Аномальный тлеющий разряд в процессах нанесения функциональных покрытий
Диссертация
Проведены комплексные экспериментальные исследования параметров аномального тлеющего разряда в скрещенных электрическом и 5 магнитном полях в процессе нанесения неоднородных по структуре покрытий. Определены вольтамперные характеристики разряда, распределения плавающего потенциала, температуры. аномального тлеющего разряда, зависимости скорости напыления покрытия от мощности разряда во всех… Читать ещё >
Содержание
- Глава 1. Низкотемпературная плазма и ее применения для нанесения покрытий
- 1. 1. Низкотемпературная плазма в процессе нанесения функциональных покрытий
- 1. 2. Характеристики функциональных покрытий, полученных с помощью низкотемпературной плазмы
- 1. 3. Применения ЭПР в исследованиях систем титан кислород
- 1. 4. Задачи диссертации
- Глава 2. Оборудование и методики исследований
- 2. 1. Модифицированная плазменная установка
- 2. 2. Методика нанесения функциональных покрытий
- 2. 3. Измерительная аппаратура и методики исследования
- 2. 3. 1. Аппаратура и методики измерения параметров плазмы
- 2. 3. 2. Аппаратура и методики исследования пленок
- 2. 3. 3. Методика оценки погрешностей измерений
- 3. 1. Параметры аномального тлеющего разряда в процессах нанесения функциональных покрытий
- 3. 2. Исследование влияния свойств плазмы на характеристики функциональных покрытий
- 3. 3. Оптические характеристики, строение и структура функциональных покрытий
- 3. 4. Модель строения функциональных покрытий
- 4. 1. Несимметричное зеркало
- 4. 2. Низкоэмиссионное покрытие
- 4. 3. Высокоотражающее зеркало с обогревом
Список литературы
- Данилин, Б.С. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок / Б. С. Данилин. М.: Энергоатомиздат, 1989. — 328 с.
- Кудинов, В.В. Нанесение покрытий напылением. Теория, технология и оборудование. / В. В. Кудинов, Г. В. Бобров. М.: Металлургия, 1992, — 431 с.
- Кудинов, В.В. Нанесение покрытий плазмой / В. В. Кудинов, П. Ю. Пекшев, В. Е. Белащенко и др. М.: Наука. 1990. — 408 с.
- Абдуллин, И.Ш. Высокочастотная плазменно-струйная обработка материалов при пониженных давлениях. Теория и практика применения / И. Ш. Абдуллин, B.C. Желтухин, Н. Ф. Кашапов. Казань: Изд-во Казанского ун-та. — 2000. — 348 с.
- Абдуллин, И.Ш. Струйный многоканальный разряд с электролитическими электродами в процессах обработки твердых тел / И. Ш. Абдуллин, А. Ф. Гайсин, Ф. М. Гайсин. Казань: Изд-во Казанского гос. Техн. ун-та., 2006. — 447 с.
- Барвинок, В.А. Физические основы и математическое моделирование процессов вакуумного ионно-плазменного напыления / В. А. Барвинок, В. И. Богданович. -М.: Машиностроение. 1999. — 309 с.
- Абдуллин, И.Ш. Высокочастотная плазменная обработка в производстве обуви / И. Ш. Абдуллин, Л. Ю Махоткина. Казань: изд-во КГТУ, 2006. — 348 с.
- Гайнутдинов, И.С. Интерференционные покрытия для оптического приборостроения / И. С. Гайнутдинов, Е. А. Несмелов, И. Б. Хайбуллин. -Казань: Фэн, 2002. 592 с.
- Черненко, В.И. Получение покрытий анодно-искровым электролизом / В. И. Черненко, Л. А. Снежко, И. И. Папанова. Л.: Химия, 1991. — 127 с.
- Юнг, Л. Анодные окисные пленки / Л.Юнг. Л.: Энергия, 1967. — 232 с.
- Патрушева, Т. Н. Растворные пленочные технологии : учеб. пособие / Т. Н. Патрушева. Красноярск: ИПЦ КГТУ, 2002. — 140 с.
- Грибов, Б.Г. Осаждение пленок и покрытий разложением металлоорганических соединений / Б. Г. Грибов и др. М.: Наука, 1996. — 322 с.
