Алгоритмы и методы автоматизированной системы моделирования технологического процесса формирования резистивных тонкопленочных слоев
Диссертация
Параграф 3 посвящен рассмотрению вопросов адекватного отображения двухмерных полей значений технологических параметров для их визуального анализа. Непосредственное отображение экспериментальных значений невозможно вследствие того, что: координаты точек не всегда образуют регулярную сетку, возможны точки с &bdquo-выпадающими" значениями, погрешность экспериментальных данных нарушает свойство… Читать ещё >
Содержание
- I. Моделирование технологического процесса формирования резистивных тонкопленочных слоев
- 1. 1. Состояние работ в области моделирования технологических процессов
- 1. 2. Технологический процесс формирования резистивных слоев
- — 1.3 Методология и методы решения задач технологического моделирования
- Выводы
- II. Моделирование температурных режимов подложки
- 2. 1. Оценивание изотермичности поверхности подложки
- 2. 2. Моделирование температурных режимов подложки. V
- 2. 3. Влияние материала подложки на условия теплообмена
- Выводы
- III. Формирование равномерных резистивных слоев
- 3. 1. Использование технологической информации при проектировании геометрии резистивных тонкопленочных элементов
- 3. 2. Анализ качества технологического процесса на основе выборки данных послеоперационного контроля резистивных слоев
- 3. 3. Аппроксимация экспериментальных значений на основе использования бикубических сплайнов
- Выводы
Список литературы
- Анализ термических режимов подложек при нагреве в вакууме с учетом нерадиационной составляющей теплового потока / Анищенко Л. М., Петрухин В. В., Лавренюк С. Ю. и др. Электронная техника. Микроэлектронные устройства (сер. 10), вып.2, 1988, с. 99.
- Алберг Дж., Нильсон Э., Уолш Дж. Теория сплайнов и ее применения.-М.:Мир, 1972.
- Анищенко Л.М., Лавренюк С. Ю., Петрухин В. В. Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники.- М.: Радио и связь, 1995.- 176с.
- Анищенко Л.М., Лавренюк С. Ю. Тепловые режимы подложек при напылении тонкопленочных покрытий //Физика и химия обработки материалов.-1981 .-№ 2.-С.21 -25.120
- Аншценко Л.М., Лавренюк С. Ю., Петрухин В. В. Особенности регуляризации обратных задач при автоматизированном проектировании.-В кн.:Теория и методы решения некорректно поставленных задач и их приложения.- Саратов: СГУ, 1985, с.13−14.
- П.Арончик Г. И. Математическое моделирование и оптимизация процессов радиационного нагрева в энерготехнологических установках: (05.13.07) / Самаргос.техн. ун-т.- Самара, 1996.- 31с.- Библиогр.: с.27−31 (37 назв.).
- Беляев Б.К. Вероятностные методы выборочного контроля.М.:Наука, 1977.-352с.
- Бор К. Практическое руководство по сплайнам.-М.:Радио и связь, 1985.
- Бородкин Л.И., Моттль В. В. Алгоритм обнаружения моментов изменения параметров уравнения случайного процесса.-Автоматика и Телемеханика, 1976, № 6, с.23−32.
- Брамсон М.А. Инфракрасное излучение нагретых тел.-М.: Наука, 1964.- 224с.
- Бубенников А.Н., Черняев A.B. Программа адекватного комбинаторного схемотехнического и физико-топологического121моделирования фрагментов биполярных БИС, Изв. Вузов, Радиоэлектроника, т. 33, N 11.- с.51−55, 1990.
- Гласко В.Б. Обратные задачи математической физики.- М.: Изд-во МГУ, 1984.- 111с.
- Глудкин О.П., Черняев В. Н. Анализ и контроль технологических процессов производства РЭА, — М,: Радио и связь, 1983.- 296с.
- Глудкин О.П., Обичкин Ю. Г., Блохин В. Г. Статистические методы в технологии производства радиоэлектронной апаратуры.- М.:Энергия, 1977.- 294с.
- Дарховский Б.С. Непараметрический метод для апостериорного обнаружения момента «разладки» последовательности независимых случайных величин.- Теория вероятностей и ее применения, 1976, 21, вып.1, с.180−184.
- Двумерное моделирование высококонцентационной диффузии ионно-легированного мышьяка в кремнии.- Минск, 1989.-32с.-(Препринт /АН БССР. Ин-т математики: N 6 (356).
