Новые методы исследования люминесцирующих материалов в растровой электронной микроскопии
Диссертация
Диссертация состоит из введения, четырех глав, выводов к диссертации, заключения и списка литературы. В первой главе приводится обзор основных работ по КЛ-режиму в РЭМ, цветной катодолюминесценции в реальных цветах и цветокодированию, а так же трехмерным катодолюминесцентным методам исследования объектов в РЭМ, рассмотрены различные типы детекторов КЛ-излучения. Во второй главе предложены методы… Читать ещё >
Содержание
- 1. Аналитические возможности цветного контраста в различных режимах работы растрового электронного микроскопа (РЭМ) (обзор литературы)
- 1. 1. Режим катодолюминесценции в РЭМ. Методы регистрации KJI-сигнала
- 1. 1. 1. Информативность режимов KJ
- 1. 1. 2. Интегральная и монохромная KJI в РЭМ
- 1. 1. 3. Катодолюминесцентные спектры
- 1. 1. 4. Коллекторные системы для KJI
- 1. 1. 5. Режим цветной катодолюминесценции в реальных цветах (ЦКЛ) в РЭМ
- 1. 1. 6. Коллекторные системы для ЦКЛ режима
- 1. 1. 7. Комбинированные KJI — ООЭ коллекторные системы
- 1. 2. Цветокодирование
- 1. 3. Трехмерные методы исследования люминесцентных свойств объектов в РЭМ
- 1. 1. Режим катодолюминесценции в РЭМ. Методы регистрации KJI-сигнала
- 2. Повышение спектрального разрешения и информативности метода ЦКЛ
- 2. 1. Цветной композитный контраст в РЭМ
- 2. 1. 1. Принципы формирования цветного композитного контраста в РЭМ
- 2. 1. 2. Математическое представление сигналов многоканального РЭМ и алгоритм получения цветного композитного контраста
- 2. 2. Разделение смешанного контраста на независимые составляющие. Интегрированный 2хООЭ-ВЭ-ЦКЛ детектор для РЭМ
- 2. 2. 1. Коллекторная система для ЦКЛ с локальным разделением светового потока
- 2. 2. 2. Регистрация медленных ВЭ в интегрированном детекторе
- 2. 2. 3. Регистрация ООЭ в интегрированном детекторе
- 2. 3. Экспериментальная установка
- 2. 4. Практическая реализация метода композитного контраста
- 2. 4. 1. Программное обеспечение
- 2. 4. 2. Исследование стохастической волоконной оптики
- 2. 4. 3. Экспериментальная проверка метода на двухкомпонентном образце Си-С с люминесцирующими включениями
- 2. 5. Метод цветной катодолюминесценции высокого спектрального разрешения (ЦКЛ-ВСР)
- 2. 5. 1. Оценка локальных спектров КЛ-эмиссии с помощью многомерных KJI-изображений в РЭМ
- 2. 5. 2. Расчет цветовых координат КЛ-излучения по данным многоканальной спектральной KJI
- 2. 6. Практическая реализация многоканального цветоанализатора для исследования люминесцирующих материалов в РЭМ
- 2. 6. 1. Измерение спектральных характеристик узкополосных светофильтров
- 2. 6. 2. Методика измерения сигналов МЦА
- 2. 6. 3. Экспериментальная установка для измерения спектральных характеристик МЦА
- 2. 6. 4. Методика измерений спектральной чувствительности
- 2. 6. 5. Измерение векторной аппаратной функции МЦА
- 2. 7. Практическое применение метода композитного контраста для исследований в электронике, медицине и геологии
- 2. 7. 1. Исследование ростовых особенностей эпитаксиальных мезаструктур на базе карбида кремния
- 2. 7. 2. Изучение локализации примеси в процессе гетероэпитаксиального роста слоев нитрида галлия, легированного скандием и цинком
- 2. 7. 3. Теллурид цинка, легированный серебром на подложке из сульфида цинка — ZnS-ZnTe:Ag
- 2. 7. 4. Искусственные алмазы
