ΠΠ»Π΅Π½ΠΎΡΠ½ΡΠ΅ Π΄Π°ΡΡΠΈΠΊΠΈ Π₯ΠΎΠ»Π»Π°
Π Π½Π°ΡΡΠΎΡΡΠ΅Π΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΡΠΌΠΈ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΠ₯ ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π° Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ. Π‘ΠΎΡΠ΅ΡΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΡΠ°ΠΊΡΠΎΡΠΎΠ², ΠΊΠ°ΠΊ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ°Ρ ΡΠΈΡΠΈΠ½Π° Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ (Π8=1.7 ΡΠ), Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠ΅ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½ΡΠ° Π₯ΠΎΠ»Π»Π° ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ (|Π΄ΠΏ=0.85 ΠΌ2/Π Ρ), Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ Π°Π²ΡΠΎΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π²ΡΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ ΡΠ»ΠΎΠ΅Π² Π½Π° ΠΏΠΎΠ»ΡΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡΡΡΡΠΈΡ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ°Ρ ΠΎΠ±ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΠ»ΠΈ… Π§ΠΈΡΠ°ΡΡ Π΅ΡΡ >
ΠΠ»Π΅Π½ΠΎΡΠ½ΡΠ΅ Π΄Π°ΡΡΠΈΠΊΠΈ Π₯ΠΎΠ»Π»Π° (ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠ°Ρ, ΠΊΡΡΡΠΎΠ²Π°Ρ, Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΡΠ½Π°Ρ)
Π³Π΄Π΅ ΠΈΠ½Π΄Π΅ΠΊΡΡ 1 ΠΈ 2 ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡΡΡ ΠΊ ΡΡΠΆΠ΅Π»ΡΠΌ ΠΈ Π»Π΅Π³ΠΊΠΈΠΌ Π΄ΡΡΠΊΠ°ΠΌ. Π‘ΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ Π²ΡΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π»Ρ Ρ ΠΎΠ»Π»ΠΎΠ²ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ Π²ΠΈΠ΄.
ΠΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠΎΠ±Π½ΡΠ΅ ΡΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠ± ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠ΅ Π₯ΠΎΠ»Π»Π° Π² ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π°Ρ ΠΈ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ°Ρ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΡΡ ΠΈΠ· ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΠΉ [9−11].
ΠΠΎΠ΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΡ Π² (5) Π²ΠΌΠ΅ΡΡΠΎ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠΎΠΊΠ° jx Π΅Π³ΠΎ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ I ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°Π΅ΠΌ Π²ΡΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ Π₯ΠΎΠ»Π»Π° ΡΠ΅ΡΠ΅Π· ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΡΠ΅ΠΌΡΠ΅ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΡ:
Π³Π΄Π΅ d — ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π° ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ°.
ΠΠ· ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ Π²ΠΈΠ΄Π½ΠΎ, ΡΡΠΎ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΊ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡΠΌ ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΈΠ½Π΄ΡΠΊΡΠΈΠΈ (Ρ=Π11Ρ/ΠΠ) Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΠ΅ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌΠΈ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡΠΌΠΈ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½ΡΠ° Π₯ΠΎΠ»Π»Π° ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π·Π°ΡΡΠ΄Π°.
ΠΠ΅ΡΠ²ΠΎΠ½Π°ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ Π΄Π»Ρ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΠ₯ Π½Π΅ Π΄Π°Π²Π°Π»ΠΎ ΠΎΠΆΠΈΠ΄Π°Π΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ² Π²Π²ΠΈΠ΄Ρ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ Π²ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΠ²ΠΈΠ΅ Π²ΠΊΠ»Π°Π΄Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠ½ΡΡ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² Π² ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌ ΡΠ°ΡΡΠ΅ΡΠ½ΠΈΡ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π·Π°ΡΡΠ΄Π° ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΠ»ΠΎ ΡΠ΅Π·ΠΊΠΎΠ΅ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ, ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠΎ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ Ρ ΡΠ΅ΠΌΠΈ ΠΆΠ΅ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡΠΌΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΎΠ±ΡΡΠΌΠ½ΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ².
