Теплоемкость высокочистого кремния
Диссертация
В настоящее, время широкое применение в науке и технике находят вещества высокой степени чистоты. Создание полупроводниковых приборов, оптических квантовых генераторов, детекторов ионизирующего излучения и других приборов современной техники невозможно без таких веществ. Наряду с изучением процессов освобождения вещества от примесей и совершенствованием методов анализа важной задачей является… Читать ещё >
Содержание
- Глава 1. Литературный обзор
- 1. 1. Основы теории теплоемкости простых и сложных веществ
- 1. 2. Теплоемкость кремния
- 1. 3. Влияние примесей на теплоемкость кремния
- 1. 4. Влияние дислокаций на фононный спектр и теплоемкость кристаллических веществ
- Глава 2. Экспериментальная часть
- 2. 1. Описание установки для измерения теплоемкости в интервале температур 2−15 К
- 2. 2. Описание установки для измерения теплоемкости в интервале температур 15−273 К
- 2. 3. Методика проведения измерений теплоемкости в интервале 2−273 К
- 2. 4. Сведения об образцах
- 2. 5. Оценка точности измерений
- Глава 3. Исследование теплоемкости высокочистого кремния в интервале 2−273 К
- 3. 1. Экспериментальные значения теплоемкости кремния и сравнение с литературными данными
- Глава 4. Обсуждение результатов
- 4. 1. Расчет температуры Дебая для высокочистого кремния и сравнение полученных результатов с литературными данными
- 4. 2. Расчет характеристик колебательного спектра кремния
- 4. 3. Исследование влияния дислокаций на низкотемпературную теплоемкость кремния
- Выводы
Список литературы
- Марадудин А. Дефекты и колебательный спектр кристаллов. М. «Мир». 1968. 432 с.
- Косевич И.М. Основы механики кристаллической решетки. М. «Мир». 1972. 280 с.
- Granato A. Thermal properties of mobile defects. // Physical Review. 1958. Vol.111. N.3. p. 740−746.
- Hiki Y., Maruyama T., Kogure Y. Effect of dislocation strain field on lattice specific heat. // J. Phys.Soc.Jap. 1973. Vol.34. N. 3. p. 725−731.
- Ohashi Y.H., Ohashi K. Thermal properties of vibrating dislocations. // Phil.Mag. 1980. Vol.42. N.6. p. 741−751.
- Скуратов C.M., Колесов В. П., Воробьев А. Ф. Термохимия. 4.2. М.: Изд.МГУ. 1966. 436 с.
- Герасимов Я.И., Древинг В. Т., Еремин Е. Н., Киселев А. В., Лебедев В. П., Панченков Г. М., Шлыгин А. И. Курс физической химии. Т.1. М., Госхимиздат. 1963.
- Gibbons D.F. Thermal expansion of some crystals with the diamond structure. // Phys.Review. 1958. Vol.112, N. 1. p.136−141.
- McSkiminH.J. Measurement of elastik constants at low temperatures by means of ultrasonic waves data for silicon and germanium single crystals and for fused silica. // J.Appl.Phys. 1953. Vol.24. N. 8. p.988−997.
- K.Roberts R.B. Thermal expanslon reference data: Silicon 80−280 K. // J. Phys. D: Appl. Phys, 1982. Vol. 15. N.9. p.119−120.
- Batchelber D.N., Slmmons R.0. Lattice constant and thermal expansivlties of Silicon and of calcium fluorid between 6 and 322 K. // J. of Chemical Physics. 1964. Vol.41. N.8. p.2324−2329.
- Бранд H.Б., Чудинов C.M. Экспериментальные методы исследования энергетических спектров электронов и фононов в металлах. М., Издательство Московского университета. 1983. 408 с.
- Бранд Н.Б., Чудинов С. М. Энергетические спектры электронов и фононов в металлах. М., Издательство Московского университета. 1980. 344 с.
- Жирифалько Л. Статистическая физика твердого тела. Издательство «Мир». М. 1975. 382 с.
- Debye P. Zur theorie der speziefischen warmen von P. Debye, // Annalen der Physik. 1912. Bd.39. s.789−839.
- Пересада В. И. Новый вычислительный метод в теории кристаллической решетки. В сб.: Физика конденсированного состояния. Харьков: ФТИНТ АН УССР, 1968. Вып.2. с. 173−210.
