Формирование и исследование электрофизических свойств планарных структур на основе углеродных нанотрубок
Диссертация
Традиционная кремниевая микроэлектроника вплотную подошла к предельно возможному разрешению оптической литографии. Крупнейшие мировые корпорации, задающие ритм развития рынка электронных компонентов, объявляют о создании прототипа промышленного полевого транзистора с физической длиной затвора 15 нм. Процессор Intel Pentium 4, созданный по технологии 90 нм — промышленный продукт 2004 года… Читать ещё >
Содержание
- Глава 1. Состояние вопроса по созданию планарных квантовых проводников на основе углеродных нанотрубок и квазиодномерных структур
- 1. 1. Основные направления в нанотехнологии планарных одномерных проводников
- 1. 2. Развитие методов создания квантово-размерных наноконтактов на основе локального окисления, индуцированного током
- 1. 3. Основные параметры, характеризующие свойства нанотрубок
- 1. 3. 1. Структура графита
- 1. 3. 2. Угол хиральности и диаметр нанотрубок
- 1. 3. 3. Электронная структура нанотрубок
- 1. 4. Методы получения углеродных наноструктур
- 1. 4. 1. Термическое разложение графита в дуговом разряде
- 1. 4. 2. Химическое осаждение из газовой фазы
- 1. 4. 3. Метод лазерного испарения
- 1. 4. 4. Холодная деструкция графита
- 1. 5. Исследование нанотрубок с использованием микроскопии высокого разрешения
- 1. 6. Электрические свойства нанотрубок
- Выводы по гл
- Глава 2. Разработка методик создания образцов наноструктур на основе нанотрубок и их контроля в атомно-силовом микроскопе
- 2. 1. Сравнение методов высаживания нанотрубок, полученных в различных технологических процессах
- 2. 2. Разработка режима наблюдения различного типа нанотрубок на подложках
- 2. 2. 1. Выбор параметров работы микроскопа и типа кантилеверов
- 2. 2. 2. Деформация нанотрубок на подложках
- 2. 2. 3. Влияние взаимодействия иглы АСМ с нанотрубкой на размеры наблюдаемых нанообъектов
- 2. 3. Манипулирование и модификация нанотрубок с использованием атомно-силового микроскопа
- 2. 4. Развитие бесконтактной емкостной микроскопии для исследования проводящих нанообъектов на диэлектрических подложках
- 2. 4. 1. Моделирование микроскопии индуцированного электрического поля в приближении точечного потенциала
- 2. 4. 2. Апробация методики на тестовых проводящих и диэлектрических объектах
- 2. 4. 3. Применение микроскопии индуцированного электрического поля для неразрушающего контроля нанотрубок в электрических схемах
- 2. 5. Нанотрубки с разветвленной структурой
- Выводы по главе 2
- Глава 3. Разработка тестового кристалла и исследование проводимости углеродных нанотрубок
- 3. 1. Технологический маршрут формирования кристалла
- 3. 2. Схемы измерения электрических свойств нанотрубок
- 3. 3. Электрические характеристики структур на основе нанотрубок
- 3. 3. 1. Измерение проводимости при комнатной температуре в малых и средних полях
- 3. 3. 2. Исследование полевого эффекта
- 3. 4. Анализ механизмов проводимости структур на основе нанотрубок
- 3. 4. 1. Квантовый транспорт в двумерной графитовой системе
- 3. 4. 2. Формирование контакта между металлом и нанотрубкой
- 3. 4. 3. Изгиб нанотрубок на контактах
- 3. 4. 4. Одномодовый транспорт в полевом транзисторе с барьером
- 4. 1. Модуляция проводимости структур на основе пучков однослойных углеродных нанотрубок
- 4. 1. 1. Особенности проводимости пучков однослойных углеродных нанотрубок
- 4. 1. 2. Формирование полупроводникового канала проводимости в пучках
- 4. 1. 3. Параметры макета транзистора на основе пучка нанотрубок с преобладающим полупроводниковым каналом проводимости
- 4. 2. Логические ключи на основе сеток пучков однослойных углеродных нанотрубок
- 4. 2. 1. Реализация инвертора с линейной нагрузкой на основе внешнего резистора
- 4. 2. 2. Реализация инвертора с нелинейной нагрузкой на основе двух интегрированных ОСНТ транзисторов р-типа
- 4. 3. Разработка методов улучшения и стабилизации контакта нанотрубка / металл
- 4. 3. 1. Токовая активация миграции атомов в интерфейсной фазе золото / нанотрубка
- 4. 3. 2. Формирование углеродных контактов в качестве токоподводящих электродов
- 4. 3. 3. Выбор диэлектрического покрытия структур на основе пучков углеродных нанотрубок
Список литературы
- Chau R., Boyanov В., Doyle В. et al Silicon nano-transistors for logic applications // Physica E: Low-dimensional Systems and Nanostructures. 2003. V. 19. N. 1−2. P. 1−5.