- 2. 7. 5. Изучение бразильских карбонадо из штатов Байя и Минас Жерайс
- 2. 8. Исследования эпитаксиальных структур на основе GaN и органических материалов методом ЦКЛ-ВСР
- 2. 8. 1. Эпитаксиальные структуры GaN латерального наращивания
- 2. 8. 2. Исследование промышленных образцов светодиодов на основе GaN
- 2. 8. 3. Исследование катодолюминесценции микросфер из полистирола
- 2. 1. Цветной композитный контраст в РЭМ
- 3. 1. Физические основы неразрушающего метода трехмерной микротомографии
- 3. 1. 1. Постановка задачи
- 3. 1. 2. Физические основы метода
- 3. 2. Реализация метода без учета диффузионной длины и эффекта поверхностной рекомбинации носителей зарядов
- 3. 2. 1. Выбор функции генерации
- 3. 2. 2. Определение нормировочных коэффициентов
- 3. 2. 3. Определение глубины проникновения первичных электронов
- 3. 2. 4. Оценка погрешностей метода
- 3. 3. Учет эффекта диффузии и поверхностной рекомбинации зарядов
- 3. 4. Влияние различных факторов на точность метода трехмерной микротомографии KJI-свойств
- 3. 5. Исследование погрешностей метода путем компьютерного моделирования и выработка критерия определения глубины проникновения первичных электронов в образец для разных энергий
- 3. 5. 1. Математическое моделирование алгоритма метода трехмерной микротомографии KJI-свойств
- 3. 5. 2. Моделирование образца с заданными характеристиками
- 3. 5. 3. Решение обратной задачи
- 3. 5. 4. Подсчет погрешности метода реконструкции
- 3. 5. 5. Исследование погрешностей метода трехмерной катодолюминесцентной микротомографии в зависимости от изменения входных параметров
- 3. 6. Исследование процессов трансформации политипов в эпитаксиальных мезаструктурах на основе карбида кремния методом трехмерной катодолюминесцентной микротомографии
- 3. 6. 1. Экспериментальная установка и программное обеспечение
- 3. 6. 3. Трехмерная реконструкция катодолюминесцентных свойств эпитаксиальных мезаструктур SiC
- 4. 1. Исследования желчных камней и дегидратированных осадков литогенной желчи человека методами компьютерной статистической обработки ЦКЛ-изображений
- 4. 1. 1. Исследование желчных камней человека методом катодолюминесцентной микроскопии
- 4. 1. 2. Количественная оценка цветных катодолюминесцентных изображений дегидратированной желчи человека
- 4. 2. Статистические исследования корреляционных характеристик химического состава и мест сбора для образцов пылевых частиц из различных районов г. Москвы по данным ЦКЛ и РМА
- 4. 2. 1. Пыль и оценка ее агрессивности
- 4. 2. 2. Места и методика отбора проб
- 4. 2. 3. Методы приготовления образцов и проведения анализов
- 4. 2. 4. Наработка банка данных, систематизация результатов
Список литературы
- Гоулдстейн Дж., Яковиц X, Практическая растровая электронная микроскопия. — М.: Мир, 1978.
- Спивак Г. В., Сапарин Г. В., Быков М. В., Растровая электронная микроскопия. //УФН.-1969.-т.99.-№ 4.-с.635−672.
- Сапарин Г. В. Введение в растровую электронную микроскопию. М.: Изд-во МГУ, 1990.
- Thornton P.R. Scanning Electron Microscopy. Chapman and Hall Ltd., London, 1968.
- Обыден C.K. Локальные кинетические и спектральные особенности люминесцирующих сред: Кандн. диссертация. Москва, 1985.
- Джадд Д., Вышецки Г. Цвет в науке и технике. М.: Мир, 1978.
- Спивак Г. В., Сапарин Г. В., Антошин М. К. Цветной контраст в растровой электронной микроскопии. //УФН.-1974.- т.113.-№ 4.-с.695−699.
