Источники широкоапературных пучков ионов газов и металлов на основе дугового и тлеющего разрядов при пониженном давлении
![Диссертация: Источники широкоапературных пучков ионов газов и металлов на основе дугового и тлеющего разрядов при пониженном давлении](https://westud.ru/work/3222147/cover.png)
Диссертация
Показано, что стабильное инициирование вакуумной дуги вспомогательным разрядом возможно при его переходе в сильноточную форму горения, при этом основной механизм возбуждения катодных пятен обусловлен процессами, связанными с зарядкой диэлектрических включений на катоде ионным током из плазмы вспомогательного разряда. Сильное магнитное поле величиной порядка 1 Тл обеспечивает сильноточную форму… Читать ещё >
Содержание
- ГЛАВА 1. ГЕНЕРИРОВАНИЕ ИОННЫХ ПУЧКОВ НА ОСНОВЕ РАЗРЯДОВ НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ С ХОЛОДНЫМИ КАТОДАМИ
- 1. 1. вакуумный дуговой разряд в источниках ионов металлов
- 1. 1. 1. Методы получения пучков ионов металла в источниках на основе вакуумного дугового разряда
- 1. 1. 2. Распределение ионов плазмы вакуумного дугового разряда по зарядам и скоростям
- 1. 1. 3. Влияние магнитного поля и давления газа на параметры плазмы в вакуумных дуговых ионных источниках
- 1. 2. Тлеющий разряд с полым катодом для генерации пучков ионов газов
- 1. 2. 1. Физические особенности процессов генерации плазмы
- 1. 2. 2. Сильноточный тлеющий разряд с полым катодом в источниках заряженных частиц
- 1. 3. Источники ионов на основе разрядов низкого давления
- 1. 3. 1. Источники ионов на основе дугового разряда с катодным пятном
- 1. 3. 2. Источники заряженных частиц на основе разряда с полым катодом
- 1. 4. Выводы и постановка задач исследований
- 1. 1. вакуумный дуговой разряд в источниках ионов металлов
- ГЛАВА 2. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ УСТАНОВКИ И
- МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЙ РАЗРЯДОВ НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ С
- ХОЛОДНЫМИ КАТОДАМИ
- 2. 1. Методика исследований параметров плазмы разрядов
- 2. 1. 1. Особенность зондовой методики измерения параметров плазмы
- 2. 1. 2. Исследование масс-зарядового состава плазмы
- 2. 2. Тлеющий разряд с внешней инжекцией электронов в катодную полость
- 2. 2. 1. Газоразрядная система с внешней инжекцией электронов
- 2. 2. 2. Особенности инжекции электронов в плазму разряда
- 2. 2. 3. Влияние конфигурации электродов на разряд и параметры плазмы
- 2. 3. Вакуумный дуговой разряд
- 2. 3. 1. Генерация плазмы в разрядных системах на основе вакуумной дуги
- 2. 3. 2. Эмиссионный метод исследования параметров плазмы вакуумного дугового разряда
- 2. 4. Выводы
- 2. 1. Методика исследований параметров плазмы разрядов
- ГЛАВА 3. ИССЛЕДОВАНИЯ НАПРАВЛЕННЫХ СКОРОСТЕЙ ИОНОВ МЕТАЛЛОВ ПЛАЗМЫ ВАКУУМНОГО ДУГОВОГО РАЗРЯДА ЭМИССИОННЫМИ МЕТОДАМИ
- 3. 1. Исследование влияния заряда ионов на их направленную скорость в плазме
- 3. 1. 1. Направленные скорости ионов в условиях низкого давления газа
- 3. 1. 2. Скорости ионов при повышенном давлении газа
- 3. 2. Исследование направленных скоростей ионов для различных материалов катодов
- 3. 2. 1. Влияние напряжения горения вакуумной дуги на направленную скорость ионов
- 3. 2. 2. Скорости ионов различных материалов катодов
- 3. 3. Анализ результатов экспериментов и их сравнение с существующими моделями ускорения ионов
- 3. 4. Выводы
- 3. 1. Исследование влияния заряда ионов на их направленную скорость в плазме
- ГЛАВА 4. ГЕНЕРАЦИЯ МНОГОЗАРЯДНЫХ ИОНОВ МЕТАЛЛОВ В ПЛАЗМЕ ВАКУУМНОЙ ДУГИ
- 4. 1. Генерация многозарядных ионов в вакуумной дуге с сильным магнитным полем
- 4. 2. Генерация многозарядных ионов при нестационарных процессах ионизации в плазме вакуумной дуги
- 4. 2. 1. Особенности разрядных устройств для исследования зарядового распределения в условиях нестационарных процессов
- 4. 2. 2. Увеличение зарядности ионов при
- 4. 2. 3. Зарядовое распределение ионов при сочетании дополнительных импульсов тока с внешним магнитным полем
- 4. 2. 4. Исследование влияния повторяющихся «скачков» тока на зарядовое распределение ионов металла
- 4. 3. Использование электронного пучка для многократной ионизации в вакуумной дуге
- 4. 4. Выводы
- 5. 1. Исследование процессов в плазме вакуумного дугового разряда, приводящих к появлению ионов газовых примесей
- 5. 1. 1. Влияние давления газа на масс-зарядовое распределение ионов в плазме дугового разряда
- 5. 1. 2. Влияние состояния поверхности электродов на появление ионов примесей
- 5. 2. Генерация широкоапертурных пучков ионов газа и металла с регулируемым соотношением компонентов
- 5. 2. 1. Исследование генерации ионов в разрядной системе на основе двух независимых дуговых разрядов
- 5. 2. 2. Генерирование пучков ионов газа и металла на основе вакуумного дугового разряда в магнитном поле
- 5. 3. Инициирование вакуумного дугового разряда газоразрядной плазмой
- 5. 4. Выводы
- 6. 1. Влияние инжекции электронов на параметры тлеющего разряда с полым катодом
- 6. 1. 1. Инициирование разряда
- 6. 1. 2. Область рабочих давлений разряда
- 6. 1. 3. Напряжение горения разряда
- 6. 1. 4. Влияние инжекции электронов на параметры разряда в условиях отбора ионов из плазмы
- 6. 1. 5. Масс-зарядовый состав ионного пучка
- 6. 2. Предельные параметры разрядной системы с полым катодом
- 6. 3. Формирование и транспортировка пучков ионов при низком давлении газа
- 6. 3. 1. Особенности использования различных ускоряющих систем для формирования пучков ионов
- 6. 3. 2. Особенности транспортировки ионного пучка
- 6. 4. Выводы
- 7. 1. Источники ионов на основе вакуумной дуги
- 7. 1. 1. Источник ионов на основе вакуумной дуги, инициируемой пеннинговским разрядом в сильном магнитном поле
- 7. 1. 2. Модернизация вакуумных дуговых ионных источников типаМеууа
- 7. 1. 3. Модернизация ионного источника «Титан»
- 7. 1. 4. Поперечное извлечение ионного пучка из плазмы вакуумной дуги
- 7. 2. Ионный источник на основе тлеющего разряда с полым катодом и внешней инжекцией электронов
- 7. 3. Некоторые применения ионных источников
- 7. 3. 1. Применение пучков ионов газов и металлов, генерируемых источниками на основе вакуумного дугового разряда
- 7. 3. 2. Применение устройств на основе тлеющего разряда с полым катодом и внешней инжекцией электронов
- 7. 3. 3. Исследование вторичной ионно-электронной эмиссии ионов металлов
- 7. 4. Выводы
Список литературы
- Габович М.Д. Физика и техника плазменных источников ионов. М.: Атомиздат, 1972.
- Форрестер А.Т. Интенсивные ионные пучки. М.: Мир, 1992.
- The physics and technology of ion sources / Ed. by I.G. Brown. N.Y.: John Wiley, 1989.
- Handbook of ion sources / Ed. by B.H. Wolf. Boca Raton, FL: CRS Press, 1995.
- Быстрицкий B.M., Диденко A.H. Мощные ионные пучки. М.: Энергоатомиздат, 1984.
- Габович М.Д., Плешивцев Н. В., Семашко Н. Н. Пучки ионов и атомов для управляемоготермоядерного синтеза и технологических целей. М.: Энергоатомиздат, 1986.
- Семенов А.П. Пучки распыляющих ионов: получение и применение. Улан-Удэ: Изд-во БНЦ1. СО РАН, 1999.
- Семенов А.П. Источники распыляющих ионных пучков на основе разрядов с холоднымкатодом (обзор) // Приборы и техника эксперимента, 1996, № 3, с. 3−14.
- Физика и техника источников заряженных частиц на основе дугового разряда (тематический выпуск) / Под ред. С. П. Бугаева // Изв. высш. учебн. завед. Физика, 1994, т. 37, № 3.
- Proc. 6th, 7th, and 8th Intern. Conf. on Ion Sources, 1995, Canada, Wistler- 1997, Italy, Taormina- 1999, Japan, Kyoto.
- Proc. 12th and 13th Intern. Conf. on High Power Particle Beams, Israel, 1998, Japan, 2000.
- Sampayan S., King M., Frisa L. et al. Enhanced ionization Freeman ion source // Nucl. Instrum. and Meth. Phys. Res., 1989, v. B37/38, p. 90−94.
