Двухгрупповые модели в теории переноса быстрых электронов
Диссертация
Для количественного определения искомых параметров, т. е. для моделирования основных эффектов, требуется информация о функции распределения эмитируемых электронов. Она может быть получена из кинетического уравнения, одним из наиболее универсальных численных методов решения которого является метод Монте-Карло, связанный с громоздкими вычислениями, и быстро работающие, но не точные… Читать ещё >
Содержание
- 1. ИСХОДНЫЕ КИНЕТИЧЕСКИЕ УРАВНЕНИЯ И АППРОКСИМАЦИИ
- 1. 1. Уравнение Больцмана для электронов
- 1. 2. Разброс пробегов электронов
- 1. 3. Приближение непрерывного замедления и исходные кинетические уравнения
- 1. 4. Транспортное-5 приближение
- 1. 5. Транспортно-малоугловое приближение
- 1. 6. Сравнение индикатрис рассеяния в различных приближениях
- 2. МАТЕМАТИЧЕСКИЕ МОДЕЛИ КИНЕТИЧЕСКИХ УРАВНЕНИЙ
- 2. 1. Поэтапная модель с центром диффузии
- 2. 2. Модель переноса с разделением электронов на группы нерассеянных и диффундирующих
- 2. 3. Модель переноса с группой электронов, рассеянных на малые углы, и группой диффундирующих электронов
- Выводы
- 3. ОЦЕНКА ТОЧНОСТИ МОДЕЛЕЙ ПЕРЕНОСА ЭЛЕКТРОНОВ ПО МОМЕНТАМ
- 3. 1. Моменты плотности потока в приближении непрерывного замедления
- 3. 2. Вычисление моментов плотности потока в различных транспортных приближениях
- 3. 2. 1. Моменты плотности потока в транспортном-<5 приближении
- 3. 2. 2. Моменты плотности потока в транспортно-диффузионном приближении
- 3. 2. 3. Моменты плотности потока в транспортно-малоугловом приближении
- 3. 3. Радиальные моменты
- 3. 4. Контроль точности моделей по моментам
- Выводы
- 4. МЕТОД ОТРАЖЕНИЯ В ДИФФУЗИОННЫХ МОДЕЛЯХ
- 4. 1. Обобщение метода отражений на случай граничных условий третьего рода
- 4. 2. Функция Грина для пластины, диаграммная техника
- 4. 3. Функция Грина для полубесконечной составной мишени
- Выводы
- 5. АНАЛИТИЧЕСКИЕ РЕШЕНИЯ ЗАДАЧ О ПЕРЕНОСЕ ЭЛЕКТРОНОВ В ДИФФУЗИОННЫХ МОДЕЛЯХ
- 5. 1. Функция выхода при рентгеновской фотоэмиссии электронов
- 5. 2. Аналитическое вычисление вероятности выхода быстрых электронов
- 5. 3. Распределение дозы в биологических структурах, облученных пучком ускоренных электронов
- 5. 4. Проникновение, обратное рассеяние и релаксация пучка быстрых электронов в реальном времени
Список литературы
- Валиев К.А., Раков А.В.Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике — М.: Радио и связь, 1980 — 350 с.
- Электронно лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов Под ред. Дж. Р. Брюэра. — М.: Радио и связь, 1984 — 332 с.
- Рязанов М.И., Тилинин И. О. Исследование поверхности по обратному рассеянию частиц. М.- Энергоатомиздат, 1985 — 150 с.
- Физические основы рентгеноспектрального локального анализа. Перев. с англ, под ред. Боровского И.Б.- М.: Наука, 1973 312 с.
- М. Dapor. Elastic scattering of electrons and positrons by atoms: differential and transport cross section calculations // NIMB 1994 p. 470−476.
- M. Dapor Electron-Atom Scattering: an Introduction. // Nova Science, New York, 2000.
- Бакалейников JI.А., Тропп Э. А. // ЖТФ. 1986. Т 56. Вып. 1 .с. 16−26.
- Бакалейников Л.А., Конников С. Г. и др. Определение функции выхода для электронов средних энергий на основе использования кинетического уравнения// ЖТФ 1994, Т 64. Вып. 4. С 9−16.
- Бакалейников Л.А., Флегонтова Е. Ю., Погребицкий К. Ю. Эффективная реализация расчета потери энергии и угла рассеяния при неупругом взаимодействии электрона с веществом // ЖТФ 2000. Т. 70. Вып. 12. С 6−11.
- Бакалейников Л.А., Флегонтова Е. Ю., Погребицкий К. Ю. Аналитический и численный подходы к расчету функции выхода электронов средних энергий из однородных образцов // ЖТФ 2001. Т. 71. Вып. 7. С 14−20.
- Бакалейников Л.А., Флегонтова Е. Ю., Погребицкий К. Ю. Расчет функции выхода и фотоэмиссии электронов средних энергий из образцов типа «слой на подложке»// ЖТФ 2002. Т. 72. Вып. 9. С 119−129.
