Физико-химические свойства пленок, образующихся в плазмохимическом процессе осаждения из паров гексаметилдисилазана
Диссертация
Рассмотренные выше возможности практического применения пленок 81Сх1ЧуНг определяют актуальность задачи комплексного исследования их физико-химических свойств. Среди этих свойств механические напряжения, плотность, механические величины (модуль Юнга, твердость), оптические константы (показатель преломления и коэффициент экстинкции), коэффициент термического расширения (КТР). Необходимо отметить… Читать ещё >
Содержание
- Список обозначений и сокращений
- ВВЕДНИЕ
- ГЛАВА 1. ПОЛУЧЕНИЕ И СТРОЕНИЕ ПЛЕНОК SiCxNyHz, МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ ПЛЕНОК (ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ)
- 1. 1. Пленки на основе соединений в системе Si-C-N-H
- 1. 1. 1. Методы получения и строение пленок системы Si-C-N-H
- 1. 1. 2. Пленки SiCxNyHz, получаемые осаждением из паров органо-силазанов
- 1. 1. 2. 1. Результаты исследований пленок SiCxNyHz в ИНХ СО РАН
- 1. 1. 2. 2. Результаты исследований пленок SiCxNyHz в мире
- 1. 1. 3. Основные положения теории протекания
- 1. 2. Механические напряжения в системе пленка-подложка
- 1. 2. 1. Виды механических напряжений и механизмы их образования в системе пленка-подложка
- 1. 2. 2. Методы определения механических напряжений в системе пленка-подложка, основанные на измерении изгиба образца
- 1. 2. 3. Методы определения механических напряжений, не использующие информацию об изгибе образца
- 1. 2. 4. Механические напряжения в пленках системы Si-C-N-H
- 1. 3. Спектроскопия поверхностных акустических волн
- 1. 3. 1. Основы метода
- 1. 3. 2. Применение метода SAWS к исследованию карбонитрид-ных пленок
- 1. 4. Наноиндентирование
- 1. 5. Оптические методы исследования систем пленка-подложка
- 1. 5. 1. Метод монохроматической эллипсометрии
- 1. 5. 2. Метод спектральной эллипсометрии
- 1. 5. 3. Эллипсометрия пленок системы 8ьС-1чГ-0-Н
- 1. 6. Выводы по главе 1
- 1. 1. Пленки на основе соединений в системе Si-C-N-H
- ГЛАВА 2. ПОЛУЧЕНИЕ И СОСТАВ ПЛЕНОК 81СХЫУН
- 2. 1. Получение пленок 8ЮХ]ЧУН
- 2. 1. 1. Общие сведения о процессе получения пленок 81СХ1ЧУН
- 2. 1. 2. Исходное вещество
- 2. 2. Образцы для исследований
- 2. 3. Выводы по главе 2
- 2. 1. Получение пленок 8ЮХ]ЧУН
- ГЛАВА 3. ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОК 81СХКУН
- 3. 1. Механические напряжения в пленках 8ЮХ]ЧУН
- 3. 1. 1. Установка для определения механических напряжений
- 3. 1. 2. Зависимость механических напряжений в пленках от температуры осаждения
- 3. 1. 3. Измерения механических напряжений при изменении тем пературы образцов
- 3. 2. Модуль Юнга, плотность и КТР пленок 8ЮХ1ЧУН
- 3. 2. 1. Методические основы исследования
- 3. 2. 2. Результаты исследования и их интерпретация
- 3. 3. Сканирующая зондовая микроскопия и наноиндентирование пленок 81СХ1ЧУН
- 3. 4. Выводы по главе 3
- 3. 1. Механические напряжения в пленках 8ЮХ]ЧУН
- ГЛАВА 4. ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОК 81СХЫУН
- 4. 1. Изучение пленок 8ЮХКУН2 методом монохроматической нулевой эллипсометрии
- 4. 1. 1. Методика исследований
- 4. 1. 2. Результаты исследований и их объяснение
- 4. 2. Исследование пленок 8ЮХ1ЧУН2 методом спектральной эллипсометрии
- 4. 2. 1. Методика исследований
- 4. 2. 2. Результаты исследований и возможности применения пленок
- 4. 3. Выводы по главе 4
- 4. 1. Изучение пленок 8ЮХКУН2 методом монохроматической нулевой эллипсометрии
Список литературы
- Bendeddouche A., Berjoan R., Beche E., Merle-Mejean T., Schamm S., Serin V., Taillades G., Pradel A., Hillel R. Structural characterization of amorphous SiCxNy chemical vapor deposited coatings // J. Appl. Phys. 1997. V. 81. N. 9. P. 6147−6154.
- Gong Z., Wang E.G., Xu G.C. Chen Y. Influence of deposition condition and hydrogen on amorphous-to-polycrystalline SiCN films // Thin solid films. 1999. V. 348. P. 114−121.
- Файнер H.И., Голубенко А. Н., Румянцев Ю. М. Трис(диэтил-амино)силан новое вещество-предшественник для получения слоев карбонитрида кремния // ФХС. 2012. Т. 38. № 1. С. 22−38.
- Nakayamada T., Matsuo К., Hayashi Y. Izumu A., Kadotani Y. Evaluation of corrosion resistance of SiCN films deposited by HWCVD using organic liquid materials // Thin Solid Films. 2008. V. 516. P. 656−658.
- Izumi A., Oda K. Deposition of SiCN films using organic liquid materials by HWCVD method // Thin Solid Films. 2006. V. 501 P. 195 197.
- Зацепин Д.А., Курмаев Э. З., Moewes А., Чолах С. О. Электронная структура аморфных пленок Si-C-N // ФТТ. 2011. Т. 53. Вып. 9. С. 1713−1717.
- Chen L.C., Chen С.К., Wei S.L. Crystalline silicon carbon nitride: A wide band semiconductor // Appl. Phys. Lett. 1998. V. 72. N. 19. P. 2463−2465.
