Микроволновой метод и устройство для контроля толщины магнитодиэлектрических покрытий
Диссертация
Научная новизна. Разработан СВЧ метод измерения толщины слоя Ъ магнитодиэлектрических покрытий на металле, с учетом влияния неконтролируемых параметров: относительной диэлектрической е и относительной магнитной проницаемости |1. Метод основан на эффекте взаимодействия электромагнитного поля со слоем магнитодиэлектрического покрытия на металле и обладает высоким быстродействием, точностью… Читать ещё >
Содержание
- 1. ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР И ПОСТАНОВКА ЗАДАЧИ ИССЛЕДОВАНИЯ
- 1. 1. Электрические и магнитные методы контроля толщины покрытий
- 1. 1. 1. Электроемкостной метод
- 1. 1. 2. Неразрушающий контроль методом вихревых токов
- 1. 1. 3. Индукционные толщиномеры
- 1. 1. 4. Магнитные толщиномеры
- 1. 1. 5. Приборы магнитостатического типа
- 1. 2. Радиоволновые методы контроля толщины покрытий
- 1. 2. 1. Радиоволновой контроль диэлектрических материалов
- 1. 2. 2. Классификация СВЧ методов и средств
- 1. 2. 3. Средства измерения толщины диэлектрического слоя
- 1. 3. Основные недостатки существующих методов контроля толщины покрытий 34 1А Постановка задачи разработки метода контроля толщины магнитодиэлектрических покрытий на металле
- 1. 1. Электрические и магнитные методы контроля толщины покрытий
- Заключение по первой главе
- 2. МАТЕМАТИЧЕСКОЕ ОПИСАНИЕ ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ ПОВЕРХНОСТНЫХ ВОЛН С МАГНИТОДИЭЛЕКТРИЧЕСКИМ СЛОЕМ НА МЕТАЛЛИЧЕСКОЙ ПОВЕРХНОСТИ
- 2. 1. Описание явления распространения поверхностной волны над системой «магнитодиэлектрик-проводник»
- 2. 2. Решение краевой задачи распространения поверхностной волны над неограниченной системой «магнитодиэлектрик-проводник» и адаптация к ограниченной системе
- 2. 3. Применение явления распространения поверхностной волны к решению задачи
- 2. 4. Схема реализации метода
- 2. 5. Выбор длин волн генератора
- 2. 6. Аппроксимация аналитической модели и ее оценка
- 2. 7. Предлагаемые алгоритмы измерения
- 2. 8. Коррекция модели для слоя, содержащего ферромагнитные частицы
- 2. 9. Измерение волнового сопротивления магнитодиэлектрических покрытий
- Заключение по второй главе
- 3. РАЗРАБОТКА УСТРОЙСТВ ДЛЯ РЕАЛИЗАЦИИ МЕТОДА
- 3. 1. Классификация апертурных излучателей
- 3. 2. Внешние апертуры
- 3. 3. Внутренние апертуры
- 3. 3. 1. Разработка направленных внутренних апертур
- 3. 3. 2. Разработка круговых синфазных апертур
- 3. 3. 3. Разработка излучателя для реализации трехчастотного алгоритма контроля толщины покрытия
- 3. 4. Разработка измерительной системы поверхностного сканирования толщины покрытий
- Выводы по третьей главе
- 4. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ОЦЕНКА МЕТОДА И ЕГО МЕТРОЛОГИЧЕСКИЙ АНАЛИЗ
- 4. 1. Методика вычисления коэффициента затухания
- 4. 2. Базовая структура поля
- 4. 3. Экспериментальные данные
- 4. 4. Погрешность косвенных измерений метода
- 4. 5. Проверка адекватности математической модели
- 4. 6. Метрологическое обеспечение и
- выводы по метрологическому анализу метода
- Выводы по четвертой главе
Список литературы
- Приборы для неразрушающего контроля материалов и изделий. Справочник под. ред. В. В. Клюева. 2-е изд., перераб. и доп. — М.: Машиностроение, 1986. — 352 с.