- Электронный архив http://www.ioffe.rssi.ru/ES.
- Вычислительный портал SREM http://www.gel.usherb.ca/casino/index.html.
- Н.Калашников Н. П., Ремизович B.C., Рязанов М. И. Столкновения быстрых заряженных частиц в твердых телах. М.:Атомиздат. — 1980. — 350 с.
- Bethe H. Rose M.E. Smith L.P. Multiple scattering of fast charged particles // Proc. Amer. Phil. Soc.- 1938.- v.78, J64.- p.573−583.
- Lewis H.W. Multiple scattering in infinite medium // Phys. Rev.-1950.- v.78, № 5. p.526−529.
- Spencer L.V. Theory of electron penetration // Phys. Rev.-1955.- v.98, № 6-p.1597−1616.
- Archard G.B. Backscattering of electrons // J. Appl. Phys. -1961.-v.32, № 8. -p.1505−1509.
- Tomlin S.G. The Backscattering of Electrons from Solids // Proc. Phys. Soc., London. -1963. v.82, — p.465−466.
- Metchnik V., Tomlin S.G. On Absolute Intensity of Emission of Characteristic X Radiation // Proc. Phys. Soc.- 1963.- v.84,-p.956−964.
- Kanaya K. Okayama S. Penetration and energy-loss theory of electrons in solid targets // J. Appl. Phys.- 1972.- v.5, № 1 p.43−58.
- Messey H.S.W. Electron scattering in solids // Adv. in electronics. 1952. v.4. p.2−68.
- Галишев B.C. Метод модифицированных сферических гармоник в теории многократного рассеяния частиц.- М.: Атомиздат, 1980 132 с.
- Zheng-ming L. Improved bipartitition model of electron transport. II. Application to inhomogeneoue media. // Phys. Rev. B: Condens. Matter.- 1985.- v.32, N2.-824−836.
- Калашников Н.П., Ремизович B.C., Рязанов М. И. Столкновения быстрых заряженных частиц в твердых телах.- М.:Атомиздат.- 1980.-350 с.
- Справочник по специальным функциям. Под ред. М. Абрамович, И. Стиган. М. «Наука». 1979 г. 830 с.
- Роках А.Г., Смоляр В. А. О коэффициенте отражения и энергетических потерях электронов средних энергий в соединениях типа АгВ6, в сб. «Физика и химия соединений типа А2В6'7/ АН СССР, АН УССР, — Киев, 1969 с. 123−124.
- Роках А.Г., Смоляр В. А. Расчет тормозной способности сернистого кадмия для киловольтовых электронов. в сб. «Физика полупроводников и полупроводниковая электроника» // Изд. Саратовского унив., — 1970.- Вып.З.- с.42−48.
- Роках А.Г., Смоляр В. А. Прохождение нерелятивистских электронов через сернистый кадмий в сб. «Физика полупроводников и полупроводниковая электроника» // Изд. Саратовского унив., — 1970.- вып. З,-с.48−52.
- Роках А.Г., Смоляр В. А. О зависимости максимума катодопроводимости от энергии бомбардирующих электронов в сб. «Физика полупроводников и полупроводниковая электроника» // Изд. Саратовского унив., 1970.- вып.З.-с.52−57.
- Новикова E.H., Смоляр В. А. Распределение неравновесных носителей заряда в полупроводниковой пластине при электронном возбуждении.- в сб. «Физика полупроводников и полупроводниковая электроника» // Изд. Саратовского унив., 1973.- вып.4.- с.57−61.
- Смоляр В.А. Определение толщины области пространственного заряда у поверхности раздела металл CdS в режиме ТОПЗ методом электронного зонда, в сб. «Проблемы физики соединений А2Вб» // Вильнюс, 1972.- т.2.- с.174−179.
- Недорубова Н.Г., Смоляр В. А. Пространственное и энергетическое распределение ускоренных электронов в полубесконечной мишени XV Всесоюзная конференция по эмиссионной электронике, краткие содержания докладов// Киев- 1973.- т.1.- с. 166−167.
- Смоляр В.А. Обратное рассеяние и прохождение ускоренных электронов через слой вещества XVI Всесоюзная конференция по эмиссионной электронике, краткие содержания докладов // Махачкала -1976.- т.З.- с.163−164.
- Смоляр В.А. Зарядка диэлектрика пучком киловольтовых электронов XVII Всесоюзная конференция по эмиссионной электронике, тезисы докладов// Ленинград — 1978.- с.265−266.
- Смоляр В.А. Диффузионная теория обратного рассеяния и проникновения электронов в полубесконечную мишень, не содержащая подгоночных параметров // Радиотехника и электроника. 1979. — т.24, N9.-c.1812−1819.
- Смоляр В.А. Зарядка диэлектрика пучком киловольтовых электронов. Фундаментальные основы оптической памяти и среды: Респ. междувед. сб. // 1981.-вып. 12. с.28−34.
