Оптимизация планов контроля при статистическом управлении технологическими процессами резистивных структур узлов приборов
Диссертация
В современных условиях рыночных отношений постоянное повышение качества продукции имеет фундаментальное значение для предприятий. Требования к обеспечению качества микроэлектронных узлов приборов (далее по тексту — микроузлов: гибридных и полупроводниковых интегральных микросхем) охватывают все этапы их жизненного цикла. Особая роль при этом принадлежит производству, где вместе с обеспечением… Читать ещё >
Содержание
- 1. ПРОБЛЕМА СТАТИСТИЧЕСКОГО УПРАВЛЕНИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИМИ ПРОЦЕССАМИ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИКРОЭЛЕКТРОННЫХ УЗЛОВ ПРИБОРОВ
- 1. 1. Статистическое управление технологическими процессами как средство управления качеством
- 1. 2. Организационно-технические особенности технологических операций изготовления микроэлектронных узлов
- 1. 3. Анализ современного состояния проблемы статистического управления технологическими процессами изготовления микроэлектронных узлов
- Выводы по главе 1
- 2. ВЕРОЯТНОСТНО-ВРЕМЕННЫЕ МОДЕЛИ ТИПОВЫХ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ ИЗГОТОВЛЕНИЯ РЕЗИСТИВНЫХ СТРУКТУР
- 2. 1. Организационно-технические особенности статистического управления типовыми технологическими процессами
- 2. 1. 1. Процесс получения поликремниевых резистивных слоев
- 2. 1. 2. Процесс получения тонких резистивных пленок
- 2. 1. 3. Процесс формирования толстопленочных резисторов
- 2. 2. Статистический анализ типовых технологических процессов
- 2. 2. 1. Задачи статистического анализа
- 2. 2. 2. Методы статистического анализа
- 2. 2. 3. Статистический анализ процесса получения поликремниевых резистивных слоев
- 2. 2. 4. Статистический анализ процесса получения тонких резистивных пленок
- 2. 2. 5. Статистический анализ процесса формирования толстопленочных резисторов
- 2. 3. Вероятностно-временные модели типовых технологических процессов изготовления резистивных структур
- 2. 1. Организационно-технические особенности статистического управления типовыми технологическими процессами
- Выводы по главе 2
- 3. РАСЧЕТ ХАРАКТЕРИСТИК ПЛАНА КОНТРОЛЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ ПО КРИТЕРИЮ УРОВНЯ БРАКА
- 3. Л Критерий эффективности статистического управления технологическим процессом по уровню брака за период между регулировками
- 3. 2. Расчет характеристик плана контроля технологических процессов при использовании контрольных карт выборочных средних значений
- 3. 2. 1. Расчет характеристик плана контроля на основе традиционной вероятностно-временной модели процессов
- 3. 2. 2. Расчет характеристик плана контроля на основе предложенных вероятностно-временных моделей процессов
- 3. 2. Расчет характеристик плана контроля технологических процессов при использовании контрольных карт выборочных средних значений
- 4. 1. Основные задачи расчета характеристик плана контроля технологических процессов по критерию стоимостных затрат
- 4. 2. Расчет стоимостных затрат, связанных со статистическим управлением
- 4. 3. Расчет характеристик плана контроля технологических процессов при использовании контрольных карт выборочных средних значений
- 4. 3. 1. Расчет оптимальных характеристик плана контроля на основе предложенных вероятностно-временных моделей процессов
- 4. 3. 2. Анализ влияния технико-экономических параметров процессов на стоимостный выигрыш от оптимизации характеристик плана контроля
- 4. 3. 3. Расчет квазиоптимальных характеристик плана контроля при случайном характере разладок процессов
- 5. 1. Экспериментальная оценка средних длин серий выборок при статистическом управлении процессами с предложенными вероятностно-временными моделями
- 5. 2. Статистическое управление технологическим процессом получения поликремниевых резистивных слоев
- 5. 3. Статистическое управление технологическим процессом получения тонких резистивных пленок
- 5. 4. Статистическое управление технологическим процессом формирования толстопленочных резисторов
Список литературы
- Власов В. Е., Захаров В. П., Коробов А. И. Системы технологического обеспечения качества / Под ред. А. И. Коробова. М.: Радио и связь, 1987. -160 е.: ил.
