Моделирование методом Монте-Карло физических процессов взаимодействия нерелятивистских электронов с веществом
Диссертация
В технологии микроэлектроники, а так же в таких новейших, возникших на основе успехов микроэлектроники, технологических направлениях как микромеханика, микроэлектромеханика и микрооптика доминирующую роль играют пучковые методы. За последние 30 лет минимальные размеры структурных элементов микросхем уменьшились с 10 мкм до 0.1 мкм, и перед технологией стоит задача преодоления рубежа в 50−100 нм… Читать ещё >
Содержание
- ГЛАВА 1. Методы описания процессов происходящих при прохождении нерелятивистских электронов через вещество
- 1. 1. Сечение упругого рассеяния
- 1. 2. Приближение непрерывных потерь. Формула Бете-Блоха. Тормозное рентгеновское излучение
- 1. 3. Приближение случайных потерь. Оже электроны. Характеристическое рентгеновское излучение
- 1. 3. 1. Столкновение с электронами внутренних оболочек
- 1. 3. 2. Столкновение с электронами внешних атомных оболочек
- 1. 3. 3. Генерация плазмонов
- 1. 3. 4. Важность учёта случайных потерь. Распределение Ландау
- 1. 4. Поверхностные эффекты. Граница раздела сред. Работа выхода. Рассеяние низкоэнергичных электронов
Список литературы
- Друкарёв Г. Ф. «Столкновение электронов с атомами и молекулами» 1978 М. «Наука», 255 стр.
- Готт Ю.В. «Взаимодействие частиц с веществом в плазменных исследованиях» 1978 М.: Атомиздат.
- Валиев К. А. Раков А.В. «Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике» 1984 М.: Радио и Связь, 352 стр.
- Г. Бете. Квантовая механика. М: Мир, 1965, 336 с.
- Л.Д. Ландау Е. М. Лившиц «Теоретическия физика. Том III. Квантовая механика. Нерелятивистская теория» 1989 М. Наукаб 767 стр.
- Лейман К. «Взаимодействие излучения с твёрдым телом и образование элементарных дефектов» 1979 М. Атомиздат, 296 стр.
- Ковалёв В.П. «Вторичные электроны» 1987 М. Энергоатомиздат, 175 стр.
- А.Р. Шульман С. А. Фридрихов «Вторично эмиссионные методы исследования твёрдого тела» 1977 М. Наука, 551 стр.
- С. J. Tung, J.C. Ashley, R.H. Ritchie «Electron inelastic mean free paths and energy losses in solids II: Electron gas statistical model «//Surf. Sci. 1979 V.81, p. 427−439.
- J. C. Ashley, C. J. Tung, R. H. Ritchie, and V. E. Anderson, «Calculations of Mean Free Paths and Stopping Powers of Low Energy Electrons (< 10 keV) in Solids Using a Statistical Model» //IEEE Trans. Nucl. Sci. 1976 V. NS-23,1833.
- Ritchie R.H., Carber F.W., Nakai M.Y. Birkhoff R.D. «Low energy Mean Free Paths in solids» //Adv. Radiat. Biol. 1969 V.3 p. 1−28.
- J.C. Russ, Z. Radzimski, A. Buczkowski, L. Maynard «Monte-Carlo modeling of electron signals from heterogeus Specimen with nonplanar surfaces» J. Of computer Assisted Microscopy 1990, V.2, p.59−86.
- R. H. Ritchie «Interaction of Charged Particles with a Degenerate Fermi-Dirac Electron Gas» //Phys. Rev. 1959 V. 144 p.644−654.
- K.L. Bell, H.B. Gilbody, J.G. Hughes, A.E. Kingston, F.J. Smith «Atomic and Molecular Data for Fusion, Part I Recommended Cross Sections and Rates for Electron Ionization of Light Atoms and Ions» //J. Phys. Chem. Ref. Data 1983 V.12 № 4, p.891−916.
- J. Lindhard «On the properties of a gas of charged particles» //Mat.-Fys. Medd. Dan. Vid. Selsk 1954 v.28, № 8.
- J.C.Ashley, C.J.Tung, R.H.Ritchie «Electron inelastic mean free paths and energy losses in solida I. Alumminium metal» //Surf. Sci. 1979 V.81 p.409−426.
