Структура и свойства функциональных слоев нитрида кремния на различных стадиях их формирования в технологии устройств нано-и микросистемной техники
Диссертация
Влияние поверхности полиимида на состав и свойства слоев нитрида кремния, осажденных на его поверхность, распространяется на 4 — 10 нм, приводит к повышенной концентрации атомов кислорода и азота вблизи границы раздела и обусловлено адсорбционными эффектами и химическим взаимодействием реакционных газов с активными группами полиимида. Плазмохимическая обработка полиимидных слоев, проводимая перед… Читать ещё >
Содержание
- Глава 1. Литературный обзор
- 1. 1. Конструкции исполнительных элементов устройств микро- и наносистемной техники на основе тонких слоев нитрида кремния, выполняемых с применением полиимидных «жертвенных» слоев
- 1. 2. Технологические процессы изготовления исполнительных элементов устройств микро- и наносистемной техники на основе слоев нитрида кремния с применением полиимидных «жертвенных» слоев
- 1. 3. Структура и свойства тонких слоев нитрида кремния
- Глава 2. Исследование закономерностей формирования структуры и свойств слоев нитрида кремния на полиимидных покрытиях и пленках
- 2. 1. Объекты исследования, способы получения и обработки образцов
- 2. 2. Методы исследования
- 2. 3. Влияние соотношения реакционных газов на химическое строение и модуль упругости слоев нитрида кремния
- 2. 4. Влияние подложки на состав и структуру осажденных слоев нитрида кремния
- 2. 5. Влияние подложки на морфологию осажденных слоев нитрида кремния
- 2. 6. Влияние плазмохимической обработки на поверхностную энергию полиимидного покрытия
- 2. 7. Влияние плазмохимической обработки полиимидного покрытия на поверхностную энергию и расчетную работу адгезии осажденных I слоев нитрида кремния различной толщины в сухом и увлажненном состоянии
- Глава 3. Исследование закономерностей травления полиимидных «жертвенных» слоев из зазоров, состава и свойств освобожденных травлением слоев нитрида кремния
- 3. 1. Объекты и методы исследования
- 3. 2. Кинетика травления полиимидных «жертвенных» слоев при различной топологии слоя нитрида кремния и длительности травления
- 3. 3. Состав продуктов травления полиимидного «жертвенного» слоя
- 3. 4. Состав освобожденной травлением полиимидного «жертвенного» слоя поверхности нитрида кремния
- 3. 5. Влияние толщины слоя нитрида кремния на остаточные деформации тестовых балочных элементов на его основе
- Глава 4. Использование полученных результатов в разработке технологии изготовления компонентов устройств нано- и микросистемной техники
- 4. 1. Формирование структур на основе наноразмерных слоев нитрида кремния с использованием полиимидных «жертвенных» слоев для матричных микроболометрических приемников ИК-излучения
- 4. 2. Формирование защитных слоев на основе нитрида кремния для газового сенсора на основе композиционных покрытий «полиимид -многостенные углеродные нанотрубки»
Список литературы
- Madou M.J. Fundamentals of Microfabrication. CRC Press, 1997, 576 p.
- Ко vacs G.T. A Micromachined Transducers Sourcebook. McGraw Hill Text. 1998, 944 p.
- Maluf N. An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering (Artech House MEMS Library). Artech House, 1999, 290 p.
- Курносов А. И., Юдин В. В. Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. М.: Высшая школа, 1979, 367 с.
- Броудай И., Мерей Дж. Физические основы микротехнологии. Под ред. Шальнова А. В. М.: Мир, 1982, 496 с.
- Черняев В. Н. Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров: Учебник для вузов. М.: Радио и связь, 1987, 464 с.
- Маллер Р., Кейминс Т. Элементы интегральных схем: Пер. с англ. М.:. ¦ Мир, 1989, 630 с.
- Burns D. W., Guckel Н. Thin films for micromechanical sensors // J. Vac. Sci. Technol., 1990, v. 8, № 4, pp. 3606−3613.
- Lapadatu D., Рука A., Dziuban J., Puers R. Corrugated silicon nitride membranes as suspensions in micromachined silicon accelerometers // J. Micromech. Microeng., 1996, № 6, pp. 73−76.
- Himmer P., Dickensheets D. Dynamic behavior of high speed, silicon nitride deformable mirrors // Proc. SPIE., 2004, v. 5348, pp. 150−159.
