Плазменные эмиссионные системы на базе разряда низкого давления для нанесения покрытий из мелкодисперсных материалов
Диссертация
Результаты исследований физико-химических превращений в системе «мелкодисперсный материал — плазма низкого давления», являются базовыми для дальнейшего совершенствования аналитических комплексов и технологического оборудования для ионно-вакуумной модификации поверхности твердого тела и реализуемых с его помощью современных наукоемких, экологически чистых и высокоэффективных технологий в различных… Читать ещё >
Содержание
- Глава 1. Современные достижения в области методов и оборудования для нанесения покрытий при пониженных давлениях
- 1. 1. Анализ моделей, описывающих взаимодействия плазмы газового разряда с порошкообразными веществами
- 1. 2. Сравнительный анализ различных методов нанесения покрытий
- 1. 2. 1. Методы химического осаждения покрытий (ХОП)
- 1. 2. 2. Получение тонких пленок распылением материалов ионной бомбардировкой (РИБ)
- 1. 2. 3. Метод генерации потока осаждаемого вещества термическим испарением (МТИ)
- 1. 3. Постановка целей и задач работы
- Глава 2. Модель процессов в плазме низкого давления при внесении в нее мелкодисперсного материала
- 2. 1. Основные исходные посылки при моделировании поведения мелкодисперсной частицы в плазме низкого давления
- 2. 2. Основные уравнения модели в системе плазма низкого давления -мелкодисперсный материал
- 2. 3. Баланс токов в системе плазма низкого давления — мелкодисперсный материал- определение величины и знака скачка потенциала у поверхности частицы
- 2. 3. 1. Основные составляющие баланса токов при внесении мелкодисперсного материала в плазму низкого давления
- 2. 3. 2. Баланс токов в системе «плазма низкого давления нанодисперсный материал» в случае отрицательного падения потенциала у поверхности частицы
- 2. 3. 3. Баланс токов в системе «плазма низкого давления -нанодисперсный материал» в случае положительного падения потенциала у поверхности частицы
- 2. 4. Баланс энергии в системе «плазма низкого давления мелкодисперсный материал»
- 2. 4. 1. Составляющие баланса мощности при внесении мелкдисперсного материала в плазму низкого давления при отрицательной разности потенциалов между плазмой и телом
- 2. 4. 2. Составляющие баланса мощности при внесении нанодисперсного материала в плазму низкого давления при положительной разности потенциалов между плазмой и телом
- 2. 5. Результаты расчета баланса мощностей для S
- 2. 6. Выводы
- Глава 3. Динамика тепломассобмена и кинетики процессов нагрева, плавления и испарения нанодисперсного материала в плазме газового разряда низкого давления
- 3. 1. Нагрев нанодисперсной частицы до температуры плавления
- 3. 2. Плавление нанодисперсной частицы. Фазовый переход твердое тело
- — жидкость
- 3. 3. Нагрев нанодисперсной частицы до температуры кипения
- 3. 4. Полное испарение расплава материала
- 3. 5. Оценка времени испарения мелкодисперсной частицы из SiC>2 в плазме низкого давления
- 3. 6. Выводы
- Глава 4. Моделирование процессов в плазменных эмиссионных системах на базе разрядов низкого давления
- 4. 1. Моделирование процессов в газоразрядной камере с накаленным катодом
- 4. 1. 1. Процессы генерации ионов в газоразрядной камере с накаленным катодом
- 4. 1. 2. Функция распределения электронов, но энергиям в газоразрядной камере с накаленным катодом
- 4. 1. 3. Сечения ионизации, усредненные по функции распределения электронов
- 4. 1. 4. Процессы уничтожения ионов в плазме низкого давления
- 4. 1. 5. Вывод уравнений баланса частиц в газоразрядной камере с накаленным катодом
- 4. 1. 6. Результаты решения уравнения баланса в газоразрядной камере с накаленным катодом
- 4. 2. Моделирование процессов теплообмена частиц в прикатодной плазме вакуумной дуги
- 4. 3. Выводы
- 4. 1. Моделирование процессов в газоразрядной камере с накаленным катодом
- Глава 5. Плазменная эмиссионная система дуоплазматронного типа для нанесения пленок из веществ в мелкодисперсной фазе
- 5. 1. Особенности разрядных процессов в дуоплазматроне «А» типа
- 5. 2. Исследование предельных режимов протекания тока в разряде с двойным контрагированием
- 5. 2. 1. Расчет частот ионизации атомов электронным ударом
- 5. 2. 2. Условия обрыва тока в разряде с двойным контрагированием
- 5. 2. 3. Сравнение расчетных результатов с экспериментальными данными и их обсуждение
- 5. 3. Газоразрядная камера типа дуоплазматрон для нанесения покрытий из веществ в мелкодисперсной фазе
- 5. 4. Результаты тестирования полученных покрытий
- 5. 5. Выводы
Список литературы
- Борисенко, А.И., Защитные покрытия/ А.И. Борисенко// Тула: Наука, 1979, -272 с.
