Кремнийорганические производные 1, 1-диметилгидразина
Диссертация
Взаимодействие 1 Д-бис (триметилсилил)-2,2-диметилгидразина с метилиодидом и ацетонитрилом приводит к триметилсилил-ацетонитрилу с количественным выходом. Эта реакция оказалась новым путем силилирования С-Н кислот. Предполагается, что ее интермедиатом является неустойчивый иодметилат, который функционирует как суперсилилирующий агент. Реакция 1,1-бис-(триметилсилил)-2,2-диметилгидразина… Читать ещё >
Содержание
- Глава 1. Кремнийорганические производные 1,1-диметылгидразина (Обзор литературы)
- 1. 1. Моносилильные производные 1,1 -диметил-гидразина
- 1. 1. 1. Синтез моносилильных производных
- 1. 1. -диметилгидразина
- 1. 1. 1. 1. Реакция гидразинолиза
- 1. 1. 1. 2. Реакция гидразинирования
- 1. 1. 1. 3. Реакция дегидроконденсации
- 1. 1. 1. 4. Металлоорганический синтез
- 1. 1. 2. Реакционная способность моносилильных производных 1,1-диметилгидразина
- 1. 1. 2. 1. Реакции, протекающие с разрывом связи кремний — азот
- 1. 1. 2. 2. Реакции, протекающие с сохранением связи кремний — азот
- 1. 2. Дисилильные производные 1,1-диметилгидразина
- 1. 2. 1. Синтез дисилильных производных
- 1. 1. -диметилгидразина
- 1. 2. 2. Реакции дисилильных производных
- 1. 1. Моносилильные производные 1,1 -диметил-гидразина
- 1. 3. Области практического применения кремний
- 2. 1. Синтез моносилильных производных
- 1. 1. -диметилгидразина (ДМГ)
- 2. 1. 1. Реакции ДМГ с органилхлорсиланами
- 2. 1. 2. Реакция ДМГ с триэтоксисиланом
- 2. 1. 3. Реакция ДМГ с триметилацетоксисиланом
- 2. 2. Реакции кремнийорганических производных ДМГ
- 2. 2. 1. Реакция гидросилилирования
- 2. 2. 2. Метанолиз кремнийорганических производных ДМГ
- 2. 2. 3. Реакция триметил (2,2-диметилгидразино)силана с акриловой кислотой
- 2. 2. 4. Реакция кремнийорганических производных ДМГ с метилиодидом
- 2. 2. 5. Взаимодействие триметил (2,2-диметилгидразино)-силана с бромсиланами
- 2. 2. 6. Взаимодействие 1 Д-диметил-2,2-бис (триметил-силил)гидразина с СН-кислотами
- 2. 3. Изучение тонких слоев карбонитрида кремния, полученных из кремнийорганических производных ДМГ с использованием метода удаленной плазмы
- 3. 1. Тонкослойные покрытия диоксида кремния
- 3. 2. Тонкослойные покрытия нитрида кремния
- 3. 3. Тонкослойные покрытия легированного фосфором диоксида кремния
- 4. 1. Приборы, оборудование и подготовка исходных материалов
- 4. 2. Синтез моносшгальных производных
- 1. 1. -диметилгидразина
- 4. 2. 1. Реакции ДМГ с органилхлорсиланами
- 4. 2. 2. Реакция ДМГ с триэтоксисиланом
- 4. 2. 3. Реакция ДМГ с триметилацетоксисиланом
- 4. 3. Реакции моносилильных производных
- 1. 1. -диметилгидразина
- 4. 3. 1. Реакция гидросилилирования
- 4. 3. 2. Метанолиз кремнийорганических производных ДМГ
- 4. 3. 3. Реакция триметил (2,2-диметилгидразино)силана с акриловой кислотой
- 4. 3. 4. Взаимодействие кремнийорганических производных ДМГ с метилиодидом
- 4. 3. 5. Взаимодействие триметил (2,2-диметил-гидразино)силана с бромсиланами
- 4. 3. 6. Взаимодействие 1,1-диметил-2,2-бис (триметил-силил)гидразина с СН-кислотами
- 4. 4. Условия газо-фазного химического осаждения в режиме удаленной плазмы ВЧ-разряда
- 4. 5. Условия технологических процессов осаждения пленок диоксида кремния, легированного фосфором диоксида кремния и нитрида кремния
Список литературы
- Гольдин Г. С., Батурина Л. С. Кремнийорганические производные гидразина. М.: НИИТЭХИМ, 1976. 49 с.