Π‘ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π²ΡΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ ΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΏΠΎΡΠ²ΠΈΠ»ΠΈΡΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡ Π΄Π»Ρ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΈ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΡΡ ΠΠ₯ [12]. ΠΠ»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ Π½Π°ΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΡΠ°Π·Π½ΠΎΠΉ, Π³Π°Π·ΠΎΡΡΠ°Π½ΡΠΏΠΎΡΡΠ½ΠΎΠΉ, Π²Π°ΠΊΡΡΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΈ ΠΌΠΎΠ»Π΅ΠΊΡΠ»ΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΠΉ [13].
Π Π½Π°ΡΡΠΎΡΡΠ΅Π΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΡΠΌΠΈ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΠ₯ ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π° Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ. Π‘ΠΎΡΠ΅ΡΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΡΠ°ΠΊΡΠΎΡΠΎΠ², ΠΊΠ°ΠΊ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ°Ρ ΡΠΈΡΠΈΠ½Π° Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ (Π8=1.7 ΡΠ), Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠ΅ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½ΡΠ° Π₯ΠΎΠ»Π»Π° ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ (|Π΄ΠΏ=0.85 ΠΌ2/Π Ρ), Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ Π°Π²ΡΠΎΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π²ΡΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ ΡΠ»ΠΎΠ΅Π² Π½Π° ΠΏΠΎΠ»ΡΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡΡΡΡΠΈΡ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ°Ρ ΠΎΠ±ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° Π΄Π»Ρ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ ΠΠ₯.
ΠΡΠ²ΠΎΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ Π² ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄ Π³Π°Π»Π»ΠΈΠ΅Π²ΡΠ΅ ΠΠ₯ (Π₯ΠΠ-Π) ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΈΠΌ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΈΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½ΠΎΠΌ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡ (ΠΎΡ -60Β° Π‘ Π΄ΠΎ +300Β° Π‘) ΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ ΠΊ ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡΠ½ΠΎΠΌΡ ΠΏΠΎΠ»Ρ (Π²ΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΡΠΈΠ³Π½Π°Π» ΠΏΡΠΈ ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΈΠ½Π΄ΡΠΊΡΠΈΠΈ 0.5 Π’Π» Π½Π΅ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 1 Π).
ΠΠ°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π²Π°ΠΆΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΡΠ΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡΠΌΠΈ, ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²Π»ΡΠ΅ΠΌΡΠΌΠΈ ΠΊ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ°ΠΌ ΠΠ₯, ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ½ΠΎΡΡΡ, Ρ ΠΎΡΠΎΡΠΈΠ΅ ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡΡΡΡΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°, ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠΈ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΎΠ½Π΅ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠΎ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ, Π±Π»ΠΈΠ·ΠΎΡΡΡ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½ΡΠΎΠ² ΡΠ΅ΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ ΠΈ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ.
ΠΠ°ΡΡΠΈΠΊΠΈ Π₯ΠΠ-Π ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡΡΡΡ Π²ΡΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ 5−10 ΠΌΠΊΠΌ Π½Π° ΠΏΠΎΠ»ΡΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡΡΡΡΠΈΡ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ°Ρ GaAs, GaP ΠΈΠ»ΠΈ InP, ΠΏΡΠΈΡΠ΅ΠΌ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄Π½ΠΈΠΉ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Π΅Ρ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠΎΠ³Π»Π°ΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ² ΡΠ΅ΡΡΡΠΊΠΈ ΠΏΡΠΈ ΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΠΈ. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΠΎΠ½ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΌΠΈ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠΈ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΎΠ½Π΅ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΡΠΌΠΈ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ², ΠΏΠΎΡΡΠΎΠΌΡ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΏΠΎΡΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠ΅ΠΊ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π²ΡΠ΅ ΠΆΠ΅ GaAs [4]. Π ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ Π»Π΅Π³ΠΈΡΡΡΡΠΈΡ Π΄ΠΎΠ½ΠΎΡΠ½ΡΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ΅ΠΉ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎ, ΡΠ΅Π»Π»ΡΡ, ΡΠ΅Π»Π΅Π½ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ΅ΡΡ.
ΠΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΈΡ ΠΠ₯ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ ΠΏΡΡΠΌΠΎΡΠ³ΠΎΠ»ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ Ρ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈ 4×2 ΠΌΠΌ, ΡΠ°ΡΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½ΡΡ Π½Π° Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°ΡΠ΅ ΠΈ ΠΏΠΎΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΡΡ Π² ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΠΎΡΠΏΡΡ ΠΈΠ· Π½Π΅ΡΠΆΠ°Π²Π΅ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΡΠ°Π»ΠΈ (ΡΠΈΡ.2).
ΠΠ»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΡΡ ΠΎΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠΎΠ² ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎ, ΡΠ΅ΡΠ΅Π±ΡΠΎ, Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠΎ, Π³Π΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΈΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ Π½ΠΈΠΊΠ΅Π»Ρ, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΈΡ ΡΠΏΠ»Π°Π²Ρ.
Π‘Π΅ΡΠ΅Π±ΡΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅Ρ Π»Π΅Π³ΠΊΠΎΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΡΡ ΡΠ²ΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠΊΡ Ρ n-GaAs, ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΡΡ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΡ ΠΈ ΡΡΠ°Π²Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΌΠ΅Π΄Π»Π΅Π½Π½ΠΎ Π΄ΠΈΡΡΡΠ½Π΄ΠΈΡΡΠ΅Ρ Π² GaAs, Π½ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅ΡΠ΅Π±ΡΠ° Π½Π΅ Π΄Π°Π΅Ρ ΠΎΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠΎΠ², ΠΏΠΎΡΡΠΎΠΌΡ Π΅Π³ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ Ρ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ², Π΄Π°ΡΡΠΈΡ ΠΏ+-ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡ, Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ 93%Ag+ 7%Sn.
ΠΠ°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΏΠ»Π°Π²Π° Ag-Sn ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ ΡΠ΅ΡΠ΅Π· ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΠΌΠ°ΡΠΊΡ ΠΏΡΠΈ Π²Π°ΠΊΡΡΠΌΠ΅ 10'3 ΠΠ° Ρ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠΌ Π²ΠΆΠΈΠ³Π°Π½ΠΈΡΠΌ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ 550−600Β°Π‘ Π² ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ 5−10 ΠΌΠΈΠ½ΡΡ.
ΠΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π²ΡΠ²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°ΡΡ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΈΠΌΠΈΠ΄Π½ΠΎ-ΡΡΠΎΡΠΎΠΏΠ»Π°ΡΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠΈΠΈ (ΠΈΠ½Π΄Π΅ΠΊΡ 3 Π½Π° ΡΠΈΡ.2) ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠΈΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΈ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΈΠΈ ΠΈ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠΈΡΡ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ, ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΠ΅ ΠΊ Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΠΌ Π΄ΡΠ΅ΠΉΡΠ°ΠΌ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ² ΠΠ₯.
ΠΠ°ΠΆΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠΈΠ΅ΠΉ ΠΏΡΠΈ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΠ₯ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ (Π΄ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΊΠ°) ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ U0, Ρ.Ρ. Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ Π½Π° Ρ ΠΎΠ»Π»ΠΎΠ²ΡΠΊΠΈΡ Π²ΡΠ²ΠΎΠ΄Π°Ρ Π² ΠΎΡΡΡΡΡΡΠ²ΠΈΠ΅ ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»Ρ. ΠΡΠΈΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ½ΠΎΠ²Π΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠ° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΡΠ»ΡΠΆΠΈΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ Π½Π΅ΡΠΈΠΌΠΌΠ΅ΡΡΠΈΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠ°ΡΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ Ρ ΠΎΠ»Π»ΠΎΠ²ΡΠΊΠΈΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠΎΠ², ΡΠ°ΠΊ ΠΈ ΠΈΡΠΊΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΊΠ²ΠΈΠΏΠΎΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠ΅ΠΉ ΠΈΠ·-Π·Π° Π»ΠΎΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ Π½Π΅ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΠ΅ΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ. ΠΠ΅ΡΠ²ΠΎΠ½Π°ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΎΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠΈΡ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ U0 Ρ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΠ₯ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠ»Π°ΡΡ Π²ΡΡΡΠ½ΡΡ, ΠΏΡΡΠ΅ΠΌ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ Π³Π΅ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠΈ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ Π°Π±ΡΠ°Π·ΠΈΠ²Π½ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ². Π Π½Π°ΡΡΠΎΡΡΠ΅Π΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΎΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠΈΡ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ U0 ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π° ΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ Π»ΠΎΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΌ Π²ΡΠΆΠΈΠ³Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π½ΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ Π² ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ Ρ ΠΎΠ»Π»ΠΎΠ²ΡΠΊΠΈΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠΎΠ² ΡΡΠΎΠΊΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΌ Π»Π°Π·Π΅ΡΠ½ΡΠΌ Π»ΡΡΠΎΠΌ [4].