- Boggs D., Baktha A., Hawkins J. et al. The microarchitecture of the Intel® Pentium® 4 Processor on 90nm technology // Intel Technology Journal. V. 08. N.l. 2004. P. 7−23.
- Бобринецкий И.И., Неволин В. К., Снисаренко Э. А. нанотехнологии // Микросистемная техника. 2001. № 5. С.35−36.
- Бобринецкий И.И., Неволин В. К., Снисаренко Э. А. нанотехнологии // Микросистемная техника. 2001. № 6. С.37−38.
- Бобринецкий И.И., Неволин В. К., Снисаренко Э. А. нанотехнологии // Микросистемная техника. 2001. № 7. С.44−54.
- Бобринецкий И.И., Неволин В. К., Снисаренко Э. А. нанотехнологии // Микросистемная техника. 2001. № 8. С.44−45.
- Бобринецкий И.И., Неволин В. К., Строганов А. А., Гирфанова Н. А. Новости нанотехнологии // Микросистемная техника. 2002. № 12. С.35−36.
- Faux D. A., J. R. Downes J. R., O’Reilly E. P. Analytic solutions for strain distributions in quantum-wire structures // J. Appl. Phys. 1997. V. 82. N. 8. P. 37 543 762.
- Saraydarov M., Donchev V., Germanova K. et al. Characterization of GaAs/AlGaAs quantum wires by means of longitudinal photoconductivity // Journal of Applied Physics. 2004. V. 95. N. 1 P. 64−68.
- Aviram A., Ratner M.A. Molecular rectifiers // Chem. Phys. Lett. 1974. Vol. 29. N. 2. P. 277−283.
- Porath D., Bezryadin A., Vries S. et al. Direct measurement of electrical transport through DNA molecules // Nature. 2000. Vol. 403. N. 6770. P. 635−638
- Бобринецкий И.И., Корнеев Н. В., Неволин В. К. Особенности проводимости планарных металлических наносужений // Известия ВУЗов. Электроника. 2001. № 3. С.17−22.
- Held R., Heinzel Т., Studerus P., Ensslin К. Nanolithography by local anodic oxidation of metal films using an atomic force microscope // Physica. 1998. V. 273. N. 2. P. 748−752.
- Бобринецкий И. И., Корнеев Н. В., Неволин В. К. Дискретные двухэлектродные планарные элементы наноэлектроники // Материалы 10-й международной крымской конференции «СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии». 2000. С. 411−412
- Cooper Е.В., Manalis S.R., Fang Н., Dai Н., Matsumoto К., Minne S.C., Hunt Т. Terabit-per-square-inch data storage with the atomic force microscope // Appl. Phys. Lett. 1999. V. 75. No. 22. P. 3566−3568.
- Shiricashi J., Matsumoto K., Miura N., Konagai M. Single-electron transistor with Nb/Nb oxide system fabricated by atomic force microscope nano-oxidation process // Jpn. J. Appl. Phys. 1997. V. 36. P. L1257-L1260.
- Адамов Ю.Ф., Корнеев H.B., Мокеров В. Г., Неволин В. К. Формирование и электрические свойства планарных 2D- наноразмерных структур // Микросистемная техника. 2000. № 1. С. 13−16.
- Shevyakov V., Lemeshko S., Roschin V. Conductive sPM probes of base Ti or W refractory compounds // Nanotechnology. No. 9. 1998. P. 352 355.
