Разработка и исследование сверхпроводниковых терагерцовых смесителей на электронном разогреве
Диссертация
В «грязных» неупорядоченных плёнках с малым временем электрон-фононного взаимодействия, хе-Рь, релаксация энергии «горячих» электронов происходит за счёт их неупругого рассеяния па фопопах (фоиоппый механизм охлаждения). Фононы играют роль термостата и тем более эффективно, чем больше фононная удельная теплоёмкость по сравнению с электронной удельной теплоёмкостью, (ср/се), и чем быстрее… Читать ещё >
Содержание
- ГЛАВА 1. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ И ПОСТАНОВКА ЗАДАЧИ
- 1−1. Болометрические приемники прямого детектирования
- 1−2. Гетеродинные приемники на основе СИС и ДБШ смесителей
- 1−3. Эффект электронного разогрева в сверхпроводниках
- 1−4. Смеситель на горячих электронах с фононным каналом охлаждения
- 1−5. Смеситель на горячих электронах с диффузионным каналом охлаждения.,
- 1−6. ВТСП смесители на горячих электронах
- §-1−7.Обзор методов напыления тонких пленок Т^!^
- Выводы и постановка задачи
- ГЛАВА2. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ УСТАНОВКИ И МЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕНТА
- 2−1. Установка для измерения полосы ПЧ NbN смесителей на частоте 140 ГГц и методика эксперимента
- 2−2. Оптическая схема установки и методика измерения УВСО болометра
- 2−3. Схема и методика измерения шумовой температуры
- ТЧЬЫ НЕВ смесителей
- ГЛАВА. З. ИЗГОТОВЛЕНИЕ ИВЫ СМЕСИТЕЛЕЙ НА ЭЛЕКТРОННОМ РАЗОГРЕВЕ И РЕЗУЛЬТАТЫ ИЗМЕРЕНИЯ ИХ
- ШУМОВОЙ ТЕМПЕРАТУРЫ
- 3−1. Напыление пленок №>М методом магнетронного распыления в режиме стабилизации тока
- 3−2 Морфология поверхности и кристаллическая структура пленок ИЬИ
- 3−3. Изготовление NbN смесителей методами фото- и электронной литографий
- 3−4. Результаты тестирования NbN HEB смесителей
- 3−5. Выводы
- ГЛАВА4. ИЗМЕРЕНИЯ ПОЛОСЫ ПЧ NBN СМЕСИТЕЛЯ НА
- ЧАСТОТЕ 140 ГГЦ
- 4−1. Полоса преобразования смесителя при температуре, близкой к
- Тс и малой мощности гетеродина
- 4−2. Полоса преобразования смесителя при температуре 4.2 К и оптимальной мощности гетеродина
- 4−3. Перспективы расширения полосы ПЧ NbN смесителей
- 4−4. Выводы
- ГЛАВА 5. ИССЛЕДОВАНИЯ YBCO СМЕСИТЕЛЕЙ НА
- ЭЛЕКТРОННОМ РАЗОГРЕВЕ
- 5−1. Изготовление YBCO смесителей на электронном разогреве
- 5−2. Зависимость’спектра ПЧ YBCO смесителей от их геометрических размеров
Список литературы
- G.Phillips, and J. Keene «Submillimeter Astronomy», review, Proc. of 1. EE, v.80,n.ll.p.l662, 1992.
- J.E.Carlstrom and J. Zmuidzinas, «Millimeter and Submillimeter Techniques», «Reviews of Radio Science 1993−1995″, ed. W.R.Stone, Oxford, The Oxford University Press., 1996
- R.BIundell and C.-Y.Tong, „Submillimeter receivers for radio Astronomy“, Proc. of the IEEE, v.80, n. l 1, 1992
- P.L. Richards et al, „Quasiparticle heterodyne mixing in SIS tunnel junctions“, Appl.Phys.Lett, v.34, p.345, 1979
- G.J.Dolan et al, „Low-noise 115 GHz mixing in superconducting oxide-barrier tunnel junctions“, Appl.Phys.Lett, v.34, p.347, 1979
- P.J. Burke, R.J. Scholelkopf, D.E. Prober, A. Skalare, B.S.Karasik, M.C.Gaidis, W.R. McGrath, B. Bumble, and H.G. LeDuc, J.Appl.Phys. 85 (3), p.1644,1999.