ΠΠ΅ΡΠΌΠ΅ΡΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠ΅ΠΉ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°ΡΠ½Π΄Π° ΠΠ-514 Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΡΠΏΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΡΠΌΠΎΠ»Ρ Π-20 Π² ΠΊΠ°ΠΌΠ΅ΡΠ΅ ΡΠ΅ΠΏΠ»Π° ΠΏΡΠΈ Π’=140Β°Π‘ Π² ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ 4 ΡΠ°ΡΠΎΠ².
ΠΠ° ΡΠΈΡ. 3 ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ Ρ ΠΎΠ»Π»ΠΎΠ²ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎΡ Π²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ½Ρ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»ΡΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠΎΠΊΠ° Π΄Π»Ρ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ ΡΠΈΠΏΠΎΠ² Π°ΡΡΡΠ½ΠΈΠ΄-Π³Π°Π»Π»ΠΈΡΠ²ΡΡ ΠΠ₯.
ΠΠ°ΡΡΠ΄Ρ Ρ GaAs Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄ ΠΈΠ½Π΄ΠΈΡ ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΡΠ°Π΄ΠΈΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠΌ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ Π΄Π»Ρ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡΠ½ΡΡ ΠΠ₯. ΠΠ΅ΡΠ΅ΡΠΎΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ In As ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡ Π² ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΌ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΡΠ°Π·Π½ΠΎΠΉ ΠΈ Π³Π°Π·ΠΎΡΠ°Π·Π½ΠΎΠΉ ΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΠΉ Π² Ρ Π»ΠΎΡΠΈΠ΄Π½ΠΎ-Π³ΠΈΠ΄ΡΠΈΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ΅. Π ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠ΅ΠΊ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡΡΡΡΠΈΠΉ GaAs Ρ ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Ρ= 107 ΠΠΌ-ΡΠΌ ΠΏΡΠΈ Π’=300Π.
ΠΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π·Π°ΡΡΠ΄Π° Π² ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ΅ InAs, Π²ΡΡΠ°ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π³Π°Π·ΠΎΡΠ°Π·Π½ΠΎΠΉ ΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΠ΅ΠΉ, ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π² Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ 13 200Ρ-17 600 ΡΠΌ2/Π ΡΡΠΊ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ 7+18 ΠΌΠΊΠΌ, ΡΡΠΎ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Π΅Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΡΡ ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡΠ½ΡΡ ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΠ₯. ΠΠ°ΠΊ Π²ΠΈΠ΄Π½ΠΎ ΠΈΠ· ΡΠΈΡ. 4, Π²ΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΡΠΈΠ³Π½Π°Π» Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄ ΠΈΠ½Π΄ΠΈΠ΅Π²ΡΡ ΠΠ₯ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΊΠ° 0.5 Π ΠΏΡΠΈ ΠΈΠ½Π΄ΡΠΊΡΠΈΠΈ 0.6 Π’Π», ΠΏΡΠΈΡΠ΅ΠΌ ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ Π΄Π°ΡΡΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΌΠΎΠ½ΠΎΡΠΎΠ½Π½ΠΎ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ Ρ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ ΡΠΎΠ³Π»Π°ΡΠ½ΠΎ ΡΠΎΡΠΌΡΠ»Π΅ (20).
ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ Π²Π±Π»ΠΈΠ·ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ Ρ ΠΎΠ΄ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΈ ΠΈΠΈ Π΄Π°ΡΡΠΈΠΊΠΎΠ² ΡΠ΅Π·ΠΊΠΎ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΏΡΠΈ Π΄Π°Π»ΡΠ½Π΅ΠΉΡΠ΅ΠΌ ΡΡΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ. ΠΠ° ΡΠΈΡ. 5 ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½ΠΎ Π²Π»ΠΈΡΠ½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π° ΠΈΠ½Π΄ΠΈΡ Π½Π° ΠΏΠΎΠ»ΡΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡΡΡΡΠ΅ΠΌ GaAs Π½Π° Ρ ΠΎΠ»Π»ΠΎΠ²ΡΠΊΡΡ ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² [14]. ΠΠ½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ Π½Π΅ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ Π² ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ²Π°Π»Π΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ 6−5-10 ΠΌΠΊΠΌ, Π½ΠΎ Π±ΡΡΡΡΠΎ ΠΏΠ°Π΄Π°Π΅Ρ Ρ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ Π΄ΠΎ 1+2 ΠΌΠΊΠΌ, ΡΡΠΎ ΡΠ²ΠΈΠ΄Π΅ΡΠ΅Π»ΡΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ ΠΎ ΡΠΎΠ»ΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΡ, Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡΡΠ΅Π³ΠΎ Π²Π±Π»ΠΈΠ·ΠΈ Π³ΡΠ°Π½ΠΈΡΡ ΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½Π°Ρ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ°-ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ°, Π²Π²ΠΈΠ΄Ρ Π½Π΅ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΠΈΡ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ² ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΠΈ.
ΠΠΎΡΡΠΎΠΌΡ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π΄Π°ΡΡΠΈΠΊΠΎΠ² Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Π·Π½Π°ΡΡ Π½Π΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ, Π½ΠΎ ΠΈ ΠΎΠΏΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π΅Π΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ.
ΠΠΎ ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄ ΠΈΠ½Π΄ΠΈΠ΅Π²ΡΠ΅ ΠΠ₯ ΠΏΡΠ΅Π²ΠΎΡΡ ΠΎΠ΄ΡΡ Π³Π΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅Π²ΡΠ΅, Π½ΠΎ ΡΡΡΡΠΏΠ°ΡΡ Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄ Π³Π°Π»Π»ΠΈΠ΅Π²ΡΠΌ. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ, Π½Π΅ΡΠΌΠΎΡΡΡ Π½Π° Π΄ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎ Π²ΡΡΠΎΠΊΡΡ ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΈ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠ΅ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ U0 («±0.1 ΠΌΠ), Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄ ΠΈΠ½Π΄ΠΈΠ΅Π²ΡΠ΅ ΠΠ₯ Π½Π΅ Π½Π°ΡΠΈΠ»ΠΈ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ Π²Π²ΠΈΠ΄Ρ ΡΡΡΠ΄Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΠΈ Π²ΡΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌΡΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ, ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΊ Π½Π΅ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ².
Π¨ΠΈΡΠΎΠΊΠΎΠ΅ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ Π²ΡΠ΄Π²ΠΈΠ½ΡΠ»ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΡ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΈΠ»ΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΏΠΎΠ»Π΅ΠΉ (Π΄ΠΎ 10 Π’Π») ΠΏΡΠΈ ΡΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ . ΠΠ»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΠ₯, ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΎΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΡΡ ΠΏΡΠΈ ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ , Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ Ρ ΡΠ·ΠΊΠΎΠΉ Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½ΠΎΠΉ. ΠΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ ΡΠ»ΠΎΠ΅Π² ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΠΈΠ»ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ Π°Π½ΡΠΈΠΌΠΎΠ½ΠΈΠ΄Π° ΠΈΠ½Π΄ΠΈΡ (Eg=0.l3B) Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΡΡ Π½Π° ΠΏΠΎΠ»ΡΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡΡΡΡΠΈΡ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ°Ρ ΠΈΠ· GaAs.
ΠΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΠΈΠ· ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½Π΅Π½Π½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ Π°Π½ΡΠΈΠΌΠΎΠ½ΠΈΠ΄Π° ΠΈΠ½Π΄ΠΈΡ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΡΠ°Π·Π½Π°Ρ ΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΡ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠ°Ρ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ, ΠΏΡΠΈΡΠ΅ΠΌ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ Π²ΡΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΏΡΠΈ 300 Β°C. ΠΡΠΈΠΌ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±ΠΎΠΌ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΡΡΡΡΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ InSb ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ 1.8−5-9 ΠΌΠΊΠΌ Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠ΅ΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² 5−1015 ΡΠΌ*3 ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡΡΡ 55 000−58 000 ΡΠΌ2/ΠΡ.