- A.C. № 1 584 650, МКИ H 01 J 27/00. Источник ионов / A.A. Деркач и B.A. Саенко. Заявлено 01.08.88.
- Inami Н., Fukumari F., Inouchi Y. et al. Development of high current metal ion beam source //
- Nucl. Instrum. and Meth. Phys. Res., 1989, v. B37/38, p. 198−200.
- Саенко B.A., Борисенко А. Г., Горюк C.B., Кравченко А. В. Источник ионов с испаряемым в вакууме анодом // Тез. докл. I Всес. конф. «Модификация свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц», Томск, 1988, т. 1, с. 40−42.
- White N.R. Ion sources for use in implantation // Nucl. Instrum. and Meth. Phys. Res., 1989, v. B37/38, p. 78−86.
- Emig H., Ruck D.M., Spaddtke P. High-current metal-ion beams with energies up to 45 keV u"1 //Materials Sci. and Engin., 1989, v. A 116, p. 209−213.
- Keller R., Nielsen B.R., Torp B. Metal beam production using a high current ion source // Nucl. Instrum. and Meth. Phys. Res., 1989, v. B37/38, p. 74−77.
- Никитинский B.A., Журавлев Б. И., Гапоненко A.T. Источник ионов металлов // Тез. докл. I Всес. конф. «Модификация свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц», Томск, 1988, т. 1, с. 53−55.
- Keller R. A reliable noble gas duoplasmatron for the 10 mA range // Radiation Effects, 1979, v. 44, p. 201−206.
- Борисов A.M., Куракин И. Б., Лигачев A.E. Возможности получения пучка газометаллических ионов на основе дуоплазматрона А-типа. // Тез. докл. VIII Всесоюзн. симп. по сильноточной электронике. Свердловск, 1990, т. 1, с. 109−110
- Барченко В.Т., Заграничный С. Н., Задера А. В. О получении ионов металла из газоразрядного источника заряженных частиц // Тез. докл. VII Всесоюзн. симп. по сильноточной электронике. Томск, 1988, т. 1, с. 143−145
- Kogure S., Tonegawa A., Takayama К. et. al. Hollow cathode ion source developed for metalions //Nucl. Instrum. and Meth. Phys. Res., 1989, v. B37/38, p. 201−204.
- Yamashita M. The effect of magnetic field on the plasma chsaracteristics of sputter-type RF ion source//Ibid., p. 194−197.
- Shichang C., Dejun F., Hui Z. et. al. A reaction sputter type rf ion source for solid elements // Ibid., p. 136−139.
- Саенко B.A. Получение плазмы паров металлов // Приборы и техника эксперимента, 1990, № 4, с. 174−176
- Middleton R. Treatise on heavy-ion science. V. 7. N. Y: Plenum, 1974.
- Middleton R. // IEEE Trans. Nucl. Sci., 1976, v. NS-23, p. 1098−2001.
- Middleton R., Adams S.T. // Nucl. Instrum. and Meth. Phys. Res., 1974, v. 118, p. 329−334.
- Месяц Г. А. Эктоны в вакуумном дуговом разряде: пробой, искра, дуга. М.: Наука. 2000.
- Вакуумные дуги / Под ред. Лафферти Д. М.: Мир, 1982.
- Раховский В.И. Физические основы коммутации электрического тока в вакууме. М.: Наука, 1970.
- Кимблин К. Ионные токи и электронные явления в вакуумной дуге // ТИИЭР, 1971, т. 59, № 4, с. 121−131.
- Кесаев И.Г. Катодные процессы электрической дуги. М.: Наука, 1968.
- Осипов В.А., Падалка В. Г., Саблев Л. П., Ступак Р. И. Установка для нанесения покрытий осаждением ионов, извлекаемых из плазмы вакуумной дуги // Приборы и техника эксперимента, 1978, № 6, с. 173−175.
- Brown I.G. Vacuum arc ion sources // Rev. Sci. Instrum., 1994, v. 65, No 10, p. 3061−3081.
- Wolf B.N., Emig H., Ruch D., Spadke P. Investigation of Mevva ion source for metal ion injection into acceleration at GSI // Rev. Sci. Instrum., 1994, v. 65, No 10, p. 3091−3098.
- Ryabchikov A.I., Dektjarev S.V., Stepanov I.B. Metal vapor vacuum arc ion source «Raduga» // Rev. Sci. Instrum., 1994, v. 65, No 10, p. 3126−3133.
- Бугаев С.П., Оке E.M., Щанин П. М., Юшков Г. Ю. Источник ионов на основе контрагированного разряда и вакуумной дуги // Тез. докл. VII Всес. конф. по плазменным ускорителям и ионным инжекторам. Харьков, 1989, с. 143−144.
- Дороднов A.M. Промышленные плазменные установки. M.: Изд-во МВТУ, 1976.
- Дороднов A.M., Петросов В. А. О физических принципах и типах вакуумных технологических плазменных устройств // Журн. техн. физики, 1981, т. 51, № 3, с. 504 524.
- Бугаев С.П., Крейндель Ю. Е., Щанин П. М. Электронные пучки большого сечения. М.: Энергоатомиздат, 1984.
- Месяц Г. А., Проскуровский Д. И. Импульсный электрический разряд в вакууме. Новосибирск.: Наука, 1984.
- Сливков И.Н. Процессы при высоком напряжении в вакууме. М.: Энергоатомиздат, 1985.
- Brown I.G., Godeshot X. Vacuum arc ion charge state distribution // IEEE Trans. Plasma Sci., 1991, v. PS-19, p. 713−717.
- Fowler R.H., Norheim L. Electron emission in intense electric field. // Proc. Roy. Soc. (London), 1928, v. All9, p. 173−181.
- Farrall G.A. Vacuum arc ignition // Handbook of Vacuum Arc Science and Technology / Ed. by R.L. Boxman, D.M. Sanders, P.J. Martin. Park Rige, New Jersey: Noyes Publications, 1995, p. 28−72.
- Lafferty J.M. Triggered vacuum gaps // Proc. IEEE, 1966, v. 54, p. 23−32.
- Быковский Ю.А., Неволин B.H., Фоминский В. Ю. Ионная и лазерная имплантация металлических материалов. М.: Энергоатомиздат, 1991.
- Булыгин B.C., Лебедев В. Б., Пряникова Г. А., Рюккерт В. В., Цициашвили С. С., Яковлев В. А. Исследования вакуумного коммутатора с лазерным поджигом // Журн. техн. физики, 1975, т. 45, № 4, с. 892−897.
- Slattery J.C., Friichtenicht J.E., Hansen D.O. High-voltarge breakdown initiated by particle impect // Appl. Phys. Lett., 1965, v. 7, No 1, p. 23−24
- Акишин А.И., Кирюхин В. П., Новиков JI.C., Сливков И. Н. К вопросу об инициировании пробоя в вакууме ударами быстролетящих микрочастиц // Журн. техн. физики, 1984, т. 54, № 1,с. 179−181.
- Кесаев И.Г. Катодные процессы ртутной дуги и вопросы ее устойчивости. М.: Госэнергоиздат, 1961.
- Evans Р.Т., Watt G.C., Noorman J.T. Metal vapor vacuum arc ion source research at Ansto // Rev. Sci. Instrum., 1994, v. 65, No 10, p. 3082−3087.
- Zhang H., Zhang X., Zhou F., Zhang S., Li Q., Han Z. The Beijing metal vapor vacuum arc ion source program // Rev. Sci. Instrum., 1994, v. 65, No 10, p. 3088−3090.
- Vasilyev A. Vacuum arc bismuth ion source with film cathode // Rev. Sci. Instrum., 1994, v. 65, No 10, p. 3099−3100.
- Katz M.M., Kondratiev L.N., Pomelov N.N., Rogal A.D. Mevva ion source for the ITEP synchrotron // Rev. Sci. Instrum., 1994, v. 65, No 10, p. 3101−3103.
- Batalin V.A., Volkov J.N., Kulevoy T.V., Petrenko S.V. Vacuum arc ion source for the ITEP RFQ accelerator// Rev. Sci. Instrum., 1994, v. 65, No 10, p. 3104−3108.
- Tolopa A. Development of TAMEK and other vacuum arc ion sources // Rev. Sci. Instrum., 1994, v. 65, No 10, p. 3134−3139.
- Boxman R.L. Triggering mechanisms in triggered vacuum gaps. // IEEE Trans. Electron Devices, 1977, v. ED-24, p. 122−128.
- Gilmour A, Lockwood D.L. Pulsed metallic-plasma generator. // Proc. IEEE, 1972, v. 60, p. 977−992
- Kamakshaih S., Rau R.S.N. Delay characteristics of a simple trigger vacuum gap. // J. Phys. D: Appl. Phys., 1975, v. 8., p. 1426−1429
- Watt G.C., Evans P.J., A trigger power supply for vacuum arc ion source. // IEEE Trans.
- Plasma. Sci., 1993, v. 21, p. 547−551.
- Anders A., Anders S., Brown I. et al. Trigger unit for pulsed vacuum arc ion source // Proc. Workshop on Mewa Ion Sources and Aplications, Beijing, China, 1993, p. 5−8.