- Кононов О.В., Спивак Г. В., Сапарин Г. В., Антошин М. К., Нестеров И. В., Бородаев Ю. С. Цветной контраст в растровой электронной микроскопии. //Изв. АН СССР, сер. физ.-1974.-т.38.-с.2234.
- Saparin G.V., Obyden S.K. Colour display of video information in scanning electron microscopy: Principles and applications to physics, geology, solid science, biology, and medicine. //Scanning.-1988.-Vol.10.- № 3.- p.87−106.
- Saparin G.V. Cathotoluminescence in Scanning Electron Microscopy. Electron Microscopy in Materials Science.-1991.-p.547−602.
- Yacobi B.G., Holt D.B. Cathodoluminescence Microscopy of Inorganic Solids. New York, London: Plenum Press.-1990.
- Спивак Г. В., Комолова Л. Ф., Ефременкова B.M., Сапарин Г. В. Выявление влияния ионной бомбардировки на полупроводники при помощи катодолюминесценции в растровом электронном микроскопе. //Изв. АН СССР. сер. физ.- 1977.-C.933−938.
- Брук А.С., Воронков В. В. и Говорков А.В. Исследования неоднородности полуизолирующего арсенида галлия на РЭМ в режиме микрокатодолюминесценции. //Изв. Ан. СССР, сер. физ.-Т.52.- № 7.- с. 1368.
- Liebiedzik J., White E.W. and Bhalla R.J.R.S.B. Simple instrumentation for risi decay time measurement of cathodoluminescense in an electron microprobe. //Rev. Saci. Instr.-1974.-V.45.- p.451−452.
- Rich D.H., Ksendzov A., Terhune R.W., Grunthaner F.J., Wilson B.A., Shen H., Dutta M., Vernon S.M., Dixon T.M. Polarized-cathodoluminescense study of uniaxial and biaxial stress in GaAs/Si. //Physical Review B.-1991.-V.43.- № 8.- p.6836−6839.
- Спивак Г. В., Филиппов M.H., Антошин M.K. О поляризационном контрасте катодолюминесценции в растровой электронной микроскопии. //Изв. АН СССР, сер. физ.-1977.-Т.41.-№ 5.-С.876−879.
- Cusano D.A. Radiative recombination from GaAs directly excited by electron beams. //Solid State Communications.-1964.-V.2.- Issue 11.- p.353−358.
- Kayser D.F., Wittry D.B. The Microprobe. (Eds T. D. McKinley, K.F.J. Henrich, D.B. Wittry). — New York: Wiley.- 1964.- p.691.
- Петров В.И., Гореева A.P. Применение метода локальной катодолюминесценции для исследования монокристаллов HgCdTe. //Изв. АН СССР, сер. физ.- 1988.- Т.52.- № 7.-с.1373−1375.
- Horl Е. Cathodoluminescence: Actual State of Instrumentation. //Microscopica Acta Suppl 2.- Microprobe analysis in Biology and Medicine.- 1978.- V.2.- p.236−248.
- Bond E. F, Beresford D, Haggis G.H. Improved cathodoluminescence microscopy. //J. Microsc.- 1974.- Apr.- V.100(3).- p.271−282.
- Horl E.M., Mugshl E. Scanning Electron Microscopy of Metals Using Light Emission. //Proc. of 5th European Congress on Electron Microscopy.-1972.- p.502−503.
- Тепляков А.Г. Использование принципа стробоскопии для цветного катодолюминесцентного анализа в РЭМ: Дипл. Работа.- МГУ, физ. фак.- 1979.
- Тарасов К.Н. Спектральные приборы. Л.: Машиностроение, 1968.
- Лебедева В.В. Экспериментальная оптика. М.: Изд. М.У., 1994.
- Koschek G., Kubalek Е. Application of a New Detector for Cathodoluminescence Measurements in the Wavelength Range to 1.8 (im. //Scanning.- 1985.-V.7.- № 7.- p. 199 204.