- Суйковская, Н.В. Химические методы получения тонких прозрачных пленок/Н.В. Суйковская. Л.: Химия, 1971. — 199 с.127
- Вассерман, И.М. Химическое осаждение из растворов / И. М. Вассерман. -Л.: Химия, 1980.-207 с.
- Smith, A. Pyrosol deposition of ZnO and Sn02 based thin films: the interplay between solution chemistry growth rate, and film morphology / A. Smith // Thin Solid Films. 2000. 376. — № 1−2. — P. 47−55.
- Курносов, А.И. Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем / А. И. Курносов, В. В. Юдин.— М.: Высш. шк., 1986−368 с.
- Affinito, J.D. High Rate Vacuum Deposition of Polymer Electrolytes / J.D. Affmito etc. // J. Vac. Sci and Technol A. 1996.14. -№ 3. — P. 733−738.
- Попов, В.Ф. Процессы и установки электронно-ионной технологии / В. Ф. Попов, Ю. Н. Горин: уч. пособие для вузов. М.: Высш.шк., 1988. — 255 с.
- Movchan, В.A. EB-PVD Technology in the Gas Turbine Industry: Present and Future / B.A. Movchan // Miner, Metals and Mater. Soc. JOM., 1996. -V.48. — № 1. — P.40−45.
- Семенов, А.П. Применение сводящегося в пятно трубчатого пучка электронов для получения пленок фуллеренов электронным испарением в вакууме / А. П. Семенов и др. // Письма в ЖТФ. 2005. — Т.31. — № 23. — С. 89−94.
- Basillais, A. Aluminum nitride growth by reactive pulsed laser deposition / A. Basillais etc. // Vide Sci. Tech. Appl. 2000.55. — № 295. — P. 268−270.
- Dupont, L. Structures and textures of transparent conducting pulsed laser deposited 1п20з ZnO thin films revealed by transmission electron microscopy / L. Dupont etc.//J. Solid State Chem. — 2001. 158,-№ 2.-P. 119−133.
- Gao, Guo-mian. Konjun gongcheng daxue xuebao. Ziran kexue ban / Guo-mian. Gao etc.// J. Air Force Eng. Univ. Natur. Sci. Ed. 2005. 6. — № 3. — P. 77−81.
- Boulmer-Leborgne, C. Thin film deposition by laser processes / C. Boulmer-Leborgne etc. //Vide Sci. Tech. Appl. 2000. 55.-№ 295.-P. 165−171.
- Inoue, Narumi. ТЮ2 thin films prepared by PLD for photocatalytic applications / Narumi Inoue etc. // Appl. Surface Set. -2002. 197−198. P. 393−397.
- Раков, Э.Г. Химическое осаждение из газовой фазы / Э. Г. Раков, В. В. Тесленко. М.: Знание, 1993. — с. 45.
- Besland, M. Stress variation in silicon nitride films deposited by ECR plasma / M. Besland etc. // Sci., techn. et appl. 2000. 55. — № 295 — P. 358 360.
- Zhang, W.J. A new nucleation method by electron cyclotron resonance enhanced microwave plasma chemical vapor deposition for deposition of (001) oriented diamond films / W.J. Zhang etc. // J. Chem. Phys. — 1999. 110. — № 9. — P. 46 164 618.
- Grigore, E. Titanium nitride layers deposited by a new PVD duplex method / E. Grigore, Simona Zamfir // Sci Bull. B. Politech Univ. Bucharest. 2005. 67. — № 4. -P. 53−58.
- Da Cruz Nilson, C. The effect of ion bombardment on the properties of TiOx films deposited by a modified ion-assisted PECVD technique / C. Da Cruz Nilson etc. ///Nucl. Instrum, andMeth. Phys. Res. B. -2001. 175−177. P. 721−725.
- Lim, S.H.N. Characterisation of titanium nitride thin films prepared using PVD and a plasma immersion ion implantation system / S.H.N. Lim etc. // Nucl. Instrum. and Meth. Phys. Res. B. 2002. 190. — P. 723−727.
- Смирнов, В.И. Физико-химические основы технологии электронных средств : учебное пособие /В.И. Смирнов и др. -Ульяновск: УлГТУ, 2005.- 112 с.
- Davy, F.G. R-f bias evaporation (ion plating) of non-metal thin films / F.G. Davy, I.I. Hahak // J. Vac. Sci. Technol. 1974. — № 1. — P. 43−47.
- White, G.W. New applikations of Ion Plating / G.W. White // Res. Develop. -1973.-№ 7.-P. 43 -44.