- Кирилин А.Д., Докучаев А. А., Сокова Н. Б., Пацкевич А. В., Чернышев Е. А. К, 1Ч-Диметилгидразин как сырье при получении кремнийорганических продуктов. Синтез, свойства и методы анализа // ЖОХ. 2000. — Т. 70, в. 1. -С. 51−60.
- Гольдин Г. С., Федоров С. Г. Органические и элементорганические дигидразины. М.: НИИТЭХИМ. 1977, в. 6 (45), 55 с.
- Беляев Е.Ю. 1 М, Ы-Диметилгидразин в органическом синтезе:. Красноярск: Сиб. ГТУ. 1999. 172 с.
- Кирилин А. Д. Автореф. дис.. докт. хим. наук. М., 1991. 46с.
- Лекомцев А.И., Сахина Г. Л., Малышева Г. Е., Тунгусова Л. И., Волгин С. Н. Синтез производных 1,1-диметилгидразина и исследование возможности их практического использования // ЖПХ. 1999. Т. 72, в. 12. — С. 1970
- Wannagat U., Liehz W. Silicium hydrazine Verbindugen // Angew. Chem. -1958.-Bd. 70. -№ 16. — S. 512−514.
- Сергеева З.И., Цзян-лань Се. О реакции несимметричных диалкил-гидразинов с алкилхлоргидросиланами // ЖОХ. 1963. Т. 33, в. 6. — С. 18 741 978.
- Сергеева З.И., Син-чжань Ц., Цитович Д. Д. Синтез алкил-и диалкил-бис-(1,1-диалкилгидразино)силанов // ЖОХ. 1960. — Т. 30, в. 2. — С. 694−695.
- Wannagat U., Schreiner G., Brandetatter О., Peach M. Einige neue Hydrazinosilane // Monatsch. Chem. 1965. — Bd. 96. — № 6. — S. 1902−1908.
- Scherer O., Biller D., Schmidt M. Trimethylsilylmethlamino-dimethylchlorsilan und l, l-dimethyl-2-dimethylchlorsilylhydrazin // Inorg. and Nucl. Chem. Let. 1966. — Bd. 2. — № 4. — S. 103−105.
- Wannagat U., Bogusch E., Geymayer P., Rabet F. Weitere Reaktionen von 1,3-Dichlordisilazanen und 1,3-Dichlordisiloxanen // Monatsch. Chem. 1971. — Bd. 102. -№ 6. -S. 1844−1850.
- Wannagat U., Schreiner G., Brandstaetter O., Peach M. Si-N compounds. LIII. Si-N2H4 compounds. 7. Some new hydrazinosinosilanes // Monatsch. Chem. -1965. -Bd. 96. № 6. — S. 1902−1908. C.A. (1966) 64: 19657f.
- Wannagat U., Niederorum H. Umsetzungen des Diphenyl-diclorsilans mit Hydrazinen // Angew. Chem. 1958. — Bd. 70. — № 24. — S. 745.
- Niederprum H., Wannagat U. Bis-(hydrazine)-silan // Z. anorg. allg. Chem. -1961.-Bd. 311. -№ 5−6. S. 270−280.
- Gibson G., Shcug K., Crook I. Reaction of silicon tetrachloride with N, N-dimethylhydrazine and hedrazine // Inorg. Chem. 1963. — Vol. 2. — № 4. -P. 876−880.
- Сергеева З.И., Се Цзянь-Лань Новый способ синтеза кремнийорганических гидразинов // ЖОХ. 1962. — Т. 32, в. 6. — С. 1987−1993.
- Сергеева З.И., Долгов Б. Н., Цитович Д. Д. Синтез 1,1-диалкил-2(триалнилсилил)гидразинов. Материалы технических совещаний: Химия и практическое применение кремнийорганических соединений. 1958. Т. 1, в. 1 — С. 235.
- Larson Е., Mjorne О. The reaction between triethyl (ethylamino)silane and primary amines // Svensk Kem. Tid. 1949. — Vol. 61. — S. 59−61. C.A. (1949) 5739d
- Larson E., Smith B. N-Substituted dimethyldiaminosilanes and related compounds. // Acta. Chem. Scand. 1949. — Bd. 3. — P. 487−92. C.A. (1950) 1897d.
