Помощь в учёбе, очень быстро...
Работаем вместе до победы

Исследование и разработка приборов контроля на основе бесконтактного линейного электроемкостного первичного измерительного преобразователя микроперемещений

Диссертация: Исследование и разработка приборов контроля на основе бесконтактного линейного электроемкостного первичного измерительного преобразователя микроперемещений
ДиссертацияПомощь в написанииУзнать стоимостьмоей работы

Реализация результатов работы. На основе разработанного линейного тервичного измерительного преобразователя микроперемещений, защищенного патентом на изобретение, Барнаульским ОКБА НПО «Химавтоматика» разработаны, изготовлены и переданы Государственному оптическому институту им. «.И. Вавилова экспериментальные образцы прибора для измерения перемещений с диапазоном ± 400 мкм и приведенной… Читать ещё >

Содержание

  • Глава II. ервая. ХАРАКТЕРИСТИКА СОСТОЯНИЯ И ОСНОВНЫХ НАПРАВЛЕНИЙ РАЗВИТИЯ МЕТОДОВ И СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЯ МИКРОПЕРЕМЕЩЕНИЙ И ПОСТАНОВКА ЗА, ДАЧ ИССЛЕДОВАНИЙ
    • 1. 1. Краткий обзор существующих методов и средств измерения микроперемещений и выбор направления исследований
    • 1. 2. Краткий обзор бесконтактных трехэлектродных емкостных средств измерения микроперемещений заземленных поверхностей и постановка задач исследований

Исследование и разработка приборов контроля на основе бесконтактного линейного электроемкостного первичного измерительного преобразователя микроперемещений (реферат, курсовая, диплом, контрольная)

В современном производстве наличие и качество средств контроля в значительной мере определяет производительность труда, качество и надежность выпускаемой продукции, поэтому их количество возрастает. Как отмечено на европейской конференции «Евросенсор — IV», только в странах Западной Европы было выпущено около 3000 типов датчиков на сумму 8 млрд. германских марок в год.

Значительную часть производственных задач контроля составляет контроль линейно-угловых величин [1].

Так как в приборах контроля микроперемещений преобразование информации обычно производится в одном направлении, то их обобщенную структурную схему можно представить в виде последовательно включенных первичного измерительного преобразователя и измерительного устройства. Поэтом}' разработка приборов контроля линейно-угловых перемещений и, в частности, микроперемещений, включает в качестве первого звена получение первичной измерительной информации о параметрах технологического процесса.

Приходится констатировать, что из всей цепочки получения, обработки и использования информации до сих пор наиболее слабым остается именно это первое звено. Первичные измерительные преобразователи, в отличие от остальной части средств измерений, работают при повышенной вибрации, в агрессивных условиях, при больших колебаниях температуры и влажности. Поэтому около 80% отказов средств измерений происходит из-за выхода первичных измерительных преобразователей из класса точности [50]. На фоне бурного развития средств обработки и использования информации (вычислительной техники, кибернетики, робототехники и т. п.) отставание в разработке первичных измерительных преобразователей особенно заметно. Конечно, успехи в создании вычислительных устройств, в особенности широкое внедрение микропроцессорных комплексов, в определенной мере могут способствовать улучшению характеристик первичных измерительных преобразователей (линеаризация, периодическая поверка и коррекция передаточных характеристик, реализации совокупных и совместных измерений и т. д.). Однако этим путем вряд ли возможно решить упомянутую проблему совершенствования приборов контроля микроперемещений [2].

Перспективным направлением следует считать разработку и широкое внедрение в приборах контроля таких первичных измерительных преобразователей (далее первичных преобразователей), которые основаны на простых, хорошо изученных физических принципах, на принципиально линейных зависимостях «вход-выход», инвариантных по своей природе к влиянию неблагоприятных внешних воздействий, легко поддающихся расчету и воспроизведению, в том числе при массовом и серийном производстве, совершающих минимальное число измерительных преобразований в тракте, несложных в изготовлении, наладке и настройке. К числу таких перспективных устройств, пригодных для решения широкого круга задач контроля микроперемещений, можно отнести емкостные первичные преобразователи [2].

Следует отметить, что большинство нерешенных задач при преобразовании линейных величин в производственных условиях связано с бесконтактными микроперемещениями заземленных поверхностей (толщина фольг и лент, форма изделий, давление веществ в трубопроводе, вибрация и деформация изделий и др.).

Емкостные первичные преобразователи делятся на два вида: двухэлек-тродные и трехэлектродные. Преимуществами трехэлектродных первичных преобразователей перед двухэлектродными являются высокая стабильность, помехоустойчивость и нечувствительность к различного рода влияющим величинам [3].