- Бобринецкий И.И., Корнеев H.B., Неволин В. К. Дифференциальная проводимость планарных нанодиодов // Тезисы докладов 3-й международной научно-технической конференции «Электроника и информатика XXI век». Зеленоград. 22−24 ноября 2000 г. С. 34.
- Abadal G., Perez-Murano F., Barniol N., Aymerich X. Field induced oxidation of silicon by SPM: study of the mechanism at negative sample voltage by STM, ESTM, and AFM // Appl. Phys. A, Vol. 66. No. 7. 1998. P. 791−795.
- Физика тонких пленок: Современное состояние исследований и технические применения. Под. Общ. Ред. М. Х. Франкомба и Р. У. Гофмана. Т. 6. Пер. с англ. М.: Мир. 1973. 392 с.
- Неволин В.К. Двухэлектродные элементы наноэлектроники на основе квантовых проводов // Микроэлектроника. 1999. Том 28 № 4. С. 293 300
- Schmidt Т., Martel R., Sandstrom R.L., Avouris Ph. Current-induced local oxidation of metal films: Mechanismand quantum-size effects // Appl. Phys. Lett. 1998. V. 73, No. 15. P. 2173 2175
- Неволин В.К. Основы туннельно-зондовой нанотехнологии: Уч. пособие. М.: МГИЭТ (ТУ). 1996. 91 с.
- Bobrinetskii I.I., Nevolin V.K., Korneev N.V. Differential conductance of planar microcontacts formed by a conductive probe // Phys. Low-Dim. Struct. 2001. V ¾. P. 183- 188.
- Бобринецкий И.И., Неволин В. К., Рощин В. М., Снисаренко Э. А. Формирование наноконтактов при локальном окислении титановых пленок // Микросистемная техника. 2001. — № 11. С. 42 -45.
- Kroto H.W., Heath J.R., O’Brein S.C., Curl R.F., Smalley R.I. C60: Buckminsterfullerene //Nature. 1985. Vol. 318. P. 162−163.
- Iijima S. Helical microtubules of graphitic carbon // Nature. 1991. Vol. 354. P. 56−58.
- Косаковская З. Я, Чернозатонский JI.A., Федоров E.A. Нановолоконная углеродная структура // Письма в ЖЭТФ. 1992. Том. 56. Вып. 1. С.26−30.
- Saito R., Dresslhaus G., and Dresselhaus M. S. Physical Properties of Carbon Nanotubes. Imperial College Press (London). 2000. 258 p.
- Dekker C. Carbon nanotubes as molecula quantum wire // Phys. Today. 1999. Vol. 22. N. 5. P. 22−28.
- Volodin A., Ahlskog M., Seynaeve E., Van Haesendonck C., Fonseca A., and? Nady J.B. Imaging the elastical properties of coiled carbon nanotubes with atomicforce microscopy // Phys. Rev. Lett. 2000. Vol. 84. N. 15. P. 3342−3345.
- Dai H., Hafher J.H., Rinzler A.G., Colbert D.T., Smalley R.E. Nanotubes as nanoprobes in scanning probe microscopy // Nature. 1996. Vol. 384. N. 6605. P. 147 150.
- Haesendonck C. V., Stockman L.,. Vullers R.J.M. et al. Nanowire bonding with the scanning tunneling microscope // Surface Science. 1997.V. 386. P. 279−289.
- Hamada N., Sawada S. Oshiyama A. New one-dimensional conductors:• graphitic microtubules // Phys. Rev. Lett. 1992. V. 68. Iss. 10. P. 1579−1581.
- Saito R., Fujita M., Dresselhaus G. et al. Electronic structure of chiral graphene tubules // Appl. Phys. Lett. 1992. Vol 60. N. 18. P. 2204−2206.
- Mintmire J.W., Dunlap B.I., White C.T. Are fullerene tubules metallic // Phys. Rev. Lett. 1992. V. 68. Iss. 5. P. 631−634.
- Bockrath M. W. Carbon nanotubes: Electrons in one dimension. A dissertation. of Doctor of Philosophy in Physics. Berkeley. 1999. 131 p.
- Minot E. D. Tuning the band structure of carbon nanotubes. A dissertation. for the degree of doctor of philosophy. Cornell University. 2004. 118 p.
