Модель корпускулярного экранирования в приложении к процессу напыления
![Диссертация: Модель корпускулярного экранирования в приложении к процессу напыления](https://westud.ru/work/2520356/cover.png)
Диссертация
Исследования распространения оптической поверхностной волны вдоль однослойной диэлектрической пленки (см., например,/2−6./) и изучение распространения света в многослойной тонкой диэлектрической пленке (см., например,) показали, что двумерные структуры типа призм и линз могут быть получены должным профилированием волноводной пленки. При этом распространение света может быть описано в рамках… Читать ещё >
Содержание
- ГЛАВА I. ПРОЦЕСС НАПЫЛЕНИЯ КАК МЕТОД ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕМЕНТОВ ПЛАНАРНОЙ ОПТИКИ
- 1. 1. Основные методы создания тонкопленочных элементов
- 1. 2. Сущность и основные характеристики процесса напыления
- 1. 3. Проблемы теоретического предсказания результатов напыления
- 1. 4. Известные расчетные формулы эффектов экранирования в процессах напыления
Список литературы
- Miller• Е. S. 1. tegrated optics: an introduction. Bell Syst. Techn. Journ., 19б9, 48> P* 2059.
- Shubert R., Harris J.H. Optical surface waves on thin films and their application to integrated data processors, IEEE Trans. Microwave Theory Techn., MTT-16, 1968, 1048.
- Harris J.H., Shubert R., Polky J.N. Beam coupling to films. JOSA, 60, 1970, 1007.
- Kane J., Osterberg H. Optical characteristics of planar guided modes. JOSA, ?4, 1964, 347.
- Nelson D.F., McKenna J. Electromagnetic modes of anisotropic dielectric waveguides at p-n junctions. J. Appl. Phys., 38, 1967, 4057.
- Tien P.K. Light waves in thin films and integrated optics. Appl. Opt., 10, 1971, 2395.
- Shubert R., Harris J.H. Optical guided-wave focusing and diffraction. JOSA, 61, 1971, 154.
- Дерюгин JI.H., Марчук A.H., Сотин B.E. Свойства плоских диэлектрических волноводов на подложке из диэлектрика. Изв? вузов Радиоэлектроника. 1967, jU), № 2, с. 134.
- Гончаренко A.M. Электромагнитные свойства плоского анизотропного волновода. ЖТФ, 1967, Ъ1, с. 822.
- Гончаренко A.M., Карпенко В. А. Волноводные свойства анизотропного р-n переходного слоя. Ж-л прикладной спектроскопии, 1969, 1?, с. 748.
- Ulrich R., Martin R.J. Geometrical optics in thin films light guides. Appl. Opt., 10, 1971, 2077.
- Southwell W.H. Sine-wave optical paths in gradient-index media. JOSA, 61, 1971, 1715.
- Ulrich R. Light-propagation and imaging in planar optical waveguides. Nonv. Rev. Opt., 6, 1975, 253.
- Moore D.J. Ray tracing in gradient index madia. JOSA, 65, 1975, 451.
- Vincent D., Lit J.W.Y. Effects of thin overlying film on optical waveguides and couplers. JOSA, 66, 1976, 226.17* Vincent D., Lit J.W.Y. Optique bidimensionnelle en couche mince. Canad. J. Phys., 57, 1979, 45.
- Southwell W.H. Ray-tracing in gradient-index media. JOSA, 72, 1982, 908.
- Взятышев В.Ф., Рожков Г. Д., Меркурьев А. Н. Интегральная оптика. «Зарубежная радиоэлектроника», 1970, № 12, с. 60.
- Аникин В.И., Современное состояние техники функциональных оптических микроволноводов. Заруб, радиоэл., 1971, № 7, с. 111.
- Золотов Е. М. Киселев В.А., Сычугов В. А. «Оптические явления в тонкопленочных волноводах», Интегральная оптика. Под ред. Т.Тамира. М., Мир, 1978, с. 344.
- Ицхоки И.Я. Интегральная оптика и нелинейные явления в тонких пленках. Заруб, радиоэл., 1975, № 9, с. 99.