- Смирнова Т.П., Бадалян A.M., Борисов В. О., Каичев В. В., Бах-турова Л.Ф., Кичай В. Н., Рахлин В. И., Шаинян Б. А. Плазмохимический синтез и свойства пленок карбонитрида кремния // Неорганические материалы. 2005. Т. 41. № 7. С. 808−815.
- Bendeddouche A., Berjoan R., Beche Е., Schamm S., Serin V., Carles R., Hillel R. SiCN Amorphous Materials Chemical Vapour
- Deposited Using the Si (CH3)4-NH3-H2 System // J. Phys. IV. 1995. V. 5. P. 793−800.
- Kleps I., Angelescu A. Correlations between properties and applications of the CVD amorphous silicon carbide films // Appl. Surf. Sci. 2001. V. 184. P. 107−112.
- Tomar V.K., Patil L.S., Gautam D.K. Deposition and characterization of silicon nitride films using HMDS for photonics applications // J. Optoelectron. Adv. Mater. 2008. V. 10. N. 10. P. 2657−2662.
- Burton B.B., Kang S.W., Rhee S.W., George S.M. Si02 atomic layer deposition using tris (dimethylamino)silane and hydrogen peroxide studied by in situ transmission FTIR spectroscopy // J. Phys. Chem. 2009. V. 113. P. 8249−8257.
- Cheng H., Xiao M., Lai G.S., Gaffney T.R., Zhou C., Wu J. Precursors for depositing silicon-containing films and methods for making and using same // United States Patent Application Publication 2010/41 243 Al. 2010.
- Chen C.W., Huang C. C, Lin Y.Y., Chen L.C., Su W.F. Optical properties and photoconductivity of amorphous silicon carbon nitride thin film and its application for UV detection // Diam. Relat. Mater. 2005. V. 14. P. 1010−1013.
- Wu X.C., Cai R.Q., Yan P.X., Liu W.M., Tian J. SiCN thin film prepared at room temperature by r.f. reactive sputtering // Appl. Surf. Sci. 2002. V. 185. P. 262−266.
- Doucey B., Cuniot M., Moudni R., Tenegal F., Bouree J.E., Imhoff D., Rommeluere M., Dixmier J. Optical properties and local atomicorder in non hydrogenated amorphous silicon carbonitride films // J. Mater. Sci. 2002. V. 37. P. 2737−2745.
- Lehmann G., Hess P., Wu J.-J. Wu C.T., Wong T.S., Chen K. H, Chen L.C., Lee H.-Y., Amkreutz M., Frauenheim Th. Structure and elastic properties of amorphous silicon carbon nitride films // Phys. Rev. B. 2001. V. 64. P. 165 305−165 310.
- Nae-Man P., Kim S. H., Sung G. Y. Amorphous silicon carbon nitride films grown by the pulsed laser deposition of a SiC-Si3N4 mixed target // ETRI Journal. 2004. V. 26. N. 3. P. 257−261.
- Klewe-Nebenius H., Bruns M., Lutz H., Baumann H., Link F., Bethge K. Surface- and microanalytical characterization of ion-implanted Si-C-N layers // Fresenius J. Anal. Chem. 1998. V. 361. N. 6−7. P. 630−633.
- Deng Z.-W., Souda R. XPS studies on silicon carbonitride films prepared by sequential implantation of nitrogen and carbon into silicon // Diam. Relat. Mater. 2002. V. 11. N. 9. P. 1676−1682.
- Fainer N., Rumyantsev Yu., Kosinova M., Maximovski E., Kesler V., Kirienko V., Kuznetsov F. Low-A: dielectrics on base of silicon carbon nitride films // Surf. Coat. Technol. 2007. V. 201. N. 22−23. P. 9269−9274.
- Файнер Н.И., Румянцев Ю. М., Косинова M.JI. Функциональные нан-окристаллические пленки карбонитрида кремния // Химия в интересах устойчивого развития. 2001. Т. 9. С. 865−870.
- Файнер Н.И., Косинова М. Л., Румянцев Ю. М. Тонкие пленки карбонитридов кремния и бора: синтез, исследование состава и структуры // Рос. хим. журн. 2001. Т. XLV. № 3. С. 101−108.
- Файнер Н.И., Румянцев Ю. М., Косинова МЛ. Физико-химические превращения в тонких слоях карбонитрида кремнияпод действием высокотемпературного отжига // Химия в интересах устойчивого развития. 2001. Т. 9. С. 871−877.
- Ferrari А.С., Robertson J. Resonant Raman spectroscopy of disordered, amorphous, and diamondlike carbon // Phys. Rev. B. 2001. V. 64. P.75 414−1-13.
- Bhattacharyya A.S., Mishra S.K. Raman studies on nanocomposite silicon carbonitride thin film deposited by r.f. magnetron sputtering at different substrate temperatures // J. Raman Spectrosc. 2010. V. 41. P. 1234−1239.
- Fainer N.I., Kosinova M.L., Rumyantsev Yu.M., Maximovskii E.A., Kuznetsov F.A. Thin silicon carbonitride films are perspective low-k materials // J. Phys. Chem. Sol. 2008. V. 69. P. 661−668.
- Максимовский Е.А., Файнер Н. И., Косинова М. Л., Румянцев Ю. М. Исследование структуры тонких нанокристаллических пленок // ЖСХ. 2004. Т. 45 (приложение). С. 61−65.
- Файнер Н.И., Косинова М. Л., Румянцев Ю. М., Кузнецов Ф. А. Физико-химические свойства нанокристаллических пленок карбонитрида кремния // ЖСХ. 2004. Т. 45 (приложение). С. 66−71.
- Файнер Н.И. От кремнийорганических соединений-предшественников к многофункциональному карбонитриду кремния // ЖОХ. 2012. Т. 82. № 1. С. 47−56.
- Ясуда X. Полимеризация в плазме. М.: Мир, 1988, 376 с.
