Расчет высоковакуумной системы ионно — лучевой установки для облучения материалов «вокал»

При помощи установки «ВОКАЛ» возможно облучение материалов различными пучками ионов для исследования их основных свойств и характеристик. Пучки ионов могут быть полиэнергетическими, моноэнергетическими, многокомпонентными, однокомпонентными и т. д.

Для успешной работы установки необходимо выполнение следующего условия: число распыляемых атомов с единицы поверхности образца должно быть значительно больше числа атомов остаточного газа, попадающих на поверхность образца в процессе облучения. Также, должен быть известен профиль рельефа поверхности исследуемого образца. В процессе облучения, изменения профиля рельефа поверхности должны контролироваться, так как они зависят от интенсивности облучения и скорости распыления атомов с поверхности изучаемого образца.

В связи с этим, к вакуумным системам ионно-лучевой установки и предъявляются определенные, достаточно жесткие, требования.

В настоящее время разработано достаточное количество установок, позволяющих проводить различные работы с использованием ионно-лучевой технологии как научного, так и производственного характера. Однако значительная их часть предназначена для работы с моноэнергетическими пучками и пучками частиц какой-либо одной массы. Для реализации условий облучения образца пучками, состоящих из ионов с различными массами и энергиями применяется ионно-лучевая установка «ВОКАЛ».