- Гончаренко A.M., Редько В. П. введение в интегральную оптику. Минск, «Наука и техника», 1975, с. 148.
- Anderson D.B., Boyd J.Т., Hamilton М.С. August R.R. An integrated optical approach to the Fourier transform IEEE J.Quant. Electron. QE-13, 1977, 268.
- Введение в интегральную оптику. Под ред. М.Барноски. М., Мир, 1977, с. 367.
- Клэр Ж.Ж. Введение в интегральную оптику. М., Советское радио, 1980, 104 с.
- Интегральная оптика. Под ред. Т.Тамира. М., Мир, 1978.
- Boyd J.Т., Anderson D.B. Effect of waveguide optical scattering. IEEE J. Quant. Electron., QE-14, 1978, 437.
- Дерюгин JI.H. Интегральная оптика. M., Мир, 197S.
- Дерюгин JI.H. Возможности, ограничения, проблемы развития планар-ной волноводной оптики. Изв. вузов. Радиоэлектроника, 2J3, 1982,2, с. 4.
- Anderson D.B., Davis R.L., Boyd J.Т., August R.R. Comparison of optical waveguide lens technologies. IEEE J. Quant. Electron., QE-13, 1977, 275.
- Morgan S.P. General solution of the Luneburg problem. J. Appl. Phys. 29, 1958, 1358.
- Morgan S.P. Generalization of spherically symmetric lenses. IRE Trans. Antenn. Propg. АР-7″ 1959, 32.
- Tien P.K. Integrated optics and new wave phenomena in optical waveguides. Rev. Modern Physics. 1977, 49, ?> 36l.
- Luneburg R.K. Mathematical theory of optics. Univ. Calif. Press, 1966, Berkeley, Calif.
- Southwell W.H. Inhomogeneous optical waveguide lens analysis. JOSA, 67, 1977, 1004.
- Southwell W.H. Index profiles for generalized Luneburg lenses and their use in planar optical waveguides. JOSA, 67, 1977, 1010,
- Montagnino L. Ray-trasing in inhomogeneous media. JOSA, 58, 1968, 1667.
- Kunz K.S. Propogation of microwaves between a parallel pair of doubly curved conducting surfases. J. Appl. Phys.,8, 1976, 514″
- Wood V.E. Effects of edge-rounding on geodesic lenses. Appl. Opt,
- Wood V.E. Effects of edge-rounding on geodesic lenses. Appl. Opt. 15, 1976, 2817.
- Verber C.M., Vahey D. W, Wood V.E. Focal properties of geodesic waveguide lenses. Appl. Phys. Lett. 28, 1976, 514.
- Spiller E., Harper J.S. High resolution lenses for optical waveguides. Appl. Opt. 13, 1974, 2105.
- Righini G.C., Russo V., Sattini S., Toraldo di Francia G. Geodesic lenses for guided optical waves. Appl. Opt., 12, 1973, 1477.
- Toraldo di Francia G. A family of perfect configuration lenses of resolution. Optica Acta, 1, 1955, 157.
- Righini G.C., Russo V., Sattini S., Toraldo di Francia G. Thin film geodesic lens. Appl. Opt., 11, 1972,1442.
- Vahey D.W., Wood V.E. Focal characteristics of spheroidal geodesic lenses for integrated optical processing. IEEE J. Quant. Electron., QE-13, 1977, 129.
- Chen B., Marom E., Morrison R.J. Diffraction-limited geodesic lens for integrated optics circuits. Appl. Phys. Lett., 33, 1978, 511.
- Betts G.E., Bradley J.C., Marx G.E., Shubert D.C., Trenchard H.A. Axially symmetric geodesic lenses. Appl. Opt., Y.3 1978, 2346.
- Tien P.K. Method of forming novel curved-line gratings and their use as perfect resonators in integrated optics. Opt. Lett., 1, 1977, 64.
- Hatakoshi G., Tanaka S. Grating lenses for integrated optics. Opt. Lett., 2, 1978, 142.