- Steyn J.B., Giles P., Holt D.B. An efficient spectroscopic detection system for cathodoluminescence mode scanning electron microscopy (SEM). Hi. Microscopy.- 1976.-V.197(2).- p.107−128.
- Trigg A.D. A high efficiency cathodoluminescence system and its application to optical materials. //Scanning Electron Microscopy.-1985.-III.- p.1011−1022.
- Davidson S., Cuberbatch T.J., Huang E., Mychajlenko S. A new scanning cathodoluminescence microprobe system. //Inst. Phys. Conf.- 1981.- Ser. No. 60(4).- p. 191 196.
- Monochromator CL-system for CL-imaging and Spectral Analysis. Oxford Instruments Ltd. Technical Information, 1991.
- Obyden S.K., Saparin G.V., Spivak G.V. Observation of Long Persistance Luminescent Materials Using Colour TV SEM. //Scanning.- 1980.- Vol. 3.- № 3, — p.181−192.
- Obyden S.K., Saparin G.V., Spivak G.V. New Imaging Technique and Stroboscopy in Colour SEM. //IITRI/SEM/1980/IV, SEM Inc. AMF ed. O’Hare, Chicago.- 1980.- p.41−48.
- Обыден С.К., Николаев А. Г., Перловский Г. А., Сапарин Г. В. Многофункциональный цветной дисплей с покадровой памятью для растрового электронного микроскопа. //Известия АН СССР, сер. физ.- 1989.- т.52.- № 2.- с.385 388.
- Grassmann Н. Zur Theorie der Farbenmischung, Poggendorffs Ann.- 1853.-89, p.69.
- Spaprin G.V., Spivak G.V. Development of Methods in the SEM and its Application. //BEDO.- 1976.- V.8.- p.245−254.
- Сапарин Г. В., Обыден C.K. Коллектор светового излучения. Авт. свид. № 1 064 347, 1983.
- Obyden S.K., Saparin G.V., Spivak G.V. Angular Distribution of CL-Intensity and Efficiency of Ellipsoidal and Parabolic Light Collectors. //IITRI/SEM/1980/IV, SEM Inc. AMF ed. O’Hare, Chicago.- 1980.-p. 33−40.39,40,41,42,43,44,45,46,47,48,49,50,51,52.
- Сапарин Г. В., Обыден С. К., Попов С. И. Коллектор светового излучения. Авт. свид. № 982 117,1982.http://www.cameca.fr/. Официальный сайт фирмы Сашеса. http://www.gatan.com/sem/monocl3.html. Официальный сайт фирмы Gatan Inc.
- Autrata R, Jirak J, Hutar O. Integrated single crystal detector for simultaneous detection of cathodoluminescence and backscattered electrons in scanning electron microscopy. //Scan Microsc.- 1992.- 6.- p.69−79.
- Troyon M., Pastre D., Jouart J.P., Beaudoin J.L. Scanning near-field cathodoluminescence microscopy. //ICEM14, Cabcun, Mexico.- 31 August to 4 September 1998.- Symposium O.-Volume I.- p.453−454.
- Rau E.I., Sasov A.Yu., Spivak G.V. Colour encoding of video signals in SEM. //Scanning.-1980, — Vol. 3.-№ 3.- p.242−248.
- Обыден C.K., Попов С. И., Сапарин Г. В. Аналоговое цветокодирование с яркостной модуляцией в растровом электронном микроскопе. //Поверхность. 1982.-№ 11.-с.97−104.
- Oatley C.W. Isolation of potential contrast in the scanning electron microscope. //J. Sci. Instrum. (J. Phys. E).- 1969.- 2.- p.742−744.
- Obyden S.K., Saparin G.V., Babin S.V. The developement of stroboscopic methods in the SEM. //Electron Microscopy.- 1980.- V.I.- p.324.
- Sardo A., Vansi M. Digital Beam Control for Fast Differential Voltage Contrast. //Scanning.- 1984.- V.6.- № 3.- p. 122.