Из трехэлектродных первичных преобразователей наилучшую линейность имеет первичный преобразователь с копланарными электродами [1]. Однако этот преобразователь имеет низкую абсолютную чувствительность.

От указанного недостатка свободен первичный преобразователь, основанный на изменении краевой емкости плоского конденсатора, т. е. П-образного тервичного преобразователя, имеющий более. высокую линейность статической сарактеристики, чем первичный преобразователь, выполненный в виде плоского конденсатора, но уступающий по этому показателю первичному преобразователю с копланарными электродами [1].

Целью настоящей работы является совершенствование приборов контроля микроперемещений с использованием емкостных первичных преобразователей через аналитические исследования емкостного П-образного первичного феобразователя микроперемещений и разработка на основе этих исследований фиборов контроля с первичным преобразователем, имеющим линейную статическую характеристику.

Идея работы: к известному нелинейному П-образному первичному пре->бразователю параллельно подключается такой дополнительный емкостной юрвичный преобразователь, при котором зависимость общей емкости первич-юго преобразователя от перемещения будет практически линейной.

Для достижения поставленной цели, исходя из идеи работы, можно формулировать в настоящей работе следующие задачи:

1. Произвести анализ емкостей П-образного и дополнительного первичных преобразователей микроперемещений и выбрать условия, при которых зависимость общей емкости первичного преобразователя от перемещения линейна.

2. Рассчитать емкость дополнительного первичного преобразователя.

3. Исследовать погрешность от линеаризации (аппроксимации) статической характеристики П-образного первичного преобразователя с дополнительными электродами при номинальных значениях влияющих величин.

4. Определить выражения для емкостей и погрешностей от линеаризации первичного преобразователя с дополнительными электродами с учетом различных влияющих величин.

5. Разработать методику проектирования первичного преобразователя микроперемещений с дополнительными электродами.

6. Провести экспериментальную проверку методик расчета и проектирования первичных преобразователей.

Для решения поставленных задач применяется метод конформных преобразований и непосредственного определения напряженности поля. Экспериментальные исследований выполнялись на приборах и специально изготовленных стендах.

Научная новизна выполненных исследований и разработок заключается в следующем:

1. Методом конформных преобразований и непосредственного определения напряженности поля получена точная формула для расчета емкости модели первичного преобразователя микроперемещений с дополнительными электродами.

2. Дан анализ емкостей П-образного и дополнительного первичных преобразователей и выбраны условия, при которых их суммарная емкость характеризуется линейной зависимостью от перемещения.

3. Исследована погрешность от линеаризации статической характеристики полученного линейного преобразователя.

4. Рассчитаны емкости и погрешности приборов контроля от линеаризации первичного преобразователя с дополнительными электродами с учетом различных влияющих величин.

5. Предложена методика проектирования приборов контроля на основе линейного П-образного первичного преобразователя микроперемещений с дополнительными электродами с приведенной погрешностью 0,026%- на конструкцию первичного преобразователя получен патент.

Автор защищает:

1. Результаты теоретических и аналитических исследований линейного емкостного П-образного первичного преобразователя микроперемещений с дополнительными электродами.

2. Расчеты емкостей и метрологических характеристик линейного первичного преобразователя микроперемещений с учетом различных влияющих величин.

3. Конструкцию, технологию изготовления, расчет и разработанную методику проектирования линейного первичного преобразователя микроперемещений с приведенной погрешностью 0,02% в приборах контроля.

Практическая ценность приведенной научно-исследовательской работы:

1. Получены точные выражения и таблицы с численными значениями, позволяющие с малой погрешностью определить параметры линейного первичного преобразователя микроперемещений.

2. Разработана конструкция линейного первичного преобразователя микроперемещений с изготовлением электродов методом фотолитографии.

3. Предложенные методики расчета емкостей сложных плоскопараллельных систем могут быть использованы при расчете образцовых конденсаторов и резисторов, конструировании печатных плат, интегральных схем, электрокондуктометров и других устройств.

Реализация результатов работы. На основе разработанного линейного тервичного измерительного преобразователя микроперемещений, защищенного патентом на изобретение, Барнаульским ОКБА НПО «Химавтоматика» разработаны, изготовлены и переданы Государственному оптическому институту им. «.И. Вавилова экспериментальные образцы прибора для измерения перемещений с диапазоном ± 400 мкм и приведенной погрешностью 0,1% и с диапазоном ± 500 мкм и приведенной погрешностью 0,02%, а НТЦ «Ангстрем» Алтай-л<�ого филиала ИА РФ поставлены Выксунскому металлургическому заводу два измерителя объема (толщины) пористой металлической ленты Микрон-3 с о абсолютной погрешностью измерения 0,02 г/см .