- Kim S.J., Cho Y.H., Nam H.J., Bu J.U. Piezoelectrically pushed rotational micromirrors for wide-angle optical switch applications // Proceeding of the IEEE 16th International Conference on MEMS, 2003, pp. 263−266.
- Folkmer В., Steiner P., Lang W. A pressure sensor based on a nitride membrane using single-crystalline piezoresistors // Sensors and Actuators A: Physical, 1996, v. 54, № 1−3, pp 488−492.
- Smith J. H., Barron С. C., Fleming J. G., Montague S., Rodriguez J. L., Smith В. K., Sniegowski J. J. Micromachined sensor and actuator research at the Microelectronics Development Laboratory // Proc. SPIE., 1995, v. 2448, pp. 152−157.
- Scheeper P. R., Voorthuyzen J. A., Bergveld P. PECVD silicon nitride diaphragms for condenser microphones // Sensors and Actuators B: Chemical, 1991, v. 4, № 1−2, pp. 79−84.
- Mitchell A. W., Ning Y. В., Tait N. Fabrication of a surface micromachined capacitive microphone using a dry-etch process. Patent US 5 573 679, 1996.
- Oberhammer J., Stemme G. Low-voltage high isolation DC-to-RF MEMS switch based on S-sharped film actuator // IEEE Trans. On Electron Devices, 2004, pp. 149−155.
- Sun X. Folded spring based microelectromechanical (mem) RF swith. Patent US 6 307 452 В 1,2001.
- Cole B.E. Microstructure design for high IR sensivity. Patent US 5 286 976^ 1994.
- Anderson J. Structures for temperature sensors and infrared detectors. Patent US 6 292 089 Bl, 2001.
- Higashi R. E. Thermal sensor and method of making same Patent US 6144 285, 2000.
- Fitzgibbons E. T. Pixel structure having a bolometr with spaced apart absorber and transducer layrs an associated fabrication method. Patent US, 6 307 194 Bl, 2001.
- Morris H. B. High responponsivity thrmochromic infrared detector. Patent US 5 900 799, 1999.
- Butler D. P., Celik-Butler Z., Shan P.-C. Uncooled YBACuO thin film infrared detector. Patent US 5 672 903, 1997.
- Higashi R. E., Holmen J. O., Johnson R. G. Thermal sensor. Patent US 5 300 915, 1994.
- Певцов Е., Чернокнижии В. Матричные ИК приемники для малогабаритных телевизионных камер // Электронные компоненты, 2001. № 1, с. 32−36.
- Jerominek Н., Pope Т. D., Renaud М., Swart N. R., Picard F. Lehoux M., Saward S., Bilodeau G., Audet D., Phong L. N., Qui C. N. 64×64, 128×128, 240×320 pixel uncooled IR bolometric detector arrays // Proc. SPIE, 1997, v. 3061, pp. 236−247.
- Antoszewski J., Wichester K. J, Keating A. J., Nguyen Т., Silva К. К. M. B. D., Huang H., Musca C. A., Dell J. M., Faraone L. MEMS based tunable infrared sensors // Proc. SPIE, 2005, v. 5840, pp. 91−100.
- Faraone L. MEMS for tunable multi spectral infrared sensor arrays // Proc. SPIE, v. 5957, pp. 59 570 °F.
- Kouba J., Eberhardt W., Loechel B. Wavelength filter for visiable wavelength based on photonic crystal // Proc. SPIE, v. 6182, pp. 61820R.
- Нано- и микросистемная техника. От исследований к разработкам. Сборник статей под ред. д.т.н., профессора Мальцева П. П. М.: Техносфера, 2005, 592 с.
- Gardner J. W., Varadan V. К. Microsensors, MEMS and smart devices. John Wiley & Sons, 2001,503 p.
- Lescouzeres L., Guillemet J. P., Lavigne A. P. Method for forming a semiconductor sensor device. Patent US 5 907 765, 1999.
- Варадан В., Виной К., Джозе К. ВЧ МЭМС и их применение. М.: Техносфера, 2004, 528 с.
- Huang S., Li В., Zhang X. Elimination of stress-induced curvature in microcantilever infrared focal plane arrays // Sensors and actuators A, 2006, v. 130−131, pp. 331 -339.
- Li B. Design and simulation of an uncooled double-cantilever microbolometr with potential for mk NETD // Sensors and actuators A, 2004, v. 112, pp. 351 -359.
- Memmi D., Foglietti V, Cianci E., Caliano G., Pappalardo M. Fabrication of capacitive micromechanical1 ultrasonic transducers by low-temperature process // Sensors and actuators A, v. 99, № 1 2, pp. 85 — 91.