- Неразрушающие испытания / Справочник под ред. Мак-Мастера Р. кн. 2. -М.: Энергия, 1965.
- Sheppard N. Electrical Conductivity Measurement Using Mikrofabricated Elektrodes. // N. Sheppard, R. Nucker, C. Wu / Analytical Chemistry. 1993. Vol.65.
- Шумиловский В. Г. Метод вихревых токов / В. Г. Шумиловский/ М.: Энергия, 1966. 100 с.
- Методы неразрушающих испытаний / Под. ред. Р. Шарпа. М.: Мир, 1972.-496 с.
- Бугров А. В. Высокочастотные емкостные преобразователи и приборы контроля качества // А. В. Бугров. М.: Машиностроение, 1982. — 94 с.
- Соболев В. С. Накладные и экранные датчики / В. С. Соболев, Ю. М. Шкарлет. Новосибирск: Наука, 1967. — 144 с.
- Неразрушающий контроль металлов и изделий. Справочник под. ред. Г. С. Самойловича. М.: Машиностроение, 1976. — 450 с.
- Кукарин С. В. Электронные СВЧ приборы. 2-е издание / С. В. Кукарин. -М.: Связь, 1981.
- Брандт А. А. Исследование диэлектриков на СВЧ / А. А. Брандт. М.: ГИФМЛ, 1963.-360 с.
- И Жук М. С. Проектирование линзовых, сканирующих, широкодиапазонных антенн и фидерных устройств / М. С. Жук, Ю. Б. Молочков. М.: Энергия, 1971.
- Ноймайер П. Совмещение измерения толщины покрытий и анализа состава материалов / П. Ноймайер // Электроника: НТВ № 1/2002.
- Марков Г. Т. Электродинамика и распространение радиоволн / Г. Т. Марков, Б. М. Петров, Г. П. Грудинская.-М.: Сов. радио, 1979.
- Корбанский И. Н. Теория электромагнитного поля / И. Н. Корбанский. — М.: Изд. ВВИА им. проф. Н. Е. Жуковского, 1964.
- Никольский В. В. Электродинамика и распространение радиоволн / В. В. Никольский. Ml: Наука, 1989.
- Новакшанов М.Н. Электродинамика и распространение радиоволн / М. Н. Новакшанов. — Рига: Изд. ВВАИУ им. Алксниса, 1981.
- Методы расчета поглотителей электромагнитных волн // Обзоры «Зарубежная радиоэлектроника». 1965 № 4- 1969 № 6- 1972 № 7- 1975 № 2- 1975 № 3- 1976 № 3- 1976 № 4.
- Фальковский О. И. Техническая электродинамика / О. И. Фальковский. — М.: Связь, 1978.
- Гольштейн- Л. Д. Электромагнитные поля и волны / JI. Д. Голынтейн, Н- В. Зернов. -М.: Сов. радио, 1971.-529 с.
- Заявка № 2 002 105 214 РФ, МКИ GO 1 N15/06. СВЧ способ измерения магнитодиэлектрических параметров и толщины спиновых покрытий на металле / П. А. Федюнин, Д. А. Дмитриев, Д. В. Карев / № 5 206- Заявл.26.02.02- Приоритет 05.03.02. 7 с.
- Трошин Г. И. Фидерные тракты средств радиосвязи и радиовещания / Г. И. Трошин // Антенны № 7 (53), 2001.
- Федюнин П.А. Измерение магнитодиэлектрических параметров и толщины спиновых покрытий на металле / П. А. Федюнин, Д. А. Дмитриев, Д.В.Карев// Сб. науч.-метод. материалов / ТВАИИ. Тамбов, 2002. № 16. С. 80−85.
- Карев Д.В. Способ измерения толщины поглощающих покрытий / Д. В. Карев, П. А. Федюнин, Д. А. Дмитриев // Державинские чтения / ТГУ им. Г. Р. Державина. Тамбов, 2002. С. 55−56.
