Автоматическая стабилизация параметров распределения мощности электронного пучка с целью обеспечения качества покрытий, наносимых методом электроннолучевого испарения
Технически реализована и экспериментально исследована система автоматической стабилизации параметров распределения мощности электронного пучка с использованием полученных в диссертационной работе результатов. Система обеспечивает измерение распределения мощности электронного пучка по поверхности испаряемого материала, стабилизацию положения электронного пучка в случае неконтролируемого изменения… Читать ещё >
Содержание
- СОКРАЩЕНИЯ И ОБОЗНАЧЕНИЯ
- 1. АНАЛИЗ СОВРЕМЕННОГО СОСТОЯНИЯ ВОПРОСА И ФОРМУЛИРОВКА ЗАДАЧИ ИССЛЕДОВАНИЯ
- 1. 1. Влияние параметров технологического процесса электронно-лучевого испарения на качество покрытий
- 1. 1. 1. Получение покрытий методом электронно-лучевого испарения
- 1. 1. 2. Влияние нестабильности параметров распределения мощности электронного пучка по поверхности испаряемого материала на качество покрытий
1.2 Анализ требований к датчику распределения мощности электронного пучка и системе автоматической стабилизации параметров распределения. 24 1.3 Классификация известных методов измерения распределения мощности электронного пучка.
1.4 Методы измерения распределения мощности электронного пучка.
1.4.1 Метод проволочного зонда.
1.4.2 Метод щелевого зонда.
1.4.3 Метод тонкопленочного зонда.
1.4.4 Метод матричной мишени.
1.4.5 Метод прямого (кругового) среза.
1.4.6 Метод рентгеновского излучения.
1.4.7 Метод вторичной электронной эмиссии.
1.5 Сравнение методов измерения распределения мощности электронного пучка.
1.6 Формулировка задачи исследования.
1.7 Выводы по главе 1.
2 РАЗРАБОТКА И ИССЛЕДОВАНИЕ ДАТЧИКА РАСПРЕДЕЛЕНИЯ МОЩНОСТИ ЭЛЕКТРОННОГО ПУЧКА.
2.1 Вторичноэмиссионный метод измерения распределения мощности электронного пучка по поверхности испаряемого материала.
2.2 Математическая модель процесса формирования выходного сигнала чувствительного элемента.
2.3 Датчик распределения мощности электронного пучка.
2.3.1 Чувствительный элемент датчика.
2.3.2 Расчет выходного сигнала чувствительного элемента.
2.3.3 Расчет статических характеристик датчика как элемента автоматики.
2.3.4 Вычислитель параметров выходного сигнала чувствительного элемента датчика.
2.3.5 Расчет погрешности датчика.
2.3.6 Статические и динамические параметры датчика как элемента автоматики.
2.4 Выводы по главе 2.
3 РАЗРАБОТКА И ИССЛЕДОВАНИЕ СИСТЕМЫ АВТОМАТИЧЕСКОЙ СТАБИЛИЗАЦИИ ПАРАМЕТРОВ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ МОЩНОСТИ ЭЛЕКТРОННОГО ПУЧКА.
3.1 Разработка структурных схем системы.
3.2 Выбор способа технической реализации цифрового вычислительного комплекса.
3.3 Статические и динамические характеристики звеньев системы, входящих в электронно-лучевые установки для нанесения покрытий.
3.4 Разработка алгоритмов управления
3.5 Разработка цифрового регулятора.
3.6 Анализ контура стабилизации траектории развертки в динамическом режиме.
3.7 Анализ контура стабилизации фокусировки в динамическом режиме.
3.8 Выводы по главе 3.
4 ТЕХНИЧЕСКАЯ РЕАЛИЗАЦИЯ И ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ДАТЧИКА РАСПРЕДЕЛЕНИЯ МОЩНОСТИ ЭЛЕКТРОННОГО ПУЧКА И СИСТЕМЫ АВТОМАТИЧЕСКОЙ СТАБИЛИЗАЦИИ ПАРАМЕТРОВ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ.
4.1 Опытные образцы чувствительного элемента и устройства сопряжения с объектом.
