Исследование изменчивости аэрозоля под действием температуры и влажности в чистых помещениях микроэлектроники
Диссертация
Внедрение и использование результатов работы: Результаты работы нашли внедрение в учебном процессе при подготовке учебно-методического комплекса по дисциплине «Экологические проблемы высоких технологий» магистерской программы «Энергетические проблемы высоких технологий» в рамках приоритетных направлений Национального исследовательского ' университета МИЭТ, в учебном процессе кафедры… Читать ещё >
Содержание
- Глава 1. Высокие технологии и воздушная среда чистых помещений
- 1. 1. Особенности технологии микроэлектроники
- 1. 2. Микроклимат и чистота воздуха
- 1. 3. Физико-химические основы процесса агломерации наночастиц
- 1. 4. Механизм образования агломератов
- Выводы и постановка задачи
- Глава 2. Моделирование процесса роста агломератов в воздушном потоке
- 2. 1. Математические модели коагуляции частиц
- 2. 2. Физическое обоснование свойств ядра кинетического уравнения
- М. Смолуховского при построении процесса коагуляции
- 2. 3. Решение уравнения М. Смолуховского на основе теории функциональных решений
- 2. 4. Математическая модель пространственно-однородного процесса коагуляции наночастиц
- Выводы
- Глава 3. Компьютерное моделирование процесса коагуляции наночастиц
- 3. 1. Алгоритм имитации столкновений и слияния наночастиц
- 3. 2. Описание программного продукта для изучения динамики аэрозоля в чистом помещении в зависимости от различных параметров
- 3. 3. Порядок работы с программой
- 3. 4. Оценка результатов исследования
- 3. 5. Рекомендации по соблюдению нужного класса чистоты и контролю нанозагрязнений в микро- и наноэлектронике
- Выводы
- Глава 4. Экспериментальное исследование поведения аэрозоля в чистом помещении микроэлектроники 72 4.1. Методика проведения комплекса экспериментов
- 4. 2. Измерение концентрации наночастиц при изменении параметров микроклимата (температура,' влажность)
- 4. 3. Измерение концентрации наночастиц с учетом расстановки оборудования
- 4. 4. Проверка математической модели на адекватность
- Выводы
- Заключение
- Список литературы
- Приложение 1
- Приложение 1
- Приложение
Список литературы
- Чистые помещения./ Под ред. И. Хаякава. Пер. с японского под ред. Ржанова В. Г. и Ушакова В. И. М.: Мир. 1990.- 454с.
- Чистые помещения. Под ред. А. Е. Федотова. Второе издание, переработанное и дополненное. М.: АСИНКОМ, 2003.- 576с.
- Проектирование чистых помещений. Под ред. В. Уайта. Пер. с англ. М.: изд. «Клинрум», 2004. — 360с.
- Каракеян В.И. Научные основы нормализации основных параметров микроклимата технологии интегральных схем в чистых производственных помещениях. / Дисс. на соискание ученой степени доктора технических наук. М.:1994. 437с.
- Фокин В.М. Основы энергосбережения и энергоаудита. М.: «Издательство Машиностроение 1″. 2006. — 256с.
- Березина Н.В. Теоретическое и экспериментальное исследование конденсационного роста субмикронных частиц аэрозоля в чистых объемах производства интегральных схем. /Дисс. на соискание ученой степени кандидата технических наук. М.: 2001. 120с.
- Фукс H.A. Успехи механики аэрозолей. Изд. АН СССР, 1961.- 230с.
- В.А. Ананьев, Л. Н. Балуева, В. П. Мурашко. Системы вентиляции и кондиционирования. Теория и практика. Новая редакция. М.: Издательство „Техносфера“. 2008. — 503 с.
- Т. Hikmet, Е. Aibars. Что такое чистое помещение? http://www. Abok. Ru1. Данилина Т. И., Кагадей В. А. Технологические среды.//ТЕХНОЛОГИЯ СБИС. -2007.- с. 14−41. -287 с.
- М.Шмаков, Е. Теплякова, В. Паршин. Гибридно-пленочные интегральныеj : — микросхемы. Чистые помещения. Технологии в электронной промышленности, № Г, 2007. http://tech-e/ ru/2007l72/php.
- Гущин В. А. Применение- математического моделирования для проектирования чистых комнат и их элементов.gmp-club/ com.
- В:И. Власенко, О.В.' Лукашевич. Особенности процесса очистки одежды чистых помещений, gmp-club/com.15: Raymond К. Schneider. Системы кондиционирования воздуха для чистых комнат. АВОК № 5/2002. http://www.abok. ru.
- Терещенко А. М диссер. докт. Моделирование» аэротермодинамических процессов в чистых помещенияхлри производстве интегральных схем. М., 1996- 263 с. '' ' '
- Каракеян В-И., Севрюкова Е. А. Анализ современных средств * стабилизации микроклимата в чистых помещениях микро и- наноэлектронике // Сборник-под редакцией Каракеяна В. И. г. Зеленоград 2010.- 127с.
