Разработка технологического процесса лазерного параллельного термораскалывания хрупких материалов
Диссертация
Апробация работы. Основные результаты диссертационной работы докладывались на международных конференциях «Информационные технологии и моделирование приборов и техпроцессов в целях обеспечения качества и надёжности» (Тунис, 2005), «Информационные технологии в науке, технике и образовании» (Египет, 2007), «Новые материалы и технологии в г авиационной и ракетно-космической технике» (г. Королев… Читать ещё >
Содержание
- 1. Анализ существующих технологий изготовления тонких пластин
- 2. Математическая модель процесса лазерного параллельного термораскалывания
- 3. Исследование процесса лазерного параллельного термораскалывания стекла
- 3. 1. Оборудование и материалы, применяемые для экспериментов
- 3. 2. Зарождение параллельной трещины
- 3. 3. Влияние режимов резки на параметры параллельной трещины
- 3. 4. Управление профилем параллельной трещины
- 3. 5. Резка несколькими пучками излучения
- 3. 6. Выход параллельной трещины на край материала
- 3. 7. Описание технологии резки с помощью ЛПТ
- 3. 8. Выводы по главе 3
- 4. Исследование процесса лазерного параллельного термораскалывания анизотропных материалов
Список литературы
- Кондратенко B.C., Шершнев Е. Б. Получение стеклянных пластин заданной толщины методом лазерного управляемого термораскалывания // Специальная электроника. Сер. 11. Лазерная техника и оптоэлектроника. — 1985. — Вып. 1(11).-С. 12.
- Победря Б.Е. -Численные методы в теории упругости и пластичности, М., МГУ, 1995
- Коваленко ДД. -Основы термоупругости, Киев, Наукова думка, 1970
- Новацкий В. -Теория упругости, М, Мир, 1975
- Л.Д.Ландау, Е. М. Лифшиц Теория упругости, т. VII, М., Наука, 1987
- I.N.Sneddon, M. Lowengrub -Crack problems in the classical theory of the elasticity, N.Y., John Wiley&Sons, Inc, 1969
- Кондратенко B.C., Борисовский B.E., Гиндин П. Д., Сорокин A.B., Наумов А. С. Устройство контроля трещины в процессе лазерного управляемого термораскалывания стекла. Приборы, № 6 (60), 2005. Москва. — с. 9 — 10.
- Кондратенко B.C., Борисовский В. Е., Гиндин П. Д., Колесник В. Д., Сорокин A.B., Черных СЛ., Наумов A.C. Установка для лазерной резки приборных пластин. Приборы, № 4 (70), 2006. Москва. с. 38 — 43.
- Кондратенко B.C., Гиндин П. Д., Борисовский В. Е., Колесник В. Д., Сорокин A.B., Российские высокие технологии в производстве приборов микро и оп-тоэлектроники. «Интеграл», № 6. 2008. Москва. — с. 8−9.
- Кондратенко B.C., Гиндин П. Д., Колесник В. Д., Сорокин А. В. Установка для лазерной резки полупроводниковых пластин РТ-350. Труды МНТК «Инновационные технологии в науке, технике и образовании», 14−21 ноября 2009 г., Египет, М.: МГУПИ. 2009. с.6
- Ю.Кондратенко B.C., Сорокин А. В. Оптимизация режимов лазерного параллельного термораскалывания стекла. Труды МНТК «Инновационные технологии в науке, технике и образовании», 14−21 ноября 2009 г., Египет, М.: МГУПИ. 2009. с.
- А. С. 708 686 СССР, МКИ4 С03 В 33/02. Способ резки стекла / Е. К. Белоусов, В. С. Кондратенко, В. В. Чуйко (СССР). 1977.
- Патент РФ № 2 024 441, МКИ5 СОЗ В 33/02. Способ резки хрупких материалов / В. С. Кондратенко. 1991.23 .Lerner Е. J. Laser tackles tough cuts lice diamonds. Laser Focus World, July 1999.