- D.C.Alsop et al, „Design and Construction of High Sensetivity Infrared Bolometers for Operation at 300 mK“, Appl.Opt., 31, p.6610, 1992
- P.M.Downey et al, Appl.Opt., 233,910,1984.
- J.-W. Zhou, K. Faooqui, P.T.Timbie, G.W.Wilson, Ch.A.Allen, S.H.moseley, and D. Brent Mott, „Monolithic silicon bolometers as sensetive MM-wave detectors“, IEEE MTT-S Digest, TH3F-A3, p. 1347, 1995
- J.M.Gildemeister et al, Appl.Phys.Lett, v.74, n.6, p.868, 1999
- M.Nahum, P.L.Richards, and C.A.Mears, „Design analysis of a novel hot-electron microbolometer“, IEEE Trans.Appl.Supercond., vol.3, n. l, p.2124, 1993
- M.Nahum and J.M.Martinis, „Ultrasensetive-hot-electron microbolometer“, Appl.Phys.Lett., 63(22), p.3075, 1993.
- S.E.Schwarz and B.T.Ulrich, „Antenna-coupled infrared detectors“, J.Appl.Phys., 48(5), p.1870, 1977
- A.Tang and P.L.Richards, „Quantum effects in the hot electron microbolometer“, IEEE Trans.Appl.Supercond., vol.5, n.2, p.2599, 1995
- J.R.Tucker, „Quantum limited detection in tunnel junction mixers“, IEEE J. Quantum Electron., v. 15, p. 1234, 1979
- J.R.Tucker and M.J.Feldman, „Quantum detection at millimeter wavelength“, Rev.Mod.Phys., v.57, p.1055, 1985
- A.Karpov et al, „Four Fotons Sensitivity Heterodyne Detection of Submillimeter Radiation with Superconducting Tunnel Junctions“, IEEE Trans. Appl.Supercond., v.5, p.3304, 1995
- M.J. Wengler, „Submillimeter-Wave Detection with Superconducting Tunnel Diodes“, Proc. of the IEEE, v.80, n. l 1, 1992
- S.-C.Shi et al, „Experimental results of SIS mixer with distributed junction arrays“, Proc. 9lh Int. Symp. on Space Terahertz Technology, p.223, Pasadena, USA, March 1998
- J.W.Kooi et al, „A low noise 230 GHz heterodyne receiver employing 0.25 mm area Nb/A10x/Nb tunnel junctions“, IEEE Trans. Microwave Theory Tech., v.40,p.812, 1992
- G.de Lange et al, „Development of a 170−210 GHz 3×3 micromashined SIS imaging array“, Proc. 8th Int. Symp. oil Space Terahertz Technology, p.518, Harvard University, USA, March 1997
- V.Yu.Belitsky et al, „Low-noise completely SIS receiver for radioastronomy at 115 GHz“, Int.J.IR and MM Waves, 13, p.389, 1992
- V.Yu.Belitsky, E.L.Kollberg, „Tuning circuit for NbN SIS mixer“, Proc. 7th Int. Symp. on Space Terahertz Technology, p.234, Charlottesville, Virginia, USA, March 1996
- Ch.Tong et al, „Sub-mm distributed quasiparticle receiver employing a non-linear transmission line“, Proc. 7th Int. Symp. on Space Terahertz Technology, p.47, Charlottesville, Virginia, USA, March 1996
- M.J.Feldman and S. Rudner, „Mixing with SIS arrays“, Reviews of IR and MM Waves, K.J.Button, Ed. N. York, Plenum, p.47, 1983
- A.R.Kerr et al, „A timerless SIS mixer for 200−280 GHz with low output capacitance and inductance“, p. 195, Proc. 9th Int. Symp. on Space Terahertz Technology, p.295, Pasadena, USA, March 1998
- S.Padin et al, „An Integrated SIS Mixer and HEMT IF Amplifier“, IEEE Trans. Microwave Theory Tech., v. MTT-44, n.6, pp.987−990, 1996
- S.Shitov et al, „Recent progress on the superconducting imaging receiver at 500 GHz“, Proc. 9th Int. Symp. on Space Terahertz Technology, p.263, Pasadena, USA, March 1998