Апробация работы. Материалы диссертационной работы докладывались я обсуждались на научно-технических семинарах кафедры «Информационные технологии» и кафедры «Теория электромагнитного поля и электроэнергосбе-эежения» Алтайского государственного технического университета им. И. И. Толзунова, докладывались на научно-технической конференции «Измерения и контроль при автоматизации производственных процессов» (г. Барнаул, 1997 г.), Всероссийской научно-технической конференции «Методы и средства физических величин» (г. Нижний-Новгород, 1998 г.), международном конгрессе хБиоэнергоинформатика" (г. Барнаул, 1998 г.), Международный научно-технический конференции «Датчик-98» (г. Москва), 6-й Всероссийский научно-технической конференции Московского государственного технического уни-зерситета им. Баумана (г. Москва, 1999 г.), 57-й научно-технической конферен-дии АлтГТУ (г. Барнаул, 1999 г.).

Работа изложена на 135 страницах машинописного текста, включая рисунки на 12 страницах, состоит из введения, трех глав, заключения, списка литературы из 115 наименований и приложений.

Во введении показана актуальность темы диссертации, сформулированы дель и задачи исследований, научная новизна работы, обоснована практическая ценность работы, отражена реализация результатов в народном хозяйстве, формулированы научные положения выносимые на защиту, приведены сведе-шя об апробации работы и публикациях, приведена структура диссертации и 1-ано краткое изложения научного материала по главам.

Актуальность сформулированной проблемы в теоретическом аспекте юдтверждается проведением исследований по планам важнейших научно-[сследовательских хоздоговорных работ, которые выполнялись на основании юстановлений Правительства с Государственным оптическим институтом гм. С. И. Вавилова и Выксунским металлургическим комбинатом.

В первой главе дан краткий анализ основных направлений развития методов и средств для измерения микроперемещений и показано, что наиболее точными средствами для бесконтактного измерения микроперемещений являются лазерные интерферометры. Емкостные приборы, уступая по точности оптическим, имеют более простую конструкцию, меньшие габариты, вес и энергопотребление, причем в них наиболее слабым звеном получения, обработки и использования информации являются первичные измерительные преобразователи. Существующие бесконтактные трехэлектродные и, в частности, П-образные первичные преобразователи, обладающие высокой стабильностью, помехоустойчивостью, повышенной абсолютной чувствительностью, имеют значительную нелинейность статической характеристики.

Во второй главе методом конформных преобразований и непосредственного определения напряженности поля получена точная формула для расчета емкости дополнительного преобразователя, рассчитаны на ЭВМ их численные значения. В результате анализа емкостей П-образного и дополнительного преобразователей определены условия, при которых емкость П-образного преобразователя с дополнительными электродами в зависимости от перемещения характеризуется третьим порядком малости. Проведено исследование погрешности от линеаризации статической характеристики предложенного линейного преобразователя методом наименьших квадратов при номинальных значениях влияющих величинопределены емкости и погрешности от линеаризации предложенного преобразователя с учетом различных влияющих величин.

В третьей главе предложена конструкция преобразователя с современной технологией изготовления, дан расчет и разработана методика проектирования преобразователя, проведены экспериментальные исследования методик расчета, проверено соответствие расчетных моделей реальным конструкциям преобразователей, которые подтвердили правильность полученных в данной работе теоретических результатов, приведен краткий обзор разработанных средств измерения микроперемещений.

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ РАБОТЫ.

1. Краткий анализ основных направлений развития методов и приборов энтроля микроперемещений показал, что емкостные приборы, уступая по точ-ости лазерным интерферометрам, имеют более простую конструкцию, еньшие габариты, вес и энергопотребление.

2. В емкостных приборах контроля наиболее слабым звеном получения, бработки и использования информации являются первичные измеритель-ые преобразователисуществующие бесконтактные трехэлектродные и, в ча-гности, П-образные первичные преобразователи, обладающие высокой ста-ильностью, помехоустойчивостью, повышенной абсолютной чувстви-ельностью, имеют значительную нелинейность статической характеристики.

3. Методом конформных преобразований и непосредственного определе-ия напряженности поля получена точная формула для расчета емкости допол-ительного преобразователя, рассчитаны на ЭВМ ее численные значения.

4. В результате анализа емкостей П-образного и дополнительного преобра-ователей показано, что при достаточно большой высоте 2к потенциальных лектродов по сравнению с расстоянием 21 между ними и отношении длин низ-опотенциальных электродов указанных преобразователей равным 0,5 пре—ельная нелинейность общей (суммарной) емкости П-образного преобразовате-я с дополнительными электродами в зависимости от перемещения с/ характе-«изуется третьим порядком малости.