- Plasma polymer films. Ed. Hynek Biederman. Imperial College Press, London, 2004, 386 p.
- Зынь В.И., Потапов В. К., Штеренберг A.M. Кинетика изменения масс-спектров и молекулярного состава газовой фазы тлеющего разряда в парах гексаметилдисилазана и гексаметилдисилоксана // ХВЭ. 1986. Т. 20. № 1. С. 76−81.
- Silbiger J., Lifshitz С., Fuchs J. Mass spectra of silazanes // J. Am. Chem. Soc. 1967. V. 89. N. 17. P. 4308−4312.
- Stelzner Th., Arold M., Falk F., Stafast H., Probst D., Hoche H. Single source precursors for plasama-enhanced CVD of SiCN films, investigated by mass-spectrometry // Surf. Coat. Technol. 2005. V. 200. N. 1−4. P. 372−376.
- Heyner R., Marx G. High power deposition and analysis of amorphous silicon carbide films // Thin Solid Films. 1995. V. 258. P. 1420.
- Зынь В.И., Потапов В. К., Тузов JI.C., Штеренберг A.M. Образование, движение и конденсация кремнийорганических полимерных аэрозолей в тлеющем разряде // ХВЭ. 1986. Т. 20. № 6. С. 541−547.
- Wrobel A.M., Wertheimer M.R., Dib J., Schreiber H.P. Polymerization of organosilicones in microwave discharges // J. Macromol. Sci.-Chem. A. 1980. V. 14. N. 4. P. 321−337.
- Wrobel A.M., Klemberg J.E., Wertheimer M.R., Schreiber H.P. Polymerization of organosilicones in microwave discharges. II.
- Heated Substrates // J. Macromol. Sci.-Chem. A. 1981. V. 15. N. 2. P. 197−213.
- Wrobel A.M., Kryszewski M. Preparation, structure, and some properties of ogranosilicon thin polymer films obtained by plasma polymerization // Progr. Colloid Polym. Sci. 1991. V. 85. P. 91−101.
- Gerstenberg K.W. Film deposition in a radial flow reactor by plasma polymerization of hexamethyldisilazane // Colloid Polym. Sci. 1990. V. 268. N. 4. P. 345−355.
- Yasuda H., Hsu T. Some aspects of plasma polymerization investigated by pulsed R.F. discharge // J. Polym. Sci.: Polym. Chem. Ed. 1977. V. 15. P. 81−97.
- Wrobel. A.M. Aging process in plasma-polymerized organosilicon thin films, J. Macromol. Sci. A Chem. 1985. V. 22. N. 8. P. 10 891 100.
- Tajima I., Yamamoto M. Spectroscopic study on chemical structure of plasma-polymerized hexamethyldisiloxane // J. Polym. Sci. 1985. V. 23. P. 615−622.
- Gerstenberg K.W., Beyer W. Gas evolution studies for structural characterization of hexamethyldisilazane-based a-Si:C:N:H films // J. Appl. Phys. 1987. V. 62. N. 5. P. 1782−1786.
- Gerstenberg K.W., Taube K. Measurement of the Young’s modulus for structural characterization of amorphous Si: C:N:H-films // Frese-nius J. Anal. Chem. 1989. V. 333. P. 313−314.
- Zachariasen W.H. The atomic arrangement in glass // J. Am. Chem. Soc. 1932. V. 54. N. 10. P. 3841−3851.
- Физическая энциклопедия / под ред. A.M. Прохорова. Т. 4. М.: Большая Российская Энциклопедия, 1994. С. 161−163.
- Эфрос A. J1. Физика и геометрия беспорядка. М.: Наука, 1982. 268 с.
- Bielinski D., Wrobel A.M., Walkiewicz-Pietrzykowska A. Mechanical and tribological properties of thin remote microwave plasma CVD a-Si:N:C films from a single-source precursor // Trib. Lett. 2002. V. 13. N. 2. P. 71−76.
- Chen L.-Y., Hong F. C.-N. Diamond-like carbon nanocomposite films // Appl. Phys. Lett. V. 82. N. 20. P. 3526−3528.
- Wagner N.J., Gerberich W.W., Heberlein V.R. Deposition and modeling of hard, wear-resistant Si-C-N coatings // Plasma Process. Polym. 2007. N. 4. P. S946-S951.
- Wagner N.J., Gerberich W.W., Heberlein V.R. Thermal plasma chemical vapor deposition of wear-resistant, hard Si-C-N coatings // Surf. Coat. Technol. 2006. V. 201. P. 4168−4173.
- Veprek S. The search for novel, superhard materials // J. Vac. Sci. Technol. A. 1999. N. 5. P. 2401−2419.
- Veprek S., Reiprich S., Shizhi L. Superhard nanocrystalline composite materials: The TiN/Si3N4 system // Appl. Phys. Lett. 1995. V. 66. N. 20. P. 2640−2642.
- Veprek S., Veprek-Heijman M. G.J., Karvankova P. Prochazka J. Different approaches to superhard coatings and nanocomposites // Thin Solid Films. 2005. V. 476. P. 1−29.
- He H., Thorpe M.F. Elastic properties of glasses // Phys. Rev. Lett. 1985. V. 54. N. 19. P. 2107−2110.
- Thorpe M.F. Elastic Properties of network glasses // Annals of the New York Academy of sciences. 1986. V. 484. N. 1. P. 206−213.
- Boolchand P, Zhang M., Goodman B. Influence of one-fold-coordinated atoms on mechanical properties of covalent networks // Phys. Rev. B. 1996. V. 53. N. 17. P. 488−494.
- Якимов А.И., Двуреченский A.B., Блошкин А. А., Ненашев A.B. Связывание электронных состояний в многослойных напряженных гетероструктурах Ge/Si с квантовыми точками 2-го типа // Письма в ЖТЭФ. 2006. Т. 83. Вып. 4. С. 189−194.