- Ермошин С.Н., Колсанов В. В., Кустов В. Л. Моделирование и создание АРМ пучковых технологий и средств контроля.- Электронная промышленность, 1991, вып. 5, с. 12−16.
- Илларионов О.И. Статистическое регулирование технологических процессов микроэлектронных устройств : (05.12.13) / С.-петерб. акад. аэрокосмич. приборостроения.- СПб, 1996.- 30с.- Библиогр.: с.29−30 (22 назв.).
- Исследование операций: в 2-х т.: Пер. с англ. / Под ред.Дж.Моудера, С.Элмаграби.- М.:Мир, 1981.- Т.1.- 712с.
- Кахишвили Н.И., Мойнов Р. Г. Контроль технологического процесса по параметрам и характеристикам точности и стабильности// Электронная промышленность.- 1989.- Вып. 12.- С. 19−21.
- Коздоба JI.A., Круковский П. Г. Методы решения обратных задач теплопереноса.- Киев: Наукова думка, 1982.- 358 с.
- Кольдяев В.И., Мороз В. А., Назаров С. А. Двумерное моделирование легирования и окисления кремния // Автометрия.-1988.- N 3.- С.46−55.
- Комаров Ф.Ф., Мозолевский И. Е., Рогач В. П. Моделирование боковых эффектов при ионной имплантации наклонными пучками.-Микроэлектроника, 1994, том.23, вып.4, с.38−44.
- Князев A.C., Пекач М. В., Тейтельбаум А. З. Двумерное моделирование перераспределения примеси при термическом локальном окислении кремния / Электронная техника, Сер. 3. Микроэлектроника. Вып. 2(126).- 1988.-С.8−13.
- Красников Г .Я. Физико-технологические принципы и методы обеспечения качества КМОП БИС массового производства : (05.27.01) / НИИ «Науч. центр.- М., 1996.- 50 с.-Библиогр.: с.43−49 (38 назв).
- Кузнецов В.А. Математическое моделирование радиационного и комбинированного теплообмена в задачах расчета и оптимизации технологических установок : (05.14.04) / Сарат.гос.техн. ун-т.- Саратов, 1995.- 35,1. с.: граф.- Библиогр.: с.34−36 (25 назв.).123
- Курейчик В.М. Математическое обеспечение конструкторского и технологического проектирования САПР.- М.:Радио и связь, 1990.- 352с.
- Лукьянова В.Г. Методы обработки статистических данных по выявлению и прогнозированию критических состояний систем : (05.13.01) / Моск.гос.ин-т радиотехники, электрон, и автоматики (Техн.ун-т). М., 1996.- 23с.- Библиогр.: с.22- 23 (9назв).
- Мадера А.Г. Методы анализа и расчета случайных температурных полей технических систем : (05.13.16) / Ин-т высокопроизвод. вычисл. систем РАН.- М., 1996.- 41с.- Библиогр.:с.36−41 (36 назв.)
- Макаров О.Ю. Моделирование и алгоритмизация теплофизического проектирования в САПР БИС.- дисс. к.т.н.- Воронеж, 1994.- 175с.
- Мишин A.A. Разработка методов, алгоритмов и программ смешанного приборно-схемотехнического моделирования БИС, автореф.дисс. к.т.н.-М.: МАИ, 1989.-18с.
- МОП-СБИС. Моделирование элементов и технологических процессов.- М.:Радио и связь, 1988.-С.278−304.124
- Осипов М.Ю. Методы математического моделирования в САПР систем автоматизированного выращивания оптических кристаллов.- дисс.. к.т.н.- Л., 1991.
- Панов Д.Ю. Справочник по численному решению дифференциальных уравнений в частных производных.- М., Л.-Гостехиздат, 1951.- 183с.
- Петрухин В.В. Анализ и оптимизация технологического процесса формирования тонкопленочных слоев на диэлектрических подложках.- В кн.: Сборник научных трудов. В 11 частях. Ч.5.М.:МИФИ, 1998.-288с., с.88−89.
- Промышленные САПР в области электроники и вычислительной техники.-Минск, 1991.
- Реализация комплексного подхода к моделированию ИС в САПР ИС ARS/WS / Ю. Б. Егоров, В. Г. Иванюк, Ю. Г. Миргородский и др.-Электронная промышленность, 1993, вып. 3, с. 54−59.