- Venema L.C., Meunier V., Lambin Ph., Dekker C. Atomic structure of carbon nanotubes from scanning tunneling microscopy // Phys. Rev. B. 2000. Vol. 61. N. 4. P.2991−2996.
- Collins P. G., Avouris Ph. Nanotubes for electronics // Scientific American. 2000. P 62 69.
- Journet C.- Maser W. K.- Bernier P. et al // Nature (London). 1997. Vol. 388. P. 756−758.
- Itkis M. E., Perea D. E., Niyogi S. et al. Purity evaluation of as-prepared singlewalled carbon nanotube soot by use of solution-phase near-IR spectroscopy // Nano Lett. 2003. Vol. 3 N. 3. P. 309−314.
- Ren Z.F., Huang Z.P., Xu J.W. et al. Synthesis of large arrays of well-aligned carbon nanotubes on glass // Science. 1998. V. 282. P. 1105−1107.
- Sinnot S.B., Andrews R., Qian D., et al. Chem.Phys.Lett. 1999. V. 315. P. 25* 30.
- Yudasaka M., Kikuchi R., Ohki Y. et al. Behavior of Ni in carbon nanotube nucleation // Appl. Phys. Lett. 1997. V. 70. N. 14. P. 1817−1818.
- Царева С.Ю., Жариков E.B., Аношкии И. В., Коваленко А. Н. Исследование влияния вида, размера, и концентрации частиц катализатора на образование углеродных нанотрубок при каталитическом пиролизе углеводородов // Электроника. 2003.№ 1. С. 20−24
- Guo Т., Nikolaev P., Thess A., et al. Catalitic growth of single-walled nanotubes by laser vaporation // Chem. Phys. Lett. 1995. N. 243. P. 49−54.
- Thess A., Lee R., Nikolaev P. et al. Crystalline Ropes of Metallic Carbon Nanotubes // Science. 1996. V. 273. N. 5274. P. 483−487.
- Петрик В.И. Патент RU 2 163 840 CI 1999.
- Ajayan P M and Ebbesen T W. Nanometre-size tubes of carbon // Rep. Prog. Phys. 1997. Vol. 60. P. 1025−1062.
- Wildoer J.W.G, Venema L.C., Rinzler A.G., Smalley R.E., and Dekker C. Electronic structure of atomically resolved carbon nanotubes // Nature. 1998. V. 391, N. 6662. P. 59−62.
- Hertel Т., Martel R., Avouris Ph. Manipulation of individual carbon nanotubes and their interaction with surfaces // J. Phys. Chem. 1998. Vol. 102. P. 910−915.
- Frank S., Poncharal Ph., Wang A.Z. et al. Carbon nanotube quantum resistors // Science. 1998. Vol. 280. N. 5370. P. 1744−1746.
- Sanvito S., Kwon Y.-K., Тотбпек D., Fractional C. J. Quantum conductance in carbon nanotubes // Phys. Rev. Lett. 2000. Vol. 84. N. 9. P. 1974−1977.
- Бобринецкий И.И., Снисаренко Э. А., Шмалько Д. Ю. Исследование углеродных нанотрубок методами СЗМ // Тезисы докладов 9-всеросийской межвузовской научно-технической конференции студентов и аспирантов «Микроэлектроника и информатика 2002». 2002. С. 4.
- Bobrinetskii I.I., Chaplygin Yu. A., Nevolin V.K., Petrik V.I., Stroganov A.A. The atomic structure of nanotubes synthesized from a highly reactive carbon mixture // Technical Physics Letters. 2003. V. 29. № 4. P. 347−349.
- Быков B.A., Иконников A.B., Кацур С. Ф. и др. Новый базовый электронный блок для управления СЗМ линии «Солвер» //Зондовая микроскопия -2000. Материалы Всероссийского совещания. Нижний Новгород. 2000. С. 282 286.
- Hertel Tobias, Walkup Robert E., and Avouris Phaedon. Deformation of carbon nanotubes by surface van-der-Waals forces // Phys. Rev. B. 1998. Vol. 58. N. 20.