- Hayes, A.V. Ion source for ion beam deposition employing a novel electrode assembly / A.V. Hayes etc. // Rev. Sci. Instrum. 2000. 71. — № 2. — Pt 2. -P. 1163- 1167.
- Minowa, Y. Si02 films deposited on Si by an ionized claster beam / Y. Minowa etc. //J. Vacuum Sci. Technol. 1983.-Vol. Bl. — № 4. — P. 1148−1151.
- Yamada, I. Current status of ionizet-claster beam technigue: a low energy ion beam deposition /1. Yamada etc. // Nucl. Instrum. and Meth. Phys. Res. 1987. -Vol. В 21.-№ 2−4.-P. 120−123.
- Барабанов, Б.Н. Аппаратура плазменной технологии высоких энергий -«холодные» системы для генерации плазмы проводящих твердых веществ / Б. Н. Барабанов и др. // Физика и химия обработки материалов. 1987. — № 1. — С.44−51.
- Кесаев, Н.Г. Катодные процессы электрической дуги / Н. Г. Кесаев. М.: Наука, 1968.-325 с.
- Падалко, В.Г. Методы плазменной технологии высоких энергий /
- B.Г. Падалко, В. Т. Толол //Атомная энергетика. 1978. — Т. 44. — С.476−478.
- Гришин, С.Д. Применение плазменных ускорителей в технике /
- C.Д. Гришин, Н. П. Козлов. -М.: Машиностроение, 1973. 157с.
- Дороднов, A.M. Нанесение покрытий торцевыми плазменными ускорителями / A.M. Дороднов, А. А. Поротников // Материалы 2-й Всесоюзной конференции по плазменным ускорителям: доклады / Минск: Техника, 1973. С. 276−277.
- Белый, А.В. Структура и методы формирования износостойких поверхностных слоев. / А. В. Белый, Г. Д. Карпенко, Н. К. Мышкин. М.: Машиностроение, 1991. -208 с.
- Setsuhara, Yuichi. Inductively-coupled-plasma-assisted planar magnetron discharge for enhanced ionization of sputtered atoms / Yuichi. Setsuhara etc. // Jap. J. Appl. Phys. Pt. 1. — 1997. 36. — № 7B. — P. 4568−4571.
- Kenrie, Mc. New development of processing of cathodic plasma of arc / Mc. Kenrie etc. // IEEE Trans. Plasma Sci. 1997. 25. — № 4. — P.652−659.
- Абдуллин, И.Ш. Применение высокочастотного разряда в процессах азотирования / И. Ш. Абдуллин и др. // Физ. хим. обработ. материал. 1997. -№ 2. — С.113−115.
- Буров, М.В. Повышение надежности турбинных лопаток методом вакуумно-дугового нанесения покрытий / М. В. Буров и др. // Сварочное производство. 1995. -№ 5. — С. 13−16.
- Анциферов, В.Н. Газотермические покрытия / Анциферов В. Н. и др. -Екатеринбург: Наука, 1994. 318 с.
- Кудинов, В.В. Нанесение покрытий плазмой / В. В. Кудинов и др. М.: Наука, 1990.- 408 с.
- Вакуумные дуги. Теория и применение: сборник / под ред. Лаферти Дж. -М.: Мир, 1982. -432 с.
- Кудинов, В.В. Нанесение плазмой тугоплавких покрытий / В. В. Кудинов, В. Н. Иванов. М.: Машиностроение, 1981. — 192 с.
- Хасуй, А. Техника напыления: пер. с японского / А. Хасуй. М.: Машиностроение, 1975. —228 с.
- Булатов, В.П. Влияние режимов вакуумно-дугового напыления на износостойкость карбидо-титановых покрытий / В. П. Булатов и др. // Трение и износ. 1994.-Т. 15.-№ 6.-С. 100−101.
- Гнесин, Г. Г. Износостойкие покрытия на инструментальных материалах (обзор) / Г. Г. Гнесин, С. Н. Фоменко // Порошковая металлургия. 1996. — № 9−10.-С. 17−26.
- Wang, Guangfu. Influence of filter channel magnetic field on arc discharge and transfer of plasma in a modified apparatus for vacuum arc deposition / Guangfu. Wang etc. // J. Beijing Norm. Univ. Natur. Sci. -2001. 37. № 2. — P. 187−190.
