Помощь в учёбе, очень быстро...
Работаем вместе до победы

Исследование характеристик генерации индукционного УФ азотного лазера

ДиссертацияПомощь в написанииУзнать стоимостьмоей работы

Максимальная энергия генерации (4,5 мДж с импульсной мощностью 300 кВт) была получена при низком давлении азота (1,5 — 2 торр). Кпд лазера достигал величины 0,015%. Такое сочетание параметров активной среды и генерации N2 лазера было обнаружено впервые и указывало на различия процессов в плазме импульсных индукционного и электрического разрядов. В экспериментах по исследованию влияния состава… Читать ещё >

Содержание

  • Глава 1. УФ электроразрядный азотный лазер. Индукционный разряд
    • 1. 1. Физические процессы в УФ электроразрядном азотном лазере
    • 1. 2. Характеристики индукционного разряда
  • Выводы к Главе
  • Глава 2. Импульсный индукционный разряд в газовых лазерных средах
    • 2. 1. Аппаратура и методы регистрации
    • 2. 2. Излучатели индукционных газовых лазеров
    • 2. 3. Исследование эффективности систем возбуждения импульсного индукционного FI лазера
  • Выводы к Главе
  • Глава 3. Характеристики излучения индукционного УФ азотного лазера
    • 3. 1. Энергетические и пространственные характеристики генерации индукционного УФ азотного лазера
    • 3. 2. Исследование формы и длительности спонтанного и лазерного излучения импульсного индукционного разряда в азоте
    • 3. 3. Спектральные характеристики спонтанного и лазерного излучения импульсной индуктивно связанной плазмы в азоте
  • Выводы к Главе

Исследование характеристик генерации индукционного УФ азотного лазера (реферат, курсовая, диплом, контрольная)

Азотный лазер с длиной волны 337,1 нм является одним из наиболее распространенных источников мощного УФ излучения и имеет много различных научных и практических применений. Особенностями генерации азотного лазера являются не только УФ диапазон спектра, но и импульсный режим работы, при котором генерируются импульсы наносекундной длительности с мегаваттной мощностью. Для получения генерации на электронных переходах молекул азота обычно используются сильноточные продольный и поперечный импульсные электрические разряды. Такие разряды создаются между металлическими электродами, поэтому в процессе работы лазера происходит распыление материала электродов, приводящее к загрязнению азота. Кроме того, возникают катодные пятна, формируются стримеры, которые ухудшают объемную однородность разряда как активной среды, что приводит к снижению энергии генерации и ухудшению стабильности по амплитуде лазерного излучения и качества луча. Перечисленные выше обстоятельства ограничивают ресурс работы азотных лазеров и область их применений. В результате требуется замена не только рабочего газа, но также электродов и оптических элементов резонатора лазера. Перечисленные выше недостатки являются типичными для большинства газовых лазеров и указывают на необходимость поиска новых, альтернативных, более эффективных способов возбуждения газовых лазеров. В связи с этим проблема поиска новых способов накачки газовых лазеров является актуальной. В результате успешного решения этой проблемы можно достичь более эффективного ввода энергии в газовую среду, повышения качества излучения и существенного увеличения ресурса работы лазеров. В качестве такого способа возбуждения в данной работе предлагается импульсный индукционный разряд. Индукционный разряд отличается от электрического разряда в газах по многим параметрам. Однако наиболее существенным их них является тот факт, что индукционный разряд формируется без использования каких-либо электродов, а, следовательно, он свободен от вышеперечисленных недостатков, ограничивающих применение газовых лазеров. Помимо этого, индукционный разряд представляет самостоятельный интерес, связанный с селективным возбуждением и тушением отдельных состояний в молекулах и реализацией новых механизмов создания инверсии.

Цель работы: создание УФ азотного лазера с накачкой импульсным индукционным разрядом и исследование характеристик его генерации. Задачи исследований:

• Поиск схем формирования импульсного индукционного разряда в газах и создание на их основе систем возбуждения лазерных сред.

Получение инверсии населенностей для достижения режима генерации на самоограниченных электронных переходах молекул азота, оптимизация параметров активной среды и системы возбуждения.

Исследование спектральных и временных характеристик спонтанного излучения импульсного индукционного разряда в азоте.

• Исследование генерации индукционного УФ азотного лазера.

Структура диссертации включает в себя Введение, три главы и Заключение. Диссертация состоит из 122 страниц машинописного текста, включая 54 рисунка, 3 таблицы и список цитируемой литературы из 145 наименований.

Выводы к ГЛАВЕ 3.

В результате исследований энергетических, временных, спектральных и пространственных характеристик спонтанного излучения и генерации индукционного УФ азотного лазера был обнаружен ряд особенностей и отличий от аналогичных характеристик электроразрядных азотных лазеров.

Максимальная энергия генерации (4,5 мДж с импульсной мощностью 300 кВт) была получена при низком давлении азота (1,5 — 2 торр). Кпд лазера достигал величины 0,015%. Такое сочетание параметров активной среды и генерации N2 лазера было обнаружено впервые и указывало на различия процессов в плазме импульсных индукционного и электрического разрядов. В экспериментах по исследованию влияния состава активной среды на энергию и мощность генерации, а также кпд индукционного УФ азотного лазера путем добавления к азоту различных инертных (Не, Аг, Н2) и галогенсодержащих газов (F2, NF3, SF6, CF2C12, BCI3) положительных результатов получено не было. При небольших концентрациях (до 2 — 5%) перечисленных добавок, никакого влияния на характеристики лазерного излучения обнаружено не было. При увеличении концентрации добавок выше 5%, в экспериментах регистрировалось снижение, как энергии, так и мощности генерации. Показано, что наибольшая длительность генерации индукционного азотного лазера достигается в отсутствие каких-либо добавок.

Лазерное излучение индукционного УФ азотного лазера в поперечном сечении имело форму кольца, обусловленной формой активной среды в виде полого цилиндра. Диаметр и толщина кольца зависели от внутреннего диаметра разрядной трубки, мощности возбуждения и добротности резонатора. В экспериментах было обнаружено, что лазерное излучение внутри кольца неоднородно по интенсивности и имеет характерную зернистую структуру, произвольную как по ширине, так и по длине кольца, и не воспроизводится от импульса к импульсу. Подобное явление наблюдалось в лазерах с большим коэффициентом усиления, работающих в режиме сверхсветимости. Этот режим имел место и в индукционном азотном лазере.