- Рыкалин Н.Н., Нагрев порошка в стабилизированной магнитным полем струе// Рыкалин Н. Н., Николаев А. В., Кудинов В. В. Автоматическая сварка.-1968, -№ 8.-С. 75−79.
- Физика и техника низкотемпературной плазмы// Под общей ред. Дресвина С.В.-М.:Атомиздат, 1972,-352 с.
- Крейндель, Ю.Е., Плазменные источники электронов, -М.:Атомиздат, 1977.-145 с.
- Николаев, А.В., Исследование нагрева твердых частиц в плазмотроне, со встречными струями// Физ. и хим.обраб.матер.-1968, — № 3.-С. 33−36.
- Панфилов, С.А., К расчету нагрева конденсированных частиц в плазменной дуге/ Панфилов С. А., Цветков Ю.В.// Теплофизика высоких температур.-1967.-№ 2.-С. 294−302.
- Лохов, Ю.Н. Нагрев и испарение частиц в струе низкотемпературной плазмы/ Ю. Н. Лохов, В. А. Петруничев, А. А. Углов и др.// Физ. и хим.обраб.матер. -1974.-№ 6.-С. 52−55.
- Николаев, А.В., Энергетические характеристики плазмотрона с. магнитной стабилизацией дуги/ Николаев А. В., Кулагин И.Д.// Изв. СО АН СССР, сер. технических наук.-1966.-Т.Ю, вып.З.-С. 27−37.
- Дресвин, С.В., Движение и нагрев частиц Si02 в струе воздушной плазмы индукционного плазмотрона/ С. В. Дресвин, Г. АДорфман, В. В. Шахов, и др.// Физ. и хим.обраб.матер.-1979.-№ 2.-С. 75−82
- Полак, А.С., Исследование взаимодействия частиц порошка с. потоком плазмы в сопле/ Полак А. С., Суров Н. С. //Физ. и хим. обраб.матер.-1969,№ 2,-С. 19−29.
- Кузьмичев, А.И. Методические указания к выполнению курсового проекта по курсу «Технология электронных приборов»./ Кузьмичев А. И., Барченко В. Т// -Киев: КПИ, 1984.-С. 63.
- Векслер, В.И., О взаимодействии медленных положительных ионов рубидия и цезия с поверхностью молибдена/ ЖЭТФ.-1962.-Т.42.-С. 325−329.
- Векслер, В.И., О непарных соударениях при взаимодействии медленныхположительных ионов с поверхностно металла/ ЖЭТФ.-1963.-Т.44,-С. 14−16.
- Антонов, З.А., Технология производства электровакуумных и полупроводниковых приборов//-М.:Высшая школа, 1979.-368 с.
- Шехмейстер, Е.Й., Общая технология электровакуумного производства/-М.:Высшая. школа, 1979.- 295 с.
- Федоров Л.П. и др. Производство полупроводниковых приборов/ Л. П. Федоров, В. М. Багров, Ю.Н.Тихонов//-М.:Энергия, 1979.-432 с.