- Робачевский А.М. Моделирование и оптимизация MOCVD технологий ВТСП пленок : (05.13.18) / С.-петерб.гос.ин-т точ. механики и оптики (Техн. ун-т).-СПб, 1996.- 18 с
- СамарскийА.А. Вычислительный эксперимент в задачах технологии // Вестн. АН СССР.- 1984.- N 3.- С.77−88.
- Самарский A.A. Математическое моделирование и вычислительный эксперимент // Вестн. АН СССР.- 1979.- N 5.- С.38−49.
- Стемпковский A. JL, Шепелев В. А., Власов A.B. Системная среда САПР СБИС.- М.: Наука, 1994.- 252с.
- Стратонович P.JI. Об оптимальном обнаружении разладки производственного процесса.- Вестник МГУ. Математика, механика, 1962, № 2, с.63−71.
- Субмикронные технологии. М.:Наука, 1995.-79с.-(Тр. ФТИАН: Т.9).
- Судник В.А. Планирование вычислительных экспериментов для получения интерполяционных теплофизических моделей сварки плавлением, используемых при технологической подготовке производства // Физика и химия обработки материалов.- 1985, N 4.- С. 111−115.
- Технология СБИС: В 2-х кн.- Пер. с англ. / Под ред. С.Зи.- М.: Мир, 1986.-Кн.1 404 е.- кн.2 — 453 с.
- Технология тонких пленок: В 2-х т./ Под ред. Л. Майселла, Р.Глэнга.- М.:Сов.Радио, 1977.-Т.1−664с-Т.2−768с.
- Тихонов А.Н., Арсенин В. Я. Методы решения некорректных задач.-М: Наука, 1986.- 288с.126
- Тихонов А.Н., Кальнер В. Д., Гласко В. Б. Математическое моделирование технологических процессов и метод обратных задач в машиностроении.- М.: Машиностроение, 1990.- 263с.
- Трофимов В.И., Селиверстов JI.A., Бессонов В. И. Фазовый переход аморфное состояние поликристалл в тонких слоях дисилицида хрома.-Микроэлектроника, 1975, Т.4, вып.3.-с.256−262.
- Углов А.А., Анищенко JI.M., Кузнецов С. Е. Адгезионная способность пленок.-М.:Радио и связь, 1987.-104с.
- Филатов Н.И. Математические модели, алгоритмы и программные средства смешанного приборно-схемотехнического моделирования элементов БИС.- дисс. д.т.н.-М, 1993.
- Хачатуров Р.В. Математическое моделирование процессов взаимодействия рентгеновского излучения с плазмой и многослойными наноструктурами : (05.13.16) / ВЦРАН.- М., 1996.-29,1.с.: граф.
- Численное моделирование термического отжига примесей в кремниевых структурах, сформированных локальным окислением // А. Ф. Буренков, В. А. Жук, А. И. Кирковский, В. А. Цурко.-Минск, 1991.-25с. Препринт /АН БССР. Ин-т математики: N 3 (453).
- Шеннон Р. Имитационное моделирование систем искусство и наука: Пер. с англ. / Под ред. Е. К. Масликовского.- М.: Мир, 1978.- 418с.
- Шестопалов М.Ю. Разработка моделей и алгоритмов управления технологическим процессом нанесения пленок в вакууме.- дисс. На соиск. Уч. степени кандидата технических наук.- СПб, 1995.
- Шиндовский Э., Шюрц О. Статистические методы управления качеством.- М.:Мир, 1976.- 593с.73 .Ширяев А. Н. Статистический последовательный анализ. М.:Наука, 1969.-231 с.
- А Composite Two-dimensional Process-Device Simulation System (TOPMODE) and its Application for Total Process Designing in Submicron127
- VLSI MOS Device Phase // S. Onga, M. Konaka, A. Ohmich et al. // IEEE Trans. Comput.-Aided Des. Integr. Circuits and Syst.- 1986.-5, N 3.- P.365−370.
- A General Simulator for VLSI Lithography and Etching Processes: Pt. I Application to Projection Lithography / W. Oldham, S. Nandgaonkar, A. Neureuther, M. O'Toole // IEEE Trans. — 1979.- Vol. ED-26, N 4.- P.717−722.
- A General Simulator for VLSI Lithography and Etching Processes: Pt. II.- Application to Deposition and Etching / W. Oldham, A.R.Neureuther, C. Sung et al. // IEEE Trans.- 1980.- Vol. ED-27, N 8.- P.1455−1459.