Спонтанное излучение импульсного индукционного разряда в азоте имело сложную зависимость интенсивности от времени, состоящую из нескольких пиков. Временное поведение этого излучения хорошо соответствовало временному изменению величины 8Jmm/bt тока индукционного разряда. Это позволило определить момент возникновения индукционного разряда и оценить временную зависимость концентрации электронов пе с температурой в области Те > 12 — 16 эВ. Усиление и переход в режим генерации, так же как и максимальная интенсивность спонтанного изучения, были получены вблизи максимума dJ"HB/bt, т. е. при максимальной величине ЭДС индукции в разряде.

Импульс генерации имел структуру, состоящую из двух пиковинтенсивность первого пика была приблизительно в 50 раз больше интенсивности второго пика. Основная часть энергии была сосредоточена в первом пике, имеющем форму симметричного колокола. Длительность импульса генерации на полувысоте этого пика достигала 30 не, а по основанию превышала 70 не, в то время как длительность всего импульса генерации индукционного азотного лазера вблизи основания достигала 130 не.

Исследования спектра спонтанного излучения показали, что все излучение распределено в области 190 — 700 нм. Состав спектра сильно зависел от давления азота и от параметров возбуждения (напряжения на индукторе, энергии, вложенной в разряд). Всего было зарегистрировано излучение девяти полос молекулярного азота и трех полос молекулярного иона азота. Наибольшую интенсивность имели полосы (0−0), X1 = 337,1 нм и (0−1), Л, 2 = 357,7 нм 2+ системы электронного перехода С3П" В3ng молекул N2. Особенностью спектра спонтанного излучения импульсного индукционного разряда в азоте было появление в нем рекомбинационного свечения Льюиса-Рэлея, соответствующего переходам 1+ системы N2 в желто-зеленой области. Факт появления данного свечения при процессе формирования инверсии и генерации на переходе С3П" —"¦ B3Hg в азотном лазере наблюдался впервые. Обычно регистрируемое в электрических разрядах ИК излучение 1+ системы полос, соответствующее низко лежащим колебательным подуровням в области 0,75 — 1,2 мкм в индукционном разряде отсутствовало во всех случаях.

В экспериментах с индукционным азотным лазером генерация была получена на полосах (0−0), А,] = 337,1 нм и (0−1), Х2 = 357,7 нм перехода С5!!, —> В3ng. При добавлении к азоту инертных газов (Н2, Не, Аг), а также различных хлорсодержащих молекул (CF2C12, ВС13), генерация была только на полосе (0−0). В смесях азота с фторсодержащими молекулами (F2, NF3, SF6) генерация возникала на обеих полосах (0−0) и (0−1). Однако распределение интенсивностей между полосами (0−0) и (0−1) было практически таким же, как в азоте при отсутствии добавок. Таким образом, было показано, что спектр генерации индукционного азотного лазера слабо зависит от состава активной среды.

В экспериментах была измерена ширина спектров генерации полос (0−0) и (01), которая оказалась равной 4,5 А и 1 А, соответственно. В результате сравнения этих данных с литературными, было получено, что спектр генерации индукционного УФ азотного лазера на полосе (0−0) содержит 32 линии, соответствующих 47 вращательным переходам в области от 3366,9 до 3371,4 А. Спектр генерации на полосе (0−1) состоит из 4 линий, соответствующим 12 вращательным переходам в области от 3576,1 до 3576,9 А.

Основной материал главы 3 опубликован в работах [147, 148, 150, 151, 155, 156, 158, 160].

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

.

В диссертации получены следующие основные результаты:

1. Впервые предложен и экспериментально реализован новый метод возбуждения газовых лазеров — импульсный индукционный цилиндрический разряд.

2. Впервые создан лазер на электронных переходах нейтральных атомов фтора с накачкой импульсным индукционным разрядом смеси He-F2 (NF3, SF6). Спектр лазерного излучения состоял из трех линий с длинами волн 703,75 нм, 712,79 нм и 731,1 нм. Достигнута наибольшая к настоящему времени энергия генерации FI лазера 2,5 мДж. На основании исследований характеристик FI лазера разработаны четыре различные системы формирования импульсного индукционного разряда в газах. Проведено сравнение эффективности этих систем.

3. Впервые получена УФ генерация, соответствующая 2+ системе полос.

5 3 электронного перехода С Пи —> В Пг. Исследован спектральный состав спонтанного и лазерного излучения молекул азота, возбуждаемых импульсным индукционным цилиндрическим разрядом. Показано, что спектр спонтанного излучения состоит из ряда переходов между электронно-возбужденными уровнями молекул азота, относящихся, в основном, к системам полос Вегарда-Каплана, 1+, 2+, а также к 1″ полосе молекулярного иона азота. Лазерное излучение наблюдалось на двух длинах волн = 337,1 нм и Х2 = 357,7 нм. Показано, что генерация на = 337,1 нм (полоса (0−0)) наблюдалась на 32 линиях, соответствующих 47 вращательным переходам и на А-2 = 357,7 нм (полоса (0−1)) на 4 линиях, соответствующим 12 вращательным переходам.

4. Проведено исследование зависимости интенсивности генерации индукционного УФ N2 лазера от формы импульса возбуждения. Показано, что осциллограмма импульса генерации имеет сложную структуру и состоит из двух пиков с разной интенсивностью. Длительность основного пика излучения на полувысоте изменялась в пределах от 10 до 30 не. Энергия в этом пике составляла более 90% от полной энергии всего импульса. Длительность всего импульса генерации вблизи основания достигала 130 не.

5. Обнаружено, что в импульсном индукционном N2 лазере максимум энергии генерации достигается при низком давлении, около 1 торр. Получена энергия генерации 4,5 мДж, что при длительности импульсов 15 не на полувысоте соответствовало импульсной мощности 300 кВт. Показано, что при стабильной работе системы возбуждения и постоянном давлении азота в разрядной трубке нестабильность амплитуды световых импульсов меньше ±1%.