- Ноулер Л., Фауэлл Дж., Голц Б. и др. Статистические методы контроля качества продукции: Пер. с англ. / Под ред. А. М. Бендерского. М.: Изд-во стандартов, 1984. — 104 с.
- Богатырев А. А., Филиппов Ю. Д. Стандартизация статистических методов управления качеством. М.: Изд-во стандартов, 1989. — 120 с.
- Миттаг Х.-Й, Ринне X. Статистические методы обеспечения качества: Пер. с нем. -М.: Машиностроение, 1995. 616 с.
- Адлер Ю. П., Шпер В. П. На пути к статистическому управлению процессами // Методы менеджмента качества. 2003. — № 3. — 55 с.
- Статистическое управление процессами SPC (Руководство Крайслер, Форд Мотор Компани, Дженерал Моторс Корпарейшн): Пер. с англ. Н. Новгород: АО НИЦ КД, СМЦ «Приоритет», 1999. — 181 с.
- Juran J. М. Juran on leadership of quality. — New York: The Free Press, 1989.
- Адлер Ю. П., Шпер В. П. Контрольные карты Шухарта в действии // Методы менеджмента качества. 2004. — № 2. — 63 с.
- Деминг Э. Выход из кризиса: Пер. с англ. — Тверь.: «Альба», 1994.
- Справочник технолога-приборостроителя / Под ред. П. В. Сыроватченко. -2-е изд., перераб. и доп. М.: Машиностроение, 1980.11 .Технология производства радиоэлектронной аппаратуры: Пер. с нем./ Под ред. В. Н. Черняева. — М.: Энергия, 1980. 464 е.: ил.
- Шор Я. Б. Статистические методы анализа и контроля качества и надежности. М.: Сов. радио, 1962. — 552 с.
- Илларионов О. И. Статистическое регулирование технологических процессов производства радиоэлектронных изделий: Учеб. пособие / СПбГУАП. СПб., 1999.-71с.: ил.
- H.Poge Е. S. Control charts with warning lives / Biometrica. — 1955, v.42. -№ 2.
- Хальц А. Математическая статистика с техническими приложениями: Пер. с англ. / Под ред. Ю. В. Ливнина. М.: ИЛ, 1956. — 618 с.
- Коуден Д. Статистические методы контроля качества: Пер. с англ. / Под ред. Б. Р. Левина. М.: Физматиз, 1961. — 623 с.
- Химмельблау Л. Анализ процессов статистическими методами: Пер. с англ./ Под ред. И. Г. Горского. — М.: Мир, 1973. 957 с.
- Беляев Ю. К. Вероятностные методы выборочного контроля. М.: Наука 1975.-407 с.
- Адлер Ю. П. Управление качеством: статистический подход. М.: Знание, 1979.-49 с.
- Гнеденко Б. В. Математические методы управления качеством продукции. -М.: Знание, 1980.-32 с.
- Мхитарян В. С. Статистические методы управления качеством продукции. -М.: Финансы и статистика. 1982. 119 с.
- Адлер Ю. П., Розовский Б. JI. Оперативное статистическое управление качеством. — М.: Знание, 1984. 355 с.
- МердокДж. Контрольные карты: Пер. с англ. / Предисл. Ю. П. Адлера. -М.: Финансы и статистика, 1986. 151 е.: ил.
- Всеобщее управление качеством: Учебник для вузов / О. П. Глудкин, Н. М. Горбунов, А. И. Гуров, Ю. В. Зорин- Под ред. О. П. Глудкина. -М.: Радио и связь, 1999. 600 е.: ил.
- Статистические методы повышения качества: Пер. с англ. / Под ред. X. Куме. М.: Финансы и статистика, 1990. — 304 е.: ил. 26."Семь инструментов качества" в японской экономике. М.: Изд-во стандартов, 1990. — 88 с.
- ГОСТ Р 50 779.0−95 Статистические методы. Основные положения.