- A General-Purpose Two-Dimensional Process Simulator OPUS — for Arbitrary Structures / K. Nishi, K. Sakamoto, S. Kuroda, J. Ueda, T. Miyoshi, S. Ushio // IEEE Trans.- 1989.- Vol. CAD-8, No.l.- P.23−32.
- A publication of SILVACO Int., August, 1991.
- A publication of SILVACO Int., september/october, 1991.
- A simulation tool for orientation dependent etching / J. Frukauf, K. Trautmann, J. Wittig, D. Zielke J.Micromech. Microeng. (UK), 1993, Vol. 3, No.3, P.113−15.
- Adding SUPREM 3.5's GaAs Model and Parameters to SUPREMV.-www-tcad.stanford.edu/tcad/programs/suprem-IV.GS/Book/AddingGaAs.html.
- Advanced Bipolar Transistor Modeling: Process and Device Simulation Tools for Today’s Technology / R.W.Knepper, S.P.Gaur, F.-Y. Chang, G.R.Srinivasan IBM J.Res.&Develop.- 1985.- Vol.29, No.3.- P.218−228.
- Advanced lithography simulation tools for development and analysis of wide-field high NA projection optical systems / J.E.Connors, T.M.Kos, 128
- R.C.Pack, B.W.Smith Proc. SPIE — Int.Soc.Opt.Eng. (USA), 1993, Vol.1927, P.494−510, Vol.1.
- Anholt R., Sigmon T.W. A Process and Device Model for GaAs MESFET Technology: GATES // IEEE Trans.- 1989.- Vol. CAD-8, No.4.-P.350−359.
- Antoniadis D.A., Dutton R.W. Model for computer simulation of complete IC fabrication processes // IEEE Trans. Electron Devices.- 1979.- 26, N 4.- P.490−500.
- Antoniadis D.A., Dutton R.W. Models for Computer Simulation of Complete IC Fabrication Process // IEEE Trans. 1979.- Vol. ED-26, N 4.-P.490−500.
- Antoniadis D.A., Hansen S.E., Dutton R.W. SUPREMII a program for IC process modeling and simulation, Stanford Electronics Laboratory Technical report N5019−2, Stanford Electronics Lab., June, 1978.
- Arshak K.I., McDonagh D., Mathur B.P. Simulation of resist exposure and development on topographic substrates Int.J.Electron (UK), 1994, Vol. 76, No.2, P.303−14.
- Blakey P., Cottle R., Polsky B. The ATLAS II device simulation framework, The simulation standard, V.3, N 5, P.6−7, 1992.129
- Borucki L., Hansen H.H., Varahramyan K. FEDSS a 2D Semiconductor Fabrication Process Simulator // IBM J.Res.&Develop.- 1985.-Vol.29, No.3.- P.263−276.
- Bouchard F., Manring W.A. Simulations of metallization uniformity from large planar sputtering targets Proc. SPIE — Int.Soc.Opt.Eng. (USA), 1993, Vol.2090, P.218−26.
- Burggraaf P. TCAD set for broader application semiconductor manufacturing. Semicond.Int, Vol.17, No. 12, P.52−4,56.
- Chin D., Oh S.-Y., Dutton R.W. A General Solution Method for Two-Dimensional Nonplanar Oxidation // IEEE Trans.- 1983.- Vol. ED-30, No.9.-P.993−998.
- Cole J.V., Knutson K.L., Jensen K.F. Monte Carlo simulation of radiative transfer in rapid thermal processing (RTP) systems Rapid Thermal and Integrated Processing III Symposium, San Francisco, CA, USA, 4−7 April 1994.
- C++ design and implementation challenges in technology computer-aided design frameworks / G. RChin, D. Sitaraman, C. Yang, M.D.Giles Proceedings of the 1994 USENIX. C++ Conference, Cambridge, MA, USA, 1114 Apr. 1994, P. 189−205.
- Crandle T.L., Leon S.C. Solving optical lithography problems by using simulation Solid State Technol. (USA), 1994, Vol. 37, No. 8, P.69−72.
- Deal M.D., Hansen S.E., Sigmon T.W. SUPREM3.5 Process Modeling of GaAs Integrated Circuit Technology // IEEE Trans.- 1989.-Vol.CAD-8, No.9.- P.939−951.
