Математическое моделирование распыления бинарных соединений
Диссертация
В настоящей работе созданы и апробированы математические модели мишеней и методика численного расчета ионного распыления бинарных соединений с минимальной затратой машинного времени на основе ММД. Особый интерес для исследования физики взаимодействия ионов с поверхностью твердого тела представляют бинарные ферромагнитные неупорядоченные соединения Ni-Pd, которые используются в микроэлектронике… Читать ещё >
Содержание
- ГЛАВА 1. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ. РЕЗУЛЬТАТЫ МД МОДЕЛИРОВАНИЯ В ОСНОВНЫХ НАПРАВЛЕНИЯХ ИССЛЕДОВАНИЯ ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ ИОНОВ С ПОВЕРХНОСТЬЮ
- 1. 1. Эрозия и модификация поверхности при ионном облучении. Л
- 1. 1. 1. Введение
- 1. 1. 2. Модели расчета
- 1. 1. 3. Обсуждение
- 1. 2. Взаимодействие фуллеренов с полимерами: от фундаментальных проблем к анализу поверхности
- 1. 2. 1. Введение
- 1. 2. 2. Методики
- 1. 2. 3. Образование кратеров на поверхности и десорбция молекул при облучении фуллеренами
- 1. 2. 4. Проблемы анализа состава поверхности и профиля распределения по глубине
- 1. 3. Энергетические и размерные эффекты в распылении нанокластеров металлов при бомбардировке медленными ионами
- 1. 3. 1. Обратное рассеяние ионов поверхностью кластеров
- 1. 3. 2. Энергетическая и размерная зависимость коэффициента распыления кластера
- 1. 4. Особенности распыления нитридов и их компонент
- 1. 4. 1. Введение
- 1. 4. 2. Методика моделирования
- 1. 4. 3. Обсуждение
- 1. 4. 3. 1. Коэффициент распыления
- 1. 4. 3. 2. Преимущественное распыление компонент нитридов
- 1. 4. 3. 3. Средние энергии распыленных частиц
- 1. 4. 3. 4. 0тношения средних энергий компонент нитридов
- 1. 1. Эрозия и модификация поверхности при ионном облучении. Л
- 1. 5. Выводы главы
- 2. 1. Введение
- 2. 2. Уравнение Ньютона
- 2. 3. Интегрирование уравнения Ньютона
- 2. 3. 1. Метод центральных разностей
- 2. 3. 2. Метод средней силы
- 2. 3. 3. Алгоритм Эйлера-Когии
- 2. 3. 4. Метод предиктор-корректор
- 2. 3. 5. Алгоритм Верле
- 2. 3. 6. Метод Нордзика
- 2. 4. Выбор временного шага. Методика учета траекторий
- 2. 5. Потенциалы взаимодействия
- 2. 5. 1. Потенциал Борна-Майера
- 2. 5. 2. Потенциалы притяжения
- 2. 5. 3. Нахождение параметров потенциала взаимодействия
- 2. 5. 4. Выбор потенциала взаимодействия при моделировании распыления
- 2. 6. Модель мишени
- 2. 7. Выводы главы
- 3. 1. Введени е
- 3. 2. Методика расчета
- 3. 3. Результаты и обсуждение
- 3. 3. 1. Закономерности распыления поликристаллов Ni и Pd
- 3. 3. 1. 1. Энергетическая зависимость коэффициентов распыления
- 3. 3. 1. 2. Зависимость распыления от угла падения облучающих ионов
- 3. 3. 1. 3. Пространственное распределение распыленных атомов
- 3. 3. 2. Распыление поликристаллов NiPd, Ni$Pd и NiPds
- 3. 3. 2. 1. Зависимость коэффициентов распыления от энергии ионов
- 3. 3. 2. 2. Изменение распыления с углом падения ионов
- 3. 3. 2. 3. Преимущественное распыление компонент
- 3. 3. 2. 4. Пространственное распределение распыленных частиц
- 3. 3. 1. Закономерности распыления поликристаллов Ni и Pd
- 4. 1. Введени е
- 4. 2. Методика моделирования
- 4. 3. Результаты и обсуждение
- 4. 3. 1. Состав верхних слоев грани (001) монокристалла неупорядоченного соединения NiPd
- 4. 3. 2. Зависимость распыления моно- и поликристалла NiPd от энергии облучающих ионов
- 4. 3. 3. Угловая зависимость распыления грани (OOl)NiPd для разного состава поверхностных слоев
- 4. 3. 4. Пространственное распределение эмитированных атомов Ni и Pd для неизменного состава грани (001) NiPd и с учетом перестройки верхних слоев
- 4. 4. Выводы главы
- 5. 1. Введени е
- 5. 2. Модель расчета
- 5. 3. Результаты и обсуждение
- 5. 3. 1. Изменение распыления поликристалла BN с углом падения бомбардирующих ионов
- 5. 3. 2. Зависимость коэффициента распыления поликристалла BN от его температуры
- 5. 3. 3. Температурная зависимость пространственного распределения частиц B+N, распыленных из поликристалла BN
- 5. 4. Выводы главы
Список литературы
- Harrison D.E., Jr. II CRC Crit. Rev. Solid State Sci.1988 V.14. P.l.