4.2 Программное обеспечение цифрового вычислительного комплекса.
4.3 Оборудование и техника экспериментов.
4.4 Результаты экспериментального исследования датчика распределения мощности электронного пучка.
4.5 Результаты экспериментального исследования контура стабилизации траектории развертки системы автоматической стабилизации параметров распределения мощности электронного пучка.
4.6 Выводы по главе 4.
ЗАКЛЮЧЕН!®-.
- 1. 1. Влияние параметров технологического процесса электронно-лучевого испарения на качество покрытий
Список литературы
- Ройх, И. JI. Нанесение защитных покрытий в вакууме Текст. / И. JI. Ройх, JL H. Колтунова, С. H. Федосов. М.: Машиностроение, 1976. -368 с.: ил.
- Рыкалин, H. Н. Основы электронно-лучевой обработки материалов Текст. / H. Н. Рыкалин, И. В. Зуев, А. А. Углов. М.: Машиностроение, 1978.-239 с.: ил.
- Шиллер, 3. Электронно-лучевая технология Текст. / 3. Шиллер, У. Гайзиг, 3. Панцер — пер. с нем. — М.: Энергия, 1980. 528 с.: ил.
- Малашенко, И. С. Повышение долговечности лопаток транспортных ГТУ путем применения защитных покрытий Текст. / И. С. Малашенко, Г. Ф. Мяльница, О. Г. Жирицкий // Проблемы специальной электрометаллургии. 1981. — Вып. 15.-С. 52−59.
- Мовчан, Б. А. Жаростойкие покрытия, осаждаемые в вакууме Текст. / Б. А. Мовчан, И. С. Малашенко. Киев: Наукова думка, 1983. -232 с.: ил.
- Малашенко, И. С. Конденсационные защитные покрытия на лопатках турбин газоперекачивающих агрегатов Текст. / И. С. Малашенко, В. В. Орленко, С. В. Доморослов // Проблемы специальной электрометаллургии. 1990. — Вып. 2. — С. 57−63.
- Мищенко, В. П. Анализ параметров и основные задачи автоматического регулирования процесса электроннолучевого испарения и конденсации Текст. / В. П. Мищенко, П. П. Осечков // Проблемы специальной электрометаллургии. 1976. — Вып. 5. — С. 75−79.
- Малиновский, Б. Н. АСУТП электроннолучевого испарения Текст. / Н. В. Подола, В. П. Мищенко // Управляющие системы и машины. -1979. -№ 3.- С. 102−106.
- Патон, Б. Е. Функции и основные алгоритмы АСУ технологическим процессом электроннолучевого испарения Текст. / Б. Е. Патон, Н. В. Подола, В. П. Мищенко // Проблемы специальной электрометаллургии. 1979. — Вып. 10. — С. 50−55.
- Мищенко, В. П. Аппаратура управления электронным лучом в установках для плавки и испарения материалов Текст. / В. П. Мищенко, JI. Ф. Любарец, В. П. Бурьянов // Проблемы специальной электрометаллургии. 1976. — Вып. 6. — С. 66−69.
- Мищенко, В. П. Устройство для контроля температуры напыляемых изделий при электроннолучевом испарении конденсации Текст. / В. П. Мищенко, П. П. Осечков, И. А. Косенко // Проблемы специальной электрометаллургии. 1982. — Вып. 16. — С. 53−57.
- Мищенко, В. П. Совершенствование устройств управления электронным лучом в установках для плавки и испарения материалов Текст. / В. П. Мищенко, В. П. Бурьянов, Л. Ф. Новиченко // Проблемы специальной электрометаллургии. 1982. — Вып. 16. — С. 57−60.
- Мищенко, В. П. Автоматизированная система управления процессом электронно-лучевого нанесения покрытий Текст. / В. П. Мищенко, Н. В. Подола, В. Н. Воробьев, С. С. Тарасов // Проблемы специальной электрометаллургии. 1985. — Вып. 3. — С. 45−50.
- Мищенко, В. П. Измерение уровня металлической ванны в установках для электронно-лучевого испарения и плавки Текст. // Проблемы специальной электрометаллургии. 1988. — Вып. 2. — С. 50−54.