- Федюнин П.А. Алгоритмическое обеспечение измерения комплекса параметров гиромагнитных жидкостей в диапазоне СВЧ / П. А. Федюнин, С. А. Алешкин, Д. В- Карев, Д. А. Дмитриев // Тез. докл. 5-й науч.-метод. конф. / ТГТУ. Тамбов, 2000. С. 101.
- Грем Ю. А. Методы расчета поглотителей электромагнитных волн / Ю. А. Грем // Зарубежная радиоэлектроника. 1965. — № 4.
- Пат. № 2 193 184 РФ, МКИ G01 N 15/06. СВЧ способ определения диэлектрической проницаемости и толщины покрытий на металле / М. А. Суслин, Д-А. Дмитриев, П. А. Федюнин, Д. В: Карев (РФ). 2 001 102 116- 3аявл.23.01.01- Приоритет 23 101.01. 7 с.
- Михайловский JI. К. Радиопоглощающие бестоковые среды, материалы и покрытия (электромагнитные свойства и практические применения) / Л. К. Михайловский // Успехи современной радиоэлектроники. № 9,2000.
- Дмитриев Д. А. Расчет интегральных электрофизических характеристик специальных ферромагнитных смесей / Д. А. Дмитриев, С. А. Алешкин, П. А. Федюнин, М. А. Суслин, Макаров Н. В. // Сообщение 7. Депонировано в ЦСИФ МОРФ 27.07.2000. №В4443.
- Небабин В. П. Методы и техника противодействия радиолокационному распознаванию / В: Ш Небабин, В. Г. Белоус // Зарубежная радиоэлектроника№ 2, 1987. С. 15−17.
- Мировицкий С. Современное состояние и практика применения радиопоглощающих материалов (РПМ) / С. Мировицкий // Зарубежная электроника, 1987.-№ 5.
- Дмитриев Д. А. Методы и устройства контроля состава и свойств ферромагнитных жидких сред в диапазоне СВЧ / Д. А. Дмитриев // Диссертация на соискание ученого звания доктора технических наук. — ТГТУ, 1999.
- Карев Д. В. Измерение волнового сопротивления гиротропных противоРЛС-покрытий / Д. В! Карев, М. М. Мордасов, П. А. Федюнин, Д. А. Дмитриев // Мат. методы в технике и технологиях ММТГ 14: Тез. докл. междунар. науч. конф. Смоленск, 2001. С. 50−54.
- Карев Д.В. Измерительно-вычислительная система поверхностного сканирования модуля волнового сопротивления спиновых согласованных покрытий. / Д. В. Карев // Труды ТГТУ. Сб. науч. ст. молодых ученых и-студентов. Тамбов, 2001. Вып. 9. С. 96−100.
- Радиопоглощающие материалы / Обзоры «Зарубежная радиоэлектроника». 1975, № 1.
- Сазонов Д. М. Антенны и устройства СВЧ / Д. М. Сазонов. М: Высшая школа, 1988.
- Современное состояние и практика применения радиопоглощающих материалов (РПМ) // Перевод № 6283 от 16.12.1987.
- Лавров А. С. Антенно-фидерные устройства / А. С. Лавров, Г. Б. Резников. — Киевское ВИАВУ. Киев, 1969. 559 с.
- Савин Б. М. Гигиеническое нормирование неионизирующих излучений / Б. М. Савин. -М.: Медицина, 1996.
- Кольчугин Ю. И. Системы защиты окружающей среды и человека от воздействия электромагнитных полей / Ю. И. Кольчугин. — М.: Электросвязь № 1, 1997. С. 15−16.
- Золотухин А. Н. Обзор: «Воздействие электромагнитного излучения на биологические объекты и физические основы защиты от него» / А. Н. Золотухин// «Зарубежная радиоэлектроника» № 1- 1981 г.
- Давыдов Б. И. Биологическое действие, нормирование и защита от электромагнитных излучений / Б. И. Давыдов, В. С. Тихорчук, С. В. Антипов. М.: Энергоиздат, 1984.
- Калашников A.M. Колебательные системы / А. М. Калашников, Я1 В. Степук. М.: Воениздат МО СССР- 1972. 376 с.
- Драбкин A. JI. Антенно-фидерные устройства / A. JI. Драбкин, В. JI. Зузенко, А. Г. Кислов. М.: Сов. радио, 1974. — 536 с.
- Федоров Н. Н. Основы электродинамики / Н. Н. Федоров. М.: Высшая школа, 1980--399 с.
- Карев Д. В. Апертурные системы сканирования волнового сопротивления противорадиолокационных покрытий / Д. В. Карев, Д.А.Дмитриев- П. А. Федюнин // Измерения, контроль, информатизация: Тез. докл. междунар. науч. конф. Барнаул, 2001. С. 70−71.
- Вамберский М. В. Передающие устройства СВЧ / М. В. Вамберский, В. И. Казанцев, С. А. Шелухин. М.: Высшая школа, — 1984. — 417 с.
- Королюк В. С. Справочник по теории вероятностей и математической статистике / В. С. Королюк, Н. И. Портенко, А. В. Скороходов. М.: Наука, 1985.-640 с.
- Корн Г. Справочник по математике для научных работников и инженеров / Г. Корн, Т. Корн. М.: Наука, 1974. — 832 с. 1. Т32
- Графики зависимости коэффициента затухания для различных длин волн
- Рисунок, А 1 График зависимости коэффициента затухания для длины волны1. Я = 0.05л*. при /Л =
- Рисунок, А 2 График зависимости коэффициента затухания для длины волны1. Л = 0.081.м. при ^ = 1
- Рисунок А. З График зависимости коэффициента затухания для длины волны1. Л = 0.086,и. при ju = 1
- Value 1(alfa, eps, mu, b) := f-——--Temp (alfa, eps, mu, b) |у lamda-eps J2. pib
- Графики чувствительности коэффициента затуханияда1. Рисунок Б,
- График чувствительности — дли Я = 0.086jw. при Ц
- Рисунок Б.2 График чувствительности — для Л = 0.086л*. при /J = 1
- Зависимость абсолютной погрешности коэффициента затухания при наличиив слое ферромагнитных частиц
- Рисунок В 1 График зависимости абсолютной погрешности, а для длины волны1. Л = 0.0861X1 при fi 1,2а, — м1. JO
- Рисунок В.2 График зависимости абсолютной погрешности, а для длины волны
- Я = 0.086л*. при f. i = 1,5
- Рисунок В. З График зависимости абсолютной погрешности, а для длины волны1. Л = 0.086м. при // = 2
- График зависимости относительной погрешности аппроксимации расчетныхформул метода
- Рисунок Г. 1 График зависимости относительной погрешности аппроксимации для6=0.OO5jw. при [2 = n,°/o
- I 0.15 0.2 0.25 0.3 0.35 0.4 0.451. А., м
- Рисунок Г.2 — График зависимости относительной погрешности аппроксимации дляb = 0.01л*. при /и = 1
- Листинг Г. 1 Программа для построения графиков в пакете Mathcadb := 0.01
- ЫшДalfa, eps, mu, b, lamda) := tanmu := 12 • pi • b lamdapi := 3.141 592' TQL:=0.011.eps • mu 1alfa • lamda .2.pi J J
- Value2E (alfa, eps, mu, b, lamda) := if (Lim5alfa, eps, mu, b, lamda) > 0, Lim5alfa. eps, mu, b, lamda), 100)
- Значения напряженности поля над слоем для разных зон datal :=01И. змч (н-1>0 М 21!1. S I! П.!to 15 1S19 10.2 11го 6.1 Т1. U м30 > 3yl := (datal)(0> nl (i) :=datal)datal)