- Achley P.R., Chang W.S.C. Fresnel lens in a thin-film waveguide. Appl. Phys. Lett., 33, 1978, 490.
- Southwell W.D. Geodesic optical waveguide lens analysis. JOSA, 67, 1977, 1293.
- Kaminov I.P. Optical waveguide modulators. IEEE Trans. Microwaves T1
- Theory Tech., MTT-23, 1975, 57.
- Аникин В.И., Дерюгин Л. Н., Детов Д. А., Половинкин А. И., Сотин B.E. Экспериментальное исследование пассивных планарных элементов. ЖТФ, 48, 1978, 1001.
- Аникин В.И., Летов Д. А. Дисперсионные свойства планарных оптических элементов. Опт. и спектр., jU, 19 786 184.
- Tien Р.К., Ulrich R. Theory of prism-film coupler and thin film light guides. JOSA, 60, 1970, 1325.
- Kogelnik H., Sosnowski T. Holographic thin-film couplers. Bell Syst. Techn. J., 49, 1970, 1602.
- Tien P.K., Martin R.J. Experiments on light waves in a thin tapered film and a new light wave coupler. Appl. Phys. Lett., 18, 1971, 398.
- Hensler D.H., Cuthbert J.D., Martin R.J., Tien P.K. Optical pro-pogation in sheet and pattern generated films of Ta20,. Appl. Opt., 10, 1971, Ю37.
- Hammer J.M., Channen D.J., Duffy M.T., Wittke J.P. Low-less epitaxial ZnO optical waveguides. Appl. Phys. Lett., 21, 1972, 358.
- Hammer J.M., Channin D.J., Duffy M.T. Fast electrooptic waveguide deflector modulator. Appl. Phys. Lett., 23, 1973, 176.
- Новалева В.И., Хомякова Ф. Т., Чириков A.B. Расчет толщины слоя нонденсата при напылении покрытий в вакууме. ОМП, 1980, № 10, 45.
- Нурышкин В.В., Севастьянов /I.A. Некоторые вопросы экранирования корпускулярных потоков. Деп. ВИНИТИ, № 4403−81 Деп.
- Аникин В.И., Дерюгин Л. Н., Курышкин В. В., Севастьянов /I.A. Математические задачи, связанные с процессом напыления. Деп. ВИНИТИ, № 5175−82 Деп.
- Аникин В.И., Нурышнин В. В., Севастьянов /I.A. Н проблеме расчета экранирующих масок в задачах напыления. Деп. ВИНИТИ, № 5175а-82.
- Севастьянов /I.A. Численный метод решения задачи экранирования корпускулярных потоков. В сб.: Численные методы решения задач математической физини и теории систем. М., УДН, 1983.
- Севастьянов /I.A. Об отыснании формы маски для напыления слоя вещества заданной конфигурации. В сб.: Численные методы решения задач математической физики и теории систем. М., УДН, 1983.
- Севастьянов /i.A. Об экранировании корпускулярных потоков. Изв. вузов. Физика, 1983,№ 7,126.
- Нурышкин В.В., Севастьянов /I.A. Теоретические аспекты процесса напыления. В сб.: Проблемы статистической и квантовой физики. М., УДН, 1983, с. 72.
- Севастьянов /I.A. 'Статистическое рассмотрение процесса напыления. В сб.: Материалы У1 конференции молодых ученых УДН. Математина, физика, химия. 1983, деп. ВИНИТИ.
- Нурышкин В.В., Севастьянов /I.A., Швачка А. Б. О математической модели экранирования корпускулярных потоков. Препринт 0ИЯИ, 1984.
- Zernike F. Luneburg Lens for optical waveguide use. Opt. Commun., 12, 197^, 379.
- Westwood W.D. Calculation of deposition rates in diode sputtering systems. J. Vac. Sci. Technol., 15, 1978, 1.
- Yao S.K., Anderson D.B. Shadow-sputtering diffraction-limited waveguide Luneburg lenses. Appl. Phys. Lett., J53, 1978, 307.
- Yao S.K. Theoretical model of thin-film deposition profile with shadow-effect. J. Appl. Phys., 50, 1979, 3390.