- Kondratenko V., Gindin P., JeongJ.-Y, Lee S.-J. Laser Cutting System for FPD1. Г
- Glass //13 FPD Manufacturing Technology Expo& Conference «Finetech Japan», July 2−4, 2003, Tokyo, Japan.
- Патент РФ № 2 224 648, МКИ5 СОЗ В 33/02. Способ резки хрупких неметаллических материалов / В. С. Кондратенко, П. Д. Гиндин. — 2002.
- Бочкин О.И., Брук В. А., Никифорова-Денисова С.Н. Механическая обработка полупроводниковых материалов. М.: Высшая школа, 1983. 112с.
- Обработка полупроводниковых материалов. В. И. Карбань, И. Кой, В. В. Рогов и др.: под. ред. Новикова Н. В., Бертольди В. Киев: Наукова думка, 1982. 256с.31 .Резка неметаллических материалов алмазными кругами, Г. В. Шуваев, В.К.
- Сорокин, Ю.Н. Зимицкий, «Машиностроение», Москва, 1989.
- Park J., Sercel P. «High-speed UV laser scribing boosts blue LED industry,»
- Compound Semiconductor, December 2002, Volume 8, Number33. Mingwei Li, Andrew Held «Meeting industry needs with laser micromachining,»
- Solid State Technology, October 2003.
- Conversations with Jeff Sercel, president, JPSA Inc., Hollis, NH, a laser integrator that provides turnkey laser workstations to the semiconductor industry and contract laser-manufacturing services.
- Bernold Richerzhagen «Chip singulation process with a-water jet-guided laser,» Solid State Technology, April 2001.
- B. Richerzhagen, «Development of, a System for Transmission of Laser Energy,» thesis work, EPFL, Switzerland, 1994.
- B. Richerzhagen, G. Delacretaz, R.P. Salathe, «Complete Model to Simulate the Thermal Defocusing of a Laser Beam Focused in Water,» Optical Engineering, 1996.
- Lumley R. M. Controlled separation of brittlo materials used a laser. J. Of the Amer. Cer. Soc., 1969. -V. 48, № 9. P. 850.
- Сшшгава M. Лазерная обработка материалов // Кикай-но кэнкю. 1972. — Т. 23, № 12.-С. 1.
- Pat. 1 254 120 (Brit.) Methods of dividing substrates / C.E.Graham, R.M.Lumley, D.J.Oberholser. Filed 1967.41 .Taming the mighty laser. Machine and tool blue book, 1968. — № 8. — P. 104 112
- Pat. 1 324 903 (Brit.) Methods and apparatus for parting substrates / R.M.Lumley. Filed 1970 in USA.
- A5.Higuchi Т., Miyazama Т., Joshida H. Application of laser to drilling and cutting. Mitsubishi Denki, 1971, — V. 45, № 10. — P. 1298.
- Пат. 2 066 955 Франция, МКИ C03 С 5/00. Способ расплавления шихты для производства стекла или стеклокерамики лучом лазера на СОг
- Управляемое термораскалывание стекла с помощью лазерного излучения / Е. К. Белоусов, В. С. Кондратенко, Г. А. Мачулка, В. В. Чуйко // Электронная промышленность. 1978. — № 9. — С. 65.
- Л А. Мачулка, «Лазерная обработка стекла», Москва, Советское радио, 1979, с.134
- Солинов В.Ф., Кондратенко B.C., Брауде В. М. Раскрой листового силикатного стекла методом термораскалывания // Техника, экономика, информация. Сер. Техника. 1982. — Вып. 6−7. — С. 47.
- Кондратенко B.C. и др. Анализ процесса сквозного лазерного термораскалывания листового стекла / Кондратенко B.C., Танасейчук А. С., Шершнев Е. Б. М.: Деп. ЦНИИ «Электроника». — Р 4776.51 .РедиД. Промышленные применения лазеров. М.: Мир, 1981. — С. 462.