- ГОСТ Р 50 779.21−96 Статистические методы. Правила определения и методы расчета статистических характеристик по выборочным данным. Часть 1. Нормальное распределение.
- ГОСТ Р 50 779.40−96 Статистические методы. Контрольные карты. Общее руководство и введение.
- ГОСТ Р 50 779.41−96 Статистические методы. Контрольные карты для арифметического среднего с предупреждающими границами.
- ГОСТ Р 50 779.42−99 Статистические методы. Контрольные карты Шухарта.
- Адлер Ю. П., Шпер В. П. Интерпретация контрольных карт Шухарта // Методы менеджмента качества. 2003. — № 11.
- Илларионов О. И., Смирнова Л. И. Статистическое регулирование технологических процессов при постепенной разладке // Надежность и контроль качества. — 1987. —№ 12.
- Федун И. В. Выбор границ регулирования и определение объема выборки при статистическом регулировании технологических процессов с непосредственной ступенчатой корректировкой // Надежность и контроль качества. 1979. -№ 7.
- Duncan A. J. The economic design of x-charts used to maintain current control of a process // Journal of the American Statistical Association. 1956, v. 51.-№ 274.
- Duncan A. J. The economic design of x-charts when there is a multiplisity of assignable causes // Journal of the American Statistical Association. 1971, v. 66. -№ 3.
- GibraJ. N. Economically optimal determination of the parameters of x-control charts // Management Science. — 1971, v. 17.
- Knappenberger H. A., Grandage A. H. Minimum Cost Quality Control Tests. // AIIE Transactions. 1974, v 6.
- Илларионов О. И. Статистическое регулирование технологических процессов по двум параметрам // Методы менеджмента качества. 2001. — № 10.
- Федун И. В. Оптимизация плана контроля при статистическом регулировании технологических процессов с непосредственной ступенчатой корректировкой по экономическому критерию // Надежность и контроль качества. 1980. -№ 11.
- Чинченко Ф. Д. Эффективность внедрения статистических методов управления качеством // Надежность и контроль качества. 1970. — № 3.
- Гончаров Э. Н., Гак В. М., Кондин О. В. Планирование статистического регулирования технологических процессов с учетом экономического критерия // Надежность и контроль качества. 1976. — № 3.
- Лейфер JI. А., Маслов В. И. Управление качеством продукции на базе экономико-математических моделей оптимизации планов контроля в производственном процессе // Стандарты и качество. 1978. — № 12.
- Головинский В. В. Статистические методы регулирования и контроля качества: Расчет оптимальных вариантов. — М.: Машиностроение, 1974.
- Илларионов О. И. Оптимизация планов контроля при статистическом регулировании технологических процессов групповой обработки изделий, х- карты // Надежность и контроль качества. — 1996. — № 9.
- Илларионов О. И. Подоптимальные х -планы статистического регулирования технологических процессов групповой обработки // Надежность и контроль качества. — 1998. № 6.
- Илларионов О. И. Способ обнаружения разладки технологического процесса с помощью х- карты по нескольким выборкам // Надежность и контроль качества. 1992. — № 12.
- Илларионов О.И. Статистическое регулирование технологических процессов с использованием х -карт при случайных изменениях среднего значения контролируемого параметра // Надежность и контроль качества. 1991. — № 4.
- Илларионов О. И., Харитонов А. С. Статистическое регулирование технологических процессов с использованием контрольных карт выборочного среднего при неизвестной дисперсии контролируемого параметра // Методы менеджмента качества. 1999. — № 12.
- Илларионов О. И. Расчет контрольных карт по критерию полной вероятности брака // Методы менеджмента качества. 2003. — № 6.
- Бендерский А. М. О некоторых задачах статистического регулирования технологических процессов. Научные основы надежности и статистических методов контроля качества. -М.: Издательство стандартов, 1973.
- Лейфер Л. А., Маслов В. Н. Классификация моделей нестабильности технологических процессов при контроле по альтернативному признаку // Надежность и контроль качества. 1980. — № 7.