- Yao S.K., Anderson D.B., August R.R., Youmans B.R., Oania C.M. Guided-wave optical thin-film Luneburg lenses: fabrication technique and properties. Appl. Opt., 18, 1979, 4067.
- Hatakoshi G., Inoua H., Naito K., Umegaki S., Tanaka S. Optical waveguide lenses. Optica Acta, 1979, 961.71* Шапочкин Б. А. Перераспределение освещенности на экране посредством диафрагмы. Труды МВТУ 1975 № 180, с. 90.
- Шапочкин Б.А. Вакуумная асферизация. ОМП, I960, Кб, с. 41.
- Бабинцев В.Ф. К методике расчета масок для изготовления оттени-телей на оптических поверхностях вращения сложного профиля способом вакуумного испарения. Сб. трудов Всесоюзного заочного машиностроительного института. М., 1972, с, 8.
- Шапочкин Б.А. Методика расчета функциональных масок для протяженного излучателя. Труды МВТУ, № 328, 1980, с. 19.
- Жиглинский А.Г., Путилин Э. С. Оптимальные условия формирования однородных тонких пленокю ОМП, 1978, № 3, 39.
- Большанин А.Ф., Жиглинский А. Г., Парчевский С. Г., Путилин Э. С. Формирование пленок постоянной толщины на осесимметричной подложке. ОМП, 1978, № 3, 39.
- Хомякова Ф.Т., Юрчук А. И., Калинин Ю. И., Морозова Д.А. Повышение
- Холлэнд Л. Нанесение тонких пленок вещества в вакууме. П.-Л., Госзнергоиздат, 1963.
- Давыдов A.C. Квантовая механика. П., Физматгиз, 1963.
- Нац М. Вероятность и смежные вопросы в физине. М., Мир, 1965.
- Гнеденно Б.В. Нурс теории вероятностей. П., Физматгиз, 1961.
- Ландау Л.Д., Лифшиц Е. Ф. Статистичесная физика. М., Физматгиз, 1964.
- Шилов Г. Е. Математический анализ. 1У. П., Физматгиз, 1972.
- Терлецний Я.П. Статистическая физина. М., Высшая школа, 1973.
- Бейлинсон A.A. Применение метода функционального интегрирования к построению фундаментального решения уравнения Фоккера-Планка-Нолмогорова. ДАН СССР, 1959, 126, № 5.
- Бейлинсон A.A. 0 связи решений уравнений Фокнера-Планна-Нолмого-рова и Блоха-Наца и формула Каца-Фейнмана. Деп. ВИНИТИ, № 348−79.
- Ольховский И.И. Нурс теоретической механини для физинов. П., Наука, 1970.
- Тихонов А.Н., Арсенин В. Я. Методы решения некорректных задач. М., Наука, 1979.
- Иванов В.Н., Васин В. В., Танана В. П. Теория линейных неноррек-тных задач и ее приложения. М., наука, 1978.
- Лаврентьев М.М., Романов В. Г., Шишатский С. П. Некоррентные задачи математической физини и анализа. М., Наука, 1980.
- Брекер Т., Ландер Д. Дифференцируемые ростки и катастрофы. М., Мир, 1977.
- Ловецкий К.П. Об одном методе выбора параметра регуляризации. В сб.: Численные методы решения задач математической физини и теории систем'. М., УДН, 1978, с. 34.
- ЮЗ.Бенсусан А., Лионе Ж.-Л., Темам Р. Методы декомпозиции, децентрализации, координации и их приложения. В сб.: Методы вычислительной математики. Новосибирск, Наука, 1975, 232 с.
- Уилкинсон Дж.Х. Алгебраическая проблема собственных значений. М., Наука, 1970.
- ЮБ.Марчун Г. И. Методы вычислительной математини. М., Наука, 1980. 106. Химмельблау X. Нелинейное программирование. М., Мир, 1969. 107. Численные методы условной минимизации. Под ред. Ф. Гилла и У. Мюррэя. П., Мир, 1977.- 131