5. Исследование погрешности от линеаризации статической характе-«истики предложенного линейного преобразователя, проведенное методом тименыних квадратов при номинальных значениях влияющих величин, пока-ывает, что при отношении /?// =1 и ёП =(0,18 — 0,28) преобразователь имеет тилучшие метрологические характеристики: абсолютную чувствительность.

2 = 7,9 пф/м, относительную чувствительность ^ =1,5 и предельную.

97 погрешность Ас1/с1= 0,021%.

6. Определены выражения для расчета емкостей и оценены погрешности от линеаризации предложенного преобразователя с учетом различных влияющих величин: а) высоты потенциальных электродов и расстояния между нимиб) ширины потенциальных электродовв) потенциальных электродов разной высотыг) смещения потенциального электродад) скругления краев электродове) высоты экранаоценено влияние зазоров между потенциальными электродами и экранами на емкость преобразователя.

7. Предложена конструкция преобразователя с изготовлением электродов методом фотолитографии, дан расчет и разработана методика проектирования приборов контроля микроперемещений с приведенной погрешностью равной 0,026%.

8. Проведены экспериментальные исследования соответствия расчетных моделей реальным конструкциям преобразователей, которые подтвердили правильность полученных в данной работе теоретических результатов.

9. На основе разработанного линейного преобразователя, защищенного патентом на изобретение, Барнаульским ОКБА ПОЛО «Химавтоматика» и НТЦ «Ангстрем» Алтайского филиала ИЛ РФ разработаны, изготовлены и переданы Государственному оптическому институту им. С. И. Вавилова экспериментальные образцы приборов для измерения микроперемещений с приведенными погрешностями 0,02 и 0,1%, а Выксунскому металлургическому комбинатудва измерителя объема пористой металлической ленты.