- Wong E.W., Sheehan P.E., Lieber C.M. Nanobeam mechanics: elasticity, strength, and toughness of nanorods and nanotubes // Science. 1997. V. 277. P. 19 711 975.
- Muster J., Burghard M., Roth S. et al. SFM characterization of individual carbon nanotubes on electrode arrays // J. Vac. Sci. Technol B. 1998. V. 16. N. 5. P. 2796−2801.
- Krishnan A., Dujardin E., Ebbesen Т. E. et al. Young’s modulus of singlewalled nanotubes // Phys. Rev. B. 1998. V. 58. N. 20. P. 14 013 -14 019.
- Poncharal P., Wang Z.L., Ugarte D. et al. Electrostatic deflections and electromechanical resonances of carbon nanotubes // Science. 1999. V. 283. P. 1513 -1516.
- Villarubia J.S. Algorithm for scanned probe microscope image simulation, surface reconstruction, and tip estimation // J. Res. Natl. Ins. Stand. Technol. 1997. Vol. 102. N. 4. P. 425−454.
- Бобринецкий И.И., Неволин B.K. Микромеханика углеродных нанотрубок на подложках // Микросистемная техника. 2002. № 4. С. 20 -21.
- Liu К., Avouris Ph., Martel R, Hsu W. K. Electrical transport in doped multiwalled carbon nanotubes // Phisical Rev B. 2001. Vol. 63. P. 63−68.
- Бобринецкий И.И., Строганов A.A. Микромеханика углеродных нанотрубок как элементов наноэлектроники // Тезисы докладов IV международной научно-технической конференции «Электроника и информатика -2002″. 2002. С. 21−22.
- Yu М., Lourie О., Dyer М. et al. Strength and breaking mechanism of multiwalled carbon nanotubes under tensile load // Science. 2000. V. 287. P. 637−640.
- Avouris Ph., Hertel Т., Martel R., Schmidt T.,. Shea H. R, Walkup R.E. Carbon nanotubes: nanomechanics, manipulation, and electronic devices // Applied Surface Science. 1999. Vol. 141. P. 201−209.
- Roschier L., Pentilla J., Martin M. et al. Single-electron transistor made of multiwalled carbon nanotube using scanning probe manipulation // Appl. Phys. Lett. 1999. V.75.N. 5. P. 728−730.
- Kopanski J.J., Marchiando J.F., Lowney J.R. Scanning capacitance microscopy measurements and modeling: Progress towards dopant profiling of silicon // J. Vac. Sci. Technol. В. V. 14. N. 1. 1996. P.242−247.
- Brintlinger Т., Chen Yung-Fu, Durkop T. et al. Rapid imaging of nanotubes on insulating substrates // Appl. Phys. Lett. 2002. V.81. N. 13. P. 2454−2456.
- Бобринецкий И.И., Неволин В. К., Строганов А. А. „Засвечивание“ углеродных нанотрубок в атомно-силовом микроскопе // Известия ВУЗов. Электроника. 2004. №.3. С. 83−85.
- Бобринецкий И.И., Неволин В. К., Петрик В. И. Ветвящиеся нанотрубки из углеродной смеси высокой реакционной способности // Известия ВУЗов. Электроника. 2002. №.2 С. 105−106.
- Scuseria G.E. Negative curvature and hyperfullerenes // Chem. Phys. Lett. 1992. V. 195. N. 5−6. P. 534 -536.
- Chernozatonskii L.A. Carbon nanotube connectors and planar jungle gyms // Phys. Lett. A. 1992. V. 172. N. 3. P. 173−176.
- Бобринецкий И.И., Неволин В. К., Петрик В. И., Строганов А. А., Чаплыгин Ю. А. Атомная структура нанотрубок из углеродной смеси высокой реакционной способности // Письма в журнал технической физики. 2003. Том 29. Вып 8. С 8490.
- Future trends in microelectronics. Edited by S. Luryi, J. Xu and A. Zaslavsky. 1999. John Wiley & Sons, Inc. 435 p.
- Корнеев H.B. Формирование и электрофизические свойства двухэлектродных планарных элементов наноэлектроники. Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. Москва. 2001. 107 с.