- Бендерский А. М., Филиппов Ю. Д. Статистическое регулирование технологических процессов методом кумулятивных сумм выборочного среднего // Надежность и контроль качества. — 1976. № 10.
- Gibra J. N. Optimal control of processes subject to linear trends // The journal of Industrial Enginiring. 1967. — № 1.
- Кубарев А. И., Соболь В. И. К вопросу о разработке и внедрении статистических методов регулирования точности и стабильности технологических процессов на предприятиях приборостроения // Надежность и контроль качества.- 1973.-№ 9.
- Илларионов О. И., Михайлов А. Г. Проектирование и производство микросборок: Учеб. пособие / СПбГУАП. СПб., 1993. 40 с.
- Кейджян Г. А. Основы обеспечения качества микроэлектронной аппаратуры.- М.: Радио и связь, 1991. 232 е.: ил.
- Гориводский Г. М., Скатков А. В., Шор Я. Б. Статистический анализ технологического процесса производства полупроводниковых приборов // Надежность и контроль качества. 1972. — № 3.
- Сыпчук П. П., Талалай А. М. Методы статистического анализа при управлении качеством изготовления элементов РЭА. М.: Сов. радио, 1979. -168 е.: ил.
- Лысков Н. С. Инженерная методика статистического регулирования технологических процессов серийного производства микросборок // Вопросы радиоэлектроники. Сер. ТПО. 1985. — Вып. 1.
- Лысков Н. С., Мамут Н. Ю., Веселкова Т. П. Методика статистического регулирования группового технологического процесса изготовления микросборок // Вопросы радиоэлектроники. Сер. ТПО. — 1982. — Вып. 2.
- Лысков Н. С. Разработка системы управления технологическим процессом серийного производства толстопленочных микросборок // Вопросы радиоэлектроники. Сер. ТПО. 1988. — Вып. 2.
- Эдельман Ф. И. Структура компонентов БИС. — Новосибирск: Наука, 1980. -156 с.
- Адонин А. С. Осаждение диэлектрических и проводящих слоев из газовой фазы при пониженном давлении. Серия 2. Полупроводниковые приборы. Выпуск 7. — М.: Изд-во ЦНИИ «Электроника», 1983.
- Регулировка аппаратуры в микроэлектронном исполнении / А. К. Климов, В. А. Лопухин, Ю. Ф. Шеханов. Л.: Энергоатомиздат. Ленингр. отд-ние. 1983.-96 е.: ил.
- Хамер Д., Баггерс Дж. Технология толстопленочных гибридных интегральных схем. — М.: Мир, 1975. 375 с.
- Вентцель Е. С. Теория вероятностей: Учеб. для вузов. — 6-е изд. стер. — М.: Высш. шк., 1999. 576 е.: ил.
- Гаскаров Д. В., Шаповалов В. И. Малая выборка. — М.: Статистика, 1978. -278 е.: ил.
- Смирнов Н. В., Дунин-Барковский И. В. Курс теории вероятностей и математической статистики для технический приложений. — М.: Наука, 1969. — 511 с.
- Большое Л. Н., Смирнов Н. В. Таблицы математической статистики. — М.: Наука, 1983.-416 с.
- Гмурман В. Е. Теория вероятностей и математическая статистика: Учеб. пособие для вузов. — 7-е изд., стер. М.: Высш. шк., 2000. — 479 е.: ил.
- Оценка экономической эффективности внедрения статистичских методов контроля качества продукции: Методика / ВНИИ стандартизации. — М.: Изд-во стандартов, 1978. 24 с.
- Артемьева Н. Г. Выбор и применение средств измерения: Учеб. пособие / СПбГУАП. СПб., 1992.
- Сборник задач по математике для втузов. Ч. 3. Теория вероятностей и математическая статистика: Учеб. пособие для втузов / Под. ред. А. В. Ефимова. -2-е изд., перераб. и доп. — М.: Наука. Гл. ред. физ.-мат. лит., 1990. 428 с.
- ТП получения поликремниевых резистивных слоев
- Значения КП пластин, Ом/кв Таблица А. 1
- Значения КП р на случайно отобранных пластинах (по одной пластине в каждой партии)