- Hata, Seiichie. Combinatorial arc plasma deposition of thin films / Seiichie. Hata etc. // Jap. J. Appl. Phys. Pt 1. 2006. 44. — № 4A. — P. 2708−2713.
- Довбня, A.H. Способ реализации импульсной дуги с низким напряжением горения в газе. Исследование влияния параметров цепи / А. Н. Довбня и др. // Ж. техн. физ. 2003. 73. — № 12. — С. 91 — 94.
- Минайчев В.Е. Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Книга 6 Нанесение пленок в вакууме / В. Е. Минайчев М.: Высшая школа, 1989. 111 с.
- Смирнов, Н.Н. Основные закономерности метода получения пленок распылением мишеней ионным пучком / Н. Н. Смирнов и др. // Оптич. ж. -2001. 68.-№ 4.-С. 60- 62.
- Муранова, Г. А. Свойства пленок, полученных распылением мишеней ионным пучком / Г. А. Муранова и др. // Оптич. ж. 2001. 68. — № 4. — С.53−59.
- Tominaga, Kikuo. Energetic negative ions in titanium oxide deposition by reactive sputtering in Аг/Ог / Kikuo. Tominaga etc. // 8 International Symposium on131
- Sputtering and Plasma Processes (ISSP'2005), 8−10 June, Kanazawa, 2005 / Vacuum. 2006. 80. -№ 7 — P. 654−657.
- Kamoshida, Kazuyoshi. Preparation of low-reflectivity aluminum film using direct current magnetron sputtering in Ar/02 and Ar/N2 atmospheres / Kazuyoshi. Kamoshida // J. Vac. Sci and Technol B. 2000. 18 — № 5. — P. 2565−2568.
- Лунев, И.В. Особенности формирования тонких пленок оксида А1 высокочастотным магнетронным методом / И. В. Лунев, В. Г. Падалка // Физ. и хим. мат. 1996. — № 3. — С.78−83.
- Miyaki, Kioshi. Improved system of ion-beam sputter deposition with ion source based on RF-sputtering / Kioshi. Miyaki // Nucl. Instrum. and Meth. Phys. Res. B. -1997. 121. -№ 1−4. -C. 102−106.
- Галяутдинов, P.Т. Технология напыления высокоотражающих покрытий на изделия из АБС-пластика / Р. Т. Галяутдинов, Н. Ф. Кашапов, Г. С. Лучкин // Инженерно-физический журнал АН Беларуси. 2002. -Т. 75. — № 5. — С. 170−173.
- Данилин, П.С. Магнетронные распылительные системы / П. С. Данилин, В. К. Сырчин. М.: Радио и связь, 1982. — 72с.
- Deng, Jifduo. Исследование свойств карбидов и нитридов титана / Jifduo Deng, Manuel Braun, Irena Gudovska // J. Bas. Sci and Technol. A. 1994, 12. -№ 3. — C. 733−736.
- Пат. № 5 389 445 США С 23, С 14/34, 1996. / Магнетронные системы.
- Плазменное напыление защитных износостойких покрытий // Produktion. -1997.-№ 39.-С. 13.
- Райзер Ю.П. Основы современной физики газоразрядных процессов / Ю. П. Райзер. М.: Наука, 1980. — 284 с.
- Минайчев, В.Е. Магнетронные распылительные устройства (магратроны) / В. Е. Минайчев, В. В. Одиноков, Г. П. Тюфаева. М.: ЦНИИ Электроника, 1979. -375 с.
- Райзер, Ю.П. Физика газового разряда / Ю. П. Райзер. — М.: Наука, 1987 592 с.
- Hassouba, М.А. Effect of the magnetic field on the plasma parameters in the cathode fall region of the DC-glow discharge / M.A. Hassouba // Eur. Phys. J. Appl. Phys.-2001. 14. -№ 2. P. 131—135.
- Buyle, G. Simplified model for the DC planar magnetron discharge / G. Buyle etc. // Vacuum. 2004. 74. — № 3 — 4. — P. 353−358.
- Жуков, В.В. Свойства магнетронного разряда на постоянном токе. Ч. 2. Особенности переноса заряда / В. В. Жуков и др. // Изв. Томск политехи, ун-та. 2006. 309. -№ 1. 56 -59. — С. 261−262.
- Кожевников, В.Ю. Дрейфовая модель прикатодных областей тлеющего разряда / В. Ю. Кожевников, А. В. Козырев, Ю. Д. Королев // Физ. Плазмы. -2006. 32. № 11.-С. 1027−1038.