6. Обнаружены и исследованы особенности пространственных характеристик УФ генерации индукционного азотного лазера. Показано, что в поперечном сечении лазерное излучение представляет собой кольцо с размерами, определяемыми внутренним диаметром разрядной трубки, мощностью накачки и добротностью резонатора, и распространяется с низкой расходимостью 0,8 мрад. Лазерное излучение имеет зернистую структуру, соответствующую режиму сверхсветимости.

7. Продемонстрированы возможности метода возбуждения газовых сред импульсным индукционным разрядом для получения генерации, как на электронных, так и на колебательно-вращательных переходах атомов и молекул. Впервые создан импульсный индукционный ИК Н2 лазер. Спектр излучения Н2 лазера состоял из трех линий с A-i = 889,9 нм, Х2 = 1115,5 нм и Я, 3 = 1121,5 нм. Достигнута наибольшая в настоящее время импульсная мощность генерации этого лазера 6,7 кВт. Впервые создан импульсный индукционный С02 лазер на колебательно-вращательных переходах основного состояния молекул С02 в области 10,6 мкм. Получена энергия генерации 150 мДж с длительностью импульсов до 400 мке на полувысоте.

Показать весь текст

Список литературы

  1. Heard, Н. G. Ultra-Violet Gas Laser at Room Temperature / H. G. Heard // Nature. — 1963. — Vol. 200. — N 4907. — P. 667.
  2. Shipman, J. D. Travelling wave excitation of high power gas lasers / J. D. Shipman // Appl. Phys. Let. 1967. — Vol. 10. -N 1. — P. 3−4.
  3. Jeunehomme, M. Lifetime Measurements of Some Excited States of Nitrogen, Nitric Oxide, and Formaldehyde / M. Jeunehomme and A.B.F. Duncan // The Jour. Chem. Phys. 1964. -Vol. 41.- N6. -P. 1692−1699.
  4. Cartwright, D. C. The Cross Sections for the Excitation of the Triplet States in Molecular Nitrogen / D. C. Cartwright // Phys. Rev. A. 1970. — Vol. 2. — N 4. — P. 1331−1348.
  5. Nickolls, R. W. Franck-Condon Factors to High Vibrational Quantum Numbers I: N2 and N2+ / R. W. Nickolls // Jour. Res. NBS-A. 1961. — Vol. 65A. — N 5. — P. 451−460.
  6. Benesch, W. Frank-Condon Factors for Observed Transitions in N2 above 6 eV / W. Benesch, J. T. Vanderslice, S. G. Tilford, P. G. Wilkinson // Astrophys. J. -1966. Vol. 143. — P. 236−252.
  7. Jobe, J. D. Apparent Cross Sections of N2 for Electron Excitation of the Second Positive System / J. D. Jobe, F. A. Sharpton, R. M. J. St John // J. Opt. Soc. America.- 1967.-Vol. 57.-Is. l.-P. 106−107.
  8. Burns, B. J. Absolute cross sections for electron excitation of the second positive bands of nitrogen / B.J. Burns, F. R. Simpson, J. W. McConkey // J. Phys. В., Ser. 2. 1969. — Vol. 2. — N 1. — P. 52−64.
  9. Gerry, E. T. Pulsed-molecular-nitrogen laser theory / E. T. Gerry // Appl. Phys. Let. 1965.-Vol. 7.-N l.-P. 6−8.
  10. Ali, A. W. Theory of the Pulsed Molecular Nitrogen Laser / A. W. Ali, A. C. Kolb, and A. D. Anderson // Appl. Opt. 1967. — Vol. 6. — N 12. — P. 2115−2119.
  11. Ali, A. W. A Study of the Nitrogen Laser Power Density and Some Design Considerations / A. W. Ali // Appl. Opt. 1969. — Vol. 8. — N 5. — P. 993−996.
  12. Girardeau-Mountaut, J. P. Calculation of the total power emitted at 3,371 A by A pulsed N2 laser with transverse excitation / J. P. Girardeau-Mountaunt, C. Girardeau-Mountaunt, // C.R. Acad. Sci. 1972. — Vol. 274. — P. 740−743.
  13. Girardeau-Mountaut, J. P. Laser Pulse a Asote Moleculiare Emettant dane l’ultraviolet / J. P. Girardeau-Mountaunt, M. Roumy, J. Hamelin // C.R. Acad. Sci. 1971.-Vol. B273.-N9.-P. 725−728.
  14. Gundell, H. Zur Anregung und Emission im N2-Impulsgaslaser / H. Gundell, W. Ross // Ann. Phys. 1974. — Vol. 31. — N 3 — P. 263−276.
  15. Leonard, D. Saturation of the molecular nitrogen second positive laser transition / D. Leonard // Appl. Phys. Let. 1965. — Vol. 7. — N 1. — P. 4−6.
  16. , J. D. / J. D. Shipman, A. C. Kolb, and A. D. Anderson, A. W. AH // NRL Rep. 6444. 1966.
  17. Anderson, H. E. B. An Integrated Pulse Generator and Laser / H. E. B. Anderson // Phys. Scripta. 1971. — Vol. 4. — Is. 4/5. — P. 215−220.
  18. Iidholt, L. Versatile 60 kV Switching System for Pulsed Excitation of Lasers / L. Iidholt // Rev. Sci. Inst. 1972. — Vol. 43. — P. 1765.
  19. , В. В. Азотный лазер с частотой повторения импульсов 11 кГц и расходимостью излучения 0,5 мрад / В. В. Атежев, С. К. Вартапетов, А. К. Жигалкин, К. Э. Лапшин, А. З. Обидин // Квант. Электрон. 2004. — Т. 34. — № 9. — С. 790−794.
  20. , С. Н. Электроразрядный .М2-лазер с добавками SF6 и Не / С. Н. Буранов, В. В. Горохов, В. И. Карелин, П. Б. Репин // Квант. Электрон. 1990. -Т. 17.-№ 2.-С. 161−163.