- Willich P., Obertop D. Quantitative electron-probe microanalysis of light elements: determination of a-Si:C:N:0:H insulating films // Mikrochim. Acta (Wien). 1989. N. 2. P. 233−241.
- Гофман Р.У. Механические свойства тонких конденсированных пленок. В кн.: Физика тонких пленок. Современное состояние исследований и технические применения / Под ред. Г. Хасса и Р. Э. Туна. Т. 3. М.: Мир, 1968, С. 225−297.
- Gardner D.S., Flinn P.A. Mechanical stress as a function of temperature in aluminum films // IEEE Trans. Electron Dev. 1988. V. 33. N. 12. P. 2160−2169.
- Thornton J.A., Hoffman D.W. Stress-related effects in thin films // Thin solid films. 1989. V. 171. N. 1. P. 5−31.
- Митлина JI.A., Левин A.E., Валюженич M.K. Механизмы релаксации напряжений при гетероэпитаксии феррошпинелей // Вестн. Самар. гос. техн. ун-та. Сер. Физико-математические науки. 2000. № 9. С. 77−87.
- Тимошенко С.П., Гудьер Дж. Теория упругости. М.: Наука, 1975 г. 576 с.
- Ksmminga J.-D., de Keijser Th.H., Delhez R., Mittemeijer E.J. On the origin of stress in magnrtron sputtered TiN layers // J. Appl. Phys. 2000. V. 88. N. 11. P. 6332−6345.
- Shioya Y., Ikegami K., Maeda M., Yanagida K. High-temperature stress measurement on chemical-vapor-deposited tungsten silicide and tungsten films // J. Appl. Phys. 1987. V. 61. N. 2. P. 561−566.
- Finegan J.D., Hoffman R.W. Stress anisotropy in evaporated iron films // J. Appl. Phys. 1959. V. 30. N. 4. P. 597−598.
- Paduschek P., Hopfl Ch., Mitlehner H. Hydrogen-related mechanical stress in amorphous silicon and plasma-deposited silicon nitride // Thin Solid Films. 1983. V. 110. N. 4. P. 291−304.
- Wanlu W., Kejun L. Studies of some properties of mechanical stress in a-Si:H, a-SiNx:H and a-Si:H/a-SiNx:H heterojunction films. Thin Solid Films. 1988 V. 165. N. 1. P. 173−179.
- Борыняк Д., Непочатов Ю. Голографический интерферометр для определения деформационных полей перемещений в изделиях микроэлектроники // Технологии в электронной промышленности. 2007. № 3. С. 82−88.
- Борыняк JI.A., Герасимов С. И., Жилкин В. А. Практические способы записи и расшифровки интерферограмм, обеспечивающих необходимую точность определения компонент тензора деформаций // Автометрия. 1982. № 1. С. 17−24.
- Sandar D., Ibach Н. Experimental determination of absorbate-induced surface stress: Oxygen on Si (111) and Si (100) // Phys. Rev. B. 1991. V. 43. N. 5. P. 4263−4267.
- Егоров Г. П., Волков А. А., Устюжанинов A.JI. Измерение внутренних напряжений в нанопленках in-situ // Рос. нанотехнол. 2010. Т. 5. № 7−8. С. 74−78.
- Thomas М.Е., Hartnett М.Р., McKay J.E. The use of surface profilometers for the measurement of wafer curvature // J. Vac. Sci. Technol. A. 1988. V. 6. N. 4. P. 2570−2571.
- Vretenar P. Mechanical stresses in oxide thin films // Vacuum. 1992. V. 43. N. 5. P. 727−729.
- Zhang Z., Qi M., Chen J., Cheng R. Stress in SiixCx: H studied by (n,-n) double crystal diffractometry // J. Non-Cryst. Solids. 1989. V. 114. P. 510−512.
- Li С., Mai Z., Cui S., Zhou J., Ding A. Determination of stress in GaAs/Si material // J. Appl. Phys. 1989. V. 66. N. 10. P. 4767−4769.
- Chu W.H., Mehregany M., Mullen R.L. Analysis of tip deflection and force of bimetallic cantilever microactuator // Sensor. Actuat. A-Phys. 1993. V. 39. P. 4−7.
- Тимошенко С.П. Устойчивость стержней, пластин и оболочек. М.: Наука, 1971.808 с.
- Sahu S.N., Scarminio J., Decker F. A laser beam deflection system for measuring stress variations in thin film electrodes // J. Electrochen. Soc. 1990. V. 137. N. 4. P. 1150−1154.
- Godin M., Tabard-Cossa V., Grutter P., Williams P. Quantitative surface stress measurements using a microcantilever // Appl. Phys. Lett. 2001. V. 79. N. 4. P. 551−553.
- Teal V.L., Murarka S.P. Stresses in TaSix filns sputter deposited on polycrystalline silicon // J. Appl. Phys. 1987. V. 61. N. 11. P. 50 385 046.
- Weihnacht V., Bruckner W., Schneider C.M. Apparatus for thin-film stress measurement with integrated four-point bending equipment: Performance and results on Cu films // Rev. Sei. Instr. 2000. V. 47. N. 2. P. 4479−4482.
- Bruckner W., Lang C., Schneider C.M. Sensetive measurement of magnetostriction effects in thin films by means of a two-beam freesample deflection method // Rev. Sei. Instr. 2001. V. 72. N. 5. P. 2496−2497.
- Аюпов Б.М., Каминский B.B. Прибор для измерения кривизны полированных пластин и его использование для определения пьезоэлектрических коэффициентов пленок // ПТЭ. 1997. № 2. С.153−155.
- Аюпов Б.М., Косцов Э. Г., Юшина И. В. Механические напряжения в структурах сегнетоэлектрическая пленка монокристаллическая подложка Si // Автометрия. 1995. № 4. С. 55−59.
- Xiao X., Schleh D. Refractive error correction for in situ curvature measurement using laser beam deflection method // J. Appl. Phys. 2010. V. 107. P. 13 508−1-5.