- Севрюкова Е.А. Мониторинг нанозагрязненийв чистых помещениях, микроэлектроники / М-лы межвузовской- НТК «Микроэлектроника и информатика» «2010», М., МИЭТ, 2010.- 299с.
- Севрюкова Е.А. Исследование закономерностей изменчивости наночастиц под действием температуры и ¡-влажности в чистых помещениях микроэлектроники / М-лы межвузовской НТК «Микроэлектроника и информатика-2011», М., МИЭТ, 2011.- 292с. .
- Веденяпин1 В* В: Кинетические уравнения Больцмана и Власова:. М.': ФИЗМАТЛИТ, 2001. — 112 с.25: Галкин В- А., Осецкий ДІЮ: Случай больцмановского газа, приводящий к уравнению коагуляции? Смолуховского// ЖВМ и МФ, 2006, Т. 46, — № 3,. с.535−547
- Галкин В: А., Гаіцсин А. В. Математическое моделирование газа, образующего конденсированную г структуру// Математическое моделирование, 2009
- ГалкишВ. А. Теория функциопальных решений систем законов сохранения и ее приложения // М: из-во, МГУ. Труды семинара им: И: Г. Петровского, 2000^ Т. 20,1. С.81—120.
- Галкин В. А., Осецкий Д. Ю. Математическое моделирование кинетики коагуляции// Математическое моделирование, 2006, Т. 16, с. 99−117
- Галкин В. А. Уравнение Смолуховского. — Мі: ФИЗМАТЛИТ, 2001:.- 336 с
- Проволович, О. В. Методы оценки характеристик воздушных фильтров: общего назначения: Технология чистоты- 1999- № 1, С.15−17І
- Giistavsson, J: Calculating cleanroom cleanliness. Cleanroom Technology, 5, 1999, № 1, c. 24−25. .
- Калечиц. В. И. Современная аппаратура: контроля. чистоты.// Аэрокосмический курьер, 2005, № 5, стр: 22−23.33-. Калечиц В. И. Контроль макрочастиц в чистых помещениях по стандарту 14 544−3. //Чистые помещения, и технологические среды, 2008- № 1, с. 3−7.
- Хозяшева¦ Е. С. Фундаментальные основы практики счета частиц в соответствии со стандартами ИСО 14 644: 1−3.// Чистые помещения и технологические среды, 2006, № 2, с. 12−17. .
- Калечиц В.И. Современные направления в контроле аэрозольных микрозагрязнений. // Чистые помещения и технологические, среды, 2002, № 1, с. 1621.
- Калечиц В.И. Компьютерные системы контроля параметров чистых производственных помещений. // Чистые помещения и технологические среды, 2003, № 4, с. 23−31.
- Блатнер Ю., Цвинг Г. Контроль содержания частиц в чистых помещениях (схемы мониторинга). // Чистые помещения и технологические среды, 2007, № 4, с. 28−33.
- Холлворт М. Выбор наиболее подходящего расположения точек пробоотбора для взвешенных в воздухе частиц, не являющихся микроорганизмами. // Чистые помещения и технологические среды, 2008, № 1, с. 12−13.
- Li Y.Q., Davidovits P., Shi Q., Jayne J.T., Kolb C.E., Worsnop D.R. Mass and Thermal Accomodation Coefficients of H20(g) on Liquid Water as Function of Temperatrue. J.Phys.Chem.A, 105, 29, 10 627−10 634, 2001. T
- В. И. Калечиц. Приборное оснащение подразделений контроля чистых производственных помещений. Журнал «Чистые помещения и технологические среды», 2007, № 3, с. 16−21.
- В. И. Калечиц. Современная аппаратура контроля чистоты. Журнал «Аэрокосмический курьер», 2005, № 5, с. 22−23.
- Контроль макрочастиц в чистых помещениях по стандарту 14 544−3. Журнал «Чистые помещения и технологические среды», 2008, № 1, с. 3−7.
- Семинар «Приборы контроля и системы мониторинга параметров чистых помещений». Журнал «Чистые помещения! и технологические среды», 2008, № 3, с. 23.
- Краеугольные основы стандартов по чистым помещения будут пересмотрены? Журнал «Чистые помещения и технологические среды», 2009, № 2, с. 6.
- Ф. Уинтерс. IEST выпускает новые методические рекомендации по испытанию ULPÄ--фильтров. Журнал «Чистые помещения и технологические среды», 2005, № 4, с. 10−11.
- В. И. Калечиц. Современные направления в контроле аэрозольных микрозагрязнений. Журнал «Чистые помещения и технологические среды», 2002, № 1, с. 16−21.
- М. Деркс. Контроль загрязнений в минисредах и изоляторах. Журнал «Чистые помещения и технологические среды», 2003, № 4, с. 36−38.
- М. Полен, Б. Хилл. Системы контроля параметров чистых помещений и их соответствие CFR* 21, часть 11. Журнал «Чистые помещения и технологические среды», 2004, № 1, с. 34−36.
- Выбор датчиков скорости воздуха для мониторинга ламинарного потока. Журнал «Чистые помещения и технологические среды», 2007, № 4, с. 39.