- Воробьев, В. Н. Система автоматического управления установками для электронно-лучевого нанесения покрытий Текст. / В. Н. Воробьев, В. П. Мищенко, Ю. Н. Ланкин, С. С. Тарасов // Проблемы специальной электрометаллургии. 1988. — Вып. 4. — С. 57−62.
- Пузырев, В. А. Адаптивное управление технологическими процессами производства БИС Текст. / В. А. Пузырев, А. С. Герасимова // Зарубежная электроника. 1988. — № 1. — С. 44−58.
- GroeschI, M. Sensor for the detection of the incident point of an electron beam / M. GroeschI, E. Benes, E. Schmidt, H. Siegmund, G. Thorn, F. W. Thomas Text. // Thin Solid Films. 1989. — Vol. 175, N 1. — P. 323−329.
- Тихоновский, A. JI. Электронно-лучевая установка УЭ-208 Текст. / A. JI. Тихоновский, А. А. Тур, А. Н. Кравец // Проблемы специальной электрометаллургии. 1992. — Вып. 1. — С. 71−74.
- Микроанализ и растровая микроскопия Текст.: сб. ст. фр. учен. — под ред. Ф. Морис, JI. Мени, Р. Тиксье — пер. с фр. М.: Металлургия, 1985.-392 с.: ил.
- Гречанюк, Н. И. Исследование структуры и свойств толстых вакуумных конденсатов системы Cr-Y Текст. / Н. И. Гречанюк, Г. Г. Дудилин, I
- Б. А. Мовчан // Проблемы специальной электрометаллургии. 1983. -Вып. 18.-С. 59−63.
- Малашенко, И. С. Исследование структуры и свойств толстых вакуумных конденсатов системы Ni-Cr-Al-Y Текст. / И. С. Малашенко, Н. П. Ващило, В. Г. Васильев // Проблемы специальной электрометаллургии. 1983. — Вып. 19. — С. 40−44.
- Куриат, Р. И. Термоусталочная прочность многокомпонентных конденсированных покрытий на сплаве ЖС6У Текст. / Р. И. Куриат, JI. В. Кравчук, К. П. Буйских, И. С. Малашенко // Проблемы специальной электрометаллургии. 1985. — Вып. 3. — С. 39−44.
- Бадиленко, Г. Ф. Некоторые закономерности испарения и конденсации бинарных сплавов системы титан-алюминий Текст. / Г. Ф. Бадиленко, А. К. Кривасов, Б. А. Мовчан // Проблемы специальной электрометаллургии. 1986. — Вып. 3. — С. 43−52.
- Осокин, В. А. Структура и некоторые физико-механические свойства вакуумных конденсатов медь-алюминий Текст. / В. А. Осокин, Н. И. Гречанюк, Б. А. Мовчан // Проблемы специальной электрометаллургии. 1988. -Вып. 1.-С. 56−60.
- Рыбников, А. И. Структурные изменения в двухслойном покрытии Co-Cr-Al-Y/Zr02−8% Y203 на никелевом сплаве ЭИ929 Текст. / А. И. Рыбников, И. С. Малашенко, К. Я. Яковчук, Б. А. Мовчан // Проблемы специальной электрометаллургии. 1989. — Вып. 2. — С. 52−56.
- Вернадская, И. В. Особенности деформации трехслойных конденсатов системы Fe/Cu Текст. / И. В. Вернадская, JI. М. Нероденко, Т. А. Молодкина, Б. А. Мовчан // Проблемы специальной электрометаллургии. -1990.-Вып. 4.-С. 55−60.
- Мищенко, В. П. Весовой измеритель толщины и скорости роста покрытий Текст. / В. П. Мищенко, П. П. Осечков, JI. Ф. Новиченко // Проблемы специальной электрометаллургии. 1985. — Вып. 4. — С. 51−55.
- А. с. 1 415 041 СССР, МКИ4 G oi В 7/06, С 23 С 14/56. Способ непрерывного контроля толщины покрытий при их напылении и устройство для его осуществления Текст. / Э. И. Семенов, В. П. Сидоркин (СССР) — за-явл. 15.09.1986 — опубл. 07.08.1988, Бюлл. № 29.
