Полупроводниковые слоистые структуры на основе пленок редкоземельных элементов и их соединений: Силициды, оксиды и фториды
![Диссертация: Полупроводниковые слоистые структуры на основе пленок редкоземельных элементов и их соединений: Силициды, оксиды и фториды](https://westud.ru/work/5164760/cover.png)
Диссертация
6 А/см2 при значении обратного напряжения в 10 В. Показано, что к исследуемым контактам в области комнатных температур применима теория термоэлектронной эмиссии. Методами вольтамперных, вольтфарадных характеристик, энергии активации и спектральных зависимостей фототока определена высота энергетического потенциального барьера на контакте РЗМ — р — 81. Установлено, что высота потенциального барьера… Читать ещё >
Содержание
- Перечень условных обозначений и сокращений
- Раздел 1. Контакты редкоземельный металл — кремний, силицид редкоземельного металла — кремний и поверхностно — барьерные диоды на их основе
- Глава.
- 1. 1. Общая характеристика и свойства редкоземельных элементов
- Глава.
- 1. 2. Контакты редкоземельный металл — кремний и поверхностно барьерные диоды на их основе
- 1. 2. 1. Методика получения и исследования характеристик экспериментальных образцов поверхностно-барьерных диодов
- 1. 2. 2. Структура пленок редкоземельных элементов
- 1. 2. 3. Высота потенциального барьера на контакте редкоземельный металл — кремний
- 1. 2. 4. Фотоэлектрические свойства поверхностно — барьерных диодов на основе контакта РЗМ — кремний р- типа
- 1. 2. Контакты редкоземельный металл — кремний и поверхностно барьерные диоды на их основе
- 1. 3. Тонкопленочные силициды РЗМ и поверхностные барьеры в контакте силицид РЗМ — кремний
- 1. 3. 1. Классификация, общая характеристика и основные свойства тонкопленочных силицидов металлов
- 1. 3. 2. Получение образцов поверхностно — барьерных диодов на основе контакта силицид РЗМ — кремний и методика исследования их свойств
- 1. 3. 3. Структура, состав и поверхностная морфология пленочных силицидов РЗМ
- 1. 3. 4. Потенциальный барьер в системе силицид РЗМ — кремний и электрофизические свойства кремниевых ПБД с силицидами РЗМ
- 2. 1. Получение и свойства пленок оксидов редкоземельных элементов
- 2. 1. 1. Основные электрофизические свойства оксидов редкоземельных элементов (сведения из литературы)
- 2. 1. 2. Методика низкотемпературного изготовления пленок оксидов
- 2. 1. 3. Структура пленок оксидов РЗЭ
- 2. 2. Электрические свойства пленок ОРЗЭ и МДП-структур на их основе
- 2. 2. 1. Электропроводность кремниевых МДП-структур с диэлектрическими пленками из ОРЗЭ
- 2. 2. 1. 1. Механизм прохождения тока в кремниевых МДП-структурах с
- 2. 2. 1. Электропроводность кремниевых МДП-структур с диэлектрическими пленками из ОРЗЭ
- 2. 2. 1. 2. Исследование кинетических характеристик тока для кремниевых МДП-структур с диэлектрическими пленками ОРЗЭ
- 2. 2. 2. Проводимость и диэлектрические потери в слоисто-неоднородных структурах с ОРЗЭ на переменном сигнале
- 2. 2. 3. Явление отрицательного сопротивления в МДП-структуре с пленкой оксида РЗЭ
- 2. 3. Характеристики электрического пробоя пленок ОРЗЭ в кремниевых МДП-структурах
- 2. 3. 1. Методика исследования характеристик электрического пробоя
- 2. 3. 2. Кинетические характеристики электрического пробоя
- 2. 3. 3. Зависимость величины напряженности электрического поля пробоя от параметров МДП-структуры
- 2. 3. 4. Влияние внешних параметров на величину пробивного электрического поля
- 2. 3. 5. Модель явления электрического пробоя пленок ОРЗЭ в МДП-структурах и оценка ее применимости для обьяснения экспериментальных результатов
- 2. 3. 5. 1. Пробой на постоянном напряжении
- 2. 3. 5. 2. Пробой для случая линейно-нарастающего напряжения
- 2. 3. 5. 3. Сравнение экспериментальных данных с теоретической моделью
- 2. 4. Электрофизические свойства границы раздела кремний оксид редкоземельного элемента
- 2. 4. 1. Вольт — фарадные характеристики кремниевых МДП-структур с оксидами РЗЭ
- 2. 4. 2. Влияние технологии изготовления диэлектрических пленок на электрические характеристики МДП-структур
- 2. 4. 3. Свойства границы раздела кремний-ОРЗЭ
- 2. 4. 3. 1. Исследование генерационных процессов в кремниевых МДП-структурах А1- 8т203−81 и А1- УЪ20з-81 методом Цербста
- 2. 4. 3. 2. Влияние освещенности на генерационно-рекомбинационные процессы в кремниевых МДП-структурах с пленками ОРЗЭ
- 2. 4. 3. 3. Зависимость генерационных параметров МДП-структур от технологических условий изготовления диэлектрической пленки
- 2. 5. Фотоэлектрические свойства кремниевых МДП-структур на основе пленочных оксидов РЗЭ
- 2. 5. 1. Методика определения высот энергетических барьеров на межфазных границах МДП-систем методом внутренней фотоэмиссии
- 2. 5. 1. 1. Метод фотоинжекции и аналитическое выражение для фотоинжекционного тока
- 2. 5. 1. 2. Анализ спектральной зависимости фотоинжекционного тока
- 2. 5. 1. 3. Анализ вольтаической зависимости фотоинжекционного тока
- 2. 5. 2. Изучение спектральных зависимостей фотоэмиссионного тока в кремниевых МДП-структурах с оксидами РЗЭ в качестве диэлектрика
- 2. 5. 3. Изучение вольтаических зависимостей фотоэмиссионного тока в кремниевых МДП-структурах с оксидами РЗЭ в качестве диэлектрика
- 2. 5. 4. Эффекты накопления заряда в пленках ОРЗЭ кремниевых МДП-структур при внешних воздействиях
- 2. 5. 4. 1. Исследование эффекта переключения и памяти емкости структур А1-Еи203−8Ю2−81 и А1-Ьа203−8Ю
- 2. 5. 4. 2. Особенности накопления заряда в кремниевых МДПструктурах с ОРЗЭ при воздействии облучения
- 2. 5. 1. Методика определения высот энергетических барьеров на межфазных границах МДП-систем методом внутренней фотоэмиссии
- 2. 6. Исследование параметров активных центров захвата заряда в диэлектрических слоях из оксидов РЗЭ
- 2. 6. 1. Методика определения локализации и плотности захваченного заряда в объеме диэлектрика
- 2. 6. 2. Изучение активных центров захвата заряда в диэлектрических пленках оксида самария и иттербия
- 2. 6. 2. 1. Плотность и локализация захваченного заряда в диэлектрических пленках оксида иттербия и самария в кремниевых МДП-структурах
- 2. 6. 2. 2. Определение сечения захвата и плотности электронных ловушек в объеме диэлектрических пленок оксида самария и иттербия
- 2. 6. 2. 3. Энергетическая глубина залегания электронных ловушек в диэлектрических пленках оксида самария и иттербия
- 2. 6. 2. 4. Пространственное распределение захваченного заряда
- 2. 7. Эффект электрического переключения проводимости с памятью в МДМ- и кремниевых МДП-структурах с диэлектрическими пленками из ОРЗЭ
- 2. 7. 1. Основные характеристики явления переключения проводимости в кремниевых МДП- структурах
- 2. 7. 2. Исследование свойств проводящего состояния в МДП-структурах
- 2. 7. 3. Модель явления электрического переключения проводимости с памятью в МДП-структурах с оксидами РЗЭ
- 2. 8. Оптические свойства пленок оксидов РЗЭ и просветляющие покрытия на их основе для кремниевых фотоэлектрических приборов
- 2. 8. 1. Селективные просветляющие оптические покрытия для кремниевых фотоэлектрических приборов
- 2. 8. 2. Оптические и просветляющие свойства пленок оксидов РЗЭ
- 2. 8. 3. Рекомбинационные свойства кремния, пассивированного пленками ОРЗЭ
- 2. 9. Свойства кремниевых МДП-структур с оксидами, полученными высокотемпературным окислением РЗМ и МДПструктур с ОРЗЭ на основе германия и арсенида галлия
- 2. 9. 1. Электрофизические свойства кремниевых МДП — структур с оксидами, полученными высокотемпературным окислением РЗМ
- 2. 9. 2. Электрофизические свойства МДП — структур на основе германия и арсенида галлия с диэлектрическими слоями из ОРЗЭ
- 3. 1. Получение пленок фторидов РЗЭ, слоистых структурна их основе и экспериментальные установки
- 3. 1. 1. Технологические особенности изготовления пленок фторидов
- 3. 1. 2. Методика измерений и экспериментальные установки
- 3. 2. Основные характеристики явления переключения проводимости с памятью в кремниевых структурах с диэлектрическими пленками фторидов РЗЭ
- 3. 2. 1. Экспериментальные закономерности электрического и теплового переключения проводимости в структурах с диэлектрическими пленками фторидов РЗЭ
- 3. 2. 2. Кинетические характеристики переключения и явление формовки
- 3. 2. 3. Вольт — ёмкостные характеристики МДП — структур с фторидами
- 3. 3. Исследование свойств низкоомного состояния кремниевых МДП -структур с фторидами РЗЭ и обсуждение модели переключения
- 3. 3. 1. Исследование механизмов токопрохождения в МДП — структурах с фторидами РЗЭ после переключения в проводящее состояние
- 3. 3. 2. Лавинный пробой в МДП — структурах с фторидами РЗЭ в низкоомном состоянии
- 3. 3. 3. Электрофизические характеристики кремниевых МДП — структур с фторидами РЗЭ в низкоомном состоянии при освещении
- 3. 3. 3. 1. Режим короткого замыкания МДП структур с фторидами РЗЭ в низкоомном состоянии
- 3. 3. 3. 2. ВАХ и ВФХ МДП — структур с пленочными фторидами РЗЭ в низкоомном состоянии при освещении
- 3. 3. 3. 3. Кинетика фотоответа кремниевых МДП — структур с пленочными фторидами РЗЭ в низкоомном состоянии
- 3. 3. 4. Модель переключения проводимости с памятью в МДП структурах с фторидами РЗЭ
- 3. 4. Просветляющие и пассивирующие диэлектрические покрытия на основе фторидов РЗЭ для кремниевых фотоэлектрических приборов
- 3. 4. 1. Оптические свойства пленок фторидов РЗЭ
- 3. 4. 2. Фотоэлектрические свойства кремниевых структур с просветляющими слоями из фторидов РЗЭ
Список литературы
- Дей К., Селбин Д. Теоретическая неорганическая химия. М.: Химия, 1969. 432 с.
- Rajnak К., Approximate excited eigenfunction for Pr and Tm // J. Chem. Phys. 1962. V. 37, № 10. P. 2440 2444.
- Серебренников B.B., Алексеенко JI.A. Курс химии редкоземельных элементов. Томск: Томский госуниверситет, 1963. 441 с.
- Рябчиков Д.И., Скляренко Ю. С., Сенявин М. М. Редкоземельные элементы и общие способы их получения // В кн.: Редкоземельные элементы. М.: АН СССР, 1958. С. 9.
- Бандуркин Г. А. О связи между структурными и каталитическими свойствами редкоземельных соединений // Изв. АН СССР. Сер. Неорганич. матер. 1965. Т. 9. С. 1569- 1572.
- Бандуркин Г. А. О нерегулярном изменении свойств редкоземельных элементов // Геохимия. 1964. Т. 1. Вып. 1. С. 3 8.
- Бандуркин Г. А., Джмуринский Б. Ф. О закономерностях в структурных свойствах соединений редкоземельных элементов в связи со строением их атомов//Докл. АН СССР. 1966. Т. 168. С. 1315 1318.
- Yost D.M. et al. The rare earth elements and their compounds New York -London: John Wiley Sonc Inc. 1947. 92 p.
- Коттон Ф., Уилкинсон Дж. Современная неорганическая химия. Т. 3. М.: Мир, 1969. 500с.
- Успехи в химии и технологии редкоземельных элементов / Под ред. JI. Айринга. М.: Металлургия. 1970. 485 с.
- Физические свойства халькогенидов редкоземельных элементов / Под ред. Жузе В. П. Л.: Наука, 1973. 304 с.
- Яценко С.П., Федорова Е. Г. Редкоземельные элементы. Взаимодействие с р металлами. М.: Наука, 1990. 300 с.
- Гордиенко С.П., Феночка Б. В., Виксман Г. Ш. Термодинамика соединений лантаноидов. Справочник. Киев: Наукова думка, 1979. 373 с.
- Gasgnier М. Rare earth metals, rare earth hydrides and rare earth oxides as thin films //Phys. stat. sol. (a). 1980. V. 57, № 1. P. 11 57.
- Gasgnier M. Rare earth compounds (oxides, sulfides, boron, .) as thin films and thin crystals // Phys. Stat. Sol. (a). 1989. V. 114, № 1. P. 11 71.
- Henderson P. Rare earth element geochemistry. Development in geochemistry. Amsterdam, Oxford- N.Y.- Tokyo: Elsevier. 1984. P. 1 32.