- Жуков А.А. Физико-химические и технологические основы получения полиимидных струкур для микроэлектронных устройств микромеханики и микросенсорики / Дисс. на соиск. уч. ст. д.т.н. -М., ПроСофт-М, 2003. -315 с.
- Бессонов М.И., Котон М. М., Кудрявцев В. В., Лайус JT.A. Полиимиды -класс термостойких полимеров. Л.: Наука, 1983.
- Polyimides: Fundamental and applications. Edited by M. Ghosh, K. Mittal, Marcel Decker Inc., New York, Basel, Hong Kong, 1996.
- Bagolini A., Pakula L. Scholtes T. L. M., Pham H. Т. M., French P. J., Sarro P. M. Polyimide sacrificial layer and novel materials for post processing surface micromachining // J. Micromech. Microeng., 2002, № 12, pp. 385 -389.
- Ahmed A. H. Z., Tait R. Z. Fabrication of self absorbing, self — suppotered complementary metal — oxide — semiconductor compatible micromachined bolometers // J. Vac. Sci. Technol., 2004, v. A 22, № 3, pp. 842 — 846.
- Ни M., Chen J., Lai Z., Mao H., Sheng D. Research for polyimide sacrificial layer in MEMS device // Proc. SPIE, 2004, v. 5774, pp. 642 645.
- Mehdaoui A., Pisani M. В., Tsamados D., Csaaet F., Ancey, Ionescu A. M., MEMS tunable capacitors with fragmented electrodes and rotational electrothermal drive // Microsystem Technologies, 2007. v. 13, № 11−12, pp. 1589−1594.
- Kim Y. — J., Allen M. G. Surface micromachined solenid inductors for high frequency applications // Proc. SPIE, v. 3235, pp. 1−6.
- Silverbook K. Method of manufacture of a thermally actuated ink jet including s tapered heating element. Patent US 6 180 427 Bl, 2001.
- Becher D., Chan R., Hattendorf M., Feng M. Reliability study of low-voltage RF MEMS switches // GaAs MANTECH Conference Digest of Papers, Vancouver, Canada, 2002, pp. 54−57.
- Sato N., Shigematsu S., Morimura H., Yano M., Kudou K., Kamei Т., Machida K. Novel surface structure and its fabrication process for MEMS fingerprint sensor // IEEE trans, electron devices, 2005, v. 52, № 5, pp. 10 261 032.
- Лебединская M.JI. Исследование' ориентации и механических свойств аморфной и кристаллической пленок полиимида на основе пиромеллитового диангидрида и 4,4'-диаминодифенилоксида / Дисс. на соиск. уч. ст. к.т.н. М., НИИПМ им. Г. С. Петрова, 1973. — 171 с.
- Kazinczi R., Mollinger J. R., Bossche A. Reliability of silicon nitride as structural material in MEMS // Proc. SPIE, 1999, v. 3875, pp. 174−183.
- Mastrngelo G. H. Adhesion related failure mechanisms in microelectromechanical device // Tribology Letters, 1997, v. 3, № 3, pp. 223 -238.
- Chinn J. D., Gopal V., Soukane S., Leung T. Y. B. Dry etch release of MEMS structures. Patent US 6 666 979, 2003.
- Жуков А. А., Здобников A. E., Тарасов В. В., Четверов Ю. С. Микромашинная технология формирования мостиковых структур микроболометрической матрицы формата 64×64 // Прикладная Физика, 2003, № 3,48−51.
- Жукова С. А. Структурные эффекты плазмохимической обработки тонких полиимидных пленок и покрытий в технологии устройств' микросистемной техники / Дисс. на сосиск. уч. ст. к.т.н. -М., «МАТИ» -РГТУ им. К. Э. Циолковского, 2004. -180 с.
- Жуков А. А., Жукова С. А., Корнеева Г. А., Четверов Ю. С. Влияние плазмохимического травления на свойства тонких полиимидных покрытий различного химического состава и молекулярной массы // Прикладная физика, 2004, № 2, с. 53 —58.
- Нитрид кремния в электронике. Под ред. Ржанова А. В. Новосибирск: Наука. Сиб. Отделение, 1982, 200 с.
- Киреев В. Ю., Столяров А. А. Технологии- микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы. М.: Техносфера, 2006, 192 с.