- Золотарев, М.М., Металлизатор вакуумщик.-М.:Высш.школа.-1978.239 с.
- Шиллер 3. и др. Электронно-лучевая технология/З.Шиллер, У. Гайзиг, 3. Панцер//-М.:Энергия, 1980.-528 с.
- Днепровский, В.Г., Получение тонкопленочных слоев в вакууме с помощью излучения оптических квантовых генераторов/ Днепровский В. Г., Банков В.Н.//Зарубежная радиоэлектроника.-1978.-№ 9.-С. 133−142.
- Коновалов, А. И., Технология и оборудование для ионно-лучевой обработки материалов/ Коновалов А. И., Орлов В. И// Обзоры по электронной технике.-1982.-Сер.7-Вып. 10(880).-С. 40−63.
- Плазменные методы обработки материалов/ Под ред.А. Е. Вайнермана, Д.Г. Быховского//-Л.: ДДНТП, 1977.-115 с.
- Стельмах, Г. П., Об особенностях теплообмена в канале секционного газового электродугового подогрева теля/ Стельмах Г. П., Чесноков Н. А., Сахаев А.С.// Инж.-физ. журнал.-1966.-№ 4.-С. 508−600.
- Николаев, А.В., Плазменные процессы в металлургии и технологии неорганических материалов.-М.:Наука, 1973.-243 с.
- Ворончев, Т.А., Физические основы электровакуумной техники/ Ворончев Т. А., Соболев В. Д//-М.:Высшая школа, 1967.-351 с.
- Демянцевич, В.П., Исследование движения частиц порошка при плазменном нанесении покрытий/ Демянцевич В. П., Клубникин B.C., Низовский А.А.//Физ.и хим.обраб.матер.-1973.-№ 2.-С. 102−105.
- Поляков С.П. О нагреве и движении частиц порошка в плазменных струях/ Поляков С. П., Рязанцев О. В., Твердохлебов В.И.//Физ. и хим. обраб. матер.-1975.-№ 3.-С.43−46.
- Дороднов A.M., О физических принципах и типах плазменных устройств/Дородное A.M., Петросов. В.А.//ЖТФ-1981.-Т.51.-№ 3.-С. 504−524.
- Чистяков, Ю.Д., Физико-химические основы технологии микроэлектроники./ Чистяков Ю. Д., Райнова Ю. П. // М.:Металлургия, 1979.-С. 408.
- Малышева, И.А. Технология производства микроэлектронных устройств// М.:Энергия, 1980.-С. 448.
- Минайчев, В.Е., Магнетронные распылительные устройства/ В. Е. Минайчев, В. В. Одиноков, Г. П. Тюфаева// Обзоры по электронной технике.-1979.-Сер.7.-Вып.8(659).-С. 56−57.
- Денисов, А.Г., Молекулярно-лучевая эпитаксия (приборная реализация)/ А. Г. Денисов, Ю. Г. Садофьев, А.П. Сеничкин// Обзоры по электронной технике.-1981.-Сер .7.-Вып. 16(827). -С .84−90.
- Кулагин, И.Д., Обработка материалов дуговой плазменной струей/ И. Д. Кулагин, А.В., Николаев // М.:Изд. ИМЕТ, I960.-C. 33.
- Кулагин, И.Д., .Кудинов В. В. Нагрев плазменной дугой прямого действия/ И. Д. Кулагин, В.В. Кудинов//Электротермия.-1964.-Т32, С. 36−39.
- Углов, А.А., Теплофизика плазменной обработки мелкодисперсных частиц/Углов А.А., Иванов Е.М.//Физ. и хим. обраб. матер.-1985.-№ 2.-С. 13−17.
- Вендик, О.Г., Технология вакуумного дугового осаждения ТП/ О. Г. Вендик, В. Ф. Попов, Н.В. Зеленская// -Л.:ЛДНТП.-1982.-118 с.
