ΠΠ΅ΠΎΠ±Ρ
ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΡΡΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΈΠ·ΡΡΠ°Π΅ΠΌΡΡ
ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΡ
Π΅ΠΌΠΎΡΠ΅Ρ
Π½ΠΈΠΊΠΈ ΠΎΡΠ΅Π²ΠΈΠ΄Π½Π°. ΠΡΠ΅ΠΆΠ΄Π΅ ΡΠ΅ΠΌ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°ΡΡ Π½Π°ΡΡΠ½ΠΎ-ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΡ ΠΈΠ½ΡΡΠ°ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ ΠΏΠΎΠ΄ Π½ΠΎΠ²ΡΡ ΡΠ΅ΠΎΡΠΈΡ, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ
ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Π΄ΠΎΠΊΠ°Π·Π°ΡΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΎΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡΡ Π΅Π΅ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ². ΠΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π½Π°Π½ΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΠΎΠ² ΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ
ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΡΡ
Π΅ΠΌΠΎΡΠ΅Ρ
Π½ΠΈΠΊΠΈ ΠΎΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π»ΡΠ»ΠΎΡΡ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΠΏΡΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΡ TCAD Synopsys 2008 [87]. ΠΠ»Π°Π²Π½ΡΠΌ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠΎΠΌ ΠΏΡΠΈ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π΅ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΠΎΠ² (ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ
ΠΎΠ΄ΠΎΠ²) ΡΠ²ΠΈΠ»ΠΎΡΡ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠ²Π΅ΡΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π°Π»ΠΈΡΠΈΡ Ρ Π½ΠΈΡ
Π±Π°ΡΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΈ (ΠΏΠΎ Π²ΠΎΠ»ΡΡ-Π°ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ½ΡΠΌ Ρ
Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠ°ΠΌ), ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΡΡΠΎ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΠ΅ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ
ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡΠΌ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΡΡΡΠΎΠ΅Π½ΠΈΡ Π»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² ΠΠ, ΠΠΠ, Π, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡ
Π»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² Π-ΠΠ ΠΈ ΠΠΠ-HE, Π½Π° Π±Π°Π·Π΅ ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ
ΡΡΡΠΎΡΡΡΡ ΡΠΊΠΎΠ»Ρ ΡΠ³ΠΎΠ΄Π½ΠΎ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΠ΅ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π»Π»Π΅ΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΎΡΡ
Π΅ΠΌΡ (ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΡΡ, ΡΡ
Π΅ΠΌΡ ΠΏΠ°ΠΌΡΡΠΈ).
ΠΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π½Π°Π½ΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡ (N = 2). ΠΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π²Π½ΡΡΡΠ΅Π½Π½Π΅Π³ΠΎ ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ
Π½ΠΎΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ-Π»-ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ
ΠΎΠ΄ΠΎΠ² — ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΡ
ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΠΎΠ² ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ
ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΡΡ
Π΅ΠΌΠΎΡΠ΅Ρ
Π½ΠΈΠΊΠΈ.
ΠΠ°ΠΊ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»ΠΈ ΡΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡ, ΠΌΠ°ΡΠ΅ΠΌΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π»Π»Π΅ΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ
ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ
ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΡΡ
Π΅ΠΌΠΎΡΠ΅Ρ
Π½ΠΈΠΊΠΈ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Ρ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ
ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΈ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠ΅ΠΉ Ρ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ.
ΠΠ½ΠΎΠ³ΠΈΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΠΌΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈ 3D ΠΠ‘, ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π½Π½ΡΡ
Π² ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ
ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΡΡ
Π΅ΠΌΠΎΡΠ΅Ρ
Π½ΠΈΠΊΠ΅, «ΡΠΎΠ²ΠΏΠ°Π΄Π°ΡΡ» ΠΏΠΎ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ΅ Ρ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΡΠΌΠΈ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
ΠΌΠΎΠ»Π΅ΠΊΡΠ», ΠΈΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠΌΠΈ ΡΠ΅ ΠΆΠ΅ Π»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΈ. ΠΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ Π΄ΡΠΌΠ°ΡΡ ΠΎ Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΌ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±ΠΈΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠΉ (ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ) ΠΈ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ (Π±ΠΈΠΎ-) ΡΡ
Π΅ΠΌΠΎΡΠ΅Ρ
Π½ΠΈΠΊ.
ΠΠ»Ρ ΠΎΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΠΌΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»Π΅ΠΉ, ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·Π° Π½ΠΎΠ²ΡΡ
ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»Π΅ΠΉ ΠΈ Π³Π΅Π½Π΅ΡΠ°ΡΠΈΠΈ 3D ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ ΠΏΠΎ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΠΌΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΡΠΌ, ΠΊΠ°ΠΊ Π±ΡΠ»ΠΎ ΠΎΡΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΎ Π²ΡΡΠ΅, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ Π³ΡΠ°ΡΡ [15, 84, 85, 88, 89]. ΠΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ
ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡ
Π΅ΠΌΠΎΡΠ΅Ρ
Π½ΠΈΠΊΠΈ (Π³ΡΠ°ΡΠΎΠ² ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ N = 2) ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ:
- β’ Sj-Sy -ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ
ΠΎΠ΄;
- β’ Sf-DyΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ
ΠΎΠ΄;
- β’ Sj-My-ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ
ΠΎΠ΄;
- β’ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ
ΠΎΠ΄Ρ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΠΏΡΠΎΠ·ΡΠ°ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΈ Π½Π΅ΠΏΡΠΎΠ·ΡΠ°ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΠ»ΠΎΡΠΌΠΈ Π² ΠΎΠΏΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ
ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Ρ
ΠΈ Ρ. Π΄.
Π‘Π»Π΅Π΄ΡΠ΅Ρ Π½Π°ΠΏΠΎΠΌΠ½ΠΈΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ
ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΡΡ
Π΅ΠΌΠΎΡΠ΅Ρ
Π½ΠΈΠΊΠΈ — ΡΡΠΎ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ
ΠΎΠ΄ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ Ρ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ, ΡΠΎΠ³Π΄Π° ΠΊΠ°ΠΊ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ Ρ-Π½-ΡΡ
Π΅ΠΌΠΎΡΠ΅Ρ
Π½ΠΈΠΊΠΈ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ
ΠΎΠ΄ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΡΠΈ «-ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡΠΌΠΈ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ.
ΠΡΡ
ΠΎΠ΄Ρ ΠΈΠ· ΡΠ΅Ρ
Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠ΅ΠΉ, ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ°ΡΡ Π΄Π²Π° ΡΠΈΠΏΠ° Ρ-Ρ-ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ
ΠΎΠ΄Π° ΠΈ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΈΠΌ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈ:
β’ Π²Π½ΡΡΡΠ΅Π½Π½ΠΈΠΉ (ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ
ΠΎΠ΄ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ Π²Π½ΡΡΡΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°):
β’ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ
Π½ΠΎΡΡΠ½ΡΠΉ (ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ
ΠΎΠ΄ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ
Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°):