- D. C. Joy «Monte Carlo Modeling for Electron Microscopy and Microanalysis», Oxford University Press, 1995, 228 p.
- M. Grysinsky «Classical theory of atomic collisions. I. Theory of inelastic collisions» //Phys Rev. 1965 v.138 p. A336-A358.
- S. Babin, S. Borisov, E. Grachev, A. Shiriaev «An advanced Monte Carlo model of electron scattering in EBL involving fast secondary and true secondary electrons» тезисы конференции Micro-and-Nano Engineering 2000, EIL-14P.
- R Shimizu, Y Kataoka, T. Ikuta, T. Koshiwa, H. Hashmoto «A Monte Carlo approach to the direct simulation of electron penetration in solid» //J. Phys. D: Appl. Phys., 1976, V.9, p.101−113.
- I. Adesida, R. Shimizu, Т.Е. Everhart «A study of electron penetration in solids using a direct Monte Carlo approach» //J. Appl. Phys. 1980 v.51 № 11, p.5962−5969.
- И.М.Соболь «Численные методы Монте Карло» М. Наука, Москва 1973,311 стр.
- Н.П. Бусленко, Д. И. Голенко, И. М. Соболь, В. Г. Срагович, Ю. А. Шрейдер, «Метод статистических испытаний (метод Монте Карло)». Справочная математическая библиотека. Физматгиз 1962, 331 стр.
- Под ред. В. Скотта, Г. Лава «Количественный электронно-зондовый микроанализ». М «Мир», 1986, 352 с.
- Bishop Н. Е «The absorption and atomic number corrections in electron-probe X-ray microanalysis» //J.Phys D: Appl Phys., 1968 V. l 673−684.
- C.R.K.Marrian, F.K.Perkins, D. Park, E.A.Dobisz, M.C.Peckerar, K.-W.Rhee, R. Bass «Modeling of electron elastic and inelastic scattering» //J.Vac.Sci.Technol. B, 1996, V.14 № 6, p.3864−3869.
- K.Murata, D.F.Kyser, C.H.Ting «Monte Carlo simulation of fast secondary electron production in electron beam resist» //J. Appl. Phys. 1981 V.52 № 7, p.4396−4405
- D.Stephani «Monte-Carlo calculations of backscattered electrons at registration marks» //J.Vac. Sci. Technol. B, 1979, V.16 № 6, p.1739−1742.
- Y.Lee, W. Lee, K. Chun «A new 3D simulator for low energy (~lKev) electrone beam systems» Тезисы конференции 3-D beams 99, EBLP06.
- I.Adesida, R. Shimizu, T.E.Everhart «Monte Carlo simulation of electron penetration through thin films of PMMA» //Appl. Phys. Lett. 1978, V.33 № 10, p.849−850.
- H.Seiler «Secondary electron emission in the scanning electron microscope» //J.Appl. Phys. 1983, V.54 № 11, p. Rl-R18.
- W.Liu, J. Ingino, R.F.Pease «Resist charging in electron beam lithography» //J. Vac. Sci. Technol. В 1995, V.13 № 5 p.1979−1983.
- И.М. Бронштейн, Б. С. Фрайман, «Вторичная электронная эмиссия». М: Наука 1969, 407 стр.
- Н.Бор, «Прохождение атомных частиц через вещество», изд. иностр.лит. 1950, 149 стр.
- Н.П. Калашников, B.C. Ремизович, М. И. Рязанов, «Столкновение быстрых заряженных частиц в твёрдых телах». Атомиздат 1980, 272стр.
- А.А. Боровков, «Теория вероятностей». М: Наука 1976, 352 стр.
- Л.Д. Ландау, «Собрание трудов». М: Наука 1969, 512 стр.
- К.А. Валиев, «Физика субмикронной литографии». М: Наука 1990, 528 стр.
- Н.Н. Kramers «On the theory of x-ray absorbtion and of the continious x-rayspectrum» //Phil. Mag. 1923 V.46, p.836−871.