- Зыричев, Н.А., Нагрев и испарение мелкодисперсных частиц тугоплавких материалов в плазменном потоке/ Н. А. Зыричев, Г. Ф. Галковская// Физ. и хим. обраб. матер. -1982. -№ 1,-С. 58−63.
- Лабунов, В.А., Ионно-лучевые источники для обработки поверхности твердых тел и получение тонких пленок/ В. А. Лабунов, Г. Рейссе //Зарубежная электронная техника.-1982.-№ 1(247).-С. 3−42.
- Белявский, В.П., Перспективы применения ионного осаждения в микроэлектронике/ В. П. Белявский, И.В. Гусев/Юптоэлектроника и полупроводниковая техника.-1982.-№ 2.-С. 51−58.
- Бреховский, В.Ф., М.Х. Расчет теплового потока на поверхности пленок при термическом и электронно-лучевом плазменном испарении/ В. Ф. Бреховский, М.Н. Никитин, М.Х. Шоршоров// Физ. и хим.обраб.матер.-1974.-.№ 6.-С. 3−16.
- Гуревич, Г. М., Плазменный источник для бомбардировки твердых тел положительными и отрицательными ионами/ Г. М. Гуревич, Ю. А. Данилюк, А.П. Коварский// Приборы и техника эксперимента.-1978.-№ 4.-С. 181−183.
- Черняк Е.Я. Осаждение тонких пленок из низкоэнергетических ионных пучков:Обзор//Обзоры по электронной технике.-1979.-Сер.7,-Вып.14(676).-55 с.
- Бабаев, В.Г., Адсорбция паров металла в присутствии ионного облучения/ В. Г. Бабаев, М.Б. Гусева// Изв. АН СССР.-Сер.физическая.-1973.-Т.37, № 12.-С. 2596−2602.
- Костиков, В.И., Плазменные покрытия/ В. И. Костиков, Ю.А. Шестерин//-М.:Металлургия, 1978. -316 с.
- Данилин, Б.С., Получение тонкопленочных слоев с помощью магне-тронной системы ионного распыления// Зарубежная радиоэлектроника.-1978. -№ 4. -С. 87−105.
- Химия. Справочное руководство/ Пер. с нем. Гаврюченкова Ф.Г.-Л.-.Химия, 1975. Т-С. 20−53.
- Верещака А.С. Работоспособность режущего инструмента с износостойкими покрытиям.-Москва: Машмностроение, 1993. 201 с.
- Житомирский, В.И., Вакуумно-дуговое осаждение металлокерамических покрытий на полимерную подложку/ В. И. Житомирский, И. Гримбегр, М. К. Жозэф и др.// Поверхность и технология нанесения покрытий. -1998. -№ 108−109. С. 160 165.
- Никитин, М.М. Технология и оборудование вакуумного напыления. -Москва: Металлургия, 1992. 187 с.
- Гнесин, Г. Г., Износостойкие покрытия на инструментальных материалах (обзор)/ Г. Г. Гнесин, С.Н. Фоменко// Порошковая металлургия. 1996. — № 9−10 — С. 17−26.
- Белый, А.В., Структура и методы формирования износостойких поверхностных слоев/ А. В. Белый, Г. Д. Карпенко, Н.К. Мышкин// Москва: Машиностроение, 1991.-211 с.
- Лясников, В.Н., Плазменное напыление порошковых материалов на детали электронных приборов/ В. Н. Лясников, Г, Ф. Богатырев// Обзоры поэлектронной технике-Сер.:Технология, организация производства и оборудование. -1978.-Вып .4(528). -С .7−9.
- Углов, А.А., Теплофизика плазменной обработки мелкодисперсных частиц/А.А. Углов, Е.М. Иванов// Физ. и хим. обраб. матер. -1985. -№ 2. -С. 13−21.
- Получение покрытий высокотемпературным напылением/Под ред. JT.K. Дружинина и В.В. Кудинова//-М.:Атомиздат, 1973.-312 с.
- Брусиловский Б.А. Кинетическая ионно-электронная эмиссия. М.: Энергоатомиздат, 1990. — 184 с.