- Obyden S.K., Saparin G.V., Popov S.I. Principle and Possibilities of Differential (Poliphase) Stroboscopy in the SEM. //Scanning.- 1984.-Vol.6.-№ 2.- p.55−57.
- Cleton F., Jouneau P.H., Henry S., Gaumann M., Buffat P.A. Crystallographic Orientation Assessment by Electron Backscattered Diffraction. //Scanning.- 1999.-Vol.21.- № 4.- p.231−237.
- Porwol Т., A.R. Strohmaier A.R., Spiess E., Acker H. Microscopical Tomography in Tree dimensions. //Microscopy and analysis.- 1997.- July.- p.21−25.
- Martinez-Nistal A., Alonso M. 3D reconstruction of wood fibres using confocal microscopy. //Microscopy and analysis.- 1998.-Jan.- p.23−27.
- Marschallinger R., Hock V., Toppa D. A method for the 3D reconstruction of chemically zoned minerals from microprobe scanned serial sections. //Microscopy and analysis.- 1993.-Nov.- p.5−9.
- Marschallinger R. Tree-Dimensional Reconstruction and Modeling of Microstructures and Microchemistry in Geological Materials. //Scanning. 1998.- Vol.20.- № 2.- p.65−73.
- Pawley James B. Handbook of biological confocal microscopy. ed. New York: Plenum Press, 1995.
- Norris C.B., Barnes C.E., Zanio K.R. Cathodoluminescence studies of anomalous ion implantation defect introduction in CdTe. //J. Appl. Phys.- 1977.- 48.- Issue 4.- p. 16 591 667.
- Киреев B.A. Формирование сигнала модуляционной катодолюминесценции в пространственно неоднородных полупроводниках. Канд. диссертация, Черноголовка, 1997.
- Everhart Т.Е., Hoff Р.Н. Determination of kilovolt electron energy dissipation vs. penetration distance in solid materials. //J. Appl. Phys.- 1971.- 42.- p.5837- 5846.
- Wells O.C., Savoy R.J., Bailey P.J. Backscattered electron imaging in SEM-measurement of surface layer mass-thickness. Electron beam interactions with solids for microscopy, microanalysis & microlithography. SEM, Inc., AMF O’Hare, 1982, — p.287−298.
- Kanaya K., Okayama S. Penetration and energy-loss theory of electrons in solid targets. //J. Phys. D: Appl. Phys.- 1972.- 5.- p.43−58.
- Goldstein J.I., Newbury D.E., Echlin P., Joy D.C., Fiori C., Lifshin E. Scanning Electron Microscopy and X-ray Microanalysis. Plenum Press, New York, 1981.
- Leamy H.J. Charge collection scanning electron microscopy. //J. Appl. Phys.- 1982.- 53(6).-p.51−86.
- Комолова Л.Ф. Исследование полупроводников с повышенным разрешением в РЭМ. -Канд. дисс., М.:МГУ, физ. фак., 1977.
- Епифанов Г. И., Мома Ю. А. Твердотельная электроника. М.: Высшая Школа, 1986.
- Packwood R.H., Brown J.D. A Gaussian expression to describe f (rz) curves for quantitative electron probe microanalysis. //X-Ray Spectrom.- 1981 .-10.- p.138−146.
- Packwood R.H., Brown J.D. Quantitative electron probe microanalysis using Gaussian f (rz) curves. //X-Ray Spectrom.- 1982.-11.- p.187−193.
- Pouchou J-L., Pichoir F. Quantitative analysis of homogeneous or stratified microvolumes applying the model 'PAP'. Electron Probe Quantitation. Edited by K.F.J.Heinrich and D.E.Newbury. PlenumPress, 1991.-p.31−77.
- Pouchou J-L., Pichoir F. Surface Film X-ray Microanalysis. //Scanning.- 1990.-Vol.12.-№ 4.-p.212−224.
- Packwood R.H. A comprehensive theory of electron probe microanalysis. //Electron Probe Quantitation. Edited by K.F.J.Heinrich and D.E.Newbury. 1991.- p.83−104.
