Информационная система поддержки принятия решений при проектировании пьезосканеров
Диссертация
Целью диссертационной работы является разработка элементов автоматизированной системы проектирования пьезосканеров, позволяющих сократить время их создания, производить оценку качества пьезосканеров по обобщенному критерию качества, решать многокритериальную задачу принятия решения при выборе оптимального пьезосканера, оценивать надежность системы, состоящей из многофункциональных модулей… Читать ещё >
Содержание
- ГЛАВА 1. ОБЗОРНО-АНАЛИТИЧЕСКИЕ ИССЛЕДОВАНИЯ В ОБЛАСТИ САПР ПЬЕЗОСКАНЕРОВ
- 1. 1. Пьезосканеры в приборостроении
- 1. 2. Основные понятия и представления о проектировании пьезосканеров
- 1. 3. Обобщенный критерий оценки качества пьезосканеров
- 1. 4. Математическое моделирование в автоматизированных системах проектирования
- 1. 5. Способы построение баз экспертных данных
- Постановка задачи исследования
- ГЛАВА 2. ТЕОРЕТИЧЕСКИЙ ПОДХОД К РЕШЕНИЮ ЗАДАЧ СОЗДАНИЯ ЭЛЕМЕНТОВ АВТОМАТИЗИРОВАННОЙ СИСТЕМЫ ПРОЕКТИРОВАНИЯ ПЬЕЗОСКАНЕРОВ
- 2. 1. Структура информационной технологии проектирования пьезосканеров на этапах предварительной разработки
- 2. 2. Модель многокритериальной задачи принятия решений
- 2. 3. Сравнение вариантов на основе порядковой шкалы оценок и на основе интегральной шкалы полезности оценки по показателям
- 2. 4. Основы методики выбора предпочтительного варианта пьезосканера по совокупности показателей
- 2. 5. Математическая модель пьезосканера на основе пьезоэлектрического элемента
- 2. 6. Крип-эффект и методика борьбы с ним
- Выводы по главе 2
- ГЛАВА 3. МЕТОДЫ ВЫБОРА ОПТИМАЛЬНЫХ ПО ПАРАМЕТРАМ ПЬЕЗОСКАНЕРОВ
- 3. 1. Многоатрибутивный выбор и принятие решения
- 3. 2. Оптимизация по параметрам пьезосканеров
- 3. 3. Основные методы, с помощью которых происходит выбор наилучших пьезосканеров по параметрам
- 3. 4. Оценка надежности систем из многофункциональных модулей
- Выводы по главе 3
- ГЛАВА 4. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ПЬЕЗОСКАНЕРОВ НА ЭВМ
- 4. 1. Выбор основных параметров пьезосканера
- 4. 2. Многоатрибутивный выбор пьезосканера
- 4. 3. Расчет пьезосканера для нанотехнологии
- 4. 4. Выбор оптимального профиля пьезосканера
- Выводы по главе 4
- ГЛАВА 5. СИНТЕЗ АЛГОРИТМОВ ПОИСКА ТЕХНИЧЕСКИХ РЕШЕНИЙ ПЬЕЗОСКАНЕРОВ
- 5. 1. Алгоритмы поиска технических решений пьезосканеров
- 5. 2. Разнообразие пьезоэлементов
- 5. 3. Морфологическая таблица пьезокерамических материалов
- 5. 4. Разработка технических решений пьезосканеров
- Выводы по главе 5
Список литературы
- Rebecca Howland, Lisa Benatar. A Practical Guide to Scanning Probe Microscopy// Project Editor and Booklet Designer: Christy Symanski/ Copyright 1996 by Park Scientific Ihsnruments.76 s.
- Быков B.A. Приборы и методы сканирующей зондовой микроскопии для исследования и модификации поверхностей. Дисс. на соиск. уч. ст. д.т.н., — M.: ГНЦ НИИ физических проблем имени Ф. В. Лукина, 2000 — 393 е., ил.
- Рабек Я. Экспериментальные методы в фотохимии и фотофизике// В 2 -X томах. Т. 1. Пер. с англ. М.: Мир, 1985. — 608 е., ил.
- Смажевская Е.Г., Фельдман Н. Б. Пьезоэлектрическая керамика. М.: Изд-во «Советское радио», 200 стр. 1971.
- Михайлов В.П. Автоматизация управления процессами сверхточного позиционирования линейных модулей реологического типа. Дисс. на соиск. уч. ст. д.т.н. ~М.: МГТУ им Н. Э. Баумана, 2003 — 291 е., ил.
- Снайдер К., Лазанн А. Растровый туннельный микроскоп на основе концентрических трубчатых пьезоэлементов. // ПНИ. 1988.