- Evans P.J., Watt G.C., Noorman J.T. Metal vapor vacuum arc ion source research at Ansto // Rev. Sci. Instrum., 1994, v. 65, p. 3082−3087.
- Месяц Г. А. Эктоны. Т. 2. Екатеринбург: Наука, 1994.
- Справочник по электротехническим материалам / Под ред. Ю. В. Корницкого, В. В. Пасынкова, Б. М. Тареева. М.: Энергоатомиздат, 1987.
- Brown I.G. Metal vapor vacuum arc ion sources // Rev. Sci. Instrum., 1992, v. 63, No 4, p. 2351−2356.
- Bernadet H., Godechot X., Jaijat F. A highly reliable trigger for vacuum arc plasma source // Proc. Workshop on Vacuum Arc Ion Sources, Berkeley, USA, 1995, p. 67−80.
- Bernadet H., Godechot X., Rivier C. Investigation of firing properties of a vacuum arc triggered by plasma injection // Proc. Workshop on Vacuum Arc Ion Sources, Berkeley, USA, 1995, p. 81−101.
- Anders A., Brown I.G., MacGill R.A., Dickinson M.R. «Triggerless» triggering of vacuum arcs //J. Phys. D: Appl. Phys., 1998, v. 31, p. 584−587.
- Anders A., Schein J., Qi N. Pulsed vacuum-arc ion source operated with a «triggerless» arcinitiation method // Rev. Sci. Instrum., 1997, v. 71, No 2, p. 871−829.
- Binder R., Schein J., Krishnan M. Vacuum arc electron source for pre-ionizing Z-pinch gas load // Proc. 1st International congress on Radiation Physics, High Current Electronics, and Modification Materials. V. 2. Tomsk, 2000, p. 120−125.
- Гаврилов H.B., Крейндель Ю. Е., Шубин О. А. Источник мощных электронных и ионных пучков импульсно-периодического действия // Приборы и техника эксперимента, 1991, № 3, с. 130−134.
- Гаврилов Н.В., Никулин С. П. Источник широкого пучка ионов газов на основе дугового разряда в неоднородном магнитном поле // Изв. высш. учебн. завед. Физика, 1994, № 3, с. 66−75.
- Казьмин Г. С., Коваль Н. Н., Крейндель Ю. Е., Толкачев B.C., Щанин П. М. Электронный диодный ускоритель с большим сечением пучка // Приборы и техника эксперимента, 1977, № 4, с. 19−20.
- Девятков В.Н., Коваль Н. Н., Щанин П. М. Использование дугового контрагированного разряда для генерации интенсивных электронных пучков // Изв. высш. учебн. завед. Физика, 1994, № 3, с. 76−82.
- Источники заряженных частиц с плазменным эмиттером / Под ред. П. М. Щанина. Екатеринбург: Наука, 1993.
- Источники электронов с плазменным катодом / Под ред. Ю. Е. Крейнделя. Новосибирск: Наука, 1983.
- Koval N.N., Oks Е.М., Schanin P.M., Kreindel Yu.E., Gavrilov N.V. Broad beam electron sources with plasma cathodes // Nucl. Instr. and Meth. in Phis. Res., 1992, v. A321, p. 417−428.
- Bugaev S.P., Nikolaev A.G., Oks E.M., Schanin P.M., Yushkov G.Yu. The 100 kV gas and metal ion source for a high current ion implantation // Rev. Sei. Instrum., 1992, v. 63, No 4, Pt. 2, p. 2422−2424.
- Патент от 25.10.93, RU № 2 001 463 Cl, 5H 01 J 27/04, H 01 J 27/22. Способ генерации в ионном источнике двухкомпонентного потока ионов газа и металла / С. П. Бугаев, А. Г. Николаев, Е. М. Оке, П. М. Щанин, Г. Ю. Юшков.
- Тюменцев А.Н., Пинжин Ю. П., Бушнев J1.C. и др. Структурно-фазовые превращения при совместной имплантации металлических и газовых ионов в молибден и титан // Там же, т. 2, с. 12−13.
- Пинжин Ю.П., Тюменцев А. Н., Колобов Ю. Р. и др. Особенности формирования гетерофазной структуры при имплантации a-железа металлическими и газовыми ионами // Там же, т. 2, с. 7−8.
- Daalder J.E. Erosion and the origin of charged and neutral species in vacuum arcs // J. Phys. D: Appl. Phys., 1975, v. 8, p. 1647−1659.
- Николаев А.Г., Оке E.M., Щанин П.M., Юшков Г. Ю. Технологический источник ионов газа и металла «Титан» // Тез. докл. IV конф. «Новые технологии и оборудование для сварки, пайки и вакуумных спецпроцессов в приборостроении», Саратов, 1991, с. 36−37.
- Nikolaev A.G., Oks Е.М., Schanin P.M., Yushkov G.Yu. The vacuum-arc ion sources «TITAN» // Proc. Vth Intern. Conf. on Ion Sources, China, Beijing, 1993, p. 56.
- Николаев А.Г., Оке E.M., Щанин П. М., Юшков Г. Ю. Технологический ускоритель ионов «Титан» // Тез. докл. VII совещ. по применению ускорителей заряженных частиц, С.-Пб., 1992, с. 190−191.
- Brown I.G., Galvin J.T., Gavin B.F., MacGill R.A. Metal vapor vacuum arc ion source // Rev. Sei. Instrum., 1986, v. 57, No 6, p. 1069−1084.
- Аксенов А.И., Бугаев С. П., Емельянов В. А., Ерохин Г. П., Панковец Н. Г., Толопа A.M., Чесноков С. М. Получение широкоапертурных пучков ионов металлов // Приборы и техника эксперимента, 1987, № 3, с. 139−142.
- Арзубов Н.М., Исаев Г. П., Рябчиков А. И. Высоковольтный частотно-импульсный ускоритель ионов на основе вакуумной дуги // Приборы и техника эксперимента, 1988, № 5, с. 28−32.
- Николаев А.Г., Оке Е.М., Щанин П. М., Юшков Г. Ю. Ионно-эмиссионные свойстваплазмы контрагированного разряда и вакуумной дуги // Докл. I Всес. совещ. по плазменной эмиссионной электронике, Улан-Удэ, 1991, с. 30−35.
- Оке Е.М., Юшков Г. Ю. Эмиссия ионов из плазмы дугового разряда // Изв. высш. учебн.завед. Физика, 1994, № 3, с. 24−33.
- Николаев А.Г., Оке Е.М., Щанин П. М., Юшков Г. Ю. Влияние магнитного поля наизвлечение ионов в источнике с сеточной стабилизацией // Журн. техн. физики, 1992, т. 62, № 9, с. 140−144.
- Рябчиков А.И., Арзубов Н. М., Васильев H.A. Особенности эмиссионных свойствимпульсно-периодических ионно-плазменных источников на основе вакуумной дуги // Тез. докл. VIII Всес. симп. по сильноточной электронике. Томск, 1990. Т. 1, с. 67−69.
- Рябчиков А.И., Дягтерев C.B., Степанов И. В. Особенности эмиссионных свойств импульсных широкопучковых источников ионов и плазмы на основе испарения металла вакуумной дугой // Изв. высш. учебн. завед. Физика, 1994, № 2, с. 82−92.
- Рябчиков А.И. Многокомпонентные ионные пучки на основе вакуумной дуги // Изв.высш. учебн. завед. Физика, 1994, № 3, с. 34−52.
- Плютто A.A., Рыжков В. Н., Капин А. Т. Высокоскоростные потоки плазмы вакуумных дуг // Журн. экспер. теор. физики, 1964, т. 47, вып. 8, с. 494−507
- Лунев В.М., Падалка В. Г., Хороших В. М., Исследование некоторых характеристикплазмы вакуумной металлической дуги. II // Журн. техн. физики, 1977, т. 47, № 7, с. 1491−1495.
- Хороших В.М., Аксенов И. И., Коновалов И. И. О структуре плазменных струй, генерируемых катодным пятном вакуумной дуги // Журн. техн. физики, 1988, т. 58, № 6, с. 1220−1226.
- Davis W. D., Miller H. С. Analysis of the electrode products emitted by dc arcs in a vacuumambient // J. Appl. Phys., 1969, v. 40, p. 2212−2221.
- Kutzner J., Miller H. Ion flux from the cathode region of a vacuum arc // IEEE Trans, on
- Plasma Sei., 1989, v. 17, No 5, p. 688−694.
- Brown I.G., Feinberg В., Galvin J.E. Multiply stripped ion generation in the metal vaporvacuum arc // J. Appl. Phys., 1988, v. 63, p. 4889−4898.
- Brown I.G., Galvin J.E., MacGill R.A., Wright R.T. Improved time-of-flight charge statediagnostic // Rev. Sci. Instrum., 1987, v. 58, p. 1589−1592.
- Литвинов E.A., Месяц Г. А., Парфенов А. Г. О природе цикличности взрывнойэлектронной эмиссии // Докл. АН СССР, 1984, т. 279, № 4, с. 864−866.
- Литвинов Е.А., Месяц Г. А., Парфенов А. Г. Об особенностях перехода металл-плазма вначальной стадии взрывоэмиссионного цикла на катоде// Докл. АН СССР, 1991, т. 320, № 2, с. 319−321.