- Mjorne O. Nitrogen-substituted aminotrimethylsilanes. // Svensk. Kem. Tid. -1950. Bd. 62. — P. 120−22. C.A. (1950) 9342e
- Larson E., Marin Tri-n-popylaminosilane and related compounds. // Acta. Chem. Scand. 1951, — Bd. 5. — P. 1173−8. C.A. (1952)
- Wannagat U., Bogusch E., Geymayer P., Rabet F. Weitere Reaktionen von 1,3-Dichlordisilazanen und 1,3-Dichlordisiloxanen//Monatsch. Chem. 1971. -Bd 102. -№ 6. — S. 1844−1850.
- Гольдин Г. С., Иванова H.JL, Кучер А. Г. Синтез бис-(триметилсилил)-диметил этилендиамина и ^№бис (триметилсилил)-1Ч,№,№'-триметил-диэтилентриамина// Пластмассы 1964. — № 7. — С. 26−28. РЖХ (1965) 9Ж317.
- Кирилин А.Д., Докучаев А. А., Сокова Н Б., Чернышев Е. А. Синтез и химические превращения кремнийсодержащих производных N, N-диметилгидразина // Изв. РАН, сер. хим. 1999. — № 1. — С. 169−172.
- Не J., Liu H.Q., Harrord J.F., Hynes R. Dehydrocoupling reactions of organosilananes with hydrazines // Organometallics. 1994. — Vol. 13 — № 1. — P. 336−343.
- Mitzel N.W. Simple Sililhydrazines as Models For Si-N (3-Donor Interactions in SiNN Units // Chem. Eur. J. 1998. — Vol. 4. — № 4. — P. 692−698.
- Кирилин А. Д. Автореф. дис.. канд. хим. наук. М., 1978. 21 с.
- Wannagat U., Hofler F. The chemistry of silicon nitrogen compounds. LX. Organosililsubstituted dimethylhydrazines // Monatsch. Chem. — 1966. — Bd. 97. -№ 3. — S. 976−983. C.A. (1967) 66: 38001b.
- Mitzel N. W., Smart B.A., Blake A.J., Parsons S., Rankin W.H. Two amerent coordination modes orhydrazide nganus in silicon and germanium compounds // J. Cyem. Soc., Dalton Trans. 1996. — №. — P. 2095−2100.
- Wannagat U. Thechemistry of silicon-nitrogen compounds // Advances Inorgan. Chem. and Radiochem. 1964. — Vol. 6. — S. 225−278. РЖХ. (1964) 11B40.
- Wannagat U., Boguach E., Rabet F. Einge funt-, bicycloacht- und zehngliedringe Ringsysteme mit Silicium-, Stickstoff- und Sauerstoff- atomen sowie N-N-Bindungen in Ring // Z. Anorg. Allgem. Chem. 1971. — Bd. 385. -P. 261−270.
- Гольдин Г. С., Батурина Л. С., Кучер А. Г. Синтез триметилсилильных производных ди-, три-, тетра- и пентааминов // ЖОХ. 1971. — Т. 41, в. 11. -С. 2465−2468.
- Батурина Л. Автореф. дис.. канд. хим. наук. М., 1975. 29 с.
- Гольдин Г. С., Батурина JI. С., Кучер А. Г., Леонова Т. С. Силилирование N, N'-диалкилэтиленаминогидразинов и N, N'-диалкилалкилендигидразинов // ЖОХ. 1974. — Т. 44, в. 8 С. 1766−1769.
- Гольдин Г. С., Батурина Л. С., Трубникова О. И. Синтез шести- и восьмичленных гетероциклических кремнийазотсодержащих соединений. // ЖОХ. 1972. — Т. 42, в. 5. — С. 1043−1046.
- Гольдин Г. С., Батурина Л. С., Кучер А. Г. Синтез тетра-алкилтриазасилациклогексанов и тетраалкилтетраазасилациклопентанов. // ЖОХ. 1974. — Т. 44, в. 3. — С. 566−568.
- Niedenzu К., Fritz P., Weber W. Bor-Stickstoff-Verbindungen, XXVII. Reaktion von Halogenboranen mit N-Silyliezten Hydrazinen // Z. Naturforsch. -1967.-Bd. 22b. -№ 2. S. 225.
- Кирилин Н. И. Шелудяков В.Д., Кирилин А. Д., Миронов В. Ф. Двуокись углерода в химии кремнийорганическихсоединений. М.: НИИТЭХИМ -1980. 45 с.
