Формирование электропроводящих полосковых структур с нанометровыми размерами
Диссертация
Экспериментаторы и технологи достаточно давно оперируют со структурами и объектами, характеризуемыми нанометровы-ми размерами. Это относится, прежде всего, к различным поликристаллическим материалам, керамикам, многослойным тонкоплёночным структурам. Физические процессы, происходящие при формировании и функционировании структур с нанометровыми размерами, существенно отличаются от процессов… Читать ещё >
Содержание
- глава 1. ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР
- 1. 1. Метод молекулярно-пучковой эпитаксии и его применение в технологии создания полупроводниковых лазерных структур
- 1. 2. Проблемы формирования объектов с нанометровыми размерами при помощи сканирующего туннельного микроскопа
- Глава 2. ФОРМИРОВАНИЕ ЗАРОЩЕННЫХ МЕЗА-ПОЛОСКОВЫХ ЛАЗЕРНЫХ СТРУКТУР С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ МОЛЕКУЛЯРНО-ПУЧКОВОЙ ЭПИТАКСИИ
- 2. 1. Формирование полуизолирующих и высокоомных полупроводниковых эпитаксиальных слоев А1хОа1хАз методом МПЭ
- 2. 2. Особенности создания зарощенных меза-полосковых структур
- 2. 3. Технологический маршрут создания зарощенной меза -полосковой лазерной структуры
- 2. 4. Обработка предростовой поверхности
- 2. 5. Формирование топологии и рельефа зарощенной меза-полосковой лазерной структуры
- 2. 6. Формирование оптимального теплового контакта
- 2. 7. Влияние характера загрязнений поверхности подложки на морфологию растущего эпитаксиального слоя
- 2. 8. Реализации технологического маршрута зарощенной меза -полосковой лазерной структуры
- 2. 9. Повторный эпитаксиальный рост при формировании сложных структур на основе арсенида галлия методом МПЭ
- 2. 10. Некоторые проблемы метрологии при создании зарощенных меза-полосковых лазерных структур с применением МПЭ
- 2. 11. Выводы к Главе
- Глава 3. ФОРМИРОВАНИЕ НАНОМЕТРОВЫХ ПОЛОСКОВЫХ ЭЛЕМЕНТОВ НА ПРОВОДЯЩИХ ПОВЕРХНОСТЯХ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ СТМ
- 3. 1. Характеристика используемого метода формирования нанометровых объектов на поверхности твердого тела
- 3. 2. Возможные механизмы формирования нанообъектов при минимальной толщине адсорбированного слоя
- 3. 3. Комплекс оборудования для формирования объектов с нанометровыми характерными размерами на базе СТМ
- 3. 4. Объекты исследований, используемые реагенты, поверхностные тонкоплёночные структуры и подложки, используемые для формирования нанометровых объектов
- 3. 5. Локальное вакуумное осаждение полосковых проводящих элементов с помощью СТМ
- 3. 6. Особенности формирования проводящих полосковых структур с нанометровыми размерами с использованием подложек различного состава
- глава 4. ОБСУЖДЕНИЕ РЕЗУЛЬТАТОВ
Список литературы
- Лускинович П.Н., Рыжиков И. А. Рейтблат Г. М., Мацнев Е. А. Разработка опытного образца передающего интегрально-оптического модуля для ВОЛС // Отчет НИИ «Дельта». Гр.ф. 22 487. М. 1985. 81с.
- Лускинович П.Н., Рыжиков И. А., Рейтблат Г. М., Федотов С. М., Варганов A.B. Создание физической модели, методов расчета и экспериментальное исследование интегрально-оптических схем // Отчет НИИ «Дельта» Гр.ф. 26 282. М. 1986. 57с.
- Соболев А.Г., Рыжиков И. А. Кочетков, Е.Д., Федотов С. М. Исследование возможности создания технологии изготовления активных структур типа металл-диэлектрик-металл// Отчет НИИ «Дельта» Гр.ф. 27 194. М. 1987. 51с.