- R.H. Pratt, H.K. Tseng, C.M. Lee, L. Kissel, C. MacCallum, M. Riley «Bremsstrahlung energy spectra from electrons of kinetic energy IKev < T < 2000 Kev incident on neutral atoms 2< Z < 92» //Atomic data and Nuclear tables 1977, V.20, p.175−209.
- R.H. Pratt, H.K. Tseng, C.M. Lee «Electron bremsstrahlung angular distributions in the 1−500 KeV energy range» //Phys. Rev. A 1979, V.19, p. 187 195.
- W. Buhring «Computation improvements in phase shift calculations of elasticelectron scattering» //Z.Phys. 1965, V.187, p. 180−196.
- H.G. Badd, H. Drescher, E.R. Krefting, L. Reimer, H. Seidel, W. Buhring «Use of Mott scattering cross-sections for calculating backscattering for 10−100 Kev electrones» Proc. 25th Anniv. Meeting of EMAG, Inst. Of Physics, Bristol1971, p.74−77.
- L. Reimer, B. Lodding «Calculation and tabulation of Mott cross-sections for large-angle electron scattering» //Scanning 1984, V.6, p. l28−151.
- S. Ishimura, M. Aramata, R. Shimizu «Monte-Carlo calculation approach to quantative Auger electrone spectroscopy» //J. Appl. Phys. 1980, V.51, p.2853−2860.
- M. Fink, A.C. Yates «Theoretical scattering amplitudes and spin polarizations. Selected targets, electrone energies 100 to 1500 eV Part I»
- Atomic data 1970, V. l, p.385−456.
- M. Fink, A.C. Yates «Theoretical scattering amplitudes and spin polarizations. Part II» //Atomic data 1972, V.4, p. 129−207.
- L. Reimer, E.R. Krefting «The effect of scattering models on the results of Monte-Carlo calculations.» NBS Spec.Publ.460 (ed. By K.F.J. Heinrich, D.E.
- Newbury, H. Yakowitz), U.S. Dep. Of Commerce, Washington DC 1979, p.45−60.
- D. Gregory, M. Fink «Theoretical electron scattering amplitudes and spin polarisations Part III» //Atomic Data 1974, V.14, p.29−37.
- M.E. Riley, C.J. MacCallum, F. Biggs «Theoretical electron-atom elastic cross-sections» //Atomic DataNucl. Tables 1975, V.15, p.443−476.
- A. Jablonski, G. Gergely «Mott factors for P, V, Fe, Ga, As, Pd, In, Та, and W for 500−3000 eV electrons» //Scanning 1989, V.6, p.128−151.
- Z. Czyzewski, D.O. MacCallum, A. Roming, D.C. Joy «Calculations of Mott scattering cross section» //J. Appl. Phys. 1990, V.68, p.3066−3072.
- F. Salvat, R. Mailor «Elastic scattering of electrons and positrons by atoms Schrodinger and Dirac partial wave analysss» //Сотр. Phys. Comm. 1993, V.74, p.358−374.
- L. Reimer, H. Drescher «Secondary electron emission of 10−100 Kev electrons from transparent films of Al and Au» //J.Phys. D, 1977, V.10, p. SOS-SIS.
- N.F. Mott, H.S.W. Massey «The Theory of Atomic Collisions» 3rd ed., Oxford Univ. Press, London 1965, 858 p.
- D.W. Walker «relativistic effects in low energy electron scattering from atoms» //Adv. Physics 1971, V.20, p.257−323.
- J. Kessler «Polarized electrons» 2nd ed., Springer, Berlin-heidelberg New York 1985.299 р.
- H.S.W. Massey, «Advances in Electronics and electron Physics», edited by L. Marton Academic Press Inc., New York, 1952, V.4, p.2−68.
- N. Bohr «The penetration of atomic particles throught matter». Kgl. Danske Videnskabernes. Selskat, Metematisk-fysike Medd. 1948, V.18, № 8.
- R.D. Birkhoff «The passage of fast electrons throught matter» Encyclopedia of Physics (ed. by S. Flugge), Springer, Berlin, 1958, Vol. 34, p.53.
- H.A. Bete, J. Ashkin «Passage of radiation throught matter» //Exp. Nucl. Phys. Vol.1 (ed. by Segre), Wiley, New York, 1953, p.166−357.