- А.с. 485 118 (1975). Способ получения силиловых эфиров карбазиновых кислот / Кирилин А. Д., Шелудяков В. Д., Миронов В. Ф. // Б.И. 1975. № 35.
- Breederveld Н. The reaction of dialkylaminosilanes with carbon dioxide and with carbon disulphide // Rec. Trav. Chem. 1962. — T. 81. — № 3. — P. 276.
- A.c. 570 613 (1977). Способ получения силиловых эфиров карбазиновых кислот / Кирилин А. Д., Шелудяков В. Д., Миронов В. Ф. // Б.И. 1977 № 32.
- Шелудяков В.Д., Кирилин А. Д., Гусев А. И., Шарапов В. А., Миронов В. Ф. Синтез и рентгеноструктурный анализ силиловых эфиров карбаминовой кислоты // ЖОХ. 1976. — Т. 46, в. 12. — С. 2712−2719.
- Шелудяков В.Д., Лебедева А. Б., Кирилин А. Д. Кремнийпроизводные гидразина. Необычное протекание реакции N-силоксикарбонилирования // ЖОХ. 1987. — Т. 57, в. 7. — С. 1672.
- Peterson К. L., The К. I. The Reactions of Substituted Germyl and Silylhydrazines with BX3 and CY2 Acceptor Species // Canad. J. Chem. 1972. -Vol. 50. — № 4. — P. 562−566.
- Hofler F., Wannagat U. Uber die Trimethylsilylderivate des Methylhydrazins. Trimethyltrimethylsilylhydrazin // Monatsch. Chem. 1966. — Bd. 97. — № 6. -S. 1598−1610.
- Wannagat U. Silylverbindungen des Hydrazins und des Hydroxylamins // Angew. Chem. 1966. — Bd. 78. — S. 648.
- Wannagat U., Niederprum H. Darstellung mehrfach silyl-substituierter stickstoff verbindungen mit hilfe von lithiumphenyl // Angew. Chem. — 1959. -Bd. 71. — № 18. — S. 574. РЖХ. (1960) 26 703.
- Калинин А. В., Апасов Э. Т., Бугаева С. В., Иоффе С. Л., Тартаковский
- B. А. Получение триметилсилильных производных замещенных гидразинов, содержащих функциональные группы // Изв. АН СССР, сер. хим. 1983 -№ 6.-С. 1413−1415.
- Калихман И.Д., Медведева Е. Н., Банникова О. Б., Фабина Н. Г., Ларин М. Ф., Лопырев В. А., Воронков М. Г. Триметилсилильные производные N'-замещенных гидразидов трифторуксусной кислоты // ЖОХ. 1984. — Т. 54, в. 2. — С. 477−478.
- Калихман И.Д., Банникова О. Б., Калинин А. В., Хасапов Б.Н., Иоффе
- C.Л., Тартаковский В. А., Воронков М. Г. Строние триметилсилильных производных гидразидив уксусной кислоты // Изв. АН СССР, сер. хим. -1985.-№ 2. -С. 464−466.
- Калихман И.Д., Банникова О. Б., Петухов Л. П., Пестунович В. А., Воронков М. Г. Новые соединения пентакоординированного кремния. (O-Si) хлор2-(1,1 -диметил-2-ацетилгидразино)метил] диметилсилан
- O-Si) хлор 1 -(1,1 -диметил-2-ацетил-гидразоний)метил. диметилсилан // ДАН СССР. — 1986. — Т. 287, в. 4. — С. 870−873.
- Воронков M. Г., Пестунович В. А., Бауков Ю. И. Пентакоординация кремния в производных амидов и гидразидов, содержащих группировку XMe2SiCH2N//Металлоорг. хим. 1991. — Т. 4, в. 6, — С. 1210−1227.
- Jih Ru Н., Naelong W. Contreracttack Reagents: Hexamethyldisilane and 1,2-Dimethyl-l, l,2,2-Tetraphenyldisilane in the Synthesis of Polysilylated Hydrazines //Tetrahedron. 1988.-Vol. 44.-№ 13. — P. 4181−4196.
- Glemser O., Kluver H. Einige Silicium-Stikstoff-Spaltungsreaktionen anN, N-Dimethyl-N', N'-bis (nrimethylsilyl)-hydrazin // Chem. Ber. 1970. — Bd. 103. -№ 11. — S. 3661−3666.