- Смоляр В.А. Оценка параметров переноса электронов с энергией порядка килоэлектронвольт в мишенях сложного состава по эффективному атомному номеру // Укр. физ. журн.- 1982.- т.27, № 10.-с.1537−1542.
- Смоляр В.А. Диффузионная теория энергетических потерь электронов, бомбардирующих мишень // Радиотехника и электроника.- 1983-Т.28, № 10.-с.2034−2036.
- Смоляр В.А. Обратное рассеяние, прохождение и энерговыделение в пластине, бомбардируемой пучком электронов // Радиотехника и электроника.-1985.- Т. ЗО, Вып. 11.- с.2221−2228.
- Михеев Н.П., Смоляр В. А. Транспортно-диффузионное приближение в теории переноса электронов // Укр. физич. журн.- 1985. т .30, № 1. — с.140- 143.
- Кейз К., Цвайфель П. Линейная теория переноса.- М.: Мир, 1972. 384 с.
- Ремизович B.C., Рязанов М. И., Тилинин И. С. Исследование поверхностных и объемных свойств твердых тел по взаимодействию частиц./ Под ред. М. И. Рязанова. М: Энергоиздат, 1983 — с.3−24.
- Калашников Н.П., Машинин В. А. К теории обратного рассеяния быстрых заряженных частиц от плоской мишени произвольной толщины // Журн. экс-перим. и теор. физ.- 1973.- т.43, вып.11.- с.2239−2234.
- Brown D.B., Ogilvie R.E. An Electron Transport Model for the Prediction of X-Ray Production and Electron Backscattering in Electron Microanalysis // J. Fppl. Phys. 1966.- v.37, № 12.- p.4429−4433.
- Smolar V. Electron backscattering and penetration in the small-angle and transport approximation model. // Vacuum.- 1990,-v.41. № 7−9.- p. 1718−1720.
- Смоляр В.А. Транспортно-малоугловое приближение в теории переноса электронов средних энергий. // Укр. физ. журн.- 1988.- т. 33, № 7.- С. 10 721 077.
- Смоляр В.А. Транспортно-малоугловое приближение в теории переноса электронов средних энергий. Сб. докладов Второй Международной конференции по электронно-лучевым технологиям ЭЛТ-88, // Варна, Болгария -1988.
- Макарова Е.Л., Смоляр В. А. Оценка точности транспортно-малоуглового приближения по моментам сечения / Деп. ВИНИТИ № 1193-В89 от 22.02.89 // Депонированные научные работы 1989. № 6, б/о 186.
- Смоляр В.А. Вычисление обратного рассеяния, проникновения и выделения энергии на основе решения кинетического уравнения для электронов в транспортно-малоугловом приближении. 5. Celostatna konferencia MKROELEKTRONIKA, Bratislava. — 1989. — p.52.
- Smolar V. Electron backscattering and penetration in the small-angle and transport approximation model.- Poster presentation at the 11 International Vacuum Congress/ 7 International Conference on Solid Surface // Koln, FRG, 1989.
- Смоляр В.А. Обратное рассеяние, прохождение и поглощение пучка электронов средних энергий в многослойной мишени. XXI Всесоюзная конференция по эмиссионной электронике, тезисы докладов // Ленинград — 1991.
- Смоляр В.А. Перенос электронов в многослойных мишенях в транспортно-малоугловом приближении. XXII Конференция по эмиссионной электронике, XXII Конференция по эмиссионной электронике краткие содержания докладов//Москва, 1994. С.-166−168.
- Михеев Н.П., Смоляр В. А. Транспортно-диффузионное приближение в теории переноса электронов // Укр. физич. журн.- 1985. т .30, № 1. — с.140- 143.
- Макарова Е.Л., Смоляр В. А. Двухэтапная модель переноса и энерговыделения электронов в пластине, бомбардируемой пучком электронов. Физико-технологические принципы создания компонентов ЭВМ // Киев, ИК АН УССР, 1987.
- Смоляр В. А., Ерёмин А. В. Распределение эквивалентной дозы по глубинепри облучении органических материалов пучком ускоренных электронов -Биомедицинская радиоэлектроника, 2002, N4, с. 24−28.
- Смоляр В. А., Маглеванный И. И. Распределение плотности энерговыделения электронов средних энергий при нормальном падении пучка на мишень — Радиотехника и Электроника -1995, вып. 10, с. 1579−1589.
- Larsen E. W. // Ann. Nucl. Energy. 1992. V. 19. P. 701.
- Смоляр В. А., Ерёмин А. В., Ерёмин В. В. Распределение выделенной энергии и инжектированного заряда при нормальном падении на мишень пучка быстрых электронов. // ЖТФ 2002. Т.72, Вып. 4, С. 46−52.
- Смоляр В. А., Давидян А. П. Распределение эквивалентной дозы по глубине при облучении органических материалов пучком ускоренных протонов.// Биомедицинские технологии и радиоэлектроника, 2003 г. № 4. С. 23−30.