- D.Winkler and T. Claeson, „High-frequency limits of superconducting tunnel junction mixers“, J.Appl.Phys., v.62, p.4482, 1987
- H.G.LeDuc et al, „Submicron-area NbN/MgO/NbN tunnel junctions for SIS mixer applications“, IEEE Trans.Magn., 27, p.3192, 1991
- Y.Uzawa et al, „All-NbN quasioptical SIS mixers at terahertz frequencies“, Proc. 8th Int. Symp. on Space Terahertz Technology, p.301, Harvard University, USA, March 1997
- J.W.Kooi et al, „Low-loss NbTiN films for THz SIS mixers tuning circuits“, Proc. 8th Int. Symp. on Space Terahertz Technology, p.310, Harvard University, USA, March 1997
- H.van de Stadt et al, „An improved ITHz waveguide mixer“, Proc. 7th Int. Symp. on Space Terahertz Technology, p.536, Charlottesville, Virginia, USA, March 1996
- J.R.Gao et al, „Fabrication of Nb-SIS mixers with UHV evaporated Al strip lines“, Proc. 7th Int. Symp. on Space Terahertz Technology, p.538, Charlottesville, Virginia, USA, March 1996
- M.Bin et al, „Design and characterization of a quasi-optical SIS receiver for the 1 THz band“, Proc. 7th Int. Symp. on Space Terahertz Technology, p.549, Charlottesville, Virginia, USA, March 1996
- G.Chin, „Opticaly pumped submillimeter laser heterodyne receivers: astrophysical observations and recent technival developments“, Proc. IEEE, 80, p.1788, 1992
- H.-P.Roser, „Heterodyne spectroscopy for submillimeter and far infrared wavelength from 100 mm to 500 mm“, Infrared Physics, v.32, p.385, 1991
- R.Nitsche et al, „Quasi-optical Schottky diode design“, Proc. 7th Int. Symp. on Space Terahertz Technology, p.488, Charlottesville, Virginia, USA, March 1996
- S.S.Gearhart and G.M.Rebeiz, „A Monilithic 250 GHz Schottky-Diode Receiver“, IEEE Trane. MTT, v.42, n. 12,1992.
- J.L.Hesler et al, Submm wavelenght waveguide mixers using planar Schottky barier diodes», Proc. 7th Int. Symp. on Space Terahertz Technology, p.462, Charlottesville, Virginia, USA, March 1996
- C.M.Mann et al, «On the design and measurement of a 2.5 THz waveguide mixer», Proc. 9th Int. Symp. on Space Terahertz Technology, p. 161, Pasadena, USA, March 1998
- T. Suzuki et al, «Quasi-integrated planar Schottky barier diodes for 2.5 THz receivers», Proc. 9th Int. Symp. on Space Terahertz Technology, p. 187, Pasadena, USA, March 1998
- A.L.Betz and R.T.Borejko, «A practical Schottky mixer for 5 THz», Proc. 7th Int. Symp. on Space Terahertz Technology, p.503, Charlottesville, Virginia, USA, March 1996
- B.N.Ellison et al, «First results for a 2.5 THz Schottky diode waveguide mixer», Proc. 7th Int. Symp. on Space Terahertz Technology, p.494,
- Charlottesville, Virginia, USA, March 1996
- J.P. DeLap et al. «A quasi-optical sunharmonically pumped double slot mixer», Proc. 7th Int. Symp. on Space Terahertz Technology, p.442, Charlottesville, Virginia, USA, March 1996
- A.V.Velichko and N.T.Cherpak, «Response of high-temperature superconductors to electromagnetic radiatio (A Review)», Low Temp.Phys., v.24,n.5, p.297, 1998
- L.R.Testardi, «Destruction of superconductivity by laser light», Phys.Rev.B, v.4(7), 1971.
