Разработка и исследование тонкопленочных датчиков теплового потока для установок промышленной теплоэнергетики
Диссертация
В последнее время мировое сообщество столкнулось с серьезными энергетическими проблемами, обусловленными ускоренным экономическим ростом, исчерпанием и крайне неравномерным распределением энергетических ресурсов, чрезмерной нагрузкой энергетической инфраструктуры на окружающую среду. Для нашей страны эта ситуация усугубляется проблемами переходного периода, а также тем, что Россиясеверная страна… Читать ещё >
Содержание
- Глава 1. Обзор конструкций и характеристик датчиков теплового потока, используемых в теплометрии
- 1. 1. Основные методы измерения тепловых потоков
- 1. 2. Классификация ДТП и их конструктивные характеристики
- 1. 2. 1. Одиночные ДТП продольного типа
- 1. 2. 2. Батарейные ДТП продольного типа
- 1. 2. 3. ДТП поперечного типа
- 1. 3. Методы градуировки датчиков тепловых потоков
- Глава 2. Технология получения тонких пленок путем термического испарения материалов в вакууме
- 2. 1. Основные методы вакуумного нанесения тонких пленок
- 2. 2. Кинетика и термодинамика формирования пленок в вакууме
- 2. 3. Особенности углового распределения испаряемых атомов
- 2. 4. Технологические особенности вакуумного термического напыления
- 2. 4. 1. Основные требования к испарителям вакуумных установок
- 2. 4. 2. Требования к поверхности подложек при напылении
- 2. 4. 3. Контроль скорости напыления и толщины пленок
- 2. 5. Установка ВУП-5 для вакуумного термического напыления
- Глава 3. Экспериментальное исследование тонко пленочных датчиков теплового потока
- 3. 1. Строение твёрдых тел и их теплофизические свойства
- 3. 1. 1. Межатомные связи и структура твердых тел
- 3. 1. 2. Теплофизические свойства материалов для тонкопленочных датчиков теплового потока
- 3. 2. Конструкция и технология изготовления тонкопленочных датчиков теплового потока
- 3. 2. 1. Материалы термопар и подложки
- 3. 2. 2. Маски для вакуумного напыления термоэлектродов
- 3. 2. 3. Технология изготовления датчиков теплового потока
- 3. 3. Градуировка тонкопленочных датчиков теплового потока
- 3. 3. 1. Градуировка тонкопленочных термопар
- 3. 3. 2. Градуировка тонкопленочных датчиков теплового потока
- 3. 4. Атомно-силовая микроскопия термоэлектродов датчиков
- 3. 1. Строение твёрдых тел и их теплофизические свойства
- Глава 4. Использование тонкопленочных датчиков теплового потока в теплотехнических экспериментах
- 4. 1. Определение коэффициентов теплоотдачи и тепловых потерь на лабораторном стенде
- 4. 1. 1. Определение коэффициентов теплоотдачи
- 4. 1. 2. Измерение тепловых потерь изолированного трубопровода
- 4. 1. 3. Погрешности тепловых измерений с помощью ДТП
- 4. 2. Измерение тепловых потерь на теплоэнергетическом оборудовании МГТУ им. А.Н.Косыгина
- 4. 1. Определение коэффициентов теплоотдачи и тепловых потерь на лабораторном стенде
Список литературы
- В.Е.Фортов, О. С. Попель, Энергетика в современном мире, ИД «Интеллект», М., 2011, 167 с.
- Энергетическая стратегия России на период до 2030 года: http://minenergo.gov.ru/activitv/energostrategy/pr 4.php.
- О.Л.Данилов, А. Б. Гаряев, И. В. Яковлев и др., Энергосбережение в теплоэнергетике и теплотехнологиях (под ред. А.В.Клименко), М., ИД МЭИ, 2010, 423 с.
- С.З.Сапожников, В. Ю. Митяков, А. В. Митяков, Градиентные датчики теплового потока, СПб., Изд. СПбГПУ, 2003, 168 с.
- Теория тепломассообмена // Под ред. А. И. Леонтьева, М., Изд. МГТУ им. Н. Э. Баумана, 1997, 683 с.
- Ф.Ф.Цветков, Б. А. Григорьев, Тепломассообмен, М., Изд. МЭИ, 2001, 549 с.
- О.А.Геращенко, В. Г. Федоров, Тепловые и температурные измерения, Киев, Наукова думка, 1965, 304 с.
- О.А.Геращенко, Основы теплометрии, Киев, Наукова думка, 1971, 192 с.
- Ю.П.Царьгородцев, Н. П. Полуэктов, И. И. Усатов, В. Н. Харченко, Тепловые потоки в магнетронном разряде с полым катодом, Труды 5-й Российской национальной конференции по теплообмену, т. 1, М., 2010, с. 142−145.
- Теоретические основы теплотехники. Теплотехнический эксперимент. Справочник под ред. А. В. Клименко и В. М. Зорина, книга 2, М., Изд. МЭИ, 2001, 561 с.