- Suzukti, Н. Characteristics of Electron beam for Welding Text. // Journal of the Japan Welding Society. 1963. — N 5.
- Sanderson, A. Electron Beam delineation and penetration Text. // Brit. Weld. J.- 1968.-N 10.
- Зуев, И. В. Об измерении диаметра электронного луча методом вращающегося зонда Текст. / И. В. Зуев, А. А. Углов // Физика и химия обработки материалов. — 1967. № 5. — С. 110−112.
- Kuper, G. Vermessung der Stromdichterverteilung im Elektronenstrahl Text. // Ind. Anz. 1970. — N 97.
- Назаренко, О. К. Измерение параметров мощных электронных пучков методом вращающегося зонда Текст. / О. К. Назаренко, В. Е. Локшин, К. С. Акопьянц // Электронная обработка материалов. 1970. — № 1. — С. 8790.
- Matting, А. Elektronenstrahlschweissen im Vergleich mit anderer Schweissverfahren hoher Leistungsdichte Text. / A. Matting, G. Sepold // Schweissen und Schneiden. 1968. — N 8.
- Зуев, И. В. О распределении плотности тока по сечению электронного луча Текст. / И. В. Зуев, Н. Н. Рыкалин, А. А. Углов // Физика и химия обработки материалов. 1968. — № 6. — С. 5−12.
- Einhorn, F. Leistungsdichte und radiale Leistungsdichte Verteilung beim Elektronenstrahlschweissen und ihre Auswirkung auf den Feifschurisseffekt Text. / F. Einhorn, D. Neef// Ind. Anz. 1969. — N 23.
- Neef, D. Fokussieren des Elektronenstrahls mit hilfe der Analog-Digital-Technik Text.: Actes du premier colloque international Soudage et fusion par faisceaux d’electrons. Paris, 1971.
- Швалев, H. А. Методы направления электронного луча по стыку свариваемых кромок (обзор) Текст. / Н. А. Швалев, Э. И. Семенов // Сварочное производство. 2004. — № 2. — С. 25−32.
- Башкатов, А. В. О нахождении коэффициента сосредоточенности электронного луча Текст. / А. В. Башкатов, В. С. Постников, Ф. Н. Рыжков // Физика и химия обработки материалов. 1970. — № 5. — С. 14−18.
- Павлюченко, Ю. П. Метод вращающегося зонда для исследования аксиально-симметричных пучков электронов Текст. // Вюник Кшвського полггехничного шституту. Сер. Радиотехника. 1966. — № 3.
- Назаренко, О. К. Электронно-лучевая сварка Текст. / О. К. Наза-ренко, Е. И. Истомин, В. Е. Локшин. М.: Машиностроение, 1966. — 128 с.: ил.
- Каплан, А. А. Контроль геометрических параметров сварочного пучка электронов мощностью до 60 кВт Текст. / А. А. Каплан, В. М. Кор-дун // Сварочное производство. 1983. — № 7. — С. 33−34.
- Углов, А. А. Об экспериментальном исследовании параметров тонких электронных пучков Текст. / А. А. Углов, В. К. Дущенко, А. А. Васю-тин // Физика и химия обработки материалов. 1974. — № 3. — С. 26−29.
- Меркер, Э. А. Устройство для прецизионного измерения координат и формы выведенного пучка протонов Текст. // Приборы и техника эксперимента. 1975. — № 6. — С. 25−27.
- Никонов, О. К. Датчик для измерения плотности тока сильноточного микросекундного пучка Текст. / О. К. Никонов, Ю. М. Савельев, В. И. Энгелько // Приборы и техника эксперимента. 1984. — № 1. — С. 37−39.
- Алексеев, Г. И. Измерение параметров электронного потока проволочными коллекторами Текст. / Г. И. Алексеев, А. М. Блинов // Сильноточные электронные пучки и новые методы ускорения: сб. науч. тр. — М.: АН СССР, 1985.-С. 21−32.