- Т. фон Кальден. Визуализация воздушных потоков. Журнал «Чистые помещения и технологические среды», 2006, № 2, с. 7−11.
- О. Ю. Маслаков. О приборах для измерения воздушных потоков. Журнал «Чистые помещения и технологические среды», 2006, № 4, стр. 8−12.
- В.И.Калечиц. Приборьі для измерения частиц в нанотехнологиях. Журнал «Чистые помещения и технологические среды», 2010, № 4, с. 39−47.
- В. Grant, J. Н. Kim, and С. Poor, «Kinetic theories for the coagulation and sedimentation of particles,» J. Colloid Interface Sei. 238, 238 ~2001.
- M. Анисимов, JI. Анисимова, П. Тернер, Ф. Хопке Достижения м исследовании нуклеации для описания динамики атмосферного аэрозоля. II
- Поверхность скорости нуклеации водяного пара. // Оптика атмосферы и океана, 18, № 5−6,2005.. .
- Stephan Leinert, Alfred Wiedensohler A DMA and APS based technique for measuring aerodynamic hygroscopic growth factors of micrometer-size aerosol particles // Aerosol Science 39, 2008, pp.393−402.
- Jun Wang, Daniel J. Jacob, and Scot T. Martin Sensitivity of sulfate direct climate forcing to the hysteresis of particle phase transitions // JOURNAL OF GEOPHYSICAL RESEARCH, vol- 113, 2008.
- Markku Kulmala-, Veli Matti Kerminen-On the formation and^^growth of atmospheric nanoparticles // AVS Compilation 2 Atmospheric Research, vol: 90, Issues 24, 2008, pp. 132−150. ^
- U. Bundke, B. Nillius, R. Jaenicke, T. Wetter, H. Klein, H. Bingemer The fast Ice Nucleus chamber FINCH // AVS Compilation 2 Atmospheric Research, vol. 90, Issues 2.4, 2008, pp. 180−186. :
- Terry Deshler A review of global stratospheric aerosol Measurements, importance, life cycle, and local stratospheric aerosol // AVS Compilation 2 Atmospheric Research, vol: 90, Issues 2−4, 2008, pp. 223−232.
- Д. Осипов. Delphi. Профессиональное программирование. Символ-Плюс, 2006.-1056с.
- П. Дарахвелидзе, Е. Марков. Разработка Web-служб средствами Delphi. BHV Санкт — Петербург 2003.-656с.
- Н. Культин. Delphi в задачах и примерах. БХВ-Петербург, 2003.-288с.69- В. Фаронов. Delphi. Программирование на языке высокого уровня. Питер, 2004. 640с.
- В. Фаронов. Программирование баз данных в Delphi 7. Питер, 2006. -457с.
- Р. Стивене. Delphi. Готовые алгоритмы. ДМК Пресс. 2001. 384с.
- Е. Марков, П. Дарахвелидзе. Delphi 2005 для Win 32. БХВ-Петербург, 2005. -1136с.
- Г. С. Иванова, Т. Н. Ничушкина, Е. К. Пугачев. Объектно-ориентированное программирование. МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2001. 320с.
- А. Б. Григорьев. О чем не пишут в книгах по Delphi. 2008. 586с.1 *
- М. Фленов. Delphi 2005. Секреты программирования. Питер, 2006. 266с.
- С. Есенин. DirectX и Delphi. Разработка графических и мультимедийных приложений. БХВ-Петербург, 2006.-512с.
- М. Фленов. Библия Delphi 2. БХВ-Петербург, 2004. 884с.
- В. Корняков. Программирование документов и приложений MS Office в Delphi. БХВ-Петербург, 2005.-496с.
- В. Пестриков, А. Маслобоев Delphi на примерах. БХВ-Петербург, 2005.493с.
- С.И. Бобровский Delphi 7. Учебный курс СПб. Питер, 2004. 736с.
- Ю.А. Шпак Delphi 7 на примерах. Юниор, 2003. 384с.
- В. Понамарев. Com и ActiveX в Delphi. БХВ-Петербург, 2005. 320с.|
- А. Чиртик, В. Борисок, Ю. Корвель. «Delphi. Трюки и эффекты». СПб, 2007.- 400с.
- А. Хомоненгсо, В. Гофман, Е. Мещеряков, В. Никифоров. Delphi 7. Наиболее полное руководство. BHV-Петербург, 2008.- 1216с. •
- М. В. Краснов Open GL Графика в проектах в Delphi, BHV-Петербург, 2000. 352с.
- Сорокин А.В. Delphi Разработка базы данных. Питер. 2005. 474с.
- Д. Осипов. Графика в проектах Delphi. Символ-Плюс, 2008. 648с.
- Грибачев К.Г. Delphi и Model Driven Architecture Разработка приложений баз данных, Питер. 2004. 352с.
- Голованов М., Веселов Е. Создание компонентов в среде Delphi. Руководство разработчика. Питер, 2004. 320с.
- М. Е. Фленов. Программирование в Delphi глазами хакера. BHV-Петербург, 2003. 368с.