- S.B.Kaplan, C.C.Chi, D.N.Langenberg, J.J.Chang, S. Jafarey, and D.J.Scapalino, «Quasiparticles and phonon lifetimes in superconductors», Phys.Rev.B, v, 14(l 1), 1976.
- W.H.Parker, Phys.Rev. В 12, 3667, 1975.
- B.L.Altshuler and A.G.Aronov, in Modern Problems in Conlenced matter Science, North-Holland Pub. Co. Amsterdam-NY, 1985.
- Гершензон E.M. Гершензон M.E., Гольцман Г. Н., Семёнов А. Д., Сергеев А. В., «Разогрев квазичастиц в сверхпроводящей плёнке, находящейся в резистивном состоянии», Письма в ЖЭТФ, 1981, т.34, вып.5, с.281−285.
- N.Perrin and C. Vanneste, «Response of superconducting films to periodic optical irradiation», Phys. Rev. B28, 5150 (1983).
- N.Perrin and C. Vanneste, «Dynamic behavior of a superconductor under time-dependent external excitation», J.Physique. 48, 1311 (1987).
- A.V.Sergeev and M.Yu.Reizer, «Photoresponse mechanisms of thin superconducting films and superconducting detectors», Int. J. Of Modern Physics B, v.10, n.6, p.635, 1996.
- K.S.Il'in, N.G.Ptitsina, A.V.Sergeev, G.N.Gol'tsman, E.M.Gershenzon, B.S.Karasik, E.V.Pechen, and S.I.Krasnoslobodtsev, «Interrelation of resistivityand inelastic elcetron-phonon scattering rate in impure NbC films», Phys.Rcv.B. 57(24), p. 15 623, 1998.
- E.M.Gershenzon, M.E.Gershenzon, G.N.Gol'tsman, A.M.Lyul'kin,
- A.D.Semenov and A.D.Semenov, «Electron-phonon interaction in ultrathin Nb films», Sov.J.JETP, v.70, pp.505−511,1990.
- Yu.P.Gousev, G.N.Gol'tsman, A.D.Semenov, E.M.Gershenzon, R.S.Nebosis, M.A.Heusinger, and K.F.Renk, «Broadband ultrafast superconducting NbN detector for electromagnetic radiation», J.Appl.Phys., v.75, pp.3695−3697, 21 994. Phys.
- M.Lindgren, M. Currie, C. Williams, T.Y.Hsiang, P.M.Fauchet, R. Sobolewsky, S.H.Moffat, R.A.Hughes, J.S.Preston, F.A.Hegmann, «Intrinsic picosecond response times of Y-Ba-Cu-0 superconducting photoresponse», Appl.Phys.Lett. v.74, n.6, p.853, 1999.
- M.E.Gershenzon, G.N.Gol'tsman, A.D.Semenov and A.D.Semenov, Solid State commun., 76,493, 1990.
- A.Rothwarf and B.N.Taylor, Phys.Rev.Lett. 19, 27, 1967.
- S.B.Kaplan, «Acoustic matching of superconducting films to substrates», J. Low.Temp.Phys., v.37, pp.343−365, 1979
- A.V.Sergeev, A.D.Semenov, P. Kouminov, V. Trifonov, I.G.Gogidze,
- B.S.Karasik, G.N.Gol'tsman, E.M.Gershenzon, «Transparency of a YBa2Cu307−5 film/sunstrate interface for thermal fonons measured by means of voltage response to radiation», Phys.Rev.B, v.49,n, 13, p.9091,1994.
- N.Bluzer, Phys.Rev. B, 46,1033,1992
- M.Jonson, Phys.Rev.Lett., 67, 374,1991
- A.D.Semenov, R.S.Nebosis, Yu.P.Gousev, M.A.Heusinger, and K.F.Renk, «Analysis of the nonequilibrium photoresponse of superconducting films to pulsed radiation by use of a two-temperature model», Phys.Rev.B, v.52(l)p.581,1995.