- H.Bruining, «Physics and Applications of Secondary Electron Emission», Pergamon Press, London, 1954. 128 p.
- M.P.Seah, and W.A.Dench «Quantitative electron spectroscopy of surfaces: a standard database for electron inelastic mean free paths in solids.» //Surface and Interface Analysis, 1979, V. l, p.2−11.
- D.H. Madison, E. Merzbacher «Atomic Inner shell processes» ed. by B. Crasemann, Academic Press, New York 1975, Vol.1, p. 1−72.
- B.H. Choi, E. Merzbacher, G.S. Khandelwal «Tables for Born approximation calculations of 1-subshell ionization by heavy charged particles» //Atomic data Tables 1973, V.5, p.291−304.
- J. C. Ashley, J. C. Tung, and R. H. Ritchie «Inelastic Interactions of Electrons with Polystyrene: Calculations of Mean Free Paths, Stopping Powers, and CSDA Ranges» //IEEE Trans. Nucl. Sci. 1978, NS-26, p. 1566.
- B.H. Choi «Cross section for the M-shell ionization in heavy atoms by collision of simple heavy charged particles» //Phys. Rev. A, 1973, 7, p.2056−2062.
- M. Gryzinsiki «Two-particle collisions: II. Coulomb collisions in the laboratory system of coordinates» //Phys. Rev. A, 1965, 138, p.305−321, 322−335.
- S. Tanuma, C. J. Powell and D. R. Penn, «Calculations of electron inelastic mean free paths. II. Data for 27 elements over the 50−2000 eV range» //Surf Interface Anal 1991, V.17, p.911 -926.
- S. Tanuma, C. J. Powell and D. R. Penn, «Calculations of electron inelastic mean free paths. III. Data for 15 inorganic compounds over the 50−2000 eV range» //Surf Interface Anal 1991, V.17, p.927−939.
- S. Tanuma, C. J. Powell and D. R. Penn, «Calculations of electron inelastic mean free paths. V. Data for 14 organic compounds over the 50−2000 eV range» //Surf Interface Anal 1993, V.21, p.165−176.
- C.J. Powell «Evaluation of formulas for inner-shell ionization cross sections» NBS Spec. Publ. 460 (ed. by K.F.J. Heinrich, D.E. NewBury, H. Yakowitz), U.S. Dep. of Commerce, Washington DC (1976), p. 97−104.
- M. S. Chung and Т. E. Everhart «Role of plasmon decay in secondary electron emission in the nearly-free-electron metals. Application to aluminum»
- Phys. Rev. B, 1977, V.15, p.4699715.
- Shimizu R «Secondary electron yield with primary electron beam of kilo-electron-volts» //J. Appl. Phys, 1974, V.45, p.2107−2111.
- Koshikawa T and Shimizu R «Secondary electron and backscattering measurements for polycrystalline copper with a spherical retarding-field analyser» //J. Phys. D. Appl. Phys., 1973, V.6, p.1369−1380.
- W.R. Leo, «Techniques for Nuclear and Particle Physics Experiments» Springer, 1994 396 р.
- J.E. Moyal «Theory of ionization fluctuations» //Phil. Mag., 1955, V.46,p.263−280.
- B. Schorr «Programs for the Landau and the Vavilov distributions and the corresponding random numbers» //Сотр. Phys. Comm., 1974, V.7, p.215−224.
- R. Shimizu, T. Ikuta, M. Murata «The Monte-Carlo technique as applied to the fundamentals of EPMA and SEM» //J. Appl. Phys, 1972, V.43, № 10, p. 4233−4249
- R. Shimizu, T. Everhart. «Monte-Carlo simulations of the energy dissipation of an electrone beam in on organic specimen» //Optic, 1972, V.36, № 1, p 59−65.
- L. Reimer, H. G. Badde, H. Seidel «Orientierungsanisotropie des
- Rucksteukoeffizienten und der Serundarelektronenausbeute von 10−100 KeV Electronen» //Z. andew. Phys., 1971, V.31, p. l45−151. 85. H. Mott, Г. Месси «Теория атомных столкновений» М. Мир 1969, 756 стр.
