Π’Π΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ Π΄ΠΎΡΡΡΠΏΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΡ ΡΠ΅Π°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΉ Π²Π½ΡΡΡΠ΅Π½Π½Π΅Π³ΠΎ ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ-Π»-ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄ΠΎΠ²
Π€ΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π² ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΡΡΠ±ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠ°Ρ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½Ρ ΠΈ, Π² Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΎΡ ΠΏΡΠΈΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ, ΠΎΠΏΠΈΡΡΠ²Π°ΡΡΡΡ Π΄ΠΈΡΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡΠΌΠΈ Π² ΡΠ°ΡΡΠ½ΡΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠΎΠ²Π½Ρ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ. ΠΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½ΡΡ ΠΈ Π³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ½ΡΠ΅ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΠΉ (ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ, ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΠΈ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ, ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΡ, Π·Π°Π²ΠΈΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΎΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ², ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΡΠ΅ΠΉΡ ΠΈ Π³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ½ΡΠ΅ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ°) Π·Π°Π²ΠΈΡΡΡ ΠΎΡ ΡΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΊΡΠ°… Π§ΠΈΡΠ°ΡΡ Π΅ΡΡ >
Π’Π΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ Π΄ΠΎΡΡΡΠΏΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΡ ΡΠ΅Π°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΉ Π²Π½ΡΡΡΠ΅Π½Π½Π΅Π³ΠΎ ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ-Π»-ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄ΠΎΠ² (ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠ°Ρ, ΠΊΡΡΡΠΎΠ²Π°Ρ, Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΡΠ½Π°Ρ)
Π ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΠ΅ 4.11 ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Ρ ΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΠ΅ ΡΠ΅Π°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ Π²Π½ΡΡΡΠ΅Π½Π½Π΅Π³ΠΎ ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ-ΠΏ-ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄ΠΎΠ², ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡΡΠΈΡΡΠ²Π°ΡΡ ΠΏΡΠΈ ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·Π΅ Π½ΠΎΠ²ΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π½ΡΡ 3D Π»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΈ Π·Π°ΠΏΠΎΠΌΠΈΠ½Π°ΡΡΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² Π΄Π»Ρ 3D Π‘ΠΠΠ‘. ΠΠΈΠ΄Π½ΠΎ, ΡΡΠΎ ΡΠ°ΡΡΡ Π²Π°ΡΠΈΠ°Π½ΡΠΎΠ² ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠ΅Π°Π»ΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΡΡΠ°Π½Π΄Π°ΡΡΠ½ΡΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ, Π² ΡΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΊΠ°ΠΊ Π΄Π»Ρ Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΡΡΡΡ ΠΈ ΡΡΠ»ΠΎΠΆΠ½Π΅Π½Π½Π°Ρ, Π½ΠΎ Π²ΡΠ΅ ΠΆΠ΅ Π΄ΠΎΡΡΡΠΏΠ½Π°Ρ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΊΠ°. Π ΡΠ΄ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² Π² ΡΠΈΠ»Ρ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ ΠΏΠΎΠΊΠ° ΡΡΡΠ΄Π½ΠΎ ΡΠ΅Π°Π»ΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ, ΠΏΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ Π½ΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±ΠΎΠ² ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ.
Π’Π°Π±Π»ΠΈΡΠ° 4.11.
ΠΡΠΎΡΡΡΠ°Π½ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΠ΅ ΡΠ΅Π°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ Π²Π½ΡΡΡΠ΅Π½Π½Π΅Π³ΠΎ ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ-Π»-ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄ΠΎΠ².
ΠΡΠΎΠ΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅.
Π€ΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΠΌΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π² Sentaurus Device (TCAD Synopsys 2008).