- Сушхара К., Мори И., Тобзе Т., Ито Т., Табста М., Сйнодзаки Т. Пьезоэлектрический столик с двумя поступательными и одной вращательной степенями свободы для субмикронных литографических систем. // ПНИ. -1989.
- Расчет и конструкция деталей аппаратуры САУ. Учебник для техникумов/ В. П. Савостьянов, Г. А. Филатова, В. В Филатов М.: «Машиностроение», 1982. — 328 е., ил.
- Володин А.П., Панич А. Е. Применение пьезокерамических материалов ПТЭ в низкотемпературных сканирующих туннельных микроскопах. / ПТЭ. -1989.
- Биннинг Д., Рорер Г. Растровый туннельный микроскоп // В мире науки. 1985
- Чулков В.П. Комплексные автоматизированные производства. Методические указания по проведению курсовых и дипломных работ. Учебное пособие. МГИЭМ. М., 2006. — 77 с.
- Быков В.П. Методическое обеспечение САПР в машиностроении. Ленингр. отделение, 1989 г. 255 с.
- Сайман Г. Наука об искусственном. М.: Мир, 1972. 147 с.
- Kehneman D., Slovik P., Tvrsky A. Judgmen under uncertainty: heuristics and biases. Cambridge: Univ. Press. 1982. 555 p.
- Feigenbaum I.A., McCorduck P. The 5th generation/ Addison Wesley. Mass. 1983.266 p
- Углеродные нанотрубки. Материалы для компьютеров XXI века, П. Н. Дьячков // Природа № 11, 2000 г.
- Исаакян В.А. Микроскопия вчера, сегодня, завтра. материал для конференции, Москва.
- Багаев Д.В. Информационная технология проектирования гидромашин на стадиях предварительной разработки. Дисс. на соиск. уч. ст. к.т.н. М.: Ковровская государственная технологическая академия, 2003 — 214 е., ил.
- Норенков И.П. Основы автоматизированного проектирования.: Учеб. для вузов. М.: Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2002 — 360 с.
- Сольницев Р.И. Автоматизация проектирования систем автоматического управления.: Учеб. для вузов по специальности «Автоматика и управление в технологических системах». М.: Высш. шк., 1991. — 335 с.
- Автоматизированное проектирование машиностроительного гидропривода./ И. И. Бажин, Ю. Г. Беленгард, М. М. Гайцгорн и др.- Под. общ. ред. С. А. Ермакова. М.: Машиностроение, 1988 — 312 с.
- Автоматизированное проектирование следящих приводов и их элементов. / Под. ред. В. Ф. Казмиренко. М.: Энергоиздат. 1984
- Верминив Ю.Х. Основы автоматизации проектирования. М.: Радио и связь, 1988.-280 с.
- Половинкин А.И. Основы инженерного творчества.: Учеб. пособие для студентоввтузов. -М.: машиностроение, 1988. 368 с.
- Панов В.М., Степанов А. И. Автоматизированное проектирование гидро- и пневмоприводов. Конструкторское проектирование. Учеб. пособие / МАДИ.-М., 1987−218 с.
- Хокс Б. Автоматизированное проектирование и производство.: Пер. с англ. М.: Мир, 1991.-296 с.
- Автоматизированное проектирование радиоэлектронных средств.: Учеб. пособие для вузов / О. В. Алексеев, A.A. Головков, И. Ю. Пововаров и др.- Под. ред. О. В. Алексеева. -М.: Высшая шк., 2000. 479 с.
- Соболь И.М., Статников Р. Б. Выбор оптимальных параметров в задачах со многими критериями. -М.: Наука, 1981.
- Львов Б.Г. Основы теории технических систем. М.: МИЭМ, 1991. -136 с.
- Арменский Е.В., Львов Б. Г., Митрофанов С. А. Стратегия построения концептуальной модели технического объекта./ Межвузовский сборник «Методы моделирования и оптимизации в САПР конструкторско-технологических работ». М.: 1989
- Слободин М.Ю., Царев Р. Ю. Компьютерная поддержка многоатрибутивных методов выбора и принятий решения при проектировании корпоративных информационно-управляющих систем. СПб.: Инфо-да, 2004.223 с.
- Подиновский В. В. Ногин В.Д. Парето-оптимальные решения многокритериальных задач. М.: Наука, 1982
- Подиновский В. В. Об относительной важности критериев в многокритериальных задачах принятия решения.// В кн.: Многокритериальные задачи принятия решений. М.: Машиностроение, 1978, с. 48−82
- Озерной В.М., Граф М. Г. Методология решения многокритериальных задач// Многокритериальные задачи принятия решений. М.: Машиностроение, 1978. С. 14−17.
- Мамиконов А.Г. Проектирование АСУ. М.: Высш. шк., 1987, 304с.
- Михалевич B.C., Волкович B.JI. Вычислительные методы исследования и проектирования сложных систем.// М.: Наука, 1982, 286 с.