- Wannagat U., Liehr W. Gemischt alkyl- bzw aryl- und Silylstsituerte Hydrazine // Z. Anorg. Chem. 1959. — Bd. 299. № 5−6. — S. 341−348.
- Сергева З.И., Долгов Б. Н., Цитович Д. Д. Химия и практическое применение кремнийорганических соединений, ЦБТИ, 1958, в. 1. — С. 235
- Греков А.П. Органическая химия гидразина. Киев: Техника, 1966. 235 с.
- Пухнаревич В.Б., Лукевиц Э. Я., Копылова Л. И., Воронков М. Г. Перспективы гидросилилирования. Рига: Зинатне, 1992. 383 с.
- Lukevics E., Voronkov M.G. Organic Insertion Reactions of Group IV В Elements, Consultans Bureau, Plenum Press: New Jork, 1966. P. 65.
- Lukevics E., Belyakova Z.V., Pomerantseva M.J., Voronkov M.G. Hydrosilylation recent achievements // J.Organomet. Chem. Library. 1977. -V. 5. — P. 1−179.
- Фомина A.H., Гостевский Б. А., Мирсков P.Г., Воронков М. Г., Рахлин В. И. Силильные производные 1,1-диметилгидразина в реакции гидросилилирования // ЖОХ. 2002. — Т. 72, в. 1. — С. 59−60.
- А.с. № 2 124 822 (1995) Способ получения дигидрата 3-(2,2,2-триметилгидразиний)пропионата / Лопырев В. А., Комаров В. А., Воронков М. Г., Юревич В. П. // Б.И. 1998. №
- Шостаковский М.Ф., Власов В. М., Мирсков Р. Г., Петрова В. Н. Исследование в области кислородсодержащих ацетиленовых оловоорганических соединений. IV. Синтез и превращения оловоорганических ацетиленовых эфиров // ЖОХ. 1965. — Т. 35, в 1. — С. 47 — 51.
- Шостаковский М.Ф., Власов В. М., Мирсков Р. Г. Синтез оловоорганических кислородсодержащих соединений ацетиленового ряда // ДАН СССР. -1964 Т. 159. — № 4 С. 869 — 871.
- Jones К., Lappert M.F. Amino Derivatives of metals and metalloids. III. Metal Amines as Reagents for Synthesis of organometallics- Especially the Reactions of Aminostannanes with Protic species // J. Organometal. Chem. -1965.- V. 3. № 4. — P.295−306.
- Davies A.G., Mitchell T.N. // J. Org. Chem. 1965 — V.6 — P. 569.
- Chivers Т., David B. Chlorocarbon derivatives of tin // J. Organometal. Chem. 1968.-V. 13. № l.-P. 177−186.
- Бауков Ю.И. Автореф. дис.. докт. хим. наук. М., 1970. 27с.
- Brook A.G. Some molecular rearrangements of organosilicon compounds // J. Organometal. Chem. 1974. — V. 7 — P. 77−84.
- Larson G.L., Fernandez Y.V. The mechanism of the termal rearrangement of p-ketosilanes. // J. Organometal. Chem. 1975. — V. 86 — P. 193−196.
- Brook A.G., Macrae D.M., Bassindale A.R. The mechanism of the |3-ketosilane to siloxyalkene termal rearrangement // J. Organometal. Chem. 1975. -V. 86-P. 185−192.
- Kwart H. Patterns of termal rearrangements involving 3RD row elements // J. Organometal. Chem. 1983. — V. 15 — P. 293−310.
- Takeda K., Sumi K., Hagisawa S. Reactio of silil thioketones with litium diethylphosphite: first observation of Thia Brook rearrangement // J. Organometal. Chem. — 2000. — V. 610 — P. 449−454.
- Brooks T.A., Hess D.W., Plasmaenhanced chemical vapor deposition of silicon nitride from 1,1,3,3,5,5-hexamethylcyclotrisilazane and ammonia // Thin Solid Films.- 1987, — V. 153. P. 521−529.
- Смирнова Т.П., Храмова JI.B., Белый В. И., Соловьев А. П., Таранова И. В. Получение полимерных пленок из гексаметилциклотрисилазана в плазме высокочастотного разряда. // Высокомолекулярные соединения. 1988. -Т. 30. — С. 164−169.
- Yasuda Н.К. Plasma polymerization and plasma treatment. 1985. Academic Press, Orlando, Florida, Chaps 6 and 8.