- Мартыненко Ю.В. К теории распыления монокристаллов// Физика твердого тела. 1964. — Т.- 6. — С. 2003−2009.
- Borisov, A.M., The sweeping-out-electrons effect in electron emission under molecular ion bombardment/ A.M. Borisov, E.S. Mashkova, E.S. Parilis// VACUUM -2002.-V. 66.-P. 145−148.
- Распыление под действием бомбардировки частицами: Проблемы прикладной физики, Вып. З/ Под ред. Р. Бериша. и К. Виттмака//- М.: Мир, 1998. -552 с.
- Машкова, Е.С., Пространственные распределения частиц, распыленных под действием ионной бомбардировки. II. Компьютерное моделирование и экспериментальные результаты/ Е. С. Машкова, В.А. Молчанов// Поверхность. 1997. — № 12.-С. 91−108.
- Эльтеков, В.А., Взаимодействие атомных частиц с твердым телом. Компьютерное моделирование. М.: Изд-во МГУ, 1993.- 192 с.
- Hasselkamp D., Secondary emission of electrons by ion impact on surfaces. // Comments At. Mol. Phys. 1988. — V. 21, № 5. — P. 241−255.
- Карпман, В.И., Лундин Б. В., Физика плазмы. М.: Мир 1975. -Т. 5, С. 486.
- Файнберг, Я.Б., Физика плазмы. М.: Мир 1987- Т. 13. -С. 607.
- Брагинский, С.И., Вопросы теории плазмы/ под ред. Леонтовича М.А.// М.: Атомиздат, 1963.- С. 183.
- Химический состав и механизм формирования пленок кермета системы дисилицид хрома стекло/М.М. Косякика, А. В. Елисеев, К. К. Муравьева и др.//ЖПХ.-1985.-№ 10.-С. 2203−2204.
- Данилин, Б. С., Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок. -М.: Энергоатомиздат, 1989.- 201 с.
- Петвиашвили, В.И., Вопросы теории плазмы/ В. И. Петвиашвили, В.В. Яньков//. 1985, вып. 14, С. 3−12.
- Turikov, V.A., Plasma Physics Reports/ V.A. Turikov, I.V. Ulianitski// 1999, V. 25, N 11, P. 855.
- Павлов, П.В., Хохлов А. Ф. Физика твердого тела. М.: Высшая школа, 1985.-384 с.
- Гусева, М.И., Взаимодействие частиц плазмы с поверхностью/ М. И. Гусева, Ю.В. Мартыненко// Итоги науки и техники. Сер. Физика плазмы. Т. 11. М.: ВИНИТИ, 1989.-С. 150−190.
- Горев, В.В., Физика плазмы/ В. В. Горев, Г. И. Долгачев, Л. П. Закатов и др.// 1985.-Т. 11,782 с.
- Левитский, С. М., Сборник задач и расчетов по физической электронике. -Киев.: Издательство Киевского Университета., 1964. 210с.
- Туриков, В.А., Физика плазмы/ В. А. Туриков, И. В. Ульяницкий // 1999. -Т. 25, 929 с.
- Низкотемпературная плазма/ Под ред.А.В. Нейндлина//-М:Мир, 1967.631 с.
- Орешко А.Г., Физика плазмы. М.: Мир, 1991. — 679 с.
- Распыление твердых тел ионной бомбардировкой: Физ. распыление одноэлементных твердых тел. Вып.2/ Под ред. Р. Бериша// 1986. 484 с.
- Игнатов A.M., Физика плазмы, 1998. Т. 24, 8, С. 731.
- Сахаров А.С., Кирсанов В. И. Физика плазмы, 1995. Т. 21, С. 632.
- Мог fill G.E., Phys. Plasmas/ Н.М. Thomas, U. Konopka, M. Zuzic // 1999. -5,1, C-68.
- Э. Оран, Дж. Борис, Численное моделирование реагирующих потоков. М.: Мир, 1990.- С. 315−321.