- Radosavljevic М., Lefebvre J., Johnson A. High-field electrical transport and breakdown in bundles of single-wall carbon nanotubes // Phys. Rev. B. 2001. Vol. 64. N. 24. P.241 307−1 -241 307−4.
- Бобринецкий И.И., Неволин B.K., Петрик В. И., Чаплыгин Ю. А. Вольтамперные характеристики двухэлектродных элементов с углеродными нанотрубками // Микроэлектроника. 2003. Том 32. N 2. С 102 104.
- Yao Z., Kane C.L., Dekker С. High-field electrical transport in single-wall carbon nanotubes // Phys. Rev. Lett. 2000. V. 84. №. 13. 2941−2944.
- Nakanishi Т., Bachtold A., Dekker C. Transport through the interface between a semiconducting carbon nanotube and a metal electrode // Cond. Matt. B. 2002. V. 66. P. 37 703−1-37 703−4.
- Poncharal P., Frank S., Wang Z.L., De Heer W.A. Conductance quantization in multiwalled carbon nanotubes // European Physical Journal D. 1999. V. 9. P. 77−79.
- Bobrinetskii 1.1., Chaplygin Yu.A., Nevolin V.K., Petrick V.I. Current voltage characteristics of two-electrode devices with carbon nanotubes // Book of abstract
- Nano and Giga Challenges in Microelectronics research and Opportunities in Russia» symposium and summer school Moscow. Russia. 2002. P. 187.
- Tans S.J., Devoret M.H., Dai H. et al. Individual single-wall carbon nanotubes as quantum wires // Nature. 1997. Vol. 386. N. 6624. P. 474 -477.
- Быков B.A. Приборы и методы сканирующей зондовой микроскопии для исследования и модификации поверхностей. Диссертация на соискания ученой степени доктора технических наук. Москва. 2000.-393 с.
- Shon H.N., Ando Т. Quantum Transport in Two-Dimensional Graphite System // Journal of the Physical Society of Japan. 1998. Vol. 67. No. 7. P. 2421−2429.
- Electronic Properties of Novel Materials —Molecular Nanostructures, edited by H.Kuzmany. Theory of Quantum Transport in Carbon Nanotubes. T. Ando. American Inst. Of physics. 2000. P.325−340.
- Landauer R., Bennet Ch.H. Fundamental physical limits of computation // Scientific American. Vol. 253. N. 1. 1985. P. 8−56.
- Nygard J., Cobden D.H., Bockrath M. et al. Electrical transport measurements on single-walled carbon nanotubes // Appl. Phys. A 1999. V. 69. P. 297−304.
- Nakanishi T. and Ando T. Contact between Carbon Nanotube and Metallic Electrode // Journal of the Physical Societ of Japan. 2000. Vol.69. No.7. P. 2175 -2181.
- Landauer R. Irreversibility and heat generation in the computing process // IBM J.Res.Dev. 1961. Vol. 5. P. 183−191.
- Hansson A., Paulsson M., Stafstrom S. Effect of bending and vacancies on the conductance of carbon nanotubes // Phys. Rev. B. 2000. Vol. 62. N. 11. P. 7639 -7644.
- Postma H.W.Ch., Dekker С., Teepan Т., Yao Z., Grifoni M. Carbon Nanotube SET at room temperature // Science. 2001. V. 293. P. 76−79.
- Tans S.J., Verschueren A.R.M., Dekker C. Room-temperature transistor based on a single carbon nanotube // Nature. 1998. V. 393. N. 1. P. 49−52.
- Freitag M., Radosavljevic M., Zhou Y. et al. Controlled creation of a carbon nanotube diode by a scanned gate // Appl. Phys. Lett. 2001. V. 79. N. 20. P. 33 263 328.
- Derycke V., Martel R., Appenzeller J. et al. Controlling doping and carrier injection in carbon nanotube transistors // Appl. Phys. Lett. 2002. V. 80. N. 15. P. 2773−2775.
- Heinze S., Tersoff J., Martel R. et al. Carbon nanotubes as Schottky barrier transistors //Phys. Rev. Lett. 2002. V. 89.N. 10. P. 106 801−1-106 801−4.