- Б.М.Григорович, И. П. Назаренко, П. В. Никитин, Е. В. Сотник, Метод кало-риметрирования тепловых потоков высокой интенсивности датчиками регулярного режима, Современные проблемы науки и образования, № 3, 2009, с. 33−42.
- J.A.Duffie, W.A.Beckman, Solar Engineering of Thermal Processes, 2 Ed., J. Wiley & Sons, USA, 1991, 919 p.
- ГОСТ 26 263–84. Грунты. Метод лабораторного определения теплопроводности мерзлых грунтов. М., Изд. стандартов, 1987, 12 с.
- T.E.Diller, Heat Flux: http://www.engnetbase.com.
- T.E.Diller, Advances in heat flux measurements // in «Advances in Heat Transfer» (eds. J.P.Hartnett et al.), v.23, Boston, Academic Press, 1993, p. 279−368.
- F.Van der Graaf, Heat Flux Sensors // in «Sensors» (eds. W. Gopel et al.), v.4, New York, VCH, 1989, p. 295−322.
- Captec scientific catalogue: http://www.captec.fr. —18. Vatell heat flux microsensors: http://www.vatell.com.
- Application and specification of heat flux sensors: http://www.hukseflux.com.
- Thin film flux sensors HFS-3, HFS-4: http:// www. о me ga. со m.
- High temperature heat flux sensors: http://www.wuntronic.com.
- Г. Ф.Селявин, Институт технической теплофизики АН УССР (под ред. А.А.Долинского), Киев, Наукова думка, 1965, 159 с. 23. http://www.etalonomsk.ru.
- Измеритель плотности тепловых потоков и температуры «Теплограф» http ://www. interpribor.ru.25. http://www.promsouz.ru.
- С.З.Сапожников, В. Ю. Митяков, А. В. Митяков, Измерение нестационарных тепловых потоков градиентными датчиками на основе анизотропных монокристаллов висмута, ЖТФ, т. 74, вып. 7, 2004, с. 114−120.
- С.З.Сапожников, В. Ю. Митяков, А. В. Митяков, Гетерогенные датчики теплового потока для исследований при высоких температурах, Труды 5-й Российской национальной конференции по теплообмену, т.1, М., 2010, с. 139−141.
- M.A.Albers, Calibration of heat flow meters in vacuum, cryogenic, and high temperature conditions, J. Thermal Insulation and Building Environments, v. 18, 1995, p. 399−410.
- A.V.Murthy, B.K.Tsai, R.D.Saunders, Comparative calibration of heat flux sensors in two blackbody facilities, J. Res. Natl. Inst. Stand. Technol., v. 104, № 5, 1999, p. 487−494.
- A.V.Murthy, B.K.Tsai, C.E.Gibson, Calibration of high heat flux sensors at NIST, J. Res. Natl. Inst. Stand. Technol, v. 102, № 4, 1997, p. 479−488.
- МИ 1855−88. Государственная поверочная схема для средств измерения поверхностной плотности теплового потока в диапазоне 10−2000 Вт/м2 // Методические указания, М., Изд. стандартов, 1988, 5 с.
- Е.А.Томбасов, В. Я. Черепанов, А. И. Калинин, Разработка и исследование средств метрологической аттестации преобразователей теплового потока, Измерительная техника, № 5, 1987, с. 30−32.
- О.А.Геращенко, Т.Г.Грищенко7-Л.В.Декуша, В. П. Сало, Аппаратура для метрологической аттестации первичных преобразователей теплового потока, Промышленная теплотехника, т. 13, № 4, 1991, с. 64−69.
- С.Ковтун, Т. Грищенко, Л. Декуша, Л. Воробьев, Аппаратурное обеспечение поверочной схемы для теплопоточных измерений, Вим1рювальна техшка та метролог1я, № 68, 2008, с. 126−133.
- ГОСТ 25 380–92. Здания и сооружения. Метод измерения плотности тепловых потоков, проходящих через ограждающие конструкции, М., Изд. стандартов, 1988, 15 с.
- А.И.Костржицкий, В. Ф. Карпов, М. П. Кабанченко, О. Н. Соловьева, Справочник оператора установок по нанесению покрытий в вакууме, М., Машиностроение, 1991, 175 с.
- М.М.Никитин, Технология и оборудование вакуумного напыления, М., Металлургия, 1992, 111 с.
- Б.С.Данилин, Вакуумное нанесение тонких пленок, М., Энергия, 1967, 311 с.
- М.Хокинг, В. Васантасри, П. Сидки, Металлические и керамические покрытия, М., Мир, 2000, 516 с.
- И.Л.Ройх, Л. Н. Колтунова, С. Н. Федосов, Нанесение защитных покрытий в вакууме, М., Машиностроение, 1976, 367 с.
- В.В.Кудинов, Г. В. Бобров, Нанесение покрытий напылением. Теория, технология, оборудование, М., Металлургия, 1992, 431 с.