- А.Ф. Аккерман, Ю. Н. Никитушев, В. А. Ботвин. «Решение методом Монте-Карло задач переноса быстрых электронов в веществе». Алма-Ата. Наука, 1972, стр. 108.
- R. Shimizu, Т. Ikuta, Т. Е. Everhart, and W. J. DeVore «Experimental and theoretical study of energy dissipation profiles of keV electrons in polymethylmethacrylate» //J. Appl. Phys., 1975, V.46 № 4, p.1581−1584.
- T. Kato, T. Matsukawa, H. Koyama, K. Fujikawa, and R. Shimizu «Scanning electron microscopy of charging effect on silicon» J. Appl. Phys., 1975, V.46 № 5, p.2288−2292.
- Т. E. Everhart, N. Saeki, R. Shimizu, T. Koshikawa, «Measurement of structure in the energy distribution of slow secondary electrons from aluminum» //J. Appl. Phys., 1976, V.47 № 7, p.2941−2945.
- R. Shimizu, M. Aratama, S. Ichimura, Y. Yamazaki, T. Ikuta, «Application of Monte Carlo calculation to fundamentals of scanning Auger electron microscopy» //Appl. Phys. Lett., 1977, V. 31 № 10, p.692−694.
- Z.-J. Ding, R. Shimizu, K. Obori, «Monte Carlo simulation of x-ray spectra in electron probe microanalysis: Comparison of continuum with experiment» //J. Appl. Phys., 1994, V.76 № 11, p.7180−7187
- Z. J. Ding, X. D. Tang, R. Shimizu, «Monte Carlo study of secondary electron emission» J. Appl. Phys., 2001, V.89 № 1, p.718−726.
- M. A. Furman and M.T. F. Pivi «Probabilistic model for the simulation of secondary electron emission» //Phys. Rev. Spec. Topics Accelerators and Beams, 2002, V.5, 124 404 18 стр.
- Т. Koshikawa and R. Shimizu «A Monte Carlo calculation of low-energy secondary electron emission from metals» //J. Phys. D, 1974, V.7, p. 1303−1315
- J. J. Quinn, «Range of Excited Electrons in Metals» //Phys. Rev., 1962, V.126, p.1453−1457.
- Dirk Berger «Hochaufgeloste Electronenstreuexperimente fur anwendungen in der elektronenmicroskopie und der Monte-Carlo-Simulation der electronenstreuung», Technischen Universitat, Berlin 2000, 144 стр.
- Rau E. I., Robinson V. N. E. «An Annular Toroidal Backscattered Electron Energy Analyzer for Use in Scanning Electron Microscopy» //Scannig, 1996, Vol. 18, p.556−561.
- С.И. Зайцев Расширенный автореферат докторской диссертации, 2000, Черноголовка.
- Itoh Н., Nakamura К., Н. Hayakawa «Charging effects on trilevel resist and metal layer in electron-beam lithography «//J. Vac. Sci. Technol. В., 1991. V.9, № 6. p.3039−3042.
- J. Ingino, G. Owen, C. N. Berglund, R. Browning, R. F. W. Pease. «Workpiece charging in electron beam lithography'7/J. Vac. Sci. Technol. B. 1994. V.12, № 3. p.1367−1371.
- M. Bai, R. F. W. Pease, C. Tanasa, M. A. McCord, D. S. Pickard, D. Meisburger «Charging and discharging of electron beam resist films» //J. Vac. Sci. Technol. B. 1999. V.17, № 6. p.2893−2896.
- С.С. Борисов, Е. А. Грачёв, С. И. Зайцев, Н. Н. Негуляев, Е. А. Черёмухин, «Моделирование процессов зрядки мишени, экспонируемой электронным пучком Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 2004, № 7, с. 51−56
- A. Rotondi, P. Montagna, K.S. Kolbig «Approximate Vavilov Distribution and its Inverse"http://wwwasdoc.web.cern.ch/wwwasdoc/shortwrupsdir/gl 15/top.html, 1996.
- Wolfgang Riedel «Vavilov theory» http://archiv.tu-chemnitz.de/pub/1998/015 l/data/latexexa/latexexa/node4.html, 1998.
- D.C. Joy «Mott Elastic Scattering Cross Section Calculations» http://web.utk.edu/~srcutk/Mott/mott.htm. 2001.