ΠΡΡΠ³ΠΈΠΌ ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡΠ½ΡΠΌ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±ΠΎΠΌ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ΅ΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠΌ ΠΎΡΠΆΠΈΠ³ΠΎΠΌ ΠΏΡΠΈ 500−600 Β°Π‘, ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡΠ΅Π΅ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΡΡΠΊΠΈΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ InSb Π½Π° i-GaAs Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠ΅ΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² 6−1017 ΡΠΌ*3. ΠΠ₯ Π½Π° ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ°Ρ Π½Π°ΡΠ»ΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π»Ρ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΈΠ»ΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΏΠΎΠ»Π΅ΠΉ (Π΄ΠΎ 14 Π’Π») Π² ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎΠΌ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΠΎΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ (4,2−350 Π).
ΠΠ»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΠ΅Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠΈΠ΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ, Π½ΠΎ Π² ΡΠΎ ΠΆΠ΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΎΠ½ΠΈ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ Π±ΡΡΡ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½Ρ ΠΏΡΠΎΠΏΡΡΠΊΠ°ΡΡ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΉ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»ΡΡΡΠΈΠΉ ΡΠΎΠΊ (100−200 ΠΌΠ). ΠΡΠΎ ΠΎΠ±ΡΡΠΎΡΡΠ΅Π»ΡΡΡΠ²ΠΎ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²Π»ΡΠ΅Ρ ΠΎΡΠΎΠ±ΡΠ΅ ΡΡΠ΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΊ ΠΎΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ°ΠΌ ΠΠ₯. ΠΠ±ΡΡΠ½ΠΎ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° Π΄Π»Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠΎΠ² ΠΊ InSb ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ In. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΠΏΡΠΈ ΠΏΠΎΠ΄ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠ΅ Π²ΡΠ²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΊ ΠΈΠ½Π΄ΠΈΠ΅Π²ΡΠΌ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ°ΠΌ ΡΠ°ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΡΠ°ΡΡΠ΅ΠΊΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΏΠΎΡ, ΡΡ ΡΠ΄ΡΠ°ΡΡΠ΅Π΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ².
ΠΠΎΡΡΠΎΠΌΡ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠΎΠ² Π΄Π»Ρ ΠΠ₯ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ InSb ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΡΠ΅Ρ ΡΠ»ΠΎΠΉΠ½Π°Ρ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ: ΠΏΠΎΠ΄ΡΠ»ΠΎΠΉ Π²Π°Π½Π°Π΄ΠΈΡ (Π΄Π»Ρ ΡΠ»ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΠΈ), ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΠΉ ΡΠ»ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ ΠΈ Π·Π°ΡΠΈΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΈΠ· Π½ΠΈΠΊΠ΅Π»Ρ.
ΠΠ»Ρ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΠΎΠΉ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ UH=f (B) Π΄Π°ΡΡΠΈΠΊΠ° Π₯ΠΠ‘ (Π΄Π°ΡΡΠΈΠΊ Π₯ΠΎΠ»Π»Π° ΠΈΠ· InSb) ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ ΠΊ ΡΠΈΡΠΈΠ½Π΅ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠΉ ΡΠ°ΡΡΠΈ Π΄Π°ΡΡΠΈΠΊΠ° Π²ΡΠ±ΠΈΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΡΠ°Π²Π½ΡΠΌ ΡΡΠ΅ΠΌ, Π° ΡΠ°ΠΌΠ° ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ° ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΠΊΡΠ΅ΡΡΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ, ΠΈΡΠΊΠ»ΡΡΠ°ΡΡΠ΅ΠΉ Π²Π»ΠΈΡΠ½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠΎΠ² Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠ΅ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ (ΡΠΈΡ.6), ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠ½ΠΈ Π²ΡΠ½Π΅ΡΠ΅Π½Ρ Π·Π° ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Ρ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠΉ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ° Π₯ΠΎΠ»Π»Π°.