- Alder B.J., Wainwright Т.Е. Transport Processes in Statistical Mechanics. Ed. I. Prigogine. N.Y.: 1958.
- Фишер КЗ. Статистическая теория жидкости. М.: Физматгиз, 1961.
- Займам Дж. Принципы теории твердого тела. М.: Мир, 1966.
- Rahman A. //Phys. Ser. А. 1964. V. 136. Р. 405.
- Gibson J.B., Goland A.N., Milgam М., Vineyard G.N. II Phys. Rev. 1960. V. 120. P. 1229.
- Harrison D.E. Jr., Yakas MM // Rad. Eff. 1986. V. 99. P. 153.
- Garrison B.J., Smith R., Harrison D.E.Jr. II Nucl. Instr. Meth. B. 1990. V. 46. P. 1.
- Yurasova V.E. The influence of models on the results of computer calculation ofчion scattering from single crystals. // Invited paper of Ше7Л Summer School on Physics of Ionized Gases, Rovinj, Yugoslavia. 1974. P. 427−476.
- Mosunov A.S., Shelyakin L.B., Yurasova V.E. Computer simulation of scattering by polycrystals. // Abstr. of the 8th Int. Conf. on Atomic Collisions in Solids, Hamilton, Canada. 1979. P.195- Rad. Eff. 1980. V. 52. P. 85.
- Yurasova V.E. Models of single crystal sputtering. // Proc. of Symp.on Sputtering, SOS-8O, Perchtoldsdorf Wien, Austria. 1980. P. 134−202.
- Eltekov V.A., Samoylov V.N., Yurasova V.E., Bukhanov V.M. Computer calculation of angular dependence of sputtering fine structure. //Abstr. of the 16th Int. Conf. on Phenomena in Ioniz. Gases, Dusseldorf, Germany. 1983. P. 282−283.
- Yurasova V.E. Emission of secondary particles during ion bombardment of metals in the phase transition region. Part II. Charged-particle and photon emission. // Vacuum. 1986. V.36. P. 435−458.
- Schiffgens J.O., Garrison K.E. II J. Appl. Phys. 1972. V. 43. P. 3240.
- Schwartz P.M., Schiffgens J.O., Doran O.G. II Nucl. Metall. 1976. V. 20. P. 75.
- Кирсанов В.В. Реакторное металловедение. М.: Атомиздат. 1978.
- Shapiro М.М., Hajf Р.К., Tombrello Т.A., Harrison D.E.Jr., Webb R.P. II Rad. Eff. 1985. V. 89. P. 243.
- Mosunov A.S., Colligon J.S., Tolpin K.A., Tolpina M.Yu., Yurasova V.E. Sputtering of Ni-Pd Alloys with Varying Ratio of Components.// Abstr. of 5th Iberian Vacuum Meeting RIVA 5-Portugal. 2005. 18−21 Sept. P.15.
- Antonov S.L., Ivanov L.N., Orlikovskii А.А., Yurasova V.E. Sputtering ofNi4Mo single crystals: computer simulation and experiment. // Nucl. Instr. Meth. B. 1990. V. 48. P. 553.
- Eltekov V.A., Samoilov V.N., Yurasova V.E., Motaweh H. Computer calculation of secondary particle emission near the Curie point of nickel. // Nucl. Instr. Meth. B. 1986. V.13.P.443.
- Samoylov V.N., Phillips A.H., Eltekov V.A., Yurasova V.E. Simulation of ion scattering and sputtering for hep and fee cobalt crystal. // Nucl. Instr. Meth. B. 1986. V. 13. P. 243.
- Yurasova V.E. Models of single crystal sputtering. // Vacuum. 1982. V. 32. P. 399−424.
- Робинсон M.T. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой. Т.1. Под ред. Бериша Р., М.: Мир. 1984. Р. 99.
- Insepov Z. Surface erosion and modification by energetic ions. // Труды 18-ой Межд. конф. Взаимодействие ионов с поверхностью, ВИП-2007, Звенигород. Т. 1.С. 55.