- M.J. Winter http://www.webelements.com. 2005
- Carl R. (Rod) Nave «Index to HyperPhysics» http://hyperphvsics.phy-astr.gsu.edu/hbase/hframe.html, 1997.
- Earl T. Ada, Gregory J. Szulczewski, Shane C. Street, Mark L. Weaver «Vacuum Requirements in Electron Spectroscopy for Surface Analysis» http://www.bama.ua.edu/~surfspec/uhv.htm, 2002.
- H. M. Li, Z. J. Ding «Monte Carlo Simulation of Secondary Electron and Backscattered Electron Images in Scanning Electron Microscopy for Specimen with Complex Geometric Structure» //Scanning, 2005, V.27, p.254−267.
- W. H. McMaster «Periodic Table» http://www.csrri.iit.edu/periodic-table.html, 2005.
- E. Gullikson «X-Ray Attenuation Length» http://www-cxro.lbl.gov/optical constants/atten2.html, 2005.
- A. Rotondi, P. Montagna «Fast calculation of Vavilov distribution» //Nucl. Instr. and Meth., 1990, B47 p.215−224.
- Landau L., «On the energy loss of fast particles by ionization» //Jouranal of Physics (USSR) 1944, V.8, p.201−205.
- Hoffmann К. E., Schmoranzer H. «Electron Microscopy» 1982 (Eds. LePoole J. В., et al., Frankfurt) Vol.1, p.265.
- Hoffmann К. E., Schmoranzer H., in: «Electron Beam Interactions with Soilds» Eds. Kyser D. F., Newbeury D. E., Niedrig H., Shimizu R., SEM, Inc., AMF O’Hare, IL 60 666, 1984, p.209.
- Reimer L., Stelter D., «Fortran 77 Monte Carlo program for microcomputers using Mott cross-sections» //Scanning 1986, V.8, p.265−277.
- С.Г.Конников, В. А. Соловьев, В. Е. Уманский, В. М. Чистяков. «Функция генерации электронно-дырочных пар в полупроводниках AIIIBV при возбуждении электронным пучком» //ФТП, 1987, т.21, в.11, с.2028−2032
- Fiddicke and Oelgert «The importance of the exitation volume for the determination of the minority carrier diffusion length» //Phys. Status Solidi (a), 1985, V.87 № 1, p.383−389.
- Oelgart G., Scholz H. «Kilovolt Electron energy loss distribution in GaAsP» //Phys. Status Solidi (a), 1983, V.75 № 2, p.547−553.
- Oelgart G., Werner U. «Determination of electron depth-dose function for kilovolt electrons in GaAsP» //Phys. Status Solidi (a) 1984, V.85 № 1, p.205−213,
- U Werner, F Koch, G Oelgart «Kilovolt electron energy loss distribution in Si» //J. Phys. D: Appl. Phys., 1988, V.21, p. l 16−124.
- Бакалейников JI.А., Галактионов E.B. «Расчёт теплового воздействия электронного зонда на образец нитрида галлия» //Физика Твёрдого Тела, 2001, т.43 в.5, с.779−785
- D. С Joy «Electron solid interaction database «http://web.utk.edu/~srcutk/htm/interact.htm. 2001.
- Liljequist D., Isami M., Salvat F., Mayol R., Martinez D. «Transport mean free path tabulated for the multiple elastic scattering of electrons and positrons at energies ≤20 MeV» //J. Appl. Phys. 1990, V.68, p.3061−3065.
- R. Browing, T. Z. Li, B. Chui, Jun Ye, R. F. W. Pease, Z. Czyzewsky, D. C. Joy «Low-Energy ElectronAtom Elastic Scattering Cross Sections from 0.1 to 30 KeV» //Scanning 1995V.17 p.250−000.
- Z. Czyzewsky, D. O’Neill MacCallum, A. Romig, D. C. Joy «Calculations of Mott scattering cross section» //J. Appl. Phys., 1990, V.67 № 7, p.3066−3072.
- L. A. Bakaleinikov, V. V. Tretyakov, «The influence of Elastic and Ionization Cross-Section Approximations on the result of Monte-Carlo Calculations» //Scanning, 1995, V.17, p.243−249.