- B.JI. Миронов. Основы сканирующей зондовой микроскопии. Учебное пособие для студентов старших курсов высших учебных заведений. Российская академия наук, Институт физики микроструктур, г. Нижний Новгород, 2004 г.-110 с.
- Месорович М., Мако Д., Такахара А. Теория иерархических многоуровневых систем. -М.: Мир. 1973.
- Семенкин E.H., Семенкина О. Э., Терснов В. А. Методы оптимизации в управлении сложными процессами: Учебное пособие. -Красноярск: Сибирский юридический институт МВД России, 2000 г. 254 с.
- Антамошкин А.Н. др. Системный анализ: Проектирование, оптимизация и приложения.: Учебное пособие. В 2-х томах. Том 2. -Красноярск: Сибирская аэрокосмическая академия, 1996. -290с.
- Норменков И. П. Манигев В.Б. Основы теории и проектирование САПР.: Учеб. для втузов. -М.: Высш. шк., 1930 335 е., ил.
- Раинкшкс К., Ушаков И. А. Оценка надежности систем с использованием графов.// М.: Радио и связь. 1988.
- Юдин Д.Б., Горяшко А. П., Немировский A.C. Математические методы оптимизации устройств и алгоритмов АСУ. М.: Радио и связь, 1982, 288 с.
- Фишберн П. Теория полезности для принятия решений.// М.: Наука, 1978.
- Гафт М.Г. Принятие решений при многих критериях.// М.: Знания, 1979.
- Губанов В.А. и др. Введение в системный синтез// Под ред. JI.A. Петросяна. Л.: ЛГУ, 1988, 232 с.
- Гудман С., Хидетниеми С. Введение в разработку и анализ алгоритмов//Пер. с англ. М.: Мир, 1981, 366 с.
- Клейнрок JI. Теория массового обслуживания // М.: Машиностроение. 1979.
- Научно образовательный центр физики твердотельных наноструктур ННГУ. Исследование топографии поверхности твердых тел методом атомно-силовой микроскопии в неконтактном режиме. Описание лабораторной работы. — Н. Новгород: НГУ им. Н. И. Лобачевского. 2003.
- Неволин В.К. Физические основы туннельно-зондовой нанотехнологии. Учебное пособие. -М.: МИЭТ. 2000.
- Дьячков П.Н. Углеродные нанотрубки материал для компьютеров XXI века // Труды научного семенара «Математическое моделирование нанотехнологических процессов и наноструктур».-М.: МИФИ, 2002
- Никишин В. И., Лускинович П. Н. Нанотехнология и наноэлектроника // Электронная промышленность. -1991.
- Ревокатова И.П., Силин А. П. Вакуумная туннельная микроскопия- новый метод изучения поверхности твердых тел // УФН. 1984. '
- Эдельман B.C. Сканирующая туннельная микроскопия // Прибор и техника эксперимента. -1989.
- Описание установки Луч 2, — М.: Нанотехнологический центр российского фонда конверсии, 2001.
- Zvyagin A., Ohtsu M. Near-field optical microscope for true surface topography: Theoretical study. // Optics Communications/ 1997.
- Хайкин M.C., Трояновский A.M., Эдельман B.C., Пудалов В. И., Семенгинский Е. Г. Сканирующая туннельная микроскопия границы раздела Si- Si02 в МДП структуре. // Письма в ЖЭТФ. — 1986.
- Арутюнов П.А., Толстихина А. Л. Атомно-силовая микроскопия в задачах проектирования приборов микро- и наноэлектроники. Часть II. Микроэлектроника, том 29, № 1. 1999.
- Яминский И.В. Работы ученых МГУ в области туннельного спектроскопии и наноэлектроники. Электронная промышленность. — 1993.
- Оисеев Ю.Н., Панов В. И., Савинов C.B., Яминский И. В. Атомно -силовая микроскопия поверхности. // Электронная промышленность, 3.-1991.
- Бычихин С.Ф., Галлямов М. О., Потемкин В. В., Степанов A.B., Яминский И. В. Сканирующий туннельный микроскоп измерительное средство наноэлектроники. — ИТ, (4). — 1998.
- Бухараев A.A., Овчинников Д. В., Бухараева A.A. Диагностика поверхности с помощью сканирующей силовой микроскопии. // Заводская лаборатория. -1997.
- Яминский И.В. Сканирующая туннельная микроскопия. // Электронная промышленность. 1993.
- Kawasaki Т., Jiang L., Iyoda T., Araki T., Hashimoto К., Fujishima A. AFM molecular images during tip induced surface modification on the surface of a KCP (Br) singl crystal. II J. Phys. Chem. — 1997.
- Валиахметов, В. В. Звездин, B.B. Заморский. Модель привода точной подстройки на основе пьезоэлектрического элемента. Камский государственный политехнический институт. Материалы конференции.