- M.Lindgren, V. Trifonov, M. Zorin, M. Danerud, D. Winkler, B.S.Karasik, G.N.Gol'tsman, and E.M.Gershenzon, «Transient resistive photoresponse of УВа2Сиз07.5 films using low power 0.8 and 10.6 pm laser radiation», Appi.Phys.Lelt. 64(22), p.3036, 1994.
- M.Danerud, D. Winkler, M. Lindgren, M. Zorin, V. Trifonov, B.S.Karasik, G.N.Gol'tsman, and E.M.Gershenzon, «Nonequilibrium and bolometric photorespoonse in patterned УБа2С11з07.5 thin films», J.Appl.Phys. 76(3), p. 1902, 1994.
- M.Stuivinga, T.M.Klapwijk, J.E.Mooij, and A. Bezuijen, «Self-Heating of Phase-Slip Centers», J.Low.Temp.Phys., v.53, n.5/6, p.673,1983
- H.Weissbrod, R.P.Huebener, and W. Clauss, «Phase-Slip Centers in Superconducting Indium Microbridges», J.Low.Temp.Phys., v.69, n.½, p.77,1987
- G.D.Poulin, J. Lachapelle, S.H.Moffat, F.A.Hegmann, and J.S.Preston, «Current-Voltage characteristics of dc voltage biased high temperature superconducting microbridges», Appl.Phys.Lett., 66(19), p.2576,1995
- Гершензон E.M. Гершензон M.E., Гольцман Г. Н., Семёнов А. Д., Сергеев А. В., «Неселективное воздействие электромагнитного излучения на сверхпроводящую плёнку в резистивном состоянии», Письма в ЖЭТФ, 1982, т.36, вып.7, с.241−244.
- A.D.Semenov, I.G.Gogidze, G.N.Gol'tsman, A.V.Sergeev, and E.M.Gershenzon, «Evidence for the spectral dependence of nonequilibrium picosecond photoresponse of YbaCuO thin films», Appl.Phys.Lett. 63(5), p.681, 1993.
- K.S.H'in, I.I.Milostnaya, A.A.Verevkin, G.N.Gol'tsman, E.M.Gershenzon, R. Sobolewsky, «Ultimate quantum efficiency of a superconducting hot-electron photodetector», Appl.Phys.Lett., 73(26), p.3938, 1998.
- D.E. Prober, Appl. Phys. Lett. 62, 2119 (1993).
- B.S.Karasik, W.R.McGrath, and M.C.Gaidis, «Analysis of a high-Tc hot-electron superconducting mixer for terahertz applications», J.Appl.Phys. 81 (3), pp.1581−1589, 1997.
- E.M.Gershenzon, G.N.Gol'tsman, I.G.Gogidze, Yu.P.Gousev, A.I.Elant'ev, B.S.Karasik, and A.D.Semenov, Sov. J. Superconductivity 3, 1582 (1990).
- A.T.Lee, P.L.Richards, S.W.Nam, B. Carbera, K.D.Irwin, «a superconducting bolometer with strong electrothermal feedback», Appl.Phys.Lett., 69(12), p. 1801, 1996
- H.Ekstrom, B. Karasik, E. Kolberg, and K.S.Yngvesson, «Conversion gain and noise of niobium superconducting hot-electron-mixers», IEEE Trans, on Microwave. 43(4), 1995.
- G.N. Gol’tsman, B.S. Karasik, O.V. Okunev, A.L. Dzardanov, E.M. Gershenzon, H. Ekstrom, S. Jacobsson, E. Kollberg, IEEE Trans, on Appl. Supercond 5, 3065 (1995).
- H.Ekstrom, B.S.Karasik, E. Kollberg, G.N.Gol'tsman, E.M.Gershenzon, «350 GHz NbN hot electron bolometer mixer», Proc. 6th Int. Symp. on Space Terahertz Technology, p., Pasadena, USA, March 1995
- B.S. Karasik and A.I. Elantiev, Phys. Lett. 68, 853 (1996).