- Xu Y., Tsai Y., Zheng D.W., Tu K.N., Ong Ch.W., Choy Ch.L., Zhao В., Liu Q.-Z., Brongo M. Measurement of mechanical properties for dense and porous polymer films having a low dielectric constant // J. Appl. Phys. 2000. V. 88. N. 10. P. 5744−5750.
- Stoney G.G. The tension of metallic films deposited by electrolysis // Proc. Royal Soc. 1909. V. A82. P. 172−175.
- Zhao J.-H., Ryan Т., Ho P. S. Measurement of elastic modulus, Poisson ratio, and coefficient of thermal expansion of on-wafer submicron films. // J. Appl. Phys. 1999. V. 85. N. 9. P. 6421−6424.
- Zhao J.-H., Du Y., Morgen M. Simultaneous measurement of Young’s modulus, Poisson ratio, and coefficient of thermal expansion of thin films on substrates // J. Appl. Phys. 2000. V. 87. N. 3. P. 1575−1577.
- Feng Z.C., Choyke W.J., Powell J.A. Raman determination of layer stresses and strains for heterostructures and its application to the cubic SiC/Si system // J. Appl. Phys. 1988. V. 64. N. 12. P. 6827−6835.
- Дроздов H.A., Патрин A.A., Ткачев В. Д. Рекомбинационное излучение на дислокациях в кремнии // Письма в ЖЭТФ. 1976. Т. 23. В. 11. С. 651−653.
- Аминев Д.Ф., Багаев B.C., Галкина Т. И. Фотолюминесценция кремния после осаждения поликристаллических пленок алмаза // ФТП. 2009. Т. 43. В. 9. С. 1199−1203.
- Kinbara A., Haraki Н. Internal stress of evaporated thin gold films // Jpn. J. Appl. Phys. 1965. V. 4. P. 243−252.
- Gergaud P., Thomas O., Chenevier B. Stresses arising from a solid state reaction between palladium films and Si (001) investigated by in situ combined x-ray diffraction and curvature measurements // J. Appl. Phys. 2003. V. 94. N. 3. P. 1584−1591.
- Hurtos E., Rodrigues-Viejo J. Residual stress and texture in poly-SiC films grown by low-pressure organometallic chemical-vapor deposition // J. Appl. Phys. 2000. V. 87. N. 4. P. 1748−1758.
- Lee S.-Y., Choi S.-H., Kang J.-Y., Park Ch.-O. Reflow of copper in oxygen anneal ambients // J. Appl. Phys. 2000. V. 88. N. 10. P. 5946−5950.
- Арчегова О.Р., Галимов Н. Б., Еремина А. Ф. Исследование напряжений в системе полимер-кремний // Электронная техника. Сер. Материалы. 1987. В. 1(222). С. 34−39.
- Kuo D.-H., Yang D.-G. Plasma-enhanced chemical vapor deposition of silicon carbonitride using hexamethyldisilazane and nitrogen // Thin Solid Films. 2000. V. 374. P. 92−97.
- Kim M.T., Lee J. Characterization of amorphous SiC: H films deposited from hexamethyldisilazane // Thin Solid Films. 1997. V. 303. P. 173−179.
- Morinaka A., Asano Yo. Residual stress and thermal expansion coefficient of plasma polymerized films // J. Appl. Polym. Sci. 1982. V. 27. P. 2139−2150.
- Noskov A.G., Gorokhov E.B., Sokolova G.A., Truchanov E.M., Stenin S.I. Correlation between stress and structure in chemically vapor deposited silicon nitride films // Thin Solid films. 1988. V. 162. P. 129−143.
- Семенова О.И., Горохов Е. Б., Носков А. Г., Судниченко М. Г., Рабинович Л. И. Состав, структура и механические напряжения пленок SiNx:H, полученных в плазме ВЧ-разряда // Поверхность. 1992. № 10−11. С. 102−110.
- Rayleigh. On waves propagated along the plane surfaces of an elastic solid//Proc. London Math. Soc. 1885. V. 17. P. 4−11.
- Nalamwar A.L., Epstein M. Surface acoustic waves in strained media// J. Appl. Phys. 1976. V. 47. N. 1. P. 43−48.
- Dewhurst R.J., Edwards C., McKie A.D.W. Palmer S.B. Estimation of the thickness of thin metal sheet using laser generated ultrasound //Appl. Phys. Lett. 1987. V. 51. N. 14. P. 1066−1068.
- Koleshko V.M., Meshkov Yu.V., Barkalin V.V. Strain effect in single-crystal silicon-based multilayer surface acoustic wave structures // Thin Solid Films. 1990. V. 190. N. 2. P. 359−372.
- Kuchler R., Richter E. Ultrasonic surface waves for studying the properties of thin films // Phys. Stat. Sol. 1994. V. 146. P. 659−667.
- Викторов И.А. Звуковые поверхностные волны в твердых телах. М.: Наука, 1981. 287 с.
- Богданов С.В., Левин М. Д., Яковкин И. Б. О существовании поверхностной волны в системе слой-полупространство // Акустический журнал. 1969. Т. XV. Вып. 1. С. 12−16.
- Rogers J.A., Maznev A.A., Banet M.J., Nelson К.A. Optical generation and characterization of acoustic waves in thin films: fundamentals and applications // Annu. Rev. Mater. Sci. 2000. V. 30. P. 117 157.
- Schneider D., Schwarz T. A photoacoustic method for characterizing thin films // Surf. Coat. Technol. 1997. V. 91. P. 136−146.
- Anttila A., Koskinen J., Bister M., Hirvonen J. Density measurements of diamond-like coatings using a low energy accelerator // Thin Solid Films. 1986. V. 136. P. 129−134.
- Schalchli A., Benattar J. J., Licoppe C. Accurate measurements of the density of thin silica films // Europhys. Lett. 1994. V. 26. № 4. P. 271−276.
- Eggerton R.F. Electron energy loss spectroscopy in the electron microscopy. New York: Plenum Press, 1986. 490 p.