Показать весь текст

Список литературы

  1. Г. М. Исследования и разработка бесконтактных трехэлектрод-ных емкостных первичных измерительных преобразователей микроперемещений: Дисс. к-татехн. наук: 05.11.13. — Защищена 25.12.93- Утв. 8.04.94
  2. Ф.Б., Новик А. И. Измерительные компенсационно-мостовые устройства с емкостными датчиками. Киев: Наукова думка, 1987. — 112 с.
  3. A.JI., Никулин В. И. О перспективах применения ёмкостных датчиков // Автометрия -1967.- № 1.- С.17−22.
  4. Аш Ж. и др. Датчики измерительных емкостей. М.: Мир, 1992. — 480 с.
  5. Т.Я., ЧуличкинБ.Н. Преобразователь измерительный линейных перемещений фотоэлектрический растровый (ПИЛП-ФР).- Информ. лист. ВНИИМИ, — № 82 1213.- С. 2.
  6. С.И. Емкостные средства измерения размеров в машиностроении: Обзор, — М.: ВНИИПИ, 1986.-54 с.
  7. Ю.А. и др. Бесконтактный контроль размеров в машиностроении." М.: Машиностроение, 1975 160 с.
  8. Ю.В., Герасимов Н. П., Краснов К. А. и др. Проблемы квантовой метрологии малых длин // Исследования в области линейных и угловых измерений, — Л., 1983.-59 с.
  9. Ramsay J.V. A rapid-scanning Fabry-Perot interferometer with automatic parallelism control //Appl. Opt.-l 962,-Vol. 1 .-P. 411−413.
  10. Smeethe M.J., James J.F. An electronically controlled Fabry-Perot spectrometer // J. Phys. E: Sci. Instrum.-1971.-Vol.4.-P. 429−34.
  11. Л.Ф., Ивановская М. И., Колосницын Н. И. Лазерно интер-ферометрические гравитационно-волновые антены // Проблемы теории гравитации и элементарных частиц.- М., 1981.- С. 102−111.
  12. Я.М. Состояние и перспективы метрологического обеспечения контроля толщины особо тонких покрытий // Дефектоскопия.-1980.- № 6,-С. 78−81.
  13. JI.H., Шаньгин В. Ф., Шаталов Ю. А. Муаровые растровые положения и их применение.- М.: Машиностроение, 1977.- 150 с.
  14. Л.Ю., Баратов В. М., Шур В.Л. Аттестация лазерных интерферометров // Измерительная техника. — 1992. № 6. — С. 16−17.
  15. Ультрапрецизионное координатное устройство для производства изделий микро- и наноэлектроники / П. И. Госьков, B.C. Серегин, Е. Б. Коротков и др. // Нанотехнология, наноэлектроника и криоэлектроника: Тез. докл. I межд. конф.-Барнаул, 1992.- С. 3−5.
  16. В.Н., Лизунов В. Д., Загарских С. А. Лазерная дифракционная установка для измерения малых линейных размеров // Измерительная техника. 1990.-№ 2 .- С. 19−21.
  17. П.И., Якунин А. Г. Оптоэлектронные преобразователи для автоматизации производственных процессов. Барнаул: АПИ, 1986. 100 с.
  18. П.И. Оптоэлектронные информационные и контрольно-измерительные системы и устройства на основе координатно-чувствительных фотоприемников (КЧФ) // Нанотехнология, наноэлектроника и криоэлектроника: Тез. докл. I межд. конф.- Барнаул, 1992. С. 3−4.
  19. Зак Е.А., Кравченко Н. П. Промышленное применение волоконно-оптических датчиков // Измерительная техника, — 1991. № 12. — С. 11−12.
  20. В.Я. Анализ автодинного СВЧ датчика для бесконтактного измерения и контроля размеров изделий // Измерительная техника, — 1992. — № 3,-С. 24−26.
  21. Приборостроение и средства автоматики / Под ред. А. Н. Гаврилова. В пяти книгах. Кн.1. М.: Гос. научн. техн. изд-во машиностр. лит-ры, 1963. -568 с.
  22. В.В., Горбова Г. М., Хомутов О. И. Параметрические первичные измерительные преобразователи.- М.: Высшая школа, 1997.- 181с.
  23. Ф.Б., Левицкий А. С., Сурду М. Н. Прецизионные измерители перемещений емкосин.- Киев, 1987.- 44 с. (Препринт ИЭД АН УССР- № 493).
  24. А.А. Высокоточные системы передачи угла автоматических устройств. М.: Энергия, 1975.- 282 с.
  25. Д. А., Гольфман И .Я. Поворотный индуктосин,— Д.: Энергия, 1969. 100 с.
  26. В.Б., Полнарев А. Г. Удивительная гравитация (или как измеряют кривизну мира). М.: Наука, 1985. — 160 с.
  27. Jones R.V., Richards J.C. The design and some applications of sensitive capacitance micrometers // J. Phys. E: Sci. Instrum.-1973.-Vol.6, № 7.- P. 589−676.
  28. Gladwin M.T., Wolfe J. Linearity of capacitance displacement transducer // J. Rev. Sci. Instrum.-1975.-Vol.46, № 8.- P. 1099−1100.
  29. Ono sokki. Non-contact thickness metters. Tokio: ONO SOKKI CO. LTD., 1986,-12 p.