- H.Ekstrom, B.S.Karasik, «Electron temperature fluctuation noise in hot-electron superconducting mixers», Appl.Phys.Lett. 66, 3212 (1995).
- A.R.Kerr, MJ. Feldman, and S.-K.Pan, «Receiver Noise Temperature, the Quantum Noise Limit, and the Role of the Zero-Point Fluctuations», Proc. of the 8th International Symposium on Space Terahertz Technology, p. 101, Boston, MA, 1997.
- H.Ekstrom, E. Kollberg, P. Yagoubov, G. Gol'tsman, EGershenzon, and S. Yngvesson, «Gain and noise bandwidth of NbN hot-electron bolometric mixers», Appl.Phys.Lett., 70(24), p.3296, 1997.
- П.А.Ягубов, «Квазиоптические смееителм терагерцового диапазона на эффекте разогрева электронов в тонких пленках NbN», Диссертация на соискание ученой степени к.ф.-м.н., Ml И У, Москва, 1997.
- P.J. Burke, R.J. Scholelkopf, D.E. Prober, A. Skalare, W.R. McGrath, B. Bumble, and H.G. LeDuc. Appl. Phys. Lett.6%, 3344 (1996).
- R. Wyss, B. Karasik, W. McGrath, B. Bumble, H. LeDuc, 10th Int. Symposium on Space Terahertz Technology, Charlottesville, USA, March 1999.
- A. Scalare, W.R. McGrath, B. Bumble, H.G. LeDuc, P.J. Burke, A.A. Verheijen, R.J. Schoelkopf, and D.E. Prober, Appl. Phys. Lett. 68, 1558 (1996).
- A. Scalare, W.R. McGrath, B. Bumble, H.G. LeDuc, IEEE Trans, on Appl. Supercond. 7, 3568 (1997).
- B.S. Karasik, M.C. Gaidis, W.R. McGrath, B. Bumble, H.G. LeDuc, Appl. Phys. Lett. 71, 1567 (1997).
- B.S. Karasik, A. Scalare, W.R.Wyss, W.R. McGrath, B. Bumble, H.G. LeDuc, J.B.Barner, and A.W.Kleinsaasser, «Low-noise and wideband hot-electron superconductive mixers for THz frequencies», Leeds.
- B.S.Karasik, W.R.McGrath, and R.A.Wyss, «Optimal choise of material for HEB superconducting mixers», Appl. Supercond. Conference, 13−18 September, 1998, Palm Desert, CA, USA.
- J.A.Alarco, G. Brorsson, Z.G.Ivanov, P.-A.Nilsson, E. Olsson, and M. Lofgren, «Effects of substrate temperature on the microstructufe of YBa2 Сиз О7−5 films grown on (001) Y-Zr02 substrates», Appl.Phys.Lett.61(6), p.723, 1992
- V.Trifonov, B.S.Karasik, M. Zorin, G.N.Gol'tsman, E.M.Gershenzon, M. Lindgren, M. Danerud, D. Winkler, «9.6 -jum wavelength mixing in a patterned YBa2Cu307−5 thin film», Appl.Phys.Lett. 68(10), p.1418, 1996
- Yu.P.Gousev, A.D.Semenov, E.V.Pechen, A.V.Varlashkin, R.S.Nebosis, and K.F.Renk, «Coupling of therahertz radiation to a high-Tc superconducting hot electron bolometer mixer», Appl.Phys.Lett., 69(5), 1996
- S.J.Hagen, Z.Z.Wang, and N.P.Ong, Phys.Rev.B, 40, 9389, 1989
- J.M.Ferreira, B.W.Lee, Y. Dalichaoueh, M.S.Totikachvili, K.N.Yang, and M.B.Maple, Phys.Rev. B, 37, 1580,1988.
- H.Su, N. Yoshikawa and M. Sugahara, «Study of electrical conduction properties of NbN thin films using NbN/MgO/NbN double-tunnel junctions», Supercond. Sci. Technol. 9 (1996), A152-A155.
- B.Komiyama, Zh. Wang, and M. Tonouchi, «Penetration depth measurements of single-crystal NbN films at millimeter-wave region», Appl.Phys.Lett. 68 (4), 1996.
