Образец.
Рисунок 6 — Осветительная система современного электронного микроскопа
Система имеет две конденсорные линзы С1 (сильная линза) и С2 (слабая линза). F — катод; W — цилиндр Вепельта; S — мнимый источник электронов, S' и S" - его изображения;СА2 -вторая конденсорная диафрагма. РасстоянияU1, U2,И1,V2 являются электронно-оптическими параметрами, тогда как расстояния D1, D2,D3легко измеряются в колонне микроскопа. [4].
На рис. 6 представлены две конденсорные линзы, входящие в систему освещения электронного микроскопа. Обычно можно осуществить независимое изменение фокусного расстояния этих линз (С1и С2). Возбуждение первой конденсорной линзы изменяют с помощью регулировочной ручки, называемой иногда «размер пятна». Обычно выбирается такое возбуждение, при котором плоскости S, S' и поверхность образца являются сопряженными, т. е. чтобы сфокусированное изображение источника формировалось на образце (сфокусированное освещение).
Для V-образного катода размер источника приблизительно равен 30 мкм. Для предотвращения нежелательного нагрева и радиационного повреждения образца на нем нужно сформировать уменьшенное изображение источника. Рабочее расстояние D3 также должно быть достаточно большим, чтобы имелась возможность перемещения объектодержателя при смене образца. При использовании одной конденсорной линзы трудно удовлетворить этим противоречивым требованиям — малое увеличение при большом расстоянии D3 — так как для этого необходимо, чтобы расстояние D1 было чрезмерно большим. Поэтому обычно используется сильная первая конденсорная линза С1, служащая для уменьшения изображения источника в 5 — 100 раз, а следующая за первой вторая слабая линза С2 с увеличением около 3 обеспечивает большое рабочее расстояние,.