- Борн М., Хуан-Кунь. Динамическая теория кристаллических решеток. M., ИЛ., 1958. 488 с.
- Киттель Ч. Введение в физику твердого тела. М. «Наука». 1978. 792 с.
- Barron Т.Н.К., Berg W.Т., Morrison J.A. The thermal properties of alkali halid crystals. • II. Analysis of experimental results // Proc.roy.Soc. 1957. V.242. N. 1231. p.478−492.
- Коган Ю., Иосилевский Я. А. Об аномальном’поведении теплоемкости кристаллов с тяжелыми примесными атомами. //Журн. экспер. и теор. физики. 1963. Т.45. вып.3(9). с, 819−821.
- Лифшиц И.М. Оптическое поведение неидеальных решеток в инфракрасной области. // Журнал экспериментальной и теоретической физики. 1942. Т.12. Вып.3−4. с.156−180.
- Сирота Н.Н., Соколовский Т. Д. Спектр частот колебаний решетки кремния. // Доклады академии наук СССР. 1967. Т.174. N. 4. с.797−799.
- Маделунг 0. Теория твердого тела. М., ИЛ. 1980. 488 с.
- Anderson С.Т. The heat capacity of silicon at low temperatures. // J.Am.Chem.Soc. 1930. Vol.52, p.2301−2304.
- Keesom P.H., Pearlman N. The atomic heat of silicon below 100 K. // Physical Review. 1952. Vol.88. N.2. p. 398−405.
- Nernst W., Schwers F. Sitzber. preuss. Akad. Wiss., Physik-math. Kl. 1914. p.355.
- Keesom P.H., Pearlman N. Atomic heat of silicon and germanium at very low temperatures. // Physical Review. 1952. Vol.85, p. 730.
- Flubacher P., Leadbetter A. Morrison J. The heat capacity of pure silicon and germanium and properties of theirvibrational frequency spectra. // Phyl.Mag. 1959. Vol.4. N. 39. p.273−292.
- Keesom P., Seidel G. Specific heat of germanium and silicon at low temperatures. // Physical Review. 1959. Vol.113. N. 1. p.33−39.
- Калишевич Г. И., Гельд П. В. Кренцис Р.П. Стандартные теплоемкости, энтропии и энтальпии кремния, хрома и его силицидов. //Журнал физической химии. 1965. Т.39. Вып.12. с.2999−3001.
- Desai P.D. Thermodynamic properties of iron and silicon. // J.Phys. and Chem. Ref. Data. 1986. Vol. 15. N.3. p. 967−983.
- Коган Ю., Иосилевский Я. А. Эффект Мессбауэра для примесного ядра в кристалле. // Журнал экспериментальной и теоретической физики. 1962. Т.42. с.252−272.
- Панова Г. Х., Самойлов Б. Н. Экспериментальное обнаружение аномалии в теплоемкости металла с тяжелыми примесными атомами. //Журн. экспер. и теорет. физики. 1965. Т. 49. N.2(8). с.456−458.
- Жернов А.П., Аугст Г. Р. О влиянии изменения силовых постоянных на свойства кристаллов с примесными атомами //Физика твердого тела. 1967. Т.9. N. 8. с.2196−2205.
- Гусев A.B., Кабанов A.B., Куприянов В. Ф. Определение концентрации примесей по низкотемпературной теплоемкости высокочистых веществ. //Высокочистые вещества. 1994. N, 3. с.54−56.
- Игамбердыев X.Т., Мамадалимов А. Т., Махмудов К., Турсунов Ш. 0., Хабибуллаев П. К." Аномалии тепловых свойств кремния с примесью никеля. //Физика твердого тела. 1988. Т. 30. Вып.4.с.1205−1207.
- Вахабов Д.А., Закиров А. С., Игамбердыев X.Т., Мамадалимов А. Т., Турсунов Ш. 0., Юлдашев X.С., Хабибулаев П. К. Термодинамические свойства кремния, легированного золотом. //Физика твердого тела. 1980. Т.30. Вып.7. с.1979−1983.
- Kobayashi N., Ikehata S., Kobayashi S. and Sasaki W. Specific heat study of heavily P doped Si. // Solid State Communication. 1977. Vol.24. N. 1. p.67−70.
- Keyes R.W. Specific heat of silicon in the millidegree region. // Phys.Reiew.B. 1988. Vol.38. N. 14. p. 9806−9809.