  21. , В. Н. Ультрафиолетовый лазер на азоте с мощностью 0,5 Вт / В. Н. Ищенко, В. Н. Лисицын, А. М. Ражев, В. Н. Старинский // Квант. Электрон. -1975.-Т. 2.-№ 8. -С. 1777−1780.
  22. Wang, С. P. Simple fast-discharge device for high-power pulsed lasers / C. P. Wang // Rev. Sci. Instrum. 1976. — Vol. 47. — N 1. — P. 92−95.
  23. , В. В. К вопросу об эффективности азотного лазера / В. В. Аполлонов, В.А.Ямщиков//Квант. Электрон. -1997.-Т. 24-№> 6.-С. 483−486.
  24. Veith, G. An inexpensive TEA N2 laser as a pump for a dye laser amplifier system /
  25. G. Veith, A. J. Schmidt // J. Phys. 1978. — Vol. E 11. — P. 833.
  26. , И. В. Лазерная генерация в гетероструктурах Cd(Zn)Se/ZnMgSSe при накачке излучением азотного и InGaN/GaN лазеров / И. В. Седова, С. В. Сорокин, А. А. Торопов и др.// Физ. и техн. полупр. 2004. — Т. 38. — С. 1135.
  27. , X. Эмиссионный спектрохимический анализ металлов с использованием азотного лазера / X. Курниаван, А. Н. Чумаков, Чунг Джи Ли и др. // ЖПС. 2004. — Т. 71. — вып. 5. — С. 5−9.
  28. , В. Г. Лечение кровеносных сосудов лазерным светом (лазерная ангиопластика) / В. Г. Аверин, Г. С. Баронов, Ф. Е. Чукреев // Физ. обр. в ВУЗах. 2003. — Т. 9. — С. 136.
  29. , Ю. П. Высокочастотный индукционный разряд высокого давления и безэлектродный плазмотрон / Ю. П. Райзер // УФН.-1969.-Т. 99.-№ 4.-С. 687 712.
  30. , Г. И. Безэлектродные разряды и некоторые связанные с ними вопросы / Г. И. Бабат // Вестник электропром. 1942. — № 2. — С. 1−12- № 3. — С. 2−8.
  31. , А. А. Масс-спектрометрия с индуктивно связанной плазмой. Образование ионов / А. А. Пупышев, А. Т. Суриков // Е.: УрО РАН. 2006. -276 с. ISBN 5−7691−1688−9.
  32. , R. В. A simple analysis of an inductive RF discharge / R. B. Piejak, V. A. Godyak, and В. M. Alexandrovich // Plasma Sources Sci. Technol. 1992. — Vol. 1. -P. 179−186.
  33. Eckert, H.U. Analysis of Thermal Induction Plasmas between Coaxial Cylinders /
  34. H. U. Eckert // J. Appl. Phys. 1972. — Vol. 43. -N 1. — P. 46−52.
  35. Holclajtner-Antunovic, I. Parametric analysis of the inductively coupled plasma /
  36. Holclajtner-Antunovic, Z. Raspopovic, V. Georgijevic, M. Tripkovic, J. Geogijevic // Fresenius J. Anal. Chem. 1996. — Vol. 356. — P. 471−475.
  37. Lee, Y. T. Global model for high pressure electronegative radio-frequency discharges / Y. T. Lee, M. A. Lieberman, and A. J. Lichtenberg // J. Vac. Sci. Technol. A.-1997.-Vol. 15.-N l.-P. 113−126.
  38. Lee, H. J. Radiation transport coupled particle-in-cell simulation of low-pressure inductive discharges / H. J. Lee, J. P. Verboncoeur // Physics of Plasmas. 2002. -Vol. 9.-N ll.-P. 4804−4811.
  39. , P. H. Метод диагностики плазмы высокочастотного индукционного разряда / Р. Н. Гайнуллин, А. П. Кирпичников // Прикл. физика. 2008. — № 5. — С. 44−49.
  40. , Э. Б. Модель разряда трансформаторного типа / Э. Б. Кулумбаев, В. М. Лелевкин // ТВТ. 1997. — Т. 35. — № 3. — С. 357−361.
  41. , R. В. The electric field and current density in a low-pressure discharge measured with different B-dot probes / R. B. Piejak, V. A. Godyak, and В. M. Alexandrovich//J. Appl. Phys. 1997. — Vol. 81. -N 8. — P. 3416−3421.
  42. , А. Ф. Особенности индуктивного ВЧ-разряда низкого давления. I. Эксперимент / А. Ф. Александров, К. В. Вавилин, Е. А. Кралькина, В. Б. Павлов, В. Ю. Плаксин. А. А. Рухадзе // Физика плазмы. -2007. Т. 33. — № 9. — С. 802−815.
  43. , Р. Е. Оптимальный частотный диапазон стационарного индуцированного разряда / Р. Е. Ровинский, А. П. Соболев // ТВТ. 1968. — Т. 6.-№ 2. -С. 219−223.
  44. , В. В. Electromagnetic Field in Electrodeless Dischage / В. В. Henriksen, D. R. Keefer, and M. H. Clarkson // J. Appl. Phys. 1971. — Vol. 42. -N 13.-P. 5460−5464.
  45. Benova, E. Axial distributions of metastable atoms and charged particles in an ultrahigh frequency argon plasma column at moderate pressures / E. Benova, Ts. Petrova, A. Blagoev, and I. Zheyazkov // J. Appl. Phys. 1996. — Vol. 79. — N 8. -P. 3848−3852.
  46. Cohen, R. H. Induced magnetic-field in inductively coupled plasmas / R. H. Cohen and T. D. Rognlien // Phys. Plasmas. 1996. — Vol. 3. — N 5. — P. 1839−1847.
  47. , А. В. О структуре высокочастотного индукционного разряда / А. В. Герасимов, А. П. Кирпичников // ТВТ. 1999. — Т. 37. — № 5. — С. 833−834.
  48. , Р. Н. Обобщенная модель Томсона высокочастотного индукционного разряда конечной длины / Р. Н. Гайнуллин, А. П. Кирпичников // Прикл. физика. 2007. — № 3. — С. 54−61.
  49. , R. Н. Large Inductive Performance Measurement / R. H. Lovberg, and C. L. Dailey // AIAA. 1982. — Vol. 20. — N 7. — P. 971−977.
  50. Daily, C. L. The PIT MkV pulsed inductive thruster / C. L. Daily and R. H. Lovberg // Tech. Report NASA CR-191 155. TRW Systems Group. — 1993.