- Shapoval S.Y., Petrashov V.T., Popov OA., Yoder M.D. Maciel Jr., P.D., Lok C.K.C. Electron cyclotron resonance plasma chemical vapor deposition of large area uniform silicon nitride films // J. Vac. Sci. Technol. A, v. 9, № 6, 1991, pp. 3071−3076.
- Walmsley В. A., Liu Y., Hu Z, Bush M. В., Winchester K. J., Martyniuk M, Dell J. M, Faraone L. Effects of deposition temperature on mechanical and physical properties of silicon nitride thin films // J. Appl. Phys., 2005, v. 98, pp. 44 904.
- Mackenzie K.D., Reelfs В., DeVre M.W., Westerman R., Johnson D.J. Characterization and Optimization of Low Stress PECVD silicon nitride for Production GaAs Manufacturing http://www.mantech.Org/Digests/2004/2004Papers/12.4.pdf.
- Martyniuk M., Antoszewski J., Walmsley B. A., Musca C. A., Dell J., Jung Y., Lawn B. R., Huang H., Faraone L. Determination of mechanical properties of silicon nitride films using nanoindentation // Proc. SPIE, 2005, v. 5798, pp. 216−225.
- Martyniuk M, Antoszewski J, Musca C. A, Dell J, Faraone L. Determination of residual stress in low temperature PECVD silicon nitride thin films // Proc. SPIE, 2004, v. 5276, pp. 451−462.
- Soh M, Savvides N, Musca C. A, Dell J. M, Faraone L. Chemical structure of low-temperature plasma deposited silicon nitride thin films // Proc. SPIE, 2004, v. 5276, pp. 434−441.
- Nowling G. R, Babayan S. E, Jankovic V, Hicks R. F. Remote plasma -enchanced chemical vapor deposition of silicon nitrde at atmospheric pressure. //Plasma Sources Sci. Technol, 2002, v. 11, pp. 97−103.
- Lee С. C., Wang С. M., Xu C.-L., Chang J. Y., Liao Y. M. Chi G. C. Nano -structured diffractive optical ekements on SiNx membrane for UV-visible regimr application // Proc. SPIE, 2004, v. 5515, pp. 170 179.
- Han. G. С., Luo P., Li К. В., Lio Z. Y., Wu Y. H. Growth and characterization of silicon nitride films on various underlying materials // Appl. Phys., 2002, v. A 74, pp. 243−247.
- Taylor J. A. The mechanical properties and microstructure of plasma enchanced chemical vapor deposited silicon nitride thin films* // J. Vac. Sci. Technol., 1991, v. A 9, № 4, pp. 2464 2468.
- Cai L., Rohatgi A., Yang D., El-Sayed M. A. Effects of rapid thermal anneal on refractive index and hydrogen content of plasma-enchanced chemical vapor deposited silicon nitride films // J. Appl. Phys., 1996, v. 80, № 9, pp. 5384 -5388.
- Park Y. В., Rhee S. W. Bulk and interface properties of low-temperature silicon nitride films deposited by remote plasma enhanced chemical vapor deposition //J. Mater. Sci., 2001, v. 12, pp. 515−522.
- Zhou H., Elgaid K., Wilkinson C., Thayne I. Low-Hydrogen-Content Silicon Nitride Deposited at Room Temperature by Inductively Coupled1 Plasma Deposition //Jpn. J. Appl. Phys., 2006, v. 45, № 10 B, pp. 8388−8392.
- Panepucci R. R., Diniz J. A., Carli E., Tatsch P. J., Swart W. Silicon nitride deposited by electron cyclotron resonance plasma enchanced chemical' vapor deposition for micromachining application // Proc. SPIE, 1998, v. 3512, pp. 146−151.
- Nakayama S. ECR (electron cyclotron resonance) plasma for thin film. technology // Pure and Appl. Chem., 1990, v. 62, № 9, pp. 1751−1756.
- Ye C., Ning Z., Shen M., Cheng S., Gan Z. Microstructure and dielectric properties of silicon nitride dilms deposited by electron cyclotron resonance plasma chemical vapor deposition // J. Appl. Phys, 1998, v. 83, № 11, pp. 5978−5984.
- Barbour J. C., Stein H. J., Popov O. A., Yoder M., Outten C. A. Silicon nitride formation from silan nitrogen electron cyclotrone resonance plasma // J. Vac. Sci. Technol., 1991, v. A 9, № 3, pp. 480−484.