- Головин Ю.И. Наноиндентирование и механические свойства твердых тел в субмикрообъемах, тонких приповерхностных слоях и пленках (Обзор) // ФТТ. 2008. Т. 50. № 12. С. 2113−2142.
- Grodzinski P. Hardness testing of plastic // Plastics. 1953. V. 18. P. 312−314.
- Булычев С.И., Алехин В. П., Шоршоров М. Х., Терновский А. П., Шнырев Г. Д. Определение модуля Юнга по диаграмме вдавливания индентора // Заводская лаборатория. 1975. Т. 41. № 9. С. 1137−1141.
- Булычев С.И., Алехин В. П. Испытание материалов непрерывным вдавливанием индентора. М.: Машиностроение, 1990, 224 с.
- Kempf М., Goken М., Vehoff Н. Nanohardness measurements for studying local mechanical properties of metals // Appl. Phys. A. 1998. V. 66. P. S843-S846.
- Андриевский P.А., Калинников Г. В., Hellgren N., Sandstrom P., Штанский Д. В. Наноиндентирование и деформационные характеристики наноструктурных боронитридных пленок // ФТТ. 2000. Т. 42. Вып. 9. С. 1624−1627.
- Tiwari A. Nanomechanical analysis of hybrid silicones and hybrid epoxy coatings a brief review // Adv. Chem. Eng. Sci. 2012. N. 2. P. 34−44.
- Oliver W.C., Pharr G.M. An improved technique for determining hardness and elastic modulus using load and displacement sensing indentation experiments // J. Mater. Res. 1992. V. 7. P. 1564−1583.
- Булычев С.И. Определение модуля Юнга и гистерезиса при ин-дентировании // ДАН. 2000. Т. 375. № 6. С. 762−766.
- Oliver W.C., Pharr G.M. Measurement of hardness and elastic modulus by instrumented indentation: Advances in understanding and refinements to methodology // J. Mater. Res. 2004. V. 19. N. 1. P. 3−20.
- Ishikawa H., Fudetani S., Hirohashi M. Mechanical properties of thin films measured by nanoindenters // Appl. Surf. Sci. 2001. V. 178. P. 56−62.
- Zhang T.-Y., Xu W.-H. Surface effects on nanoindentation // J. Mater. Res. 2002. V. 17. N. 7. P. 1715−1720.
- Martin M., Troyon M. Fundamental relations used in nanoindentation: Critical examination based on experimental measurements // J. Mater. Res. 2002. V. 17. N. 9. P. 2227−2234.
- Chen Xi, Vlassak J.J. Numerical study on the measurement of thin film mechanical properties by means of nanoindentation // J. Mater. Res. 2001. V. 16. N. 10. P. 2974−2982.
- Jiang X, Reichelt K, Stritzker B. Mechanical properties of a-C:H films prepared by plasma decomposition of СгН2 // J. Appl. Phys. 1990. V. 68. N. 3. P. 1018−1022.
- Chudoba Т., Griepentrog M., Duck A. Schneider D., Richter F. Young’s modulus measurements on ultra-thin coatings // J. Mater. Res. 2004. V. 19. N. 1. P. 301−314.
- Jiang X., Philip J., Zhang W.J., Hess P., Matsumoto S. // Hardness and Young’s modulus of high-quality cubic boron nitride filmsgrown by chemical vapor deposition // J. Appl. Phys. 2003. V. 93. N. 3.P. 1515−1519.
- Capprlla В., Strum H. Comparison between dynamic plowing lithography and nanoindentation methods // J. Appl. Phys. 2002. V. 91. N. l.P. 506−512.
- Соболев B.B., Немошкаленко B.B. Методы вычислительной физики в теории твердого тела. Электронная структура полупроводников. Киев: Наук. Думка, 1988. 424 с.
- Srivatsa К.М.К., Bera М., Basu A., Bhattacharya Т.К. Antireflection coatings on plastics deposited by plasma polymerization process // Bull. Mater. Sci. 2008. V. 31. N. 4. P. 673−680.
- Shi F.F. Recent advances in polymer thin films prepared by plasma polymerization Synthesis, structural characterization, properties and applications // Surf. Coat. Technol. 1996. V. 82 N. 1−2. P. 1−15.
- Poll H.U., Meichsner J., Arzt M., Friedrich M., Rochotzki R., KreyBig E. Optical properties of plasma polymer films // Surf. Coat. Technol. 1993. V. 59. N. 1−3. P. 365−370.
- Johnson E.M., Clarson S.J., Jiang H., Su W., Grant J.T., Bunning T.J. Plasma polymerized hexamethyldisiloxane (HMDS) barrier layer// Polymer. 2001. V. 42. P. 7215−7219.
- Вольф M., Борн Э. Основы оптики. M.: Наука, 1973. 855 с.
- Пшеницин В.И., Абаев М. И., Лызлов Н. Ю. Эллипсометрия в физико-химических исследованиях. Л.: Химия, 1986. 152 с.
- Гребенщиков И.В., Власов А. Г., Непорент Б. С., Суйковская Н. В. Просветление оптики. М.: Гостехиздат, 1946. 213 с.
- Аззам Р., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет. М.: Мир, 1981. 584 с.
- Ржанов A.B., Свиташев К. К., Семененко А. И., Семененко Л. В., Соколов В. К. Основы эллипсометрии. Новосибирск: Наука, 1978. 424 с.
- Горшков М.М. Эллипсометрия. М.: Сов. радио, 1974. 200 с.
- Handbook of ellipsometry / ed. H.G. Tompkins and E.A. Irene. New-York: William Andrew Inc, 2005. 902 p.
- De Smet D.J., Ord J.L. Analysis of ellipsometric data in electrochemical systems using the simplex algorithm // J. Electrochem. Soc. 1989. V. 136. N. 10. P. 2841−2845.