  51. Choueiri, E. Y. Faraday acceleration with radio-frequency assisted discharge (FARAD) / E. Y. Choueiri and K. A. Pozlin // In 40th Joint Propulsion Conference, Ft. Lauderdale, FL. 2004. — July 11−14. -AIAA 2004−3940.
  52. Pozlin, K. A. Performance Optimization for Pulsed Induative Plasma Acceleration / K. A. Pozlin and E. Y. Choueiri // AIAA 2005−3694.
  53. , A. H. Особенности индукционного разряда при однополярном импульсном питании / А. Н. Власов, Д. А. Власов, Ю. В. Киселев // Изв. АН. Сер. Физ. 2003. — Т. 67. — №> 9.-С. 1241−1243.
  54. Ambrico, P. F. Nitrogen vibrational excitation in a N2/He pulsed planar-ICP RF discharge / P.F. Ambrico, R. Bektursunova, G. Dilecce, S. De Benedictis //IOP. -2005.-Is. 4.
  55. Kim, K. N. Effective plasma confinement by applying multipolar magnetic fields in an internal linear inductively coupled plasma system / K. N. Kim, M. S. Kim, and G. Y. Yeom // Appl. Phys. Let. 2006. — Vol. 88. — 161 503. — P. 161 503−1 -161 503−3.
  56. El-Fayoumi, I. M. Measurement of the induced plasma current in a planar coil, low-frequency, RF induction plasma source / I. M. El-Fayoumi and I. R. Jones // Plasma Sources Sci. Technol. 1997. — Vol. 6. — N 2. — P. 201−211.
  57. El-Fayoumi, I. M. Theoretical and experimental investigations of the electromagnetic field within a planar coil, inductively coupled RF plasma source /1. M. El-Fayoumi and I. R. Jones // Plasma Sources Sci. Technol. 1998. — Vol. 7. -N2.-P. 162−178.
  58. Piejak, R. B. Electromagnetic field structure in a weakly collisional inductively coupled plasma / R. B. Piejak, V. A. Godyak // J. Appl. Phys. 1997. — Vol. 82. -N 12.-P. 5944−5947.
  59. Piejak, R. B. Experimental setup and electrical characteristics of an inductively coupled plasma / R. B. Piejak, V. A. Godyak, and В. M. Alexandrovich // J. Appl. Phys. 1999. — Vol. 85. -N 2. — P. 703−712.
  60. Ng, К. H. A planar-coil inductively coupled plasma system for thin film deposition / К. H. Ng, W. S. Liew, Roslan Mohd. Nor and C. S. Wong // JURNAL FIZIK MALAYSIA. 2002. — Vol. 23.-N 1 — 4. — P. 51−53.
  61. Eckert, H. U. Induction plasmas at low frequencies / H. U. Eckert // AIAA Journal -1971.-Vol. 9.-N8.-P. 1452−1456.
  62. , В. С. A high power radio frequency transformer for plasma production in a toroidal plasma source / В. C. Zhang and R. C. Cross // Rev. Sci. Instrum. 1998. -Vol. 69.-N l.-P. 101−108.
  63. , М. В. Анализ параметров плазмы индукционного разряда трансформаторного типа в неоне / М. В. Исупов, И. М. Уланов // ТВТ. 2005. -Т. 43,-№ 2.-С. 181−187.
  64. , М. В. Индукционная ультрафиолетовая лампа / М. В. Исупов, С. В. Кротов, А. Ю. Литвинцев, И. М. Уланов // Светотехника. 2007. — № 5. — С. 37−40.
  65. , W. Е. Ring discharge excitation of gas ion lasers / W. E. Bell // Appl. Phys. Lett. 1965.-Vol. 7.-N7.-P. 190−191.
  66. Goldborough, J. P. RF Induction Excitation of CW Visible Laser Transitions in Ionized Gases / J. P. Goldborough, E. B. Hodges, W. E. Bell // Appl. Phys. Lett. -1966. Vol. 8 — N 6. — P. 137−139.
  67. Reed, Т. B. Induction-Coupled Plasma Torch / Т. B. Reed // J. Appl. Phys. 1961. -Vol. 32.-N5. — P. 821 -824.
  68. , Б. M. Экспериментальное исследование индукционного разряда / Б. М. Дымшиц, Я. П. Корецкий // ЖТФ. 1964. — Т. 34. — № 9. — С. 1677−1682.
  69. , В. М. Оптическое исследование распределения температуры и электронной концентрации в аргоновой плазме / В. М. Гольдфарб, С. В. Дресвин // ТВТ. 1965. — Т. 3. — № 3. — С. 333−339.
  70. , И. Т. Исследование безэлектродного кольцевого разряда в аргоне и в воздухе / И. Т. Аладьев, И. Г. Кулаков, О. Л. Магдасиев, А. П. Шатилов //
  71. Низкотемпературная плазма: тр. междунар. симп. при XX междунар. конгр. по теор. и прикл. химии, Москва, 15−17 июля 1965 г. М.: Мир. — 1967. — С. 411 418.
  72. , Р. Е. Геометрия безэлектродного разряда, индуцируемого в инертных газах / Р. Е. Ровинский, Л. Е. Белоусова, В. А. Груздев // ТВТ. -1966. Т. 4. — № 3 — С. 328−335.
  73. , А. П. Индуктивный высокочастотный разряд низкого давления в смеси инертных газов и галогенов для экономичных безртутных люминесцентных источников света / А. П. Головицкий // Письма в ЖТФ. -1998. Т. 24. — № 6 — С. 63−67.
  74. , О.А. Эффективный источник света на индуктивном бесферритовом разряде на частотах 300 3000 кГц / О. А. Попов // ЖТФ. — 2007 — Т. 77. — вып. 6.-С. 74−81.
  75. Thomson, J. J. Radiation produced by the Passage of Electricity through Gases / J. J. Thomson // Phil. Mag. 1926. — S. 7. — Vol. II. — P. 674−701.