- Anders A. The Periodic Table of vacuum arc charge state distribution // Phys. Rev. E, 1997, v. 55, No 4, p. 969−981.
- Anders A., Schulke T. Predicting ion charge states of vacuum arc plasmas // Proc. XVIIth Int.
- Sypm. Discharges and Electrical Insulation Vacuum, Berkeley, 1996.
- Franzen J., Schuy K.D. Time- and energy-resolved mass spectroscopy: vacuum arc dischargebetween solid electrodes // Z. Naturforsch., 1965, Bd. 20A, S. 176−180.
- Anders A., Anders S., Jutner В., Brown I. Time dependence of vacuum arc parameters // IEEE
- Trans, on Plasma Sci., 1993, v. 21, No 3, p. 305−311.
- Galvin J., Brown I., MacGill R. Charge state distribution studies of the metal vapor arc ionsource//Rev. Sci. Instrum., 1990, v. 61, p. 583−585.
- Аксенов И.И., Белоус B.A., Падалка В. Г., Хороших В. М. Устройство для очисткиплазмы вакуумной дуг от микрочастиц // Приборы и техника эксперимента, 1978, № 5.
- Shalev S., Goldsmith S., Boxman N.R. // J. Appl. Phys., 1985, v. 58, p. 2503−2508.
- Anders A., Anders S., Brawn I.G. Transport of vacuum arc plasmas through magneticmacroparticle filters // Plasma Sources Sci. Technol., 1995, v. 4, p. 1−12.
- Tanberg R. On the cathode of an arc drawn in vacuum // Phys. Rev., 1930, v. 35, p. 10 801 089.
- Kobel E. Pressure and high velosities vapour jets at cathodes of a mercury arc // Phys. Rev., 1930, v. 36, p. 1636−1638.
- Tsuruta K., Sekiya K., Watanabe G. // IEEE Trans. Plasma Sci., 1997, v. 25, p. 603−608.
- Volkov N.B., Nemirovskii A.Z. The ionic composition of the non-ideal plasma produced by ametallic sphere isothermally expanding into vacuum // J. Phys. D: Appl. Phys., 1991, v. 24, No 3, p. 693−70.
- Nemirovskii A.Z., Litvinov E.A. Dynamics of phase transition in the cathode spot of vacuum arc // Proc 12th Symp. on High Current Electronics. Tomsk. Russia. 2000. P. 60−62.
- Любимов Г. А. О механизме ускорения катодных струй пара // Докл. АН СССР, 1975, т.225, № 5, с. 1045−1048.
- Wieckert С. A multicompanent theory of the cathodic plasma jet in vacuum arcs // Contrib.
- Plasma Phys., 1987, v. 27, No 5, p. 309- 330.
- Кринберг И.А., Луковникова М. П., Паперный В. Л. Стационарное расширение токонесущей плазмы в вакуум // Журн. экспер. теор. физики, 1990, т. 97, № 3, с. 806 820.
- Кесаев И.Г., Пашкова В. В. Электромагнитная фиксация катодного пятна // Журн. техн. физики, 1959, т. 29, № 3.
- Саблев Л.П., Долотов Ю. И., Ступак Р. И., Осипов В. А. Электродуговой испарительметаллов с магнитным удержанием катодного пятна // Приборы и техника эксперимента, 1976, № 4, с. 247−249.
- Оке Е.М., Щанин П. М., Юшков Г. Ю. Влияние магнитного поля на эмиссионныехарактеристики источника газовых и металлических ионов // Тез. докл. VIII Всес. симп. по сильноточной электронике. Томск, 1990. Т. 1, с. 49−51.
- Бугаев С.П., Оке Е.М., Щанин П. М., Юшков Г. Ю. «Титан» источник газовых иметаллических ионов на основе контрагированного разряда и вакуумной дуги // Изв. высш. учебн. завед. Физика, 1994, № 3, с. 53−65.
- Spadtke P., Emig Н., Wolf В.Н., Oks Е.М. Influence of gas added to the Mevva discharge on the extracted ion beam // Rev. Sci. Instrum., 1994, v. 65, No 10, p. 3113−3118.
- Oks E.M., Wolf B.H., Spadtke P., Emig H. Influence on the extracted ion beam of gas added tothe Mewa source // Proc. Beijing Workshop on Mevva Ion Sources and Application. Beijing, China, 1993, p. 24−38.
- Оке Е. М. Плазменные источники интенсивных электронных и ионных пучков на основеразрядов низкого давления с ненакаливаемым катодом в магнитном поле. Дисс.. д.т.н. Томск, ИСЭ СО РАН, 1994.
- Brown I.G., Galvin J.T., MacGill R.A., West M.W. Multiply charge metal ion beams // Nucl.1.strum. Meth. Phys. Res., 1989, v. В 43, p. 455−458.
- Digital library of UC. http://128.48.120.7
- Москалев Б. И. Разряд с полым катодом. М.: Энергия, 1969.
- Завьялов М.А., Крейндель Ю. Е., Новиков А. А., Шантурин Л. П. Плазменные процессы втехнологических электронных пушках. М.: Энергоатомиздат, 1989. 256 с.
- Метель А.С., Настюха А. И. Исследование тлеющего разряда в электродной системе снеэквипотенциальными катодами. // Изв. высш. учебн. завед. Радиофизика, 1976, т. 19, № 12, с. 1891−1895.
- Метель А.С., Настюха А. И. Роль дополнительной ионизации газа осциллирующимиэлектронами в области катодного падения тлеющего разряда с полым катодом. // Там же, с. 1884−1890.
- Крейндель Ю.Е. Плазменные источники электронов. М.: Атомиздат, 1977.
- Борисов Д.П., Коваль H.H., Щанин П. М. Генерация объемной плазмы дуговым разрядомс накаленным катодом. // Изв. высш. учебн. завед. Физика, 1994, т. 37, № 3, с. 115−120.
- Goebel D.M., Forrester А.Т. Plasma studies on a hollow cathode, magnetic multipole ionsource for neutral beam injection. // Rev. Sei. Instrum., 1982, v. 53, No 6, p. 810−815.
- Гречаный В.Г., Метель A.C. Тлеющий разряд с полым катодом при вакуумном режимекатодной полости. // Теплофизика высоких температур, 1984, т. 22, № 3, с. 444−448.
- Кириченко В.И., Ткаченко В. М., Тютюнник В. Б. Влияние размеров, материала катода ирода газа на оптимальное давление цилиндрического разряда с полым катодом // Журн. техн. физики, 1976, т. 46, № 9, с. 1857−1867.
- Little Р. F., Engel А. // Proc. Roy. Soc., 1954, v. A224, p. 209.
- Gruzdev V.A., Kreindel Yu. E., Vasylyeva G.G. Peculiarities of excitation of a hollow-cathode reflex discharge. // Proc. 10th Intern. Conf. on Phenomena in Ionized Gases. Donald Parsons, 1971, P.111.
- Глазунов B.H., Метель A.C. Инверсия катодной полости тлеющего разряда в магнитномполе. //Журн. техн. физики, 1981, т. 51, № 5, с. 932−939.
- Крейндель Ю.Е., Никулин С. П. Параметры системы плазма-слой в электродной полостинизкого давления. //Журн. техн. физики, 1988, № 6, с. 1208−1209.
- Крейндель Ю.Е., Никулин С. П. Структура и эмиссионные свойства газовых разрядов сосциллирующими электронами. // Докл. I Всес. совещ. по плазменной эмиссионной электронике. Улан-Удэ, 1991, с. 11−17.
- Семенов А.П., Батуев Б-Ш.Ч. «Перетяжка» плазмы в канале ускоряющего электрода //1. Там же, с. 71−76.
- Грановский B.JI. Электрический ток в газе. Установившийся ток. М.: Наука, 1971.
- Крейндель М.Ю., Осипов И. В., Ремпе Н. Г. Параметры плазмы в отражательном разрядес полым катодом. // Журн. техн. физики, 1992, т. 62, № 10, с. 165−169.
- Гречаный В.Г., Метель A.C. Влияние магнитного поля на распределение катодного токав тлеющем разряде с осциллирующими электронами // Теплофизика высоких температур, 1983, т. 21, № 6, с. 809−813.
- Гречаный В.Г., Метель A.C. Влияние граничных условий на характеристики тлеющегоразряда с полым катодом // Журн. техн. физики, 1982, т. 52, № 3, с. 442−445.
- Глазунов В.Н., Метель A.C. О механизме потерь быстрых электронов в тлеющемразряде с осциллирующими электронами // Физика плазмы, 1982, т. 8, № 5, с. 10 991 104.
- Метель A.C. Расширение диапазона рабочих давлений тлеющего разряда с полымкатодом // Журн. техн. физики, 1984, т. 54, № 2, с. 241−247.
- Груздев В.А., Крейндель Ю. Е., Троян O.E. Электронная пушка с плазменным катодом ивстроенным компактным генератором газа // Приборы и техника эксперимента, 1979, № 5, с. 169−171.
- Белюк С.И., Крейндель Ю. Е., Ремпе Н. Г. Исследование возможности расширенияобласти давлений рабочего газа плазменного источника электронов // Журн. техн. физики, 1980, т. 50, № 1, с. 203−205.