- Gurin, А.А. Kinetic theory of ionization in a cathode sheath of abnormal glow discharge / A.A. Gurin // Укр. фи. ж. 2001. 46. — № 3. — P. 305−311.
- Czekaj, D. Deposition of PZT thin film and determination of their optical properties / D. Czekaj etc. // J. Eur. Ceram. Soc. 1999. 19. — № 6−7. — P. 1489−1492.
- Каир, D.J. Parametric interactions inside a magnetron / D.J. Каир, J.О. E. Reedy, G.E. Thomas // J. Plasma Phys. 2000. 64. — № 4. — P. 489−506.
- Wronski, Z. Ti and Fe cathode sputtering by the glow discharge plasma / Z. Wronski, J. Sielanko, J. Herec // Vacuum. 2003. 70. — № 2−3. — P. 275 — 284.
- Jung, Yeon Sik. Spectroscopic ellipsometry studies on the optical constants of indium tin oxide films deposited under various sputtering conditions / Sik Yeon Jung // Thin Solid films. 2004. 467. — № 1−2. — P. 36−42.
- Вольпян, О.Д. Оптические свойства пленок Ta2Os, полученных реактивным магнетронным распылением / О. Д. Вольпян и др. // Оптич. ж. -2003. 70,-№ 9.-С. 56−60.
- Клопов, С.Г. Моделирование и расчет параметров электрического разряда в планарном магнетроне / С. Г. Клопов и др. // Известия РАН. Серия физ. 2006. -Т. 70. — № 8. — С. 1204−1209.
- Свадковский И.В. Ионно-плазменные методы формирования тонкопленочных покрытий: Монография / И. В. Свадковский. Минск: Бестпринт, 2002. — 242 с.
- Mihaila, I. Electron distribution function in magnetron discharge / I. Mihaila etc. //Rom. Repts Phys.-2002. 54.-p № 6 10. — P.301−308.
- Корчагина, M.H. Математическое моделирование рабочих характеристик магнетронных систем ионного распыления / М. Н. Корчагина, Н. В. Савенков, Б. В. Корчагин // Электронная техника. Сер. 1. 1986. — Вып. 1 (385). — С. 62−63.
- Розенберг Г. В. Оптика тонкослойных покрытий / Г. В. Розенберг М.: ГИФМЛ, 1958.-572 с.
- Li, Wenyi. Influence of growth process on the stuctural, optical and electrical properties of CBD-CdS films / Wenyi Li etc. // Mater. Lett. 2005. 59. — № 1. — P. 1−5.
- Галькевич, Е.П. Пленкообразующие материалы для новых задач современной оптики / Е. П. Гальеквич // Оптический журнал. 2006. 13. — № 12. — С.82−85.
- Риттер Э. Пленочные диэлектрические материалы для оптических применений / Э. Риттер // в кн. Физика тонких пленок. М.: Мир, 1978. — Т.8. — С.7−60.
- Shabalov, M.S. Optical properties and structure of thin SiOx films / A.L. Shabalov, M.S. Feldman// Thin solid films. -2003. Vol.151. — № 3. — P. 317−324.
- Борисевич, H.A. Инфракрасные фильтры / H.A. Борисевич, В. Г. Верещагин, М. А. Валидов. Минск: Наука и техника, 1971. — 148 с.
- Zhang, Rui. Состояние и перспективы применения тлеющих разрядов при атмосферном давлении / Rui Zhang, Peng Lui, Ru-Juan Zhan // Wuli Physics. -2004. 33.-№ 6.-P. 430−434
- Дмитренко В.А. Технология получения тонкопленочных покрытий с переменным отражением: автореф. д’ис.. канд. техн. наук: защищена 12.02.2004: утв. 24.26.2004 / В. И. Дмитренко. Спб.: гск. ун-т инф. технол. мех. и оптики, 2004. — 19 с.
- Шиллер, 3. Электроннолучевая технология / 3. Шиллер, У. Гайзиг, 3. Панцер. М.: Энергия, 1980. — 528с.
- Балагуров, А.Я. Сопоставление показателей преломления и ИК спектров пленок двуокиси кремния, полученных разными методами / А. Я. Балагуров и др. // ОМП. 1979. — № 2. — С. 10−38.