- Dietrich D., Fruhauf J. Computer simulation of the development of dish-shaped deepenings by orientation-dependent etching of {100} silicon -Sens.Actuators A, Phys. (Switzerland), 1993, Vol. A39, No.3, P.261−2.
- Duncan AJ. Quality control and industrial statistics.- Homewood (IlL): Irvin, 1965. 992 p.
- Dutton R.W. Modeling of the Silicon Integrated-Circuit Design and Manufacturing Process // IEEE Trans. 1983.- Vol. ED-30, N 9. — P.968−986.
- Dutton R.W., Plummer J.D. Tool integration for power device modeling including 3D aspects Power Semiconductor Devices and Circuits, Baden-Dattwil, Switzerland, 26−27 Sept. 1991, P. 111−38.
- EDMES: an expert system for process optimization in micro-lithography / F. Pierre, M. Thierry, P. Dominique, V. Francoise Proc. SPIE -Int.Soc.Opt.Eng. (USA), 1994, Vol.2196, P.267−77.
- Fair R.B. Low-Thermal-Budget Process Modeling with the PREDICT Computer Program // IEEE Trans.- 1988.- Vol. ED-35, No. 3.- P.285−293.
- Gaston G.J., Walton A J. The integration of simulation and response surface methodology for the optimization of IC processes IEEE Trans.Semicond.Manuf. (USA), 1994, Vol.7, No. l, P.22−33.
- O.Giles M.D. Defect-Coupled Diffusion at High Concentration // IEEE Trans.- 1989.- Vol. CAD-8., No.5.- P.460−467.
- I .Girshich M.A., Rubin H. A Bayes approach to a quality control model.-Ann. Math. Statist., 1952, 23, N 1, pp.114−125.
- Glezos N., Raptis I., Hatzakis M. LITHOS: a fast electron beam lithography simulator Microelectron. Eng. (Netherlands), 1994, Vol. 23, No. l-4, P.417−20.131
- Gopalarao K.S.V., Mozumder P.K., Boning D.S. An integrated technology CAD system for process and device designers IEEE Trans. Very Large Scale Integr. (VLSI) Syst. (USA), 1993, Vol. 1, No. 4, P.482−90.
- Harris L. Simulation of a full BiCMOS technology WESCOM/92 Conference Record, Anaheim, CA, USA, 17−19 Nov. 1992, P.836−9.
- Helmsen J.J., Neureuther A.R. 3D lithography cases for exploring technology solution and benchmarking simulators Proc. SPIE -Int.Soc.Opt.Eng. (USA), 1993, Vol. 1927, pt. l, P.382−94 Vol. 1.
- Hirai S., Furukawa Y., Yokogawa M. Computer simulation of anisotropic etching process based on reaction mechanism: finished profiles at convex and concave corners J.Jpn.Soc.Precis.Eng. (Japan), 1994, Vol.60, No.5, P.698−702.
- Holscher R., Smith B.W., Brainerd S. Response surface modeling of rim phase shift masks Proc. SPIE — Int.Soc.Opt.Eng. (USA), 1993, Vol.1927, pt.2, P.868−78.
- International Workshop on Numerical Modeling of Processes and Devices for Integrated Circuits. NUPAD V New York, NY, USA: IEEE (1994), 188pp.
- Kai K., Kuroda S., Nishi K. Two-dimensional modeling of self-aligned sililicide processes with the general-purpose process simulator OPUS IEICE Trans. Electron. (Japan), 1994, Vol. E77-C, No.2, P. 129−33.
- Kaplan S., Karklin L. Calibration of lithography simulator by using subresolution patterns Proc. SPIE — Int.Soc.Opt.Eng. (USA), 1993, Vol. 1927, pt.2, P.858−67.
- Komarov F.F., Mozelevskii I.E., Rogach V.P. Modeling of sidewall doping effects in ion omplantation in multilayer targets Tech.Phys. (USA), 1994, Vol.39, No.8, P.777−9.
- Komatsu M. Three-dimensional resist profile simulation Proc. SPIE -Int.Soc.Opt.Eng. (USA), 1993, Vol.1927, pt. l, P.413−26., Vol.1.
- Law M.E., Dutton R.W. Verification of Analytic Point Defect Models Using SUPREM-IV // IEEE Trans.-. 1988.- Vol. CAD-7, N 2.- P.181−190.
- Law M.E., Rafferty C.S., Dutton R.W. SUPREM-IV Users Manual. Stanford University, 1988.