- Doughty С., Knick D. С., Bailey J. В., Spencer J. E. Silicon nitride films deposited at substrate temperatures <100°C in a permanent magnet electron cyclotron resonance plasma // J. Vac. Sci. Technol., 1999, v. A 17, № 5, pp. 2612−2618.
- Flewitt A. J., Dyson A. P., Robertson J., Milne W. I. Low temperature growth of silicon nitride by electron cyclotron resonance plasma enhanced chemical vapour deposition // Thin solid films, 2001, v. 383, pp. 172 177.
- Leclerc S., Lecours A., Caron M., Richard E., Turcotte G., Currie J. F. Electron cyclotron resonance plasma chemical vapor deposited silicon nitride for micromechanical application // J. Vac. Sci. Technol. A, 1998, v. 16, № 2, pp. 881 884.
- Besland M. P., Lapeyrade M., Delmotte F., Hollinger. G. Interpretation of stress variation in silicon nitride films deposited by electron cyclotron resonance plasma // J. Vac. Sci. Technol. A, 2004, v. 22, № 5, pp. 1962 -1970.
- Popov O. A. Effects of magnetic field and microwave power on electron cyclotrone resonance-type plasma characteristics // J. Vac. Sci. Technol. A, 1991, v. 9, № 3, pp. 711−716.
- Colligon J. S. Energetic condesation: Processes, properties, and products // J. Vac. Sci. Technol. A, 1995, v. 13, № 3, pp. 1649 1657.
- Kim J. H., Chung K. W. Microstructure and properties of silicon nitride thun films deposited by reactive bias magnetron sputtering // J. Appl. Phys., 1998, v. 83, № 11, pp. 5831 -5839.
- Vila M., Caceres D., Prieto C. Mechanical properties of sputtered silicon nitride thin films // J. Appl. Phys., 2003, v. 94, № 12, pp. 7868 7873.
- Janus A. R., Shirn G. A. Preparation and propertie of reactively sputtered silicon nitride // J. Vac. Sci. Technol, 1966, v.4, № 1, pp. 37 40.
- Vargheese K. D., Rao G. M. Ion assisted deposition of silicon nitride films using electron cyclotron resonance plasma // J. Vac. Sci. Technol. A, 2001, v. 19, № 4, pp. 1336- 1340.
- Bandyopadhyay А. К., Bhattacharyya Т. К., Banerjee R., Batabyal A. K., Ваша A. K. Study of Hydrogenated Amorphous Silicon Nitride Films Prepared by RF Magnetron Sputtering // Appl Phys., 1991, v. A52, pp. 339 -343.
- Sugimoto I., Yanagisawa K., Kuwano H., Nakano S., Tago A. Characterization of hydrogen and oxygen atoms in SiN films produced by plasma enchanced reactive sputtering // J. Vac. Sci. Technol. A, 1994, v. 12. № 5. pp. 2859−2866.
- Vargheese K. D., Rao G. Electrical properties of silicon nitride films prepared by electron cyclotron resonance assisted sputter deposition // J. Vac. Sci. Technol. A, 2001, v. 19, № 5, pp. 2122 2126.
- Готра 3. Ю. Технология микроэлектронных устройств: Справочник. М.: Радио и связь, 1991, 528 с.
- Епифанов Г. И., Мома Ю. А. Твердотельная электроника. М.: Высшая школа, 1986, 304.
- Андриевский Р. А. Нитрид кремния синтез и свойства. Успехи химии. 1995, т.64,№ 3, с. 311 -329.
- Tabata O., Kawahata K., Sugiyama S., Igarashi I. Mechanical property measurements of thin films using load-deflection of composite rectangular membranes // Sensors and Actuators A: Physical, 1989, v. 10, № 1 2, pp. 135 -141.
- Tsan M. P., Ong С. W., Chong N., Choy C. L., Lim P. K., Huang W. W. Mechanical and etching properties of dual ion beam deposited hydrogen free silicon nitride films // J. Vac. Sci. Technol. A, 2001, v. 19, № 5, pp. 2542 -2548.
- Temple-Boyer P., Rossi C., Saint-Etienne E., Scheid E. Residual stress in low pressure chemical vapor deposition SiN x films deposited from silane and ammonia // J. Vac. Sci. Technol. A., 1998, v. 16, № 4, pp. 2003 2007.
- Martyniuk M., Antoszewski J., Musca C. A., Dell J. M., Faraone L. Stress in low-temperature plasma enhanced chemical vapour deposited silicon nitride thin films // Smart Mater. Struct., 2006, v. 15, pp. S29-S38.