- Melzer A., Homan A., Piel A., Phys.Rev. 1996, V53, Р. 3137.
- Александров А.Ф., Богданкевич Л. С., Рухадзе А. А. Основы электродинамики плазмы— М.: Мир, 1978.- 357 с.
- Granatstein, V.L., IEEE Trans. On Plasma Science. 1996, V.24, N3, P.648.
- Юшков, В.И., О связи необходимой тепловой мощности плазменной струи с теплофизическими характеристиками напыляемого материала/ В. И. Юшков, Ю. С. Борисов, //Физ. и хим. обраб. матер.-1975.-№ 4,-С. 20−25.
- Биберман, J1.JT., Кинетика неравновесной низкотемпературной плазмы. М.: Наука, 1982.- 227 с.
- Nusinovich G.S., IEEE Trans. On Plasma Science. 1996. V.24. N 3. P. 586.
- Дубинов A.E., Селемир Д. В., Письма в ЖТФ, 1999, Т.- 25, вып. 15, С. 84.
- Hasselkamp D., Secondary emission of electrons by ion impact on surfaces. // Comments At. Mol. Phys. 1988. — V. 21, № 5. — P. 241−255.
- Shulga V.I. Computer simulation of single-crystal and polycrystal sputtering II // Radiat. Effects. 1984.-v. 82.-p. 169−187.
- Бурмасов B.C., Вячеславов JI.H., Кандауров И. В., Кругляков Э. П., Мешков О. И., Санин А. Л. Физика плазмы, 1997, Т. 23, С. 142−145.
- Колгатнин, С.Н., ЖТФ, Т.-65, В.7, С. 1 -18.
- Козлов, О.В., Электрический зонд в плазме. М.: Атомиздат, 1969.- 292с.
- Хаддистоун Р., Леонард С., Диагностика плазмы. М.: Мир, 1967, 516 с.
- Физика и технология источников ионов./ Под ред. Я. Брауна// М.: Мир, 1998−496 с.
- Тихонов, А.И., Уравнения математической физики М.: Наука, 1972, 736с.
- Саблев Л.П., Долотов Ю. Л., Электродуговой испаритель металлов с магнитным удержателем катодного пятна// Приборы и техника эксперимента .-1978. -№ 4 .-С. 30−35.
- Гаврилов, Н.В., Переход дугового разряда низкого давления из контрагированного в каскадный режим горения/ Н. В. Гаврилов, Ю. Е. Крейндель, Е.М. Оке//ЖТФ. -Т. 53. -С. 1947−1951.
- Мощные генераторы низкотемпературной плазмы и методы исследования их параметров/Под ред.Ф. Г. Рутберга.-.Л.:ВНИИ электромаш, 1977. -127 с.
- Gordeev A.V., Kingsep A.S., and Rudakov L.I., Phys. Reports, 1994, — V. 243,1. P. 215.
- Козырев A.B., О тепломассообмене мелкодисперсных материалов/письма в ЖТФ, 2007.- С. 53−87.
- Дородное, A.M., Некоторые применения плазменных ускорителей в технологии/УФизика и применение плазменных ускорителей: Сб. научн. трудов /Наука и техника.-М. 1974.-С. 330−365.
- Дородное, A.M., Плазменные ускорители/ A.M. Дородное, Н. П. Козлов // М: МВТУ им. Баумана, 1975.-108 с.
- Даутов Г. Ю., Дзюба В. Л., Мазурайтис Н. С., Плазмотрон промышленного типа//Физ. и хим. обраб. матер.-1971 .-№ 6.-С. 45−49.
- Технология и оборудование/Юбзоры по электронной технике.-Сер.: Технология, организация производства и оборудование.-1981.-Вып. 18 (833).-С. 7−12.
- Варгафтик, Н.Б., Справочник по теплофизнческим свойствам газов и жидкостей.-М.:Наука, .1972.-С. 20−50.