- Sekioka, М. Terasawa, Т. Mitamura, М.Р. Stockli, U. Lehnert, С. Fehrenbach. Electronic excitation effects on secondary ion emission in highly charged ion-solid interaction. //Nucl. Instr. and Meth. B. 2001. V. 182. P. 121.
- Burgdorfer J., Lerner P., Meyer F. W. Above-surface neutralization model of highly-charged ions: The classical over-the-barrier model. // Phys. Rev. A. 1991.V. 44. P. 5674.
- Burgdorfer J. in Fundamental Processes and Applications of Atoms and Ions, edited by C, D. Lin, World Scientific, Singapore. 1993. P.517.
- Tokesi К., Wirtz L., Lemell C., and Burgdorfer J. Hollow-ion formation in micro-capillaries.// Phys. Rev. A. 2001. V. 64. 429 021.
- Bringa E.M., Johnson R.E. Molecular-dynamics simulations of electronic sputtering. //Phys. Rev. Lett. 2002. V. 88. 165 501.
- Bringa E.M. Molecular-dynamics simulations of electronic sputtering.// Nucl. Instr. Meth. B. 2003. V. 209. P. 1.
- Stillinger F.N., Weber T.A. Computer simulation of local order in condensed phases of silicon. //Phys. Rev. B. 1985. V. 31. P. 5262.
- Woodcock L. V., Angell C.A., Cheesemann P. Molecular dynamics studies of the vitreous state: Simple ionic systems and silica. // J. Chem. Phys. 1976. V. 65. P. 1565.
- G.J. Ackland G.J., Thetford R. An improved N-body semi-empirical model for b.c.c. transition metals. //Phil. Mag. A. 1987. V. 56. P. 15.
- Schenkel Т., Barnes A. V., HamzaA. V., Banks J. C., Doyle B. L., Schneider D.H. Ablation of GaAs by Interne Ultrafast Electronic Excitation from Highly Charged Ions. //Phys. Rev. Lett. 1998. V. 81. P. 2590.
- Zeldovich Ya. В., Raiser Y. P. Physics of Shock Waves and High-temperature Hydrodynamic Phenomena. Academic. New York. 1966.
- Insepov Z., Manory R., Matsuo J., Yamada I. Proposal for a hardness measurement technique without indentor by gas-cluster-beam bombardment. // Phys. Rev.B. 2000. V. 61. P. 8744.
- Swenson D.R., Degenkolb E., Insepov Z. Study of gas cluster ion beam surface treatments for mitigating RF breakdown. // Physica C. 2006. V. 441. P.75.
- Olander D.R. Fundamental aspects of nuclear reactor fuel elements. NTIS, U.S. Department of Commerce, Springfield. VA. 1976.
- Norem J., Insepov Z., Konkashbaev I. Triggers for RF breakdown. И Nucl. Instr. Meth A. 2005. V. 537. P. 510.
- Hamza A., Schenkel Т., Barnes A., Schneider D. Highly-charged ion Secondary Mass Spectroscopy. // US Patent # 6,261,820 Bl. 2001. Sep. 18.
- Ruehlicke C., Schneider D., Schneider M., DuBois R.D., Balhorn R. Protein fragmentation due to slow highly charged ion impact. // Nanotechnology. 1998. V. 9. P. 251
- Insepov Z., Norem J., Swenson D.R., Hassanein A. and Terasawa M. Surface erosion and modification by ions studied by computer simulation. // NIMB. 2006
- Delcorte Arnaud. Fullerene interactions with polymers: from fundamentals to surface analysis. // Труды 18-ой Межд. Конф. Взаимодействие ионов с поверхностью, Звенигород. 2007. Т. 1.С. 13.
- Weibel D., Wong S., Lockyer N., Blenkinsopp P., Hill R., Vickerman J. С. II Anal. Chem. 2003. V. 75. P. 1754.
- Wittmaak K., Szymczak W, Hoheisel G., Tuszynski W. II J. Am. Soc. Mass Spectrom. 2000. V. 11. P. 553.
- Delcorte A., MedardN., BertrandP. II Anal. Chem. 2002. V. 74. P. 4955.
- Delcorte A., Garrison B. J. II Nucl. Instram. Meth. Phys. Res. B. 2007. V. 255.P. 223.
- Schueler B. W. //Microsc. Microanal. Microstruct. 1992. V. 3. P. 119.
- Postawa Z. II Appl. Surf. Sci. 2004. V. 231 -232. P. 22.
- Smiley E., Postawa Z., Wojciechowski I.A., Winograd N., Garrison B.J. II Appl. Surf. Sci. 2006. V. 252. P. 6436.
- Winograd N. И Anal. Chem. 2005. V. 77. P. 143A.