  76. Thomson, J. J. The Electrodeless Discharge through Gases / J. J. Thomson // Phil. Mag. 1927. — S. 7. — Vol. 4. — N 25. — P. 1128−1160.
  77. Cabannes, F. Etude de la Decharge Electrique par Induction dans les Gaz Rares / F. Cabannes // Ann. De Phys. 1955. — S. 12. — Vol. 10. — P. 1027−1078.
  78. Barnes, P. N. Formation of Xel (B) in low pressure inductive radio frequency electric discharges sustained in mixtures of Xe and I2 / P. N. Barnes M. J. Kushner // J. Appl. Phys. 1996. — Vol. 80. — N 10. — P. 5593−5597.
  79. , H. Определение пространственных характеристик плазмы безэлектродного высокочастотного разряда на основе метода эмиссионной томографии / Н. Денисова, Г. Ревалде, А. Скудра // Физ. Плаз. 2006. — Т. 32. -№ 11.-С. 1039−1047.
  80. Киселевский, JL И. Применение высокочастотного индукционного разряда для получения лазерной генерации в непрерывном режиме / JI. И. Киселевский, Д. К. Скутов, С. А. Соколов // ЖПС. 1974. — Т. XXI. — вып. 5. -С. 951−955.
  81. Zhu, P. Aril Laser Generated by Landau Damping of Whistler Waves at the Lower Hybrid Frequency / P. Zhu and R.W. Boswell // Phys. Rev. Let. 1989. — Vol. 63 -N26.-P. 2805−2807.
  82. Zhu, P. A new argon-ion laser based on an electrodeless plasma / P. Zhu and R.W. Boswell // J. Appl. Phys. 1990. — Vol. 68. — N 5. — P. 1981−1984.
  83. Kovacs, M. A. Visible Laser Action in Fluorine I / M. A. Kovacs, C. J. Ultee // Appl. Phys. Lett. 1970. — Vol. 17. -N 1. — P. 39−40.
  84. Jeffers, W. Q. Laser Action in Atomic Fluorine Based on Collisional Dissociation of HF* / W. Q Jeffers, C.E. Wiswall // Appl. Phys. Lett.-1970.-Vol. 17.-N 10.-P.444.447.
  85. Florin, A. E. Pulsed Laser Oscillation af 0.731 from F Atoms / A. E. Florin, R. J. Jensen // IEEE J. Quantum Electron. 1971. — Vol. QE-7. — P. 472.
  86. English, J. R. Pulsed Stimulated Emission from N, C, CI, and F Atoms / J. R. English, III, H. C. Gardner, J. A. Merritt // IEEE J. Quantum Electron. 1972. — Vol. QE-8. — N 11.-P. 843−844.
  87. Sutton, D. G. Atomic Laser Action in Rare Gas-SF6 Mixtures / D. G. Sutton, L. Galvan, P. R. Valenzuela, and S. N. Suchard // IEEE J. Quantum Electron. 1975. -Vol. QE-U.-P. 54−57.
  88. Bigio, I. J. High-power visible laser action in neutral atomic fluorine /1. J. Bigio, R. F. Begley // Appl. Phys. Lett. 1976. — Vol. 28. -N 5. — P. 263−264.
  89. Hocker, L. O. Pressure dependence of the atomic fluorine laser transition intensities / L. O. Hocker, and Т. B. Phi // Appl. Phys. Lett. 1976. — Vol. 29. — N 8.-P. 493−494.
  90. Loree, T. R. The Atomic Fluorine Laser: Spectral Pressure Dependence / T. R. Loree, R. C. Sze // Opt. Commun. 1977. — Vol. 21. -N 2. — P. 255−257.
  91. , В. H. Мощный лазер высокого давления на красных линиях фтора /
  92. B. Н. Лисицын, А. М. Ражев // Письма в ЖТФ. 1977. — Т. 3. — Вып. 17.1. C.862−864.
  93. , L. О. High-resolution study of the helium-fluorine laser / L. O. Hocker // J. Opt. Soc. Am. 1978.-Vol. 68.-N2.-P. 262−265.
  94. Miller, W. H. A unified treatment of Penning ionization and excitation transfer / W. H. Miller and H. Morgan // J. Chem. Phys. 1977. — Vol. 67. — N 11. — P. 49 234 930.
  95. Rothem, A. A Simple, High-Power, TEA Laser Operating in the UV, Visible and IR / A. Rothem and S. Rosenwaks // Opt. Commun. 1979. — Vol. 30. — N 2. — P. 227−230.
  96. Sumida, S. Novel neutral atomic fluorine laser lines in a high-pressure mixture of F2 and He / S. Sumida, M. Obara, T. Fujioka // J. Appl. Phys. 1979. — Vol. 50. — N 6.-P. 3884−3887.
  97. Lawler, J. E. Experimental Investigation of the Atomic Fluorine Laser /.J. E. Lawler, J. W. Parker, L. W. Anderson, W. A. Fitzsimmons // IEEE J. Quantum.
  98. Electron. 1979. — Vol. QE-15. -N 7. — P. 609−613.
  99. Crane, J. K. The hollow-cathode helium-fluorine laser / J. K. Crane and J. T. Verdeyen//J. Appl. Phys. 1980.-Vol. 51.-N l.-P. 123−129.
  100. Collins, С. B. An atomic-fluorine laser pumped by charge transfer from He2+ at high pressures / С. B. Collins, F. W. Lee, and J. M. Carroll // Appl. Phys. Lett. -1980.-Vol. 37.-N 10.-P. 857−859.
  101. Christensen, С. P. Transverse Electrodeless RF Discharge Excitation of High-Pressure Laser Gas Mixtures / C. P. Christensen, F. X. Powell, and Nicholas Djeu // IEEE J. Quantum. Electron. 1980. — Vol. QE-16. -N 9. — P. 949−954.
  102. Sadighi-Bonabi, R. Gain and saturation of the atomic fluorine laser / R. Sadighi-Bonabi, F.W. Lee, and C.B. Collins // J. Appl. Phys. 1982. — Vol. 53. — N 5. — P. 3418−3423.
  103. Koprinkov, I. G. Intense Laser Generation from an Atomic-Fluorine Laser /1. G. Koprinkov, К. V. Stamenov, and K. A. Stankov // Appl. Phys. B. 1983. — Vol. 33. -P. 235−238.