- Van Roosbroeck. Injected Current Currier Transport in a Semi-Infinite Semiconductor and the Determination of Lifetime and Surface Recombination Velocities. //J. Appl. Phys.- 1955.-38.-p.380.
- Обыден С. К., Иванников П. В., Сапарин Г. В. Получение изображений рельефных объектов в растровом электронном микроскопе в режиме цветной катодолюминесценции. //Известия академии наук, серия физическая. 1998.- Т.62,-№ 3.- с.641−649.
- Obyden S.K., Ivannikov P.V., Saparin G.V. Color Cathodoluminescence Display in the Scanning Electron Microscope of Deep Relief Surfaces. //Scanning.- 1997.- Vol.19.- № 8.-p.533−540.
- Reimer L., Riepenhausen М. Detector strategy for secondary and backscattered electrons using multiple detector systems. //Scanning.- 1985.-V.7.- № 5.- p.221−238.
- Hejna J., Reimer L. Backscattered Electron Multidetector Systems for Improved Quantitative Topographic Contrast. //Scanning.- 1987.-Vol.9.- № 4.- p. 162−172.
- Obyden S.K., Philipp М., Ivannikov P.V., Saparin G.V., Dronov S.V. Kirukhin S.Y. Approximation of CL-spectra by Monochrome CL-Images Taken with the Aid of Narrowband Optical Filter Set. //Scanning. 2000. — Vol. 22. — № 2. — p. 107.
- Мосс Т., Баррел Г., Эллис Б. Полупроводниковая оптоэлектроиика. М.: Мир, 1976, с. 432.
- Saparin G.V., Obyden S.K., Mokhov E.N., Roenkov A.D., Ahmedov B.A. Polytype Transformations in SiC-Epitaxial Layers: The Color Cathodoluminescence-SEM Studies. //Scanning.- 1994.- Vol.16.- № 1.- p.21−25.
- Mokhov E.N., Roenkov A.D., Saparin G.V., Obyden S.K., Ivannikov P.V., Freitas J. Characterization of GaN Epitaxial Layers by Color Cathodoluminescence Scanning Electron Microscopy Method. //Scanning.- 1997.- Vol.19.- № 3.- p. 191−192.
- Гурвич A.M. Введение в физическую химию кристаллофосфоров. М.: Высшая школа, 1978.- 376 с.
- Болтакс Б.И. Диффузия в полупроводниках. М.: Физматгиз, 1961.- 462 с.
- Saparin G.V., Obyden S.K., Zezin R.B., Smirnova E.P., Chukhichev M.V. CL of natural diamonds from Jacutian deposits. //Scanning.- 1990.- V.12.- № 6.- p.326−333.
- Орлов Ю.Л. Минералогия алмаза, М.: Наука, 1973.
- Макеев А.Б., Иванух В., Обыден С. К., Брянчанинова Н. И., Иванников П. В., Сапарин Г. В. Взаимоотношения алмаза и карбонадо (По материалам исследования Бразильской и Среднетиманской коллекции). //Доклады академии наук. 2003.-т.393.- № 3.- с.393−397.
- Бокий Г. Б., Безруков Г. Н., Клюев Ю. А. и др. Природные и синтетические алмазы. -М.: Наука, 1986, — 222 с.
- Макеев А.Б., Обыден С.К, Сапарин Г. В. Катодолюминесценция алмазов месторождения Ичетью. //Вест. Института геологии Коми НЦ УрО PAH.-2000.-c.9-l 1.
- Obyden S.K., Saparin G.V., Ivannikov P.V., Yunovich A.E., Leroux M., Dalmasso S., Beamont G., Lomonosov M.V. Application of Composite Contrast SEM-Mode to Study of Defects in InGaN/AlGaN/GaN-Heterostructures. //Scanning. 2000.-V.22.-№ 2.-p.l26−127.