- Guo J., Datta S., Lundstrom M. A Numerical Study of Scaling Issues for Schottky-Barrier Carbon Nanotube Transistors // IEEE transactions on electron devices. 2004. V. 51. N. 2. P. 172−177.
- Федосов Я.JI. Основы физики полупроводниковых приборов / Я. Л. Федосов. 2-е изд. М.: Советское радио, 1969. 592 с.
- Parker G. Introductory semiconductor device physics / G. Parker. Prentice Hall, 1994. 285 p.
- Appenzeller J., Knoch J., Radosavljevic M. and Avouris Ph. Multimode Transport in Schottky-Barrier Carbon-Nanotube Field-Effect Transistors // Phisical Review Letters. 2004. V. 92. N. 22. P. 226 802−1-226 802−4.
- Appenzeller J., Knoch J., Martel R. et al. Carbon nanotube electronics // IEEE Trans. Nanotechnol. 2002. V. 1. N. 4. P. 184−189.
- Stahl H., Appenzeller J., Martel R., Avouris Ph., and Lengeier B. Intertube coupling in ropes of single-wall carbon nanotubes // Phys. Rev. Lett. 2000. V. 85. N 24. P. 5186−5189.
- Odom T.W., Huang J.-L., Kim P., Lieber C.M. Structure and electronic properties of carbon nanotubes // J. Phys. Chem. B. 2000. V. 104. N. 13. P. 2794−2809.
- Clauss W., Bergeron D.J., Johnson A.T. Atomic resolution STM imaging of a twisted single-wall carbon nanotube // Phys. Rev. B. 1998. V. 58. N. 8. P. 4266−4269.
- Collins Ph. G., Arnold M. S., Avouris Ph. Engineering carbon nanotubes and nanotube circuits using electrical breakdown // Science. 2001. V. 292. P. 706−709.
- Martel R., Schmidt Т., Shea H. R., Hertel Т., Avouris Ph. Single- and multiwall carbon nanotube field-effect transistors // Appl. Phys. Lett. 1998. V. 73. № 17. P. 2447−2449.
- Bachtold A., Hadley P., Nakanishi Т., Dekker C. .Logic circuits with carbon nanotube transistors // Science. 2001. V. 249. P. 1317−1320.
- Derycke V., Martel R., Appenzeller J., Avouris Ph. Carbon nanotube inter- and intramolecular logic gates // Nano Lett. 2001. V. 1. №. 9. P. 453−456.
- Liu X., Lee Ch., Zhou Ch., Han J. Carbon nanotube field-effect inverters // Appl. Phys. Lett. 2001. V. 79. № 20. P. 3329−3331.
- Rochefort A., Di Ventra M., Avouris Ph. Switching behavior of semiconducting carbon nanotubes under an external electric field // Appl. Phys. Lett. 2001. V. 78. №. 17. P. 2521−2523.
- Бобринецкий И.И., Неволин B.K., Строганов A.A., Чаплыгин Ю. А. Модуляция проводимости пучков однослойных углеродных нанотрубок // Микроэлектроника. 2004 № 5. С. 356−361.
- Wind S. J., Appenzeller J., Martel R., Derycke V., Avouris Ph. Vertical scaling of carbon nanotube field-effect transistors using top gate electrodes // Appl. Phys. Lett. 2002 V. 80. №. 20. P. 3817−3819.
- Бобринецкий И.И., Строганов А. А. Инвертор с линейной нагрузкой на основе углеродных нанотрубок // Тезисы докладов 11-всеросийской межвузовской научно-технической конференции студентов и аспирантов «Микроэлектроника и информатика 2004» С. 7.
- Khakani М.А.Е1. Yi J.H. The nanostructure and electrical properties of SWNT bundle networks grown by an 'all-laser' growth process for nanoelectronic device applications // Nanotechnology. 2004. V. 15. P.534−539.
- Durkop T., Getty S.A., Cabas E. and Fuhrer M.S. Extraordinary mobility in semiconducting nanotubes //Nano letters. 2004. Vol. 4. N. 1. P. 35−39.
- Auvray S., Borghetti J., Goffinan M.F. et al. Carbon nanotube transistor optimization by chemical control of the nanotube-metal interface // Appl. Phys. Lett. 2004. V. 84. N. 25. P. 5106−5108.