- Pulker, H.K. Characterization of optical thin films / H.K. Pulker // Applied optics. 1979.-V.12.-№ 12.-P. 1969−1975. i
- Телен, А. Конструирование многослойных интерференционных светофильтров /А. Телен // в кн. Физика тонких пленок. М.: Мир, 1972. Т.5. — С. 46−83.
- Гриценко, В.А. Строение и электронная структура аморфных диэлектриков в кремниевых МДП структурах / В. А. Гриценко. Новосибирск: Наука, 1993. — 280 с.
- McNeil, J.P. Propeties of ТЮг and SiC>2 thin films deposited using ion assisted deposition/ J.P. McNeil etc. // Applied Optics. 1985. — V.24. — № 4. — P.486 — 489.
- Справочник технолога-оптика / под ред. С. М. Кузнецова, М. А. Окатова. -Л.: Машиностроение, 1983. 307 с.
- Мацкевич, Л. А Оптические покрытия на основе двуокиси титана / Л. А. Мацкевич, В. В. Бажинов // ОМП. 1977. — № 2. — С. 41−43.
- Не, Gang. The structure and thermal stability of ТЮ2 grown by the plasma oxidation of sputtered metallic Ti thin films/ Gang He etc. // Chem. Phys. Lett. -2004. 395. № 4−6. — P.259−263.
- Mitchell, D.R.G., Characterisation of epitaxial ТЮ2 thin films grown on MgO (OOl) using atomic layer deposition / D.R.G. Mitchell, D.J. Attard, G.J. Triani // Cryst. Growth. -2005. 285. -№ 1−2. P. 203−214.
- Kwon, Chul Han. Degradation of methylene blue via photocatalysis of titanium dioxide / Chul Han Kwon etc. // Mater. Chem. and Phys. 2004. 86. — № 1. — P. 78−82.
- Abdel-Aziz, M.M. Determination and analysis of dispersive optical constant of Ti02 and Ti203 thin films / M.M. Abdel-Aziz etc. // Appl. Surface Sci. 2006. 252. -№ 23.-P. 8163−8170.
- Zheng, Ziyao. Analysis by atomic force microscopy of thin films of TiOo with low optical transmission deposited by magnetron sputtering / Zheng Ziyao etc. // Bandaoti guangdian Semiconduct- Optoelectron. — 2005. 26. — № 5. — P. 418−420.
- Антуфьев, В.В. Электронный парамагнитный резонанс в системе титан-кислород / В. В. Антуфьев // ФТТ. 1962. — Т 4. — вып. 6. — С. 1496−1499.
- Авакумов, В.И. Электронный парамагнитный резонанс и парамагнитнаяо Iрелаксация в жидких и переохлажденных растворах солей Ti / В. И. Авакумов, Н. С. Гарифьянов, Е. И. Семенова // ЖЭТФ. 1960. — Т. — 39. — вып 5. — С.1213−1220.
- Глинчук, М.Д. ЭПР исследование примесей в пленках титаната стронция / М. Д. Глинчук и др. // ФТТ. 2001. — Т. 43. — вып. 5. — С.809−812.
- Глинчук, М.Д. К теории локальных электронных центров вблизи поверхности полупроводниковых пленок / М. Д. Глинчук // Укр. Физ. ж. 1963. -Т. 8. — вып. 7. — С.805−808.
- Ensign, Т.С. Shared holes by charge defects in SrTi03 / T.C. Ensign, S.E. Stokowski // Phys. Rev. B. 1970. — V.l. — № 6. — P. 2799−2810.
- Arafa, S. Titanium impurity center induced in irradiated silicate glasses / S. Arafa, F. Assabghy // Journal of Applied Physics. 1974. — V. 45. — № 12. — P. 5269−5271.
- Aono, M. Interaction and ordering of lattice defects in oxygen-deficient rutile ТЮг-х / M. Aono, R.R. Hasiguti // Phys. Rev. B. 1993. — V. 48. — № 17. — P. 12 406−12 414.
- Khomenko, V.M. Electronic absorption by Ti3+ ions and electron derealization in synthetic blue rutile/ V.M. Khomenko etc. // Phys. Chem. Minerals. 1998. -№ 25.-P. 338−346.