- Тейлор К., Дарби M. Физика редкоземельных соединений. М.: Мир, 1974. 375 с.
- Greis О., Petzel Т. Ein beitrag zur strukturchemie der selten erd frifluoride // Zeitschrift anorg. und allg. chem. 1974. Bd. 403, № 1. S. 1 — 12.
- Бандуркин Г. А., Джуринский Б. Ф., Тананаев И. В. Особенности кристаллохимии соединений редкоземельных элементов. М.: Наука, 1984. 232 с.
- Физика и химия редкоземельных элементов: Справ, изд. / Под ред. К. Гшнайднера, Л. Айринга. М.: Металлургия, 1982. 336 с.
- Губанов В.А., Ивановский А. Л., Рыжов М. В. Квантовохимические расчеты в материаловедении . М.: Наука, 1987. 240 с.
- Beandry В.J., Gschneidner К.А. // Handbok on the physics and chemistry of rare earths. Amsterdam: N.J.: North Holland, 1978. V. 1. P. 173 — 232.
- Данилин Б.С. Вакуумное нанесение тонких пленок. М.: Энергия, 1967. 312 с.
- Слуцкая B.B. Тонкие пленки в технике сверхвысоких частот. М.: Сов. радио, 1967. 456 с.
- Палатник JI.C. и др. Электронографическое исследование субструктуры тонких конденсатов алюминия методом микропучка // Физика мет. и металловед. 1961. Т.11.С. 864−874.
- Палатник JI.C. и др. Рентгенографическое исследование дефектов упаковки в конденсированных пленках кобальта // Физика мет. и металловед. 1965. Т. 20, Вып. 2. С. 280 287.
- Палатник JI.C., Фукс М. Я., Козьма A.A. Рентгенографическое исследование ориентированной микродеформации в конденсированных пленках пер-малоя и никеля // Физика мет. и металловед. 1965. Т. 19. С. 675 681.
- Стриха В.И., Бузанева Е. В., Радзиевский И. А. Полупроводниковые приборы с барьером Шоттки. М.: Сов. Радио, 1974. 284 с.
- Стриха В.И. Теоретические основы работы контакта металл полупроводник. Киев: Наукова думка, 1974. 263 с.
- Зи С. М. Физика полупроводниковых приборов. Кн.1. М.: Мир, 1984. 455 с.
- Родерик Э.Х. Контакты металл полупроводник. М.: Радио и связь, 1982. 209 с.
- Бонч Бруевич B. JL, Калашников С. Г. Физика полупроводников. М.: Наука, 1977. 672 с.
- Милюткин Е.А., Рожков В. А., Кочетков В. Ю. Механизм токопрохождения в контакте металл низкоомный карбид кремния // Депонир. ЦНИИ «Электроника». № 8932/83. Реферат опубл. в MPC ВИМИ «Техника, технология, экономика». № 21. 1983. сер. «ЭР».
- Милюткин Е.А., Рожков В. А. Высота потенциального барьера на контакте кремний редкоземельный металл // Депонир. в ЦНИИ «Электроника» № 9153/84. Реферат опубл. в MPC ВИМИ «Техника, технология, экономика». № 35. 1983. сер. «ЭР».
- Милюткин Е.А., Рожков В. А., Кочетков В. Ю. Механизм токопрохождения в контакте металл низкоомный карбид кремния // ФТП. 1983. Т. 17, № 4. С. 760.
- Милюткин Е.А., Рожков В. А. Высота потенциального барьера на контакте кремний редкоземельный металл // ФТП. 1984. Т. 18, № 2. С. 389.
- Гольдберг Ю.А. Барьеры Шоттки и их использование для исследования свойств полупроводников // Микроэлектроника. 1982. Т. 11, № 1. С. 3 19.
- Колешко В.М., Ходин A.A. Поверхностный потенциальный барьер в контактах РЗМ полупроводник II ФТП. 1979. Т. 13, № 9. С. 1860 — 1863.
- Nord H., de Sousa Pires J., d’Heurle, et all. The Schottky barrier height of the contacts between some rare — earth metals (and silicides) and p-type silicon // Appl. Phys. Lett. 1981. V. 38. P. 865 — 867.
- Рожков В.А., Милюткин Е. А. Электрические и фотоэлектрические свойства поверхностно барьерных диодов на основе гадолиний — р — кремний // Электрон, техн. Сер. 2. П/п-ые приборы. 1984. Вып. 3 (169). С. 16 — 19.
- Милюткин Е.А., Рожков В. А. Лавинное умножение фототока в структурах с барьером Шоттки на основе контакта диспрозий кремний // ФТП. 1984. Т. 18, № 8. С. 1455 — 1457.
- Милюткин Е.А., Рожков В. А. Свойства поверхностно барьерных диодов на основе контакта диспрозий — кремний // В сб. Физика структуры и свойства твердых тел. 1984. Куйбышев, Куйб. госуниверситет. С. 164 — 167.
- Рожков В.А., Милюткин Е. А. Фотоэлектрические свойства поверхностно барьерных диодов на основе контакта редкоземельный элемент кремний // Электрон, техн. Сер. 2. П/п-ые приборы. 1987. Вып. 2 (187). С. 38 — 43.
- Вдовин О.С., Рожков В. А., Котелков В. Н., Свердлова A.M. Получение и исследование свойств МОП структур на основе окислов редкоземельных элементов // Электрон, техн. Сер. 6. 1972. Вып. 5. С. 109 — 117.
- Рожков В.А., Вдовин О. С., Котелков В. Н., Свердлова A.M. Электрические свойства МОП структур на основе окислов диспрозия и европия // Микроэлектроника. 1972. Т. 1, № 2. С. 156 — 160.
- Рожков В.А., Вдовин О. С., Котелков В. Н., Свердлова A.M. Диэлектрические пленки на основе окислов редкоземельных элементов // Электрон, промышленность. 1973. Вып. 1. С. 22 23.
- Рожков В.А., Вдовин О. С., Котелков В. Н., Свердлова A.M. Эффект переключения и памяти в структурах AI Eu203 — Si02 — Si // Тезисы докл. Всесоюзн. научн. конф. «Основные задачи микроэлектроники и области её применения.» 1972. М. С. 23.
- Вдовин О.С., Рожков В. А., Котелков В. Н., Свердлова A.M. Получение и электрические свойства МОП структур на основе пленок окислов редкоземельных элементов // Электрон, техн. Сер. 6. 1973. Вып. 2. С. 77−81.
- Петров А.И. Электрический пробой и переключение проводимости с памятью в структурах с оксидами редкоземельных элементов // Дисс. на соиск. уч. степени канд. физ.-мат. наук. Самара. 1992. 149 с.
- Вдовин О.С., Рожков В. А., Котелков В. Н., Свердлова A.M. Пленки окислов редкоземельных металлов, их свойства и применение в микроэлектронике // VII Совещание по редкоземельным металлам, сплавам и соединениям. Тезисы. 1972.-М.: 1972.-С. 118−119.
- Вдовин О.С., Кирьяшкина З. И., Котелков В. Н., Новичков В. В., Рожков В. А. и др. Пленки оксидов редкоземельных элементов в МДМ и МДП -структурах. Саратов: Сарат. Госуниверситет, 1983. 159 с.
- Гшнейдер К. Кристаллография редкоземельных металлов. В кн. Редкоземельные металлы. М.: Металлургия, 1965. С. 218 — 253.
- Schottky W. Halbleitertheorie der Sperrschicht, Naturwissenschaften. 1938. V. 26. P. 843.
- Mott N.F. Note on the contact between a metal and an insulator or semiconductor//Proc. Cambr. Philos. Soc. 1938. V. 34. P. 568.
- Давыдов Б.И. О выпрямляющем действии полупроводников // Физика. 1939. Т.1. С. 167.
- Bether Н.А. Theory of the boundary layer of crystal rectifiers // M.I.T. Radiation Lab. Rep. 1942. P. 3−12.
- Rhoderick E.H. Metal semiconductor contacts. Clarendon. Oxford. 1978.
- Rideout V.L. A review of the theory, technology and applications of metal -semiconductor rectifiers // Thin Solid Films. 1978. V. 48. P. 261.
- Bardeen J. Surface states and rectification at a metal semiconductor contact.// Phys. Rev. 1947. V. 71. P. 717.
- Crowell C.R. The Richardson contact for thermionic emission in Schottky barrier diodes // Solid State Electr. 1965. V. 8. P. 395.
- Crowell C.R., Sze S.M. Current transport in metal semiconductor barriers // Solid State Electr. 1966. V. 9. P. 1035.
- Crowell C.R., Sze S.M. Electron optical — phonon scattering in the emitter and collector barriers of semiconductor — metal — semiconductor structures // Solid State Electron. 1965. V. 8. P. 979.
- Crowell C.R., Beguwala M. Recombination velocity effects on current diffusion and inref in Schottky barriers // Solid State Electron. 1971. V. 14. P. 1149.
- Crowell C.R., Sarace J.C., Sze S.M. Tungsten semiconductor Schottky — barriers diodes // Trans. Met. Soc. AIME. 1965. V. 233. P. 478.
- Lepselter M.P., Sze S.M. Silicon Schottky barrier diode with near ideal J — V characteristics //Bell Syst. Tech. J. 1968. V. 47. P. 195.
- Goodman A.M. Metal semiconductor barrier height measurement by the differential capacitance method — one carrier system // J. Appl. Phys. 1963. V. 34. P. 329.
- Mead C.A., Spitzer W.G. Fermi level position at metal semiconductor interfaces //Phys. Rev. 1964. V. 134. P. A713.
- Mead C.A. Metal- semiconductor surface barriers // Solid State Electron. 1966. V. 9. P. 1023.
- Pugh D. Surface states on the (111) surface of diamond // Phys. Rev. Lett. 1964. V. 12. P. 390.
- Spicer W.E., Chye P.W., Garner C.M. et all. The surface electronic structure of III V compounds and the mechanism of Fermi level pinning by oxygen (passivation) and metals (Schottky barriers) // Surface Sci. 1979. V. 86. P. 763.
- Милне А., Фойхт Д. Гетеропереходы и переходы металл полупроводник. М.: Мир, 1975.432 с.
- Рожков В.А. Получение и свойства гетероэпитаксиальных слоев на основе твердых растворов в системе галлий алюминий — мышьяк — сурьма // Электрон. техн. Сер. 6. Материалы. 1981. Вып. 10 (159). С. 18 — 21.
- Card Н.С., Roderick Е.Н. Studies of tunnel MOS diodes. 1. Interface effects in silicon Schottky diodes // J. Phys. D: Appl. Phys. 1971. V. 4. P. 1589 1601.
- Cowley A.M. Depletion capacitance and diffusion potential of gallium phosphide Schottky barrier diodes // J. Appl. Phys. 1966. V. 37. P. 3024 — 3033.
- Амброзяк А. Конструкция и технология полупроводниковых фотоэлектрических приборов. М.: Сов. Радио, 1970. 392 с.
- Анисимова И.Д., Викулин И. М., Заитов Ф. А., Курмашев Ш. Д. Полупроводниковые фотоприемники. Ультрафиолетовый, видимый и ближний инфракрасный диапазоны спектра. М.: Радио и связь, 1984. 216 с.
- Фотоприемники видимого и ИК диапазонов / Под. ред. Р. Дж. Киеса. М.: Радио и связь, 1985. 328 с.
- Свечников С.В. Элементы оптоэлектроники. М.: Сов. Радио, 1971. 271 с.
- Носов Ю.Р. Оптоэлектроника. М.: Сов. Радио, 1977. 232 с.
- Мосс Т., Баррел ., Эллис Б. Полупроводниковая оптоэлектроника. М.: Мир, 1976.431 с.
- Фаренбрух А., Бьюб Р. Солнечные элементы. Теория и эксперимент. М.: Энергоатомиздат, 1987. 278 с.
- Munz P., Bucher Е. The use of rare earths in photovoltaics // Rare Earth Mod. Sci. and Technol. Proc. 15- Rare Earths Res. Conf., Rolla. 15−18 June 1981. N.Y., London. 1982. P. 547 556.
- Woods M.H., Johnson W.C., Lampert M.A. Use of a Schottky barrier to measure impact ionization coefficients in semiconductors // Sol. St. Electron. 1973. V. 16, № 4. P. 381 394.
- Baraff G.A. Distribution function and ionization rates hot electrons in semiconductors //Phys. Rev. 1962. V. 128. P. 2507 2513.
- Кузьмин В.А., Крюкова Н. Н., Кюрегян А. С. и др. О коэффициенте ударной ионизации электронов и дырок в кремнии // ФТП. 1975. Т. 9. Вып. 4. С. 735 738.
- Goetzberger A., McDonal В., Haitz R.H., Soarlet R.M. Avalanche effects in silicon p-n junction. 2. Structurally perfect junctions // J. Appl. Phys. 1963. V. 34. P. 1591.
- Мьюрарка Ш. Силициды для СБИС. М.: Мир, 1986. 176 с.
- Чистяков Ю.Д., Райнова Ю. П. Физико химические основы технологии микроэлектроники. М.: Металлургия, 1979.
- Достанко А.П. Технология интегральных схем. Минск: Вышейшая школа, 1982. 206 с.
- Самсонов Г. В., Дворина JI.A., Рудь Б. М. Силициды. М.: Металлургия, 1979. 271 с.
- Достанко А.П., Киселевский Л. И., Грушецкий С. В. и др. Плазменная металлизация в вакууме. Минск: Наука и техника, 1983.
- Чистяков Ю.Д., Достанко А. П. В кн.: Тугоплавкие металлы. М.: Металлургия, 1984.
- Nicolet М.А., Lau S.S. Formation and characterization of transition metal silicides // VLSI Electronics: Microstructure Science. V. 6, ch. 6. P. 329 — 464. N.Y.: Academic Press. 1983.
- Chen J., Roth L. Refractroty metals and metal silicides for VLSI // Solid State Technology. 1984. V. 27, № 8. P. 145 — 149.
- Гершинский A.E., Ржанов A.B., Черепов Е. И. Образование пленок силицидов на кремнии //Поверхность. Физика, химия, механика. 1982, № 2. С. 1 12- Тонкопленочные силициды в микроэлектронике // Микроэлектроника.1982. Т. 11, № 2. С. 1 12.
- Wittner М. Silicide contacts for shallow junction devices // Thin Solid Films.1983. V. 107, № LP. 99−110.
- Thompson R.D., Tu K.N. Comparison of the three classes (rare earth, refractory and near — noble) of silicide contacts // Thin Solid Films. 1982. V. 93, № ¾. P. 265 — 274.
- Tu K.N., Thompson R.D., Traur B.Y. Low Schottky barrier of rare earth silicide on n — Si // Appl. Phys. Lett. 1981. V. 38, P. 626 — 628.
- Wu C.S., Lau S.S., Kuech T.F., Liu B.X. Surface morphology and electronic properties of ErSi2 // Thin Solid Film. 1984. V. 104. P. 175 182.
- Lau S.S., Pai C.S., Wu C.S. et all. Surface morphology of erbium silicide // Appl. Phys. Lett. 1982. V. 41, № 1. P. 77 80.
- Tsaur B.Y., Hung L.S. Ion beam — induced modification of silicide formation in rare — earth metals: Er — Si and Tb — Si systems // Appl. Phys. Lett. 1980. V. 37, № 10. P. 922−924.
- Thompson R.D., Tsaur B.Y., Tu K.N. Contact reaction between Si and rare earth metals // Appl. Phys. Lett. 1981. V. 38, № 7. P. 535 537.
- Baglin J.E., d’Heurle F.M., Peterson C.S. The formation of silicides from thin films of some rare earth metals // Appl. Phys. Lett. 1980. V. 36. P. 594 — 596.
- Cheng I.C., Lau S.S., Thompson R.D., Tu K.N. Shallow contact formation of gadolinium silicide // Mat. Rew. Soc. Symp. Proc. 1984. V. 25. P. 39 44.
- Wu C.S., Scott D.M., Lau S.S. et all. A comparison of thermal, line source electron beam am cw laser annealing for the fabrication of ErSi2 Schottky barrier on Si // Mat. Rew. Soc. Symp. Proc. 1984. V. 25. P. 93 98.
- Koleshko V.M., Belitsky V.F., Khodin A.A. Thin films of rare earth metal silicides // Thin Solid Films. 1986. V. 141. P. 277−285.
- Suu H.V., Mezey G., Peto G. et all. Formation and characterization of gadolinium silicides // Thin Solid Films. 1984. V. 116, № ½/3. P. 175.
- Иб.Милюткин E.A., Рожков В. А. Образование пленок силицидов РЗМ и свойства границы раздела силицид кремний // Микроэлектроника. 1985. Т. 14, № 1. С. 50−54.
- Милюткин Е.А., Рожков В. А. Образование и свойства пленок силицидов редкоземельных металлов на поверхности кремния // Электрон, техн. Сер. Материалы. 1984. Вып. 5 (190). С. 17 19.
- Милюткин Е.А., Рожков В. А. Электрофизические свойства границы раздела силицид РЗМ кремний // Тез. VIII совещания «Физика поверхностных явлений в полупроводниках.» Часть 2. 1984. Киев. С. 46 — 47.
- Милюткин Е.А., Рожков В. А. Свойства границы раздела силицид РЗМ -кремний // Тез. докл. IX Всесоюз. симпоз. «Электронные процессы на поверхности и в тонких слоях полупроводников «. Часть 2. 1988. Новосибирск. С. 81.
- Милюткин Е.А., Рожков В. А. Свойства тонкопленочных силицидов РЗЭ и их применение в элементах микросхем // Тез. докл. Школы по актуальным вопросам физики и химии соединений на основе РЗЭ. 1989. Красноярск. С. 39 40.
- Милюткин Е.А., Рожков В. А. Тонкопленочные силициды РЗЭ, их свойства и применение в микроэлектронике // Тез. докл. V Всесоюз. конф. по физике и химии редкоземельных полупроводников. 1990. Саратов. С. 91.
- Tu K.N. Shallow and parallel silicide contacts // J. Vac. Technol. 1981. V. 9, № 3. P. 766−777.
- Ottaviani G. Interface metallurgy and electronic properties of silicides // J. Vac. Sci. Technol. 1981. V. 18, № 3. P. 924 928.
- Тонкие пленки: взаимная диффузия и реакции / Под ред. Дж. Поута. М. 1982. 575 с.
- Hansen M. in: Constitution of Binary Alloys. McGraw Hill, N.Y. 1958.
- Elliott R.P. in: Constitution of Binary Alloys. 1 st suppl, McGraw — Hill, N.Y. 1958.
- Shunk F.A. in: Constitution of Binary Alloys. 2 nd suppl., McGraw — Hill, N.Y. 1969.
- Moffat W.G. in: The Handbook of Binary Phase Diagrams. General Electric Co, Schenectady, N.Y. 1978.
- Van Gurp G.J. in: Semiconductor Silicon 1977 (eds. H.R. Huff and E. Sirtl) Electrochem. Soc. Princeton, New Jersey 1977. P. 342.
- Saxena A.N., Grobe J.J., Hage АН M. at all. in: Metal — Semiconductor Contacts / ed. M. Pepper. Inst. Phys., London. 1974. P. 160.
- Braicovich L. The electron states of silicides: results and perspectives // Thin Solid Films. 1986. V. 140. P. 79 88.
- Freeouf J.L. Silicide interface stoichiometry // J. Vac. Sci. Technol. 1981. V. 18, № 3. P. 910−916.
- Pearson W.B. A handbook of lattice spacings and structures of metals and alloys. V. 2. Pergamon. London. 1967.
- Samsonov G.V., Vinitski I.M. Handbook of refractory compounds. IFI / Plenum. N.Y. 1980.
- Perri J.A., Binder I., Post В. Rare earth metal disilicides // J. Phys. Chem. 1959. V. 63, № 4. P. 616−619.
- Самсонов Г. В., Винецкий И. М. Тугоплавкие соединения. М.: Металлургия, 1976. С. 79.
- Cohen S.S. Contact resistance and methods for its determination // Thin Solid Films. 1983. V. 104, № ¾. P. 361 379.
- Shapira Y., Tove P.A., Stolt L., Norde H. Auger electron spectroscopy studiers of the formation of indium and thorium silicides // Thin Solid Films. 1982. V. 89, № 4. P. 361.
- Валиев К.А., Пашинцев Ю. И., Петров Г. В. Применение контакта металл -полупроводник в электронике. М.: Радио и связь, 1981. С. 16.
- Серебренников В.В. и др. Редкоземельные элементы и их соединения в электронной технике. Томск: Томск. Госун-т, 1979. 144 с.
- Рожков В.А., Свердлова A.M. Эффекты отрицательного сопротивления, переключения и генерации сигналов в МОП структурах с пленками оксидов редкоземельных элементов // Письма в ЖТФ. 1981. Т. 7, Вып. 6. С. 335 -339.
- Рожков В.А. Исследование электрофизических свойств кремниевых МОП структур на основе диэлектрических пленок двуокиси кремния и окислов редкоземельных элементов / Дисс. на соиск. уч. ст. к.ф.-м.н. Саратов, 1973. 197 с.
- Рожков В.А. Фотоэлектрические свойства кремниевых МДП структур при нестационарном истощении поверхности полупроводника // Электрон, техн. сер. 2. Полупров. приборы. 1982. Вып. 5 (156). С. 28 -33.
- Рожков В.А. Фотоэлектрические свойства МДП структур при неравновесном обеднении поверхности полупроводника // 2 Республ. конф. по фотоэлектрическим явлениям в полупроводниках. 1982. Одесса. 1982. С. 202.
- Рожков В.А., Петров А. И., Милюткин Е. А. Эффект переключения проводимости с памятью в структуре А1 Се02 — Si // Журн. техн. физики. 1983. Т. 57, № 7. С. 1404- 1405.
- Рожков В.А., Петров А. И., Милюткин Е. А. Переключение проводимости и память в кремниевых МДП структурах на основе пленок двуокиси церия // Микроэлектроника. 1984. Т. 13, № 3. С. 247 — 251.
- Рожков В.А., Петров А. И. Эффект переключения проводимости и память в структуре А1 Gd203 — Si // Письма в ЖТФ. 1985. Т. 11. Вып. 1. С. 49 — 52.
- Рожков В.А., Петров А. И. Переключение и память в МДП структурах на основе оксидов редкоземельных металлов // Тез. докл. XII Всесоюз. конф. по микроэлектронике. Ч. 3. 1987. Тбилиси. 1987. С. 87 — 88.
- Рожков В.А., Петров А. И. Особенности явления переключения, памяти и пробоя в кремниевых МДП структурах с оксидами РЗМ // Тез. докл. IX
- Всесоюзн. симп. «Электронные процессы на поверхности и в тонких слоях полупроводников». Ч. 2. 1988. Новосибирск. С. Ill 112.
- Рожков В.А., Петров А. И. Особенности явления переключения проводимости с памятью в тонкопленочных системах на основе оксидов РЗЭ // Тез. докл. Всесоюз. школы по актуальным вопросам физики и химии соединений на основе РЗЭ. 1989. Красноярск. С. 41−42.
- Петров. А.И., Рожков В. А. Особенности процессов переключения и памяти в кремниевых МДП структурах // В сб. Фотоэлектроника. Киев — Одесса: Либидь, 1991. С. 68−72.
- Аношин Ю.А., Петров А. И., Рожков В. А. и др. Просветляющие покрытия из оксидов редкоземельных элементов для кремниевых фотоэлектрических приборов // Письма в ЖТФ. 1992. Т. 18. Вып. 10. С. 54 58.
- Рожков В.А. Накопление заряда в кремниевых МДП структурах с диэлектриком из оксида диспрозия при воздействии УФ — излучения // Известия ВУЗов. Физика. 1994. № 7. С. 99 — 104.
- Глушкова В.Б. Полиморфизм окислов редкоземельных металлов. М.: Наука, 1967. 133 с.
- Shafer M.V., Roy R. Rare earth pollmorphism and phase equilibria in rare -earth oxide — wafer sistems // J. Amer. Ceram. Soc. 1959. V. 42, № 11. P. 563 -570.
- Warschaw J., Roy R. Polimorphism of the rare aerth sesquioxides // J. Phys. Chem. 1961. V. 65, № 11. P. 2048 -2051.
- Roth R.S., Schneider S.J. Phase equilibria in systems involving the rare earth oxiders. Part I. Polimorphism of the oxides of the trivalent rare — earth gons // J. Res. NBS. 1960. V. 64 A, № 4. P. 309 — 316.
- Глушкова В.Б., Соколов Ю. Г., Калер Э. К. Окисление металлического неодима и скорость полиморфного превращения С, А Ш20з // Ж. физ. хим. 1964. Т. 38. Вып. 5. С. 1126 — 1134.
- Куцев B.C., Смагина Е. И., Моржеедова Р. Н. О В форме окисла Sm203 // Ж. неорган, хим. 1963. Т. 8. Вып. 5. С. 1049 — 1052.
- Портной К.И., Фадеева В. И., Тильфеева Н. И. Полиморфизм некоторых окислов редкоземельных элементов и их взаимодействие с водой // Атомная энергия. 1963. Т. 14. Вып. 6. С. 559 562.
- Боганов А.Г., Руденко B.C. О природе необратимых полиморфных превращений редкоземельных окислов // Докл. АН СССР. 1965. Т. 161, № 3. С. 590 593.
- Глушкова В.Б., Боганов А. Г. Полиморфизм редкоземельных полуторных окислов // Изв. АН СССР. Сер. Химия. 1965, № 7. С. 1131 1138.
- Богородицкий Н.П. и др. Электрические свойства окислов редкоземельных элементов // Докл. АН СССР. 1965. Т. 160, № з. с. 578 581.
- Дербенева С.С., Бацанов С. С. Ширина запрещенной зоны окислов редкоземельных металлов // Докл. АН СССР. 1967. Т. 175, № 5. С. 1062 1063.
- Noddack W., Watch H., Dobner W. Leitfahigkeitsmessunden an Oxiden der Seltenen // Erden I. Z. phys. chem (DDR). 1959. B. 211, H. ¾. S. 180 193. Erden IL S. 194−207.
- Зырин A.B., Дубок B.A., Тресвятский C.T. Электрические свойства окислов РЗЭ и некоторых их соединений / В кн.: Химия высокотемпературных материалов. Л.: Наука, 1967. С. 59- 65.
- Gzanderna A.W., Honig J.M. The compositic, resistivity and thermoelectric power of cerium oxides below 500° C. //Phys. Chem. Sol. 1958. V. 6, № 1. P. 96- 97.
- Kevane С .J., Holverson E.L., Watson R.D. Electrolytic conduction in calcium -doped solid cerium oxide // J. Appl. Phys. 1963. V. 34, № 7. P. 2083 2087.
- Гордиенко С.П., Феночка Б. В., Фесенко B.B. Редкоземельные металлы и их тугоплавкие соединения. Киев. Наукова думка, 1971.
- Воронов В.Ф. и др. Использование окислов РЗМ в пленочной электронике // Электроника: Информ. справочный листок № 784. Сер. Полупров. приборы, 1969. 4с.
- Бацанов С.С., Дулепов Е. В. Диэлектрические проницаемости и заряды атомов в окислах редкоземельных элементов // ФТТ. 1965. Т. 7, № 4. С. 1239- 1241.
- Ручкин Е.Д., Соколова М. Н., Бацанов С. С. Оптические свойства окислов редкоземельных элементов // Журн. структ. химии. 1956. Т. 8, № 3. С. 465 -470.
- Гуттиерец У. Возможность использования окислов РЗМ при создании пленочных емкостных элементов и тонкопленочных активных элементов // Заруб, радиоэлектроника. 1966. № 1. С. 86 -90.
- Заичкин H.H., Сачавский А. Ф., Афанасьев K.JI. Диэлектрические пленки на основе двуокиси церия // Изв. ВУЗов. Физика. 1970. № 2. С. 156 158.
- Tadashi Trutsumi. Dielectric properties of Y203 thin film preparated by vacuum evaporation // Japan J. Appl. Phys. 1970. V. 9, № 7. P. 735 740.
- Каджоян P.A., Егиян К. А. Диэлектрические свойства пленочных окислов редкоземельных элементов // Изв. АН Арм. ССР. Физика. 1968. № 3. С. 348 -354.
- Крикоров B.C., Маркарянц А. Е. и др. Тезисы II Всесоюзн. совещания по физико химии и контролю в микроэлектронике. Новосибирск. 1968. С. 58.
- Воронов В.Ф. Получение и исследование пленок соединений типа А2В3 и АВ03 // Дисс. на соиск. уч. степ, к.ф.-м.н. Новосибирск, 1969.
- Халимон М.М., Руднев В. В. Исследование диэлектрических пленок окиси неодима в структуре Al Nd203 — Al // Электрон, техн. Сер. 14. 1968. Вып. 2. С. 103 — 104.
- Славнов А.Г. Термоэлектронная эмиссия в пленках окиси празеодима. Токи, ограниченные пространственным зарядом в пленках окиси празеодима // Электрон, техн. Сер. 8. 1970. Вып. 2 (19). С. 115 119.
- Чернобровкин Д.Н., Бахтинов В. В., Сахаров Ю. Г. Исследование диэлектрических пленок на основе окиси неодима // В сб. Радиоприборостроение и микроэлектроника. Омск. ОПИ. 1971. С. 191 195.
- Чернобровкин Д.Н., Бахтинов В. В. Диэлектрические пленки из окиси празеодима и двуокиси церия // В сб. Радиоприборостроение и микроэлектроника. Омск. ОПИ. 1971. С. 205 207.
- Чернобровкин Д.Н., Бахтинов В. В. Диэлектрические свойства пленок окислов редкоземельных элементов // В сб. Диэлектрики. Вып. 1. Киев: Наукова думка, 1972. С. 134 138.
- Крикоров B.C., Красов В. Г., Маркарянц А. Е. Получение и исследование качества тонкопленочных конденсаторов на основе окислов редкоземельных элементов //Электрон, техн. Сер. 12. 1971. № 1 (17). С. 79 83.
- Крикоров B.C., Красов В. Г., Макарянц А. Е. Получение и исследование качества тонкопленочных конденсаторов на основе окислов редкоземельных элементов // Электрон, техн. Сер. 12. 1971. Вып. 1 (7). С. 79 83.
- Андреева А.Ф., Гильман И. Я., Смолин М. Д. Преспективы применения пленок окислов редкоземельных металлов в оптической и электронной промышленности // В кн.: Получение и свойства тонких пленок. Киев: ИПМ АН УССР. 1978. С. 13 27.
- Ильин А.Г., Ущаповский Л. В. Бистабильное переключение в МДП -структурах на основе пленок окислов редкоземельных элементов // В кн.: Получение и свойства тонких пленок. Киев. ИПМ АН УССР. 1978. С. 52 -57.
- Каджоян P.A., Егиян К. А., Авагян Л. А. Исследование диэлектрических свойств пленок окислов тяжелых редкоземельных элементов // Вопросы радиоэлектроники. Сер. Технология произв-ва и оборудование. 1973. Вып. 1. С. 43 46.
- Чернобровкин Д.И. Исследование состава и строения диэлектрических пленок окиси иттрия и электрических характеристик конденсаторов на их основе // Электрон, техн. Сер. 5. 1974. Вып. 1. С. 3 7.
- Заичкин H.H., Красных С. А., Чистяков Ю. Д. Структура и электрофизические свойства пленок ОРЗМ // Электрон, техн. Сер. 3. (Микроэлектроника). 1973. Вып. 8(84). С. 100 105.
- Чистяков Ю.Д., Заичкин H.H. Исследования структуры и свойств пленок ОРЗМ//Микроэлектроника. 1975. Т. 4. Вып. 2. С. 157 162.
- Физика тонких пленок. Т. 5. / Под ред. Г. Хасса и Р. Э. Туна. Пер. с анг. М.: Мир, 1972.
- Холленд JI. Нанесение тонких пленок в вакууме. М.: Госэнергоиздат, 1963.
- Степаненко И.П. Основы микроэлектроники. М.: Сов. Радио, 1980. 423 с.
- Демин В.В., Готра З. Ю., Матвийкин М. Д. Прогрессивные методы производства микросхем. Львов. Каменяр, 1973. 79 с.
- Данилин C.B. Получение тонкопленочных элементов микросхем. М. Энергия, 1977. 135 с.
- Кутолин С.А., Чернобровкин Д. И. Пленочное материаловедение редкоземельных соединений. М.: Металлургия, 1981.
- Самсонов Г. В. и др. Физико химические свойства окислов. М.: Металлургия, 1969.
- Савицкий Е.М. Редкоземельные металлы и сплавы. М.: Наука, 1971. С. 9 -12.
- Чернобровкин Д.И., Волкова В. В. Физика и химия обработки материалов. 1978. № 6. С. 66 -70.
- Чернобровкин Д.И., Бахтинов В. В., Сахаров Ю. Г. Испарение окислов редкоземельных металлов электронным лучем // Приборы и техн. эксперим. 1971. № 3. С. 159- 160.
- Goldstein R.M. Thin film yttrium oxide capacitors // Electrochem. Techn. 1968. V. 6, № 5, 6. P. 186−191.
- Юнг Л. Анодные окисные пленки / Под. ред. Л. Н. Закгейма и А. Л. Одынца. Пер. с англ. Л.: Энергия, 1967.
- Основы технологии кремниевых интегральных схем. Окисление, диффузия, эпитаксия / Под ред. Р. Бугера и Р. Донована. Пер. с анг. М.: Мир, 1969.
- Рожков В.А., Петров А. И. Пленки окислов редкоземельных элементов, их свойства и применение в микроэлектронике // Тез. докл. III Всесоюз. конф. «Неорганические стекловидные материалы и пленки на их основе в микроэлектронике». 1983. М. 1983. С. 143.
- Рожков В.А., Петров А. И. Свойства пленок окислов редкоземельных элементов и перспективы их использования в микроэлектронике // Тез. докл. Всесоюз. конф. «Состояние и перспективы развития микроэлектронной техники». Часть 1. 1985. Минск. С. 217.
- Вдовин О.С. Окисление некоторых редкоземельных элементов. Вып. 3. Саратов: Сарат. госунив т, 1971. С. 36 — 41.
- Полозов В.Б., Котелков В. Н., Вдовин О. С., Рожков В. А. Исследование окисления пленок РЗЭ // В сб. Исследования в области химии редкоземельных элементов. Саратов: Сарат. госунивер-т, 1975. С. 111 112.
- Амброжий М.Н., Вдовин О. С., Дворникова JI.M., Большаков А. Ф. Рентгенографическое исследование гидроокисей «легких» редкоземельных элементов // В кн. Физико химические исследования комплексных соединений РЗЭ. Саратов: Сарат. госун-т, 1968. С. 78 — 87.
- Ущаповский JI.B. О фазовом составе гадолиниевых и тербиевых пленок // В кн.: Физика магнитных пленок. Вып. 2. Иркутск: Иркут. госун-т, 1970. С. 49−54.
- Boulestiex С. at al. Microscopie et diffraction electroniques de conches minces de ses quioxide de neodime // Acta cristallogr. 1971. V. A27, № 6. P. 552 586.
- Boulestiex C., Valiergue L. Etide des conches minces de samarium Par Rayons X et microscopie // Thin Solid Films. 1970. V. 6, № 1. P. 51 — 71.
- Boulestiex С., Valiergue L. Stude des conches minces d’Ytterbium Par Rayons X et microscopie electronique // Thin Solid Films. 1970. V. 5, № 1. P. 15 — 28.
- Boulestiex C., Valiergue L. Reported twinning and dislocations in gadolinium metal thin films indentified as acciring in В type gadolinium sesquioxide cristals //Phys. Lett. 1970. V. A32. P. 361 — 378.
- Ущаповский JI.В., Буравихин В. А., Шелковников В. Н. Эпитаксиальные пленки окисленного гадолиния // В кн. Физика магнитных пленок. Вып. 2. Иркутск: Иркут. госун-т, 1970. С. 61 67.
- Вдовин О.С., Котелков В. Н. Получение и структура пленок окислов редкоземельных элементов // В кн.: Физика полупроводников и полупроводниковая электроника. Вып. 4. Саратов: Сарат. госун-т, 1973. С. 61 66.
- Вдовин О.С., Рожков В. А., Котелков В. Н., Свердлова A.M. Получение и некоторые свойства пленок окислов редкоземельных элементов // В кн.: Получение и свойства тонких пленок. Вып. 1. Киев: ИПМ АН УССР, 1973. С. 32−44.
- Вдовин О.С., Дворникова Л. М. Структура и состав пленок окислов РЗЭ, полученных различными методами // В кн.: Синтез и исследование термостойких соединений на основе оксидов металла. Киев. Наукова думка. 1972. С. 54.
- Глушкова В.Б., Келер Э. К., Соколов Ю. Г. Взаимодействие Ш20з с водой //Докл. АН СССР. 1964. Т. 158, № 1. С. 151 -154.
- Вдовин О.С., Жарков Ю. В., Котелков В. Н. Структура пленок окислов РЗЭ // Тезисы докл. X Всесоюзн. совещания по использованию рентгеновских лучей к исследованию материалов. М. 1971. С. 249.
- Заичкин H.H. Структура и электрические свойства пленок двуокиси церия//Изв. ВУЗов. Сер. Физика. 1971. № 8. С. 133 135.
- Литовченко В.Г., Горбань А. П. Основы физики микроэлектронных систем МДП. Киев: Наукова думка, 1978. 313 с.
- Свойства структур металл-диэлектрик-полупроводник / Под ред. А. В. Ржанова. М.: Наука, 1976. 280 с.
- Ильин А.Г. Структура пленок окислов редкоземельных элементов и явления переноса заряда в металл-диэлектрик-металл системах на их основе // Дисс. на соиск. уч. степени к.ф.-м.н. Иркутск. 1979. 161 с.
- Тиман Б.Л., Карпова А. П. Экспериментальное изучение эстафетного механизма протекания тока в системе М-Д-М // ФТП. 1973. Т.7, № 2. С. 230 235.
- Гороховатский Ю.А., Аболина Н. Я., Ванаг С. А. Термостимулированная поляризация в тонких пленках // Известия АН Латвийской ССР. Сер. Физ. и техн. наук. 1975. № 1. С. 34−38.
- Hill R.M. Pool-Frencel conduction in amorphous solids // Phil. Mag. 1971. № 181. P. 59−86.
- Агафонов А.И., Плотников А. Ф., Селезнев В.H. Электронные явления переноса в аморфных диэлектрических слоях // Труды физ. института им. П. Н. Лебедева. 1987. Т. 184. С. 55−89.
- Нитрид кремния в электронике / Под ред. А. В. Ржанова. Новосибирск: Наука, 1982. 200 с.
- Ovshinsky S.R. Reversible electrical switching phenomena in disordered structures //Phys. Rev. Lett. 1968. V. 21, № 21. P. 1450−1453.
- Овшинский C.P. Аморфные полупроводники // Зарубежная радиоэлектроника. 1970. № 6. С. 93−104.
- Massaki Tomizawa, Shinya Kopiki, Goro Maisimoto. Conduction and memory characteristics in Al-Al203-Au sandwich structure // Japan J. Appl. Phys. 1975. V. 14, № 10. P. 1615−1616.
- Khan M.I., Hogarth C.A., Khan M.N. Memory switching in Ge02 films // Int. J. Electron. 1979. V. 46. Р/ 215−216.
- Laverty S.J. Conduction and switching phenomena in thermally grown silicon dioxide films // Int. J. Electron. 1971. V. 30. № 2. P. 165−174.
- Shatzkes M., Av-ron N.M., Anderson R.M. On the nature of conduction and switching in Si02 // J. Appl. Phys. 1974. V. 45, № 5. P. 2065−2077.
- Henisch H.K. Switching in amorphous allows // Thin Solid Films. 1981. V. 83, № 2. P. 217−222.
- Sharaf K.A. Switching and memory effects in semiconducting chalcogenide glasses Bi29Ti35Se36//Appl. Phys. A. 1991. V. 53, № 3. P.218−221.
- Nadkarni G. S., Shirodrar V.S. Experiment and theory for switching in Al-V205-A1 devices //Thin Solid Films. 1983. V. 105. P. 115−129.
- Chopra K.L. // J. Appl. Phys. 1965. V. 36. P. 184.
- Димарова E.H., Богдан Г. И. Тонкопленочный тепловой переключатель / В сб. Диэлектрики. Киев: Киев, госунив-т, 1971. Вып. 1. С. 138−141.
- Cook E.L. Model of resistance conduction transition in reversible resistanceswitching solids // J. Appl. Phys. 1970. V. 41, № 2. P. 551−554.
- Kaplan Т., Bullock D.С., Adler D., Epstein D.J. Thermal initiated negative resistance in Si Y.I. G. //Appl. Phys. Lett. 1972. V. 20, № 11. P. 439.
- Bullock D.C., Epstein D.J. Negative resistance, conduction, switching and memory effect in the crystals of Si-Y.I.G. // Appl. Phys. Lett. 1970. V. 17, № 5. P. 199−202.
- Freud P. J., Hed A.Z.I I Phys. Rev. Lett. 1969. V. 23, № 25. P. 1440−1443.
- Корнфельд М.И. Погрешность и надежность простейших экспериментов // УФН. 1965. Т. 85. Вып. 3. С. 533−542.
- Петров А.И., Рожков В. А. Электрический пробой пленок оксидов редкоземельных элементов в МДП-структурах // Тез. докл. научно-техн. конф. «Проблемы и прикладные вопросы физики.» 1993. Саранск. С. 42.
- Петров А.И., Рожков В. А. Электрический пробой пленок оксида гадолиния // Радиотехн. и электроника. 1993. Т. 32, № 2. С. 296−301.
- Петров А.И., Рожков В. А. Электрический пробой пленочных оксидов редкоземельных элементов в МДП-структурах //Тез. докл. Росс, научнотехн. конф. по физике диэлектриков с междунар. участием. «Диэлектрики-93». Часть 2. 1993. С.-Петербург. С. 92−93.
- Гончаров В.П., Петров А. И., Рожков В. А. Электрический пробой пленок оксида иттрия в кремниевых структурах металл-диэлектрик-полупроводник // Радиотехн. и электроника. 1994. Т. 39, № 11. С. 1845−1851.
- Рожков В.А., Петров А. И., Гончаров В. П. Электрический пробой пленок оксида лютеция // Физика тв. тела. 1995. Т. 37, № 2, С. 491−498.
- Петров А.И., Рожков В. А. Электрический пробой пленок оксида диспрозия // Известия ВУЗов. Физика. 1995. № 8. С. 95−101.
- Рожков B.A., Трусова А. Ю. Электрический пробой пленок оксида самария в кремниевых МДП-структурах //Тез. докл. Междунар. научно-техн. конф. по физике твердых диэлектриков. «Диэлектрики-97». 1997. С.Петербург. С. 58−59.
- Рожков В.А., Трусова А. Ю. Электрический пробой пленок оксида самария в кремниевых МДП-структурах // Вестник СамГУ. 1997. № 2(4). С. 174 181.
- De Wit H.J., Wijenberg Ch. Dielectric breakdown anodic oxide aluminium // J. Electrochem. Soc. 1976. V. 123, № 10. P. 1479−1486.
- Holland S., Chen I.C., Ma T.P., Ни C. On physical models for gate oxide breakdown // IEEE Electron. Device Letters. 1984. V.- EDL-5, № 8. P. 302−305.
- O' Dwayer J.J. The theory of dielectric breakdown of solids // Oxford Univ. Press.1973. 297 p.
- Ridley B.K. Mechanism of electrical breakdown in thin Si02 films // J. of Apll. Phys. 1975. V. 46, № 3. P. 998−1007.
- Harari E. Dielectric breakdown in electrically stressed thin films of Si02 // J. Appl. Phys. 1978. V. 49, № 4. P. 2478−2489.
- Федорович Ю.В., Думиш JI.K. Миграция подвижных зарядов по поверхности различных диэлектриков в МДП-структуре // МЭ. 1973. Т. 2. Вып. 2. С. 159−165.
- Венкстер С.А., Козлов С. Н. Миграция ионов по поверхности структур диэлектрик-полупроводник // МЭ. 1979. Т. 8. Вып. 3. С. 239−248.
- Курзаев А.Б., Козлов С. Н., Киселев В. Ф. Об электропроводности и молекулярной подвижности адсорбированной на поверхности кремния воды // Доклады АН СССР. 1976. Т. 228, № 4. с. 877−880.
- Силаев Е.А., Горюнова Г. Ф. Исследование моно- и биполярного эффекта диссоциации адсорбированных молекул на поверхности кремния // Поверхность. Физика, химия, механика. 1982. № 2. С. 109−114.
- Ламперт М., Марк П. Инжекционные токи в твердых телах. М.: Мир, 1973.216 с.
- Юнг Л. Анодные окисные пленки / Пер. с англ. Л.: Энергия. 1967. 232 с.
- Рожков В.А. и др. Исследование переходных процессов в кремниевых МДП-структурах // Электрон, техн. Сер. 2. 1971. Вып. 4(61). С. 71−74.
- Рожков В.А., Панфилов Б. А., Свердлова A.M. Измерение вольтемкостных и переходных характеристик структур металл-диэлектрик-полупроводник // ПТЭ. 1971. № 6. С. 127−129.
- Рожков В.А., Свердлова A.M., Панфилов Б. А. Исследование кинетики образования р-п перехода в МОП-структурах // Тез. докл. 4-ой Всесоюз. со-вещ. по физическим явлениям в р-п переходах в полупроводниках. 1970. Одесса. С. 34.
- Рожков В.А., Свердлова A.M., Новичкова Н. П. Исследование неравновесного обеднения в кремниевых МОП-структурах // Тез. докл. !У Всесоюз. совещ. по электронным явлениям на поверхности полупроводника. 1971. Киев. С. 55−56.
- Рожков В.А. и др. Влияние глубоких центров на неравновесные процессы в кремниевых МОП-структурах // Совещание по глубоким центрам в полупроводниках. Краткое содержание докл. 1972. Одесса. С. 99.
- Рожков В.А., Вдовин О. С., Котелков В. Н., Свердлова A.M. МОП-структуры на основе пленок окислов редкоземельных элементов //В сб. Получение и свойства тонких пленок. Киев: ИПМ АН УССР. 1973. С. 3−11.
- Рожков В.А., Вдовин О. С., Котелков В. Н., Свердлова A.M. Электрофизические свойства структуры Al-Y203-Si //Микроэлектроника. 1973. Т. 2. № 3. С. 267−270.
- Рожков В.А. и др. Исследование влияния излучения на переходные процессы в кремниевых МОП-структурах // В сб. Физика полупров. и полупров. электроника. Саратов: СГУ, 1973. Вып. 4. С. 24−28.
- Рожков В.А. и др. Пленочные структуры на основе окислов редкоземельных элементов // В сб. Тонкие диэлектрические пленки. Матер. Всесоюз. конф. Физика диэлектриков и перспективы ее развития. Т.З. 1973. JI. С. 178 179.
- Вдовин О.С., Рожков В. А., Котелков В. Н. и др. Исследование электрофизических свойств пленок окислов и соединений РЗЭ / В сб. Исследование в области химии редкоземельных элементов. Саратов: СГУ, 1975. С. 110−111.
- Гавриленко В.И., Зуев В. А., Сукач Г. А., Рожков B.A. Исследование границы раздела Si-Y203 оптическими методами // В сб. Полупроводниковая техника и микроэлектроника. Вып. 23. Киев: Наукова думка, 1976. С. 53−58.
- Вдовин О.С., Рожков В. А., Котелков В. Н. и др. Некоторые свойства МДП-структур на основе пленок окислов редкоземельных элементов // В сб. Физика полупров. и полупр. электроника. Саратов: СГУ, 1975. Вып. 5. С. 121−125.
- Рожков В.А. и др. Электрические свойства кремниевых МДП-структур с пленками окислов иттрия и диспрозия // Тез. докл. У1 Всесоюз. сов. по физике поверхностных явлений в полупроводниках. Ч. 1. Киев. 1977. С. 7.
- Рожков В.А., Свердлова A.M., Вдовин О. С. Исследование неравновесного емкостного эффекта поля в кремниевых МДП-структурах с диэлектрическими пленками на основе окислов редкоземельных элементов // Деп. в ВИНИТИ. 1979. № 1381−79. 6 с.
- Рожков В.А., Петров А. И. Исследование электрофизических свойств кремниевых МДП-структур на основе окиси гадолиния // Электрон, техн. Сер. 6. Материалы. 1982. Вып. 9(170). С. 27−29.
- Рожков В.А., Петров А. И. Исследование процессов образования заряда в пленочных оксидах редкоземельных элементов при воздействии УФ облучения на МДП-структуры // Материалы У1 Всесоюз. конф по физике диэлектриков. Секция 7. Томск. 1988. С. 21−25.
- Рожков В. А., Петров А. И. Электрофизические свойства пленок двуокиси церия и кремниевых МДП-структур на их основе // Электрон, техн. Сер. 2. П-п-ые приборы. 1984. Вып. 1(167). С. 13−16.
- Рожков В.А., Петров А. И., Сущева Т. В. Исследование свойств границы раздела в кремниевых МДП-структурах с оксидами РЗЭ // Тез. докл. 2 Всесоюз. конф. «Структура и электронные свойства границ зерен в металлах и полупроводниках.» 1987. Воронеж. С. 152.
- Рожков В.А., Петров А. И. Пленки оксидов РЗЭ и кремниевые МДП-структуры на их основе // Тез. докл. 1У Всесоюз. конф. по физике и химии редкоземельных полупроводников. 1987. Новосибирск. С. 202.
- Рожков В. А. Петров А.И., Латухина Н. В. Свойства границы раздела кремний-высокотемпературный оксид РЗМ // Тез. докл. IX Всесоюз. сим-поз. «Электронные процессы на поверхности и в тонких слоях полупроводников.» Ч. 2. 1988. Новосибирск. С. 143.
- Рожков В.А., Петров А. И., Латухина Н. В. Свойства кремниевых МДП-структур с оксидами, полученными высокотемпературным окислением РЗМ // В Респуб. межвед. научн. сб. Фотоэлектроника. Киев-Одесса: Либидь, 1990. Вып. 3. С. 98−101.
- Рожков В.А., Петров А. И. Свойства пленок окислов редкоземельных элементов и перспективы их использования в микроэлектронике // Тез. докл. У Всесоюз. конф. по физике и химии редкоземельных полупроводников. 1990. Саратов. С. 90.
- Рожков В.А., Петров А. И., Латухина Н. В. Кремниевые МДП-структуры с диэлектриком на основе оксидов редкоземельных элементов // В сб. Влияние внешних воздействий на структуру и свойства твердых тел. Куйбышев: КГУ. 1988. С. 119−123.
- Рожков В.А., Петров А. И. Пленки оксидов редкоземельных элементов и кремниевые МДП-структуры на их основе // В сб. Физика и химия редкоземельных полупроводников. Новосибирск: Наука. Сиб. отд., 1989. С. 84−89.
- Рожков В.А., Гончаров В. П. Электрофизические свойства кремниевых МДП-структур с оксидом иттрия в качестве диэлектрика // Тез. докл. науч-но-техн. конф. Проблемы и прикладные вопросы физики. 1993. Саранск. С. 64.
- Бережной И.Г., Гончаров В. П., Рожков В. А., Трусова А. Ю. Кремниевые МДП-варикапы с диэлектриком из оксида самария иттрия и лютеция // В межвуз. научно-техн. сб. Электродинамика слоисто-неоднородных структур СВЧ. Самара: СамГУ, 1995. С. 82−88.
- Рожков В.А., Гончаров В. П., Трусова А. Ю. МДП-варикапы и фотоварик-пы на основе структуры А1-Ьи203−81 // Письма в ЖТФ. 1995. Т. 21. Вып. 2. С. 6−10.
- Рожков В.А. и др. МДП-варикапы и фотоварикапы на основе структуры А1−8т203−81 //Журн. техн. физики. 1995. Т. 65. Вып. 65. С. 183−186.
- Рожков В.А., Трусова А. Ю., Бережной И. Г. Электрофизические свойства МДП-структуры А1−8т203−81 при нестационарном истощении поверхности полупроводника основными носителями заряда //Вестник СамГУ. 1996. № 2. С. 113−121.
- Латухина Н.В., Рожков В. А., Селиверстова Н. В. Химическое травление пленок оксидов редкоземельных металлов // Физика и химия обработки материалов. 1996. № 5. С. 78−81.
- Бережной И.Г., Рожков В. А., Трусова А. Ю. Электрофизические свойства кремниевых МДП-систем с оксидом самария в качестве диэлектрика // Тез. докл. Междун. научно-техн. конф. по физике твердых диэлектриков «Диэлектрики 97». 1997. С.-Петербург. С. 25−26.
- Рожков В.А., Трусова А. Ю. Кремниевые металл-диэлектрик-полупроводник-варикапы с диэлектриком из оксида иттербия // Письма в ЖТФ. 1997. Т. 23, № 12. С. 50−55.
- Бережной И.Г., Петров А. И., Рожков В. А., Трусова А. Ю. Функциональные свойства кремниевых МДП-систем с диэлектриком из оксидов редкоземельных элементов // Электродинамика и техника СВЧ и КВЧ. М. 1997. Т. 5. Вып. 3(19). С. 77−78.
- Рожков В.А. и др. Пленки оксидов редкоземельных элементов в кремниевых МДП-системах и элементах микроэлектроники // Тез. докл. Второй Всерос. научно-техн. конф. с международным, участием. «Электроника и информатика-97.» Ч. 1. 1997. М. С. 120−121.
- Кропман Д.И., Патрикеев А. К., Попов В. Д. Влияние температуры нанесения диэлектрика на плотность поверхностных состояний МДП-структур при воздействии радиации // Микроэлектроника. 1976. Т. 5. Вып. 6. С. 552 554.
- Zerbst М. Relaxutioneffekte an halbleiter-isolater-grenzfluchen // Zeit. Angew. Phys. 1966. B. 22, № 1. S. 30−33.
- Muller J., Schiek B. Transient responses of a pulsed MIS-capacitor // Solid State Electronics. 1970. V. 13. P. 1319−1332.
- Hofstein S.R. Minority carrier lifetime determination from inversion layer transient response. -IEEE Trans. Electron. Devices. 1968. V. ED-14. P. 785−786.
- Heiman F.P. On the determination of minority carrier lifetime from the transient response of an MOS capacitor // IEEE Trans. Electron. Devices. 1967. V. 14, № 11. P. 781 -784.
- Schroder D.K., Guldberg J. Interpretation of surface and bulk effects using the pulsed MIS capacitor // Solid State Electronics. 1971. V. 14. P. 1285−1297.
- Mui David S.L., Coldren L.A. Effects of surface recombination on carrier distributions and device characteristics // J. Appl. Phys. 1995. V. 78, № 5. P. 3208−3215.
- Buchanan D.A. On the generation of interface states from electron-hole recombination in metal-oxide-semiconductor capacitors // Appl. Phys. Lett. 1994. V. 65, № 10. P. 1257−1259.
- Булярский C.B., Грушко H.C. Генерационно-рекомбинационные процессы в активных элементах. М.: Моск. ун-т, 1995. 399 с.
- Powell R. J., Berglund C.N. Photoinjection studies of charge distribution in oxide of MOS structures// J. Appl. Phys. 1971. V. 42, № 11. P. 4390−4397.
- Дороднев B.H. Исследование электрофизических процессов в системе кремний двуокись кремния методом фотоинжекции: Дисс. канд. физ.-мат. наук: 01.04.07. Л. 1979. 201 с.
- Berglund C.N., Powell R. J. Photoinjection into Si-Si02: electron scattering in the image force potential well// J. Appl. Phys., 1971. V. 42, № 2. P. 573−581.
- Powell R. J. Interface barrier energy determination from voltage dependence of photoinjected current // J. Appl. Phys. 1970. V. 41. № 6. P. 2424−2432.
- Powell R. J. Photoinjection into Si02: use of optical interference to determine electron and hole contribution // J. Appl. Phys. 1969. V. 40, № 13. P. 10 931 101.
- Deal B.E., Snow E.H., Mead C.A. Barrier energies in metal-silicon dioxidesilicon structures // J. Phys. Chem. Sol. 1966. V. 27, № 11/12. P. 1873−1879.
- Brews J.R. Limitation upon photoinjection studies of charge distribution close to interface in MOS capacitors // J. Appl. Phys. 1973. V. 44, № 1. P. 379−384.
- Емельянов A.M. Ловушки для электронов в термических пленках Si02 на кремнии// Микроэлектроника. 1986. Т. 15. Вып. 5. С. 434−441.
- Di Maria D. J. Determination of insulator bulk trapped charge densities and centroid from photocurrent voltage characteristics of MOS structures // J. Appl. Phys. 1976. V. 47, № 9. P. 4073−4077.
- Goodman A.M. Photoemission of holes from silicon into silicon dioxide // Phys. Rev. 1966. V.152. P. 780−784.
- Kahng D., Sze S.M. A floating gate and its application to memory devices // Bell Syst. Techn. J. 1967. V. 46. P. 1283.
- Frohman Bentchkowsky D. Memory behavior in a floating — gate avalanche -injection MOS (FAMOS) structure //Appl. Phys. Lett. 1971. V. 18, № 8.
- Гиновкер A.C., Ржанов A.B., Синица С. П. Запоминающие устройства на основе МНОП (металл-нитрид-окисел-полупроводник) структур // Микроэлектроника. 1973. Т. 2. № 5.
- Chen L.J., Pickar К.A., Sze S.M. Carrier transport and storage effects in Au ion implanted Si02 structures // Solid State Electron. 1972. V. 15. P. 979.
- Рожков В.А., Свердлова A.M., Лукашова И. П., Вдовин O.C. О влиянии рентгеновского облучения и отжига на структуры Si-Si02-Al // В сб. Физика полупроводников и полупроводниковая электроника. Саратов: Сарат. Госун-т, 1975. Вып. 5. С. 54−58.
- Рожков В.А. и др. Эффекты переключения и памяти в структурах Si-Si02-Eu203-A1 // Микроэлектроника. 1973. Т. 2, № 1. С. 87−89.
- Goodman A.M., Ross Е.С., Duffy M.T. Optimization of charge storage in the MNOS memory device // RCA Review. 1970. V. 31. P. 342−354.
- Frohman Bentchkowsky D., Lenzinger M. Charge transport and storage in metal-nitride-oxide-silicon (MNOS) structures // J. Appl. Phys. 1969. V. 40. P. 3307−3317.
- Гурский Л.И., Румак H.B., Куксо B.B. Зарядовые свойства МОП-структур. Минск: Наука и техника, 1980. 200 с.
- Патрикеев Л.Н., Подлецкий Б. И., Попов В. Д. Изменение заряда в диэлектрике и проводимости МДП-структур под действием радиации. //Физика диэлектриков и перспективы ее развития: Тез докл. Всесоюзной конф. Л. 1973. С. 226−227.
- Гуртов В.А. Влияние ионизирующего излучения на свойства МДП-приборов // Обзоры по электронной технике. Сер.2.1978. Вып. 14(595). 31 с.
- Гриценко В.А., Кольдяев В. И. Влияние пространственного заряда на проводимость МНОП-структур // Микроэлектроника. 1984. Т. 13. Вып. 5. С. 466−468.
- Далиев Х.С., Лебедев A.A., Экке В. Исследование электрофизических свойств кремниевых МДП структур, облученных у квантами при наличии электрического поля в диэлектрике //ФТП. 1987. Т.21. Вып. 1. С. 23−29.
- Поспелов Б.С. и др. Новые перспективы использования МДП-структур // Известия ВУЗов. Радиоэлектроника. 1973. Т. 16. № 4.
- Акулов А.Ф., Гуртов В. А., Назаров А. И. Пространственная локализация радиационного заряда в нитриде кремния // Микроэлектроника. 1985. Т. 14. Вып. 5. С. 447−451.
- Гуртов В.А., Евдокимов В. Д., Назаров А. И., Хрусталев В. А. Накопление радиационно-индуцированного заряда в МНОП-структурах с различной толщиной // Микроэлектроника. 1985. Т. 14. Вып. 5. С. 431−434.
- Верлан А.И., Малков С. А. Особенности накопления заряда в слое AS2S3 при объемном фотовозбуждении. / Стеклообразные полупроводники для оптоэлектроники. Кишинев: Штиинца, 1991. С. 172−181.
- Ширшов Ю.М., Набок А. В., Голтсвянский Ю. В., Дубчак А. П. Пространственное распределение захваченного заряда в пленках нитрида кремния в ЭНОП-структурах // Микроэлектроника. 1982. Т. 11. Вып. 3. С. 441−445.
- Аганин А.П., Масловский В. М., Нагин А. П. Определение параметров центров захвата в нитриде кремния МНОП-структуры при инжекции электронов из полевого электрода // Микроэлектроника. 1988. Т. 17. Вып. 4. С. 348−352.
- Михайловский И.П., Овсюк В. Н., Эпов А. Е. Неоднородное накопление положительного заряда в кремниевых МДП-структурах в сильных полях // Письма в ЖТФ. 1996. Т.9. Вып. 17. С. 1051−1054.
- Солдатов B.C., Воеводин А. Г., Варлашов И. Б., Коляда В. А., Соболев Н. В. Пространственное распределение зарядов, прогенерированных туннельной инжекцией электронов из кремния в термический диоксид МДП структуры //ФТП. 1990. Т. 24. Вып. 9. С. 1611−1615.
- Thompson S.E., Nishida Т. A new measurement method for trap properties in insulators and semiconductors: using electric field stimulated trap-to-band tunneling transitions in Si02 // J. Appl. Phys. 1991. V. 70. P.6864−6876.
- Buchanan D.A., Abram R.A., Morant M. J. Charge trapping in silicon-rich Si3N4 thin films // Solid State Electronics. 1987. V. 30, № 12. P. 1295−1301.
- Nissan-Cohen Y., Shappir J., Frohman-Bentchkowsky D. High-field and current-induced positive charge in thermal Si02 layers // J. Appl. Phys. 1985. V. 57, № 8. P. 2830−2839.
- Nissan-Cohen Y., Shappir J., Frohman-Bentchkowsky D. High field current induced-positive charge transients in Si02 // J. Appl. Phys. 1983. V. 54, № 10. P. 5793−5800.
- DiMaria D.J., Theis T.N., Kirtley J.R., Pesavento F.L., Dong D.W. Electron heating in silicon dioxide and off-stoichiometric silicon dioxide films // J. Appl. Phys. 1985. V. 57, № 4. P. 1214−1237.
- Барабан А.П., Булавинов B.B., Коноров П. П. Электроника слоев Si02 на крем нии. Л.: Ленингр. ун-т, 1988. 304 с.
- Ning Т.Н., Yu H.N. Optically injection of hot electrons into Si02 // J. Appl. Phys. 1974. V. 45, № 12.
- Гильман Б.И., Громовой Л. И., Закс М. Б. Оптическое стимулирование накопления заряда в МНОП-структурах // Микроэлектроника. 1973. Т. 2. Вып. 5. С. 421−425.
- Fazan P., Dutoit М., Martin С., Ilegems М. Charge generation in thin Si02 polysilicon-gate MOS capacitors // Solid State Electronics. 1987. V. 30, № 8. P. 928−834.
- Емельянов A.M. Ловушки для электронов в термических пленках Si02 на кремнии// Микроэлектроника. 1986. Т. 15. Вып. 5. С. 434−441.
- Киблик В.Я., Лисовский И. П., Литвинов P.O., Литовченко В. Г. Влияние ионизирующего излучения на быстрые состояния системы Si-Si02 // Полупроводниковая техника и микроэлектроника. 1976. Т. 23. С. 84−91.
- Hook Т.В., Ma Т.Р. Electron trapping during high-field tunneling injection in metal-oxide-silicon capacitors: the effect of gate-induced strain // J. Appl. Phys. 1987. V. 62. № 3. P. 931−938.
- Ricksand A., Engstrom O. Thermally activated capture of charge carriers into irradiation induced Si/Si02 interface states // J. Appl. Phys. 1991. V. 70. P. 69 276 933.
- DiMaria D.J., Stasiak J.W. Trap creation in silicon dioxide produced by hot electrons // J. Appl. Phys. 1983. V. 55, № 6. P. 2342−2355.
- Young D.R., Irene E.A., Di Maria D.J., Dekeersmaecker R.F. Electron trapping in Si02 at 295 and 77 К // J. Appl. Phys. 1979. V. 50, № 10.
- Solomon P. High-field electron trapping in Si02 // J. Appl. Phys. 1977. V. 48, № 9.
- Рожков В.А., Трусова А. Ю., Бережной И. Г. Энергетические барьеры и центры захвата в кремниевых МДП-структурах с диэлектриком из оксида самария и иттербия // Письма в ЖТФ. 1998. Т. 24. Вып. 6. С. 24−29.
- Гороховатский Ю.А., Бордовский Г. А. Термоактивационная токовая спектроскопия высокоомных полупроводников и диэлектриков. М.: Наука, 1991.248 с.
- Андреев В.П. Репрограммируемые постоянные запоминающие устройства на основе стеклообразных полупроводников. М.: Радио и связь, 1986. 136 с.
- Костылев С.А., Шкут В. А. Электрическое переключение в аморфных полупроводниках. Киев: Наукова думка, 1978. 203 с.
- Исмаилов Г. М. Эффект переключения и фотоэлектрические явления в кремниевых МОП-структурах. Дис. канд. физ.-мат. наук. Баку. 1985. 172 с.
- Мадьяров М.Р., Терешин С. А., Елинсон М. И. и др. Исследование свойств элементов энергонезависимой памяти на основе гетеропереходов Si-Si02−8п02-металл (МООП-системы) // Микроэлектроника. 1982. Т. 11. Вып. 3. С. 239−243.
- Рожков В.А., Петров А. И. Явление переключения и памяти в пленках двуокиси церия // Тез. докл. 3 Всесоюз. конф. «Неорганические стекловидные материалы и пленки на их основе в микроэлектронике.» 1983. М. С. 114.
- Петров А.И., Рожков В. А. Элемент памяти // Реш ГПВ НИИГПЭ о выдаче A.C. по заявке № 4 879 458/24 от 30.07.92 г., 3 с.
- Вонсовский C.B. Магнетизм. Магнитные свойства диа-, пара-, ферро-, ан-тиферро- и ферримагнетиков. М.: Наука, 1971. 1032 с.
- Панфилов Б.А., Степанов Г. В., Елинсон М. И. и др. Исследование явления переноса материалов электродов по поверхности кремния, приводящего к переключению с памятью //Микроэлектроника. 1977. Т. 6. Вып. 1. С. 20−26.
- Кручинин А.У., Малицкий Е. Е., Пак Е.И., Харин В. В. К вопросу о механизме переключения в ГС с тонким диэлектриком // Микроэлектроника 1986. Т. 15. Вып. 4. С. 314−317.
- Бару В.Г., Елинсон М. И., Мадьяров М. Р. и др. Механизм переключения и энергонезависимой памяти в гетероструктуре с туннельно-тонким диэлектриком p+Si-Si02-Sn02-M // Микроэлектроника. 1985. Т. 14. Вып. 3. С. 230 238.
- Boiko В.Т. at all. Transformations in a metal / insulator / semiconductor structure with an amorphous insulator film caused by contacts // Thin Solid Films. 1985. V. 130. № ¾. P.341−355.
- Фикс В.Б. ионная проводимость в металлах и полупроводниках (электроперенос). М.: Наука, 1969. 296 с.
- Блех А., Селло X., Грегор JI.B. Тонкие пленки в интегральных схемах
- Технология тонких пленок) / Под ред. JI. Майссела. Т. 2. М. 1977. С. 725−753.
- Неуймин А.Д., Балакирева В. Б., Пальгуев С. Ф. Электропроводность и характер проводимости ОРЗЭ // ДАН СССР. 1973. Т. 209. № 5. С. 1150−1153.
- Арсеньев П.А., Ковба JI.M., Багдасаров Х. С. и др. Соединения редкоземельных элементов. Система с оксидами элементов 1−111 групп. М.: Наука. 1983. 280 с.
- Грилихес В.А. Солнечные космические электростанции. Л.: Наука, 1986. 182 с.
- Крылова Т.Н. Интерференционные покрытия. Л.: Машиностроение, 1973.184 с.
- Фурман Ш. А. Тонкопленочные оптические покрытия. Л.: Машиностроение, 1977. 193 с.
- Рожков В.А., Милюткин Е. А., Петров А. И. Влияние толщины слоя смешанного оксида индия-олова на спектральные характеристики фотоэлектрических преобразователей со структурой In203/Sn02-p+Si-nSi // Гелиотехника. 1988. № 5. с. 21−23.
- Колтун М.М. Селективные оптические поверхности преобразователей солнечной энергии // М.: Наука, 1979. 215 с.
- Рожков В.А., Петров А. И. Прозрачные электропроводящие пленки на основе окислов металлов // В сб. Влияние внешних воздействий на структуру и свойства твердых тел. Куйбышев: Куйбгосун-т, 1987. С. 136−141.
- Рожков В.А., Милюткин Е. А., Петров А. И. Высокоэффективные кремниевые фотодиодные структуры на основе окисных пленок индия олова //Электрон, техн. Сер. 2. П/п приборы. 1983. Вып.7(166). С. 22−24.
- Рожков В.А., Петров А. И. Просветляющие покрытия из оксидов церия и самария для кремниевых фотоэлектрических приборов // Известия ВУЗов. Физика. 1994. № 9. С. 20−24.
- Аношин Ю.А., Петров А. И., Рожков В. А. и др. Просветление и пассивация кремниевых фотоэлектрических преобразователей пленками оксидов редкоземельных элементов //Гелиотехника. 1992. № 5. С. 13−16.
- Аношин Ю.А., Петров А. И., Рожков В. А., Шалимова М. Б. Просветляющие и пассивирующие свойства пленок оксидов и фторидов редкоземельных элементов//Журн. техн. физики. 1994. Т. 64, № 10. С. 118−123.
- Петров А.И., Рожков В. А. Рекомбинационные свойства кремния, пассивированного пленками оксидов редкоземельных элементов // Письма в ЖТФ.1998. Т. 24. Вып. 7. С. 16−21.
- Жузе В.П., Шелых А. И. Оптические свойства и электронная структура полуторных сульфидов и оксидов РЗМ // ФТП. 1989. Т. 23. Вып.З. С. 293 415.
- Самсонов Г. В., Гильман Н. Я., Андреева А. Ф. Получение и исследование физических свойств тонких пленок ОРЗМ // Изв. АН СССР. Неорганические материалы. 1974. Т. 10, № 9. С. 1645−1648.
- Ковтонюк Н.Ф., Концевой Ю. А. Измерение параметров полупроводниковых материалов. М.: Металлургия, 1970. 427 с.
- Ржанов A.B. Электронные процессы на поверхности полупроводников. М.: Наука, 1971.480 с.
- Саченко A.B., Новоминский Б. А., Калшабеков A.C. // Тез. докл. XI1 Все-союз. научн. конф. по микроэлектронике. Часть 3. Тбилиси. 1987. С. 143.
- Карпов Ю.А., Мазуренко В. В., Петров В. В. и др. О взаимодействии атомов РЗЭ с кислородом в кремнии // Физика и техника полупроводников. 1984. Т. 18, № 2. С. 368 369.
- Рожков В.А., Латухина Н. В., Романенко H.H. Исследование свойств кремниевых МДП структур с оксидами РЗЭ и легирования кремния РЗЭ // Тез. докл. Всесоюз. школы по актуальным вопросам физики и химии соединений на основе РЗЭ. 1989. Красноярск. С. 43 -44.
- Латухина Н.В., Рожков В. А., Романенко H.H. Кремниевые МДП структуры с оксидом диспрозия и лютеция и диффузия редкоземельных элементов в кремний//Микроэлектроника. 1994. Т. 23. Вып. 1. С. 59 — 64.
- Fuller C.S., Struthers J.D. Copper as an excerption element in germanium // Phys. Rev. 1952. V. 87, № 3. P. 526 527.
- Полевые транзисторы на арсениде галлия. Принцип работы и технология изготовления / под ред. Д. В. Ди Лоренцо и Д. Д. Канделуола. М.: Радио и связь, 1988. 495 с.
- Ситч Дж.Е., Робсон П. Н. Работа полевых транзисторов из GaAs в качестве СВЧ смесителей // ТИИЭР. 1973. Т. 61, № 3. С. 171 172.
- Лонг С.И., Уэлч Б. М., Цукка Р. и др. Сверхскоростные интегральные схемы на GaAs // ТИЭЭР. 1972, Т. 70. № 1. С. 44 58.
- Ковалевская Т.И. и др. Физико химические и электрофизические свойства системы германий — пиролитическая двуокись германия // Микроэлектроника. 1974. Т. 3, № 5. С. 404−413.
- Богатырев В.А. и.др. Некоторые свойства пленок нитрида кремния на Ge //Микроэлектроника. 1975. Т. 4, № 1. С. 56 60.
- Hayashi H., Kikuchi К., Yamaguchi Т. Capacitance voltage characteristics of Al/AbCVp-GaAs metal — oxide — semiconductor diodes // Appl. Phys. Lett. 1980. V. 37, № 4. P. 404−406.
- Барыбин А.Л., Томилин В. И. Свойства границы раздела системы пиролитическая окись алюминия арсенид галлия // Изв. Ленингр. электротехн. ин-та. 1975. В. 171. С. 65 — 68.
- Скориков В.А., Саксаганский О. В., Пашинцев Ю. И. Влияние термообработки на свойства структур Ga As — Ge3N4 // Микроэлектроника. 1975. T. 4, № 4. С. 321 — 324.
- Новотоцкий Власов Ю. Ф. Исследование природы доминирующих центров рекомбинации на реальной поверхности германия // Труды ФИАН. 1969. Т. 48.
- Коноров П.П., Берлага Р. Я., Большаков Л. П., Руденок М. И. Исследование структуры и рекомбинации термически окисленной поверхности германия//ФТТ. 1963, Т. 5. № 10.
- Свойства структуры металл диэлектрик — полупроводник / Под ред. А. В. Ржанова. М.: Наука, 1976. 279 с.
- Васильева Л.Л., Покровская C.B., Ржанов A.B. Исследования сульфиди-рован-ной поверхности германия //В сб. «Электронные процессы на поверхности и в монокристаллических слоях полупроводников» / Под ред. А. В. Ржанова. Новосибирск: Наука, 1967.
- Неизвестный И.Г., Покровская С. В., Ржанов А. В. Особенности процесса поверхностной рекомбинации на германии при некоторых воздействиях // ФТП. 1972. Т. 6, № 2.
- Волков С.А., Горохов Е. Б., Неизвестный И. Г., Овсюк В. Н. Исследование гистерезисных явлений в структурах А1 Si02 — Ge // Микроэлектроника. 1975. Т. 4, № 3. С. 248−253.
- Горохов Е.Б., Демьянов Э. А., Неизвестный И. Г., Покровская С. В. Получение однородных пленок двуокиси кремния пиролизом тетраэтоксисилана // Изв. АН СССР. Сер. Неорган, матер. 1975. Т. 3, № 12.
- Yashiro Т. Frequency and temperature dependence of С V characteristics at Ge — Si02 interface and ВТ treatments // Jap. J. Allp. Phys. 1970. V. 9, № 7.
- Васильева JI.M., Ковалевская Т. И., Девятова С. Ф. Синтез и свойства аморфных пленок нитрида германия // Изв. АН СССР. Сер. Неорган, матер. 1969. Т. 5, № 9.
- Покровская С.В., Овсюк В. Н. Электрические и масс спектрометрические исследования поверхности германия с пленкой нитрида германия // Изв. АН СССР. Сер. Неорганич. матер. 1970. Т. 6, № 5.
- Мякиненков В.И., Ногин В. М., Анохин В. Г. Диэлектрические пленки Si3N4 //Изв. АН СССР. Сер. Неорганич. матер. 1973. Т. 9, № 5.
- Yashiro Т. Some properties of vapor deposited Ge3N4 films and the Ge3N4 -Ge interface // J. Electrochem. Soc. 1972. V. 119, № 6.
- Yashiro T. Determination of trap levels in Ge3N4 and barrier energies at the Ge3N4 Ge interface by С — V characteristics // Jap. J. Appl. Phys. 1971. V. 10, № 12.
- Мякиненков В.И., Ногин В. М., Анохин Б. Г. и др. Осаждение слоев нитрида кремния из парогазовой фазы в системе SiN4 Si2N4 — N2 // Электрон, техн. Сер. 2. Полупров. приборы. 1970. Вып. 4 (54).
- Горохов Е.Б., Каменкович E.JL, Неизвестный И. Г., Покровская С. В. Электрофизические свойства МДП структур на основе Ge — Si02 — SisN4 — A1 // Микроэлектроника. 1976. Т. 5, № 4. С. 354 — 358.
- Сеношенко О.В., Марончук Ю. Е. Электрофизические свойства МДП -структур арсенид галлия нитрид кремния — алюминий // Микроэлектрони-ка.1973.Т. 2, № 5. С. 426 — 430.
- Сеношенко О.В., Марончук Ю. Е. Об энергетическом спектре состояний на границе раздела арсенид галлия нитрид кремния // Изв. ВУЗов. Физика. 1973. № 5. С. 59−64.
- Ahmand S., Singh R., Bawa S.P. GaAs MOS structure with native oxide grown by wet anodization //J. Inst. Electron, and Telecommun. Eng. 1979. V. 25, № 12. P. 487 — 490.
- Bayraktaroglu В., Schuermeyer F.I., Grant J.T. Study of properties of GaAs -anodic AI2O3 interfaces // J. Vac. Sci. and Technol. 1979. V. 16, № 5. P. 1483 1486.
- Hasegawa Hideki, Sawada Takayuki. Dynamic properties of interface state bands in GaAs anodic MOS system // J. Vac. Sci. and Technol. 1979. V. 16, № 5. P. 1478 — 1482.
- Gourrier S., Mircea A., Bacal M. Oxidation of GaAs in an oxigen multipole plasma//Thin Solid Films. 1980. V. 65, № 3. P. 315 330.
- Чкалова О. и др. Исследование пассивирующих свойств фосфорносили-катного стекла и нитрида кремния на GaAs // Электрон, техн. Сер. 2. Полупров. приборы. 1970. Вып. 4 (54). С. 125 129.
- Дмитрук Н.Л., Ляшенко В. И., Маева О. Н. Электрофизические свойства МДП структур А1 — А120з — GaAs // В сб. Всес. конф. «Физика диэлектриков и перспективы её развития». 1973. Л.: 1973. Т. 3. С. 184 — 185.