Π€ΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π² ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΡΡΠ±ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠ°Ρ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½Ρ ΠΈ, Π² Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΎΡ ΠΏΡΠΈΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ, ΠΎΠΏΠΈΡΡΠ²Π°ΡΡΡΡ Π΄ΠΈΡΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡΠΌΠΈ Π² ΡΠ°ΡΡΠ½ΡΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠΎΠ²Π½Ρ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ. ΠΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½ΡΡ ΠΈ Π³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ½ΡΠ΅ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΠΉ (ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ, ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΠΈ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ, ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΡ, Π·Π°Π²ΠΈΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΎΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ², ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΡΠ΅ΠΉΡ ΠΈ Π³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ½ΡΠ΅ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ°) Π·Π°Π²ΠΈΡΡΡ ΠΎΡ ΡΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΊΡΠ°, ΠΎΡ ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠ°ΠΌΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ, ΠΎΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΠΉ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ Π½Π° Π½Π΅Π΅. ΠΠ»Ρ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π·Π°Π΄Π°Ρ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΠ², ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΡ Π² ΡΠ°Π·Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ ΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ°Ρ , Π±ΡΠ»Π° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½Π° ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ° Π°Π²ΡΠΎΠΌΠ°ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ Sentaurus Device (TCAD Synopsys [87]). ΠΠ½Π° ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π΅Ρ Ρ Π»ΡΠ±ΡΠΌΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΡΠΌΠΈ ΡΡΠ°Π½ΡΠΏΠΎΡΡΠ½ΡΡ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΠΉ ΠΈ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»Π΅ΠΉ, ΠΎΡ Π²Π°ΡΡΠ²Π°Π΅Ρ Π²Π΅ΡΡ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ²: ΠΎΡ ΠΌΠΎΡΠ½ΡΡ ΡΠΈΠ»ΠΎΠ²ΡΡ ΠΌΠΎΠ΄ΡΠ»Π΅ΠΉ Π΄ΠΎ Π½Π°Π½ΠΎΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ½ΡΡ ΡΡ Π΅ΠΌ ΠΈ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΡ Π³Π΅ΡΠ΅ΡΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡ.
Π Π°ΡΡΠΌΠΎΡΡΠΈΠΌ ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΊΠΎ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠ΅ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈ ΠΈ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΡΠ΅ ΠΏΡΠΈ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²ΠΎΠΌ Sentaurus Device.
Π’ΡΠ°Π½ΡΠΏΠΎΡΡΠ½ΡΠ΅ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ. Π Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΎΡ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ ΠΈ ΡΡΠΎΠ²Π½Ρ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΠΌΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π²ΡΠ±ΡΠ°ΡΡ ΡΠ΅ΡΡΡΠ΅ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌΠ° ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ.
- β’ ΠΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠΉ ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌ. ΠΠ½ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ ΠΈΠ·ΠΎΡΠ΅ΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅, ΠΎΠΏΠΈΡΠ°Π½Π½ΠΎΠ΅ Π±Π°Π·ΠΈΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΠΌΠΈ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡΠΌΠΈ. ΠΠΎΠ΄Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π΄Π»Ρ ΠΌΠ°Π»ΠΎΠΌΠΎΡΠ½ΡΡ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ² Ρ Π΄Π»ΠΈΠ½Π½ΡΠΌΠΈ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠΌΠΈ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡΠΌΠΈ.
- β’ Π’Π΅ΡΠΌΠΎΠ΄ΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌ. Π ΡΡΠΎΠΌ ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌΠ΅ ΡΡΠΈΡΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΡΠ°ΠΌΠΎΠ½Π°Π³ΡΠ΅Π². ΠΠΎΠ΄Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π΄Π»Ρ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ² Ρ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠΎΠ±ΠΌΠ΅Π½ΠΎΠΌ, ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎ Π΄Π»Ρ ΠΌΠΎΡΠ½ΡΡ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ² Ρ Π΄Π»ΠΈΠ½Π½ΡΠΌΠΈ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠΌΠΈ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡΠΌΠΈ.
- β’ ΠΠΈΠ΄ΡΠΎΠ΄ΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌ. Π£ΡΠΈΡΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΡΡΠ°Π½ΡΠΏΠΎΡΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Ρ. ΠΠΎΠ΄Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π΄Π»Ρ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ² Ρ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°ΠΊΡΠ½ΡΠΌΠΈ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠΌΠΈ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡΠΌΠΈ.
- β’ Π Π΅ΠΆΠΈΠΌ ΠΠΎΠ½ΡΠ΅-ΠΠ°ΡΠ»ΠΎ. ΠΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²ΠΎ Π² Π²ΡΠ±ΡΠ°Π½Π½ΠΎΠΌ ΠΎΠΊΠ½Π΅ (Π·ΠΎΠ½Π΅).