- Delcorte A., Poleunis C., BertrandP. //Appl. Surf. Sci. 2006. V. 252. P. 6494.
- Winograd N., Postawa Z., Cheng J., Szakal C., Kozole J., Garrison B. J. II Appl. Surf. Sci. 2006. V. 252. P. 6836.
- DeicorteA. II Phys. Chem. Chem. Phys. 2005. V. 7. P. 3395.
- Mollers R., Tuccitto N. Torrisi V., Niehuis E., Licciardello А. И Appl. Surf. Sci. 2006. V. 252. P. 6509.
- Nieuwjaer N. Poleunis C., Delcorte A., Bertrand P. II Abstract of the 5th SIMS Europe Workshop, Munster. 2006.
- Chatelet M., Benslimane M., Martino A.D., Pradere F., Vach H. И Surf. Sci. 1996. Y. 352. P. 50.
- Lei U., Hou Q., HouM. //NIMB. 2000. V. 164−165. P. 537.
- KMeinander. K.Nordlund. J.Keinonen. //NIMB. 2006. V. 242. P. 161.
- Kornich G. V., Betz G. Energy and size effects in sputtering of surface metal nanoclusters under low energy ion bombardment. // Труды 18-ой Межд. Конф. Взаимодействие ионов с поверхностью, Звенигород. 2007. Т.1.С. 38.
- Голубев А. С., Курдюмов А. В., Пилянкевич А. Н. Структура, свойства и производство нитрида бора. Киев.: Наукова Думка. 1987.
- Толпина М.Ю. Молекулярно-динамический расчет пространственных и энергетических распределений частиц, распыленных из монокристалла NiPd // Обозрение прикладной и промышленной математики. 2010. — Т. 17, вып.1. — С. 147−149.
- Еловиков С.С., Зыкова Е. Ю., Мосунов А. С., Рыжов Ю. А., Шкарбан И. И., Юрасова В. Е. Влияние параметров мишеней на массовую зависимость распыления. // Поверхность рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2006. №.10. С. 46.
- Еловиков С.С., Зыкова Е. Ю., Мосунов А. С., Юрасова В. Е., Рыэ/сов Ю.А., Шкарбан И. И. Энергетическая и массовая зависимость распыления нитридов и их компонент. // Вопросы атомной науки и техники. Сер. Термоядерпый синтез.2007.№.2.С. 26.
- Юрасова В.Е., Еловиков С. С., Зыкова Е. Ю. Распыление монокристаллов нитрида бора разной структуры. // Поверхность рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2007. №.6. С. 38.
- Юрасова В.Е., Еловиков С. С., Зыкова Е. Ю., Толпина М. Ю. Зависимость угловых характеристик распыления нитрида бора от его температуры // Поверхность рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. -2009. -№ 1.- С. 25−33.
- Harrison W.A. Electronic structure and the properties of solids-the Physics of chemical bond, San Francisco. 1980.
- Born M. II Proc. Cambridge Philos. Soc. 1940. V. 36. P.160.
- Carnahan В., Luther H.A., Wilkes J.О. Applied Numerical Methods, Wiley, New York. 1969. Chap. 6.
- Gear C.W. Numerical Initial Value Problems in Ordinary Differential Equations, Prentice-Hall, Englewood Cliffs. NY, 1971.
- Shampine L.F., Gordon M.K. Computer Solutions of Ordinary Differential Equations: The Initial Value Problem, W.H. Freeman, San Francisco. 1975.
- Promokhov A.A., Mosunov A.S., Elovikov S.S., Yurasova V.E. Features of sputtering of nitrides with various component mass rations. // Vacuum. 2000. V. 56. P. 247.
- Harrison D.E. Jr., Gay W.L., Effron H.M. Algorithm for the Calculation of the Classical Equations of Motion of an TV-Body System. // J.Math.Phys. 1969. V.10. P.1179.
- Ivanenko O.P., Kuvakin M.V., Mosunov A.S., Yurasova V.E. Differences in position of Wehner spots for flat and stepped faces of Ni monocrystals. // Vacuum. 1993. V.44. P. 964.
- Verlet L. Computer «Experiments» on Classical Fluids. I. Thermodynamical Properties of Lennard-Jones Molecules. // Phys.Rev. 1967. V.159. P.98.
- Hockney R.W., Eastwood J.W. Computer simulation using particles, McGrawHill, New York. 1981.
- Berendsen H.J.C., Gunsteren W.F. Molecular dynamics simulation of statistical mechanical systems //Proc. of the 97th Intl. School of Physics «Enrico Fermi», G. Ciccotti, W.G. Hoower (eds), North-Holland, Amsterdam. 1985. P. 43.