- Перваков В. А. Теплофизические свойства металлов с дефектами кристаллической-решетки при низких температурах. Харьков: «Основа». 1990. с.83−86.
- Hiki Y., Tsuruoka F. Evidence of quasi-local phonon modes around dislocations in crystals. // Phys.Rev. 1980. Vol.22. N. 1. p.263−266.
- Антюхов A.M., Антонов A.В., Иванов И. А., Волченкова М. И. Влияние дислокаций на теплоемкость-гадолиний-галиевых гранатов. //Физика твердого тела. 1984. Т.26. N 2. с. 542−543.
- Квавадзе К.А., Надареишвили M.М., Тархнишвили А. А. Низкотемпературная теплоемкрсть деформированных (LiF.KCl) и примесных (NaCl:Cu+) щелочно-галоидных кристаллов. //Физика низких температур. 1987. Т.13. N3. с.302−307.
- Gotts E.J., Anderson А.С. Low temperature specific heat of deformed lithium fluoride crystals. //' Phys.Rev.B. 1981, Vol.24. N. 12. p. 7329−7335.
- Kaburaki H., Kogure Y., Hiki Y. Thermal conductivity, thermal diffusivity and specific heat of lithium fluoridecrystals containing dislocations. // J.Phys.Soc.Jap. 1980. Vol.49. N. 3. p. 1106−1114.
- Нацик В.Д., Смирнов С. Н. О дислокационном вкладе в низкотемпературную теплоемкость кристаллов.//Физика низких температур. 1992. Т.18. N2. с.185−194.
- Никитенко В.И., Осипьян Ю. А. Влияние дислокаций на оптические, электрические и магнитные свойства кристаллов, в сб.: Проблемы современной кристаллографии. М."Наука". 1975. с.239−261.
- Жерненков Н. В Теплоемкость высокочистого германия. Дисс. на соиск. уч. степени к.х.н. Горький. 1987. 134 с.
- Siegel K.D., Wolf G., Bohmhammel F., Schmidt H. G. Eine apparatur fur messungen von warmekapazitaten zwischen 2 und 30 K. // Experim. Techn. Physik. 1977. Bd.25. N, 4. s. 299−306.
- Гусев A.B., Жерненков H.B., Кабанов A.B., Полозков С. А. Установка для измереня теплоемкости в интервале температур 2−15 К // Заводская лаборатория. 1987. Т.53. N.11. С. 55−56.
- Низкотемпературная калориметрия. Перевод с англ. под ред. Улыбина A.C. М., «Мир». 1971. 264 с.
- Паспорт на германиевый термометр сопротивления ТСГ-2.
- Алапина A.B., Душечкин Ю. А., Сухаревский Б. Я. В сб. Тепло-физические свойства вещества и материалов. Вып.9. М.: Изд-во стандартов. 1976. с.115−125.
- Seidel G., Keesom Р.Н. Не3 cryostat for measuring specific heat. //Rev.Sei.Instruments. 1958. V.29. p.606.
- Горбунов В.E., Гуревич В. М., Гавричев К. С. Микрокалориметрическая установка с криостатом анероидного типа. Всесоюз.конфер. по калориметрии и химической термодинамике. 8-я. Иваново. 1979. Тез. докл. 4.2. с. 458.
- Девятых Г. Г., Гусев A.B., Гибин A.M., Жерненков Н. В., Кабанов А. В. Исследование теплоемкости высокочистого тетрахло-рида германия. //Журнал неорг. химия. 1986. Т.31. вып.9. с
- Гусев A.B., Гибин A.M., Жерненков Н. В., Кабанов A.B., Лазу-кинВ.Ф. Исследование теплоемкости высокочистых тетрахлори-дов кремния и олова в интервале 5−273 К. // Высокочистые вещества. 1987. N. 1. с.83−87.
- ГОСТ 8.133−44 ГСИ. «Термометры сопротивления платиновые образцовые для низких температур.» М. 1974.
- Паспорт на платиновый термометр сопротивления ТСПН-2 В.
- ГОСТ 19 658–81. Кремний монокристаллический в слитках. Технические условия. М., 1981. с.25−31.
- Рыбкин Н.П. Создание государственного эталона и разработка метрологического обеспечения измерения теплоемкости твердых тел в диапазоне температур 4.2−90 К. Кандидатская диссертация. Москва. 1979.