Π Sentaurus Device ΡΡΠ°Π½ΡΠΏΠΎΡΡΠ½Π°Ρ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»Ρ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ Π²ΡΠ±ΡΠ°Π½Π° Π½Π΅Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΊ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΡΠΌ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠΌ. Π’ΡΠ°Π½ΡΠΏΠΎΡΡΠΎΠΌ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡΠ΅Π½Π΅Π±ΡΠ΅ΡΡ, ΠΏΡΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Ρ ΠΏΠΎΡΡΠΎΡΠ½Π½ΡΠΌ ΠΊΠ²Π°Π·ΠΈΡΡΠΎΠ²Π΅Π½Ρ Π€Π΅ΡΠΌΠΈ Π΄Π»Ρ Π½Π΅Π²ΡΠ±ΡΠ°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Ρ. Π’ΠΎ ΠΆΠ΅ Π΄Π»Ρ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π±Π°Π»Π°Π½ΡΠ°. ΠΡΠ»ΠΈ ΡΠ°ΡΡΡΠΈΡΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Ρ, ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° Π΄ΡΡΠ³ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠΈΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΠΈ.
Π£ΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΡΠ°ΡΡΠΎΠ½Π° ΠΈ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ Π½Π΅ΠΏΡΠ΅ΡΡΠ²Π½ΠΎΡΡΠΈ. ΠΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ ΡΡΠΈ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΡ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ Π΄Π»Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΎΡΠ° Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π² ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠ°Ρ — ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΡΠ°ΡΡΠΎΠ½Π° ΠΈ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ Π½Π΅ΠΏΡΠ΅ΡΡΠ²Π½ΠΎΡΡΠΈ Π΄Π»Ρ Π΄ΡΡΠΎΠΊ ΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ².
Π£ΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΡΠ°ΡΡΠΎΠ½Π° (4.1) ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ Π²ΠΈΠ΄:
Π³Π΄Π΅ Ρ — ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΠΏΡΠΎΠ½ΠΈΡΠ°Π΅ΠΌΠΎΡΡΡ;
q — ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°ΡΠ½ΡΠΉ Π·Π°ΡΡΠ΄ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π°;
ΠΏΡ Ρ — ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½Π°Ρ ΠΈ Π΄ΡΡΠΎΡΠ½Π°Ρ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ;
Nd — ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΡ Π΄ΠΎΠ½ΠΎΡΠΎΠ²;
Na — ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΡ Π°ΠΊΡΠ΅ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ²;
Ptrap — ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ Π·Π°ΡΡΠ΄Π°, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΉ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡΠ΅Π½Π΅Π±ΡΠ΅ΡΡ.
Π£ΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ Π½Π΅ΠΏΡΠ΅ΡΡΠ²Π½ΠΎΡΡΠΈ Π΄Π»Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² (4.2) ΠΈ Π΄ΡΡΠΎΠΊ (4.3):
Π³Π΄Π΅ Rnet — ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎ-Π΄ΡΡΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΠΈ Π² ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΠ΅;
J" — ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½Π°Ρ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠΎΠΊΠ°;
Jp — ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠΎΠΊΠ° Π΄ΡΡΠΎΠΊ.
ΠΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½Π°Ρ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»Ρ. ΠΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½Π°Ρ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»Ρ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΎΡΠ° Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π² ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°Ρ ΠΈ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π° Π±Π°Π·ΠΈΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΠΌΠΈ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡΠΌΠΈ (4.1−4.3), Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΡΠ΅ΠΊΡΡΠΈΠ΅ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ Π΄Π»Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² ΠΈ Π΄ΡΡΠΎΠΊ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΡΡΡΡ ΠΏΠΎ ΡΠΎΡΠΌΡΠ»Π°ΠΌ (4.4) ΠΈ (4.5) ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ:
Π³Π΄Π΅ Ρ"ΠΈΡΡ — ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½Π°Ρ ΠΈ Π΄ΡΡΠΎΡΠ½Π°Ρ ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ;
Π€Ρ ΠΈ Π€Ρ — ΠΊΠ²Π°Π·ΠΈΠΏΠΎΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ°Π»Ρ Π€Π΅ΡΠΌΠΈ Π΄Π»Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² ΠΈ Π΄ΡΡΠΎΠΊ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ.
ΠΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠΎΠ±Π½ΠΎΠ΅ ΠΎΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»Π΅ΠΉ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΡΡ ΠΏΡΠΈ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ, ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π½Π°ΠΉΡΠΈ Π² ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΠΌ ΠΎΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΠΈ TCAD Synopsys [87].