- Beeman D. II J. Comput. Phys. 1976. V. 20. P. 130.
- NotdsieckA. И Math. Comput. 1962. V. 16. P. 22.
- Beeler J.R., Kulcinski G.L. Interatomic potentials and simulation of lattice defects, P.C. Gehlen, J.R. Beeler, R.I. Jaffee (eds), Plenum, New York. 1972. P. 735.
- Beeler J.R. Radiation effects-computer experiments series: Defects in crystalline solids, V. 13, S. Amelinckx, Gevers R., Nihoul J. (eds), North-Holland, Amsterdam. 1983.
- SchofieldP. II Comput. Phys. Commun. 1973. V. 5. P. 17.
- Fincham D. И Comput. Phys. Commun. 1986. V. 40. P. 263.
- Born M, Mayer J.E. Zur Gittertheorie der Ionenkristalle. Mit 2 Abbildugen.// Z.Phys. 1932.Bd.75. S.l.
- Фирсов О.Б. Вычисление потенциала взаимодействия атомов. // ЖЭТФ. 1957. Т.ЗЗ. С. 696.
- Abrahamson А.А. Born-Mayer-type Interatomic Potential for Neutral Ground-State Atoms with z = 2−105. // Phys.Rev. 1969. V.178. P.76.
- Бор H. Прохождение атомных частиц через вещество, М.: ИЛ. 1950.
- Torrens I.M. Interatomic Potentials, Academic Press. 1972.
- Мосунов А. С. Численное моделирование рассеяния ионов поликристаллической поверхностью. // Препринт НЦБИ АН СССР. Пущино. 1983.
- Andersen Н.Н., Sigmund P. On the Determination of Interatomic Potentials in Metals by Electron Irradiation Experiments. I I Riso Report. No 103. 1965. P.l.
- Эльтеков В.А. Взаимодействие атомных частиц с твердым телом. Изд.: МГУ. 1993.
- Daw M.S., Basks M.I. II Phys. Rev.B. 1984. V. 29. P. 6443.
- Finnis M. W., Sinclair J.E. II Phil. Mag. A. 1984. V. 50. P. 45.
- C. Chen. I I J. Phys. Cond. Matt. 1992. V. 4. P. 9855.
- Толпин K.A., Толпина М. Ю., Юрасова B.E. Молекулярно-динамическое моделирование процессов при ионном облучении твердого тела // Горный информационно-аналитический бюллетень. 2009. — № 9. — С. 66−70.
- Карпова Е.Е., Кувакин М. В., Юрасова В. Е. Потенциалы взаимодействия атомов ферромагнитных редкоземельных металлов. // Поверхность. 1998, №. 12, С. 50.
- Юрасова В.Е. Взаимодействие ионов с поверхностью // М.: Прима В. 1999. 644 сс.
- Morse P.M. Diatomic Molecules According to the Wave Mechanics. II. Vibrational Levels. //Phys.Rev. 1929. V.34. P.57.
- Girifalco L.A., Weizer V.G. Application of the Morse Potential Function to Cubic Metals. // Phys.Rev. 1959. V. l 14. P.687.
- Мосунов А. С., Промохов А. А., Юрасова В. Е. Влияние потенциала взаимодействия на распыление ферромагнетиков. // Известия РАН сер.физ. 1998. Т. 62. С. 58.
- Fuchs К. The Elastic Constants and Specific Heats of the Alkali Metals.// Proc.Roy.Soc. 1936. V.153. P. 622.
- Ангшалу А. Квантовая теория кристаллических твердых тел. М.: Мир. 1981.
- Cauchy A.L. Recherches sur l’equilibre et le mouvment interieur des corps solids on fluids elastiques ou non elastiques.// Bulletin des Sciences a la Societe philomatique, 1823.P.9.
- Лейбфрид Г. Микроскопическая теория механических и тепловых свойств кристаллов. М.: Физматгиз. 1963.
- Федоренко Р.П. Введение в вычислительную физику. М.: Изд-во МФТИ. 1994.
- Калиткин Н.Н. Численные методы. М.: Наука. 1978.
- Press W.H., Teukolsky S.A., Vetterling W.T., Flannery B.P. Numerical Recipes in Fortran. Cambridge University Press. 1992.
- Мосунов A.C. Термодинамический подход к исследованию распыления вблизи критических точек. // Труды. 13-й Межд. конф. Взаимодействие ионов с поверхностью, Звениглрод. 1997. Т 1. С. 25.
- Мосунов А.С. Использование термодинамического подхода при моделировании распыления вблизи точки плавления. Известия РАН сер. физ. 1998. Т. 62. С. 144.