- Г. В.Бобров, А. А. Ильин, Нанесение неорганических покрытий, М., Ин-термет Инжиниринг, 2004, 623 с.
- О.Кнаке, И. Н. Странский, Механизм испарения, УФН, т. 68, вып. 2, 1959, с. 261−305.
- Д.А.Лабунцов, Анализ процессов испарения и конденсации, Теплофизика высоких температур, т. 5, № 4, 1967, с. 647−654.
- Д.А.Лабунцов, Т. М. Муратова, Кинетический анализ процессов испарения и конденсации, Теплофизика высоких температур, т. 7, № 5, 1969, с. 959−967.
- Д.А.ЛабунцовТ"Неравновесные эффектьгпри-испарении и конденсации // в сб. «Тепло- и массоперенос при интенсивном лучистом и конвективном нагреве», Минск, Изд. ИТМО им. А. В. Лыкова, 1977, с. 6−33.
- Технология тонких пленок. Справочник // Под ред. Л. Майселла и Р. Глэнга, М., Советское радио, 1977- т. 1, 662 с. (вакуумная технология) — т. 2, 764 с. (кинетика конденсации, толщина и свойства пленок).
- Л.Н.Розанов, Вакуумная техника, М., Высшая школа, 1982, 207 с.
- Г. Л.Саксаганский, Молекулярные потоки в сложных вакуумных структурах, М., Атомиздат, 1980, 216 с.
- Вакуумный пост универсальный. Техническое описание и инструкция по эксплуатации, 1989, 8 с.
- Д. Займан, Принципы теории твердого тела, М.: Мир, 1974, 472 с.
- С.В.Вонсовский, М. И. Кацнельсон, Квантовая физика твердого тела, М., Наука, 1983, 336 с.
- Л.С.Стильбанс, Физика полупроводников, М., Сов. Радио, 1967, 451 с.
- Д.Рейсленд, Физика фононов, М., Мир, 1975, 365 с.
- Энциклопедия низкотемпературной плазмы // под ред. В. Е. Фортова, книга Ш, раздел VI, М&bdquo- Наука, 2000, 574 с.
- Н.Мотт, Э. Девис, Электронные процесы в некристаллических веществах, М&bdquo- Мир, 1974, 472 с.
- Е.М. Лившиц, Л. П. Питаевский, Физическая кинетика, М.: Наука, 1979, 528 с.
- А.С.Охотин, Л. И. Жмакин, А. П. Иванюк, Модели теплопереноса в конденсированных средах, М., Наука, 1990, 199 с.
- О.А.Геращенко, А. Н. Гордов, В. И. Лах и др., Температурные измерения. Справочник, Киев, Наукова думка, 1984, 494 с.
- А.С.Охотин и др., Теплопроводность твёрдых тел. Справочник, М., Энер-гоатомиздат, 1984, 320 с. 61. http://www.dupont.com./kapton.
- М.И.Бессонов, М. М. Коон и др., Полиимиды класс термостойких полимеров,"М-Л, Наука,"1983, 306 с. -
- Теоретические основы теплотехники. Общие вопросы. Справочник под ред. А. В. Клименко и В. М. Зорина, книга 1, М., Изд. МЭИ, 1999, 527 с.
- А.Г.Григорьянц, Основы лазерной обработки материалов, М., Машиностроение, 1989, 300 с.
- Л.И.Турчак, Основы численных методов, М., Наука, 1987, 318 с.
- И.П.Корнюхин, Тепломассообмен в теплотехнике текстильного производства, М., Изд. «Совъяж Бево», 2004, 597 с.
- В.Л.Миронов, Основы сканирующей зондовой микроскопии, М., Техносфера, 2004, 144 с.
- С.Б.Нестеров, Б. А. Логинов, О. С. Зилова, Н. Р. Сабирзянов, Сканирующие зондовые микроскопы, ИД МЭИ, 2007, 187 с.
- А.А.Суслов, С. А. Чижик, Сканирующие зондовые микроскопы (обзор) // Материалы, Технологии, Инструменты, т.2, № 3, 1997, с. 78−89.
- А.А.Бухарев, Д. В. Овчинников, А. А. Бухарева, Диагностика поверхности с помощью сканирующей зондовой микроскопии (обзор), Заводская лаборатория, № 5, 1997, с. 10−27.
- Официальный сайт ЗАО «Нанотехнология МДТ»: http://www.ntmdt.com.
- К.А.Кирокосян, Разработка и исследование рекуперативных и радиаци-онно-конвективных теплообменных аппаратов с текстильными теплопере-дающими поверхностями, автореферат дисс. к.т.н., М., МГТУ им. А. Н. Косыгина, 2010, 16 с. 73. http://www.abika-m.ru.
- В.А.Осипова, Экспериментальное исследование процессов теплообмена, М&bdquo- Энергия, 1979, 319 с. 75. http://www.thermaflex.rn.3