  30. Huang S.M., Stott A.L., Green R.G., Beck M.S. Electronic transducers for industrial measurement of low value capacitances /7 J. Phys. E: Sci. Instrum.-1988.-Vol.21, № 4.- P. 242−250.
  31. Schaible B. Entwicklung eines kapa-zitiven wegaufnehmers zur untersuchung von Fugenverbindungen // J. Indusrie-Anzeiger.-1975.-Vol.26, № 95.-P. 2026−2027.
  32. Schaffer G. A new look at inspectation // J. American Machinist.-1979.-№ 8.-P. 103−126.
  33. А.с. 1 725 070 СССР, МКИ5 в 01 В 7/00. Емкостный датчик микроперемещений / В. Г. Панов (СССР).- № 4 822 394/28- Заявлено 22.03.90.
  34. А.с. 1 768 942 СССР, МКИ5 С 01 В 7/14. Емкостный измерительный преобразователь /В.П. Ананьев (СССР).- № 4 749 221/28- Заявлено 16.10.89.
  35. А.с. 777 400 СССР, МКИ3 в 01 В 7/00, в 01 В 7/30. Емкостный датчик / Л. П. Ульянов (СССР).- № 2 708 324/18−28- Заявлено 29.12.78- Опубл. 07.11.80, Бюл. № 41.
  36. Пат. 2 023 847 Великобритании, МКИ2 С 01 В 7/12, 1978.
  37. Пат. 3 812 424 США, МКИ4 в 01 В 7/00, 1991.
  38. Пат. 2 334 089 Франции, МКИ3 О 01 В 7/30, 1982.
  39. Пат. 2 454 084 Франции, МКИ3 в 01 В 7/00, 1984.
  40. Пат. 2 494 835 Франции, МКИ3 в 01 В 7/02, 1985.
  41. Пат. 1 914 045 ФРГ, МКИ2 в 01 В 7/00, 1978.
  42. Пат. 2 137 545 ФРГ, МКИ2 0 01 В 7/12, 1980.
  43. А.с. 273 336 СССР, МКИ О 01 Г 27/26. Емкостный одностронний датчик для исследования твердых диэлектрических материалов / Э. В. Кузьмин (СССР).- № 1 291 764/18−10- Заявлено 23.12.68- Опубл. 15.06.70, Бюл. № 20.
  44. Фот В.П., Горбова Г. М. Измеритель отклонения толщины металлической ленты ИТЛ 2. // Информ. лист. Алт. ЦНТИ. — № 440 — 93. — С. 2.
  45. Р.С. Расчет емкостей датчиков с плоскопараллельными электродами // Техническая электродинамика 1989. — № 3. — С. 107−110.
  46. Г. М. Расчет частичной емкости трехэлектродного первичного измерительного преобразователя с плоскопараллельными электродами // Электромеханика. 1996. — № 1 -2. — С. 11−14.
  47. В.В., Хомутов О. И., Горбова Г. М. Расчет и проектирование бесконтактного емкостного измерителя микроперемещений // Ползуновский Альманах. 1999, — № 2. С. 45−58.
  48. Г. М. Расчет емкости, электрической и магнитной проводимо-стей плоскопараллельных систем.- Барнаул: изд-во АлтГТУ, 1996, — 40 с.
  49. А. с. 1 755 034 СССР, МКИ в 01 В 7/00. Емкостный датчик перемещений / П. И. Госьков, Г. М. Горбова (СССР). № 4 811 010/28- Заявлено 07.02.90- Опубл. 17.10.90, Бюл. № 235.
  50. Г. М. Аналитические исследования статических характеристик емкостного первичного измерительного преобразователя перемещений // Нанотехнология, наноэлектроника и криоэлектроника: Тез. докл. I межд. конф, — Барнаул, 1992. С. 67−68.
  51. П.И., Горбова Г. М. Расчет емкостного первичного преобразователя микроперемещений плоской заземленной электропроводной поверхности // Измерение и контроль при автоматизации производственных процессов: Тез. докл.-Барнаул, 1991.-С. 129−130.
  52. Г. М. Измеритель влажности микрокристаллической целлюлозы // Информ. лист. АлтЦНТИ. № 149−95. — С. 2.
  53. Г. М. Расчет емкости копланарного первичного преобразователя для измерения микроперемещения // Измерение, контроль и автоматизация производственных процессов: Материалы IV междун. конф.- Барнаул, 1997.-Ч.2.-С. 100−101.
  54. П.И., Горбова Г. М. Расчет емкости первичного преобразователя микроперемещений // Нанотехнология, наноэлектроника и криоэлектроника: Тез. док. Барнаул, 1992. — С. 172−175.
  55. Г. М. Емкостные приборы на основе первичных измерительных преобразователей микроперемещений // Вестн. АлтГТУ. Ползуновский альманах. 1998. -№ 1. — С. 37−38.
  56. Г. М. Расчет статической характеристики трехэлектродного первичного преобразователя микроперемещений // Ползуновский Альманах.-1998,-№ 1, — С. 37−38.
  57. Г. М. Расчет частичной емкости трехэлектродного П-образного первичного измерительного преобразователя микроперемещений // Электромеханика. № 3, — С. 90−91.
  58. A.c. 625 130 СССР, МКИ2 G 01 В 7/00. Емкостный датчик микроперемещений / В. Г. Панов (СССР).- № 2 362 164/25−28- Заявлено 17.05.76- Опубл. 25.09.78, Бюл. № 35.
  59. Г. М. Расчет статической характеристики первичного измерительного преобразователя микроперемещений объектов // Биоэнергоинформа-тика: Докл. Барнаул, 1998. — С. 259−261.