- Мардежов A.C., Михайлов H.H., Швец В. А. Эллипсометриче-ский контроль предэпитаксиальной подготовки подложек GaAs и роста эпитаксиальных пленок CdTe // Повехность. 1990. № 12. С. 92−96.
- Akasaka Т., Araki Y., Nakata М., Shimizu I. In situ ellipsometric observations of the growth of silicon thin films from fluorinated precursors, SiFnHm (n+m<3) // Jpn. J. Appl. Phys. 1993. V. 32. P. 26 072 612.
- Langereis E., Heil S.B.S., van de Sanden M.C.M., Kessels W.M.M. In situ spectroscopic ellipsometry study on the growth of ultrathin TiN films by plasma-assisted chemical vapor deposition // J. Appl. Phys. 2006. Vol. 100. P. 134−144.
- Хасанов Т. Сертификация эллипсометров и методы их контроля. // Автометрия. 1997. № 1. С. 83−94.
- Аюпов Б. М. Установление анизотропии при калибровке лимбов азимутальных шкал эллипсометров // Автометрия. 1997. № 1. С. 95−99.
- Ayupov B.M., Gritsenko V.A., Wong H., Kim C.W. Accurate ellipsometric measurement of refractive index and thickness of ul-trathin oxide film // J. Electrochem. Soc. 2006. Vol. 153. N. 12. P. F277-F282.
- Аюпов Б.М., Румянцев Ю. М., Шаяпов B.P. Особенности определения толщины диэлектрических пленок, полученных в поисковых экспериментах // Поверхность. 2010. № 5. С. 100−105.
- Аюпов Б.М., Зарубин И. А., Лабусов В. А., Суляева B.C., Шаяпов В. Р. Поиск первоначального приближения при решении обратных задач в эллипсометрии и спектрофотометрии // Оптический журнал. 2011. Т. 78. №. 6. С. 3−9.
- Швец В.А., Рыхлицкий С. В. Метод эллипсометрии в науке и технике // Автометрия. 1997. № 1. С. 5−21.
- Швец В.А., Спесивцев Е. В., Рыхлицкий С. В., Михайлов Н. Н. Эллпсометрия прецизионный метод контроля тонкопленочных структур с субнанометровым разрешением // Рос. нанотехнол. 2009. Т. 4. № 3−4. С. 72−84.
- Aspnes D.E., Studna А.А. Dielectric functions and optical parameters of Si, Ge, GaP, GaAs, GaSb, InP, InAs and InSb from 1.5 to 6.0 eV // Phys. Rev. B. 1983. V. 27. N. 2. P. 958−1009.
- Handbook of optical constants of solids / ed. E. D. Palik. San Diego: Academic Press, 1998. 807 p.
- Handbook of optical constants of solids II / ed. E. D. Palik. San Diego: Academic Press, 1998. 1110 p.
- Jellison G.E., Boatner L.A., Dudai J.D. Spectroscopic ellipsometry of thin film and bulk anatase // J. Appl. Phys. 2003. V. 93. N. 12. P. 9537−9541.
- Pliskin W.A. Refractive index dispersion of dielectric films used in the Semi-conductor Industry // JES. 1987. V. 134. N. 11. P. 28 192 826.
- Forouhi A.R., Bloomer I. Optical dispersion relations for amorphous semiconductors and amorphous dielectrics // Phys. Rev. B. 1986. V. 34. N. 10. P. 7018−7026.
- Easwarakhanthan Т., Beyssen D., Le Brizoual L., Alnot P. Forouhi-Bloomer and Tauc-Lorentz optical dispersions applied using spectroscopic ellipsometry to plasma-deposited fluorocarbon films // J. Appl. Phys. 2007. V. 101, P. 73 102−1-7.
- Kurihara K., Hikino Sh., Adachi S. Optical properties of N+ ion-implanted and rapid thermally annealed Si (100) wafers studied by spestro-scopic ellipsometry // J. Appl. Phys. 2004. V. 96. N. 6. P. 3247−3254.
- Franke E., Shubert M., Newmann H. Phase and microstructure investigations of boron nitride thin films by spectroscopic ellipsometry in the visible and infrared spectral range // J. Appl. Phys. 1997. V. 82. N. 6. P. 2906−2911.
- Haage Т., Schmidt U.I., Schroder В., Oechsner H. Modelling the dielectric function of thin films measured by spectroscopic ellipsometry: determination of microstructure and density // Frese-nius J. Anal. Chem. 1995. V. 353. P. 556−558.
- Petrik P., Lohner Т., Egerhazi L., Geretovszky Zs. Optical models for the ellipsometric characterization of carbon nitride layers prepared by inverse pulsed laser deposition // Appl. Surf. Sci. 2006. V. 253. P. 173−176.
- Корчагина T.T., Марин Д. В., Володин В. А., Попов A.A., Vergnat М. Структура и оптические свойства сформированных с применением низкочастотного плазмохимического осаждения пленок
- SiHx:H, со-держащих нанокластеры кремния // ФТП. 2009. Т. 43. Вып. 11. С. 1557−1563.
- Li W.J., Song Z.R., Yu Y.H., Wang X., Zou S.C. sp3/sp2 ratio in amorphous-carbon thin film by spectroscopic ellipsometry // J. Appl. Phys. 2003. V. 94, N. 1. P. 284−287.
- Mistrik J., Cechalova В., Studinka J., Cech V. Spectroscopic ellipsometry study of plasma-polymerised vinyltriethoxysilane films // J. Mater. Sci.: Mater. Electron. 2009. V. 20. P. S451-S455.
- Spaeth K., Kraus G., Gauglitz G. In-situ characterization of thin polymer films for applications in chemical sensing of volatile organic compounds by spectroscopic ellipsometry // Fresenius J. Anal. Chem. 1997. V. 357. P. 292−296.
- Guo S., Rochotzki R., Lundstrom I., Arwin H. Ellipsometric sensitivity to halothane vapors of hexamethyldisiloxane plasma polymer films // Sensor. Actuat. B-Chem. 1997. V. 44. P. 243−247.