- Lee K., Neureuther A.R. SIMPL-2: (SIMulated Profiles from the Layout-Version2) // IEEE Trans.- 1988.-Vol.CAD-7, No.2.-P.160−167.
- Lin C.C., Law M.E., Lowther R.E. Automatic grid refinement and higher order flux discretization for diffusion modeling IEEE Trans. Comput.-Aided Des.Integr.Circuits Syst. (USA), 1993, Vol. 12, No. 8, P.1209−16.
- Mei L., Dutton R.W. A Process Simulation Model for Multilayer Structures Involving Polycristalline Silicon // IEEE Trans.- 1982.-Vol.ED-29, N 11.- P.1726−1734.
- Modeling and control of microelectronics matherials processing / T.A.Badgwell, T.T.Breedijk, S.G.Bushman et al. Comput.Chem.Eng. (UK), 1995, Vol.19.-No.l, P. l-41.
- Modeling dopant diffusion in gallium arsenide / M.D.Deal, C.J.Hu, C.C.Lee, H.G.Robinson III-V Electronic and Photonic Device Fabrication and Performance, San Francisco, CA, USA, 12−15 April 1993, P.365−76.
- Mulvaney B.J., Richardson W.B., Crandle T.L. PEPPER A Process Simulator for VLSI // IEEE Trans.- 1989.- Vol. CAD-8, No. 4.- P.336−349.
- Nagel L.W. SPICE-2: A computer program to simulate semiconductor circuits, Univ. California, Berkeley, Electronics Res.Lab. Memo ERL-M520,133
- Neureuther A., Ting C.H., Lin C.-Y. Application of Line-Edge Profile Simulation to Thin-Film Deposition Processes // IEEE Trans. 1980.- Vol. ED-27, N8.- P.1449−1455.
- Neureuther A.W. Understanding lithography technology issues through simulation Jpn.J.Appl.Phys. 1, Regul.Pap.Short Notes (Japan), 1993, Vol. 32, No. 12B, P.5823−8.
- Next generation Stanford TCAD-PISCES 2 ET and SUPREM 007 / S. Beebe, F. Rotella, Z. Sahul et al. International Electron Devices Meeting 1994. Technical Digest, San Francisco, CA, USA, 11−14 Dec. 1994, P.213−16.
- Numerical Modeling of Nonplanar Oxidation Coupled with Stress Effects / H. Umimoto, S. Odanaka, I. Nakao, H. Esaki // IEEE Trans.- 1989.-Vol.CAD-8, No. 6.- P.599−607.
- Page E.S. Controlling the standard deviation by cusum and warning lines.- Technometrics, 1963, 5, N 3, pp.307−315.
- Pantic D., Mijalkovic S., Stojadinovic N. An efficient multiparticle diffusion simulation by an adaptive multigrid method Microelectron. J. (UK), 1994, Vol. 25, No. 2, P.79−97.
- Pelka J., Muller K.P., Mader H. Simulation of Dry Etch Proceses by COMPOSITE // IEEE Trans.- 1988.- Vol. CAD-7, No. 2.- P. 154−159.
- Penumalli B.R. A Comprehensive Two-Dimensional VLSI Process Simulator Program, BICEPS // IEEE Trans.-1983.- Vol. ED-30.-P.986−992.
- Pinto M.R., Rafferty C.S., Dutton R.W. PISCES II: Poisson and continuity equation solver, Stanford University, Stanford, CA 94 305, September 1984.
- Silvaco International. Product Availability Guide. источник: www.silvaco.com/cgi-bin/porting/makeTable.143 .Profile simulation of plasma enhanced and ECR oxide deposition with sputtering / C.Y.Chang, J.P.McVittie, K.C.Saraswat et al. International134
- Electron Devices Meeting 1993. Technical Digest, Washington, DC, USA, 5−8 Dec. 1993, P.853−6.
- Rangelow I.W. Simulation of plasma etching and deposition processes for the microsystem-technology Electron Technol. (Poland), 1993, Vol. 26, No. l, P.59−64.
- Representing and manipulating fields for TCAD / M.D.Giles, G.R.Chin, M.E.Law, L.R.Nackman Workshop on Numerical Modeling of Procecces and Devices for Integrated Circuits: NUPADIV, Seatle, WA, USA, 31 May -1 June 1992, P.207−12.