- Леонов Ю.С., Меншутин JI.H., Рыжиков И. А., Федотов С. М. ВУФ-очистка подложек арсенида галлия от полимеров// Электронная промышленность. 1990. № 5. С.3−5.
- Nikishin V.I., Luskinovich P.N., Ryzhikov LA. Nanotechnological complex // Proc. NANO-1. Abstracts. Baltimore. 1990. P. 120.
- Калинушкин В.П., Калмыков И. В., Рыжиков И. А., СимачевИ.Р., Шокин А. А. Формирование зарощенных меза-полосковых лазерных структур// Препринт ИОФ РАН № 31, Отдел прикладных проблем. Микроэлектроника, Москва. 1991. 11 с.
- И.Свахин А. С., Рыжиков И. А. Сегрегация углерода на поверхности в процессе изотермического отжига в вакууме //Известия АН. Сер. Неорганические материалы. 1991. Т.27. № 11. С.2430−2432.
- Рыжиков И.А., Меншутин JI.H., Филиппов А. С. Способ выращивания высокоомного слоя // Положительное решение ВНИИГПЭ от 10.04.91 г.
- Louskinovich P.N., Nikishin V.I., Pyzhikov I.A. Nanoelectronics based on scanning tunneling microscopy// IEEE International Solid-State Circuits Conference, USA, Abstracts. 1992. P.64.
- Ryzhikov I.A., Luskinovich P.N., Gutman E.E. Technological aspects of cluster films applications in nanoelectronics with the use of SIM// Proc. NANO-3. Abstracts. 1994. P.256.
- Ryzhikov L.A., Kuzkin V. L, Maklakov S.A., Obukhov LA. The shade efect on STM-stimuleted local deposition of the organic nano-objects// Proc. NANO-4. Abstracts. Beijing. 1996. P.lll.
- L.A. Ryzhikov, S.A. Maklakov, L.A. Obukhov II STM-induced local sensor effect on SiWx films. Proc. NANO-4. Abstracts. Beijing. 1996. P.113.
- Ryzhikov L.A. Nanolitography onsurface of SiWx and ITO film by STM// Proc. «Russian Research and Development Activities on Nanoparticles and Nanostractured Materials». St.-Peterburg. 1997. P.81 -83.
- Рыжиков И.А. Нанотехнология сегодня// 7-я Международная крымская конференция «СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии» Крымико-97. Севастополь. 1997. Т. 1. С.69−12.
- Kirk W.P., Reed М.А. (Eds.) Nanostructures and Mesoscopic Systems. N.Y. Academic Press. 1992. 250p.
- Marrian C.R.K, Cerrina F. (Eds.) Materials Fabrication and Patterning at the Nanoscale. N.Y. Materials. 1995. 203p.
- Marrian C.R.K. (Ed) Technology of Proximal Probe Lithography N.Y. SOIE-International Society for Optical Engineering. 1993. 413p.
- Hingle H.T., Gardener J.W. (Eds.) From Instrumentation to Nanotechnology. N.Y. Gordon & Breach Publishers. 1999. 336p.
- Chimcky R.M. (Ed) Nano: The Emerging Science of Nanotechnology N.Y. Little, Brawn & Co. 1995. V.l. 325p.
- Drexler K.E. Molecular manufacturing: perspectives on the ultimate limits of fabrication. Ultimate Limits of Fabrication and Measurement. Dordrecht. Kluwer Academic Publishers. N.Y. 1995. 273p.
- Drexler K.E. Molecular tip arrays molecular imaging and nanofabrication: Journal of Vacuum Science and Technology 1991. V. B9. P.1394−1397.
- National Nanotechnology Initiative: Leading to the Next Industrial Revolution. International government report to the President’s FY 2001 Budget. N.Y. 2000. 106p.
- Nanostructure Science and Technology. NSTC Report. Worldwide status and trends. Kluwer Academic Publishers. N.Y. 1999. 336p.