- Груздев В.А., Крейндель Ю. Е., Троян O.E. Инициирование разряда с холодным полымкатодом газомагнетроном // Журн. техн. физики, 1980, т. 50, № 10, с. 2108−2111.
- Груздев В.А., Крейндель Ю. Е., Ремпе Н. Г., Троян O.E. Электронная пушка сплазменным эмиттером // Приборы и техника эксперимента, 1985, № 1, с. 140−142.
- A.C. № 961 488 А, МКИ H 01 J 27/04. Электронно-ионный источник / В. А. Груздев, O.E.1. Троян. Заявлено 13.10.80.
- Семенов А.П., Батуев Б-Ш.Ч. Эффективный ионный эмиттер на основе разряда с полымкатодом // Тез. докл. VIII Всес. симп. по сильноточной электронике. Свердловск, 1990. Т. 1, с. 40−42.
- Семенов А.П., Батуев Б-Ш.Ч. Технологический ионный источник на основе разряда сполым катодом. // Там же. Т. 1, с. 45−47.
- Семенов А.П., Батуев Б-Ш.Ч. Ионный источник на основе тлеющего разряда с полымкатодом // Приборы и техника эксперимента, 1991, № 1, с. 177−178.
- Семенов А.П., Батуев Б-Ш.Ч. Характеристики разряда в электродной структуре, состоящей из полого катода, кольцевого катода и цилиндрического анода // Журн. техн. физики, 1990, Т. 60, № 10, с. 171−173.
- Knechtli R.C., Pat. USA, № 3 831 052, 1974, cl. 313/187.
- Knechtli R.C., Mercer G.N. // IEEE J. Quant. Electron., 1973, v. QE-9, No 6, p. 684.
- Bayless J.B., Knechtli R.C., Mercer G.N. // IEEE J. Quant. Electron., 1974, v. QE-10, No 2, p.213.
- Bayless J.R. // Rev. Sei. Instrum., 1975, v. 46, No 9, p. 1158.
- Метель A.C. Плазменный источник электронов с секционированным холодным полымкатодом // Приборы и техника эксперимента, 1987, № 1, с. 164−167.
- Goebel D.M., Schumacher R.W., Eisenhart R.L. // IEEE Trans. Plasma Sei., 1998, v. 26, p.354.
- Goebel D.M., Schumacher R.W., Watkins R.M. // Proc. 9th Intern. Conf. on High Power
- Particle Beams, 1992. V. 2, p. 1093.
- Глазунов В.Н., Гречаный В. Г., Метель А. С. Разрядная камера сильноточного ионногоисточника с холодным полым катодом // Приборы и техника эксперимента, 1988, № 1, с. 145−147.
- Глазунов В.Н., Метель А. С., Юрин В. А. Технологический ионный источник на основетлеющего разряда с холодным полым катодом. // Тез. докл. I Всес. конф. по модификации свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц, Томск, 1988, с. 76−78.
- Mourier G. Pat. USA № 4 087 721,1978.
- А.С. № 1 589 898 Al, МКИ Н 01 J 27/00. Генератор плазмы / А. С. Метель. Заявлено1509.88.
- А.С. № 1 552 923 А1, МКИ Н 01 J 27/00. Генератор ионного пучка / А. С. Метель. Заявлено2803.88.
- Крейндель Ю.Е., Никулин С. П., Пономарев А. В. Эмиссионные свойства плазмы, ограниченной прикатодной областью разряда низкого давления // Журн. техн. физики, 1989, т. 59, № 6, с. 196−199.
- Gavrilov N.V., Mizgulin V.N., Nikulin S.P., Ponomarev A.V. A technological ion source with hollow cathode in magnetic field // Proc. 10th Intern. Conf. on High-power Particle Beams, 1994.
- US patent № 5 569 976, 1996. Ion emitter based on cold cathode discharge / N.V. Gavrilov, S.P. Nikulin.
- Гаврилов H.B., Никулин С. П., Радковский Г. В. Источник интенсивных широких пучковионов газов на основе разряда с полым катодом в магнитном поле // Приборы и техника эксперимента, 1996, № 1, с. 93−98.
- Gavrilov N.V., Mesyats G.A., Radkovsky G.V., Bersenev V.V. Development of technologicalsources of gas ions on the basis of hollow-cathode glow discharges // Surface and Coatings Technol., 1997, v. 96, p. 81−88.
- Miljevich V. Large area 4-cm hollow anode ion source // Proc. 15th European Conf. on
- Controlled Fusion and Plasma Heating, 1988, Contributed Papers, Part III, p. 1085−1088.
- A.C. № 1 412 515 A2, МКИ H 01 J 27/04. Дуоплазмотрон / B.T. Барченко, C.H.
- Заграничный, B.H. Никифоров. Заявлено 31.12.86.
- А.С. № 1 414 211 Al, МКИ H 01 J 27/00. Источник заряженных частиц / В. Т. Барченко,
- С.Н. Заграничный, О. А. Лоенко. Заявлено 20.11.86.
- Крейндель Ю.Е., Лебедева Н. И., Мартене В. Я., Месяц Г. А., Проскуровский Д. И. Отжигполупроводников низкоэнергетичным электронным пучком большого сечения секундной длительности // Письма в Журн. техн. физики, 1982, т. 8, № 23, с. 1465 -1468.
- Глазунов В.Н., Метель А. С., Юрин В. А. Сильноточный ионный источникквазинепрерывного режима с плазменными катодами// Тез. докл. VII Всес. сими, по сильноточной электронике, Томск, 1988. Ч. 1, с. 116−118.
- Крейндель Ю.Е., Мартене В. Я., Съедин В. Я., Гавринцев С. В. Электронная пушканепрерывного действия с плазменным катодом большой площади // Приборы и техника эксперимента, 1982, № 4, с. 178−180.
- Anders A., Anders S. The working principle of the hollow-anode plasma source // Plasma
- Sources Sci. Technol., 1995, No 4, p. 571−575.
- Anders A., Newman N., Rubin M., Jones E., Phatak P., Gassmann A. Hollow-anode plasmasource for molecular beam epitaxy of gallium nitride // Rev. Sci. Instrum., 1996, v. 67, No 3, p. 905−907.
- Hershcovitch A. Observation of a very high electron current extraction mode in a hollowcathode discharge // J. Appl. Phys., 1993, v. 74, No 1, p. 728−729.
- Kaufman H. R // Adv. Electron Phys., 1974, v. 36, p. 263.
- Davis R.C. et al. // Rev. Sci. Instrum., 1972, v. 43, p. 278.
- Davis R.C. et al. // Rev. Sci. Instrum., 1975, v. 46, p. 276
- Болдасов B.C., Денбновецкий C.B., Кузьмичев А. И. Моделирование газоразрядныхкоммутирующих приборов низкого давления. Электрическая прочность приборов в предразрядный период. КиТв: Втол, 1996. 140 с.
- Каминский М. Атомарные и ионные столкновения на поверхности металла. М.: Мир, 1967.
- Zhang X., Zhou F., Zhang H., Zhang S., Li Q., Han Z. Broad beam high average current metalion source // Rev. Sci. Instrum., 1992, v. 63, No 4, p. 2431−2433.
- Brown I.G. Vacuum arc ion sources for particle accelerators and ion implantation // IEEE
- Trans. Plasma Sci., 1993, v. 21, No 5, p. 537−546.
- Рябчиков А.И., Арзубов H.M., Дектярев C.B. Источник «Радуга-2″ для формированияуправляемых по составу много-элементных потоков ионов // Приборы и техника эксперимента, 1991, № 1, с. 171−173.
- Рябчиков А.И., Арзубов Н. М., Насыров Р. А. Формирование сложных и управляемых посоставу потоков ионов // Журн. техн. физики, 1990, т. 60, № 5, с. 106−111.
- Рябчиков А.И., Арзубов Н. М., Насыров Р. А. Управляемое формирование сложных посоставу ионных потоков // Тез. докл. VII Всес. сими, по сильноточной электронике.
- Томск, 1988. Т. 2, с. 225−227.
- Юшков Г. Ю. Генерация широкоапертурных пучков газовых и металлических ионов висточнике на основе контрагиро-ванного разряда и вакуумной дуги: Дисс. канд. физ.-мат. наук. Томск, ИСЭ СО РАН, 1993.
- Oks Е.М., Spadtke P., Emig H., Wolf B.H. Ion beam noise reduction method for the Mevvaion source // Rev. Sci. Instrum., 1994, v. 65, No 10, p. 3109−3112.
- Humphries S., Rutkowski H. Sources of multiply charged ions for heavy ion fusion // J. Appl.
- Phys., 1990, v. 67, No 7, p. 3223−3232.
- Humphries S., Burkhart C» Coffey S., Cooper G., Len L.K., Savage M., Woodall D.M. Gridcontrolled extraction of pulsed ion beams // J. Appl. Phys., 1986, v. 59, No 6, p. 1790−1798.
- Batalin V.A., Volkov J.N., Kulevoy T.V., Petrenko S.V., Kolomiets A.A. Report on ITEP
- Mewa development // Proc. Workshop on Vacuum Arc Ion Sources, Berkeley, USA, 1995, p. 37−59.