- Шермергор Т.Д., Алексперов С. Д. Модификация поверхности твердых тел с помощью сканирующего туннельного микроскопа. // Физ. Основы функционирования микроэлектроники. 1989Р.Р.
- Васильев С.И., Савинов C.B., Яминский И. В. Методы изготовления острий для сканирующего туннельного микроскопа. // Электронная промышленность, 3.-1991
- А.О. Голубок, Д. Н. Давыдов, В. А. Тимофеев, С. Я. Типисев. Авторское свидетельство «Пьезоэлектрическое устройство перемещения» № 1 541 741 от 8 октября 1989 г.
- Ивашов E.H., Павлов А. Ю. Стереометрическое устройство для наноперемещений. Патент РФ на ПМ № 36 924. Опубликован 27.03.2004 Б.И. № 9.
- Ивашов E.H., Павлов А. Ю., Пискарев Д. А., Степанов М. В. 57. Устройство для формирования наноструктур. Патент РФ на ПМ № 40 537. Опубликован 10.09.04, Б.И. № 25.
- Ивашов E.H., Павлов А. Ю., Пискарев Д. А., Степанов М. В. Привод для нанотехнологии. Патент РФ на ПМ № 40 538. Опубликован 10.09.04, Б.И. № 25.
- Ивашов E.H., Павлов А. Ю., Пискарев Д. А., Реутова М. В., Степанов М. В. Колебательный контур для наноэлектроники. Патент РФ на ПМ № 40 539. Опубликован 10.09.04, Б.И. № 25.
- Ивашов E.H., Павлов А. Ю., Пискарев Д. А., Степанов М. В. Зондовое устройство для нанотехнологии. Патент РФ на ПМ № 40 540. Опубликован 10.09.04, Б.И. № 25.
- Ивашов E.H., Павлов А. Ю., Пискарев Д. А., Степанов М. В. Устройство перемещения для нанотехнолгии. Патент РФ на ПМ № 4052. Опубликован 10.09.04, Б.И. № 25.
- Ландау Л.Д., Лифшиц Е. М. Теория упругости. М.: Наука, 1987.
- Земсков О.В. Разработка автоматизированной системы проетирования вакуумных пьезоэлектрических приводов. Дисс. нЁ соиск. уч. ст. к.т.н. — М.:МГИЭМ, 2003 ~ 158 е., ил.
- Чулков В.П. САПР оборудования и технологии производства СБИС. Учебное пособие. МГИЭМ. М., 2003. — 180 с.
- Быков В.А., Иконников A.B., Кацур С. Ф., Еремченко М. Д., Саунин С. А., Шикин С. А. Сканирующий туннельный микроскоп и головка для него (варианты)// Патент РФ № 2 069 056. Приоритет от 18 апреля 1994 года.
- Володин А.Н. Новое в сканирующей зондовой микроскопии. // ПТЭ, № 6. 1998.
- Казанцев Д.В., Савинов С. В., Яминский И. В. Высоковольтный усилитель для пьезоманипулятора сканирующего туннельного микроскопа. -Электронная промышленность. 1993.
- Калейдин В.В., Козлитин А. И., Пилевин A.B., Сретенов В. Н. Метрологическое обеспечение измерений сверх малых размеров с использованием теоретических моделей, мер и природных констант. Измерительная техника. 1996.
- Выскуб В.Г., Розов Б. С. Савельев В.И. Прецизионные цифровые системы автоматического управления.- М.: Машиностроение, 1984.
- Быков В. А. Микромеханика для сканирующей зондовой микроскопии и нанотехнологии. Микросистемная техника. 2000.
- Ивашов E.H., Павлов А. Ю. Исследование пьезосканеров в СЗМ. РИО. МГИЭМ, 2005, 32с, ил.
- Павлов А.Ю. Моделирование пьезомеханических систем перемещения в нанотехнологии. Сборник докладов научно-технической конференции аспирантов и молодых специалистов МИЭМ. -М.: МИЭМ, 2005.
- Ивашов E.H., Павлов А. Ю. Расчет резонансных частот и перемещений пьезосканера для нанотехнологии. Свидетельство об официальной регистрации программы для ЭВМ № 2 006 610 179. Зарегистрирована 10.01.06 г.
- Ивашов E.H., Павлов А. Ю. Прецизионные перемещения на пьезоэффекте. Сборник докладов VII Международной научно-технической конференции «Опто-, наноэлектроника, нанотехнологии и микросистемы». Ульяновск, 2005.
- Павлов А.Ю. Учет крип-эффекта при автоматизированном проектировании пьезосканеров. Сборник докладов научно-технической конференции аспирантов и молодых специалистов МИЭМ. Тезисы докладов. -М.: МИЭМ, 2006.