- W.J. Lorenz (Ed) Electrochemical Nanotechnology: In Situ Local Probe Techniques at Electrochemical Interfaces. N.Y. Wiley John & Sons. Inc. 1998. 303p.
- Advanced Research Workshop. lie de Beudon, France. July 17−21. 1995. N.Y. Kluwer Academic Publishers. 1996. P.74−79
- Roco M.C., Williams R.S., and Alivisator P. (Eds) Nanotechnology Research Directions. Vision for Nanotechnology in the Next Decade. N.Y. Kluwer Academic Publishers. 2000. 218p.
- Jewell J.L., Harbision J.P., Softener A., Lee Y.H. and Florez L.T. Vertical-Cavity Surface-Emitting Lasers: Design, Growth, Fabrication, Characterization// IEEE Journal of Quantum Electronics. 1991. V.27. N6. P.1332−1346.
- Рыжиков И.А. Нанотехнология сегодня // 7-я Международная крымская конференция «СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии» Крымико-97. Севастополь. 1997. T.l. С.69−72.
- Калинушкин В.П., Калмыков И. В., Рыжиков И. А., СимачевИ.Р., ШокинА.А. Формирование зарощенных меза-полосковых лазерных структур// Препринт ИОФ РАН № 31, Отдел прикладных проблем. Микроэлектроника, Москва. 1991. 11с.
- Свахин А. С., Рыжиков И. А. Сегрегация углерода на поверхности в процессе изотермического отжига в вакууме //Известия АН. Сер. Неорганические материалы. 1991. Т.27. № 11. С.2430−2432.
- I.A. Ryzhikov, S.A. Maklakov, I.A. Obukhov// STM-induced local sensor effect on SiWx films. Proc. NANO-4. Abstracts. 1996. P.113.
- Cho A. Y. Recent development in MBE // Journal of Vacuum Science and Technology. 1979. V.16. N2. P.272−284.
- Hastimoto H., Hiyamizu S. MBE of 111-Y compounds and its applications for devices //Electrochemical Society Japan. 1982. V.50. N7. P.10−95.
- Tsang W.T. Heterostructure Semiconductor lasers prepared by MBE // Journal of Quantum Electronics. 1984. V. QE-20. N10. P.1119−1153.
- Foxon C.T., Joyce B.A. Fundamental aspects of MBE // Current Topics in Materials Science: E.Kaldiz.North Holland. 1981. V.l. P.276−305.
- Ржаное А.В., Стенин С. И. Молекулярная эпитаксия: состояние вопроса, проблемы и перспективы развития // Рост полупроводниковых кристаллов и пленок. Новосибирск. 1984. С. 5−53.
- Патент № 3 928 092. 1974. США.
- Патент № 3 929 527. 1974. США.
- Патент № 4 447 276. 1981. США.
- Патент № 442 637. 1981. США.
- Заявка № 59−33 967. 1980. Япония.
- Авторское свидетельство № 300 714. 1977. СССР.
- Заявка № 1 574 525. 1977. Великобритания.
- Заявка № 59−17 521. 1980. Япония.
- Заявка № 58−41 655. 1975. Япония.
- Заявка № 58−11 887. 1975. Япония.
- Заявка № 2 075 555. 1981. Великобритания.
- Патент № 4 464 342. 1982. США.
- Заявка № 149 207. 1973. Великобритания.
- Патент№ 4 088 515. 1978. США.
- Заявка № 26 179 125. 1983. Франция.
- Патент 3 45 518 846. 1984. США.
- Заявка № 25 323 334. 1982. Франция.
- Патент № 4 412 771. 1981. США.
- Заявка № 113 983. 1982. Европейское патентное ведомство.
- Заявка № 55−28 216. 1975. Япония.
- Заявка № 60−22 513. 1983. Япония.
- Заявка № 60−22 313. 1983. Япония.
- Патент№ 4 529 455. 1983. США.
- Херман М. Полупроводниковые сверхрешетки. М.: Мир. 1989. 240с.