- Валуев А. А, Норман Г. Э., Подлипчук В. Ю. II В сб. Математическое моделирование. М.: Наука. 1989. С. 5−40.
- Метод молекулярной динамики в физической химии. Ред. Ю. К. Товбин. М.: Наука. 1996.
- Jackson D.P. Binding energies in cubic metal surfaces. // Rad.Eff. 1973. V.18. P.185.
- А.С.Мосунов, И. И. Мосунова, Л. Б. Шелякин, В. Е. Юрасова. Моделирование на ЭВМ рассеяния ионов поликристаллами. // Материалы 5-й
- Всес. Конф. по взаимодействию атомных частиц с твердым телом. Минск. 1978. Т.1. С. 144−147.
- Акапо U.G., Smeltzer W.W., Thompson D.A. and Davies J.A.II J. Electrochem. Soc. l990.V.137. P.2175.
- Rodrigues J. AM Surf.Sci.Rep. 1996.V.24.P.223.
- Bertolini J.C.//Surf.Rev.Lett. 1996 V.3.P. 1857.
- BozzoloG., Noebe R. D., KhalilJ., Morse J// Applied Surface Science.2003.V.219.P.149.
- Bozzolo G., Noebe R. DM Acta Materialia. 2003. V. 51. P. 4395.
- Derry G., Wan R. // Abstr. of 22ndEurop.Conf. on Surf. Sci., September 2003, Praha, Czech. Rep. P. 170.10- Derry G., Wan R. //American Physical Society, Annual APS March Meeting 2003, Abstr .No. P33.006.
- Kart Ozdemir, Tomak M., Uludogan M., and Cagin ТЛ J. Noncryst. Sol.2004.V.337. P. 101.
- Promokhov A A., Eltekov VA., Yurasova V.E., Mosunov A.Computer calculations of single crystal sputtering by low energy ions.// Nucl. Instr. Meth. 1996.V.B115. P.544.
- Харисон У. Электронная структура и свойства твердых тел. т.1. М: Мир. 1983.125. «Распыление твердых тел ионной бомбардировкой» п/р. Р. Бериша, Москва, Мир, 1984.
- Yamamura Y. and Mizuno Y. II IPPJ-AM-40, Institut of Plasma Physics, Nagoya University, 1985.
- Andersen H.H., Chevallier J., Chernysh V.S.I INIM. 1981 .V. 191 .P.241.
- Bertolini J.C., Miegge P., Hermann P., Rousset J.L., Tardy В. II Surf.Sci. 1995. V.331−333. P. 651.
- Michel A.C., Lianos L., Rousset J.L., Delichere P., Prakash N. S et al. II Surf.Sci. 1998. V. 416. P. 288.
- Khanra B.C., Bertolini J.C., Rousset J.L. II Molec.J.Catal. A: Chem. 1998. V. 129. P. 233.
- Miegge P., Rousset J.L., Tardy В., Massardier J., Bertolini J.C. II J. Catal. 1994. V. 149. P. 404.
- Mervyn D.A., BaridRJ., Wynblatt P. II Surf.Sci. 1979. V. 82. P. 79.
- Derry G.N., McVey C.B., Rous P.J. II Surf.Sci. 1995. V. 326. P. 59.
- Sloddart C.T.H., Moss R.L., Pope D. II Surf.Sci. 1975. V. 53. P. 241.
- Christensen A., Ruban A. V., Skriver H.L., II Surf.Sci. 1997. V. 383. P. 235
- Filhol J.S., Simon D" Sautet P. II Surf.Sci. 2001. V. 472. P. L139.
- Rousset J.L., Bertolini J. C., Miegge P. II Phys.Rev.B. 1996. V. 53. P. 4947.
- Wynblatt P., KuR.C. II Surf. Sci. 1977. V. 65. P. 511.
- TersoffJ. II Phys Rev. B 1990. V. 42. P. 10 965.
- Bozzolo G. Noebe R.D., Ferrante J., Amador С. II J.Comput.Aided Matter.Design. 1999. V. 6. P. 1.
- Guevara J., Llois A.M., Aguilera-Granja F., and Montejano-Carrizales J.M. II Physica B: Condensed Matter. 2004. V. 354. P. 300.
- БозортР. «Ферромагнетизм», 1956, ИИЛ, Москва.
- PaudalDurga, Mookerjee Abhijit //J.Condens.Matter. 2004. V. 16. P. 5791.
- Singh Prabhakar P. И J.Condens.Matter. 2004. V. 16. P. 5803.
- Bagaria Hitesh // University of Alabama, Biological Engineering Fall 2004 Seminar Series No. 10/14.
