ΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² ΡƒΡ‡Ρ‘Π±Π΅, ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ быстро...
Π Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π΅ΠΌ вмСстС Π΄ΠΎ ΠΏΠΎΠ±Π΅Π΄Ρ‹

ВСхнологичСская Ρ‡Π°ΡΡ‚ΡŒ. 
ΠŸΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ элСктронно-Π²Ρ‹Ρ‡ΠΈΡΠ»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠΈ

Π Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚ΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² Π½Π°ΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΠΈΠ£Π·Π½Π°Ρ‚ΡŒ ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΠΌΠΎΠ΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹

ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ Π½Π΅Π³Π°Ρ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° ΠΈΠ΄Π΅Π½Ρ‚ΠΈΡ‡Π½Ρ‹ опСрациям химичСского ΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚рохимичСского ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ². ΠŸΡ€ΠΈ свСрлСнии отвСрстий Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½Ρ‹ Ρ€Π°Π·Ρ€Ρ‹Π²Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ. Π’ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ получСния ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… отвСрстий. Π‘Π²Π΅Ρ€Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ отвСрстий, сСнсибилизация ΠΈ Π°ΠΊΡ‚ивация. ΠŸΡ€Π΅ΠΈΠΌΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°: Π₯ΠΎΡ€ΠΎΡˆΠ°Ρ адгСзия ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² с ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ; ΠŸΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ°… Π§ΠΈΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Π΅Ρ‰Ρ‘ >

ВСхнологичСская Ρ‡Π°ΡΡ‚ΡŒ. ΠŸΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ элСктронно-Π²Ρ‹Ρ‡ΠΈΡΠ»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠΈ (Ρ€Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚, курсовая, Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½Π°Ρ)

ВСхнология изготовлСния ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌ Π½Π΅Π³Π°Ρ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ

Π’ ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°Ρ… ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π·Π° ΡΡ‡Π΅Ρ‚ травлСния Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ, Π° ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Π΅ отвСрстия ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ химичСским ΠΈ Π³Π°Π»ΡŒΠ²ΠΎΠ½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠΌ осаТдСний ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ.

ΠŸΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ° повСрхности Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ.

  • 1. НанСсСниС Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ рисунка
  • 2. Π’Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅
  • 3. Π£Π΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ рисунка

НанСсСниС Π»Π°ΠΊΠ° Ρ‚ΠΈΠΏΠ° Π₯Π‘Π›.

4. Π‘Π²Π΅Ρ€Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ отвСрстий, сСнсибилизация ΠΈ Π°ΠΊΡ‚ивация.

  • 5. Π₯имичСскоС осаТдСниС ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ
  • 6. Π£Π΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π»Π°ΠΊΠ°. ΠŸΡ€ΠΎΡˆΠΈΠ²ΠΊΠ°.

Π“Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠ΅ осаТдСниС ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ.

7. НанСсСниС Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ слоя.

ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ Π½Π΅Π³Π°Ρ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° ΠΈΠ΄Π΅Π½Ρ‚ΠΈΡ‡Π½Ρ‹ опСрациям химичСского ΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚рохимичСского ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ².

Особая опСрация — нанСсСниС Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ рисунка Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ для прСдохранСния диэлСктрика ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΎΡ‚ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠ»ΠΎΠ²Π°, палладия, ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ химичСском осаТдСнии. Π›Π°ΠΊΠΎΠ²ΡƒΡŽ Ρ€ΡƒΠ±Π°ΡˆΠΊΡƒ ΡΠ½ΠΈΠΌΠ°ΡŽΡ‚ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄ Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠΌ.

ΠŸΡ€Π΅ΠΈΠΌΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°:

  • — Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΠ°Ρ адгСзия ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² с ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ;
  • — Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ получСния ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… отвСрстий.

НСдостатки:

  • — ΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ ΡƒΡ…ΡƒΠ΄ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ свойств основания Π² Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ воздСйствия химичСских растворов ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΈ Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠΌ осаТдСнии;
  • — ΠΏΡ€ΠΈ свСрлСнии отвСрстий Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½Ρ‹ Ρ€Π°Π·Ρ€Ρ‹Π²Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ.
ΠŸΠΎΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒ вСсь тСкст
Π—Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ Ρ‚Π΅ΠΊΡƒΡ‰Π΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΎΠΉ