Широкополосные спектроделители на основе широкозонных полупроводниковых материалов
![Диссертация: Широкополосные спектроделители на основе широкозонных полупроводниковых материалов](https://westud.ru/work/2510178/cover.png)
Диссертация
Эти свойства во многом определяются отступлением состава пленок от стехиометрии в сторону дефицита кислорода и дефектов структуры, поэтому пленки данного класса находятся в неравновесном состоянии. Электропроводность полупроводниковых оксидных пленок сильно зависит от степени дефектности и может различаться на несколько порядков. Наблюдается сильный разброс оптических параметров пленок от условий… Читать ещё >
Содержание
- ГЛАВА 1. ОБЗОР ТЕОРЕТИЧЕСКИХ И ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ РАБОТ ПО ОПТИЧЕСКИМ И ЭЛЕКТРИЧЕСКИМ СВОЙСТВАМ ПОКРЫТИЙ НА ОСНОВЕ ШИРОКОЗОННЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ. И
- 1. 1. Область применения широкополосных спектроделительных
- 1. 2. покрытий
- 1. 2. Характерные особенности оксидов р — металлов с точки зрения получения тонкослойных прозрачных токопроводящих покрытий
- Выводы
- ГЛАВА 2. ТЕХНОЛОГИЯ ПОЛУЧЕНИЯ И СВОЙСТВА ПЛЕНОК НА ОСНОВЕ In203(Sn)
- 2. 1. Технологическое оборудование и измерительная техника
- 2. 2. Условия получения пленок
- 2. 3. Оптические характеристики
- 2. 4. Функция качества для определения технологических параметров изготовления пленок
- 2. 5. Электрические свойства пленок In203(Sn)
- 2. 6. Оценка механической прочности слоев In203(Sn)
- 2. 7. Оценка координат цветности (х, у) прозрачных токопроводящих покрытий
- Выводы
- ГЛАВА 3. ВЛИЯНИЕ ОТЖИГА НА ОПТИЧЕСКИЕ И ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ ПЛЕНОК In203(Sn)
- 3. 1. Исследование влияния отжига на воздухе
- 3. 2. Исследование влияния отжига в вакууме
- Выводы
- ГЛАВА 4. РАЗНОВИДНОСТИ ОПТИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ НА ОСНОВЕ
- СЛОЕВ In203(Sn)
- 4. 1. Прозрачные в видимой области спектра электроды и нагревательные элементы
- 4. 1. 1. Оптимизация толщины покрытия с целью обеспечения максимальной прозрачности и минимального поверхностного сопротивления
- 4. 1. 2. Зависимость поверхностного сопротивления и прозрачности от скорости роста пленки и давления кислорода в камере
- 4. 1. 3. Теплофизические характеристики прозрачных нагревателей
- 4. 2. Широкополосные спектроделительные покрытия
- 4. 2. 1. Спектроделительные покрытия на основе металлодиэлектрических слоев
- 4. 2. 2. Оптимизация конструкции спектроделительного покрытия на основе слоя ЬпгОзСБп)
- 4. 2. 3. Просветление в видимой области спектра спектроделительного покрытия на основе 1п2Оз (8п)
- 4. 3. Влияние поверхностной проводимости пленки In203(Sn) на отражение в инфракрасном диапазоне спектра
- 4. 1. Прозрачные в видимой области спектра электроды и нагревательные элементы
- Выводы
Список литературы
- Лазарев И.Б., Краснов В. Г., Шаплыгин И. С. Электропроводность окисных систем и пленочных структур. — М.- Наука, 1979. -168 с.
- Лазарев И.Б., Соболев В. В., Шаплыгин И. С. Химические и физические свойства простых оксидов металлов. М.- Наука, 1983. -240 с.
- Carlson D.E. //Sol. Energy Mater. 1980. — Vol.3. — P. 503 — 520.
- Омото О., Нагатомо Т. Методика нанесения прозрачных электродов на сегнетоэлектрическую керамику и их использование. // Изв. АН СССР. Сер. Физическая. -1977. -Т.41. № 3. -С. 637−643.
- Маркус Т.А., Моррис Э. Н. Здания, климат и энергия. -Л.: Гидрометеоиздат, 1985.- 543 с.
- Золотухин И.В., Калинин Ю. Е., Самохина О. И., Ситников А. В. Влияние водорода на электропроводность оксида олова легированного иттрием //Письма в ЖТФ. -2004. -Т. 30. Вып. 11. -С. 78 84.
- Рембеза С.И., Свистова Т. В., Рембеза Е. С., Борсякова О. И. Микроструктура и физические свойства тонких пленок SnC>2 // ФТП. -2001. -Т. 35. Вып. 7. -С. 796−799.
- Сысоев В.В., Кучеренко Н. И., Кисин В.В.Текстурированные пленки оксида олова для микросистем распознавания газов // Письма в ЖТФ. — 2004. -Т. 30. Вып. 18.-С. 14−20.
- Симаков В.В., Якушева О. В., Гребенников А. И., Кисин В. В. Вольтампер-ные характеристики тонкопленочных газочувствительных структур на основе оксида олова // Письма в ЖТФ. 2005. -Т. 31. Вып. 8.-С. 52−56.
- Korotchenkov G., Brinzari V., Cerneavschi A., Ivanov М., Golovanov V., Cornet A., Morante J., Cabot A., Arbiol J. The influence of film structure on ln203 gas response // Thin Solid Films. 2004. — Vol. 460. — P. 315 — 323.
- Jachimowski M. The wide band transparent filters reflecting infrared radiation, their preparation and some applications. //Scientific bulletins of the Stanislaw Staszic university of mining and metallurgy. No. 902, Cracow -1982.
- Jin Z.-C., Hamberg I., Granqvist C.G. Optical properties of sputter-deposited ZnO: Al thin films // J.App. Phys. -1988. -Vol.64. No. 15. -P. 5117−5131.
- Чопра К., Дас С. Тонкопленочные солнечные элементы. -М.: Мир, 1986. 440 с.
- Minami Т., Ida S., Miyata Т., Minamino Y. Transparent conducting ZnO thin films deposited by vacuum arc plasma evaporation // Thin Solid Films.- 2003, -Vol. 445.-P. 268−273.
- Ye Z.-Z., Tang J.-F. Transparent conducting indium doped ZnO films by dc reactive S-gun magnetron sputtering // Applied Optics. 1989. -Vol. 28. No. 14.-P. 2817−2819.
- Herrero J., Guillen C. Improved ITO thin films for photovoltaic applications with a thin ZnO layer by sputtering // Thin Solid Films. 2004. — Vol. 451 452. — P. 630−633.
- Utsumi K., Iigusa H., Tokumaru R., Song P.K., Shigesato Y. Study on ln203 -Sn02 transparent and conductive films prepared by d.c. sputtering using high density ceramic targets // Thin Solid Films. 2003. -Vol.445. — P. 229−234.
- Pan C.A., Ma T.P. High-quality transparent conductive indium oxide films prepared by thermal evaporation // Appl. Phys. Lett. -1980. Vol. 37. No.2. -P. 163−165.
- Mizuhashi M. Electrical properties of vacuum-deposited indium oxide and indium tin oxide films // Thin Solid Films. 1980. -Vol. 70. -P. 91−100.
- Girtan M., Risu G.I., Rusu G.G., Gurlui S. Influence of oxidation conditions on the properties of indium oxide thin films // Applied Surface Science. — 2000.-Vol. 162−163.-P. 492−498.
- Jung Y.S., Seo I.Y., Lee D.W., Jeon D.Y. Influence of magnetron sputtering parameters on the properties of amorphous indium zinc oxide thin film // Thin Solid Films. 2003. — Vol.445. — P. 63−71.
- Hiramatsu H., Seo W.-S., Koumoto K. Electrical and Optical Properties of Radio-Frequency-Sputtered Thin Films of (Zn0)5In203 // Chem. Mater. -1998. Vol.10. — P. 3033−3039.
- Кузнецов А.Я., Круглова А. В., Крыжановский Б. П. Пленки полупроводниковой двуокиси олова с повышенной проводимостью // Ж. прикл. Химии. -1959, Т. 32. № 5. — С. 1161−1165.
- Крыжановский Б.П., Окатов М. А. Повышение проводимости слоев Sn02 и 1п20з с помощью фторорганических соединений // Ж. прикл. Химии. -1966. -Т. 39. № 12. -С. 2832−2837.
- Shanthi Е., Baneijee A., Dutta V., Chopra K.L. Electrical and optical properties of tin oxide films doped with F and (Sb +F) // J. Appl. Phys. 1982. -Vol.53. No.3. — P. 1615−1621.
- Суркова Т.П. Природа проводимости и оптические свойства легированных пленок двуокиси олова: Автореф. дис. канд. физ.-мат. наук. Свердловск- 1977. -18 с.
- Kim Н., Pigue A., Horwitz J.S., Mattoussi Н., Murata Н., Kafafi Z.H. Indium tin oxide thin films for organic light-emitting devices // Appl. Phys. Lett. -1999. -Vol.74. No.23. -P.3444−3446.
- Rauf I.A. Extraction of free carrier density and mobility from the optical transmission data of tin-doped indium oxide thin films // Materials Lett. -1995. -Vol.23.-P.73−78.
- Craciun V., Craciun D., Wang X., Anderson T.J., Singh R.K. Highly conducting indium tin oxide films grown by ultraviolet-assisted pulsed laser deposition at low temperatures // Thin Solid Films. 2004. -Vol.453−454. -P. 256−261.
- Han Y., Kim D., Cho J.-S., Koh S.-K. Ultraflat indium tin oxide films prepared by ion beam sputtering // Thin Solid Films. -2005. -Vol.473. P. 218−223.
- Третьяков Ю.Д. Химия нестехиометрических окислов. М.: Изд-во МГУ, 1974.-364 с.
- Юм-Розери В. Электроны и металлы. М.: Металлургиздат, 1950. — 275 с.
- Kostlin Н., Jost R., Lems W. Optical and Electrical Properties of Doped 1п2Оз Films// Phys. Status solidi. 1975. -Vol.29. — P. 87 — 93.
- Huang K.F., Uen T.M., Gou Y.S., Huang C.R., Yang H.C. Temperature dependence of transport properties of evaporated indium tin oxide films // Thin Solid Films. 1987. -Vol. 148. — P. 7 — 15.
- Chen Z., Yang K., Wang J. Preparation of indium tin oxide films by vacuum evaporation // Thin Solid Films. -1988. -Vol.162. P. 305 — 313.
- Nagatomo Т., Maruta Y., Omoto O. Electrical and optical properties of vacuum-evaporated indium-tin oxide films with high electron mobility// Thin Solid Films. 1990. -Vol. 192. — P. 17 — 25.
- Rauf LA. Low resistivity and high mobility tin-doped indium oxide films // Material Letters. 1993. -Vol. 18. — P. 123 — 127.
- Yamaguchi M., Ide-Ektessabi A., Nomura H., Yasui N. Characteristics of indium tin oxide films prepared using electron beam evaporation // Thin Solid Films. -2004. -Vol.447−448. P. 115 — 118.
- Kanazawa J., Haranoh Т., Matsumoto K. Effect of chemical state of doped Sn on the electrical properties of sputtered ITO films // Vacuum. -1990. No. 4−6. — P. 1463 -1465.
- Wu W.F., Chiou B.S. Mechanical properties of r.f. magnetron sputtered indium tin oxide films // Thin Solid Films. -1997. -Vol.293. P. 244 — 250.
- Шаганов И.И., Крыжановский Б. П., Дубков B.M. Получение прозрачных окисных электропроводящих покрытий импульсным лазерным напылением // ОМП. -1981. № 5. -С. 30 32.
- Nishimura E., Ohkawa H., Song P.K., Shigesato Y. Microstructures of ITO films deposited by r.f. magnetron sputtering with H20 introduction // Thin Solid Films.-2003.-Vol.445.-P. 235−240.
- Kawada A. Indium-tin oxide deposition by d.c. reactive sputtering on a low softening point material // Thin Solid Films. -1990. -Vol.191. P. 297 — 303.
- Kim S.H., ParkN.-M., Kim T.Y., Sung G.Y. Electrical and optical characteristics of. ITO films by pulsed laser deposition using a 10 wt. % Sn02-doped ln203 ceramic target//Thin Solid Films. -2005. Vol.475. — P. 262−266.
- Park J.-O., Lee J.-H., Rim J.-J., Cho S.-H., Cho Y.K. Crystallization of indium tin oxide thin films prepared by RF-magnetron sputtering without external heating//Thin Solid Films. -2005.-Vol.474. P. 127−132.
- Qiao Z., Latz R., Mergel D. Thickness dependence of In203: Sn film growth // Solid Films. -2004. -Vol.466. P. 250 — 258.
- El Akkad F., Punnoose A., Prabu G. Properties of ITO films prepared by rf magnetron sputtering //Appl. Phys. -2000. -Vol. A71. P. 157−160.
- Martin P.J., Netterfield R.P. Properties of indium tin oxide films prepared by ion-assisted deposition // Thin Solid Films. -1986. -Vol.137. P. 207 — 2214.
- Laix S., Kaiser N., Zoller A., Gotzelmann R., Lauth H., Bermitzki H. Room-temperature deposition of indium tin oxide thin films with plasma ion-assisted evaporation // Thin Solid Films. -1998. -Vol.335. P. 1−5.
- Paine D.C., Whitson Т., Janias D., Beresford R., Yang C.O. A study of low crystallization of amorphous thin film indium-tin-oxide // J. Appl. Phys. -1999. -Vol. 85.No. 12.-P. 8445−8450.
- Theuwissen A.J.P., Declerck G.J. Optical and electrical properties of reactively d.c. magnetron-sputtered In203: Sn films // Thin Solid Films. 1984. -Vol.121. -P. 109−119.
- Weijens C.H.L., Van Loon P.A.C. Influence of annealing on the optical properties of indium tin oxide // Thin Solid Films. -1991. -Vol. 196. P. 1−10.
- Zhang K., Zhu F., Huan C.H.A., Wee A.T.S. Indium tin oxide films prepared by radio frequency magnetron sputtering method at a low processing temperature // Thin Solid Films. -2000. -Vol.376. P. 255 — 263.
- Zhang K., Zhu F., Huan C.H.A., Wee A.T.S. Effect of hydrogen partial pressure on optoelectronic properties of indium tin oxide thin films deposited byradio frequency magnetron sputtering method // J. Appl. Phys. -1999. -Vol. 86. No.2. -P. 974−980.
- Kawashima Т., Matsui H., Tanade N. New transparent conductive films: FTO coated ITO // Thin Solid Films. -2003. -Vol.445. P. 241 — 244.
- Maki K., Komiya N., Suzuki A. Fabrication of thin films of ITO by aerosol CVD // Solid Films. -2003. -Vol.445. P. 224 — 228.
- Yu D., Yu W., Wang D., Qian Y. Structure, optical, and electrical properties ofindium tin oxide films with corundum structure fabricated by a sol-gel route based on solvothermal reactions//Thin Solid Films. -2002. -Vol.419. — P.166 — 172.
- Daoudi K., Canut В., Blanchin M.G., Sandu C.S., Teodorescu V.S., Roger J.A. m Densification of In203: Sn multilayered film elaborated by the dip-coating solgel route // Thin Solid Films. -2003. -Vol.445. P. 20 — 25.
- Rauf I.A., Structure and properties of tin-doped indium oxide thin films prepared by reactive electron-beam evaporation with a zone-confining arrangement // J. Appl. Phys. -1996. -Vol. 79. No.8. P. 4057 — 4065.
- George J., Menon S. Electrical and optical properties of electron beam evapo-^ rated ITO thin films // Surface and Coatings Technology. -2000. -Vol. 132. P.45.48.
- Федорюк B.B., Демчина JI.A., Ковалюк З. Д. Получение и некоторые свойства электропроводящих прозрачных пленок на основе индия и олова // Неорган. Материалы. -1980. Т. 16. № 6. — С. 1120 — 1121.
- Суйковская Н.В. Химические методы получения тонких прозрачных пленок. Л.: Химия, 1971.200 с.
- Рябова J1.A., Салун B.C., Сербинов И. А. Оптические свойства пиролити-ческих пленок окиси индия, легированной оловом // Опт. и спектр. -1982. Т. 5. № 5. — С. 956 — 959.
- Jarzebski Z.M. Preparation and Physical Properties of Transparent Conducting Oxide Films // Phys. stat. sol.(a). 1982. -Vol. 71. — P. 13 — 41.
- Осаждение пленок и покрытий разложением металлорганических соединений / Б Р. Грибов, Г. Ф. Домрачеев, Б. В. Жук и др. / Под ред. Г. Ф. Разуваева. М.: Наука, 1981. — 322 с.
- Chen Z., Yang К., Wang Н. Preparation of indium tin oxide films by vacuum evaporation // Thin Solid Films. -1988. -Vol.162. P. 305 — 313.
- Nath P., Bunshah R.F., Basol B.M., Staffsud O.M. Electrical and optical properties of In203: Sn films prepared by activated reactive evaporation // Thin Solid Films. -1980. -Vol.72. P. 463 — 468.
- Dobrowolski J.A., Menagh F.C., Simpson R., Waldorf A. Transparent, conducting indium tin oxide films formed on low or medium temperature substrates by ion-assisted deposition // Appl. Optics. 1987. -Vol. 26. No. 24. — P. 5204−5210.
- Quaas M., Eggs C., Wulff H. Structural studies of ITO thin films with Rietveld method // Thin Solid Films. -1998. -Vol.332. P. 277 — 281.
- Крыжановский Б.П., Орел E.H. Электропроводящие покрытия двуокиси олова, полученные вакуумным испарением // ОМП. — 1974. № 10. — С. 53 -56.
- Крыжановский Б.П., Колчев Б. С., Иванова И. С. Получение прозрачных проводящих покрытий трехокиси индия // ПТЭ. 1978. № 6. — С. 176 -177.
- Roessler U. Energy bands of А2В6 // Phys. Rev. 1969. — Vol. 184. No. 3. — P. 733−737.
- Pantelides S.T., Yarrison W.H. Valence bands of crystals // Phys. Rev. 1975. -Vol. 11. No. 10.-P. 3006−3013.
- Gupta L., Mansingh A., Srivastava P.K. Band gap narrowing and band structure of tin doped indium oxide films // Thin Solid Films. -1989. -Vol.176. P. 33−44.
- Бондарь E.A., Гормин C.A., Петроченко И. В., Шадрина Л. П. Метод определения удельной статической проводимости полупроводниковых прозрачных тепловых зеркал. //Опт.и спектр.- 2000. -Т. 89. № 6.- С. 969−973.
- Jarzebski Z.M. Prearation and Physical of Conducting Oxide Films // Phys. stat. sol. (a). -1982. Vol. 71. — P. 13 — 41.
- Tahar R., Ban Т., Ohya Y., Takahashi Y. Tin doped indium thin films: Electrical properties // J. Appl. Phys. 1998. — Vol. 83. — P. 2631 — 2645.
- Мейксин З.Г. Несплошные и керметные пленки. // В кн. Физика тонких пленок. М.: Мир, 1978. -Т.8. -С. 106 -179.
- Haacke G. New figure of merit for transparent conductors.// J. Appl. Phys. -1976. Vol. 47. -№ 9. — P.4086 — 4089.
- Fan J.C.C., Bachner F.J., Foley G.H. Effect of 02 pressure during deposition on properties of rf-sputtered Sn-doped bi203 films // Appl. Phys. Lett. -1977. -Vol. 31.No.ll.-P. 773 775.
- Jun S.-I., McKnight Т.Е., Simpson M.L., Rack P.D. A statistical parameter study of indium tin oxide thin films deposited by radio-frequency sputtering // Thin Solid Films. -2005. -Vol.476. P. 59 — 64.
- Baneijee R., Ray D.D.S., Batabyal A.K., Barua A.K. Preparation of indium tin oxide films by vacuum evaporation // Sol. Energy Mater. — 1986. -Vol.13. P. 11−16.
- OCT 3−1901−95. Покрытия оптических деталей. Типы, основные параметры и методы контроля. Издание официальное, 1995. — 191с.
- Heitman W. Reactiwes Aufdampfen in ionisierten Gasen. // Vakuum Technik. -1972. No 1. -S. 1−11.
- Пат. № 369 591 США. Method of applying a multilayer antireflection coating to substrate. Заявл. 21.01.69- опубл. 14.09.71. МКИ В 29 11/00.
- Алиакберов Р.Д., Сабиров Р. С., Гайнутдинов И. С. Первеев А.Ф. О влиянии электронной бомбардировки на поглощение пленок.// В сб.: Тезисыдокладов на III Всесоюзной конференции «Оптика лазеров». Л.: ГОИ, 1981,-С. 369−370.
- Алиакберов Р.Д., Гавриленко О. Ф., Гайнутдинов И. С., Первеев А. Ф., Сабиров Р. С. О влиянии ориентации электроннолучевого испарителя на поглощение пленок, напыляемых на установках с масляной системой откачки.// ОМП. 1984. № 6. — С. 47−49.
- В.К. Григорович. Твердость и микротвердость металлов. -М.: Наука, 1976, -230 с.
- Сб. Исследование в области измерения твердости, под ред. Б. И. Полинчука. Труды метрологических институтов СССР, вып. 91, (151), М. Стандартиздат, 1967.
- Л.П. Павлов. Методы определения основных параметров полупроводниковых материалов. -М.: Высшая школа, 1975. -206 с.
- Manifacier J. С., De Murcia М., Fillard J.P. Optical and electrical properties of Sn02 thin films in relation to their stoichiometric deviation and their crystalline structure // Thin Solid Films. -1977. -Vol.41. P. 127 — 135.
- Борисевич H.A., Верещагин В. Г., Валидов M.A. Инфракрасные фильтры. — Минск: Наука и техника, 1971.-122с
- Кухарский А.А. Плазменные возбуждения в полупроводниках. // Сб. Оптические исследования полупроводников. Свердловск: УНЦ АН СССР, -1980. -С.3−6.
- Розенберг Г. В. Оптика тонкослойных покрытий.-М.: Физматгиз,-1958−570 с.
- Крылова Т.Н. Интерференционные покрытия.-Л.: Машиностроение, 1973.-224с.
- Комраков Б.М., Шапочкин Б.Ф.Измерение параметров оптических покрытий. — М.: Машиностроение, 1986.-136 с.
- Гайнутдинов И.С., Несмелое Е. А., Алиакберов Р.Д Функция качества для определения оптимальных параметров широкополосных спектроде-лителей. //Оптический журнал. 2003. -Т. 70. № 5 — С. 83−86.
- Смирнов Н.Н., Михайлов А. В., Муранова Г. А., Калугин Ф. И. Расчет и корректировка цветности многолинзовых оптических трубок для эндоскопов. //Оптический журнал. -2003. -Т. 70. № 10. -С. 54−61
- Тетерин Г. А., Воробьев Ю. В., Зинченко В. Ф. Получение тонкослойных конденсатов на основе оксидов олова со стабильным валентным состоянием// Неорг. материалы. 1992. -Т.28. № 9. — С. 1896−1901.
- Haitjema Н., Elich J. Physical properties of pyrolytically sprayed tin-doped oxide coantings // Thin Solid Films. 1991. — Vol.205. — P. 93−100.
- Nath P., Bunshah R. Preparation of ln203 and tin-doped 1п2Оз films by a novel activated reactive evaporation technique.// Thin Solid Films. 1980. -Vol.69. -P.63−68.
- Hamberg I., Hjortsberg A., Granqvist C.G. High quality transparent heat reflectors of reactively evaporated indium tin oxide // Appl. Phys. Lett. 1982. -Vol.40. — No.5. — P. 362−364.
- Гайнутдинов И.С., Несмелое E.A., Алиакберов P.Д., Михайлов А. В. Метод оценки механической прочности тонкослойных покрытий // Оптический журнал. 2004. — Т.71. №.8. — С. 84 — 87.
- Крагельский И.В., Добычин М. Н., Комбалов B.C. Основы расчетов на трение и износ. М.: Машиностроение. 1977.421 с.
- Партон B.C., Морозов Е. М. Механика упругопластического разрушения. М.: Наука, 1974. 325 с.
- Черепанов Г. М. Механика разрушения композиционных материалов. М.: Наука, 1983.289 с.
- Берштейн В.А. Механогидролитические процессы и прочность твердых тел. JL: Наука, 1987.451с.
- Гусев А.Г., Несмелов Е. А., Никитин А. С., Гайнутдинов И. С. Внутренние напряжения в тонких пленках Ge, ZnS, ZnSe // ОМП. 1982. № 8. -С. 35−37.
- Несмелов Е.А., Никитин А. С., Гусев А. Г., Иванов О. Н. Измерение энергии адгезии тонких пленок // ОМП. -1982. № 10. -С. 34 -37.
- Международный светотехнический словарь. 3-е изд. — М.: Русский язык, 1979. 451с.
- Середенко М.М., Мурашко М. П. Изменение цветовых характеристик света, отраженного изотропной непоглощающей плоскопараллельной пластинкой, в зависимости от условий ее освещения // Оптический журнал. 2000. — Т. 67. № 6. -С. 15 — 18.
- Бурулявичус Л.И., Вайнпггейн В. М. и др. Исследование структурных, электрических и оптических свойств пленок Sn02 и 1п2Оз // Неорг. матер. 1969. — Т.5. № 3. — С. 551- 555.
- Ашкрофт Н., Мермин Н. Физика твердого тела. М.: Мир, 1979, Т.1, 422 с.
- Угай Я.А. Введение в химию полупроводников. М.: Высшая школа, 1965,245 с.
- Вайнпггейн В.М., Фистуль В. И. Инфракрасное отражение сильнолегированных пленок 1п203 // ФТП. 1970. — Т. 4. № 8. — С. 1495 — 1499.
- Гайнутдинов И.С., Несмелов Е. А., Алиакберов Р. Д., Михайлов А. В., Абзалова Г. И. Прозрачные в видимой области спектра нагревательные элементы на основе слоев In203(Sn) // Оптический журнал. 2004. — Т. 71, № 10.-С. 69−73.
- Lee J-H, Lee S-H, Yoo K-L, Kim N-Y, Hwangbo C.K. Deposition of a conductive near-infrared cutoff filter by radio-frequency magnetron sputtering. //Appl. Opt. 2002. -Vol. 41. No. 16. -P. 3061−3067.
- Биряльцева A.P., Несмелов E.A., Сафин Р. Г. Простой метод расчета металлодиэлектрических теплоотражающих фильтров. //Оптический журнал. -1995. № 2. -С. 72−73.
- Azzam R. M. A., Bu-Habib E., Casset J., Chassaing G., Gravier P. Antire-flection of an absorbing substrate by an absorbing thin film at normal incidence // Appl. Opt. -1987. -Vol. 26. No. 4. -P. 719−722.
- Lee C.-C., Chy C.-W. High power C02 laser mirror: a design // Appl. Opt. -1987. -Vol. 26. N 3. P. 2544 — 2548.
- Матшина Н.П., Несмелов E.A., Нагимов И. Х., Валидов P.M., Соболева Н. Н. К теории узкополосных фильтров с индуцированным пропусканием. //ЖПС. — 1991. -Т.55. N6.-С. 1000−1004.
- Southwell W. Н. Multilayer coating design achieving a broadband 90° phase shift // Appl. Opt. -1980. -Vol. 19. No. 16. -P. 2688 2692.
- Granqvist C. G. Radiative heating and cooling with spectrally selective surfaces// Appl. Opt. -1981. -Vol.20. No. 15. -P. 2606 2615.
- John C.C.Fan, Frank J. Bacher, George H. Foley, Paul M. Zavracky. Transparent heat-mirror films of Ti02/ Ag / Ti02 for solar energy collection and radiation insulation. // Appl. Phys. Lett. -1974. -Vol.25. No. 12. -P. 693 -695.
- Дмитриева О.А., Уханов C.H., Козак B.B., Серебренников В. В. Расчет многослойных теплоотражающих экранов. // Известия ВУЗ’ов, Физика. — 1984.-№ 2.-С. 86−91.
- Байко Б.Т., Ефимовский В. В., Шкалето В. И. Субструктура и аномальные оптические свойства островковых конденсатов серебра //Опт. и спектр.-1974.-Т.37. № 1.-С. 198−201.
- Memarzadeh К., Woollam J.A., Bilkind A. Variable angle of incidence spectroscopic ellipsometric characterization of Ti02/Ag/ Ti02 optical coatings // J.Appl. Phys. 1988. — Vol. 64. No7. — P. 3409−3411.
- Крылова Т.Н. Интерференционные покрытия. — JI.: Машиностроение, 1973. 224 с.
- Гисин М.А., Конюхов Г. П., Несмелов Е. А. Метод определения оптических постоянных и толщины диэлектрических пленок // Опт. и спектр. -1969. Т.26. Вып. 2. — С. 301 — 309.
- Несмелое Е.А., Гусев А. Г., Иванов О. Н., Матшина Н. П. Метод расчета оптических постоянных тонких диэлектрических пленок // ОМП. 1991. № 9-С. 27−29.
- Гайнутдинов И.С., Несмелое Е. А., Алиакберов Р. Д., Абзалова Г. И., Михайлов А. В. Просветление спектроделительных покрытий на основе легированной оловом окиси индия // Оптический журнал. 2004. — Т.71. № 10. -С.66−68.
- Kim S.W., Shin Y.W., Lee D.S., Kim J., Lee H.W. The effect of the amorphous insulator layer on conduction behaviors of the silica/indium tin oxide two-layer films // Thin Solid Films. -2003. -Vol. 437. P. 242−247.
- A.c. № 1 489 420 (СССР). Просветляющее покрытие. Авт. изобр. Алиакберов Р. Д., Аубакиров Р. Г., Байгильдин И. Ш., Гайнутдинов И. С. — Заявл. 12.12.1986- выдан 22.02.1989.
- А.с. № 1 503 547 (СССР). Интерференционное просветляющее покрытие. Авт. изобр. Алиакберов Р. Д., Гавриленко О. Ф., Гайнутдинов И. С., Мухамедов Р. К., Сабиров Р. С. Заявл. 16.12.1987- выдан 22.04.1989.
- Воронкова Е.М., Гречушников Б. Н., Дистлер Г. И., Петров И. П. Оптические материалы для инфракрасной техники. -М.: Наука, 1965,335 с.
- Гайнутдинов И.С., Несмелов Е. А., Алиакберов Р. Д., Коновалов А. А., Тарасов В. Ф., Михайлов А. В. О влиянии поверхностной проводимости на оптические свойства пленок окиси индия, легированной оловом // Оптический журнал. 2005.-Т.72. № 10 — С.63−68.
- Аззам Р., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет. М.: Мир, 1981.584 с.
- Pflug A., Sittenger V., Ruske F., Szyszka В., Dittmar G. Optical characterization of aluminium-doped zinc oxide films by advanced dispersion theories. //Thin Solid Films. -2004. -Vol. 455−456. P. 201−206.
- Займан Дж. Принципы теории твердого тела. М.: Мир, 1974.472с.
- Фистуль В.И. Сильно легированные полупроводники. М.: Наука, 1967. 415с.
- Tarasov V. F., Shakurov G.S., Submillimetre EPR spectrometer //Applied Magnetic Resonance. -1991. -Vol.2. No.3. -P. 571−576.
- Тарасов В.Ф., Шакуров Г. С., Барышев H.C., Несмелова И. М., Оптические свойства кристаллов кадмий — ртуть — теллур в субмиллиметровом диапазоне. // ЖПС. -1990. -Т.53. № 1. -С. 157−159.
- Силин В.П. К вопросу об оптических постоянных проводников. // ЖЭТФ. -1959. -Т.36. Вып. 5. -С. 1443−1450.
- Силин В.П., Рухадзе А. А. Электромагнитные свойства плазмы и плаз-моподобных сред. М.: Атомиздат, 1961. 244 с.
- Троицкий Ю.В. Многолучевые интерферометры отраженного света. Новосибирск, Наука, 1985, 207 с.
- Троицкий Ю.В. Проводящая поверхность как модель для описания потерь на границах слоев диэлектрического многослойника.// Оптика и спектроскопия. -1988.-Т.64. Вып.1. -С.140−146.
- Зон Б.А. К феноменологическому описанию поверхностного поглощения света металлами //Оптика и спектроскопия. -2003. -Т. 95. № 3. -С. 462−465.
- Дмитрук Н.Л., Литовченко В. Г., Стрижевский В. Л. Поверхностные по-ляритоны в полупроводниках и диэлектриках. Киев: Наукова думка, 1989. 375 с.
- Robusto P.F., Braunstein R. Optical Measurements of the Surfase Plasmon oflndium-Tin Oxide //Phys. Stat. Sol. (a). -1990. -Vol.119.-P. 155−168.