- Z. J. Ding, X. D. Tang, H. M. Lee, «Monte Carlo calculation of energy distribution of backscattered electrons «//Int. J. Mod. Phys. В., 2002, V.16 № 2829, p.4405−4412.
- Кольчужкин A.M., Учайкин B.B. «Введение в теорию столкновений», Изд. Томского Универитета, 1979, 141 стр.
- Справочник «Физические величины» под ред. И. С. Григорьева, Е. З. Мейлихова, Москва, Энергоатомиздат, 1991, 1231 стр.
- L. Reimer. «Monte Carlo Simulation of Electron Diffusion Introducton and Manual to the software Package», 1997, 111 стр. 138. «Википедия» ru.wikipedia.org/wiki/Гeнepaтopпceвдocлyчaйныxчиceл, 2005.
- А. Ю. Левин, В. В. Майоров, М. JI. Мячин «О логике математической статистики» Ярославль 2003, 44 стр.
- С.С. Борисов, Е. А. Черёмухин, Д. М. Устинин, А. И. Чуличков, Е. А. Грачёв, «Оценка параметров мишени в РЭМ на основе количественной модели взаимодействия пучка с веществом» //Вестник МГУ сер. Физика, Астрономия, 2002, № 3, с. 32.
- Sergey V. Babin, S. Borisov, E. Cheremukhin, Eugene Grachev, V. Korol, L. E. Ocola, «Software tool for advanced Monte Carlo simulation of electron scattering in EBL and SEM: CHARIOT» //Proc. SPIE, 2003, V. 5037, p.583−590.
- Борисов C.C., Грачев E.A., Негуляев H.H., Черемухин Е. А., Зайцев С. И. «Моделирование поляризации диэлектрика в процессе облучения электронным пучком» //Прикладная физика, 2004, № 1,118.
- Борисов С.С., Грачев Е. А., Зайцев С. И., «Моделирование взаимодействия электронного пучка с гетерогенными средами методом Монте-Карло в приближении дискретных потерь» //Прикладная физика, 2004, № 3, с. 65.
- S. S. Borisov, Eugene A. Grachev, S. I. Zaitsev «Electron beam with homogeneous solids interaction simulation using Monte-Carlo method in discrete looses approximation"// Proc. SPIE, 20 046 V.5398, p.144−151.
- S. S. Borisov, Eugene A. Grachev, S. I. Zaitsev, N. N. Negulyaev, E. A. Cheremukhin, «Modeling of dielectric polarization during an electron beam exposure» //Proc. SPIE, 2004 V.5398, p. 186−193.
- Черёмухин Е. А, Негуляев H.H., Борисов С. С. и др. «Моделирование эффекта зарядки тонких диэлектрических плёнок методом Монте-Карло» //Вестник МГУ. Сер. 3 Физ. Астрономия. 2004 № 1 с.31−35.
- Y Т Yue, Н М Li and Z J Ding «Monte Carlo simulation of secondary electron and backscattered electron images for a nanoparticle-matrix system» //J. Phys. D: Appl. Phys. 2005, V.38, p.1966−1977.
- Mizuho Information & Research Institute, Inc. «Electron Beam Scattering Simulator VS-M/EB» http://www.mizuho-ir.co.jp/english/solution/vsmeb/, 2005
- J Leger, M Yousfi, О Eichwald, J F Loiseau and В Held «Monte Carlo simulation of electron beam transport in graphite for composite application from MeV down to eV» //J. Phys. D: Appl. Phys. 2005, V.38, p.1005−1015.
- Carlo Pierleoni, David M. Ceperley «The Coupled Electron-Ion Monte Carlo Method» http://arxiv.org/abs/phvsics/510 254, 2005.
- M. Akarsu, Omer Ozbas «Monte Carlo simulation for electron dynamicsin semiconductor devices» //Mathematical and Computational Applications, 2005, V.10, №.1, p. 19−26.
- С.С. Борисов, Е. А. Грачёв, С. И. Зайцев «Стохастические эффекты при прохождении электронного пучка через вещество» //тезисы XX Российской конференции по электронной микроскопии, стр. 75, Черноголовка, июнь 2004.