- Солинов В.Ф., Кондратенко B.C., Брауде В. М. Влияние хладагента на процесс лазерного управляемого термораскалывания стекла // Техника, экономика, информация. Сер. Технология производства. 1983. — Вып. 2. — С. 12.
- Кондратенко B.C. Разработка и внедрение новых высокоэффективных методов прецизионной обработки изделий из стекла: Дис. докт. техн. наук. -Л., 1989.-491 с.
- Справочник химика. Том 1 / Под ред. Б. П. Ннкульского. М.: Госхимиздат, 1963.-1072 с.
- Кондратенко B.C., Танасейчук A.C., Шершнев Е. Б. Особенности процесса лазерного управляемого термораскалывания листового стекла по криволинейному контуру // Электронная техника. Сер. 11. Лазерная техника и опто-электроника. 1986. — № 4(40). — С.46.
- Международная патентная заявка PCT/RU94/276, WO 96/20 062. Способ резки неметаллических материалов и устройство для его осуществления/ В. С. Кондратенко. -1994.
- Kondratenko V., Tchernykh S., Gindin Р., Lee S.-J., Kozhuchov L, Goncharov S. Laser Controlled Thermocracking Process Mathematical Model // Лазеры в науке, технике, медицине: Тез.докл.Международной конф. 15−19 сентября 2003 г., Адлер.
- Мачулка Г. А. Разрушающие напряжения в стекле при лазерном термораскалывании // Электронная техника. Сер. 11. Лазерная техника и оптоэлектро-ника.- 1979.-№ 3.-С. 37.
- Рыкалин H.H. Расчеты тепловых процессов при сварке. М.: Матгиз, 1951.-С. 165.
- Кондратенко B.C., Сердюков А. Н. Нагрев материалов движущимся лазерным источником // Тез. докл. Всесоюзн. сем. 1982 г. по лазерной технологии в приборостроении. — М., 1983. С. 83.
- Кондратенко B.C., Сердюков А. Н. Расчет температурных полей при лазерном управляемом термораскалывании // Электронная техника. Сер. 11. Лазерная техника и оптоэлектроника. 1984. — Вып 5(31). — С. 62.
- Термоупругие поля в твердых телах при его обработке лазерными пучками специальной формы / Б. В. Бокуть, В. С. Кондратенко, В. Н. Мышковец и др. Минск: Изд-во ИФ АН БССР, 1987. — 59 с.
- Кондратенко B.C., Сердюков А. Н., Шалупаев C.B. Лазерный нагрев материалов при термораскалывании с учетом теплоотдачи // Электронная техника. Сер. 11. Лазерная техника и оптоэлектроника.—1987,-№ 1(41).-С.7.
- Стекло. Справочник / Под ред. Н. М. Павлушкина. М.: Стройиздат, 1973.- 487 с.
- Уонд X. Основные формулы и данные по теплообмену для инженеров. Пер. с англ./ Справочник.- М.: Атомиздат, 1979.- 216 с.
- Каталог оптических материалов. — www.optotl.ru.6%.Мачулка Г. А. Разрушающие напряжения в стекле при лазерном термораскалывании // Электронная техника. Сер. 11. Лазерная техника и оптоэлектроника. 1979. — № 3. — С. 37.
- Рыкалин Н.Н. Расчеты тепловых процессов при сварке. М.: Матгиз, 1951.-С. 165.
- Паркус Г. Неустановившиеся температурные напряжения. М.: Физмат-гиз, 1963.-252 с.
- Боли Б., УэйнерДж. Теория температурных напряжений. — М.: Мир, 1964. -517 с.
- Снеддон И. Преобразование Фурье. -М.: ИЛ, 1955. 667 с. 75. Термоупругость тел при переменных коэффициентах теплоотдачи / Я. С. Подстригач, Ю. М. Коляно, В. И. Громовик, В. Л. Лобзень. — Киев: Навукова думка, 1977. — 160 с.