  104. Serafetinides, A. A. Efficient Multi and Single Line Atomic Fluorine Lasers / A. A. Serafetinides // Appl. Phys. B. 1987. — Vol. 44. — P. 119−123.
  105. Zaeferani, M. S. Pressure dependence of the spectral lines of a high power, high pressure atomic fluorine laser pumped by a charge transfer from He2+ / M. S. Zaeferani, P. Parvin, R. Sadighi // Opt. & Laser Tech. 1996. — Vol. 28. -N 3. — P. 203−205.
  106. Parvin, P. Spectral lines of the atomic-fluorine laser from 2 psi (absolute) to 5.5 atm / P. Parvin, H. Mehravaran, and B. Jaleh // Appl. Opt. 2001. — Vol. 40. — N 21.-P. 3532−3538.
  107. Rocca, J. J. cw laser action in atomic fluorine / J.J. Rocca, J.D. Meyer, B.G. Pihlstrom, G.J. Collins //IEEE Quant. Electron.-1984.-Vol. QE-20.-P. 625−628.
  108. , A. M. Влияние интенсивности накачки на эффективность эксимерного электроразрядного KrF-лазера на смеси He-Kr-F2 / А. М. Ражев, А. И. Щедрин, А. Г. Калюжая, А. В. Рябцев, А. А. Жупиков // Квант. Электрон. 2004. — Т. 34. -№ 10.-С. 901−906.
  109. , В. Н. Импульсный ультрафиолетовый лазер на азоте, В. Н. Ищенко, В. Н. Лисицын, В. Н. Старинский // Оптико-механическая промышленность. -1974.-№ 3.-С. 32−34.
  110. Brito Cruz, С. Н. Characteristics of a Ware preionized nitrogen Laser with Helium as Buffer Gas / C.H. Brito Cruz, V. Loureiro, A.D. Tavares, and A. Scalabrin // Appl. Phys. B. 1984. — Vol. 35. — P. 131−133.
  111. Basting, D. A simple, high power nitrogen laser / D. Basting, F.P. Schafer, B. Steyer // Opto-electroncs. 1972. — Vol. 4. — P. 43−49.
  112. , В. H. Сверхызлучение на 2+ и 1″ полосах азота в разряде при давлении свыше 10 атм / В. Н. Ищенко, В. Н. Лисицын, А. М. Ражев, В. Н. Старинский // Письма в ЖЭТФ. 1974. — Т. 19. — вып. 7. — С. 429−433:
  113. Armandillo, Е. High-power nitrogen laser / Е. Armandillo, A.J. Kearsley // Appl. Phys. Lett. 1982. — Vol. 41. -N 7. -P. 611−613.
  114. Suchard, S. N. Quasi-cw emission from the second positive band of nitrogen / S. N. Suchard, L. Galvan, and D. G. Sutton // Appl. Phys. Lett. 1975. — Vol. 26. -N 9.-P. 521−523.
  115. Suchard, S. N. Behavior of First- and Second-Positive Emission in the N2/SF6 Laser / S. N. Suchard, D. G. Sutton, and R. F. Heidner III // IEEE J. Quantum. Electron. 1975. — Vol. QE-ll.-N 11. — P. 908−916.
  116. Bergmann, H. M. Travelling-wave corona excitation of high-power uv nitrogen lasers operating at gas pressures ranging from 0 to 3 bar / H. M. von Bergmann, V. Hasson, and J. Brink // J. Appl. Phys. 1976. — Vol. 47. -N 10. — P. 4532−4534.
  117. Akins, R. P. Time behavior of second-positive emission from a fast-discharge N2+SF6 laser / R. P. Akins and Shao-Chi Lin // Appl. Phys. Lett. 1976. — Vol. 28. -N4.-P. 221−223.
  118. Collier, F. Long-pulse N2 laser from a N2-CF4 mixture / F. Collier, G. Thiell, and P. Cottin // Appl. Phys. Lett. 1978. — Vol. 32. — N 11. — P. 739−741.
  119. Simuda, Shin Intense 3371 A laser emission from a fast Blumlein discharge excited N2/F2 mixture / Shin Simuda, Minoru Obara, and Tomoo Fujioka // Appl. Phys. Lett. 1979. — Vol. 34. -N 1. — P. 31−32.
  120. Itani, Junichi Intense laser emission at 3577 A using N2-SF6 mixtures in ТЕ nitrogen laser / Junichi Itani, Kiichiro Kagawa, and Yoshitake Kimura // Appl. Phys. Lett. 1975. — Vol. 27. -N 9. — P. 503−504.
  121. Judd, O. On the effect of the Addition oSFe to a N2 Electrical Discharge Laser / O. Judd // IEEE J. 1976. — Vol. QE-12. — P. 78−80.
  122. Maeda, Mitsuo Effect of SF6 Addition to a High-Pressure Nitrogen Laser / Mitsuo Maeda, Takashi Yamashita and Yasushi Miyazoe // Japan J. Appl. Phys. 1978. -Vol. 17.-N l.-P. 239−240.
  123. Godard, B. A Simple High-Power Large-Efficiency N2 Ultraviolet Laser / B. Godard // IEEE J. Quantum. Electron. 1974. — Vol. QE-10. -N 2. — P. 147−153.
  124. , В. H. О расщеплении линии излучения импульсных лазеров на сверхсветимости / В. Н. Ищенко, В. Н. Лисицын, А. М. Ражев, С. Г. Раутиан, А. М. Шалагин // Письма в ЖЭТФ. 1974. — Т. 19. — вып. 11. — С. 669−672.
  125. Fitzsimmonds, W. A. Experimental and Theoretical Investigation of the Nitrogen Laser / W. A. Fitzsimmonds, L. W. Anderson, С. E. Riedhauser, and Jan M. Vrtilek //IEEE J. Quantum. Electron. 1976.-Vol. QE-12.-N 10.-P. 624−633.
  126. Pillow, M. E. Some Factors Affecting the Decay of the Lewis-Rayleigh Afterglow in Nitrogen / M. E. Pillow and A. J. Rogers // Proc. Phys. Soc. 1963. — Vol. 81. -P. 1034−1037.
  127. Berkowitz, J. Mass Spectrometric Study of the Kinetics of Nitrogen Afterglow / J. Berkowitz, W. A. Chupka, and G. B. Kistiakowsky // J. Chem. Phys. 1956. — Vol. 25.-N3.-P. 457466.