- Зи С. Физика полупроводниковых приборов. М.: Мир. 1984. Т.1,2. 912с.
- Кейси X Лазеры на гетероструктурах. М.: Мир. 1981. Т. 1,2. 364с.
- Леонов Ю.С., Меншутин Л. Н., Рыжиков И. А., Федотов С. М. ВУФ-очистка подложек арсенида галлия от полимеров // Электронная промышленность. 1990. № 5. С.3−5.
- Casey U.C., Cho I.A., Nicollian F.H. Use of oxygen-doping for design semuinsulated layers of AlxGai. xAs // Journal of Applied Physics Letters. 1978. V.32. N10. P.678−679.
- Contour J.P., Massies I. Saletes A.X. X-Ray photoelectron Spectroscopy of GaAs (001) and InP (001) cleaning procedures prior to MBE // Japanese Journal of applied Physics. 1985. V.24. N7. P.563−565.
- Wang Y.H., Liu W.C., Lido S.A. et al On the surface defects of MBE grown GaAs layers // Japanese Journal of Applied Physics. 1985. V.24. N5. P.628−629.
- Watanabe N., Fukunaga Т., Kobanashi H.L.I. Surface defect formation in GaAs layers grown on intensionally contaminated substrate by MBE// Japanese Journal of Applied Physics. 1985. V.24. N7. P.498−5500.
- Louskinovich P.N., Nikishin V.I., Pyzhikov LA. Nanoelectronics based on scanning tunneling microscopy// IEEE International Solid-State Circuits Conference, USA, Abstracts. 1992. P.64.
- Быковский А.Ю., Кочетков Е. Д., Лускинович П. Н., Рыжиков И. А., С агатов С. И., Соболева Е. М., Соболев А. Г., Усков А. В., Шокин А.А.
- Структура металл-барьер-металл (МБМ): нелинейные свойства и возможные применения // Интегральная оптика. Физические основы, приложения. Новосибирск. Наука. Сибирское отделение. 1986. С.25−36.
- Лускинович П.Н., Рыжиков И. А., Рейтблат Г. М., Федотов С. М., Варганов А. В. Создание физической модели, методов расчета и экспериментальное исследование интегрально-оптических схем// Отчет НИИ «Дельта» Гр.ф. 26 282. М. 1986. 57с.
- Соболев А.Г., Рыжиков И. А. Кочетков, Е.Д., Федотов С. М. Исследование возможности создания технологии изготовления активных структур типа металл-диэлектрик-металл// Отчет НИИ «Дельта» Гр.ф. 27 194. М. 1987. 51с.
- Рыжиков И.А., Меншутин JI.H., Филиппов А. С. Способ выращивания высокоомного слоя // Положительное решение ВНИИГПЭ от 10.04.91 г.
- Запорожченко В И, Матин Е М, Степанова М. Г. Изменение состава поверхности двухкомпонентной мишени под действием низкоэнергетических ионных пучков // Известия РАН сер. Физическая. 1995. Т.59. № 10. С.147−151.
- Nikishin V.L., Luskinovich P.N., Ryzhikov I.A. Nanotechnological complex // Proc. NANO-1. Abstracts. Baltimore. 1990. P. 120.
- Nikishin V. L, Luskinovich P.N., Ryzhikov L.A., Denisov A.V. Nanotechnological systems // Proc. NANO-2. Herald of Russian Acad. Tech. Sci. 1994. V.l. N7. P.18−28.
- Monk P.M.S., Mortimes RJ., Rosseinsky D.R. Electrochromism: Fundamentals and Applications. Berlin. VCH Verlag. mbH. 1995. 203p.
- Ryzhikov I.A. Nanolitography onsurface of SiWx and ITO film by STM// Proc. «Russian Research and Development Activities on Nanoparticles and Nanostructured Materials». St.-Peterburg. 1997. P.81−83.
- Пухов А. А., Рыжиков И. А. Формирование электропроводящих структур с нанометровыми размерами// Препринт ОИВТ РАН № 1−442. Москва. 2000. 57с.