- Saloum S., Alkhaled B. Structural, Optical and electrical properties of plasma deposited thin films from hexamethyldisilazane compound // Acta Phys. Pol. A. 2011. V. 119. N. 3. P. 369−373.
- Файнер Н.И., Голубенко A.H., Румянцев Ю. М., Максимовский Е. А. Использование гексаметилциклотрисилазана для получения прозрачных пленок сложного состава // ФХС. 2009. Т. 35. № 3. С. 351−364.
- Шаяпов В.Р., Румянцев Ю. М., Файнер Н. И., Аюпов Б. М. Оптические и механические свойства пленок, полученных плазмохи-мическим разложением гексаметилдисилазана // ЖФХ. 2012. Т. 86. № И. С. 1841−1846.
- Андрианов К.А. Кремнийорганические соединения. М.: Гос-химиздат, 1955. 521 с.
- Rao C.N.R. Chemical applications of infrared spectroscopy. New-York: Academic Press, 1963. 683 p.
- Пирс P., Гейдон А. Отождествление молекулярных спектров. M.: Издатинлит, 1949. 240 с.
- Raynaud P., Amilis Т., Segui Y. Infrared absorption analysis of organosilicon/oxygen plasmas in a microwave multipolar plasma excited by distributed electron cyclotron resonance // Appl. Surf. Sci. 1999. V. 138−139. N. 1. P. 285−291.
- Bullot J., Schmidt M.P. Physics of amorphous Silicon-Carbon alloys //Phys. Stat. Sol. B. 1987. V. 143. P. 345−418.
- Landolt-Bornstein: Numerical Data and Functional Relationships in Science and Technology. Group 3: Condensed Matter. Volume 35 °F: Chemical Shifts and Coupling Constants for Silicon-29. Berlin: Springer, 2008. 464 p.
- Tajima J., Yamamoto M. Characterization of plasma polymers from tetramethylsilane, octamethylcyclotetrasiloxane, and methyltri-methoxysilane //J. Polym. Sci. 1987. V. 25. P. 1737−1744.
- Нитрид кремния в электронике / под ред. А. В. Ржанова. Новосибирск: Наука, 1982. 200 с.
- Barklie R.C. Characterisation of defects in amorphous carbon by electron paramagnetic resonance // Diam. Relat. Mater. 2001. V. 10. P. 174−181.
- Jiang H., Grant J.T., Enlow J., Su W., Bunning T.J. Surface oxygen in plasma polymerized films // J. Mater. Chem. 2009. V. 19. P. 2234−2239.
- Andronenko S.I., Stiharu I., Misra S.K. Synthesis and characterization of polyureasilazane derived SiCN ceramics // J. Appl. Phys. 2006. V. 99, P. 113 907−1-5.
- Колесов Б.А. Раман-спектроскопия в неорганической химии и минералогии. Новосибирск: Изд-во СО РАН, 2009. 200 с.
- Shayapov V.R., Rumyantsev Yu.M., Dzyuba A.A., Ayupov B.M., Fainer N.I. Mechanical stresses in silicon carbonitride films obtained by PECVD from hexamethyldisilazane // Appl. Surf. Sci. 2013. V. 265. P. 385−388.
- Jou J.-H., Hsu L. Stress analysis of elastically anisotropic bilayer structures // J. Appl. Phys. 1991. V. 69. N. 3. P. 1384−1388.
- Shayapov V.R., Rumyantsev Yu.M., Fainer N.I., Ayupov B.M. Physical properties of the SiCxNyHz films // Key Engineering Materials. 2012. V. 508. P. 283−286.
- Каргин В.А., Слонимский Г. А. Краткие очерки по физико-химии полимеров. М.: Изд-во МГУ, 1960, 176 с.
- Handbook of chemistry and physics. CRC Press Inc., 2002, P. 12.3512.36.
- Phase transitions and self-organization in electronic and molecular networks / Ed. J. C. Phillips and M. F. Thorpe. Kluwer academic publishers, 2002, 467 p.
- Wrobel A.M. Silicon carbonitride (SiCN) films by remote hydrogen microwave plasma CYD from tris (dimethylamino)silane as novel single-source precursor // Chem. Vap. Deposition. 2010. V. 16. P. 211−215.
- Аюпов Б.М., Шаяпов B.P. Использование спектрометра «Ко-либри-2» для исследования твердых тел // Заводская лаборатория. 2012. Т. 78. № 1. Ч. 2. С. 101−104.
- Химмельблау Д. Прикладное нелинейное программирование. М.: Мир, 1975. 534 с.
- Аюпов Б.М., Титова Е. Ф., Сысоева Н. П. Программное обеспечение эллипсометрических измерений в системе пленка-подложка // Электронная техника. Сер. Микроэлектроника. 1985. Вып. 3(115). С. 126−129.
- Shi F.F. Developments in Plasma-polymerized organic thin films with novel mechanical, electrical, and optical properties // J. Macromol. Sci. C: Polym. Rev. V. 36. N. 4. P. 795−826.
- Shaffer P.T.B. Refractive index, dispersion, and birefringence of silicon carbide poly types // Appl. Opt. 1971. V. 10. P. 1034−1036.224.225.226.227.
- Jackson W.B., Amer N.M., Boccara A.C., Fournier D. Photothermal deflection spectroscopy and detection // Appl. Opt. 1981. V. 20. N. 8. P. 1333−1344.
- Ковалев В.И., Руковишников А. И., Перов П. И., Россуканый Н. М., Авдеева JI.A. Разработка оптических методов и аппаратуры для контроля технологии и параметров полупроводниковых структур нано и микроэлектроники // РЭ. 1999. Т. 44. № 11. С. 1404−1407.
- Ковалев В.И., Руковишников А. И. Компактный многоканальный спектроэллипсометр для ex-situ и in-situ измерений // ПТЭ. 2003. № 2. С. 164−165.