- Bottcher, R. EPR spectra of transition element impurities with 3d" configuration in hexagonal CdS and CdSe single crystals / R. Bottcher, J. Dziesiaty // Phys. stat. sol. В. 1973.-V 57. -P. 617−626.л I
- Bottcher, R. Ligand hyperfine interaction of Ti in CdS and CdSe sites with trigonal symmetry C3v/ R. Bottcher, J. Dziesiaty // Phys. stat. sol. (b). 1972. — V 53. -P. 505−518.
- Зимон А.Д. Адгезия пленок и покрытий / А. Д. Зимон. М.: Химия, 1983. — 352 с.
- Несмелов, Е.А. Измерение энергии адгезии тонких пленок / Е. А. Несмелов и др. //ОМП. 1982. — № 10. — С.34 — 37.
- Иванов, Б.H. Прибор для определения адгезии оптических покрытийметодом царапин / Б. Н. Иванов и др|. // ОМП. 1988. — № 2.
- Муранова, Г. А. Исследование микропористости тонких пленок и ее влияние на оптические характеристики одиночных слоев и многослойных систем: автореф. дис.. канд. тех. наук: защищена 12.02.1975:утв. 12.06.1975/ • Г. А. Муранова. JT., 1975. — 22 с. j
- Leger, M. Intrinsic and thermal stress modeling for thin-film multilayers / M. Leger, R.S. Bastien // US Dep. Commer., Nat. Bur. Stand. Spec. Publ. 1977. -№ 509.-P. 230−243.
- Гисин, M. A / M.A. Гисин, Г. П. Конюхов, E.A. Несмелов //Опт. и спектр. -1964. Т.16. — Вып. 1. — С.151−152.
- Абелес, Ф. Оптические свойства металлических пленок / Ф. Абелес // в кн. Физика тонких пленок. М.: Мир, 1973. — Т.6. — С. 171 — 227.
- Зайдель, А.Н. Погрешности измерений физических величин / А.Н.i
- Зайдель.- JL: Наука, 1985.- 112 с.
- Гоулдстейн, Д. Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ / Д. Гоулдстейн и др. М: Мир, 1984. — Т 1, 2.
- Мейксин, З.Г. Несплошные и керментные пленки / З. Г. Мейксин // в кн. Физика тонких пленок М.: Мир, 1978. — Т.8. — С. 106−179.
- Кард, П.Г. Анализ и синтез многослойных интерференционных пленок / П. Г. Кард. Таллин: Валгус, 1971. — 236 с.
- Галяутдинов, А.Р. Двухслойные несимметричные зеркала / А. Р. Галяутдинов,
- Н.Ф. Кашапов // Всероссийская молодежная научно-практическая конф.
- Инновации в науке, технике, образовании и социальной сфере": материалы конф. / под ред. д.т.н. Р. Т. Сиразетдинова и др. / КГТУ им. А. Н Туполева. -Казань, 31 окт. 1 нояб. 2003. — С. 116.
- Пат. № 2 190 692 Российская Федерация МПК С 23 С 14/8, С 03 С 17/36. Низкоэмиссионное покрытие, нанесенное на прозрачную подложку / А. А. Суханов, Б. М. Чудинов. -№ 2 001 106 842/02- заявл.: 13.03.2001 — опубл. 10.10.2002.
- Пат. № 2 339 591 Российская Федерация. МПК7 С03С 17/34. Низкоэмиссионное покрытие / А. Р. Галяутдинов, Р. Т. Галяутдинов, Н. Ф. Кашапов. № 2 006 128 640- заявл. 25.07.2006 — опубл. 27.11.08, Бюл. № 33. — 3 с.
- Галяутдинов, Р.Т. Для улучшения автомобильных зеркал. / Р. Т. Галяутдинов, Н. Ф. Кашапов, Г. С. Лучкин // Автомобильная промышленность. -2002.-№ 3.-С. 21−23.
- Пат. № 2 262 215 Российская Федерация. МПК7 Н 05 В 3/84. / Р. Т. Галяутдинов, Н. Ф. Кашапов, Г. С. Лучкин. № 2 004 102 289/12- заявл. 26.01.2004- опубл. 10.10.2005
- Пат. № 2 316 155 Российская Федерация. МПК7 Н05 В 3/84 / ООО НПП Резтехкомплект. -№ 2 006 120 497- заявл. 13.06.2006 — опубл. 27.01.08, Бюл.№ 3.
- Блохин, М.А. Рентгеноспектральный справочник / М. А. Блохин, М. Г. Швейцер. М.: «Наука», 1982. — 376 с.