  60. A.c. 1 334 050 СССР, МКИ4 G 01 L 9/12. Устройство для измерения давления веществ в трубопроводе / А. Л. Грохольский, Д. Г. Конев, С. Д. Тарасенко и др. (СССР).- № 3 006 764/18−10- Заявлено 20.11.80- Опубл. 30.08.87, Бюл. № 32.
  61. Г. М., Иноземцев A.M. Расчет емкости линейного перекрестного преобразователя микроперемещений // Состояние и проблемы измерений: Тез. докл. 6-ой Всеросс. НТК, — М.: 1999, — С. 22−23.
  62. Г. М., Иноземцев А. М. Расчет электрической емкости одной сложной плоскопараллельной системы // 57-я НТК студентов, аспирантов и преподавателей: Тез. докл.- Барнаул, 1999.-С. 54.
  63. Г. М. Расчет статической характеристики трехэлектродного первичного преобразователя микроперемещений // Вестник Ассоциации Сибирских отд-ний МАЭН.- 1999.- № 1.- С. 43−45.
  64. П.И., Горбова Г. М. Расчет статической характеристики первичного преобразователя образцового прибора для измерения микроперемещений // Оптические сканирующие устройства и измерительные приборы на их основе: Тез. докл. Барнаул, 1990. — С. 55−56.
  65. Ю.Я., Кочанов Э. С., Струнский М. Г. Расчет электрической емкости. JX: Энергоиздат. Ленингр. отд-ние, 1981.- 288 с.
  66. Ю. П. О влиянии зазоров на ёмкость конденсаторов с прямоугольным поперечным сечением. // Тр. Метрологических ин-тов, — 1976. № 154-С. 91−100.
  67. Lampard D.G. A new theorem in electrostatics with applications to calculable standards of capacitance // Proc. IEEE. 1957, — Vol. 104. — P. 271−280.
  68. Пат. 1 564 727 Великобритании, МКИ4 G 01 В 7/08, 1980.
  69. А.с. 989 318 СССР, МКИ3 G 01 В 7/08, G 01 В 7/14. Дифференциальный емкостный датчик перемещения / А. Л. Грохольский, С. Д. Тарасенко, А. П. Козлов (СССР).- № 3 303 626/25−28- Заявлено 18.06.81- Опубл. 15.01.83, Бюл. № 2.
  70. Heerens W.C. The solution of Laplace’s equation in cylindrical and toroidal configurations with rectangular sectional shapes and rotation symmetrical boundary conditions // J. Appl. Phys. — 1976. — Vol.47. — P. 3740−3744.
  71. Heerens W.C., Cuperus B. Hommes R. Analytical formulas for toroidal cross capacitances with rectangular sectional shapes, including gap correction formulas // Delft Progr. Rep. 1979. — Vol. 4. — P. 67−81.
  72. Thompson A.M. The cylindrical cross capacitor as a calculable standard // Proc. The Institution of Electrical Engineers. — 1959, — Vol. 2887 M. — P. 307−310.
  73. Makow D. A new computable capacitor // Metrologia. 1969. — Vol.5. — P. 126−128.
  74. Makow D. A new stable capacitor and its application to the measurement of angle // Radio Sci. 1971. — Vol.6. — P. 1−5.
  75. Makow D., Campbell J.B. Circular four electrode capacitors for capacitance standarts // Metrologia. 1972. — Vol. 8. — P.148−155.
  76. Makow D., Campbell J.B. Calculation of the capacitance of a ring capacitor of rectangular cross section with no insulating gaps // J. Of Computational Physics. -1973,-Vol. 12.-P. 137−142.
  77. Справочник по математике для инженеров и учащихся ВТУЗов / Бронштейн И. Н., Семендяев К. А. М.: Наука, 1980. — 947 с.
  78. Г. М., Чепуштанов А. А. Методика выравнивания статической характеристики преобразователя прямой линией // Биоэнергоинформатика: Докл. Барнаул, 1998. — С. 247−249.
  79. Г. М., Чепуштанов А. А. Расчет краевой частичной емкости первичного измерительного преобразователя микроперемещений биообъектов // Биоэнергоинформатика: Докл. Барнаул, 1998. — С. 251−258.
  80. Г. М., Чепуштанов А. А. Прецизионные бесконтактные электроемкостные приборы для контроля линейных перемещений.- Барнаул: АлтГ-ТУ, 2000, — 11с. (Препринт № 240 2000.
  81. Г. М., Чепуштанов А. А. Исследования нелинейности статической характеристики емкостного первичного измерительного преобразователямикроперемещений // Методы и средства измерений физических величин: Тез. докл. Нижний Новгород, 1998. — С. 17.
  82. Г. М., Чепуштанов A.A.- Расчет погрешностей емкостного преобразователя микроперемещений // Датчики и преобразователи информации систем измерения, контроля и управления: Тез. докл. Москва, 1998.-С.56.57.