- Баталин B.A., Куйбида Р. П., Кулевой T.B., Петренко С. В. Оптимизация выходачетырехзарядных ионов урана из источника с вакуумной дугой. Препринт ИТЭП 35−95, Москва, 1995.
- Abdullin E.N., Bazhenov G.P. Influence of current rise velocity of the mass-charge statedistribution of vacuum arc plasma // Proc. 18th Symp. on Discharge and Electric Insulation in Vacuum. Eindhoven, Netherland, 1998. V. 1, p. 207−210.
- Проскуровский Д.И., Пучкарев В. Ф. Реакция вакуумного дугового разряда на скачоктока//Журн. техн. физики, 1981, т. 51, № 11, с. 2277−2282.
- Бугаев С.П., Крейндель Ю. Е., Щанин П. М. Электронные пучки большого сечения. М.:1. Энергоатомиздат, 1984.
- Гырылов Е.И., Семенов А. П. Формирование однородной плазмы в трубчатой катоднойполости тлеющего разряда//Журн. техн. физики, 1995, т. 65, № 1, с. 189−191.
- Бурдовицин В.А., Галанский B.J1., Груздев В. А. и др. // Журн. техн. физики, 1993, т. 63, № 1, с. 184−189.
- Баликоев И.С., Барченко B.T., Заграничный С. Н., Мерник К. Источник ионов // Тез.докл. II Всес. конф. по модификации свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц. Свердловск, 1991. Т. 1, с. 49−50.
- А.с. № 1 804 235 А1, МКИ Н 01 J 27/04. Источник ионов / И. С. Баликоев, B.T. Барченко,
- С.Н. Заграничный. Заявлено 19.02.91.
- A.c. № 1 683 442 AI, МКИ H Ol J 27/04. Источник ионов / И. С. Баликоев, В. Т. Барченко,
- С.Н. Заграничный. Заявлено 21.11.89.
- Гаврилов Н.В., Пономарев A.B. Источник газовых ионов на основе тлеющего разряда схолодным полым катодом // Тез. докл. II Всес. конф. по модификации свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц. Свердловск, 1991. Т. 1, с. 30−32.
- Барченко В.Т., Заграничный С. Н. Плазменный источник газовых ионов // Тез. докл. IIIконф. по модификации свойств конструкционных материалов пучками заряженный частиц. Томск, 1994. Т. 1, с. 40−41.
- Finkelstein А.Т. A high efficiency ion source // Rev. Sci. Instrum., 1940, v. 11, p. 94.
- Bailey C., Drukey D.L., Oppenheimer F. A magnetic ion source // Rev. Sci. Instrum., 1949, v.20, p. 189.
- A.C. № 1 375 024 А, МКИ H 01 J 17/04, 3/02. Газоразрядное устройство / А. П. Семенов.
- Семенов А.П. Генерирование сильноточных ионных пучков в источниках ионов на основе разрядов с холодным полым катодом // Приборы и техника эксперимента, 1993, №. 5, с. 128−133.
- A.c. № 1 598 757 Al, МКИ H 01 J 27/04. Широкоапертурный источник ионов / С.М.
- Чесноков. Заявлено 15.02.89.
- A.c. № 1 523 033 Al, МКИ H 05 H 1/00, H 01 J 27/00. Плазменный источник заряженныхчастиц / И. С. Баликоев, В. Т. Барченко, С. Н. Заграничный, В. Н. Никифоров. Заявлено 06.04.88.
- A.c. № 1 523 033 Al, МКИ H 05 H 1/00, H 01 J 27/00. Плазменный источник заряженныхчастиц / И. С. Баликоев, В. Т. Барченко, С. Н. Заграничный, В. Н. Никифоров. Заявлено 06.04.88.
- Алексеев Б.В., Котельников В. А. Зондовый метод диагностики плазмы. М.:1. Энергоатомиздат, 1988.
- Козлов О.В. Электрический зонд в плазме. М.: Атомиздат, 1969.
- Диагностика плазмы / Под ред. Хадцлсона Р., Леонарда Е. М.: Мир, 1967.
- Camp R., Sellen D. Method of plasma potential measurement by emissive probes // Rev. Sci.1.strum., 1966, v. 4., p. 68−75.
- Brown I.G., Kelly J.C. A new method for ion charge state analysis // Appl. Phys. 1988, v. 63, p. 254−258.
- Brown I.G., Galvin J.E., Gavin B.F., MacGill R. A // Rev. Sci. Instrum. 1987. v. 58, p. 15 891 592.
- Gushenets V.I., Koval N.N., Schanin P.M., Tolkachev V.S. Nanosecond high current and high repetition rate electron source // IEEE Trans. Plasma Sci., 1999, v. 27, No 4, p. 1055−1059.
- Николаев А.Г., Оке E.M., Щанин П. М., Юшков Г. Ю. Система инициирования катодного пятна в ионном источнике на основе вакуумной дуги // Приборы и техника эксперимента, 1996, № 2, с. 100−103.
- Nikolaev A.G., Yushkov G.Yu., Oks E.M., MacGill R.A., Dickinson M.R., Brown I.G.
- Vacuum arc trigger system based on ExB discharges // Rev. Sci. Instrum., 1996, v. 67, No 9, p. 3095−3098.
- Nikolaev A.G., Yushkov G.Yu., Schanin P.M., Oks E.M. Vacuum arc ignition by Penningdischarge in a strong magnetic field // Proc. XXIIth Intern. Conf. on Phenomena in Ionized Gases, Hoboken, USA, 1995. V. 1, p. 95−96.
- Nikolaev A.G., Oks E.M., Yushkov G.Yu., Schanin P.M. Vacuum arc gas and metal ionsources // Proc. Vlth Intem. Conf. on Ion Sources, Whistler, Canada, 1995. P. 150.
- Nikolaev A.G., Yushkov G.Yu., Oks E.M., Brown I.G., MacGill R.A., Dickinson M.R.
- Vacuum arc ion sources with gaseous plasma trigger system // Proc. XVIIth Intern. Symp. on Discharges and Electrical Insulation in Vacuum, Berkeley, USA, 1996, p. 562−565.
- Туровский Я. Техническая электродинамика. М.: Энергия, 1974.
- Oks Е.М., Anders A., Brown I.G., Dickinson M.R., MacGill R.A. Ion charge state distributions in high current vacuum arc plasmas in a magnetic field // IEEE Trans, on Plasma Sci., 1996, v. 24, No 3, p. 1174−1183.
- Николаев А.Г., Оке E.M., Юшков Г. Ю. Зарядовое распределение ионов в плазмевакуумного дугового разряда в сильном магнитном поле // Журн. техн. физики, 1998, т. 68, № 5, с. 39−43.
- Любимов Г. А., Раховский В. И. Катодное пятно вакуумной дуги // УФН, 1978, т. 125, № 4, с. 665−706.
- Bugaev A.S., Gushenets V.I., Nikolaev A.G., Oks E.M., Yushkov G.Yu. Influence of a current jump on vacuum arc parameters // IEEE Trans. Plasma Sci., 1999, v. 27, p. 882−887.
- Бугаев A.C., Гушенец В. И., Николаев А. Г., Оке Е.М., Юшков Г. Ю. Исследование направленных скоростей ионов в вакуумном дуговом разряде эмиссионными методами // Журн. техн. физики, 2000, т. 70, № 9, с. 37−43.
- Юшков Г. Ю., Бугаев А. С., Кринберг И. А., Оке Е.М. О механизме ускорения ионов вплазме вакуумного дугового разряда//Докл. РАН, 2001, т. 378, № 1, с. 41−43.
- Yushkov G. Measurement of directed ion velocity in vacuum arc plasmas by arc currentperturbation methods // Proc. XlXth Intern. Symp. on Discharges and Electrical Insulation in Vacuum. Xi’an, China, 2000. V. 1, p. 260−263.
- MacGill R.A., Dickinson M.R., Anders A., Monteiro O.R., Brown I.G. Streaming Metal
- Plasma Generation by Vacuum Arc Plasma Guns // Rev. Sci. Instrum., 1998, v. 69, p. 801 803.
- Kittel C. Introduction to solid state physics. N.Y.: John Willey & Sons, 1986.
- Anders A. Ion charge state distributions of vacuum arc plasmas: the origin of species // Phys.
- Rev., 1997, v. EV-55, No 1, p. 969−981.
- Месяц Г. А., Баренгольц C.A. О параметрах ионного потока в вакуумных дугах. // Впечати.
- Anders A. Energetic of vacuum arc cathode spots // Appl. Phys. Lett. 2001. (will bepublished).
- Литвинов E.A. Кинетика катодного факела при взрывной эмиссии электронов //
- Мощные импульсные источники ускоренных электронов. Новосибирск: Наука, 1974, с. 23−34.
- Бугаев С.П., Литвинов Е. А., Месяц Г. А., Проскуровский Д. И. Взрывная эмиссияэлектронов//УФН, 1975, т. 115, № 3, с. 102−120.
- Козырев А.В., Королев Ю. Д., Шемякин И. А. Процессы в катодной области дуговогоразряда низкого давления // Изв. высш. учебн. завед. Физика, 1994, т. 37, № 3, с. 5−23.
- Bolotov A.V., Kozurev A.V., Korolev Yu.D., Physical model of low current density vacuumarc // IEEE Trans. Plasma Sci., 1995, v. 23, No 6, p. 884−892.