- Gin-ichiro Oya and Yutaka Onodera, «Transition temperatures and crystal structures of single-crystal and polycrystalline NbNx films», J .Appl.Phys. 45(3), 1974, pp.1389−1397.
- L.-J. Lin and D.E. Prober, «Superconducting NbNxCy thin films fabricated with dual ion-beam sputtering method», Appl.Phys.Lett. 49 (7), 1986, pp.416−418.
- H.-J.Hedbabny and H. Rogalla, «dc and rf magnetron sputter deposition of NbN films with simultaneous control of the nitrogen consumption», J.Appl.Phys. 63 (6), 1988
- М.Я.Будянский, Л. А. Сейдман, «Получение сверхпроводящих плёнрк нитрида ниобия», Electronic Industry, 2, 1992, p.21.
- Б.М.Воронов, Е. М. Гершензон, Г. Н. Гольцман, Т. О. Губкина, В. Д. Семаш, Л. А. Сейдман, «Сверхпроводниковые свойства срерхтонких пленок NbN на различных подложках», Сверхпроводимость: физика, химия, техника, т.7, № 6, 1994, стр. 1097−102.
- N.N.Iosad, D.V.Balashov, M.Yu.Kupriyanov, S.N.Polyakov, V.V.Rodatis, «Characterization of NbN/AalN/NbN tunnel junctions fabricatedwithout intentional heating», IEEE Trans, on Appl. Supercond. 7 (2), pt.3, 1997, pp.2805−8.
- A.Shoij, S. Kiryu, and S. Kohjiro, «Superconducting properties and normal-state resistivity of single-crystal NbN films prepared by a reactive rf-magnetron sputtering method», Appl.Phys.Lett. 60 (13), 1992.
- E.V.Shalaeva, R.S.Baryshev, M.V.Kuznetsov, B. V. Mitrofanov, «Structure of epitaxial 5-NbN films deposited by cathode reactive sputtering», Thin Solid Films 261 (1995), 64−69.
- R.E.Treece, J.S.Horwitz, J.H.Claassen and D.B.Chrisey, «Pulsed laser deposition of high-quality NbN thin films», Appl.Phys.Lett. 65 (22), 1994.
- S.Kubo, M. Asahi, H. Hikita, and M. Igarashi, «Magnetic penetration depth in superconducting NbN films prepared by reactive dc magnetron sputtering», Appl.Phys.Lett. 44, pp.258−260, 1984.
- Z.Wang, A. Kawakami, Y. Uzawa, and B. Komiyama, «Superconducting properties and crystal structures of single-crystal niobium nitride thin films deposited at ambient substrate», Appl.Phys.Lett. 79 (10), 1996.
- D.D.Bacon, A.T.English, S. Nakahara, F.G.Peters, H. Schreiber, W.R.Sinclair, and R.B. van Dover, «Properties of NbN thin films deposited on ambient temperature substrates», J.Appl.Phys. 54 (11), 1983, pp.6509−6516.
- S.Thakoor, J.L.Lamb, A.P.Thakoor, and S.K.Khanna, «High Tc superconducting NbN films deposited at room temperature», J.Appl.Phys. 58 (12), 1985, pp.4643−4648.
- E.K.Hollman and A.G.Zaitsev, «Optimal magnetron sputtering parameters for superconducting NbN thin film deposition», Vacuum 44 (8), pp.847−850, 1993.
- Е.М.Гершензон, Г. Н. Гольцман, Ю. П. Гусев, А. Д. Семенов, «Неравновесный отклик тонких пленок NbN на излучение миллиметрового и оптического диапазонов»,
- A.D.Semenov, R.S.Nebosis, Yu.P.Gousev, M.A.Heusinger, and K.F.Renk, Phys. Rev. B52, 581 (1995).
- W.J.Skoepol, M.R.Beasley, and M. Tinkham, «Self-heating hotspots in superconducting thin-film microbridges», J.Appl.Phys.v.45, n.9, 4054,1974.
- F.Ronnung, et al, to be issued. *