  83. Пат. 2 147 726 RU, МКИ7 GOIB7/14, G 01 Д 5/24, 2000. Емкостный первичный измерительный преобразователь линейных микроперемещений / Г. М. Горбова, A.A. Чепуштанов.
  84. Г. М., Чепуштанов A.A. Аналитический расчет сверхлинейного электроемкостного преобразователя микроперемещений // Измерение и контроль при автоматизации производственных процессов: Материалы IV междун. конф.- Барнаул, 1997.- С. 23−25.
  85. Г. М., Чепуштанов A.A. Влияние высоты потенциальных электродов и расстояния между ними на погрешность линейного преобразователя микроперемещений // Состояние и проблемы измерений: Тез. докл. 6-ой Всеросс. НТК.- М.: 1999.- С. 20−21.
  86. М.Г., Горбов М. М. Бесконтактные емкостные микромеры.-Д.: Энергоатомиздат. Ленингр. отд-ние, 1986.- 136 с.
  87. Г. М., Чепуштанов A.A. Влияние разности высот потенциальных электродов на емкость преобразователя микроперемещений //57.я НТК студентов, аспирантов и преподавателей: Тез. докл.- Барнаул, 1999.-С. 51−53.
  88. Maxwell J.C.A. A treatise оп electricity and magnetism.- Oxford: The Clarendon Press, 1873.
  89. A.JT., Горбов М. М., Струнский М. Г. и др. Емкостные первичные измерительные преобразователи диаметра неизолированного микропровода//Измерения, контроль, автоматизация.- 1978.- № 2, — С. 16−23.
  90. Duinker S. Short wave lenght response of magnetic reproducing heads with rounded gap edges // Phillips Research Report.- 1961 Vol. 16, № 4.-P. 307−322.
  91. Elnekave N. Deux etolons calcules de capacite electrique // Bulletin d' inform. du Bureau Nat. de Metrologie. 1973. Vol. 4, № 13, — P. 3−9.
  92. M. Г., Горбов M. M. Расчёт частичных ёмкостей в одной плоско-параллельной системе электродов // Электричество. 1988.- № 9.- С. 4550.
  93. Snow С. Effect of clearance and displacement of attracted disk and also of a certain arrangement of conducting hoops, upon the constant of an electrometer // Bureau of Standards. J. Res.-1928, — Vol. 1, № 4.-P. 513−530.
  94. Moon C., Sparks M. Standards for low values of direct capacitance // J. Res. NBS. 1948. — Vol. 41. — P. 497 — 507.
  95. Lauritzen J. I. The effective area of a guarded electrode // Ann. Rep. Conf. on Electr. Insul.- 1963.-P. 67−70.
  96. Ю.П. Влияние некомпланарности электродов на емкость конденсатора с охранным кольцом // Исследование в области электрических измерений. Л., 1985. — С. 34−38.
  97. Iijima Т. A consideration on the guard ring width of a standard for small capacitance // Дэнки сикэнсё ихо, Bull. Electroteclm. Lab. 1956. — Vol. 20, № 5. -P. 357−361.
  98. Iijima 'Г. The effect of the supporter installed in a standard of small capacitance // Дэнки сикэнсё ихо, Bull. Electrotechn. Lab. 1956. — Vol. 20, № 5. -P. 361−364.
  99. А.А. Бесконтактный электроемкостный прибор для контроля пористой ленты.- Барнаул: АлтГТУ, 2000, — 11с. (Препринт № 241 2000.
  100. Емкостные средства измерения диаметра протяженных цилиндрических изделий и линейных перемещений / П. П. Гришин и др. // Автоматизация химических производств. М.: НИИТЭХИМ — 1989. — № 4, — С. 34−37.
  101. Thomson J. J. Notes on recent researches in electricity and magnetism. -Oxford: The Clarendon Press, 1893.1301. СПРАВКА
  102. Приборы прошли ведомственную метролопмескую аттестацию, в них используется емкостный линейный перв^иныйсмертельный преобразователь, разработаштьм Горбовой Г. М и Чепуштановым, А А1. СПРАВКА
  103. В приборах используется патент на изобретение «Емкостный первичный измерительный преобразователь линейных микроперемещений» № 2 147 726 RU от 20.04.00 г. авторов Горбовой Г. М. и Чепупгганова A.A.1. А.Ю. Гаврилов1. Л/ч V С* '---Л
  104. УТВЕРЖДАЮ •г,^Щектор 1|ТЦ ШГСТРЕМ1. ЛНГСГРЕЦ.1. В. М. Тищенкод.еядЩ- 11 992 г. '1. П Р о т о к о лведомственной метрологической: аттестацииизмерителя'объема пористой металлической ленты МИКРОН-3
  105. Комиссия провела метрологическую аттестацию приборов в соответс и с техническим заданием. ,
  106. Результаты проведенных испытаний 4.1*- Определение основной абсолютной погрешности/п*'б.'2.4.ТЗ/.
  107. Определение основной погрешности-проводилось в соответствииетодикой приведенной зз. разделе б технического описания на прибор"1езультатн.испытаний-приведены в. табл. I
Заполнить форму текущей работой

Пора сдавать?