- Paoloni F.J.,. Brown I.G. Some observation of the effect of magnetic field and arc current onthe vacuum arc ion charge state distribution // Rev. Sci. Instrum., 1995, v. 66, No 7, p. 38 553 858.
- Oks E.M., Brown I.G., Dickinson M.R., MacGill R.A., Emig H" Spadtke P., Wolf B.H.
- Elevated ion charge states vacuum arc plasmas in a magnetic field // Appl. Phys. Lett., 1995, v. 67, No 2, p. 200−202.
- Anders A., Yushkov G., Oks E., Nikolaev A., Brown I. Ion charge state distribution of pulsedvacuum arc plasmas in strong magnetic fields // Rev. Sci. Instrum., 1998, v. 69, No 3, p. 1332−1335.
- Bugaev A.S., Gushenets V.I., Nikolaev A.G., Oks E.M., Anders A., Brown I.G., Yushkov
- G.Yu. Recent study of ion charge state distribution in vacuum arc ion sources // Proc. XVIIIth1.tern. Sump, on Discharges and Electrical Insulation in Vacuum. Eindhoven, Netherlands, 1998. V. I, p. 256−259.
- Anders A. A formulary for plasma physics. Berlin: Akademie-Verlag, 1990.
- Anders S., Anders A. Frozen state of ionization in a cathodic plasma jet of a vacuum arc // J.
- Phys. D.: Appl. Phys., 1998, v. 21, No 1, p. 213−215.
- Shemlev D.L. Calculation of the plasma parameters of the vacuum arc in an axial magnetic field // Proc. XlXth Intern. Symp. on Discharges and Electrical Insulation in Vacuum. Xi’an, P.R. China, 2000. V. 1, p. 218−221.
- Cap F. Einfiihrung in die Plasmaphysik. Vol. 1. Magnetohydrodynamik. Oxford: Pergamon1. Press, 1972.
- Бугаев A.C., Гушенец В. И., Юшков Г. Ю., Оке Е.М., Андерс А., Браун Я., Гершкович А.,
- Шпедтке П. Генерация многозарядных ионов в плазме вакуумного дугового разряда // Изв. высш. учебн. завед. Физика, 2001, № 9, с. 15−22.
- Yushkov G., Oks Е., Anders A., Brown I. The effect of multiple current spikes on theenhancement of ion charges states of vacuum arc plasmas // J. Appl. Phys. 2000, v. 87, No 12, p. 8345−8350,.
- Yushkov G., Oks E., Anders A., Brown I. Increasing the ion charge states in vacuum arcplasmas by arc current spikes // Proc. XlXth Intern. Symp on Discharges and Electrical Insulation in Vacuum. Xi’an, China, September 2000. V. 1. p. 264−267.
- Bugaev A.S., Oks E.M., Yushkov G.Yu., Anders A., Brown I.G. Enhanced ion charge states invacuum arc plasmas using a «current spike» method // Rev. Sci. Instrum., 2000, v. 71, No 2, p. 701−703.
- Anders A. Plasma fluctuation, local partial Saha equilibrium, and the broadening of vacuumarc ion charge distributions // IEEE Trans. Plasma Sci., 1999, v. 27, p. 1060−1067.
- Oks E., Yushkov G. Some features of vacuum arc plasmas with increasing gas pressure indischarge gap // Proc. XVII Intern. Symp. on Discharges and Electrical Insulation in Vacuum. Berkeley, California, USA, 1996. V. II, p. 584−588.
- Николаев А.Г., Оке E.M., Юшков Г. Ю. Влияние остаточного газа на зарядовоераспределение ионов в плазме вакуумного дугового разряда // Журн. техн. физики, 1998, т. 68, № 9, с. 24−28.
- Oks Е., Yushkov G., Evans Р, Oztarhan A. et al. Hybrid gas-metal co-implantation with amodified vacuum arc ion source // Nucl. Instrum. and Meth. Phys. Research B, 1997, v. 127/128, p. 782−786.
- Rubchikov A.I. Investigations of forming metall-plasma flows filtered from microparticlefraction in vacuum-arc evaporators // Rev. Sci. Instrum., 1998, v. 69, p. 893−899.
- Патенты России: RU 2 097 868, RU 2 097 868, 1998 / А. И. Рябчиков, И. Б. Степанов.
- Мак-Даниэль И. Процессы столкновений в ионизованных газах. М.: Мир, 1967.
- Аксенов И.И., Брень В. Г., Осипов В. А., Падалка В. Г., Хороших В. М. Исследованиеплазмы стационарного вакуумного дугового разряда. I. Формирование потоков плазмы // Теплофизика высоких температур, 1983, т. 21, № 2, с. 219−223.
- Тейлор. Дж. Теория рассеяния: квантовая теория нерелятивистских столкновений. М.:1. Мир, 1975.
- Галицкий В.М., Никитин Е. Е., Смирнов Б. М. Теория столкновений атомарных частиц.1. М.: Наука, 1981.
- Месси Г., Бархоп Е. Электронные и ионные столкновения. М.: ИЛ, 1958.
- Мюллер А., Шевелько В. П. Зависимость сечения перезарядки от заряда налетающегоиона//Журн. техн. физики, 1980, т. 50, № 5, с. 985−992.
- O’Hanlon J.F. A user’s guide to vacuum technology. N.Y.: John Wiley & Sons, 1989.
- Readhead P.A., Hobson J.P., Kornelsen E.V. The physical basis of ultrahigh vacuum. London:1. Chapman & Hall, 1968.
- Jakubka K., Jutner B. The influence of surface conditions on the initiation, propagation andcurrent density of unipolar arcs in fusion device. Preprint № 80−3, Central Institute for Electron Physics, Berlin, Germany, 1980.
- Guile A.E., Jutner B. Basic erosion processes of oxidized and clean metal cathodes byelectrical arcs // IEEE Trans. Plasma Sci., 1980, v. PS-8, No 3, p. 259−269.
- Yushkov G., Anders A. Effect of the pulse repetition rate on the composition and ion chargestate distribution of pulsed vacuum arc // IEEE Trans. Plama Sci., 1998, v. 26, No 2, p. 220 226.
- Бугаев С.П., Оке E.M., Щанин П. М., Юшков Г. Ю. Источник ионов (100 кВ) на основевакуумной дуги, возбуждаемой контрагированным разрядом // Приборы и техника эксперимента, 1990, № 6, с. 125−129.
- Гаврилов Н.В., Крейндель Ю. Е., Оке Е.М., Щанин П. М. Переход дугового разряданизкого давления из контрагированного в каскадный режим горения // Журн. техн. физики, 1983, т. 57, № 10, с. 1947−1951.
- Грановский В.Л. Электрический ток в газе. Установившийся ток. М.: Наука, 1971.
- Рейхрудель Э.М., Смирницкая Г. В., Нгуен Хыу Ти. Зависимость тока от параметров вразряде с осциллирующими электронами в магнитном поле // Журн. техн. физики, 1969, т. 39, № 6, с. 1052−1060.
- Грошковский Я. Техника высокого вакуума. М.: Мир, 1975.
- Королев И.В., Фетисов И. К., Ходачеико Г. В. Исследование условий зажигания разряда впоперечном, аксиальносимметричном слабонеоднородном магнитном поле // Физика плазмы, 1983, т. 9, № 4, с. 869−873.
- Королев Ю.Д., Месяц Г. А. Физика импульсного пробоя газов. М.: Наука, 1991.
- Оке Е. М. Условия образования и эмиссионные свойства объемной плазмы дуговогоразряда низкого давления: Дисс. канд. Физ.-мат. наук. Томск, 1985.
- Визирь А.В., Оке Е.М., Щанин П. М., Юшков Г. Ю. Несамостоятельный тлеющий разрядс полым катодом для широкоапертурных ионных источников // Журн. техн. физики, 1997, т. 67, № 6, с. 27−31.
- Френсис Г. Ионизационные явления в газах. М.: Атомиздат, 1964. 304 с.
- Oks Е., Vizir A., Yushkov G. Low-pressure hollow-cathode glow discharge plasma for broadbeam gaseous ion source // Rev. Sci. Instrum., 1998, v. 69, No 2, p. 853−855.
- Визирь A.B., Николаев А. Г., Оке E.M., Щанин П. М., Юшков Г. Ю. Генератор плазмы наоснове стационарного дугового контрагированного разряда для плазменных источников заряженных частиц // Приборы и техника эксперимента, 1993, № 3, с. 144 148.
- Gavrilov N.V., Mesyats G.A., Radkovsky G.V., Bersenev V.V. Development of technologicalsources of gas ions on the basis of hollow-cathode glow discharges // Surface and Coatings Technology, 1997, v. 96, p. 81−88.
- Плешивцев H. В. Катодное распыление. M.: Атомиздат, 1968. 347 с.
- Физические величины: справочник / Под ред И. С. Григорьева, Е. З. Мейлихова. М.:
- Энергоатомиздат, 1991. 1232 с.
- Vizir А. V., Yushkov G. Yu., Oks Е. М. Further development of a gaseous ion source based onlow-pressure hollow cathode glow // Rev. Sci. Instrum., 2000, v. 71, No 2, p. 728−730.