- Барченко В.Т., Колгин Е. А. Ионно-плазменные технологии в электронном производстве /Под ред. Быстрова Ю. А. СПб.: Энергоатомиздат. Санкт-Петербургское отд-ние, 2001. 332 с.
- Денисов А.Г., Черняк Е. Я., Козлов А. А., Ионно-плазменные источники в технологии микроэлектронных приборов. Обзоры по электронной технике. Сер. 7, 1982, № 14, 65 с.
- Барченко В.Т. Исследование физических явлений и некоторые вопросы разработки плазменных источников электронов. Автореф. дис. канд. техн. наук. Л.: 1978, 17 с.
- Бредихин М.Ю., Зеленский В. Ф., и др. Источник многозарядных ионов. -Приборы и техника эксперимента, 1981, № 6, С. 147−149.
- Каштанов, П.В. Магнетронная плазма и нанотехнология/ П. В. Каштанов, Смирнов Б. М., Хипплер// Успехи физических наук. Обзоры актуальных проблем. Т. 177, № 5, УФН, М., 2007, С. 473 501
- Крестова, Н.А., Полякова О. И., К вопросу об устойчивости токопрохождения через диафрагмированные промежутки в водородном разряде низкого давления. Электронная техника. Сер. 3. Газоразрядные приборы, 1980, в. 2, С. 22−26.
- Лесков, Л.В., Теория электромагнитных ускорителей плазмы, М.: Изд. МВТУ, 1973 .-С. 30−35.
- Комар, Е.Г., Основы ускорительной техники. М.: Атомиздат, 1975, 367с.
- Бредихин, М.Ю., Ускорительный комплекс тяжелых ионов. Вопросы атомной науки и техники/ М. Ю. Бредихин, В. Ф. Зеленский, и др.//Сер. Общая и ядерная физика, Харьков: ХФТИ АН УССР, 1980, вып. 2(12), С. 65−69.
- Зеленский В.Ф., Хоренко В. К., Рубашков В. Г. и др. Инжектор ионов металлов для электростатического ускорителя. Вопросы атомной науки и техники. Сер. Общая и ядерная физика. Харьков: ХФТИ АН УССР, 1980, вып. 2(12), с. 42−47.
- Быстрое, Ю.А., Ускорительная техника и рентгеновские приборы/ Ю. А. Быстрое, С.А.Иванов//-М.: Высшая школа, 1983.- 328 с.
- Плазменные ускорители/ Под ред.Л.А.Арцимовича/ЛМ.Машинострое-ние, 1973.-С. 120−125.
- Тимофеева, Г. Г., Особенности прохождения большого тока через сужение газоразрядного прибора низкого давления// Электронная техника. 1970.-Сер.З, Вып.3(19).-С. 41−46.
- Основы расчета плазмотронов линейной схемы/ Под ред.М. Ф. Жукова. -НовосибирскРАН СССР .Сиб.отделение Ин-т теплофизики, 1979.-148 с.
- Барченко, В.Т., О влиянии магнитного поля на эффект усиления плазменного тока/ В. Т. Барченко, А. В. Задера, А.Ю. Соколовский// В межвуз. сб. науч. тр.: Вакуумная и газоразрядная электроника. Рязань: РРТИ, 1984, С. 33−36
- Герасимов, Е.И., Источники многозарядных ионов/ Е. И. Герасимов, В. П. Голубев, С.А. Никифоров//- М., НИИЭФА, обзор ОД-28, 1979.- 211 с.
- Чайковский, Э.Ф., Дуоплазматрон для получения ионов углерода/ Э. Ф. Чайковский, В. М. Пузиков, А. В. Семенов //- ПТЭ, 1981, № 2, С. 163−166.
- Габович, М.Д., Физика и техника плазменных источников ионов. М.: Атомиздат, 1972.- 304 с.
- Лабунов В.А., Рейсе Г. Ионно-лучевые источники для обработки поверхности твердых тел и получения тонких пленок/ В. А. Лабунов, Г. Рейсе//-Зарубежная электронная техника, 1982, № 1, С. 73−112.