- Kaufmann U., Kunzer M., Maier M., Obloh H., Ramakrishnan A., Santic В., Schlotter P. Nature of the 2.8 eV photoluminescence band in Mg doped GaN. //Applied Physics Letters.-1998.- 72.-p. 1326.
- Leroux M., Beaumont В., Grandjean N., Lorenzini P., Haffouz S., Vennegues P., Massies J., Gibart P. Luminescence and reflectivity studies of undoped, n- and p-doped GaN on (0001) sapphire. //Mats. Sci. & Eng. 1997.- B50.- p.97−104.
- Leroux M., Grandjean N., Beaumont В., Nataf G., Semond F., Massies J., Gibart P. Temperature quenching of photoluminescence intensities in undoped and doped GaN. //J. Appl. Phys. 1999.- V.86.- № 7.- p.3721−3728.
- Yunovich A.E., Kudryashov V.E., Mamakin S.S., Turkin A.N., Kovalev A.N., Manyakhin F.I. Spectra and quantum efficiency of light-emitting diodes based on GaN heterostructures with quantum wells. //Phys. Stat. Sol. (a). 1999.- V.176.- № 1, — p.125−130.
- Galloway S. Cathodoluminescence studies of Ill-Nitrides. //Compound Semiconductors. -1999. 5. — № 7. — p.44−47.
- Chichibu S., Wada K., Nakamura S. Spatially-resolved cathodoluminescence spectra of InGaN quantum wells. //Appl. Phys. Lett. 1997.- 71(16).- p.2346−2348.
- Saparin G. V, Obyden S. K, Ivannikov P.V. A Nondestructive Method for Three-Dimensional Reconstruction of Luminescence Materials: Principles, Data Acquisition, Image Processing. //Scanning. 1996. — Vol.18. — № 4. -p.281−290.
- Бахвалов H.C., Жидков Н. П., Кобельков Г. М. Численные методы. М.: Наука, 1987.
- Armstrong J.T. Quantitative elemental analysis of individual microparticles with electron beam instruments. //Electron probe quantitation. Edited by K.F.J. Heinrich and D.E. Newbury. -1991.-p.261−315.
- Heinrich K.F.J. Electron probe microanalysis by specimen current measurement. //Optique desReyons X et Microanalyse, R. Castaing, P. Deschamps, and J. Philibert, eds., Herman, Paris.-1966.-p. 159−167.
- Love G., Scott V.D. Evaluation of a new correction procedure for quantitative electron probe microanalysis. //J. Phys. 1978. — 11. — p. 1369−1376.
- Тейлор Дж. Введение в теорию ошибок. М.: Мир, 1985.
- Тихонов А.Н., Васильева А. Б., Свешников А. Г. Дифференциальные уравнения. //М.: Наука, 1980.
- Saparin G. V, Obyden S. K, Ivannikov P. V, Shishkin E. B, Mokhov E. N, Roenkov A. D, Hoffman D.H. Three-Dimensional studies of SiC Polytype Transformations. //Scanning. -1997. Vol.19. — № 4. — p.269−274.
- Wang G., Lin Т.Н., Cheng Р.С. Error Analysis on a Generalized Feldkamp’s Cone-Beam Computed Tomography Algorithm. //Scanning. 1995. — Vol.17. — 6. — p.361−370.
- Верма А., Кришна П. Полиморфизм и политипизм в кристаллах. //М.: Мир, 1969. -274 с.
- Сапарин Г. В., Обыден С. К., Мохов Е. Н., Роенков А. Д., Ахмедов Б. А. Политипные превращения в эпитаксиальных слоях карбида кремния, наблюдаемые цветовой катодолюминесцентной сканирующей микроскопией. //Изв. Академии Наук. 1993.-N8.- с.51−55.
- Saparin G.V., Obyden S.K., Mokhov E.N., Roenkov A.D., Ahmedov B.A. Polytype transformation in SiC-Epitaxial layers: The color cathdoluminescence-SEM studies. //Scanning. 1994.- Vol.16.- p.21−25.