  128. Bayes, K. D. On the Mechanism of the Lewis-Rayleigh Nitrogen Afterglow / K. D. Bayes and G. B. .Kistiakowsky // J. Chem. Phys. 1960. — Vol. 32. — N 4. — P. 9 921 000.
  129. Campbell, I. M. The Recombination of Nitrogen Atoms and the Nitrogen Afterglow / I. M. Campbell and B. A. Thrush // Proc. Roy. Soc. A. 1967. — Vol. 296.-P. 201−221.
  130. Benson, S. W. Kinetic and Spectroscopic Constraints on the Origin of the N2 Afterglow / S. W. Benson // J. Chem. Phys. 1968. — Vol. 48. — N 4. — P. 17 651 768.
  131. Becker, К. H. N2 Formation in the Lewis-Rayleigh Afterglow / К. H. Becker, E. H. Fink, W. Groth, W. Jud, and D. Kley // Faraday Discuss. Chem. Soc. 1972. — Vol. 53. -P. 35−51
  132. , В. М. Вращательная структура ультрафиолетовой генерации молекулярного азота, / В. М. Каслин, Г. Г. Петраш // Письма в ЖЭТФ. 1966. -Т. 3.-№ 2.-С. 88−92.
  133. , К. Н. The optimization of preionization and the temporal behavior of stimulated uv emission of an N2 laser / К. H. Tsui, N. P. Pimentel, P. P. Castro and C. A. Massone // Opt. Commun. 1992. — Vol. 91. -N 5/6. — P. 360−364.
  134. , И. И. Мощный импульсный газовый лазер на азоте и неоне / И. И. Магда, Ю. В. Ткач, Е. А. Лемберг, Г. В. Скачек, Н. П. Гадецкий, А. В. Сидельникова, В. В. Дятлова, Я. Я. Бессараб // Квант. Электрон. 1973. № 3(15).-С. 119−122.
  135. , В. А. Воздушный УФ лазер, возбуждаемый мощным СВЧ импульсом / В. А. Ваулин, В. Н. Слинко, С. С. Сулакшин // Квант. Электрон. 1988. — Т. 15.-№ 11.-С. 2329−2330.
  136. , Э. И. Двойной пик излучения коаксиального азотного лазера / Э. И. Асиновский, Л. М. Василяк, Ю. М. Токунов // Квант. Электрон. 1988. -Т. 15. -№ 8. — С. 1548−1551.
  137. Rothem, A. A Simple, High-Power, TEA Laser Operating in the UV, Visible and IR/A. Rothem and S. Rosenwaks // Opt. Com.-1979.-Vol. 30.-N 2. P. 227−230.
  138. Ражев, A. M. FI-лазер в области 703−731 нм с возбуждением индукционным поперечным разрядом / А. М. Ражев, В. М. Мхитарян, Д. С. Чуркин // Письма в ЖЭТФ. 2005. — Т. 82. — вып. 5. — С. 290−294.
  139. , А. М. Индукционный ультрафиолетовый азотный лазер / А. М. Ражев, Д. С. Чуркин // Письма в ЖЭТФ. 2007. — Т. 86. — вып. 6. — С. 479-^83.
  140. , А. М. Исследование параметров генерации индукционного лазера на молекулярном азоте / А. М. Ражев, Д. С. Чуркин, Н. С. Тарасов // Вестник НГУ. Серия Физика. 2007. — Т. 2. — вып. 4. — С. 113−117.
  141. , А. М. Pulsed inductive discharge С02 laser / А. М. Razhev, D. S. Churkin // Opt. Commun. -2009. Vol. 282. — P. 1354−1357.
  142. , A. M. Исследование УФ излучения индукционного азотного лазера / A.M. Ражев, Д. С. Чуркин, А. А. Жупиков // Квант. Электрон. 2009. (принята к печати).
  143. Razhev, A. M. Laser emission at X = 337.1 and X = 357.7 nm of N2 molecules in inductively coupled plasma / A. M. Razhev, D. S. Churkin // Digest GEC 2008, Dallas, Texas, USA. P. 29.
  144. , A. M. Импульсный индукционный лазер на молекулярном водороде / A.M. Ражев, Д. С. Чуркин, А. С. Завьялов // Вестник НГУ. Серия Физика. -2009. Т. 4. — вып. 3. — С.-12−19.
  145. , А. М. Excimer KrCl (223 nm) laser with the efficiency of 1.0% and 0.7 J output energy / A. M. Razhev, A. A. Zhupikov, E. S. Kargapol’tsev, D. S. Churkin //Proc. SPIE. -2006. Vol. 6263. — P. 49−53.
  146. Razhev, A. M. Laser action on the F, He, Ne, Ar atoms and XeCl and XeF molecules excited by an inductive transverse discharge / A. M. Razhev, V. M. Mekhitarian, A. A. Zhupikov, D. S. Churkin // Proc. SPIE. 2006. — Vol. 6263. — P. 8−17
  147. Razhev, A. M. Pulsed gas lasers excited by an inductive discharge / A. M. Razhev, D. S. Churkin, A. A. Zhupikov // Proc. SPIE. 2007. — Vol. 6346. — P. 634 603−1 -634 603−7.
  148. Razhev, A. M. Gas lasers excited by a pulsed inductive discharge / A. M. Razhev, V. M. Mekhitarian, D. S. Churkin, A. A. Zhupikov // Proc. SPIE. 2007. — Vol. 6611 -P. 66110G-1 — 16 6110G-6.
  149. Razhev A. M. Pulsed inductive atomic fluorine laser / A.M. Razhev, D.S. Churkin // Proc. SPIE. 2007. — Vol. 6731. — P. 673 119−1 — 6 731 119−7.
  150. A. M. 337 nm molecular nitrogen laser excited by pulsed inductive discharge / A. M. Razhev, D. S. Churkin // Proc. SPIE. 2007. — Vol. 6731. — P. 67311D-1 -67316D-6.
  151. Razhev A. M. High-efficiency discharge-pumped ArF (193 nm) excimer laser with a TPI thyratron as a high-voltage switch / A. M. Razhev, A. A. Zhupikov, D. S. Churkin // Proc. SPIE. 2007. — Vol. 6735. — P. 67350F-1 — 67350F-7.
  152. Razhev A. M. Nitrogen, atomic fluorine and C02 lasers excited by pulsed inductive discharge / A. M. Razhev, A. A. Zhupikov, D. S. Churkin // Proc. SPIE. 2008. -Vol. 6938. P. 693 803−1 — 693 803−10.
Заполнить форму текущей работой