- Fiorito, R. В. Current densety monitor for intense relativistic electron beams Text. / R. B. Fiorito, M. Raleigh, S. M. Seltzer // Review of Scientific Instruments. 1986. — Vol. 57, N 10. — P. 2462−2470.
- Маркин, А. П. Измерение распределения плотности тока осесим-метричных пучков заряженных частиц Текст. / А. П. Маркин, J1. Н. Пустын-ский // Приборы и техника эксперимента. 1989. — № 2. — С. 50−53.
- Laflamme, G. R. Diagnostic Device Quantifies, defines geometric characteristics of electron beams Text. / G. R. Laflamme, D. E. Powers // Welding journal. 1991.-N 10.-P. 33−40.
- Strehl, P. Beam diagnostics (invited) Text. // Review of Scientific Instruments. 1992. — Vol. 63, N 4. — P. 2652−2659.
- Ланкин, Ю. H. Измерение диаметра пучка при электронно-лучевой сварке Текст. // Автоматическая сварка. 1978. — № 6. — С.24−26.
- Полянский, П. В. К вопросу измерения распределения мощности сварочных электронных пучков методом прямого края Текст. / П. В. Полянский, В. Н. Ластовиря // Физика и химия обработки материалов. 1989. -№ 5.-С. 122−126.
- Ластовиря, В. Н. Система оперативного контроля проплавляющих свойств электронного пучка при сварке Текст. / В. Н. Ластовиря, П. В. Полянский // Сварочное производство. 1990. — № 8. — С. 25−26.
- Ластовиря, В. Н. Двухпроцессорный подход к организации управления электронно-лучевой сваркой Текст,. // Вопр. атом, науки и техники. -Сер. Сварка в ядер, технологии. 1987. — Вып. 2/19. — С. 12−16.
- Мурыгин, А. В. Автоматизированная система контроля плотности распределения энергии электронного пучка по его сечению при ЭЛС / А. В. Мурыгин, А. Н. Бочаров // Сварочное производство. 2003. — № 8. — С. 32−34.
- А. с. 1 609 584 СССР, МКИ5 В 23 К 15/00. Способ контроля процесса электронно-лучевой сварки Текст. / В. Д. Лаптенок, А. В. Мурыгин, А. Д. Тамбовцев, В. Г. Угрюмов (СССР) — заявл. 18.01.1989 — опубл. 30.11.1990, Бюлл.№ 44.
- Woltring, Н. J. Single- and Dual- Axis Lateral Photodetectors of Rectangular Share Text. // IEEE trancactions on electron devices. 1975. — Vol. ED-22,N8.-P. 581−590.
- Fuchs Н. F. An area X-ray detector system based on a commercially CCD-unit Text. / H. F. Fuchs, D. Q. Wu, B. Chu // Review of Scientific Instruments. 1990. — Vol. 61, N 2. — P. 712−716.
- Варварица, В. П. Пропорционально-сцинтилляционные детекторы (обзор) Текст. / В. П. Варварица, И. В. Викулов, В. В. Ивашов // Приборы и техника эксперимента. 1992. — № 5. — С. 11−31.
- Корж, В. И. Детекторы рентгеновского излучения на приборах с зарядовой связью Текст. / В. И. Корж, В. Е. Кусков, В. Я. Стенин // Приборы и техника эксперимента. 1982. — № 3. — С. 7−19.
- Рубинович, И. М. Использование рентгеновского излучения сварочной ванны для контроля ЭЛС Текст. / И. М. Рубинович, А. А. Дмитриев, П. Э. Кисс // Электронно-лучевая сварка: тез. докл. X Всесоюзной конференции. -JL, 1988.-С. 61.
- Бронштейн, И. Н. Справочник по матем. для инж. и уч-ся ВТУЗов Текст. / И. Н. Бронштейн, К. А. Семендяев. — 13-е изд., испр. М.: Наука, Гл. ред. физ.-мат. лит., 1986. — 544 с.: ил.
- Сварка в машиностроении Текст.: справочние: в 4-х т. — под ред. Н. А. Ольшанского. М.: Машиностроение, 1978. — Т. 1 — 504 с.: ил.