- Andreonova N.N., Borisov A.M., Mashkova E.S., Parilis F.S., Pitirimova E.A., Timofeev M.A. Monitoring the structure-phase changes in graphite using temperature regularities of ion-induced electron // Vacuum 2010. V.84. P. 1033−1037.
- Elovikov S.S., Zykova E.Yu., Gvozdover R.S., Colligon J.S., Yurasova. V.E. Change of Auger-electron emission from Ni-Pd alloys under magnetic phase transition. // Rad.Eff.Def.Sol. 2006. V. 161. No 4. P.219.
- Еловиков C.C., Зыкова Е. Ю., Юрасова B.E. Оже-электронная эмиссия из ферромагнитных сплавов. // Известия АН, сер.физ. 2006. Т. 70. № 6. С. 889.
- Chernysh V.S., Patrakeev A.S., Shulga V.I. II Rad.Eff.Def.Sol. 2006. V. 161. P. 701.
- Черныш B.C., Патракеев A.C., Еловиков С.С. II Труды 18-ой Межд.конф. «Взаимодействие ионов с поверхностью», ВИП-2007, Звенигород, Т. 1. С. 87.
- Толпина М.Ю. Выбор метода интегрирования уравнений Ньютона при моделировании распыления твердых бинарных соединений // Обозрение прикладной и промышленной математики. 2009. — Т. 16, вып.6. — С. 1135−1137.
- Мосунов А. С., Толпин К. А., Толпина М. Ю., Юрасова В. Е. Особенности распыления сплавов Ni-Pd с разным содержанием компонент. // Поверхность -рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2006. № 7. С. 13.
- Robinson M.T., Torrens I.M.H Phys.Rev. 1974. B9. P. 5008.
- Harrison D.E., Jr.//J.Crit.Rev.Sol.St.Mater.Sci. 1988. V. 14. P. 1.
- Andersen H.H., SigmundP. II Nucl. Instr. Methods. 1965. V. 38. P. 298.
- Eckstein W.,"Computer Simulation of Ion-Solid Interactions", Springer Series on Mater. Sci. v. 10, Berlin, Springer-Verlag, 1991.
- Самарский A.A. и Гулин A.B. «Численные методы», Москва, Наука, 1989.
- Плешивцев Н.В. «Катодное распыление», Москва: Атомиздат, 1963, 344 сс.
- Carter G., Colligon J.S. Ion Bombardment of Solids, Heineman Educatinal Books. London. 1968, 446 pp.
- Behrisch R. (Editor), Sputtering by Partical Bombardment, II, Springer-Verlag, Berlin, Heidelberg, New York, 1983, 484 pp.
- Lehmann C., SigmundP. II Phys. Status Solidi. 1966. V. 16. P. 507.
- Lehmann C., Interaction of Radiation with Solids and Elementary Defect Production, North-Holland, Amsterdam, 1977.
- Behrisch R., Eckstein W. (Editors), Sputtering by Particle Bombardment, IV, Springer-Verlag, Berlin, Heidelberg, 2007, 507 pp.
- Wehner G.K.// J.Appl. Phys. 1955. V. 26. P. 1056.
- Юрасова В.Е. Современные теории катодного распыления и микрорельеф распыляемой поверхности металла. //Тезисы докладов 8-го Всесоюзного совещания по катодной электронике, Ленинград, 1957.
- Юрасова В.Е. Современные теории катодного распыления и микрорельеф распыляемой поверхности металла. // Журн. Техн. Физики. 1958. Т. 28. № 9. С. 1966.
- Thompson М. W. II Philos. Mag. 1959. V. 4. P. 139.
- Юрасова В.Е., Плешивцев Н. В., Орфанов И. В. О направленном выходе частиц при распылении монокристалла меди пучками ионов с энергией до 50 кэВ. //ЖЭТФ. 1959. Т. 37. № 4. С. 966.
- Nelson R.S., Thompson М. W. II Proc.R.Soc.A. London.1961. V. 259. P. 458.
- Юрасова B.E., Левыкина Л. Н., Бржезинский В. А. О распылении монокристаллов полупроводниковых соединений типа АШВУ //Тезисы докладов 11-й Конф. по физическим основам катодной электроники, Киев, 1963, С. 80.
- Юрасова В.Е., Левыкина Л. Н., Бржезинский В. А. О распылении монокристаллов полупроводниковых соединений типа AInBv // Изв. АН СССР, сер. физ. 1964. Т. 28. № 9. С. 1431.
- Yurasova V. E, Shulga V.I., Bunin I.G., Mamaev B.M., Nevzorova L.N., Petrov A.S. Peculiarities of particle ejection on scattering and sputtering of single crystals. // Rad. Eff., 1976. V. 27. P. 173.
