrast from a simple phase object // Phys. Rev. Lett. 1995. V. 74. № 16. P. 3173−3176.
- Бушуев B.A., Ингал B.H., Беляевская Е. А. Динамическая теория формирования изображения некристаллических объектов в методе фазодисперси-онной интроскопии // Кристаллография. 1996. Т. 41. № 5. С. 808−813.
- Bushuev V.A., Beliaevskaya Е.А., Ingal V.N. Wave-optical description of X-ray phase contrast images of weakly absorbing non-crystalline objects // Nuovo Cimento D. 1997. V. 19. № 2−4. P. 513−520.
- Ingal V.N., Beliaevskaya E.A. Phase dispersion radiography of biological objects // Physica Medica. 1996. V. 12. № 2. P. 75−81.
- Шилыитейн С.Ш., Подурец K.M., Соменков B.A., Манушкин А. А. Рентгеновская рефракционная интроскопия биологических объектов // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 1996. № 3−4. С. 231−241.
- Forster Е., Goetz К., Zaumseil P. Double crystal diffractometry for the characterization of targets for laser fusion experiments // Kristall und Technik. 1980. V. 15. № 8. P. 937−945.
- Gao D., Davis T.J., Wilkins S.W. X-ray phase-contrast imaging study of voids and fibres in a polimer matrix // Aust. J. Phys. 1995. V. 48. № 1. P. 103−111.
- Бушуев B.A., Петраков А. П. Рентгеновский фазовый контраст воздушного шнура, нагретого лазерным пучком // Кристаллография. 2001. Т. 46. № 2. С. 209−214.
- Bonse U., Hart М. An X-ray interferometer with long separated interfering beam paths // Appl. Phys. Lett. 1965. V. 7. № 1. P. 99−100.
- Snigirev A., Snigireva I., Kohn V., Kuznetsov S., Schelokov I. On the possibilities of x-ray phase contrast microimaging by coherent high-energy synchrotron radiation // Rev. Sci. Instrum. 1995. V. 66. № 12. P. 5486−5492.
- Ингал B.H., Беляевская E.A. Метод фазодисперсионной интроскопии // ЖТФ. 1997. Т. 67. № 1. С. 68−77.
- Davis T.J., Gao D., Gureyev Т.Е., Stevenson A.W., Wilkins S.W. Phase-contrast imaging of weakly absorbing materials using hard X-rays // Nature. Letters. 1995. V. 373. № 16. P. 595−598.
- Gureyev Т.Е., Wilkins S.W. Regimes of X-ray phase-contrast imaging with perfect crystals //Nuovo Cimento. 1997. V. 19 D. № 2−4. P. 545−552.
- Петраков А.П. Рентгеновский метод фазового контраста и демонстрация применения его для исследования кровеносных сосудов на модельном объекте //ЖТФ. 2003. Т. 73. В. 5. С. 84−89.
- Бушуев В.А., Петраков А. П. Рентгеновские фазоконтрастные изображения слабопоглощаящих объектов. Монография. Микро- и нанодисперсные структуры минерального вещества. Коми НЦ УрО РАН 1999. С. 171−175.
- Петраков А. П., Кряжев А. А. Рентгеновские фазоконтрастные исследования растворения кристаллов Nacl //ЖТФ. 2004. Т.74. В.10. С.134−136.
- Свергун Д.И., Фейгин JI.A. Рентгеновское и нейтронное малоугловое рассеяние. — М.: Наука. 1986. 280 с.
- Петраков А.П. Рентгеновская малоугловая диагностика изменения размера сложных структурных единиц нефтяной дисперсионой системы под воздействием миллисекундного лазерного излучения // ЖТФ. 2000. Т. 70. В. 3. С. 31−33.
- Петраков А.П. Рентгеновские рефлектометрические исследования нефтяных дисперсных систем. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2003. № 12. С.75−77.
- Кузнецов О. А, Ефимов С. А. Применение ультразвука в нефтянной промышленности. М.: Недра, 1983. 286 С.
- Бункин Ф.В., Кириченко Н. А., Лукьянчук Б. С. Термохимическое действие лазерного излучения // УФН. 1982. Т. 138. В 1. С. 45−94.
- Либерман М.А., Трибельский М. И. Роль химических реакций в лазерном разрушении прозрачных полимеров//ЖЭТФ. 1978. Т.74. В. 1. С. 194 201.
- Петраков А.П. Рентгеновские фазоконтрастные исследования слабо поглощающих объектов. — Материалы совещания «Рентгеновская оптика-2003». Нижний Новгород. 2003. С.330−332.
- Бушуев В.А., Коне А. Влияние переходного приповерхностного слоя на фазоконтрастные изображения некристаллических объектов // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 1998. № 10. С. 512.