- Nishi H., Revesz A.G. GaAs/Ta205 and GaAs/Al203 interface structures // J. Vac. Sci. and Technol. 1979. V. 16, № 5. P. 1487- 1491.
- Гритченко В.H. и др. свойства границы раздела GaAs Si02 при пироли-тическом нанесении Si02 //Микроэлектроника. 1972. Т. 1, № 1. С. 87 — 88.
- Багратишвили Г. Д., Джанелидзе Р. Б., Курдиани Н. И., Саксаганский О. В. Способ получения нитрида германия и свойства структур GaAs Ge3N4 — Al //Микроэлектроника. 1973. T. 2, № 2. С. 173 — 177.
- Рожков В.А. и др. Исследование свойств диэлектрических пленок алюмината неодима // Электрон, техн. Сер. Материалы. 1981. Вып. 4(153). С. 61−62.
- Рожков В.А., Вдовин О .С., Свердлова А. М. и др. Электрофизические свойства МДП структуры Al — Y203 — Ge // Микроэлектроника. 1976. Т. 5, № 1. С. 28−31.
- Новичков В.В., Свердлова А. М., Новичкова Н. П., Рожков В. А. Электрофизические свойства МОП структур n- GaAs — Ег203 — Al и n — GaAs -Dy203 — Al//Микроэлектроника. 1976. T. 5, № 1. C. 24 — 27.
- Рожков В.А., Романенко Н. Н., Шалимова М. Б. Кремниевые МДП-структуры на основе диэлектрических пленок фторида диспрозия // Тезисыдокл. Всесоюзн. научн. конф. «Состояние и перспективы развития микроэлектронной техники». 4.II. 1985. Минск. С. 246.
- Рожков В.А., Романенко Н. Н., Шалимова М. Б. Электрофизические свойства пленок фторида диспрозия и МДП-структур на их основе // Тезисы докл. IV Всесоюзной конференции по физике и химии редкоземельных полупроводников. 1987. Новосибирск. С. 201.
- Рожков В.А., Шалимова М. Б., Романенко Н. Н. Элемент памяти. АС. № 1 585 834 15.04.90 г. Приоритет от 1.11.88 г. по заявке № 4 601 805.
- Рожков В.А., Шалимова М. Б. Эффект электрического переключения проводимости с памятью в структуре AI DyF3 — Si // Письма в ЖТФ. 1992. Т.18, Вып. 5. С. 74 77.
- Рожков В.А., Шалимова М. Б. Электрическое переключение проводимости с памятью в кремниевых МДП-структурах с диэлектриком из фторида эрбия// ФТП. 1993. Т. 27, № 3. С. 438 445.
- Рожков В.А., Романенко H.H., Шалимова М. Б. Переключение проводимости с памятью в кремниевых МДП структурах с фторидами РЗЭ // Тезисы докл. конф. «Проблемы и прикладные вопросы физики». Саранск. 1993. С. 66.
- Рожков В.А., Романенко H.H. Переключение проводимости с памятью в кремниевых МДП-структурах с пленкой фторида самария // Письма в ЖТФ. 1992. Т. 18. Вып. 15. С. 60−63.
- Рожков В.А., Романенко H.H. Эффект переключение проводимости с памятью в МДП-структурах с фторидом лантана // Письма в ЖТФ. 1993. Т.19. Вып. 22. С. 6−9.
- Рожков В.А., Петров А. И., Шалимова М. Б. Просветляющие покрытия из фторидов эрбия, неодима и гадолиния // Письма в ЖТФ. 1993. Т. 19. Вып. 19. С. 10−14.
- Рожков В.А., Петров А. И., Шалимова М. Б. Просветляющие покрытия из фторидов иттрия, церия и тербия для кремниевых фотоэлектрических приборов.//Письма в ЖТФ. 1994. Т.20. Вып. 12. С. 43−47.
- Рожков В.А., Петров А. И., Шалимова М. Б. Просветляющие покрытия из фторидов лантана, самария и диспрозия для кремниевых фотоэлектрических приборов//Известия ВУЗов. Физика. 1994. № 4. С. 7−10.
- Sathyamoorthy R., Narayandass Sa.K., Balasubramanian C., Mangalaraj D. Structure, dielectric, and AC conduction studies on yttrium fluoride thin films // Phys. status solidi.(A). 1990. V. 117, № 2. P. 495−500.
- Sathyamoorthy R. Some investigations on vacuum evaporated yttrium fluoride and cadmium telluride thin films // Proc. Solid State Phys. Symp., Varansi, Dec. 21−24, 1991.34 р. Delhy., 1991. P. 34.
- Vassilliki Bredimas. High frquency capacitance behavior of metal-oxid-semiconductor tunnel structures // J. Appl. Phys. 1994. V. 75, № 12. P. 79 227 930.
- Hsun-Hua Tseng, Ching-Yuan Wu. A simple technique for measuring the interface- state dencity of the Shottky barrier diodes using the current-voltage characteristics // J. Appl. Phys. 1987. V. 61, № 1. P. 299−304.
- Horvath Ls. J. Evaluation of the interface state energy distribution from Shottky I-V characteristics //J. Appl. Phys. 1988. V. 63, № 3. P. 976−978.
- Kolnik J., Ozvold M. The influence of inversion surface layers on the evaluation of the interface state-energy distribution from Schottky diod I-U characteristics//Phys. Stat. Sol. (A). 1990. V. 122, № 2. P. 583−588.
- Maeda K., Umezo I. Nonideal J-V characteristics and interface states of an a-Si:H Shottky barrier // J. Appl. Phys. 1990. V. 68, № 6. P. 2858−2867.
- Л.С.Берман, И. В. Грехов, И. Н. Каримов. Поверхностные состояния на кремнии в МДП (металл-диэлектрик-полупровдник) структурах с туннельно тонким слоем окисла // ФТП. 1993. Т. 27, № 6. С. 917 922.
- Ляшенко В.И., Литовченко В. Г. Электронные явления на поверхности полупроводников. Киев: Наук, думка, 1984. 232 с.
- К.Као, В. Хуанг. Перенос электронов в твердых телах. М.: Мир, 1984. 350 с.
- Ching-Yuan Wu. Interfacial layer-thermoionic-diffusion theory for the Shottky barrier diode // J. Appl. Phys. 1982. V. 53, № 8. P. 5947−5950.
- Бойцов C.K., Вуль А. Я., Дидейкин A.T., Зинчик Ю. С. и др. Процессы то-копрохождения сквозь туннельно прозрачный диэлектрик ПТДП — структуры//Физика тверд, тела. 1991. Т. 33, № 6. С. 1784−1791.
- Вуль А.Я., Дидейкин А. Т. Вольт амперные и вольт — фарадные характеристики ПДП-структур с толщиной диэлектрика менее 50 ангстем // ФТП. 1992. Т. 26, № 1. С. 146−149.
- Бойцов С.К., Осипов В. Ю., Макарова Т. Л. К вопросу о туннелированииосквозь промежуточный (17−30 А) окисный слой кремниевой ПТДП структуры//Микроэлектроника. 1993. Т. 22, № 5. С. 74−82.
- Туннельные явления в твердых телах (под ред. В.И.Переля). М.: Мир, 1973.
- Д. Блекмор. Статистика электронов в полупроводниках. М.: Мир, 1964. 379 с.
- Chattopadhyay P., Kumar К. Experimental investigation of the dependence of barrier height on metal work function for metal Si02 — pSi (MIS) Shottky -barrier diodes in the presence of inversion // Solid-State Electronics. 1988. V. 31, № 2. P. 143−146.
- Вуль А.Я., Дидейкин A.T., Саченко A.B., Шкребтий А. И. Вольт-амперная характеристика МТДП структур в режиме стационарного лавинного пробоя//Письма в ЖТФ. 1988. Т. 14, № 19. С. 1729−1732.
- Добровольский В.И., Нинидзе Т. Н., Петрусенко В. И. Ударная ионизация в МТДП структурах с внутренним усилением тока // Письма в ЖТФ. 1992. Т. 18, № 12. С.73−77.
- Добровольский В.И. и др. Ударная ионизация электронов и дырок и лавинный пробой в МТДП структурах // ФТП. 1993. Т. 26, №> 6. С. 944 950.
- Зуев В.А., Саченко A.B., Толпыго К. Б. Неравновесные приповерхностные процессы в полупроводниках и полупроводниковых приборах. М.: «Сов. радио». 1977. 256 с.
- Вуль А .Я., Саченко A.B. Фотоэлектрические свойства структур металл -диэлектрик полупроводник с туннельно прозрачным слоем диэлектрика (Обзор) // ФТП. 1983. Т. 17, № 8. С. 1361−1376.
- Саченко A.B., Крупнова И. В. Вольтамперные характеристики туннельных МДП структур при наличии освещения // ФТП. 1981. Т. 15, № 1. С. 7381.
- Саченко A.B., Снитко О. В. Фотоэффекты в приповерхностных слоях полупроводников. Киев: Наук, думка, 1984. 400 с.
- Вуль А.Я., Козырев C.B., Федоров В. И. Особенности фотоэлектрических свойств туннельных МДП структур. I. Основные соотношения теории // ФТП. 1981. Т. 15, № 1. С. 142−148.
- Вуль А.Я., Федоров В. И., Бирюлин Ю. Ф. и др. Особенности фотоэлектрических свойств туннельных МДП структур. II. Результаты эксперимента //ФТП. 1981. Т. 15, № 3. С. 525−531.
- Chattopadhyay P., Krishna Das. Control of barrier height of MIS tunnel diodes using deep level impurities // Solid-State Electronics. 1991. V. 34, № 4. P. 376 371.
- Вуль А.Я., Дидейкин A.T., Бойцов C.K. и др. Эффект усиления фототока в структурах полупроводник туннельно прозрачный диэлектрик — полупроводник // ФТП. — 1992. — Т. 26, № 2. — С. 295−304.
- Вуль А.Я., Дидейкин А. Т., и др. Усиление фототока в кремниевых структурах полупроводник диэлектрик — полупроводник // Письма в ЖТФ. Т. 12, № 9. С. 520−524.
- Гуткин А.А., Седов В. Е. О механизме прохождения фототока в выпрямляющих контактах металл полупроводник с промежуточным изолирующим слоем//ФТП. 1976. Т. 10, № 8. С. 1589- 1591.
- Green М.А., TempleV.A.K., Shewchun J. Frequency responce of the current multiplication process in MIS tunnel diodes // Solid-State Electronics. 1975. V. 18, № 9. P. 745−752.
- Yamamoto Т., Kawamura K, Shimizu H. Silicon p-n insulator-metal (p-n-I-M) devices // Solid-State Electronics. 1976. V. 19. P. 701 706.
- Adan A. A proposed model of MISS composed of two active devices//Solid-State Electronics. 1980. V. 23. P. 449 456.
- Саченко A.B., Паничевская T.B. О влиянии поверхностных состояний на кинетику фототока в поверхностно барьерных структурах с туннельным диэлектриком // Украинский физич. журнал. 1993. Т. 38, № 8. С. 1269−1274.
- Вуль А .Я., Дидейкин А. Т., Козырев С. В. Фотоприемники и фотопреобразователи. Л., 1986. С. 105−130.
- Вуль А.Я., Дидейкин А. Т., Зинчик Ю. С., и др. Кинетика фотоответа туннельных МДП структур//ФТП. 1983. Т. 17, № 8. С. 1471−1477.
- Вуль А.Я., Дидейкин А. Т. и др. Кинетика фотоответа и механизмы протекания тока в кремниевых структурах полупроводник тонкий диэлектрик -полупроводник//ФТП. 1986. Т. 20, № 8. С. 1444−1450.
- S.Sinharoy, R.A.Hoffman, A. Rohatu, R.F.C.Farrow and J.H.Rieger // J. Appl. Phys. 1986. V. 59. P. 273.
- Блех А., Селло X., Грегор Л. В. Тонкие пленки в интегральных схемах // Технология тонких пленок / Под ред. Л. Майссела, Т. 2. М.: 1977. С. 725 753.
- Фурман Ш. А. Тонкослойные оптические покрытия. Л.: Машиностроение, 1977. 193 с.
- Lingg LJ., Targove J.D., Lehan J.P., Maklead H.H. Ion-assisted deposition of lanthanide trifluorides for VUV applications // Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 1987. V. 818. P. 86−92.
- Риттер Э. Пленочные диэлектрические материалы для оптических применений. В кн. Физика тонких пленок. Т. 8./ Под ред. Г. Хасса, М. Фран-комба, Р. Гофмана. М.: Мир. 1987. С. 7−60.
- Петров А.И., Рожков В. А., Трусова А. Ю. Электрический пробой пленок оксидов РЗЭ в кремниевых МДП-структурах // Матер. Докл. междунар. научно-техн. семинара «Шумовые и деградационные процессы в полупроводниковых приборах». М. 1998.С. 425−429.
- Рожков В.А., Шалимова М. Б. Эффект переключения проводимости с памятью в слоистых структурах с фторидами РЗЭ // Тезисы докл. У Российской научно-техн. конференции профессорско-преподавательского и инженерно-технического состава. 1998. Самара. С. 20.
- Байбурин В.Б., Волков Ю. П., Рожков В. А. Микроканалы проводимости в диэлектрической пленке оксида иттербия // Письма в ЖТФ. 1998. Т. 24. № 12. С. 21−24.