- Метель A.C. Плазменный источник электронов с секционированным холодным полымкатодом // Приборы и техника эксперимента, 1987, № 1, с. 164−167.
- Гушенец В.И., Крейндель М. Ю., Оке Е.М., Щанин П. М., Юшков Г. Ю. К вопросу озарядовой компенсации широкоапертурных ионных пучков // Тез. докл. IX симп. по сильноточной электронике. Томск, 1992. С. 117−118.
- Оке Е.М., Юшков Г. Ю. Влияние ионизации остаточного газа на электрическиеизмерения тока ионного пучка // Там же, с. 90−91.
- Николаев А.Г., Оке Е.М., Щанин П. М., Юшков Г. Ю. Источник ионов металлов наоснове вакуумной дуги в сильном магнитном поле // Тез. докл. IV. Всес. конф. «Модификация свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц». Томск, 1996. С. 7−9.
- Koval N.N., Oks Е.М., Schanin P.M., Kreindel Yu.E., Gavrilov N.V. Broad beam electron sources with plasma cathodes // Nucl. Instr. and Meth. in Phys. Res., 1992, v. A321, p. 417 428.
- Николаев А.Г., Щанин П. М., Юшков Г. Ю. Извлечение ионов из плазмы дуговыхразрядов низкого давления поперек анодной полости // Приборы и техника эксперимента, 1994, № 3, с. 112−117.
- Гаврилов Н.В., Ковальчук Б. М., Крейндель Ю. Е. и др. Высоковольтный электронный источник с плазменным эмиттером для формирования пучков большого сечения // Приборы и техника эксперимента, 1981, № 3, с. 152−154.
- Oks E., Vizir A., Yushkov G. High current ion source based on hollow cathode glow with e-beam injection // Proc. 12th Intern. Conf. on High Power Particle Beams. V. II, p. 955−958, 1998.
- A.c. № 976 806, МКИ H01J 27/02. Многоапертурная система извлечения заряженныхчастиц из плазменного источника / Н. В. Гаврилов, Е. М. Оке. Заявлено 17.07.81.
- Тюменцев А.Н., Коротаев А. Д., Панин О. В., Пинжин Ю. П., Бугаев С. П., Николаев А.Г.,
- Щанин П.М., Юшков Г. Ю. Влияние газовой среды имплантера на закономерности структурно-фазовых превращений в молибдене при имплантации ионов иттрия // Поверхность, 1996, № 10, с. 58−66.
- Тюменцев А.Н., Коротаев А. Д., Пинжин Ю. П., Панин О. В., Сафаров А. Ф., Бугаев С.П.,
- Тюменцев А.Н., Коротаев А. Д., Пинжин Ю. П., Панин О. В., Бугаев С. П., Оке Е.М.,
- Щанин П.М., Юшков Г. Ю. Материаловедческая аттестация ионного источника «Титан» и обоснование технологических параметров лучевой обработки с его использованием // Там же. Т. 1, с. 60−62.
- Korotaev A.D., Tyumentsev A.N., Pinzhin Yu.P., Safarov A.F., Bugaev S.P., Schanin P.M.
- Koval N.N., Yushkov G.Yu., Vizir A.V. Modification of the structure-phase state of coatingsby ion implantation techniques // Fall Meeting 1995 of the Materials Research Society. Boston, USA, 1996. P. 119−124.
- Тюменцев A.H., Пинжин Ю. П., Коротаев А. Д., Сафаров А. Ф., Бугаев С.П., Николаев
- А.Г., Юшков Г. Ю. Влияние температуры на закономерности структурно-фазовой модификации поверхности молибдена при имплантации ионов циркония и азота // Физика металлов и металловедение, 1997, т. 83., № 2, с. 109−115.
- Tyumentsev A.N., Pinzhin Yu.P., Korotaev A.D., Behert A.E., Savchenko A.O., Kolobov
- Yu.R., Bugaev S.P., Schanin P.M., Yushkov G.Yu. Phase transformation in Mo under simultaneous implantation of metal and gas ion // Nucl. Instrum. and Meth. Phys. Res., 1993, v. B80/81, No 8, p. 491−495.
- Brown I.G., Anders A., Anders S., Dickinson M.R., MacGill R.A., Monteiro O.R., Oks E.M.,
- Detlewski N. Brown I.G., Liu F., Oks E.M., Yushkov G.Yu. Time-of-Flight of Dual1. planted Metals // Proc. XIII Intern. Confer, on Ion Beam Analysis. Lisbon, Portugal, 1997.
- Dytlewski N., Evans P.J., Brown I.G., Liu F., Oks, E.M., Yushkov, G.Y. Time-of-flight ofdual implanted metals // Nuclear Instruments & Methods in Physics Research, B, 1998. v. 136−138, p. 644−648.
- Schneider J., Anders A., Yushkov G. Magnetic-field-dependent plasma composition of a pulsed aluminum arc in an oxygen ambient // Appl. Phys. Lett., 2001, v. 78, No 2, p.150−152.
- Monteiro O.R., Vizir A.V., Brown I.G. Multilayer thin-films with chevron-like microstructure
- J. Appl. Phys., 1998, v. 31, No 22, p. 3188−3196.
- Shamim M., Scheuer J.T., Fetherson R.T., Conrad J.R. Measurement of electron emission due to energetic ion bombardment in plasma source ion implantation // J. Appl. Phys., 1991, v. 70, p. 4756−4759.
- Handbook of plasma immersion ion implantation and deposition / Ed. A. Anders. N.Y.: John1. Wiley and Sons, 2000.
- Anders A., Yushkov G. Measurement of secondary electrons emitted from conductivesubstrates under high-current metal ion bombardment // Surface and Coating Technology, 2001, v. 136, p. 111−116.
- Anders A., Yushkov G. Measurement of secondary electrons emitted from conductivesubstrates under ion bombardment // Proc. Vth Intern. Workshop on Plasma-Based Ion Implantation (PBII-99). Kyoto, Japan, 1999.
- Bugaev S.P., Nikolaev A.G., Oks Е.М., Schanin P.M., Yushkov G.Yu. The «TITAN» ionsource//Rev. Sci. Instrum., 1994, v. 65, No 10, p. 3119−3125.
- Schanin P.M., Koval N.N., Borisov D.P., Yushkov G.Yu., Vizir A.v., Nikolaev A.G.,
- Oks E., Yushkov G. The gas and metal ion sourses // Proc. Mevva Workshop'95. Berkeley, USA, 1995. P. 24−36.
- Nikolaev A.G., Oks E.M., Schanin P.M., Yushkov G.Yu. Vacuum arc gas/metal ion sourceswith a magnetic field // Rev. Sci. Instrum., 1996, v. 67, No 3, p. 1213−1215.
- Nikolaev A.G., Oks E.M., Yushkov G.Yu., MacGill R.A., Dickinson M.R., Brown I.G.
- Processes involved in vacuum arc triggering by ExB discharge // Proc. XVIIIth Intern. Symp. on Discharges and Electrical Insulation in Vacuum. Eindhoven, Netherlands, 1998. V. I., p. 101−104 .
- Vizir A., Yushkov G., Oks E. Development of gaseous ion and plasma sources based onhollow cathode discharge with electron injection // Ibid., p. 190−193.
- Bugaev A., Gushenets V., Yushkov G., Oks E., Kulevoy Т., Hershcovitch A., Johnson B.M.
- Electron-beam enhancement of ion charge state fractions in the metal-vapor vacuum-arc ion source // Appl. Phys. Lett., 2001, v. 79, No 7, p. 919−921.
- Bugaev S.P., Nikolaev A.G., Oks E.M., Schanin P.M., Yushkov G.Yu. The reliable gas andmetal ion source «TITAN» for a high current ion implantation // Ion implantation and ion beam equipment. Singapore: World Scientific, 1990. P.292−299.
- Тюменцев A.H., Пинжин Ю. П., Коротаев А. Д., Бехерт А. Э., Савченко А.О., Колобов
- Ю.Р., Щанин П. М., Юшков Г. Ю. Структурнофазовые превращения в молибдене при совместной имплантации металлических и газовых ионов. Особенности фазовых превращений // Физика металлов и металловедение, 1992, № 9, с. 123−127.
- Юшков Г. Ю. Исследование направленных скоростей ионов в вакуумном дуговомразряде эмиссионными методами // Изв. высш. учебн. завед. Физика, 2001, № 9, с. 9−14.
- Бугаев С.П., Николаев А. Г., Юшков Г. Ю., Оке Е.М., Щанин П. М., Браун Я. Источникиионов на основе вакуумного дугового разряда и их применения в технологических процессах // Изв. высш. учебн. завед. Физика, 2001, № 9, с. 23−27.
- Bugaev A.S., Gushenets V.I., Oks Е.М., Yushkov G.Yu., Anders A., Brown I.G.,
- Hershcovitch A. Enhancement of high-charge-state ions in vacuum arc ion sources // Proc. 28th Pulsed Power Plasma Science Conf. Las Vegas, USA, 2001.
- Oks E., Yushkov G., Litovko I, Anders A., Brown I. Further development of low noise
- MEVVA ion source // Proc. 9th Intern. Conf. on Ion Sources. USA, Oakland, 2001. P. 87.