- Ying Y., Zong-zi L., Xin-qiao W. Study on the stress of silicon nitride thin films prepared by PECVD // Proc. SPIE, 2004, v. 5774, pp. 212−215.
- Tarraf A., Daleiden J., Irmer S., Prasai D., Hillmer H. Stress investigation of PECVD dielectric layers for advanced optical MEMS // J. Micromech. Microeng., 2004, №. 14, pp. 317 323.
- Fang W. Determination of the elastic modulus of thin film materials using self-deformed micromachined cantilevers // J. Micromech. Microeng., 1999, № 9, pp. 230−235.
- Fang W., Wickert J. A. Determining mean and gradient stresses in the films using micromachined cantilevers // J. Micromech. Microeng., 1996, № 6, pp. 301 -309.
- Huang S., Zhang X. Extension of the stoney formula for film substrate systems with gradient stress for MEMS application // J. Micromech. Microeng., 2006, № 16, pp. 382 — 389.
- Диангидрид 1,2,4,5-бензолтетракарбоновой кислоты. ТУ 38.10 227 85.108.4,4-оксидианилин (ОДА). ТУ- 6 09 -335 — 86.
- Каталог фирмы Technics. Германия, 1982.
- Ю.Гоголинский К. В., Решетов В. Н. Применение сканирующих зондовых микроскопов для анализа с субмикронным и нанометровым разрешением структуры и распределения механических свойств материалов (обзор) //
- Заводская лаборатория. Диагностика материалов, 1998, т.64, № 6, с. ЗО-43.11 l. Talystep Руководство по эксплуатации. Материалы фирмы Taylor Hobson, 1983,54 с.
- А.С.Усеинов. Измерение модуля сверхтвердых материалов с помощью сканирующего зондового микроскопа «НаноСкан» // Приборы и техника эксперимента, 2003, № 6, с. 1−5.
- ПЗ.Кинлок Э. Адгезия и адгезивы: наука и технология. Пер. с англ. М.: Мир, 1991, с. 484.114.van Oss C.J. Ed. MASSON — 1996 — ISBN 2−225−85 191−3 «Forces interfaciales en milieux aqueux».
- Казицина JI. A, Куплетская Н. Б. Применение УФ-, ИК-, ЯМР- и масс-спектроскопии в органической химии. М.: Химия, 1983, 272 с.
- Беллами Л. Инфракрасные спектры сложных молекул. М.: Иностр.лит. 1963.
- Смит А. Прикладная ИК-спектроскопия: Пер. с англ. М.: Мир, 1982, 328 с. 120.1nagaki N, Tasaka S, Hibi К. Surface Modification of Kapton Film by Plasma Treatments // J. Polymer Sci. Part A: Polym. Chem, 1992, v. 30, № 4, p. 1425−1431.
- Гильман А.Б., Кузнецов А. А., Лопухова Г. В., Тузов Л. С., Потапов В. К. Структура и свойства поверхности ламинированной полиимидно-фторопластовой пленки, модифицированной в плазме тлеющего НЧ-разряда // Химия высоких энергий. 1995, т.29, № 4, с.294−298.
- Пономарев А.Н., Василец В. Н. Энциклопедия низкотемпературной плазмы. Книга III. М: Наука, 2000.
- Головня А.В., Покровский В. Я. Микросистемная техника / Материалы Международной научной молодежной школы. Таганрог: Изд-во ТРТУ, 2004, с. 37−42.
- Уэстон Дж. Техника сверхвысокого вакуума: Пер. с англ. М.: Мир, 1988, 366 с.
- Словецкий Д.И. Механизмы плазмохимического травления материалов. Энциклопедия низкотемпературной плазмы. Книга III. Гл.ред. В. Е. Фортов. М.: Наука, 2000, с. 346.
- Анализ поверхности методами Оже- и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Под ред. Д. В. Бриггса и М. П. Сиха: М.: Мир, 1987, 598 с.
- Хребтов И.А., Маляров В. Г. Неохлаждаемые матричные приемники ИК излучения // Оптический журнал, 1997, т. 64. № 6, с. 3 -14.
- Kruse P.W. The design of uncooled infrared imaging arrays // Proc. SPIE, 1996. v. 2746, pp. 34−37.
- Hovard P.V., Han C.J., Clarke J.E., Stevens J.C., Ely P., Fitzgibbons E.T. Advances in microbolometer focal plane technology at Boeing // Proc. SPIE, 1998, v. 3379, pp. 47−57.