Осаждение алмазоподобных пленок и образование трехмерных периодических структур при импульсном лазерном нагреве
Диссертация
Полевая (холодная) эмиссия электронов периодическими трехмерными структурами .130. Спектральный анализ теплового излучения ТПС на нержавеющей стали.113. Выводы по тепловой излучательной способности ТПС на металлах .128. Оптические характеристики образцов тугоплавких металлов .122. Спектральная установка, измерения и калибровка системы .111. Поверхностный анализ образцов из нержавеющей стали.118… Читать ещё >
Содержание
- Глава 1. Введение
- 1. 1. Литературный обзор и постановка задачи
- 1. 2. Краткое содержание работы
- 1. 3. Аналитические методы
- 1. 4. Источники лазерного излучения
Список литературы
- D. BSuerle, Laser Processing and Chemistry, 3rd edition, (Springer-Verlag, Berlin, Heidelberg 2000)
- A.I. Nekhaev, E.I. Bagrii, A.V. Kuzmichev, V.P. Ageev, V.I. Konov, A.I. Mikaya, and V.G. Zaikin, Mendeleev Comm., 23, 18 (1991).
- V.P. Ageev, V.I. Konov, and A.V. Kuzmichev, SPIE Vol. 1033 Third Int. Conference on Trends in Quantum Electronics"192 (1988).
- A.V. Simakin, E.D. Obraztsova, and GA. Shafeev, Chemical Physics Letters, 332 (2000) 231.
- В.П. Агеев, И. Н. Белоконь, В. И. Конов, A.B. Кузьмичев, Краткие сообщения по физике, вып. 12, 16−18 (1987).
- Б.И. Галаган, П. Д. Дохнов, К. М. Дюмаев, И. В. Комлев, Г. А. Матюшин, М. И. Трибельский, Квантовая электроника, 9(1982) 291.
- S.I. Doldaev, V.V.Voronov, and G.A. Shafeev, Heteroepitaxial growth of oxides on sapphire induced by laser radiation in the solid-liquid interface, Appl. Phys. A66 (1998) 87−92.
- S.I. Dolgaev, N.A. Kirichenko, and GA. Shafeev, Deposition of nanostructured СГ2О3 on amorphous substrates under kaser irradiation of the solid-liquid interface, Appl. Surf. Sci. 138−139(1999)449−454
- Н.В. Карлов, Б. С. Лукьянчук, Е. В. Сисакян, ГЛ. Шафеев, Травление полупроводников продуктами термодисоциации молекулярных газов, Квантовая электроника, 12 (1985) 803−809.
- АЛ. Lyalin, E.N. Loubnin, A.V. Simakin, and G.A. Shafeev, Laser deposition of amorphous diamond-like films from liquid aromatic hydrocarbons, Appl.Phys., A68, 373−376 (1999).
- A.A. Lyalin, E.N. Loubnin, A.V. Simakin, and G.A. Shafeev, Deposition of diamond-like films upon laser irradiation of the interface of a transparent substrate with liquid aijmatic hydrocarbons. Thin Solid Films, 357, (1999) 144−150.
- G.A. Shafeev, A.V. Simakin, A.A. Lyalin, E.D. Obraztsova, and V.D. Frolov, Appl.Surf.ScL, 138−139 (1999) 461−464.
- A.A. Лялин, B.A. Бобырев, E.H. Лубнин, A.B. Симакин, ГЛ. Шафеев, Осаждение алмазоподобных пленок при лазерном облучении границы раздела жидких углеводородов с прозрачной подложкой, Квантовая электроника, 27 (1999) 73−77.
- А.В. Симакин, Е. Н. Лубнин, Г. А. Шафеев, Самоограничение толщины алмазоподобной пленки осаждаемой при лазерном пиролизе ароматических углеводородов, Квантовая электроника, 30,263 (2000).
- A.V.Simakin, E.D.Obraztsova, and вЛ. Shafeev, Laser-induced carbon deposition film supercritical benzene, Chem.Phys.Letts., 332 (2000) 231−235.
- E.N. Loubnin, A.V. Simakin, and G.A. Shafeev, Laser deposition of amorphous diamondlike films from liquid aromatic hydrocarbons, Appl. Surf. Sci., 154−155 (2000) 405−410.
- E.N. Loubnin, A.V. Simakin, and GA. Shafeev, Ablation of transparent solids during self-limited deposition of diamond-like films from liquid hydrocarbons, Appl. Phys. A69 Suppl. S267-S269 (1999).
- E.N. Loubnin, A.V. Simakin, and GA. Shafeev, P. Doppelt, Laser-assisted deposition of Pd-doped diamond-like films from liquid hydrocarbons and their use for glass metallization, Appl. Surf. ScL, 186 (2002) 546−551.
- D. Zhou, F. A. Stevie, E. Anoshkina, H. Francois-Saint-Cyr, K. Richardson, A. Hussain, and L. Chow, AMC 99, MRS Proceedings, 313 (2000).
- W. L. Gladfelter, Chem. Mater., 5, 1372 (1993). P. Doppelt, Coordination. Chem Aev., 178−180,1785 (1998).
- J. S. H. Cho, H.-K. Kang, S. S. Wong, and Y. Shacham-Diamand, MRS 5"//.XVIII (6), 31 (1993).
- G.A. Shafeev, J.-M. Themlin, L. Bellard, W. Marine, and A. Cros, J. Vac.Sci.Technol., A 14(2), 319 (1996).
- Глава 3. Образование самоорганизующихся трехмерных периодических структур при импульсном лазерном плавлении твердых тел
- З.З.Экспернментальные результаты 3.3.1 РостТПС на кремнии
- Рис. 3.2 Скол кремниевой пластины, показывающий глубину модифицированной области. Лазерное воздействие в воздухе. Слой окисла снят травлением в водном растворе НР. Масштабная метка соответствует 40 мкм.
- При изменении угла падения излучения на образец изменяется наклон микроструктур: их рост происходит навстречу лазерному пучку, как это показано на рис. 3.3.
- Рис. 3.3 Микроколоны на поверхности кремния, образующиеся при наклонном падении лазерного пучка на образец.
- Рис. 3.4 Дифракгограмма монокристаллического кремния ориентации (100) в режиме 0/20 сканирования с микроструктурами, возникающими при облучении в воздухе. Амплитуда пика (100) выходит за пределы шкалы измерения.