- Рыбкин Н.П., Орлова М. Н., Барашок А. К. и др. Государственный специальный эталон единицы удельной теплоемкости твердых тел в диапазоне 4.2−90 К.//Измерительная техника.1980. N. 7. с.37−40.
- Кабанов A.B. Теплоемкость высокочистых металлов 3−5а групп. Дисс. на соиск. уч. степени к.х.н. Горький. 1993. 128 с.
- Гибин A.M. Теплоемкость высокочистых тетрахлоридов кремния, германия и олова. Дисс. на соиск. уч. степени к.х.н. Горький. 1989. 150 с.
- Weir Ron D., Goldberg Robert N. On the basis of the International Temperature Scale of 1990. // J. Chem. Thermodin. 1996. Vol.28. N.3. p. 261−276.
- Jin Y., Wunderlich B. Single run heat capasity measurement: Data analysis. //J. Therm. Anal. 1992. Vol.38. N. 10. p.2257−2272.
- Pearson G.L., Bardeen J. Phys. Rev. 1949. Vol.75, p. 865.
- De Launau J. Debay characteristic temperature at 0 К of certain cubic crystals. // J. Chem. Phys. 1956. Vol.24. N. 5. p. 1071.
- Keyes Robert W. Electronic effects in the specific heat of silicon. // Phys. Review B: Solid State-. 1975. Vol.12. N.6. p. 2539−2540.
- Ke R. W., Kobayashi N. Electronic effect on the Debye temperature of N-type silicon. // Solid State Comm. 1978. Vol.27. N. 1. p. 63−64.
- Hall J.J. Electronic effects in the elastic constants of N-type silicon. // Phys.Review. 1967. Vol.161, p.756.
- De Launau J. The theory of specific heats and lattice vibrations. в книге: Solid State Physics. Vol.2. F. Seitz and D. Turnbull. Eds. Academic Press. New York. 1956. p.219−300.
- Bryant C. and Keesom P.H. Low temperature specific heat of germanium // Phys. Review. 1961. Vol.124. p. 698−700.
- Barron Т.Н.К., Morrison J. A. On the specific heat of solids at low temperatures // Canad.J.Phys. 1957. V. 35. p.799−810.
- Werher R. P. and Mayer A. P. Calculation of Gruneisen constants in Si. //Phys. Status Solidi. 1984. B.126. N. 1. p.91−103.
- Matsuo Kagaya H. and Soma T. Temperature dependence of the linear thermal expansion coefficient for Si and Ge. // Phys. Status Solidi. 1985. B.129. N. 1. k5-k8.
- Корн Г., Корн Т. Справочник по математике для научных работников и инженеров. Определения, теоремы, формулы. (Пер. с англ.) М. Наука. -1973. 832 с.
- Кучер Т.И. Частоты колебаний и теплоемкость кристаллов типа алмаза. В сборнике: «Химическая звязь в кристаллах». Минск. Наука и техника. 1969. с.305−314.
- Dolling G. and Cowley R.A. The thermodynamic and optical properties of germanium, silicon, diamond and gallium arsenide. // Proc. Phys. Soc. 1966. Vol.88, p.463−494.
- Matsuo Kagaya H., Soma T. Specific heat of Si and Ge. // Phys. Status Solidi. 1985. B.127. N. 1. k5-k7.
- Девятых Г. Г., Гусев А. В., Гибин A.M., Тимофеев 0.В. Теплоемкость высокочистого кремния в интервале 2−15 К. // ДАН. 1997. Т. 353. N. 6. с. 768−769.
- Девятых Г. Г., Гусев А. В., Гибин A.M., Тимофеев О. В. Теплоемкость высокочистого кремния. // Неорганические материалы. 1997. Т. 33. N.12. с. 1425−1428.
- Тимофеев О.В. Теплоемкость высокочистого кремния. //Вторая Нижегородская сессия молодых ученых (20−25 апреля 1997 г.).
- Тезисы докладов. Нижний Новгород. 1997. с. 186.
- Sridhar К. Production of ultra high purity policrystalllne Silicon. // J. Cryst. Growth. 1986. Vol.75. N. 1. p. 88−90.
- Тимофеев О.В. Влияние дислокаций на теплоемкость высокочистого кремния. // Третья Нижегородская сессия молодых ученых. Сборник тезисов докладов. Нижний Новгород. 1998. с. 163.
- Зайдель А.Н. Погрешности измерений физических величин. Л. «Наука». 1985. 112с.