- LinnikS.P., Buleev M.A., Yurasova V.E., Zaporozhchenko VI., Chernysh VS. Selective sputtering of single crystals of binary semiconductor compounds. // Rad. Eff. 1980. V. 52. P. 191.
- Линник С.П., Юрасова В. Е. Распыление двухкомпонентных соединений и сплавов. //Поверхность. Физика, химия, механика. 1982. № 3. С. 25.
- Yurasova V.E., Linnik S.P. Sputtering of two-component alloys and compounds. // Z. Phys. Chem., Leipzig, 1983. V. 264. No. 6. P. 1079.
- Wehner G.K./l J.Appl. Phys. 1959.V.30.P. 1762.
- Wehner G.K., RosenbergD. U J.Appl.Phys.l962.V.33.P.l842.
- Roth J., Bodansky J., and Ottenberger W. IPP 9/26, Max-Plank-Institut fur Plasmaphysik, 1979.
- OechsnerH. //Z.Phys.l973.V.261.P.37.
- Bodansky J.//Nucl.Instr.Methods. 1984. V.2B. P. 587.
- Nastasi M, Mayer J.W., Hirvonen J.K. «Ion-Solid Interactions. Fundamentals and Applications», Cambridge University Press, 1996, 540 pp.
- Elovikov S.S., Zykova E.Y., Promokhov A.A., V.E.Yurasova V.E. Experimental study and computer simulation of A1N and BN sputtering. // Proc. of the SPIE-The Int.Soc.for Optics Engineering. 1999.V.3687. P.268.
- Mosunov.A.S., Ivanenko O.P., Kuvakin M.V., Yurasova V.E. Computer simulation of surface reconstruction and relaxation of Ni single crystal faces in ferro-and paramagnetic states.// Vacuum. 1992.V.43.P.785.
- MosunovA.S. // Phys.Rev.B. 2000. V. 61 .P.3022.
- Горшков M.M., Рыжов Ю. А., Семенов A.A., Фельдман А. Ю., Шкарбан И.И.П Труды XVII Междунар. конф. по Взаимодействию ионов с поверхностью, Москва 2005, т. 1 .с. 111.
- Sigmund P. //Phys.Rev.l969.V.184.P.383.
- Doerner R.P., Krasheninnikov S.I., and Schmid К. // Proc. of 30th EPS Conference on Contr. Fusion and Plasma Phys., St. Peterburg, 2004.V.27A. P.2162.
- Томпсон M. «Дефекты и радиационные повреждения в металлах», МИР, М: 1971.
- Мосунов А.С., Рыжов Ю. А., Семёнов А. А., Шкарбан И. И., Коллигон Д. С., Юрасова В. Е. Особенности распыления ионами низких энергий бинарных соединений и композиционных мишеней // Известия РАН, сер.физ. 2004. Т.68. С. 1665.
- Rosenberg D., Wehner G.K.I I J. Appl. Phys. 1961.V.32.P.365.
- Bay H.L., BohdanskyJ., HechtlE. II Radiat.Eff.l979.V.41.P.77.
- Hechtl В., Bohdansky J., Roth J. II Proc. of Symp.on Sputtering, SOS-8O, Perchtoldsdorf, Austria, Eds. P. Varga, G. Betz, F.P.Viehbock, 1980, P. 834.
- Еловиков С.С., Зыкова Е. Ю., Гвоздовер Р. С., Свистунов В. Н., Юрасова В. Е. Радиационная стойкость нитрида алюминия к ионам и электронам низких энергий. // Поверхность. 1999. № 10. С. 66.
- Elovikov S.S., Khrustachev I.K., Mosunov A.S., Yurasova V.E. Mass dependence of nitride sputtering. // Rad.Eff.Def.Sol. 2003.V.158. P.573.
- Andrianova N.N., Borisov A.M., Mashkova E.S., Parilis E.S., Pitirimova E.A., Timofeev M.A. Monitoring the structure-phase changes in graphites using temperature regularities of ion-induced electron emission // Vacuum 2010. V.84. P.1033−1037.
- Мосунов A.C., Рыжов Ю. А., Семёнов А. А., Шкарбан И. И., Юрасова В. Е. Особенности распыления ионами низких энергий бинарных соединений и композиционных мишеней. // Вопросы атомной науки и техники, серия Термоядерный синтез. 2004. № 2. С. 54.
- Perovic В. II Proc.5-th Int.Conf.Ion.Phen.Gases, Amsterdam 1962, ed. H. Maecker, North-Holland, Amsterdam, 1962, P. 1172.