- Силадьи, М. Электронная и ионная оптика Текст. — пер. с англ. И. М. Ахмеджанова, Ф. В. Пригары, В. В. Овчарова. М.: Мир, 1990. -639 с.: ил.
- Бронштейн, И. М. Вторичная электронная эмиссия Текст. / И. М. Бронштейн, Б. С. Фрайман. М.: Наука, 1969. — 408 с.: ил.
- Bruining, Н. Physics and applications of secondary electron emission Text. London: Pergamon Press Ltd, 1954. — 192 p.: ill.
- Апенко, M. И. Прикладная оптика Текст. / M. И. Апенко, А. С. Дубовик. М.: Наука, Гл. ред. физ.-мат. лит., 1982. — 352 с.: ил.
- Назаренко, О. К. Наблюдение процесса электроннолучевой сварки и автоматическое слежение за стыком Текст. / О. К. Назаренко, В. И. Шапо-вал, Г. А. Лоскутов, В. И. Рыбак, В. С. Ланбин, А. В. Хоменок // Автоматическая сварка. 1993. — № 5. — С. 35−38.
- Чайка, Н. К. Видеотракт растрового телевизионного устройства сварочной электроннолучевой установки Текст. // Автоматическая сварка. -1994.-№ 2.-С. 44−47.
- Яворский, Б. М. Справочник по физике Текст. / Б. М. Яворский, А. А. Детлаф. 3-е изд., испр. — М.: Наука, Гл. ред. физ.-мат. лит., 1990. -624 с.: ил.
- Бриллиантов, Д. П. Экономичные генераторы телевизионной развертки : проектирование и расчет Текст. М.: Радио и связь, 1982. — 272 с.:
- Бесекерский, В. А. Теория систем автоматического регулирования Текст. / В. А. Бесекерский, Е. П. Попов. 3-е изд., испр. — М.: Наука, Гл. ред. физ.-мат. лит., 1975. — 768 с.: ил.
- Бесекерский, В. А. Цифровые автоматические системы Текст. -М.: Наука, Гл. ред. физ.-мат. лит., 1976. 576 с.: ил.
- Микропроцессоры и микроЭВМ в системах автоматического управления Текст.: справочник — под общ. ред. С. Т. Хвоща. JI.: Машиностроение, 1987. — 640 с.: ил.
- Шевкопляс, Б. В. Микропроцессорные структуры. Инженерные решения Текст.: справочник. 2-е изд., перер. и доп. — М.: Радио и связь, 1989.-512 с.: ил.
- Гореликов, Н. И. Устройства связи с объектом. Состояние и перспективы Текст. / Н. И. Гореликов, Б. М. Кауфман, А. Г. Кузнецов, А. Я. Соколов // Приборы и системы управления. 1990. — № 2. — С. 14−16.
- Блокин-Мечталин, Ю. К. Многоканальный аналого-цифровой измерительный преобразователь для магистрально-модульных систем Текст. / Ю. К. Блокин-Мечталин, В. М. Власенко, В. И. Матвиив, А. В. Судаков // Измерительная техника. 1991. — № 11. — С. 15−16.
- Дмитриев, Д. Р. Устройство параллельного ввода- вывода информации для IBM PC Текст. / Д. Р. Дмитриев, М. Н. Подлевских // Приборы и системы управления. 1994. — № 2. — С. 26−27.
- Schumny, H. Digital measurement systems Text. // Modern electrical and magnetic measurement: proceedings of the 7th IMEKO TC4 International Symposium. Part 1. — Prague, 1995. — P. 1−7.
- Кривченко, Т. И. Построение современных измерительных систем на базе стандартных интерфейсов Текст. / Т. И. Кривченко, В. А. Сталневич, А. В. Клементьев, Г. Н. Новопашенный // Приборы и системы управления. -1996.-№ 1.-С. 1−6.
- Сорокин, С. A. IBM PC в промышленности Текст. // Приборы и системы управления. 1996. — № 1. — С. 46−51.
- Хазаров, В. Г. Управляющий вычислительный комплекс на базе ПЭВМ PC Текст. / В. Г. Хазаров, М. С. Утешев // Приборы и системы управления. 1996. — № 6. — С. 8−10.
- Костелянский, В. М. Создание и применение средств вычислительной техники для управления технологическими процессами в странах СНГ Текст. // Приборы и системы управления. 1996. — № 10. — С. 13−12.
- Керер, Р. Новая тенденция в области измерений на базе персональных компьютеров Текст. // Приборы и системы управления. 1997 -№ 4-С. 25−27.
- The Measurement and automation Text.: catalog. Austin: National Instruments, 2002. — 769 p.: ill.
- Краткий каталог продукции ПроСофт 8.0 Текст. М.: ProSoft, 2002.-273 с.: ил.
- Степаненко, И. П. Основы теории транзисторов и транзисторных схем Текст. 4-е изд., перер. и доп. — М.: Энергия, 1977. — 672 с.: ил.
- Изерман, Р. Цифровые системы управления Текст.- пер. с англ. -М.: Мир, 1984.-541 с.: ил.
- Филиппов, Л. Г. Вопросы определения периода дискретизации управляющего сигнала в системе управления с управляющей машиной Текст. // Приборы и системы управления. 1978. — № 8. — С. 11−13.
- Гутников, В. С. Фильтрация измерительных сигналов Текст. -Л.: Энергоатомиздат. Ленингр. отд.-ние, 1990. 192 с.: ил.
- Программа для расчета в среде Mathcad 2000 Professional выходного сигнала чувствительного элемента датчика распределения мощности электронного пучка1. Исходные данные:
- ЕК:= бкУ, I := 1 ООпА (параметры рабочего режима)
- XB рВ • cos (фв) • cos (ев) УВ← рВ • sin (<|?) • cos (gb) zb рв • sin (eB)
- V (XB ХА)2 + (YB- YA)2 + (ZB — ZA)2y (XA, YA, xB, yB) :=1. Xk cos| — a I • 1 mm
- Yk<�— 0- 1 mm Zk ← 0(jo atanxBpo, 6B во atani —рВ <�— ^ po + уВ" XB рВ • cos (← рВ • sin (<|>B) • cos (ob) ZB ← рв • sin (e?)
- APBP ← /yB yA)2 + (zB — zA)2 AB ← r (XA, YA, xB, yB) D21. R <�¦yE •0.2- 7i- n0- (iC- wQ yB if zA = zB R11.4-me-'J hel1. EK APBP ABf yB yA | ^ zB-zA JyBzE i1 + lzB if zA = zBotherwisezB (yE — yB) yB-zB-yA. -zA JotherwisezC← 11 if iC< OAyC.
- Ji • (r (XA, YA, xB, yB)) IK2 IKI • (v (iS, iC, XA, YA, xB, yB) • j (XA, YA, hX, hY, ctX, ctY))
- IK2- (AXY)2 • (Axy)2. IK← IK+ IK3 yB yB + Axy xB xB + Axy YA ← YA + AXY XA XA + AXY IK r) • IK IK
- Акт об использовании результатов диссертационной работы в технологическом процессе нанесения металлических пленок на установке «Оратория-9″ в институте микроэлектроники и информатики РАН
- УТВЕРЖДАЮ» по научной работе (^^йЖеВ^^^микроэлектроники и1. Г Г. АТТинформатики РАН1. АКТоб использовании результатов диссертационной работы Швалева Н. А. в технологическом процессе нанесения металлических пленок на установке «Оратория-9»
- Данный акт не является основанием для финансовых расчетов.1. Заведующий лабораториейфизики и технологии тонких пленок, к. ф-м.н., снс1. В.Ф. Бочкарев
- Результаты научных исследований Швалева Н. А использованы в учебном процессе Рыбинской государственной авиационной технологической академии им. П. А. Соловьева по дисциплине «Конструкторско-технологическое обеспечение производства ЭВМ».
- Результаты составляют фактическое содержание отдельных лекций, включены в тематику лабораторных работ.
- Заведующий I ^ :е системы"к. т. н., проф.1. Ъмаров В. М.