- Scheckler E.W., Neureuther A.R. Models and algorithms for three-dimensional topography simulation with SAMPLE-3D IEEE Trans. Comput.-Aided Des.Integr.Circuits Syst. (USA), 1994, Vol. 13, No. 2, P.219−30.
- Semiconductor wafer representation for TCAD / M.D.Giles, D.S.Boning, G.R.Chin et al. IEEE Trans. Comput.-Aided Des. Integr. Circuits Syst., Vol. 13, No. l, P.82−95.
- Simulation of Doping Processes /H.Ryssel, H. Haberger, K. Hoffmann et al. IEEE Trans. — 1980.-Vol.ED-27, No. 8.- P.1484−1492.
- SMART-P: Rigorous Three-Dimensional Process Simulator on a Supercomputer / S. Odanaka, H. Umimoto, M. Wakabayashi, H. Esaki // IEEE Trans, on CAD of Integrated Circuits and Systems.- 1988.- Vol.7, No.6.- P.675−683.
- Stippel H., Selberherr S. Monte Carlo simulation of ion implantation for three-dimensional structures using an octree IEICE Trans. Electron. (Japan), 1994, Vol. E77-C, No.2, P.118−23.135
- SUPREM-IV.GS User’s Reference Manual.-. www-tcad.stanford.edu/tcad/programs/suprem-IV.GS/Book/RefManual.html.
- TCAD strategy for predictive VLSI memory development / H. Masuda, H. Sato, K. Tonneno et al. International Electron Devices Meeting 1994. Technical Digest, San Francisco, CA, USA, 11−14 Dec. 1994, P.153−6.
- Technical Report 5019−1. Stanford Electronics Lab. /D.A.Antoniadis, S.E.Hansen, RW. Dutton, A.G.Gonzales.- Stanford University, Palo Alto, 1977.
- The Sloped-Wall SWAMI A Defect-Free Zero Bird’s-Beak Local Oxidation Process for Scaled VLSI Technology / K.Y.Chin, J.L.Moll, K.M.Cham et al.// IEEE Trans.- 1983.- Vol. ED-30, No. 11.-P.1506−1511.
- Thirteenth IEEE/CHMT International Electronic Manufacturing Technology Symposium. New York, NY, USA: IEEE (1992), xvii+381pp.
- Toh K.K.H., Neureuther A. R, Scheckler E.W. Algorithms for simulation of three-dimensional etching IEEE Trans. Comput.-Aided Des.Integr.Circuits Syst., 1994, Vol.13, No. 5, P.616−24.
- Tung T.-L., Connor J., Antoniadis A. A Boundary Element Method for Modeling Viscoelastic Flow in Thermal Oxidation // IEEE Trans.- 1988.-Vol.CAD-7, No. 2.- P.215−224.
- Two-Dimensional Oxidation / D. Chin, S.-Y.Oh, S.-M.Hu et al. // IEEE Trans. 1983.- Vol. ED-30, No. 7.- P.744−749.
- Two-Dimensional Process Modeling: A Description of the SAFERO Program / R.R.O'Brien, C.M.Hsieh, J.S.Moore et al. // IBM J. Res.&Develop.-1985.- Vol.29, No.3.- P.229−241.136
- Vutova K., Mladenov G. Modeling of exposure and development processes in electron and ion lithography Model.Simul.Mater.Sci.Eng. (UK), 1994, Vol.2, No.2, P.239−54.
- Начальник отдела 60/4 Ведущий технолог Начальник ПЭБ1. В. ПЛернуха Л.П.Морозова1. С.М.Трофимов1. Утверждаю
- Главный инженер ГУЛ ЦНИИ «Комета"геских наук1. П. Мисник1999 г. 1. АКТ О ВНЕДРЕНИИнаучных и практических результатов диссертационной работы Петрухина В.В.
- Алгоритмы и методы автоматизированной системы моделирования технологического процесса формирования резистивных тонкопленочных слоев «
- На предприятии использованы следующие научные и практические результаты диссертации.
- Теоретические основы построения автоматизированных систем моделирования реальных технологических процессов вприменении к технологическому процессу формирования резистивных тонкопленочных слоев.
- Метод управления температурой подложки, основанный на изменении излучательной способности поверхности подложкодержателя, подтвержденный экспериментальной проверкой и позволивший повысить точность получения заданной температуры подложки.
- Программное обеспечение для диагностики качества технологического процесса на основе статистических методов анализа данных послеоперационного контроля резистивных слоев, позволившее повысить процент выхода годных изделий.