- Saparin G.V., Mokhov E.N., Obyden S.K., Chukichev M.V., Roenkov A.D., Ivanov A.I. Space Heterogeneity of Luminescent Centers in SiC-Epitaxial Layers Defected by the Color CL-SEM. //Scanning. 1992, — V.14.- № 4.- p.204−211.
- Vodakov Y.A., Mokhov E.N., Ramm M.G., Roenkov A.D. Epataxial Growth of Silicon Carbide Layers by Sublimation «Sandwich-method». //Kristal und Technik. 1979.- V.14.-p.729−741.
- Small D.M. The staging of cholesterol gallstones with respect to nucleation and growth. //Falk Symposium 29. Bile acids and lipids. (Eds. Paumgartner J, Stiehl A, Gerok W). MTP Press Limited, England. 1981.- p.291−300.
- Smith B.F., La Mont J.T. Identification of gallbladder mucin-bilirubin complex in human cholesterol gallstone matrix. //J. Clin. Invest. 1985.- 76.- p.439−445.
- Pearson J.P., Foster S.N. Mucus glycoprotein content of human cholesterol gallstones. //Digestion. 1987.- 16.- № 3, — p.132−140.
- Harvey P.R.C., Rupar C.A., Gallinger S., Petrunka C.N., Strasberg S.M. Quantitative and qualitaive comparison of gull bladder mucus glycoprotein from patients with and without gall stones. //Gut. 1986.- 27.- № 4.- p.374−384.
- Bills P.M., Lewis D.L. A structural study of gallstones. //Gut. 1979.- 16.- p.630−637.
- Been J.M., Bills P.M., Lewis D.L. Microstructure of gallstones. //Gastroenterology. -1979, — 76.- p.548−555.
- Moriyasu F., Ban N., Nishida O., Nakamura Т., Soh Y., Kavasaki Т., Tamada Т., Sakai • M., Miyake Т., Ucnino H. Central signals of gallstones in magnetic resonance imaging.
- Amer. J. Gastroenterol. 1987.- 82.- 2.
- Ravenborg L., Teilum D., Pedersen L.R. Gallbladder stones classified by chemical analysis of cholesterol content. //Scand J. Gastroenterol. 1990.- 25.- 7.- p.720−724.
- Saparin G.V. Cathodoluminescence: New methods in scanning electron microscopy. //Biophysical electron microscopy, Ch 12, Academic Press, New York.- 1990 p.451−478.
- Saparin G.V., Obyden S.K., Golovanov S.A. Investigation of urinary stones by colour cathodoluminescent scanning electron microscopy (CCL-SEM). //Scanning. 1990.- 12.-p.319−325.
- Chebanov S.M., Saparin G.V., Obyden S.K., Ivannikov P.V. Statistical Estimation of Color Cathodoluminescence Scanning Electron Microscopy Images of a Man’s Bile. //Scanning. 1999.-Vol.21.-№ 2, — p.151−152.
- Barron D., Casuccio G., Heller J. Analysis of Bosnia PM-10 Air Samples for Aerodynamic Mass Distribution by Computer Controlled Electron Microscopy. //Scanning. 1998.-v.20.- № 3.- p.241.
- О состоянии окружающей природной среды г. Москвы в 1992 году. -Государственный доклад. Москва. 1993.
- Пенни Мосер. Чего только нет в пыли! //Наука и жизнь. 1988.- № 6.- с.46−51.
- Casuccio G. Analysis of PM-10 air samples for elemental composition and aerodynamic mass distribution by computer controlled scanning electron microscopy. //R.J.LeeGroup, Inc. Monroeville, Pa., 15 Dec. 1997.
- Нормативы проведения основных санитарно-бактериологических исследований объектов окружающей среды (методические указания). Главное санитарно-эпидемиологическое управление, Москва, 1983.
- Методы контроля. Биологические и микробиологические факторы. Методы санитарно-микробиологического анализа питьевой воды. Методические указания, МУК 4.2.671−97, Минздрав России, Москва, 1997.