- Белый В. И., Смирнова Т. П., Храмова JI. В., Савельева Т. В. Получение и свойства структур InSb-нитрид кремния с использованием гексаметилдисилазана. // Электронная техника. 1984. сер. 6, в. 2. — С. 59−61.
- Смирнова Т. П., Яковкина Л. В., Амосов Ю. И., Данилович О. В. Синтез слоев SiNx:H из гексаметилциклотрисилазана с использованием удаленной плазмы. // Неорганические материалы. 1996. — Т. 32, в. 6. — С. 697−700.
- Bullot J., Schmitt М. P. Physics of Amorphous Silicon-Carbon Alloys // Phys.Stat.Sol. 1987. — V. 143(b). — № 2. — P. 345−418.
- Wieder H., Cardona M., Guarnieri C.R. Vibrational spectra of hydragenated amorphous Si-C films. // Phys. Stat. Sol. 1979. — V. 2(b). — P. 99−112.
- Nguyen V.S., Underhill J., Fridmann S. Plasma organosilicon polymers // J. Electrochem. Soc. 1985. — V. 132. — № 8. — P. 1925−1932.
- Barbadillo L., Gomes F.J., Hernandez M.J., Piqueras J. Nitrogen incorporation in amorphous SiCN layers prepared from electron cyclotron resonance plasmas // Appl. Phys. 1999. V. A68. — P. 1−5.
- Wrobel A.M., Walkiewich-Pietrzykowska A., Stasiak M., Aoki A., Hatanaka Y., Szumilewicz J. Reactivity of Alkylsilanes and Alkylcarbosilanes in Atomic Hydrogen-Induced Chemical Vapor deposition. // J.Electrochem. Soc.-1998. -V. 145. P. 1060−1065.
- Айспрук H. Плазменная технология в производстве СБИС, Мир, Москва. 1987. С. 82.
- Исследовано в России" 2001.- Т. 74, — С. 814−822. http:/zhurnal.ape.relarn/ru/ aticle/2001/074.
- Smirnova Т.Р., Yakovkina L.V., Badalian A.M., Yuriev G.S., Kaichev V.V., Bukhtiyrov V.I., Rachlin V.I., Fomina A.N. SiCN alloys deposited by RP CVD from novel precursor // Chemistry for Sustainable Development. 2001. V. 9. -P. 23−29.
- Ячменев В.В., Близнецов В. Н., Сулимин А. Д., Неустроев С.А., Яковенко
- Ткачук Б.В., Колотыркин В. М. Получение пленок S102 разложением тетраметоксисилана в плазме тлеющего разряда. // УХЖ. 1969. — Т. 35, в 6.1. C. 659−661.
- А.с. 2 300 994 (1969). Способ получения окисной пленки. / Назарова Р. Н., Игнатьев И. П., Денискин П. Г. // Б.И. 1969. №
- Кошелева Н.А. Автореф. дис. канд. хим. наук. М., 1981. 21 с.
- Близнецов В.Н., Голубев А. П., Казуров Б. И., Кокин В. Н., Мирсков Р. Г., Назарьян А. Р., Сулимин А. Д., Ячменев В. В. Плазмохимические процессы в технологии ИС. // Электронная техника. 1982. — сер 3, в. 4(100). — С. 40−53.
- Фатькин А.А., Сулимин А. Д., Неустроев С. А., Ячменев В. В., Мирсков Р. Г. Получение пленок двуокиси кремния и плазме ВЧ-разряда из хлорсодержащих кремнийорганических соединений. // Электронная техника. 1984. — сер. 6, в 8(193). — С.68.
- Tyczkovski J., Kriszewski М. Photoinjection into plazmapolimerisied organo-silicon thin films: I. Surface states. // J.Phys. D: Appl. Phys. 1982. -V. 14. — P. 1877−1888.
- Близнецов B.H., Голубев А. П., Казуров Б. И., Кокин В. Н., Мирсков Р. Г. Плазмохимические процессы в технологии ИС. // Электронная техника. -1982. сер. 3, в. 4 (100). — С.40 — 53.
- Воронков М.Г., Сулимин А. Д., Ячменев В. В., Мирсков Р. Г., Кокин В. Н., Чернова В. Г. Плазмохимическое получение пленок нитрида кремния из гексаметилдисилазана.//ДАН СССР. 1980.-Т. 251.-№ 5.-С. 1156−1159.
- Гордон А. Форд P. Спутник химика.: M, Мир, 1976. 541 с.